JP3291512B2 - 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 - Google Patents
過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浴組成の管理が容易で
高品質の仕上がりが得られる鉄−ニッケル合金の化学的
溶解処理液、及びその安定剤に関する。
高品質の仕上がりが得られる鉄−ニッケル合金の化学的
溶解処理液、及びその安定剤に関する。
【０００２】
【従来の技術】鉄−ニッケル合金は集積回路等の電子部
品の材料として利用されているが、素材から製品への加
工の段階において、プレスや切断などによりバリやスケ
ール等が発生する。これらは、その後のメッキ工程等に
悪影響を与えるため、一般的には化学的な手段で溶解処
理される。鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液とし
て、氷酢酸−硝酸−塩酸浴、硝酸−フッ酸浴などが用い
られてきたが、これらの溶解処理液は、処理時に有毒な
ＮＯX ガス、塩化水素ガス、フッ化水素ガス等を発生す
るため、環境面及び安全衛生面において好ましくなく、
過酸化水素を酸化剤として用いる溶解処理液に代替され
てきている。
品の材料として利用されているが、素材から製品への加
工の段階において、プレスや切断などによりバリやスケ
ール等が発生する。これらは、その後のメッキ工程等に
悪影響を与えるため、一般的には化学的な手段で溶解処
理される。鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液とし
て、氷酢酸−硝酸−塩酸浴、硝酸−フッ酸浴などが用い
られてきたが、これらの溶解処理液は、処理時に有毒な
ＮＯX ガス、塩化水素ガス、フッ化水素ガス等を発生す
るため、環境面及び安全衛生面において好ましくなく、
過酸化水素を酸化剤として用いる溶解処理液に代替され
てきている。
【０００３】過酸化水素を用いる溶解処理液としては、
過酸化水素−塩酸（特開昭５４−１００９４０号公
報）、過酸化水素−フッ酸−硝酸（特開昭５１−９１８
３９号公報）、過酸化水素−シュウ酸−硫酸、過酸化水
素−フッ化水素アンモニウム（特公昭５９−２７４８号
公報）、過酸化水素−フッ化水素アンモニウム−硫酸な
どが知られているが、現在、最も広く使用されているも
のは、過酸化水素、フッ化水素アンモニウム及び硫酸を
基本成分とするものである。
過酸化水素−塩酸（特開昭５４−１００９４０号公
報）、過酸化水素−フッ酸−硝酸（特開昭５１−９１８
３９号公報）、過酸化水素−シュウ酸−硫酸、過酸化水
素−フッ化水素アンモニウム（特公昭５９−２７４８号
公報）、過酸化水素−フッ化水素アンモニウム−硫酸な
どが知られているが、現在、最も広く使用されているも
のは、過酸化水素、フッ化水素アンモニウム及び硫酸を
基本成分とするものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この溶
解処理液は、鉄−ニッケル合金に対して同一浴で長時間
使用すると、溶解金属濃度が増加するにつれて、（１）
鉄−ニッケル合金の溶解速度が極端に低下する、（２）
過酸化水素の安定性が著しく低下する等の欠点があるた
め、鉄−ニッケル合金溶解処理能力（以下、「処理能
力」という。）の小さいものである（図１及び図２参
照）。これらの欠点を補うために、有効成分の補充を頻
繁に行って、浴の組成があまり変動しないように管理す
る方法が提案されているが、補充による浴組成の管理は
大変面倒であり、また処理装置も大掛かりになる。その
ため、浴組成の管理が不要で、しかも処理能力の大きい
溶解処理液が求められている。
解処理液は、鉄−ニッケル合金に対して同一浴で長時間
使用すると、溶解金属濃度が増加するにつれて、（１）
鉄−ニッケル合金の溶解速度が極端に低下する、（２）
過酸化水素の安定性が著しく低下する等の欠点があるた
め、鉄−ニッケル合金溶解処理能力（以下、「処理能
力」という。）の小さいものである（図１及び図２参
照）。これらの欠点を補うために、有効成分の補充を頻
繁に行って、浴の組成があまり変動しないように管理す
る方法が提案されているが、補充による浴組成の管理は
大変面倒であり、また処理装置も大掛かりになる。その
ため、浴組成の管理が不要で、しかも処理能力の大きい
溶解処理液が求められている。
【０００５】本発明の目的の一つは、浴組成の管理が容
易で、しかも有効成分の補充を行わなくても処理能力の
大きい鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供する
ことにあり、もう一つの目的は、処理後の鉄−ニッケル
合金表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりが得ら
れる鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供するこ
とにあり、更にもう一つの目的は、これらの鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液のための安定剤を提供するこ
とにある。
易で、しかも有効成分の補充を行わなくても処理能力の
大きい鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供する
ことにあり、もう一つの目的は、処理後の鉄−ニッケル
合金表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりが得ら
れる鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供するこ
とにあり、更にもう一つの目的は、これらの鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液のための安定剤を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、過酸化水
素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を基本成分とす
る溶解処理液において、ある特定の化合物を添加するこ
とによって、処理能力及び過酸化水素の安定性が改善さ
れると共に鉄−ニッケル合金表面でのムラや孔食の発生
が防止されて、前記目的が達成されることを見出し、本
発明を完成するに至った。
素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を基本成分とす
る溶解処理液において、ある特定の化合物を添加するこ
とによって、処理能力及び過酸化水素の安定性が改善さ
れると共に鉄−ニッケル合金表面でのムラや孔食の発生
が防止されて、前記目的が達成されることを見出し、本
発明を完成するに至った。
【０００７】即ち、本発明は、スルファニル酸及び／又
はスルファニルアミドからなること、を特徴とする過酸
化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する
酸性溶液の安定剤である。
はスルファニルアミドからなること、を特徴とする過酸
化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する
酸性溶液の安定剤である。
【０００８】本発明は、スルファニル酸及び／又はスル
ファニルアミドと、脂肪族アミンとからなること、を特
徴とする過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫
酸を含有する酸性溶液の安定剤である。
ファニルアミドと、脂肪族アミンとからなること、を特
徴とする過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫
酸を含有する酸性溶液の安定剤である。
【０００９】本発明は、過酸化水素、フッ化水素アンモ
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル
酸及び／又はスルファニルアミドからなる安定剤とを含
有すること、を特徴とする鉄−ニッケル合金の化学的溶
解処理液である。
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル
酸及び／又はスルファニルアミドからなる安定剤とを含
有すること、を特徴とする鉄−ニッケル合金の化学的溶
解処理液である。
【００１０】本発明は、過酸化水素、フッ化水素アンモ
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミン
と、スルファニル酸及び／又はスルファニルアミドから
なる安定剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液である。
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミン
と、スルファニル酸及び／又はスルファニルアミドから
なる安定剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液である。
【００１１】本発明は、過酸化水素、フッ化水素アンモ
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミン
と、サリチル酸、安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベ
ンゼンスルホン酸からなる群から選ばれた少なくとも１
種の安定剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液である。
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミン
と、サリチル酸、安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベ
ンゼンスルホン酸からなる群から選ばれた少なくとも１
種の安定剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケ
ル合金の化学的溶解処理液である。
【００１２】本発明は、前記それぞれの鉄−ニッケル合
金の化学的溶解処理液であって、更に脂肪族アルコール
及び／又は硫酸アンモニウムを含有する溶解処理液であ
る。
金の化学的溶解処理液であって、更に脂肪族アルコール
及び／又は硫酸アンモニウムを含有する溶解処理液であ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の溶解処理液の適用対象
は、鉄−ニッケル合金であり、特に、４２アロイ（鉄５
８％、ニッケル４２％）である。
は、鉄−ニッケル合金であり、特に、４２アロイ（鉄５
８％、ニッケル４２％）である。
【００１４】本発明における酸性溶液は過酸化水素、フ
ッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有するものであ
り、過酸化水素は５０〜１５０ｇ／ｌ（グラム／リット
ル）、フッ化水素アンモニウムは３０〜６０ｇ／ｌ、硫
酸は０．５〜１０ｇ／ｌの範囲が処理能力の点から好ま
しい。
ッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有するものであ
り、過酸化水素は５０〜１５０ｇ／ｌ（グラム／リット
ル）、フッ化水素アンモニウムは３０〜６０ｇ／ｌ、硫
酸は０．５〜１０ｇ／ｌの範囲が処理能力の点から好ま
しい。
【００１５】本発明の安定剤は、スルファニル酸及び／
又はスルファニルアミドであるか、あるいはサリチル
酸、安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルフ
ォン酸からなる群から選ばれた少なくとも１種であり、
後者の場合には、孔食の発生を防止するため、脂肪族ア
ミンを必ず併用する必要があり、前者の場合にも同様
に、脂肪族アミンを併用するのが好ましい。過酸化水素
の分解を有効に防止するためには、安定剤はそれぞれ１
〜１０ｇ／ｌ使用するのが好ましい。脂肪族アミンは孔
食の発生を防止し表面状態の仕上りを改善しうるので併
用するのが好ましく、例としては、アルキル基の炭素数
が１〜１５のモノ、ジ又はトリアルキルアミンを挙げる
ことができ、特に、ジエチルアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジイソプロピルアミンな
どが好適である。その添加量は、１〜２０ｇ／ｌが好ま
しい。
又はスルファニルアミドであるか、あるいはサリチル
酸、安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルフ
ォン酸からなる群から選ばれた少なくとも１種であり、
後者の場合には、孔食の発生を防止するため、脂肪族ア
ミンを必ず併用する必要があり、前者の場合にも同様
に、脂肪族アミンを併用するのが好ましい。過酸化水素
の分解を有効に防止するためには、安定剤はそれぞれ１
〜１０ｇ／ｌ使用するのが好ましい。脂肪族アミンは孔
食の発生を防止し表面状態の仕上りを改善しうるので併
用するのが好ましく、例としては、アルキル基の炭素数
が１〜１５のモノ、ジ又はトリアルキルアミンを挙げる
ことができ、特に、ジエチルアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、トリ−ｎ−ブチルアミン、ジイソプロピルアミンな
どが好適である。その添加量は、１〜２０ｇ／ｌが好ま
しい。
【００１６】更に、脂肪族アルコール及び／又は硫酸ア
ンモニウム、特に脂肪族アルコール及び硫酸アンモニウ
ムを添加すると、より均一で良好な表面状態が得られる
ので好ましい。脂肪族アルコールとしては、エタノー
ル、プロパノール、エチレングリコール、ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール等であり、その添加
量は、０．２〜１０ｇ／ｌが好ましい。硫酸アンモニウ
ムの添加量は、１〜１０ｇ／ｌが好ましい。
ンモニウム、特に脂肪族アルコール及び硫酸アンモニウ
ムを添加すると、より均一で良好な表面状態が得られる
ので好ましい。脂肪族アルコールとしては、エタノー
ル、プロパノール、エチレングリコール、ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール等であり、その添加
量は、０．２〜１０ｇ／ｌが好ましい。硫酸アンモニウ
ムの添加量は、１〜１０ｇ／ｌが好ましい。
【００１７】本発明において、その処理温度は好ましく
は１０〜６０℃、特に好ましくは２０〜５０℃であり、
処理時間は好ましくは１０秒〜１０分、特に好ましくは
２０秒〜５分である。
は１０〜６０℃、特に好ましくは２０〜５０℃であり、
処理時間は好ましくは１０秒〜１０分、特に好ましくは
２０秒〜５分である。
【００１８】
【発明の効果】本発明において、スルファニル酸及び／
又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、安息香
酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸は、主
に過酸化水素の安定剤として作用し、脂肪族アミンは、
表面状態の仕上りの良し悪し、主に、孔食の発生防止剤
として作用する。過酸化水素、フッ化水素アンモニウ
ム、及び硫酸を含有する酸性溶液に、スルファニル酸及
び／又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、ベ
ンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸の中の少なく
とも１種の化合物と脂肪族アミンとを併用すると、溶解
金属濃度の低い初期の段階においては、鉄−ニッケル合
金の溶解速度が抑制され、また溶解金属濃度が高くなっ
た時点においては、逆に溶解速度の低下が抑制され、処
理期間中の溶解速度の変動が小さく、最初から最後まで
平均して均一な処理が行える。
又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、安息香
酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸は、主
に過酸化水素の安定剤として作用し、脂肪族アミンは、
表面状態の仕上りの良し悪し、主に、孔食の発生防止剤
として作用する。過酸化水素、フッ化水素アンモニウ
ム、及び硫酸を含有する酸性溶液に、スルファニル酸及
び／又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、ベ
ンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸の中の少なく
とも１種の化合物と脂肪族アミンとを併用すると、溶解
金属濃度の低い初期の段階においては、鉄−ニッケル合
金の溶解速度が抑制され、また溶解金属濃度が高くなっ
た時点においては、逆に溶解速度の低下が抑制され、処
理期間中の溶解速度の変動が小さく、最初から最後まで
平均して均一な処理が行える。
【００１９】すなわち、本発明の溶解処理液は、浴組成
の管理が容易であり、有効成分の補充を行わなくても、
処理能力が大きく、しかも、処理後の鉄−ニッケル合金
表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりを得ること
ができる。また、溶解速度の変動が小さく、且つ過酸化
水素の安定性も良いので、常に均一な処理が行える。更
に、使用途中の液を翌日に持越して使用しても良好な仕
上りの鉄−ニッケル合金表面を得ることができる。更に
また、鉄−ニッケル合金の溶解時においてもミストの発
生がほとんど無く、作業環境も良好である。
の管理が容易であり、有効成分の補充を行わなくても、
処理能力が大きく、しかも、処理後の鉄−ニッケル合金
表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりを得ること
ができる。また、溶解速度の変動が小さく、且つ過酸化
水素の安定性も良いので、常に均一な処理が行える。更
に、使用途中の液を翌日に持越して使用しても良好な仕
上りの鉄−ニッケル合金表面を得ることができる。更に
また、鉄−ニッケル合金の溶解時においてもミストの発
生がほとんど無く、作業環境も良好である。
【００２０】
【実施例】以下に、実施例をもって本発明を説明する。 実施例１〜８、及び比較例１〜２ 過酸化水素８５ｇ／ｌ、フッ化水素アンモニウム４２．
５ｇ／ｌ、及び硫酸２．５ｇ／ｌの組成を有する酸性水
溶液に、表１に示す各種の化合物を所定量添加して溶解
処理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、４２
アロイ材リードフレーム（厚さ０．３ｍｍ）を４０℃で
処理し、下記〜の時点における溶解速度、過酸化水
素残存率、及び金属表面状態をそれぞれ測定した。その
結果を表１に示す。また、実施例３と比較例１について
の溶解金属濃度による溶解速度の変化を図１に示し、そ
れらの溶解金属濃度による過酸化水素残存率の変化を図
２に示す。 初浴（金属濃度０ｇ／ｌ） ４２アロイ材リードフレームを金属濃度１０ｇ／ｌ
まで溶解した時点 ４２アロイ材リードフレームを金属濃度１０ｇ／ｌ
まで溶解し、そのものを５０℃で２４時間放置した時点 なお、溶解速度は、４２アロイ材リードフレームを溶解
処理液に浸漬（微攪拌）させた時の重量減から厚さ減少
速度（μｍ／分）で求めた。過酸化水素残存率は、４２
アロイ材リードフレームを１０ｇ／ｌ（図２の場合には
各所定量）溶解した後、その溶解処理液を５０℃で２４
時間放置し、その放置前後の過酸化水素の濃度から算出
した。また、金属表面状態は、目視によって判定した。 表面状態の判定基準； ○：均一良好で孔食の発生無し △：部分的にムラあり ×：ムラ大又は孔食の発生あり
５ｇ／ｌ、及び硫酸２．５ｇ／ｌの組成を有する酸性水
溶液に、表１に示す各種の化合物を所定量添加して溶解
処理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、４２
アロイ材リードフレーム（厚さ０．３ｍｍ）を４０℃で
処理し、下記〜の時点における溶解速度、過酸化水
素残存率、及び金属表面状態をそれぞれ測定した。その
結果を表１に示す。また、実施例３と比較例１について
の溶解金属濃度による溶解速度の変化を図１に示し、そ
れらの溶解金属濃度による過酸化水素残存率の変化を図
２に示す。 初浴（金属濃度０ｇ／ｌ） ４２アロイ材リードフレームを金属濃度１０ｇ／ｌ
まで溶解した時点 ４２アロイ材リードフレームを金属濃度１０ｇ／ｌ
まで溶解し、そのものを５０℃で２４時間放置した時点 なお、溶解速度は、４２アロイ材リードフレームを溶解
処理液に浸漬（微攪拌）させた時の重量減から厚さ減少
速度（μｍ／分）で求めた。過酸化水素残存率は、４２
アロイ材リードフレームを１０ｇ／ｌ（図２の場合には
各所定量）溶解した後、その溶解処理液を５０℃で２４
時間放置し、その放置前後の過酸化水素の濃度から算出
した。また、金属表面状態は、目視によって判定した。 表面状態の判定基準； ○：均一良好で孔食の発生無し △：部分的にムラあり ×：ムラ大又は孔食の発生あり
【００２１】
【表１】
【００２２】実施例９、及び比較例３ 過酸化水素１００ｇ／ｌ、フッ化水素アンモニウム５０
ｇ／ｌ、及び硫酸２．５ｇ／ｌの組成を有する酸性水溶
液に、表２に示す各種の化合物を所定量添加して溶解処
理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、４２ア
ロイ材リードフレームを３０℃で処理し、前記〜の
時点における溶解速度、過酸化水素残存率、及び金属表
面状態を実施例１と同様に測定した。その結果を表２に
示す。
ｇ／ｌ、及び硫酸２．５ｇ／ｌの組成を有する酸性水溶
液に、表２に示す各種の化合物を所定量添加して溶解処
理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、４２ア
ロイ材リードフレームを３０℃で処理し、前記〜の
時点における溶解速度、過酸化水素残存率、及び金属表
面状態を実施例１と同様に測定した。その結果を表２に
示す。
【００２３】
【表２】
【図１】溶解金属濃度と溶解速度との関係を示すグラフ
である。
である。
【図２】溶解金属濃度と過酸化水素残存率との関係を示
すグラフである。
すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 保夫 千葉県松戸市高塚新田512−８ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23F 1/28
Claims (6)
- 【請求項１】 スルファニル酸及び／又はスルファニル
アミドからなること、を特徴とする過酸化水素、フッ化
水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定
剤。 - 【請求項２】 スルファニル酸及び／又はスルファニル
アミドと、脂肪族アミンとからなること、を特徴とする
過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有
する酸性溶液の安定剤。 - 【請求項３】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル酸及び／
又はスルファニルアミドからなる安定剤とを含有するこ
と、を特徴とする鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理
液。 - 【請求項４】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミンと、スル
ファニル酸及び／又はスルファニルアミドからなる安定
剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケル合金の
化学的溶解処理液。 - 【請求項５】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
及び硫酸を含有する酸性溶液と、脂肪族アミンと、サリ
チル酸、安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンス
ルホン酸からなる群から選ばれた少なくとも１種の安定
剤とを含有すること、を特徴とする鉄−ニッケル合金の
化学的溶解処理液。 - 【請求項６】 請求項３〜５のいずれか一項に記載の鉄
−ニッケル合金の化学的溶解処理液であって、更に脂肪
族アルコール及び／又は硫酸アンモニウムを含有する前
記溶解処理液。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08344495A JP3291512B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 |
| SG1996010626A SG63664A1 (en) | 1995-03-16 | 1996-09-13 | Chemical dissolution treatment liquid for iron-nickel alloy |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08344495A JP3291512B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08253880A JPH08253880A (ja) | 1996-10-01 |
| JP3291512B2 true JP3291512B2 (ja) | 2002-06-10 |
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ID=13802614
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08344495A Expired - Fee Related JP3291512B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 |
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|---|---|
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| DE10320909A1 (de) * | 2003-05-09 | 2004-11-18 | Poligrat Holding Gmbh | Elektrolyt zum elektrochemischen Polieren von Metalloberflächen |
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| CN102747369A (zh) * | 2012-06-18 | 2012-10-24 | 合肥华清金属表面处理有限责任公司 | 一种无黄烟铝合金化学抛光液及其制备方法 |
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