JP2010223465A - クリーン空調システム - Google Patents

Abstract

【課題】 従来の空調システムにおいて必要としていた２重化した床やリターンダクトを必要とせず、特に、近年の液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造における、マザーガラスの大型化に伴う、装置の大型化、大重量化に対応できる、空調システムを提供する。
【解決手段】 建物の室の天井である第１の天井の下方、装置の上側に、該装置領域全体だけを第１の天井に沿って覆う、第２の天井を設け、該第２の天井の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁を設けているもので、前記障壁の、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さよりも低い位置に、障壁を開口して空気を通す障壁開口部を設け、且つ、前記第２の天井には該天井を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルターの上方にはファンが設けられている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、空気環境の清浄度を必要とする空調システムに関し、特に、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行うための空調システムに関する。

液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行う場合、処理を行うための装置は、空気の清浄度を良好にすることを必要としており、従来、図８や図９に示される空調システムが、一般的な空調システムとして用いられていた。
図８、図９において、１は装置、４はエアフィルター、５はファン、６は空気の流れ、１０は建物の室（部屋とも言う）、１０ａは室の床、１０ｂは室の天井、１０ｃは室の壁部、１１は空間、２１は第２の天井、２２は第２の床、２２ａは床開口部、２３はリターンダクトであり、図中の矢印は空気の流れ６の向きを表す。
図８、図９に示される空調システムにおいては、ファン５によって生じた気流によって、空気はエアフィルター４を通って清浄化され、装置１に到達した後に、第２の床２２を開口する床開口部２２ａを通って第２の床２２の下方を流れ、リターンダクト２３を通って上方へ送られた後、再度エアフィルター４を通って下方に流れ、空気が循環する。
常にエアフィルター４を通った空気が装置１にあたることにより、装置１の周囲の空気の清浄度が保たれる。
図８に示される空調システムにおいては、建物の室の天井１０ｂと第２の天井２１の間に密閉された空間を作り空気の通り道としている。
図９に示される空調システムにおいては、ダクト２３をエアフィルター４の位置まで到達させている点で図１と異なる。
図９に示される空調システムにおいては、第２の天井２１と建物の室の天井１０ｂの間の密閉度は図８に示される空調システムほど高くする必要はなく、場合によっては第２の天井２１は不要である。
尚、図８に示される空調システムと図９に示される空調システムとでは、ファン５の位置が異なるが、本質的な問題でなく、ファン５はどちらの例でも空気の経路上のどこかに存在していればよい。
図８に示される空調システムのようにファン５とエアフィルター４を近接させる場合、ファンとフィルターが一体となったＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）を用いるのが一般的である。
通常、ファン５や装置１により温度が上昇するため、必要に応じて、温度上昇を抑えるために、空気の経路上に、空気冷却装置（図示していない）を設けている。

このような、従来の、図８、図９に示される空調システムは、ともに第２の床２２によって床を２重化しており、建築コスト増、建築工期長期化を招いている。
さらに、図８、図９に示される空調システムは、ともに、リターンダクト２３を介して空気を上方に送る必要があるため、リターンダクト２３の施工費用がかかり、さらに、リターンダクト２３のスペースを考慮しなければならず、装置の配置の制約も生じさせていた。
特に、液晶用カラーフィルターでは近年マザーガラスの大型化に伴い、これを製造するための製造装置の大型化、大重量化が進み、重い製造装置を支えるための２重床の施工費用はさらに増加する傾向にある。

特開２０００−１６１７３５号公報
特開２００４−１０８６３１号公報

上記のように、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行う場合、処理を行うための装置は、空気の清浄度を良好にすることを必要としており、従来、図８や図９に示される空調システムが、一般的な空調システムとして用いられていたが、このような従来の空調システムは、第２の床２２によって床を２重化しており、建築コスト増、建築工期長期化を招いているという問題や、ターンダクト２３を介して空気を上方に送る必要があるため、リターンダクト２３の施工費用がかかり、さらに、リターンダクト２３のスペースを考慮しなければならず、装置の配置の制約も生じさせるという問題があり、対応が求められていた。
特に、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造においては、近年のマザーガラスの大型化に伴い、装置の大型化、大重量化が進み、一層対応が求められるようになってきた。
本発明はこれに対応するもので、従来の空調システムにおいて必要としていた２重化した床やリターンダクトを必要とせず、装置の配置の制約を少なくでき、且つ、簡単な構造で装置の大型化、大重量化に伴う建築コスト増を必要とせず、建築工期短期化を図ることができる空調システムを、特に、近年の液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造における、マザーガラスの大型化に伴う、装置の大型化、大重量化に対応できる、空調システムを提供しようとするものである。

本発明のクリーン空調システムは、清浄度を良くするための設備や構造を設けていない、床、天井、壁部に囲まれる部屋である建物の室内に配される装置に対して、該装置の上側から所望する高さの範囲まで空気環境を清浄度良くしておくためのクリーン空調システムであって、前記建物の室の天井である第１の天井の下方、前記装置の上側に、前記装置領域全体だけを第１の天井に沿って覆う、第２の天井を設け、該第２の天井の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁を設けているもので、前記障壁には、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さよりも低い位置に、該障壁を開口し空気を通す障壁開口部を設け、且つ、前記第２の天井には、該天井を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルターの上方にはファンが設けられており、該ファンを動作することによって、エアフィルターを通して空気を前記第２の天井と前記障壁に囲まれた前記装置へ向かって下方に流れるようにし、また、該ファンを動作させることによって、エアフィルターを通して下方へ送られた空気を、前記障壁開口部を通して前記第２の天井と前記障壁に囲まれる側から外側へ流すものであることを特徴とするものである。
そして、上記のクリーン空調システムであって、空気冷却装置を、前記障壁開口部付近、もしくは、前記ファン付近に配していることを特徴とするものである。
そしてまた、上記いずれかのクリーン空調システムであって、前記障壁開口部を複数の開口孔にて形成し、且つ、該開口孔の大きさ、密度を調整し、前記建物の室の床と前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域内において、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さより下方へ流れた空気が、再び上方へ巻き上がったり、前記障壁開口部にて前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域の外側から内側に空気が逆流しないようにしていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのクリーン空調システムであって、前記第１の天井と前記第２の天井の間に、第３の天井を設けていることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのクリーン空調システムであって、前記障壁が帯電防止特性を有する樹脂製のカーテンであることを特徴とするものである。
また、上記いずれかのクリーン空調システムであって、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行うための空調システムであることを特徴とするものである。
尚、ここでの、「装置領域全体」とは、装置領域として必要な領域全体を意味するものであり、製造装置の場合、該装置と製品とを清浄度良く動作させるために必要な領域も含むものです。
また、「清浄度」とは、クリーンルームの清浄度と同じで、米国ＦＥＤ規格（ＦＥＤーＳＴＤー２０９）では、１ｃｆ（１キュービックフィートで、１辺１フィートの立方体を意味する）あたりの粒径０．５μｍ以上のパーティクルの数でクラス分けされており、液晶表示装置用のカラフィルター形成基板の製造の場合、通常、清浄度クラスは、米国ＦＥＤ規格（ＦＥＤーＳＴＤー２０９）で、クラス１００の清浄度ないしクラス１００より良い清浄度が求められる。

（作用）
本発明のクリーン空調システムは、このような構成とすることにより、従来の空調システムにおいて必要とした２重化した床やリターンダクトを必要とせず、装置の配置の制約を少なくでき、且つ、簡単な構造で建築コスト増を必要とせず、建築工期短期化を図ることができる空調システムの提供、特に、近年の液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造における、マザーガラスの大型化に伴う、装置の大型化、大重量化に対応できる、空調システムの提供を可能としている。
具体的には、建物の室の天井である第１の天井の下方、前記装置の上側に、前記装置領域全体だけを第１の天井に沿って覆う、第２の天井を設け、該第２の天井の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁を設けているもので、前記障壁には、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さよりも低い位置に、該障壁を開口し空気を通す障壁開口部を設け、且つ、前記第２の天井には、該天井を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルターの上方にはファンが設けられており、該ファンを動作することによって、エアフィルターを通して空気を前記第２の天井と前記障壁に囲まれた前記装置へ向かって下方に流れるようにし、また、該ファンを動作させることによって、エアフィルターを通して下方へ送られた空気を、前記障壁開口部を通して前記第２の天井と前記障壁に囲まれる側から外側へ流すものであることにより、これを達成している。
即ち、本発明のクリーン空調システムは、建物の室内において装置領域全体を覆うだけの第２の天井、障壁開口部を設けた障壁、ファン、エアフィルターを配するだけの簡単な構造で、従来必要だった２重床とリターンダクトを不要にし、建築コストダウン、工期短縮、工場レイアウトのフレキシビリティ向上を実現できるものとしている。
ファンを動作することによって、エアフィルターを通して空気を第２の天井と障壁に囲まれた前記装置へ向かって下方に流れるようにし、また、ファンを動作させることによって、エアフィルターを通して下方へ送られた空気を、障壁開口部を通して第２の天井と障壁に囲まれる側から外側へ流すものであることにより、良い清浄度が求められる範囲については、清浄度の良い空気のみが触れることとなり、良い清浄度が求められる装置の所望の領域を清浄度よく維持することを可能としている。
本発明は、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造等の製造においては、装置の清浄度が必要とされる範囲を、限定して清浄度良くして、装置を動作させても有効であることに着目して成したものです。
尚、先にも述べたように、「装置領域全体」とは、装置領域として必要な領域全体を意味するものであり、製造装置の場合、該装置と製品とを清浄度良く動作させるために必要な領域も含むものです。

また、空気冷却装置を、前記障壁開口部付近、もしくは、前記ファン付近に配していることにより、ファン及び装置の発熱により温度上昇した空気を冷却することを可能としている。
空気冷却装置の配設は、特に、温度調整が必要とされる装置においては有効である。
また、障壁開口部を複数の開口孔にて形成し、且つ、該開口孔の大きさ、密度を調整することにより、建物の室の床と前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域内において、装置に対して良い清浄度が求められる所望する高さより下方へ流れた空気が、再び上方へ巻き上がったり、前記障壁開口部にて前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域の外側から内側に空気が逆流しないようにできる。
また、第１の天井と第２の天井の間に、第３の天井を設けていることにより、第１の天井からの発塵が下方へ落ちないようにできる。
また、障壁が帯電防止特性を有する樹脂製のカーテンであることにより、
取り扱いがし易く、コスト面でも有利であり、且つ、静電気で異物が付着してしまうのを防止できる。
特に、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行うための空調システムである場合には、有効である。

本発明は、上記のように、従来の空調システムにおいて必要とした２重化した床やリターンダクトを必要とせず、装置の配置の制約を少なくでき、且つ、簡単な構造で建築コスト増を必要とせず、建築工期短期化を図ることができる空調システムの提供、特に、近年の液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造における、マザーガラスの大型化に伴う、装置の大型化、大重量化に対応できる、空調システムの提供を可能とした。

本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第１の例のクリーン空調システムの概略図である。 本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第２の例のクリーン空調システムの概略図である。 発明のクリーン空調システムの実施の形態の第３の例のクリーン空調システムの概略図である。 本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第４の例のクリーン空調システムの概略図である。 第１の比較例のクリーン空調システムの概略図である。 第２の比較例のクリーン空調システムの概略図である。 建物の一部構造を示した図である。 従来のクリーン空調システムの概略図である。 従来のクリーン空調システムの概略図である。

本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第１の例のクリーン空調システムの概略図で、図２は本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第２の例のクリーン空調システムの概略図で、図３は本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第３の例のクリーン空調システムの概略図で、図４は本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第４の例のクリーン空調システムの概略図で、図５は第１の比較例のクリーン空調システムの概略図で、図６は第２の比較例のクリーン空調システムの概略図で、図７は、建物の一部構造を示した図である。
図１〜図７中、１は装置、２は第２の天井、３は障壁（境部とも言う）、３ａは障壁開口部（境部の開口部とも言う）、４はエアフィルター、５はファン、６は空気の流れ、６ａは空気の巻き上がり、７は空気冷却装置、８は第３の天井、１０は建物の室（部屋とも言う）、１０ａは室の床、１０ｂはコンクリートスラブ（第１の天井とも言う）、１０ｂＳは（コンクリートスラブの）表面部、１０ｃは鉄骨、１０ｃＳは（鉄骨の）表面部、１１は空間部、１１ａは（障壁の内側の）空間部、１１ｂは（障壁の外側の）空間部、１３は上面部である。
尚、図１〜図６中の矢印は空気の流れの向きを表す。

先ず、本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第１の例を図１に基づいて、以下、説明する。
第１の例のクリーン空調システムは、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造用の空調システムで、建物の室内、床上側に配されるカラーフィルター形成基板製造用の装置に対して、該装置の上側から所望する高さの範囲までの空気環境を、米国ＦＥＤ規格（ＦＥＤーＳＴＤー２０９）で、クラス１００の清浄度ないしクラス１００より良い清浄度にしておくためのクリーン空調システムである。
尚、該ＦＥＤ規格は、１ｃｆ（１キュービックフィートで、１辺１フィートの立方体を意味する）あたりの粒径０．５μｍ以上のパーティクルの数でクラス分けされている。
第１の例のクリーン空調システムは、建物の室１０の天井である第１の天井１０ｂの下方、装置１の上側に、装置領域全体だけを第１の天井１０ｂに沿って覆う、第２の天井２を設け、第２の天井２の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁３を設けているもので、障壁３の、装置１に対して良い清浄度が求められる所望する高さよりも低い位置に、空気を通す障壁開口部３ａを設け、且つ、前記第２の天井２には、図示していないが、第２の天井２を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルター４の上方にはファン５が設けられており、ファン５を動作することによって、エアフィルター４を通して空気を第２の天井２と障壁３に囲まれた装置へ１向かって下方に流れるようにし、また、ファン５を動作させることによって、エアフィルター４を通して下方へ送られた空気を、障壁開口部３ａを通して第２の天井２と障壁３に囲まれる側から外側へ流す。

第１の例のクリーン空調システムにおいては、第２の天井２は、装置１を覆うのに必要な大きさだけを有しており、第２の天井、障壁に囲まれる領域を占有面積的には小サイズにでき、装置１の配置の自由度を大きなものとしている。

第１の例においては、ファン５によって、空気はエアフィルター４を通して下方へ送られ、装置１に到達した後に、障壁３に設けられた障壁開口部３ａを通って障壁３の外部の室内の空間部１１へ流れ上方に昇り、再びファン５によって下方へ流されることにより、空気は循環するが、障壁３の、装置１に対して良い清浄度が求められる所望する高さよりも低い位置に、空気を通す障壁開口部３ａを設けており、装置の良い清浄度が求められる所望の範囲を清浄度良くできる。
尚、図５（ａ）、図５（ｂ）に示すように、障壁３に設けられた障壁開口部３ａが高い位置にある場合、装置１の上面部１３の部分が、空気の清浄度が必要な部位とすると、上面部１３の高さよりも高い位置に障壁３に設けられた障壁開口部３ａがあると、清浄度の高い空気が、装置１の上面部１３に到達する前に障壁３の外部へ出てしまい目的を達せられなくなるので、障壁開口部３ａは、装置１の空気の清浄度が必要な部位よりも低い位置に設ける必要がある。

本例では、障壁開口部３ａを複数の開口孔にて形成し、且つ、該開口孔の大きさ、密度を調整し、建物の室の床１０ａと第２の天井２と障壁３に囲まれた領域内において、装置１に対して良い清浄度が求められる所望する高さより下方へ流れた空気が、再び上方へ巻き上がったり、障壁開口部３ａにて第２の天井２と障壁３に囲まれた領域の外側から内側に空気が逆流しないようにしている。
障壁３外部からの空気の逆流を防止する上では障壁開口部３ａの開口孔は狭いほうがのぞましいが、狭すぎると図６のように下部の空気が巻き上がってしまう。
床に近い部位は異物がたまりやすく、巻き上がった空気によって異物も巻き上げられる可能性があるため、望ましい状態ではない。
障壁開口部３ａは障壁３内部の空気が巻き上がらないように調節される。
図６のような開口部であればその開口孔の大きさを調節し、メッシュのような開口部であれば、メッシュの穴（開口孔）の数や密度で調節してもよい。
実際には、設計段階で気流シミュレーションで最適な開口部を求め、施工後に気流測定をして微調整をする。

第１の例のクリーン空調システムにおいては、障壁３と障壁３に設けられた障壁開口部３ａとが、従来の、図８、図９に示すクリーン空調システムの第２の床２２と床開口部２２ａの代わりをなしており、第２の床２２を不要なものとしている。
また、第１の例のクリーン空調システムにおいては、障壁３によって室１０内の空間部１１が障壁３の内側の空間部１１ａと障壁３の外側の空間部１１ｂに区分けされ、空間部１１ｂを用いて空気を上方へ流すことにより、空間部１１ｂが図８、図９に示すクリーン空調システムにおけるリターンダクト２３の代わりをなし、リターンダクトを２３不要なものとしている。

フィルタ４としては、直径１μｍ以下の細いガラス繊維に少量のバインダを加えた紙状の濾材を、濾材面積を広げるために密に折りたたみ、その間にセパレータを入れた構造のフィルタで、粉塵捕集効率が０．３μｍの粉塵に対して９９．９７％以上のＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）や、非常に細い繊維で作られた濾材を採用したフィルタで、粉塵捕集効率が０．１μｍの粉塵に対して９９．９９９７％以上のＶＥＰＡフィルタ（Ｖｅｒｙ Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）などが用いられる。

第２の天井２は、発塵性が無ければ材質は問わない。
障壁３は、発塵性が無ければ材質は問わないが、コスト、取り扱いのしやすさの点で、ビニールカーテンを用いるのが効果的である。
普通のビニールでは静電気で異物が付着してしまうので、本例では、帯電防止特性を有する樹脂製のカーテンを用いている。

尚、本例におけるフィルタ４、ファン５に代えて、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ 、フィルタ付き送風機とも言う）とＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ、空調用高性能フィルターとも言う）とを配しても良い。
ＵＬＰＡ（空調用高性能フィルター）とは、空気中からゴミ、塵埃などを取り除き、清浄空気にする目的で使用するエアフィルタの一種で、通常、空気清浄機やクリーンルームのメインフィルタとして用いられている。

建物の室１０を形成する床、第１の天井、壁部については、発塵性の無い部材が好ましく用いられるが、特に材質は限定はされない。
床、第１の天井、壁部の表面部を発塵性の無い材質で覆ったり、表面処理して発塵性のないものとしても良い。

次いで、本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第２の例、第３の例を、それぞれ、図２、図３に基づいて説明する。
図２に示す第２の例のクリーン空調システムは、第１の例のクリーン空調システムに、更に、空気冷却装置７を配し、装置１の冷却効果を良いものとしたもので、ここでは、空気冷却装置７を、ファン付近、空間１１ｂの空気がファン５に入る手前の位置に配している。
図３に示す第３の例のクリーン空調システムも、第１の例のクリーン空調システムに、更に、空気冷却装置７を配し、装置１の冷却効果を良いものとしたもので、ここでは、空気冷却装置７を、障壁開口部３ａの、装置１側から外に空気が流れ出る外側に配している。
空気冷却装置７は、空気の清浄度が必要な装置１が温度条件にも敏感で、温度調整が必要になる場合に用いられ、空気が装置１に到達した後から、再度フィルター４を通して下方に流されるまでの経路上に配される。
クリーン空調システムでは、装置やファンの発熱によって循環している空気の温度が上昇してしまうことがある。
空気冷却装置７としては、冷水を流した金属製のパイプにフィンをとりつけたものの中に空気を通して空気の温度を下げる冷却コイルを使用するのが一般的である。

次いで、本発明のクリーン空調システムの実施の形態の第４の例を、図４に基づいて説明する。
図４に示す第４の例のクリーン空調システムは、第１の例のクリーン空調システムに、更に、第１の天井１０ｂと前記第２の天井２の間に、第３の天井８を設けて、第１の天井１０ｂからの発塵が下方へ落ちないようにしている形態のものです。
第３の天井８は発塵防ぐためのものなので、強度は不要で簡易な施工でよい。
また、建物の室１０の第１の天井１０ａと第３の天井８の間に、配管や配線などをしまうことができるという利点もある。
尚、図７に示すように、図１に示す第１の例のクリーン空調システムの建物の天井は、コンクリートスラブ１０ｂを、鉄骨１０ｃで支える構造になっており、コンクリートスラブ１０ｂや鉄骨１０ｃが露出したままでは、表面部１０ｂＳ、１０ｃＳからは、発塵の可能性があり、表面部１０ｂＳ、１０ｃＳを表面処理をしたり、発塵性のない金属板で覆うなどの発塵対策は考えられるが、それでもコンクリートスラブ１０ｂと鉄骨１０ｃの接合部から発塵する可能性が残る。
さらに、鉄骨は屋根の無い屋外の雨ざらし状態で組み立てられるので施工直後には表面に異物が多数付着している。
清掃により除去は可能であるが、完全に取り除くには手間がかかる。

１ 装置
２ 第２の天井
３ 障壁（境部とも言う）
３ａ 障壁開口部（境部の開口部とも言う）
４ エアフィルター
５ ファン
６ 空気の流れ
６ａ 空気の巻き上がり
７ 空気冷却装置
８ 第３の天井
１０ 建物の室（部屋とも言う）
１０ａ 室の床
１０ｂ コンクリートスラブ（第１の天井とも言う）
１０ｂＳ （コンクリートスラブの）表面部
１０ｃ 鉄骨
１０ｃＳ （鉄骨の）表面部
１１ 空間部
１１ａ （障壁の内側の）空間部
１１ｂ （障壁の外側の）空間部
１３ 上面部

Claims (6)

1. 清浄度を良くするための設備や構造を設けていない、床、天井、壁部に囲まれる部屋である建物の室内に配される装置に対して、該装置の上側から所望する高さの範囲まで空気環境を清浄度良くしておくためのクリーン空調システムであって、前記建物の室の天井である第１の天井の下方、前記装置の上側に、前記装置領域全体だけを第１の天井に沿って覆う、第２の天井を設け、該第２の天井の周辺部から下方に向けて前記装置を囲う障壁を設けているもので、前記障壁には、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さよりも低い位置に、該障壁を開口し空気を通す障壁開口部を設け、且つ、前記第２の天井には、該天井を開口する第２の天井開口部が設けられ、該第２の天井開口部にはエアフィルターが取り付けられ、該エアフィルターの上方にはファンが設けられており、該ファンを動作することによって、エアフィルターを通して空気を前記第２の天井と前記障壁に囲まれた前記装置へ向かって下方に流れるようにし、また、該ファンを動作させることによって、エアフィルターを通して下方へ送られた空気を、前記障壁開口部を通して前記第２の天井と前記障壁に囲まれる側から外側へ流すものであることを特徴とするクリーン空調システム。
2. 請求項１に記載のクリーン空調システムであって、空気冷却装置を、前記障壁開口部付近、もしくは、前記ファン付近に配していることを特徴とするクリーン空調システム。
3. 請求項１ないし２のいずれか１項に記載のクリーン空調システムであって、前記障壁開口部を複数の開口孔にて形成し、且つ、該開口孔の大きさ、密度を調整し、前記建物の室の床と前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域内において、前記装置に対して良い清浄度が求められる前記所望する高さより下方へ流れた空気が、再び上方へ巻き上がったり、前記障壁開口部にて前記第２の天井と前記障壁に囲まれた領域の外側から内側に空気が逆流しないようにしていることを特徴とするクリーン空調システム。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項に記載のクリーン空調システムであって、前記第１の天井と前記第２の天井の間に、第３の天井を設けていることを特徴とするクリーン空調システム。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載のクリーン空調システムであって、前記障壁が帯電防止特性を有する樹脂製のカーテンであることを特徴とするクリーン空調システム。
6. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載のクリーン空調システムであって、液晶表示装置用のカラーフィルター形成基板の製造を行うための空調システムであることを特徴とするクリーン空調システム。

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