[go: up one dir, main page]

JP3208386B2 - 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法 - Google Patents

圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法

Info

Publication number
JP3208386B2
JP3208386B2 JP27588399A JP27588399A JP3208386B2 JP 3208386 B2 JP3208386 B2 JP 3208386B2 JP 27588399 A JP27588399 A JP 27588399A JP 27588399 A JP27588399 A JP 27588399A JP 3208386 B2 JP3208386 B2 JP 3208386B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
piezoelectric sensor
adhesive
actuator
conductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP27588399A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001116633A (ja
Inventor
英司 曽我
真吾 津田
清志 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Priority to JP27588399A priority Critical patent/JP3208386B2/ja
Priority to US09/618,987 priority patent/US6604431B1/en
Priority to SG200005423A priority patent/SG93895A1/en
Publication of JP2001116633A publication Critical patent/JP2001116633A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3208386B2 publication Critical patent/JP3208386B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4853—Constructional details of the electrical connection between head and arm
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • G11B5/4833—Structure of the arm assembly, e.g. load beams, flexures, parts of the arm adapted for controlling vertical force on the head
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
    • H10N30/302—Sensors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/877—Conductive materials

Landscapes

  • Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電センサ、この
圧電センサで変形情報が検出されるアクチュエータ、及
び検出された変形情報によってアクチュエータの変形を
抑制するディスク装置に関し、更にアクチュエータへの
前記圧電センサの固定方法、及び固定部の電気的な接続
状態のチェック方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄板状の圧電素子に電極を形成す
る場合、金、ニッケル、すずなどの導電性の電極材料で
メッキ処理し、且つ一対の電極を同材料で形成するのが
一般的であった。しかしこれらの電極材料の中で、ハン
ダ付けの際に問題になる濡れ性と接着剤による接着の際
に問題になる接着性との両方に優れた特性を持つ電極材
料がなかった。
【０００３】接着剤はその基本的な性質として、（１）
流動しなければならず、（２）細かい間隙に流れ込まな
ければならず、（３）そのためには、電極材料をよく濡
らすように濡れ性を有していなければならず、（４）最
終的には固化し、強じんな層を形成して、高い接着性を
維持することが要求される。つまり、接着剤は一度は流
動状態を経ていることが必要で、例えば、液体としての
低い表面張力により電極材料をよく濡らすことが好まし
い。
【０００４】例えば、金はハンダの濡れ性はよいが接着
性にやや難があり、逆にニッケルは接着性はよいが濡れ
性に難がある。
【０００５】従って、圧電センサの一方の電極にリード
線をハンダ付けし、他方の電極を所定の部材に接着して
固定するような場合、どちらかの作業性を犠牲にしなけ
ればならなかった。
【０００６】
【関連技術】また、本発明者らは、被測定部材の伸び縮
みによる歪みを検出するために、電極を接着性に優れた
ニッケルメッキで形成した圧電センサを、接着剤により
この被測定部材の歪み検出部に接着する方法を図９，１
０に示すように着想し、検討した。（なお、図９，１０
に示す構成は、公知のものでなく、従って従来技術では
ない。） 図９の圧電センサ５１は、圧電素子５１ａの上下面をニ
ッケルメッキ電極で挟んだ構造で、上面の電極を圧電セ
ンサの出力電極５１ｂ、下面の電極を圧電センサの基準
電位面となるグランド電極５１ｃとしている。そしてグ
ランド電極５１ｃの表面を接着剤５６により被測定部材
５７の歪み検出部に接着するが、このような構造では、
グランド電極５１ｃの接着面は完全に隠れてしまうた
め、グランド電極５１ｃの一部を圧電素子の上面まで延
在させ、この部分に基準電位導出用のリード５４をハン
ダ付している。
【０００７】このような構成では、リード５４によりグ
ランド電極５１ｃを確実に接地できる利点があるもの
の、出力電極５１ｂとグランド電極５１ｃの２電極にリ
ード線をハンダ付けする必要があり、更にグランド電極
５１ｃの一部を圧電素子の上面まで延在させるという特
殊な加工を施さなければならず、作業性とコストの面で
改善が求められる。
【０００８】図１０の接着方法は、少なくとも被測定部
材６５の歪みを検出する所定部分が導電性材料で形成さ
れ、且つこの所定部分がアースされることを想定して着
想したものである。圧電センサ６１は、圧電素子６１ａ
の上下面をニッケルメッキ電極で挟んだサンドウィッチ
構造となっており、上面の電極を圧電センサ６１の出力
電極６１ｂ、下面の電極を圧電センサ６１の基準電位面
となるグランド電極６１ｃとする。そしてグランド電極
６１ｃの表面を導電性の接着剤６４により被測定部材６
５の導電性材料で形成された歪み検出部に接着して固定
する。
【０００９】この場合、グランド電極６１ｃが直接被測
定部材６５にアースされるため、この電極にリードをハ
ンダ付けする必要がなく、更に汎用の圧電センサを使用
できる利点がある。しかしながら、接着面端部からはみ
出した接着剤により、グランド電極６１ｃと出力電極６
１ｂとが短絡する恐れがあるため、接着作業に特別な注
意が要求される。この図の例に従った場合には、薄板状
であればあるほど短絡する可能性が高くなると言えよ
う。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、圧電
センサの一方の電極にリード線をハンダ付し、他方の電
極を所定の部材に接着剤で接着して固定するような場
合、どちらの作業性も犠牲にすることのない圧電センサ
を提供することにある。
【００１１】別の発明の目的は、被測定部材の導電性部
分に圧電センサのグランド電極を接着剤により接着して
固定し、且つ電気的に接続する際に、はみ出た接着剤が
付着しても電極間が短絡しないようにし、接着作業を容
易にして作業の効率化を図ることにある。
【００１２】更に他の目的は、上記グランド電極と被測
定部材の導電性部分が電気的に接続されているか否か
を、容易に検査できる検査方法を提供することにある。
【００１３】更に他の目的は、ディスク装置のアクチュ
エータに上記の方法で圧電センサを配置することによ
り、配線及び組立て作業を簡素化することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本願の第１の発明の圧電
センサは、薄板状の圧電素子の第１の面に形成された第
１の電極と第２の面に形成された第２の電極とを有し、
前記第１の電極が前記第２の電極よりも濡れ性に優れた
導電性金属部材で形成され、前記第２の電極が前記第１
の電極よりも接着性に優れた導電性金属部材で形成され
ている。例えば、前記第１の電極は金メッキで形成さ
れ、前記第２の電極はニッケルメッキで形成されてもよ
い。
【００１５】本願の別の発明の取り付け方法では、前記
圧電センサを、歪みを検出するために被測定部材に接着
剤で接着するために、前記被測定部材の所定部分を導電
性材料で形成し、前記所定部分に非導電性の接着剤を介
在させて前記圧電センサの前記第２の電極を接合し、こ
の接合部分に所定の圧力を印加して固着し、且つ電気的
に接続する。この場合、接着剤に嫌気性光硬化性接着剤
を用いてもよい。
【００１６】本願の別の発明のアクチュエータでは、所
定の回動範囲にわたって回動自在に保持され、少なくと
も一部が導電性材料で構成されたアクチュエータアーム
と、前記アクチュエータアームに保持されたムービング
コイルと、該ムービングコイルと協働してボイスコイル
モータを構成して前記アクチュエータアームを回動駆動
するステータマグネットと、前記圧電センサとを有し、
前記導電性材料で形成された所定の導電部分に、非導電
性の接着剤を介在させて前記圧電センサの前記第２の電
極を、所定の圧力を印加しながら固着し且つ電気的に接
続する。
【００１７】また本願の別の発明のディスク装置では、
前記アクチュエータと、前記圧電センサからの検出信号
に基づいて前記アクチュエータアームの変形を抑制する
ため前記ムービングコイルに流れる電流を制御する制御
回路とを有し、前記所定の導電部分をアースする。
【００１８】更に本願の別の発明の接続検査方法では、
前記した取り付け方法で接着した前記圧電センサの前記
第２の電極と、前記被測定部材の前記所定部分の電気的
な接続の良否を、前記圧電センサを取り付ける前におけ
る、前記圧電センサの電極間の静電容量と、前記圧電セ
ンサを取り付けた後における、前記圧電センサの前記第
１の電極と前記被測定部材の前記所定部分間の静電容量
との比較に基づいて判定する。
【００１９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の形態を示
すハードディスク装置１の上面図であり、図２は、フラ
ットコイル１０を保持したアクチュエータアーム８の要
部斜視図である。
【００２０】図１において、ディスク２は、ベース３に
配設されたスピンドルモータ４のハブ５に一体的に保持
され、スピンドルモータにより回転駆動される。このデ
ィスク２は、スピンドルモータの軸方向に複数枚存在
し、スペーサ（図示せず）を介して所定の間隔で積層さ
れた状態で保持される。
【００２１】アクチュエータアーム８は、先端部にサス
ペンション部６ｂ（図１）を保持するアーム６ａが所定
の間隔をとって６層に形成されたサスペンションアーム
部６（図２）とコイルサポート部７とからなり、ベース
３に植立された回動軸９によって回動自在に保持されて
いる。
【００２２】コイルサポート部７には、回動軸９に対し
てサスペンションアーム部６と反対側においてフラット
コイル１０を保持するコイルサポート７ａ，７ｂが形成
されている。
【００２３】フラットコイル１０は、ベース３に固定さ
れた上側ステータマグネット保持板１１（図１）にフラ
ットコイル１０の上側で固定されたステータマグネット
（図示せず）、及び後述する下側ステータマグネット保
持板１７（図３）に固定されたステータマグネット１６
と共にボイス・コイル・モータ（以後ＶＣＭと称す）を
構成する。
【００２４】ＶＣＭは、アクチュエータアーム８を矢印
Ａ又は矢印Ｂ方向に回動し、このＶＣＭとアクチュエー
タアーム８とでアクチュエータ１２が構成されている。
尚、上側ステータマグネット保持板１１は、図１では、
その上側主要部が切り欠いて図示され、外形が破線で示
されている。また、フラットコイル１０の下側にも図３
に示すようにステータマグネット１６を保持するための
下側ステータマグネット保持板１７が、ベース３に配設
されている。
【００２５】６層の各アーム６ａにそれぞれ保持された
サスペンション部６ｂ（図１）の先端部にはスライダ１
３が保持され、このスライダ１３の所定位置には図示し
ない信号読出し用と書き込み用の各ヘッドが配設されて
いる。アクチュエータアーム８が矢印Ａ方向に回動して
回転中のディスク２の記録面上に移動したとき、各スラ
イダ１３がそれぞれ対応する複数のディスク２の記録面
上を飛行して、各ヘッドが所定の間隔を保って記録面と
対向するように構成されている。
【００２６】ベース３に配設されたランプ１４（図１）
は、アクチュエータアーム８がアンロードしてホームポ
ジションにあるとき、各サスペンション部６ｂの先端部
のタブ１５を載置する。圧電センサ１８は、後述するよ
うにこれが配設された被測定部材であるコイルサポート
７ｂの配設部分の伸び或いは縮み具合を検出し電気信号
に変換して出力する。
【００２７】図３は、本発明の実施の形態を示すアクチ
ュエータ１２（図１）のＶＣＭの構成図である。簡単の
ために、アクチュエータアーム８のサスペンションアー
ム部６（図１）が省かれている。また、ベース３（図
１）に配設された下側ステータマグネット保持板１７に
保持されたステータマグネット１６のみが示されている
が、実際には前記したように上側ステータマグネット保
持板１１（図１）にもフラットコイル１０を介在して対
向する位置に異極のステータマグネットが配置されてい
る。
【００２８】フラットコイル１０は、アクチュエータア
ーム８の回動中心を中心とする異なる径方向の線に沿っ
て延在する側辺部１０ａ，１０ｂと、両側辺部の径方向
外側の端部をつなぎ、アクチュエータアーム８の回動中
心を中心とする円弧に略沿って延在する外辺部１０ｃ
と、径方向内側の端部をつなぎ、アクチュエータアーム
８の回動中心を中心とする円弧に略沿って延在する内辺
部１０ｄとを有して閉路を形成するように略扁平に巻か
れており、４辺が図示のように略台形になっている。
【００２９】下側ステータマグネット保持板１７は、フ
ラットコイル１０の下方でステータマグネット１６を保
持する。このステータマグネット１６は、フラットコイ
ル１０の側辺部１０ａ，１０ｂがそれぞれ移動する領域
を略カバーするようにＮ極１６ａ，Ｓ極１６ｂが、図３
に示すように境界１６ｃを境にして一体に形成されてい
る。尚、上側のステータマグネットも同様に構成される
が、この場合下側のＳ極に対向してＮ極が、下側のＮ極
に対向してＳ極がそれぞれ形成されている。
【００３０】以上のように、フラットコイル１０は、ス
テータマグネット１６との間で電磁気的作用が生じるよ
うな関係に配置されているので、フラットコイル１０に
矢印ｍ方向の電流を流すと、その側辺部１０ａ，１０ｂ
においてそれぞれ回動方向を示す矢印Ｅ方向の力を得る
ため、アクチュエータ８は、時計方向の回動力を得る。
逆にフラットコイル１０に矢印ｎ方向の電流を流すと、
フラットコイル１０は、その側辺部１０ａ，１０ｂにお
いてそれぞれ回動方向を示す矢印Ｆ方向の力を得るた
め、アクチュエータ８は、反時計方向の回動力を得る。
フラットコイル１０は、このようにステータマグネット
１６と協働して相対的に回動するため、ムービングコイ
ルとも呼ばれる。
【００３１】以上のような構成の回動型のアクチュエー
タアームは、一般にバタフライ・モード（Butterfly Mo
de）と呼ばれる共振点を持つ。図４は、この時の共振に
よるアクチュエータアーム８の変形の様子を模式的に表
している。同図（ａ）は、変形していないアクチュエー
タアーム８の形状を示し、同図（ｂ）は、アクチュエー
タアーム８が左に反った左反りの状態を示し、同図
（ｃ）は、アクチュエータアーム８が右に反った右反り
の状態を示している。
【００３２】コイルサポート７ｂに固定された圧電セン
サ１８は、左反りのときは伸びを検出し、例えばその伸
び量に応じたレベルのプラス電圧を、逆に右反りのとき
は縮みを検出してその縮み量に応じたレベルのマイナス
電圧を含む伸縮検出信号を後述する出力電極から出力す
るように設定されている。
【００３３】図５は、本発明のハードディスク装置にお
いて、上記のように構成されたアクチュエータ１２を制
御する制御系の一例を示すブロック図である。アクチュ
エータ１２からは、ヘッド２０からの再生信号ｓ２と前
記圧電センサ１２の伸縮に応じて出力される伸縮検出信
号ｓ１が出力される。トラッキング制御回路２２は、再
生信号ｓ２からトラッキング誤差情報を取り出し、この
誤差情報に基づいてトラッキング制御を行なうための動
作信号ｓ４を加算器２３に出力する。
【００３４】制動制御回路２１は、圧電センサ１８から
伸縮検出信号ｓ１を入力し、伸縮が抑圧される方向にア
クチュエータ１２を制御する動作信号ｓ５を加算器２３
に出力する。加算器２３は、動作信号ｓ４とｓ５とを加
算して加算信号ｓ６を発生し、駆動回路２４は、この加
算信号ｓ６に基づいてアクチュエータ１２のＶＣＭを駆
動すべく、フラットコイル１０に流す駆動電流ｓ３をア
クチュエータ１２に出力する。
【００３５】以上のように構成されたアクチュエータ１
２の制御系によれば、ハードディスク装置の通常のトラ
ッキング制御に加え、前記したアクチュエータ１２のバ
タフライ・モードの共振を抑圧するように動作する。
【００３６】次にコイルサポート７ｂに固定される本発
明圧電センサの実施の形態を示す構成及びその取り付け
方法について説明する。ここで一例として使用される圧
電センサ１８の外形は、薄板状で縦（Ｌ）×横（Ｗ）×
厚み（Ｔ）＝４．０×１．６×０．１９［ｍｍ］と微小
なもので、図２に示す圧電センサ１８を、矢印ｈで示す
下方斜め手前から見た斜視図を図６に示し、更に図６中
の指示線Ａで示す位置での断面図を、図７に示す。
【００３７】図７から明らかなように、圧電センサ１８
は、圧電素子１８ａの上下面を異なる金属でメッキで形
成されたメッキ電極で挟んだサンドウィッチ構造をと
り、後述するように上面の電極が金メッキによる圧電セ
ンサの出力電極１８ｂ、下面の電極がニッケルメッキに
よる圧電センサの基準電位面となるグランド電極１８ｃ
として構成されている。
【００３８】この圧電センサ１８を、導電性の例えばア
ルミニウムで形成されてアースされたコイルサポート７
ｂの所定位置に固定する際には、図８に示す様に圧電セ
ンサ１８のグランド電極１８ｃの表面を非導電性の接着
剤２３を用いて接着する。この際、非導電の接着剤２３
の層を十分薄くすることにより、コイルサポート７ｂ及
びグランド電極１８ｃの各接着面の表面粗さによって両
表面を直接接触させ、電気的に接続している。
【００３９】このため、接着剤としては、接着層が薄く
できるように低粘度で流動性に富み作業性に優れた嫌気
性（ａｎａｅｒｏｂｉｃ）光硬化性接着剤を用いる。例
えば、ＬＯＣＴＩＴＥ社製３２６ＬＶ／ＵＶ（商品名）
が適している。またグランド電極１８ｃは、嫌気性光硬
化性接着剤による接着性に優れたニッケルメッキで形成
されている。
【００４０】嫌気性光硬化性接着剤とは、嫌気性（嫌気
硬化性）と共に光硬化性の性質を合わせ持っている接着
剤である。このような接着剤の一例として、エポキシ
（メタ）アクリレートなどが良く知られている。嫌気性
（嫌気硬化性）とは、隣接する二面間に於て空気が遮断
される事により重合硬化するという性質である。
【００４１】ここで光硬化性の性質を利用して（例え
ば、紫外線（ＵＶ）照射によって）被着体周辺（硬化し
ない露出部分であり、言うなれば、はみ出し部分）をか
ためてしまえば、中心部には空気が入らず、嫌気性接着
剤が硬化するために、全体としてかたまって接着でき
る。このように、嫌気性（嫌気硬化性）と共に光硬化性
の性質を合わせ持っている接着剤を利用すると便利なこ
とがある。この他、光硬化性と熱硬化性とを併用し、光
で早く硬化したあと温度を上げて接着を完全にするとい
う方法も、補完的に利用できる。
【００４２】実験の結果、これらの条件の下に、接着剤
の硬化中に１．９［Ｎ］程度の荷重を接着面にかけるこ
とにより、コイルサポート７ｂとグランド電極１８ｃ間
の電気抵抗が０．５〜０．９［Ω］程度になり、十分使
用条件を満たすことがわかった。一方、出力電極１８ｂ
には、前記した伸縮検出信号を導出するリード線２４が
はんだ付けされ、更にその周りをリード線の切断防止の
目的で接着剤２６で覆っている。この出力電極１８ｂ
は、はんだの濡れ性に優れた金でメッキされている。
【００４３】以上の様に、本発明による圧電センサ１８
は、一方の電極が接着剤による接着性に優れたニッケル
でメッキされ、他方の電極がはんだ濡れ性に優れた金で
メッキされている。このため、接着作業及びハンダ付け
作業を円滑に進めることができるだけでなく、金（金
色）とニッケル（灰色）との色の違いが明確なため、各
電極を識別するのためのマーキングを施す必要がなく、
その分製造上のミスを少なくしてコストを下げることも
可能となる。
【００４４】また、本発明の圧電センサの取り付け方法
では、グランド電極１８ｃを非導電性の接着剤により、
直接導電性のコイルサポート７ｂに接着すると共に電気
的に接続している。このため、例え接着剤が接着面端部
からはみ出し、グランド電極１８ｃと出力電極１８ｂと
を結ぶように付着しても短絡する恐れがない。
【００４５】次に、圧電センサ１８が導電性のコイルサ
ポート７ｂに非導電性の接着剤で接着される際に電気的
に接続されているか否かをチェックする本発明による検
査方法について説明する。コイルサポート７ｂとグラン
ド電極１８ｃとの電気的な接続を検査するのに、この間
の電気抵抗を直接調べるのは極めて困難なため、リード
線２４（又は出力電極１８ｂ）とコイルサポート間７ｂ
の静電容量を測定することによって行なう。
【００４６】前記したように圧電センサ１８は、圧電素
子１８ａの上下面を出力電極１８ｂとグランド電極１８
ｃとで挟んだ構造をしているので、コンデンサとしての
性質を持っている。このような構成の圧電センサ１８自
体の静電容量は６００［ｐＦ］程度である。
【００４７】一方、接着剤２３の層が厚く形成されてグ
ランド電極１８ｃとコイルサポート７ｂとが電気的に接
続されていないと仮定すると、これらは非導電性の接着
剤２３を挟んだコンデンサの性質を持ち、コイルサポー
ト７ｂとグランド電極１８ｃ間に２つのコンデンサが直
列接続された状態となるため、この間の静電容量は数十
［ｐＦ］となる。
【００４８】このように、リード線２４（又は出力電極
１８ｂ）とコイルサポート７ｂ間の静電容量は、グラン
ド電極１８ｃとコイルサポート７ｂとの電気的な接続が
不良の場合には、正常な場合に比べて数十分の一まで減
少する。従って圧電センサ１８を取り付けた後で、リー
ド線２４（又は出力電極１８ｂ）とコイルサポート７ｂ
間の静電容量を測定し、取り付け前における圧電センサ
１８の電極１８ｂ，１８ｃ間の静電容量と比較すること
によって、グランド電極１８ｃとコイルサポート７ｂと
の電気的な接続の良否を判定することができる。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば、圧電センサの一対の電
極が、それぞれ外部接続処理に適した部材で形成される
ため、例えば一方の電極をハンダ付し、他方の電極を接
着剤で接着するような場合にも、何れの作業性も損なう
ことがない。
【００５０】また、別の発明によれば、非導電性の接着
剤を用いて被測定部材の導電性部分に圧電センサのグラ
ンド電極を接着するため、はみ出した接着剤により電極
間が短絡する恐れがなく、このため接着作業を容易にし
て作業の効率化を図ることができる。
【００５１】また、前記実施形態のハードディスク装置
のアクチュエータに本発明の圧電センサを上記方法で接
着することにより、圧電センサの基準電位面がアクチュ
エータアームのコイルサポート７ｂを通して直接アース
されるため線材が一本省略でき、その分配線経路及び組
立て作業を簡略化できる。
【００５２】更に、圧電センサのグランド電極と圧電セ
ンサが接着される被測定部材の導電性部分間の電気的な
接続の良否を、出力電極と上記導電性部分間の静電容量
を測定することで判定できるため、この圧電センサを使
用して動作する、例えば前記実施形態のハードディスク
装置の、この部分の接触不良による動作不良を未然に防
ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施の形態を示すハードディスク装
置の上面図である。
【図２】 フラットコイルを保持したアクチュエータア
ームの要部斜視図である。
【図３】 アクチュエータのＶＣＭの要部構成図であ
る。
【図４】 バタフライ・モードでの共振によるアクチュ
エータアーム８の変形の様子を示す図である。
【図５】 アクチュエータを制御する制御系の一例を示
すブロック図である。
【図６】 図２に示す圧電センサ１８を、矢印ｈで示す
下方斜め手前から見た斜視図である。
【図７】 本発明の圧電センサの実施の形態の構成を示
す断面図である。
【図８】 本発明の圧電センサの取り付け方法の説明に
供する図である。
【図９】 発明者が着想した、圧電センサの接着方法の
説明に供する図である。
【図１０】 発明者が着想した、圧電センサの接着方法
の説明に供する図である。
【符号の説明】
１ ハードディスク装置、２ ディスク、３ ベース、
４ スピンドルモータ、５ ハブ、６ サスペンション
アーム部、６ａ アーム、６ｂ サスペンション部、７
コイルサポート部、７ａ コイルサポート、７ｂ コ
イルサポート、８ アクチュエータアーム、９ 回動
軸、１０ フラットコイル、１０ａ 側辺部、１０ｂ
側辺部、１０ｃ 外辺部、１０ｄ 内辺部、１１ 上側
ステータマグネット保持板、１２ アクチュエータ、１
３ スライダ、１４ ランプ、１５タブ、１６ ステー
タマグネット、１６ａ Ｎ極、１６ｂ Ｓ極、１６ｃ
境界、１７ 下側ステータマグネット保持板、１８ 圧
電センサ、１８ａ 圧電素子、１８ｂ 出力電極、１８
ｃ グランド電極、２０ ヘッド、２１ 制動制御回
路、２２ トラッキング制御回路、２３ 接着剤、２４
リード線、２５ ハンダ、２６ 接着剤。
フロントページの続き (72)発明者 津田 真吾 神奈川県藤沢市桐原町１番地 日本ア イ・ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 (72)発明者 佐藤 清志 神奈川県藤沢市桐原町１番地 日本ア イ・ビー・エム株式会社 藤沢事業所内 (56)参考文献 特開 平10−215139（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−55656（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−82048（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−154834（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 1/16 H01L 41/08 H02K 33/18

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】薄板状の圧電素子の第１の面に形成された
    第１の電極と第２の面に形成された第２の電極とを有
    し、前記第１の電極が前記第２の電極よりも濡れ性に優
    れた導電性金属部材で形成され、前記第２の電極が前記
    第１の電極よりも接着性に優れた導電性金属部材で形成
    されている圧電センサを、歪みを検出するために被測定
    部材に接着剤で接着する取り付け方法であって、 前記被測定部材の所定部分を導電性材料で形成し、 前記所定部分に非導電性の接着剤を介在させて前記圧電
    センサの前記第２の電極を接合し、 該接合部分に所定の圧力を印加して固着し、且つ電気的
    に接続することを特徴とする圧電センサの取り付け方
    法。
  2. 【請求項２】前記接着剤を嫌気性光硬化性接着剤とした
    ことを特徴とする請求項１記載の圧電センサの取り付け
    方法。
  3. 【請求項３】所定の回動範囲にわたって回動自在に保持
    され、少なくとも一部が導電性材料で構成されたアクチ
    ュエータアームと、 前記アクチュエータアームに保持されたコイルと、 前記コイルと協働してボイスコイルモータを構成して前
    記アクチュエータアームを回動駆動するステータマグネ
    ットと、 薄板状の圧電素子の第１の面に形成された第１の電極と
    第２の面に形成された第２の電極とを有し、前記第１の
    電極が前記第２の電極よりも濡れ性に優れた導電性金属
    部材で形成され、前記第２の電極が前記第１の電極より
    も接着性に優れた導電性金属部材で形成されている、圧
    電センサとを有し、 前記導電性材料で形成された所定の導電部分に、非導電
    性の接着剤を介在させて前記圧電センサの前記第２の電
    極を、所定の圧力を印加しながら固着し且つ電気的に接
    続したことを特徴とするアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 請求項３記載のアクチュエータと、 前記圧電センサからの検出信号に基づいて前記アクチュ
    エータアームの変形を抑制するため前記コイルに流れる
    電流を制御する制御回路とを有し、 前記所定の導電部分をアースしたことを特徴とするディ
    スク装置。
  5. 【請求項５】請求項１記載の取り付け方法で接着した前
    記圧電センサの前記第２の電極と、前記被測定部材の前
    記所定部分の電気的な接続を検査する接続検査方法であ
    って、 前記圧電センサを取り付ける前における、前記圧電セン
    サの電極間の静電容量と、前記圧電センサを取り付けた
    後における、前記圧電センサの前記第１の電極と前記被
    測定部材の前記所定部分との間の静電容量との比較に基
    づいて、前記電気的な接続の良否を判定することを特徴
    とする接続検査方法。
  6. 【請求項６】前記第１の電極は金メッキで形成され、前
    記第２の電極はニッケルメッキで形成されたことを特徴
    とする請求項１又は請求項２記載の圧電センサの取り付
    け方法。
  7. 【請求項７】前記第１の電極は金メッキで形成され、前
    記第２の電極はニッケルメッキで形成されたことを特徴
    とする請求項３記載のアクチュエータ。
  8. 【請求項８】前記第１の電極は金メッキで形成され、前
    記第２の電極はニッケルメッキで形成されたことを特徴
    とする請求項４記載のディスク装置。
JP27588399A 1999-09-29 1999-09-29 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法 Expired - Fee Related JP3208386B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27588399A JP3208386B2 (ja) 1999-09-29 1999-09-29 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法
US09/618,987 US6604431B1 (en) 1999-09-29 2000-07-19 Apparatus and method for fixing and checking connections of piezoelectric sensor, actuator, and disk unit
SG200005423A SG93895A1 (en) 1999-09-29 2000-09-21 Piezoelectric sensor, method for fixing the same, actuator, disk unit, and method for checking connections

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP27588399A JP3208386B2 (ja) 1999-09-29 1999-09-29 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001116633A JP2001116633A (ja) 2001-04-27
JP3208386B2 true JP3208386B2 (ja) 2001-09-10

Family

ID=17561775

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP27588399A Expired - Fee Related JP3208386B2 (ja) 1999-09-29 1999-09-29 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6604431B1 (ja)
JP (1) JP3208386B2 (ja)
SG (1) SG93895A1 (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3631688B2 (ja) * 2001-03-19 2005-03-23 アルプス電気株式会社 磁気ヘッド装置
JP3756109B2 (ja) * 2001-11-28 2006-03-15 富士通メディアデバイス株式会社 磁気ヘッド支持機構及び磁気ヘッド位置決め制御機構
US7572524B2 (en) * 2002-09-23 2009-08-11 Siemens Energy, Inc. Method of instrumenting a component
TWI246614B (en) * 2003-06-20 2006-01-01 Ind Tech Res Inst Low-density wavelength division multiplexing light transmission module
US7215504B1 (en) 2005-10-19 2007-05-08 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive using an optical sensor to detect a position of an actuator arm
US7619844B1 (en) 2005-12-30 2009-11-17 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive comprising a mechanical position sensor to prevent a runaway condition
US7495857B1 (en) 2005-12-30 2009-02-24 Western Digital Technologies, Inc. Servo writing a disk drive by writing spiral tracks using a mechanical position sensor
US7365932B1 (en) 2005-12-30 2008-04-29 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive comprising an optical sensor for vibration mode compensation
US7480116B1 (en) 2006-01-20 2009-01-20 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive employing coarse position feedback from mechanical position sensor to improve format efficiency
US7671519B2 (en) * 2007-08-31 2010-03-02 Cts Corporation Bond pad for use with piezoelectric ceramic substrates
JP2009266348A (ja) * 2008-04-28 2009-11-12 Fujitsu Ltd ヘッドサスペンションおよびディスク装置
RU2492491C2 (ru) * 2011-09-13 2013-09-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Элпа" с опытным производством" (ОАО "НИИ "Элпа") Способ определения параметров изделий пьезотехники
CN103337588B (zh) * 2013-07-08 2015-07-08 西北工业大学 一种具有单面引线结构的压电激励器及其制作方法
US10840179B2 (en) * 2017-12-29 2020-11-17 Texas Instruments Incorporated Electronic devices with bond pads formed on a molybdenum layer
CN110137338B (zh) * 2019-04-02 2023-05-02 苏州诺莱声科技有限公司 一种压电元件引线焊接方法及具有引脚的压电元件
US11557318B1 (en) * 2022-03-29 2023-01-17 Sae Magnetics (H.K.) Ltd. Head gimbal assembly, manufacturing method thereof, and disk drive unit

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02261058A (ja) 1989-03-31 1990-10-23 Toshiba Corp 電力変換装置
EP0398031A1 (en) 1989-04-19 1990-11-22 Seiko Epson Corporation Ink jet head
JPH0555656A (ja) 1991-08-29 1993-03-05 Toyota Motor Corp 圧電素子の電極構造
US5546008A (en) 1994-08-11 1996-08-13 General Electric Co. Inflatable capacitance measuring device
JPH0982048A (ja) 1995-09-12 1997-03-28 Toshiba Corp ディスク記録再生装置に適用するヘッドアクチュエータ機構及びその駆動制御方式
US5977689A (en) 1996-07-19 1999-11-02 Neukermans; Armand P. Biocompatible, implantable hearing aid microactuator
JPH10211701A (ja) * 1996-11-06 1998-08-11 Seiko Epson Corp 圧電体素子を備えたアクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド、並びにこれらの製造方法
JPH10154834A (ja) 1996-11-21 1998-06-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 強誘電体素子およびその製造方法
JP3398295B2 (ja) 1997-01-31 2003-04-21 京セラ株式会社 圧電部品及びその製造方法
JP3450697B2 (ja) 1998-02-13 2003-09-29 キヤノン株式会社 太陽電池モジュールの接地状態測定方法および装置
US6265139B1 (en) 1998-12-30 2001-07-24 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Method for fabricating piezoelectric/electrostrictive ceramic micro actuator using photolithography

Also Published As

Publication number Publication date
SG93895A1 (en) 2003-01-21
JP2001116633A (ja) 2001-04-27
US6604431B1 (en) 2003-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3208386B2 (ja) 圧電センサの取り付け方法、アクチュエータアーム、ディスク装置及び接続検査方法
US8134809B2 (en) Disk drive head gimbal assembly including a PZT micro-actuator with a pair of separate PZT elements
JP5478331B2 (ja) 電子機器と、ディスク装置用サスペンション
US8665566B1 (en) Suspension tail design for a head gimbal assembly of a hard disk drive
US7525769B2 (en) Micro-actuator having swing support to allow horizontal swinging movement of slider support
CN102915746B (zh) 悬臂件、磁头折片组合以及硬盘驱动单元
WO2000030080A1 (fr) Mecanisme support pour tete d'enregistrement/de reproduction, et dispositif d'enregistrement/de reproduction
CN102044260A (zh) 盘驱动器悬架及其制造方法
JPH11312310A (ja) ヘッドアセンブリ及びサスペンション
US20060246748A1 (en) Coil assemby, head suspension assembly, disk device, and method of manufacturing head suspension assembly
CN114512148A (zh) 悬架组件及盘装置
JPH07244826A (ja) 磁気ディスク駆動装置
CN1218298C (zh) 磁头组件以及磁头组件的制造和接线方法
JPH07176181A (ja) ディスク駆動装置、およびその組立方法
CN1329884C (zh) 磁头传动器组件及设置有所述组件的盘驱动器
JP4095580B2 (ja) ヘッドアクチュエータアッセンブリの製造方法およびディスク装置の製造方法
JPH07262540A (ja) 磁気ディスク装置のアクチュエータアームアセンブリ
JP2006209918A (ja) ヘッドジンバルアセンブリの製造方法、ヘッドジンバルアセンブリおよび磁気ディスクドライブ装置
JP2007052909A (ja) ディスク装置のｈｇａ用フレキシブルケーブルフレームアセンブリ及びこれを用いたヘッドジンバルアセンブリ
JP2023097516A (ja) ヘッドサスペンションアッセンブリおよびディスク装置
JP2014238895A (ja) ヘッドサスペンションアッセンブリおよびこれを備えたディスク装置
US20240096379A1 (en) Suspension assembly and disk device
JP2003077232A (ja) 磁気ディスク装置
US20050219761A1 (en) Disk device
JPH10124834A (ja) 歪みゲージの接着固定方法及びその方法を用いたアクチュエータ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees