JP2011097121A5 - 露光装置、及び方法 - Google Patents

Claims (20)

1. 投影光学系と前記投影光学系の像面側に形成された液浸領域の液体とを介して基板を露光する露光装置において、
   前記投影光学系は、該投影光学系の像面に最も近い第１光学素子を有し、
   前記投影光学系の像面側に設けられた所定面と前記第１光学素子との間に液体の液浸領域を形成する液浸機構と、
   前記液浸機構のうち前記液浸領域の液体と接触する面を観察する観察装置とを備えた露光装置。
2. 前記観察装置は、前記面の画像を取得する
   請求項１記載の露光装置。
3. 前記観察装置は、前記面の汚染状態を確認することに用いられる
   請求項１又は２記載の露光装置。
4. 前記観察装置は、前記投影光学系の像面側に配置された所定面を介して、前記面を観察する
   請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。
5. 前記所定面は透明部材の表面を含み、
   前記観察装置は前記透明部材を介して前記面を観察する
   請求項４記載の露光装置。
6. 前記投影光学系の像面側で移動可能なステージを有し、
   前記ステージの上面は前記所定面を含む
   請求項４又は５記載の露光装置。
7. 前記観察装置の少なくとも一部は前記ステージの内部に設けられている
   請求項６記載の露光装置。
8. 前記ステージは前記基板を保持して移動可能である
   請求項６又は７記載の露光装置。
9. 前記ステージは、互いに独立して移動可能な第１ステージ及び第２ステージを含み、
   前記第１ステージは前記基板を保持して移動し、前記第２ステージは露光処理に関する計測を行う計測器を保持して移動し、
   前記第２ステージの上面が前記所定面を含む
   請求項６〜８のいずれか一項記載の露光装置。
10. 互いに独立して移動可能な第１ステージ及び第２ステージを含み、
    前記第１ステージ及び前記第２ステージは、前記投影光学系の下に形成された液浸領域を前記第１ステージの上面と前記第２ステージの上面との間で移動可能なように、前記第１ステージと前記第２ステージとが接触又は接近した状態において、ともに移動される
    請求項１〜５のいずれか一項記載の露光装置。
11. 前記第１ステージは前記基板を保持して移動し、
    前記観察装置の少なくとも一部は、前記第２ステージの内部に設けられている
    請求項１０記載の露光装置。
12. 前記第１ステージは、前記基板を保持して移動し、
    前記第２ステージは、前記基板を保持しない
    請求項９〜１１のいずれか一項記載の露光装置。
13. 前記液浸領域は、前記第１ステージが前記投影光学系の下の位置から移動する際に、前記第１ステージの上面から前記第２ステージの上面に移動する
    請求項９〜１２のいずれか一項記載の露光装置。
14. 前記液浸領域は、前記第１ステージが前記投影光学系の下の位置に移動される際に、前記第２ステージの上面から前記第１ステージの上面に移動される
    請求項９〜１３のいずれか一項記載の露光装置。
15. 前記観察装置は、視野を有し、前記液浸領域と前記視野とを相対的に移動しながら観察する
    請求項１〜１４のいずれか一項記載の露光装置。
16. 前記観察装置は、前記画像を表示する表示装置を含む
    請求項１〜１５のいずれか一項記載の露光装置。
17. 前記観察装置は、撮像素子を含む
    請求項１〜１６のいずれか一項記載の露光装置。
18. 前記液浸機構は、液体を脱気する脱気装置を有し、
    前記観察装置の観察結果に基づいて、前記液浸領域を形成する液体中に気体部分があると判断したとき、脱気された液体を供給するように前記液浸機構を制御する制御装置を有する
    請求項１〜１７のいずれか一項記載の露光装置。
19. 前記観察装置は、照明装置を含む
    請求項１〜１８のいずれか一項記載の露光装置。
20. 投影光学系と前記投影光学系の像面側に形成された液浸領域の液体とを介して基板を露光する露光装置に用いられる方法であって、前記投影光学系は、該投影光学系の像面に最も近い第１光学素子を有し、前記露光装置は、前記投影光学系の像面側に設けられた所定面と前記第１光学素子との間に液体の液浸領域を形成する液浸機構を備え、
    前記液浸機構のうち前記液浸領域の液体と接触する面を観察することと、
    前記面の汚染状態を確認することと、を含む方法。