JP2002228220A

JP2002228220A - クリーンルーム

Info

Publication number: JP2002228220A
Application number: JP2001018367A
Authority: JP
Inventors: Kengo Matsuo; 研吾松尾; Masafumi Kawai; 理文河合; Hiroshi Suzuoka; 浩鈴岡; Hiroki Murakami; 弘記村上
Original assignee: Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2001-01-26
Filing date: 2001-01-26
Publication date: 2002-08-14

Abstract

(57)【要約】【課題】清浄度の管理の容易な構造を有するクリーン
ルームを提供しようとする。【解決手段】従来の気流を上部から管理空間に流しうる
クリーンルームにかわって、上部に配置されたフィルタ
と、その管理空間の周囲を囲う壁と、複数の開口を有す
る仕切板と、を備え、その仕切板が気流を上流側と下流
側とに分ける様に前記管理空間を間仕切っているものと
した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームに
係る。更に詳しくは、気体を流す構造に特徴のあるクリ
ーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】電子工業、精密機械工業、医薬品工業、
食品工業または医療施設においては、クリーンルームが
用いられる。クリーンルームとは、清浄度管理を行な
い、限られた空間（管理空間と呼ぶ。以下同じ。）を管
理する装置である。クリーンルームには、狭義のクリー
ンルーム、クリーンブース、クリーンベンチ等がある。
ここで、狭義のクリーンルームとは、部屋全体を管理空
間とするクリーンルームをいう。クリーンルームは、た
とえば管理空間内の空気中における浮遊微小粒子、浮遊
微生物が限定された清浄度レベル以下になるように管理
し、必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件につ
いての管理をおこなう。クリーンルームには、「一方向
流」タイプと「非一方向流」タイプとがある。「一方向
流」とは、平行な流線をもち、一定の流速で一方向に流
れる気体の流れをいう。一方、「非一方向流」とは、方
向の定まっていない乱れた流れをいう。

【０００３】一方向流式のクリーンルームは、高清浄な
管理空間を得るために採用され、一方向気体流れによる
乱れのない押し出し流れにより、汚染の拡散を抑えて、
管理空間を清浄な気体で置換する装置である。全面フィ
ルタ天井から清浄空気を０．２ｍ／ｓから０．４ｍ／ｓ
の風速で吹き出し、穴あきの床全面から吸い込む方法が
とられ、短時間で清浄化でき、高い清浄度が得られる。
垂直流（ダウンフロー）タイプと水平流（ホリゾンタル
フロー）タイプがある。

【０００４】クリーンブースは、垂直吹き出し型の簡易
な一方向流式クリーンルームである。一個または複数の
送風機とＨＥＰＡフィルタまたはＵＬＰＡフィルタを備
えた簡易構造のクリーンルームで、周囲はプラスチック
カーテンまたは簡易パネルなどで囲われる。清浄空気を
一方向流とし、カーテンまたはパネルと床との隙間から
吹き流して清浄空間を作り出す。クリーンブースは、必
要な管理空間のみを所定の清浄度に保つために使用さ
れ、一般の部屋の一部に清浄な管理空間を作り出す場合
やクリーンルーム内の一部により高い清浄度の管理空間
を作り出す場合に使用される。

【０００５】クリーンベンチは、規定された清浄度レベ
ルに管理された気体が作業対象物に対して直接に流れる
ようにつくられた作業台である。送風機とＨＥＰＡフィ
ルタまたはＵＬＰＡフィルタを内蔵し、作業台上に局所
的な清浄な空間を作り出す装置で、垂直流型と水平流型
がある。

【０００６】以下に、従来のクリーンルームの構造を説
明する。最初に、一方向流式クリーンルームの構造を説
明する。図６は従来の狭義の一方向流式クリーンルーム
の正面断面図である。一方向流式クリーンルーム２０
は、天井２５と壁２２と床２６とに囲まれた室内を管理
空間とする。一方向流式クリーンルーム２０は、フィル
タ２１と壁２２と床板２３と送風機２４とを備える。フ
ィルタ２１は、複数のフィルタからなり、天井２５に設
けられる。壁２２は、管理空間の周囲を囲い、部屋の壁
を兼ねている。床板２３は、グレーチング床であり、床
２６に敷き詰められる。送風機２４は床下から空気を吸
い込み、フィルタ２１から空気を管理空間内に吹き出す
ように設置されている。

【０００７】従来のクリーンルームの作用を説明する。
クリーンルーム２０内の管理空間の空気が、送風機２４
により床２６のグレーチング板２３を介して吸い込まれ
る。その空気は、送風機２４を通り、天井２５のフィル
タ２１を通り、天井２５から管理空間に吹き降りる。空
気は、一方向流となり、管理空間を下降し、床２６のグ
レーチング板２３に到達する。

【０００８】次に、クリーンブース３０の構造を説明す
る。図７は、従来のクリーンブースの正面図と側面図で
ある。クリーンブース３０は、床３６に乗っており、天
井３５と壁３２と床３６とで囲まれた空間を管理空間と
する。クリーンブース３０は、フィルタ３１と壁３２と
送風機３４とプレフィルタ３７と枠体３３とを備える。
フィルタ３１は、複数のフィルタからなり、クリーンブ
ース３０の天井３５に設けられる。壁３２は、一般に、
カーテンまたは簡易なパネルであり、管理空間の周囲を
囲うように、枠体３３に取り付けられる。送風機３４
は、プレフィルタ３７を介して外部から空気を吸い込
み、フルター３１から管理空間内に空気を吹き出すよう
に設置されている。

【０００９】クリーンブース３０の作用を説明する。外
部の空気がプレフィルタ３７を経由して、送風機３４に
吸い込まれ、フィルタ３１を経由して、天井３５から管
理空間に吹き降りる。空気は、一方向流となり、管理空
間を下降し、壁３２同士の隙間または床３６と壁３２と
の隙間から外部へ吹き出る。

【００１０】さらに、次に従来のクリーンベンチ４０、
５０の構造を説明する。図８は、従来のクリーンベンチ
４０，５０の側面断面図である。クリーンベンチ４０，
５０は、クリーンベンチの内部の作業域を管理空間と
し、床４６，５６に乗っている。クリーンベンチ４０，
５０は、フィルタ４１，５１と壁４２，５２とプレフィ
ルタ４７，５７と送風機４４，５４と床板４３，５３と
を備える。フィルタ４１，５１は、クリーンベンチ４
０，５０の上部または側部に設けられる。壁４２，５２
は、簡易なパネルであり、管理空間の周囲を囲い、一面
が作業のために開放可能になっている。プレフィルタ４
７，５７は、クリーンベンチ４０，５０の下方側部に設
けられている。送風機４４，５４はプレフィルタ４７，
５７から管理空間の空気を吸い込み、フィルタ４１，５
１から管理空間内に空気を吹き出すように設置されてい
る。なお、４８，５８は作業台である。

【００１１】クリーンベンチ４０、５０の作用を説明す
る。管理空間の空気が、プレフィルタ４７，５７を経由
して、送風機４４，５４により吸い込まれる。その空気
は、送風機４４，５４を通り、天井４５または側部５９
のフィルタ４１，５１を通り、管理空間に吹き出る。空
気は、一方向流となり、管理空間を下降し、プレフィル
タ４７，５７に到達する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上述の様に、従来のク
リーンルームでは、上部のフィルタを通った気体（たと
えば、空気）が気流（たとえば、一方向流）となって下
降する。管理空間に流れる気体の状態を所望の状態（例
えば、一方向流の状態）に維持するため、クリーンルー
ムは複数のフィルタユニットを上部に敷き詰められ、さ
らに管理空間の高さを所定の高さ以上にする必要があ
る。したがって、クリーンルームの全体高さ寸法が大き
くなり、高価なフィルタユニットを多く使用しなければ
ならなかった。すなわち、フィルタユニットの数を少な
くしたり、管理空間の高さ寸法を小さくしたクリーンル
ームを制作して使用すると、管理空間を流れる気体の一
方向流に大きな乱れが生じることとなる。特に、天井の
隅部に渦や澱みが生じ、下流に漂う浮遊微小粒子を巻き
上げたり滞留させてしまうこととなる。従って、従来の
クリーンルームでは、所定の清浄度を維持するために
は、複数のフィルタユニットを天井部に設け、クリーン
ルームの高さ寸法を所定長さ以上にしなければならない
という問題があった。また、既存のクリーンルーム内に
配置されるクリーンブースやクリーンルームでは、高さ
がすでに制限されるために、所定の清浄度を管理するの
に詳細な検討が必要となる問題があった。

【００１３】本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出さ
れたもので、従来のクリーンルームにかわって、清浄度
の管理の容易な構造を有するクリーンルームを提供しよ
うとする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明に係る気流を上部から管理空間に流すクリーンル
ームは、上部に配置されたフィルタと、その管理空間の
周囲を囲う壁と、複数の開口を有する仕切板と、を備
え、その仕切板が気流を上流側と下流側とに分ける様に
前記管理空間を間仕切っているものとした。

【００１５】上記本発明の構成により、フィルタが上部
に配置されるので、フィルタにより清浄化された気流を
上部から管理空間に流すことができる。壁がその管理空
間の周囲を囲うので、管理空間に流れる気流に外部から
気体が混じることを防ぐことができる。複数の開口を有
する仕切板が気流を上流側と下流側とに分ける様に前記
管理空間を間仕切っているので、気流の上流側と気流の
下流側で差圧力を発生させることができる。

【００１６】さらに、本発明に係るクリーンルームは、
その開口がその仕切板の全面に一様に配置されているも
のとした。上記本発明の構成により、仕切板の設けられ
た開口がその仕切板の全面に一様に配置されているの
で、仕切板の任意の場所で発生した差圧力を仕切板の全
面で一様にすることができる。

【００１７】さらに、本発明に係るクリーンルームは、
その仕切板の開口率が６０％以下であるものとした。こ
こで、開口率とは仕切板の単位面積あたりの複数の開口
の面積の総和の百分率である。上記本発明の構成によ
り、その仕切板の開口率が６０％以下であるので、差圧
力を十分に発生させることができる。

【００１８】またさらに、本発明に係るクリーンルーム
は、その仕切板が導電性材料でできているものとした。
上記本発明の構成により、その仕切板が導電性材料でで
きているので、仕切板での任意の電位を仕切板の全面で
一様にすることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を、図面を参照して説明する。なお、各図において、共
通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略
する。

【００２０】第一の実施形態の概要を図を基に説明す
る。第一の実施形態は本発明を狭義のクリーンルームに
適用したものである。図１は、本発明の第一の実施形態
の正面断面図である。狭義のクリーンルーム６０は、天
井６５と壁６２と床６６とで囲われた部屋の室内を管理
空間とする。狭義のクリーンルーム６０は、フィルタ６
１と壁６２と床板６３と送風機６４と仕切板１とを備え
る。フィルタ６１が、天井２５に設けられる。壁６２
が、管理空間の周囲を囲い、部屋の壁を兼ねている。床
板６３は、たとえばグレーチング床であり、床６６に敷
き詰められる。送風機６４は床板６３の下から空気を吸
い込み、フィルタ６１から下方に空気を吹き出すように
設置されている。仕切板１は、複数の開口を有する板で
あり、フィルタの下方で管理空間を水平に仕切ってい
る。説明の便宜上、上方の管理空間を第一の管理空間
と、下方の管理空間を第二の管理空間と呼ぶ。

【００２１】仕切板１は、複数の開口を有する板であ
り、例えばパンチングメタルが選ばれる。また、仕切板
１の厚み寸法は、開口寸法に比較して十分に小さいこと
が好ましい。また、仕切板１の開口は、その仕切板１の
全面に一様に配置して設けられているのが好ましい。ま
た、その仕切板１の開口の開口率は、仕切板を通過する
気流に微小な差圧力が生ずる程度であればよく、６０％
以下であればよく、好ましくは６０％〜３０％程度がよ
い。また、仕切板は、導電性材料でできた板が好まし
く、例えばステンレス製板、アルミ製板、導電製プラス
チック製板または導電製プラスチックに被覆された板等
が選ばれる。さらに、仕切板１は、取付ボルトやボンデ
ィングワイヤによりクリーンルーム全体にアースされて
いるのが好ましい。以下、仕切板の説明は同様であるの
で、省略する。

【００２２】狭義のクリーンルーム６０の作用を説明す
る。クリーンルーム内の管理空間の空気が、送風機６４
により床板６３を介して吸い取られる。その空気は、送
風機６４を通り、天井のフィルタ６１を通り、天井６５
から第一の管理空間に吹き降りる。気流は、仕切り板を
通過し、管理空間の下方に降りる。空気は、一方向流と
なり、第二の管理空間を下降し、床６６のグレーチング
板６３に到達する。第一の管理空間と第二の管理空間の
間には微小な差圧力が生じる。したがって、仕切板１を
通って第二の管理空間に入った空気は、一方向流となっ
て下降する。

【００２３】次に、第二の実施形態の概要を図を基に説
明する。第二の実施形態は、本発明をクリーンブースに
適用したものである。図２は、本発明の第二の実施形
態の正面断面図である。クリーンブース７０は、床７６
に乗せられており、天井７５と壁７２と床７６とで囲わ
れた空間を管理空間とする。クリーンベンチ７０は、フ
ィルタ７１と壁７２と枠体７３と送風機７４とプレフィ
ルタ７７と仕切板１とを備える。枠体７３は、例えば立
方体の辺部に配置されたステンレス製またはアルミ製の
柱でできた構造体である。天井７５が、その構造体の上
部にある。フィルタ７１が、天井７５に設けられる。壁
７２は、例えばカーテンまたは簡易なパネルであり、管
理空間の周囲を囲う様に、枠体７３に取り付けられてい
る。床板７６は、例えば狭義のクリーンルームの床であ
る。送風機７４は、プレフィルタ７７を経由して、外部
の空気を吸い込み、フィルタ７１から下方に空気を吹き
出すように設置されている。仕切板１は、複数の開口を
有する板であり、フィルタの下方で管理空間を水平に仕
切っている。説明の便宜上、上方の管理空間を第一の管
理空間と、下方の管理空間を第二の管理空間と呼ぶ。な
お、壁７２は、第一の管理空間の周囲を隙間なく囲うの
が好ましい。

【００２４】クリーンブース７０の作用を説明する。ク
リーンブース７０の外部の空気が、送風機７４によりプ
レフィルタ７７を経由して吸い込まれる。その空気は、
天井のフィルタ７１を通り、天井７５から第一の管理空
間に吹き降りる。気流は、仕切り板１を通過し、管理空
間の下方に吹き降りる。空気は、一方向流となり、第二
の管理空間を下降し、床７６に到達する。空気は、壁７
２同士の継ぎ目や壁７２と床７６の継ぎ目から外部へ吹
きだす。第一の管理空間と第二の管理空間の間には微小
な差圧力が生じる。したがって、仕切板１を通って第二
の管理空間に入った空気は、一方向流となって下降す
る。

【００２５】次に、第三の実施形態の概要を図を基に説
明する。第三の実施形態は、本発明をクリーンベンチに
適用したものである。図３は、本発明の第三の実施形
態の側面断面図である。クリーンベンチ８０は、天井８
５と壁８２と底板８３とで囲われた空間を管理空間とす
る。そのクリーンベンチ８０は、フィルタ８１と壁８２
と送風機８４とプレフィルタ８７と仕切板１と作業台８
８とを備える。天井８５が、そのクリーンベンチ８０の
上部にある。フィルタ８１が、天井８５に設けられる。
壁８２は、簡易なパネルであり、管理空間の周囲を囲
い、その一面は開放可能になっている。底板８３は、ク
リーンベンチ８０の底部である。送風機８４は、プレフ
ィルタ８７を経由して、管理空間の空気を吸い込み、フ
ィルタ８１から下方に空気を吹き出すように設置されて
いる。送風機８４とプレフィルタ８７を納める部屋は、
密閉されず、外気と空気を交換可能になっている。仕切
板１は、複数の開口を有する板であり、フィルタの下方
で管理空間を水平に仕切っている。説明の便宜上、上方
の管理空間を第一の管理空間と、下方の管理空間を第二
の管理空間と呼ぶ。作業台８８が第二の管理空間内に置
かれている。

【００２６】クリーンベンチ８０の作用を説明する。ク
リーンベンチ８０の第二の管理空間の空気が、送風機８
４によりプレフィルタ８７を経由して吸い込まれる。そ
の空気は、送風機８４より、天井のフィルタ８１を通
り、天井８５から第一の管理空間に吹き降りる。気流
は、仕切り板１を通過し、管理空間の下方におりる。空
気は、一方向流となり、第二の管理空間を下降し、底板
８３に到達する。第一の管理空間と第二の管理空間の間
には微小な差圧力が生じる。したがって、仕切板１を通
って第二の管理空間に入った空気は、少なくとも作業台
４８を通過するまでは一方向流となって下降する。

【００２７】次に、第四の実施形態の概要を図を基に説
明する。第四の実施形態は、本発明を基板（例えば液晶
基板）搬送装置用クリーンブースに適用したものであ
る。図４は、本発明の第四の実施形態の側面断面図であ
る。図５は、本発明の第四の実施形態の正面断面図であ
る。基板搬送装置１０８は、基板受台１０９と基板処理
装置１１０の間に置かれる。基板搬送装置１０９は、基
板受台１０９に置かれた基板を搬送し、基板処理装置１
１０に挿入する。基板搬送装置用クリーンブース１００
が基板搬送装置１０８の上部に設けられる。この基板搬
送装置用クリーンブース１００は、クリーンルーム（図
示せず）の中に設置される。

【００２８】基板搬送装置用クリーンブース（以下クリ
ーンブースと呼ぶ。）１００は、天井１０５と壁１０２
と基板搬送装置１０８の上面とで囲まれた空間を管理空
間とする。クリーンブース１００は、フィルタユニット
１２０と壁１０２と枠体１０３と仕切板１とを備える。
枠体１０３は、例えば立方体の辺部に配置されたステン
レス製またはアルミ製の柱でできた構造体であり、搬送
装置１０８に乗っている。天井１０５が、その枠体１０
３の上部にある。フィルタユニット１２０は、フィルタ
１０１と送風機１０４とプレフィルタ１０７とが一体と
なったものである。フィルタユニット１２０が、天井１
０５に設けられる。壁１０２は、例えば簡易なパネルで
あり、管理空間の周囲を囲い、枠体１０３に取り付けら
れている。壁１０２の基板受台１０９に対抗する一面と
基板処理装置１１０に対抗する他面には、搬送される基
板の通過する穴１１１があいている。フィルタユニット
１２０は、プレフィルタ１０７を経由して、外部の空気
を吸い込み、フィルタ１０１から下方に空気を吹き出す
ように設置されている。仕切板１は、複数の開口を有す
る板であり、フィルタ１０１の下方で管理空間を水平に
間仕切っている。説明の便宜上、上方の管理空間を第一
の管理空間と、下方の管理空間を第二の管理空間と呼
ぶ。仕切板１は、厚みが１ｍｍ〜３ｍｍのうちの一つで
あり、開口率が６０％〜３０％のうちの一つである、数
ｍｍ直径の円形穴が一様に配置された、ステンレス板が
選択される。

【００２９】基板（例えば液晶基板）搬送装置用クリー
ンブース１００の作用を説明する。クリーンブース１０
０の外部の空気が、送風機１０４によりプレフィルタ１
０７を経由して吸い込まれる。その空気は、送風機１０
４を通り、フィルタ１０１を通り、天井１０５から第一
の管理空間に吹き降りる。気流は、仕切り板１を通過
し、第二の管理空間におりる。空気は、一方向流とな
り、第二の管理空間を下降し、基板搬送装置１０８の上
面に到達する。空気は、壁１０２同士の隙間や壁１０２
と基板搬送装置１０８の上面の隙間から外部へ吹きだ
す。第一の管理空間と第二の管理空間の間には微小な差
圧力が生じる。したがって、仕切板１を通って第二の管
理空間に入った空気は、一方向流となって下降する。

【００３０】上述の実施形態のクリーンルームを用いれ
ば、仕切板を境として微小な差圧力が生ずるので、気流
が仕切板を逆流することがなく、第一の管理空間に渦や
滞留が生じても、第二の管理空間の気流が乱されること
がなく、第二の管理空間の清浄度の維持や管理が容易に
なる。また、仕切板１の厚み寸法が開口寸法に比較して
十分に小さいので、仕切板に生ずる差圧力が小さくてす
み、さらに浮遊微小粒子が付着しにくい。また、開口が
その仕切板１の全面に一様に配置して設けられているの
で、仕切板の任意の場所での差圧力がその全面において
一様であり、仕切板を通過する気流の任意の場所での速
度が一様であり、気流の後流での流れが乱されない。ま
た、その仕切板１の開口の開口率が６０％以下であれ
ば、仕切板での差圧力が十分に発生する。また開口率が
６０％〜３０％であれば、仕切板での差圧力が大きくな
りすぎず、送風機の動力が不必要に大きくなることがな
い。また、仕切板が導電性材料でできた板であって、ク
リーンルーム全体のアースされているので、仕切板に電
荷がたまることがなく、静電気による浮遊微小粒子の付
着が生じないので、クリーンルームの清浄度の維持管理
が容易になる。従って、クリーンルームの清浄度の維持
管理が従来構造のクリーンルームに比べ格段に容易にな
り、さらに十分な検討をすればフィルタユニットの数を
減らしたり、クリーンルームの高さ寸法を減らすことが
できる。

【００３１】本発明は以上に述べた実施形態に限られる
ものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変
更が可能である。本発明の実施例として、一方向流式ク
リーンルームでの適用例で説明したがこれに限定され
ず、非一方向流式クリーンルームに適用してもよい。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の気流を上部
から管理空間に流すクリーンルームは、その構成によ
り、以下の効果を有する。フィルタにより清浄化された
気流を上部から管理空間に流すことができ、管理空間に
流れる気流に外部から気体が混じることを防ぐことがで
き、気流の上流側と気流の下流側で差圧力を発生させる
ことができるので、気流の上流側に気流の渦や澱みが発
生しても、気流の下流に影響を与えず、下流に清浄度の
悪化を防ぐことができる。また、仕切板の任意の場所で
発生した差圧力を仕切板の全面で一様にすることができ
るので、下流の気流に与える影響を仕切板の全面で一様
にできる。さらに、差圧力を十分に発生させることがで
きるので、気流の上流側が気流の下流側に影響を与えな
いことができる。さらに、仕切板での任意の電位を仕切
板の全面で一様にすることができ、仕切板での静電気に
よる浮遊微小粒子への影響を一様にできる。従って、清
浄度の維持管理の容易な構造のクリーンルームを提供で
きる。

【００３３】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施形態の正面断面図である。

【図２】本発明の第二の実施形態の正面断面図である。

【図３】本発明の第三の実施形態の側面断面図である。

【図４】本発明の第四の実施形態の側面断面図である。

【図５】本発明の第四の実施形態の正面断面図である。

【図６】従来の狭義のクリーンルームの正面断面図であ
る。

【図７】従来のクリーンブースの正面図と側面図であ
る。

【図８】従来のクリーンベンチの側面断面図である。

【符号の説明】

１仕切板１０気流１１作業員（発塵体）１２作業対象物（例えば液晶基板）２０狭義のクリーンルーム２１フィルタ２２壁２３グレーチング床２４送風機２５天井２６床３０クリーンブース３１フィルタ３２壁（カーテン、または簡易パネル）３３枠体３４送風機３５天井３６床３７プレフィルタ４０クリーンベンチ４１フィルタ４２壁４３底板４４送風機４５天井４６床４７プレフィルタ４８作業台５０クリーンベンチ５１フィルタ５２壁５３底板５４送風機５５天井５６床５７プレフィルタ５８作業台５９側部６０狭義のクリーンルーム６１フィルタ６２壁６３グレーチング床６４送風機６５天井６６床７０クリーンブース７１フィルタ７２壁（カーテン、または簡易パネル）７３枠体７４送風機７５天井７６床７７プレフィルタ８０クリーンベンチ８１フィルタ８２壁８３底板８４送風機８５天井８６床８７プレフィルタ８８作業台１００基板搬送装置用クリーンブース１０１フィルタ１０２壁１０３底板１０４送風機１０５天井１０６床１０７プレフィルタ１０８基盤搬送装置１０９基板受台１１０基板処理装置１１１穴１２０フィルタユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴岡浩東京都江東区毛利一丁目19番10号石川島播磨重工業株式会社江東事務所内 (72)発明者村上弘記東京都江東区豊州三丁目２番16号石川島播磨重工業株式会社東京エンジニアリングセンター内Ｆターム(参考） 3L058 BD02 BE02 BF01 BF03 BF06 BG01 BG03

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気流を上部から管理空間に流しうるクリ
ーンルームであって、上部に配置されたフィルタと、そ
の管理空間の周囲を囲う壁と、複数の開口を有する仕切
板と、を備え、その仕切板が気流を上流側と下流側とに
分ける様に前記管理空間を間仕切っていることを特徴と
するクリーンルーム。
【請求項２】その開口がその仕切板の全面に一様に配置
されていることを特徴とする請求項１に記載のクリーン
ルーム。
【請求項３】その仕切板の開口率が６０％以下であるこ
とを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記
載のクリーンルーム。
【請求項４】その仕切板が導電性材料でできていること
を特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の
クリーンルーム。