JP2009076129A - 読み出し専用の光情報記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】高反射率および低ジッターを有し、好ましくは、耐久性にも優れており、特に、ＢＤ−ＲＯＭやＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭのように青色レーザーを使用する光ディスクに好適に用いられる反射膜を備えた読み出し専用光情報記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明の光情報記録媒体は、基板上にＡｌ基合金からなる反射膜および光透過層が少なくとも１層ずつ順次積層された読み出し専用の光情報記録媒体である。反射膜の算術平均粗さＲａは０．５ｎｍ以下であり、反射膜の厚さは２５ｎｍ以上である。
【選択図】なし

Description

本発明は、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＢＤ（ブルーレイディスク）−ＲＯＭ、ＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭなどの読み出し専用の光情報記録媒体に関し、特に、ＢＤやＨＤ ＤＶＤなどのように青色レーザーを用いて再生を行う読み出し専用の光情報記録媒体に関するものである。

光情報記録媒体（光ディスク）は、記録再生原理に基づき、読み出し専用型、追記型、書き換え型の３種類に大別される。

図１に、読み出し専用型光ディスクの代表的な構成を模式的に示す。図１に示すように、読み出し専用型光ディスクは、透明プラスチックなどの基板１の上に、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕなどを主成分とする反射膜２と、光透過層３とが順次積層された構造を有している。基板１には、凹凸のランド・ピット（記録データ）の組合わせによる情報が記録されており、例えば、厚さ１．１ｍｍ、直径１２ｃｍのポリカーボネート製基板が用いられる。光透過層３は、光透過シートの貼り合せまたは光透過性樹脂の塗布・硬化によって形成される。記録データの再生は、光ディスクに照射されたレーザー光の位相差や反射差を検出することによって行われる。

図１には、凹凸のランド・ピット（記録データ）の組合わせによる情報が記録された基板１上に反射膜２および光透過層３がそれぞれ１層ずつ形成された１層光ディスクを示しているが、例えば、図２に示すように、第１の情報記録面１１および第２の情報記録面１２を備えた２層光ディスクも用いられる。詳細には、図２の２層光ディスクは、凹凸のランド・ピット（記録データ）の組合わせによる情報が記録された基板１上に、第１の反射膜２Ａ、第１の光透過層３Ａ、第２の反射膜２Ｂ、および第２の光透過層３Ｂが順次積層された構成を有しており、第１の光透過層３Ａには、基板１とは別の情報がピット・ランドの組合わせによって記録されている。

光ディスクに用いられる反射膜としては、これまで、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｌ及びこれらを主成分とする合金が汎用されてきた。

このうち、Ａｕを主成分とするＡｕ基合金の反射膜は化学的安定性（耐久性）に優れ、記録特性の経時変化が少ないという利点を有するが、極めて高価である。また、ＢＤやＨＤ ＤＶＤの記録再生に使用される青色レーザー（波長４０５ｎｍ）に対し、充分高い反射率が得られないという問題がある。Ｃｕを主成分とするＣｕ基合金は安価であるが、従来の反射膜材料のなかで最も耐久性に劣っている。また、Ａｕと同様、青色レーザーに対する反射率が低いという欠点があり、用途が制限されている。これに対し、Ａｇを主成分とするＡｇ基合金の反射膜は、実用波長領域である４００〜８００ｎｍの範囲で充分高い反射率を示しており、且つ、耐久性にも優れているため、青色レーザーを使用する光ディスクに広く利用されている。

一方、Ａｌを主成分とするＡｌ基合金の反射膜は、安価で、且つ、波長４０５ｎｍにおいて充分高い反射率を有しているが、Ａｇ系やＡｕ系の反射膜に比べて耐久性に劣っている。そこで、Ａｌ基合金反射膜をＤＶＤ−ＲＯＭへ適用する場合には、反射膜の厚さをおおむね、４０ｎｍ程度に充分厚くして耐久性の向上を図っている。ところが、このような厚さのＡｌ系反射膜を、青色レーザーを使用するＢＤ−ＲＯＭやＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭなどに適用すると、記録信号（再生信号）の精度が低下（すなわち、ジッターが上昇）し、安定した再生を行うことができないという問題があった。

そこで、Ａｌ基合金反射膜の耐久性や再生安定性を高めるため、例えば、特許文献１〜特許文献４に示す方法が提案されている。

このうち特許文献１には、記録信号に応じたピットを有するピット列が形成された光ディスク基板と、ピットが形成された面に成膜された反射膜と、反射膜に形成された光透過層とを有してなる光ディスクにおいて、光透過層からみたピット列が２５０ｎｍ以下の長さおよび幅を有する微細化されたピットを含み、Ａｌ、Ａｇ、Ａｕの反射膜の厚さが２０ｎｍ以下に低減された光ディスクが開示されている。一般に、ピットの微細化は信号再生の低下を招くが、特許文献１では、反射膜の厚さを２０ｎｍ以下に制御することによってジッター劣化の問題を回避している。しかしながら、反射膜の厚さを２０ｎｍ以下に低減すると、実用上充分な耐久性が得られないという問題がある。

特許文献２には、基板表面に形成されるピットおよびピット間のスペースを基板長さとの関係で制御することにより、再生信号のジッター特性を改善する技術が開示されている。

特許文献３には、温度や湿度が急激に変化する条件下でも良好な耐久性を有する再生専用型光ディスクとして、４％Ｔａを含有するＡｌ反射層（厚さ１００ｎｍ）を備えた光ディスクが実施例の欄に開示されている。

特許文献４には、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｔｉをそれぞれ１〜４％含有するＡｌ基合金反射膜が開示されており、このような合金組成とすることにより、反射率が高く、表面が平滑で（Ｒａは約５〜１０ｎｍ）、温度変化に伴う結晶粒の成長が小さく反射率の変化が小さい反射膜が得られる。
国際公開第００／６５５８４号パンフレット 特開２００６−６６００３号公報 特公平７−６２９１９号公報 特開２００７−０９２１５３号公報

光ディスク用反射膜には、高い反射率に加えて、低ジッター（再生信号の時間軸上のゆらぎが少ない）など高品質の信号書込み・読み取り特性を有することが要求されている。

更に、光ディスク用反射膜には、高温高湿の加速環境下に保持したときのディスク特性変化が少ないこと（耐久性）も要求されている。近年、光ディスク用反射膜の耐久性に対する要求は益々高くなっており、特に、ＢＤ−ＲＯＭやＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭのように青色レーザーを使用する光ディスクでは、より高い耐久性（経時劣化の少ないこと）が求められている。これは、例えば、ＢＤ−ＲＯＭでは、読み出し用レーザー光の入射側となる反射膜上に形成される光透過層の厚さは約１００μｍと、従来の光ディスクであるＣＤやＤＶＤに比べて薄く、光透過層による反射膜の保護効果は小さいためである。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高反射率および低ジッターを有し、好ましくは、耐久性に優れており、特に、ＢＤ−ＲＯＭやＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭのように青色レーザーを使用する光ディスクに好適に用いられる反射膜を備えた読み出し専用光情報記録媒体を提供することにある。

上記課題を解決することのできた読み出し専用（再生専用）の光情報記録媒体は、基板上にＡｌ基合金からなる反射膜および光透過層が少なくとも１層ずつ順次積層された読み出し専用の光情報記録媒体であって、前記反射膜の算術平均粗さＲａは０．５ｎｍ以下であり、前記反射膜の厚さは２５ｎｍ以上であるところに要旨を有している。

好ましい実施形態において、上記Ａｌ基合金は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を７．０〜２０％（特記しない限り、％は原子％を意味する。以下、同じ。）含有している。

好ましい実施形態において、上記Ａｌ基合金は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を４〜２０％含有すると共に、希土類元素を５〜１５％含有する。

好ましい実施形態において、上記の読み出し専用の光情報記録媒体は、青色レーザーにより情報の再生が行われる。

本発明によれば、高反射率および低ジッターを有し、好ましくは、耐久性にも優れた読み出し専用光情報記録媒体を提供することができた。本発明の好ましい態様によれば、加速環境試験の前のみならず、加速環境試験の後も低ジッター値を有しているため、信号の書込み・読み取り特性（再生安定性）に非常に優れた読み出し専用光情報記録媒体が得られる。

本発明の光情報記録媒体は、特に、ＢＤ−ＲＯＭやＨＤ ＤＶＤ−ＲＯＭのように青色レーザーを使用する光ディスクに好適に用いられる。

本発明者は、反射率が高く、ジッターが低いために再生安定性に優れており、好ましくは、耐久性も良好なＡｌ基合金反射膜を提供するため、特に、反射膜の厚さおよび表面粗度に着目して検討を行なった。

その結果、
（ア）Ａｌ反射膜の厚さを２５ｎｍ以上と厚膜化した場合であっても、反射膜の算術平均粗さ（Ｒａ）を小さくして表面を微細化（表面の平滑化）すればジッター（バラツキ）を小さく抑えられること、
（イ）上述したＲａ制御によるジッター改善作用は、加速環境試験の後も有効に発揮され得ること、を見出した。Ｒａが小さい反射膜のＡｌ結晶組織は微細化されており、高温高湿環境下に保持したときのＡｌ結晶の粒成長も抑制されるため、加速環境試験後のＲａの増大が抑制され、ジッターは増加しない。

また、（ウ）Ｒａ制御のためには、好ましくは、Ａｌ基合金組成を適切に制御することが有効であり、これにより、充分高い反射率（反射強度）が得られるほか、耐久性（高温高湿環境下に保持した後の反射強度の変化率が少ないこと）も高められることを見出した。

このように、本発明によれば、Ｒａの制御によってジッターが低減され、再生安定性が向上するだけでなく、更に、Ｒａ制御のために合金組成を適切に制御することによって反射特性や耐久性も向上する、といった極めて優れた効果が発揮される。

本発明に到達した基礎実験の詳細は以下のとおりである。

まず、種々の組成からなるＡｌ基合金スパッタリングターゲットを用い、ピット・ランドが形成されたポリカーボネート基板上にスパッタリング法によって厚さの異なる各種Ａｌ合金薄膜を成膜した後、紫外線硬化樹脂の光透過層を成膜した１層ＢＤ−ＲＯＭディスクを作製した。次いで、ディスク作製後の反射強度およびジッターを測定すると共に、加速環境試験を行なった後の反射強度およびジッターを測定した。

その結果、ＢＤ−ＲＯＭでは、Ａｌ基合金反射膜の厚さがおおむね１５ｎｍ以上になると、金属Ａｌの層が多いために反射率は良好であるが、ジッター（ばらつき）が著しく増加した。一方、反射膜の厚さが約１５ｎｍ以下では、低ジッターが得られる反面、反射率が低下した。特に、加速環境試験によって反射膜中に透明なＡｌ酸化膜が深く成長すると、金属Ａｌの層は益々少なくなるため、反射率の低下が顕著になった。

そこで、本発明者は、反射膜の厚さを厚くしてもジッターが低く、好ましくは、加速環境試験前・後のいずれにおいてもジッターの低減が可能なＡｌ反射膜を提供するため、更に検討を重ねた。その結果、Ａｌ反射膜の算術平均粗さ（Ｒａ）を０．５ｎｍ以下と非常に微細化すれば所期の目的が達成されることが分かった。なお、前述した特許文献４にも、反射膜のＲａが小さいＡｌ反射膜は記載されているが、実施例には、Ｒａが約５〜１０ｎｍ程度の例しか開示されておらず、本発明で規定する極微細化レベルのＲａ（Ｒａ≦０．５ｎｍ）は達成されていない。

ここで、Ａｌ基合金反射膜の膜厚とＲａの関係に着目すると、一般に、膜厚が大きくなるとＲａも大きくなる傾向にあるが、本発明によれば、膜厚を２５ｎｍ以上と厚くしているにもかかわらず、Ｒａを０．５ｎｍ以下のレベルまで低減することができた。このようにＲａの極低減化を実現できたことは、本発明のように、ピット・ランドが形成された基板上に反射膜および光透過層が順次形成された光情報記録媒体であって、好ましくは、青色レーザーを用いた光情報記録媒体に適用される場合において、極めて有用である。上記構成の光情報記録媒体では、光透過層側からレーザーを入射して信号を再生するため、反射膜表面の表面粗度（Ｒａ）が大きいと信号品質が低下してしまう。特に、青色レーザーを用いた光情報記録媒体では、青色レーザーの波長が短いことに起因して反射膜の表面をより一層平滑にする必要があるが、本発明に用いられるＡｌ基合金反射膜は、この要求特性を充分満たすからである。

本明細書において、「再生安定性に優れる」とは、後記する実施例の欄に記載の方法でジッター値を測定したとき、１２％以下を満足することを意味する。好ましくは、温度８０℃、相対湿度約８５％の環境下で２４０時間保持する加速環境試験を行ったとき、試験前・試験後のジッター値の両方が１２％以下を満足するものを意味する。

また、本明細書において、「耐久性に優れる」とは、後記する実施例の欄に記載の方法により上述した加速環境試験前後の反射強度を測定したとき、反射強度の変化率（絶対値）が１０．０％以下のものを意味する。

以下、本発明に用いられるＡｌ基合金からなる反射膜（Ａｌ基合金反射膜）について、詳しく説明する。

上記のＡｌ基合金反射膜は、算術平均粗さＲａ：０．５ｎｍ以下で、且つ、厚さ：２５ｎｍ以上を満足するものである。

（算術平均粗さＲａ：０．５ｎｍ以下）
Ａｌ基合金反射膜のＲａを０．５ｎｍ以下まで極低減化することによってジッターが小さくなり、再生安定性が向上する。Ｒａは小さいほど良く、０．４ｎｍ以下であることが好ましく、０．３ｎｍ以下であることがより好ましい。

ここで、Ａｌ基合金反射膜のＲａの測定部位は、基板の形状によって相違する。例えば、ランド・ピットの組合わせによる情報が記録された基板上にＡｌ基合金反射膜を成膜する場合、反射膜のピット部分（凹部分、図１中の「Ｘ」）以外の領域（図１中の「Ｙ」）における算術平均粗さを測定し、「Ａｌ基合金反射膜のＲａ」とする。一方、平滑な基板上にＡｌ基合金反射膜を成膜したときのように反射膜の粗さが基板形状の影響を受けない場合には、測定部位は限定されず、当該反射膜の算術平均粗さを「Ａｌ基合金反射膜のＲａ」とする。

Ｒａの測定は、走査型プローブ顕微鏡（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ社製Ｎａｎｏｓｃｏｐｅ ＩＩＩａ大型サンプル）を使用し、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ Ｆｏｒｃｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、原子間力顕微鏡モード）で行なった。詳細には、面分析によりＲａを測定する場合には、おおむね、０．５μｍ×０．５μｍ〜５μｍ×５μｍのエリアで行うのが良く、線分析によりＲａを測定する場合には、評価長さは１μｍ以上とし、上限はおおむね、５μｍ程度とするのが良い。線分析よりも面分析の方が高精度のＲａが得られることから、後記する実施例では、２．５μｍ×２．５μｍのエリアについて面分析を行なった。

（厚さ：２５ｎｍ以上）
前述したように、本発明では、Ａｌ基合金反射膜を厚膜化しても、ジッターが小さく抑えられた光情報記録媒体の提供を解決課題とするものであり、厚膜化の目安として「２５ｎｍ以上」を設定した。厚さが２５ｎｍ近傍以上であれば、反射率は膜厚によって大きく変動せず、高反射特性を確保でき、加速環境試験後の反射特性の低下も防止できる。

Ａｌ基合金反射膜の厚さは、反射特性や耐久性を考慮すれば、厚いほど良い（例えば、３０ｎｍ以上）が、厚すぎると光情報記録媒体の生産性が低下し、ジッターも増加する傾向にあるため、これらのバランスを考慮して、上限をおおむね、１００ｎｍ程度に制御することが好ましい。

本発明に用いられるＡｌ基合金反射膜において、Ｒａを上記のように制御するためには、例えば、下記（１）〜（２）の組成のＡｌ基合金を用いることが好ましい。

（１）Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を７．０〜２０％含有するＡｌ基合金（以下、「第１のＡｌ基合金」と呼ぶ場合がある）
Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶは、いずれも、表面結晶の微細化に寄与する高融点元素であり、これらを単独で、または２種以上併用することによってＲａを０．５ｎｍ以下まで低減することができる。

上記の元素を２種以上用いる場合には、合計量を７．０〜２０％の範囲に制御することが好ましい。合計量が７．０％未満では、ジッター低減作用が不充分であり、Ａｌ基合金反射膜の厚さを本発明のように２５ｎｍ以上にするとジッターが上昇する。一方、合計量が２０％を超えると反射特性が低下し、光ディスクの再生に必要な信号強度が得られなくなる。上記元素の合計量は、１２％以上１８％以下であることがより好ましい。

なお、上記（１）に掲げた合計７種類の元素を単独で使用する場合には、元素の種類に応じて、それぞれ、下記（ｉ）〜（ｖｉｉ）に示すように制御することが好ましく、これにより上記作用が有効に発揮される。

（ｉ）Ｔｉ：９〜１９％（より好ましくは１２％以上１７％以下）
（ｉｉ）Ｔａ：８〜１３％（より好ましくは９％以上１２％以下）
（ｉｉｉ）Ｃｒ：１０〜１８％（より好ましくは１２％以上１６％以下）
（ｉｖ）Ｗ：８〜１６％（より好ましくは１０％以上１５％以下）
（ｖ）Ｍｏ：１０〜２０％（より好ましくは１１％以上１７％以下）
（ｖｉ）Ｎｂ：８〜１６％（より好ましくは１０％以上１５％以下）
（ｖｉｉ）Ｖ：８〜１５％（より好ましくは１０％以上１４％以下）

（２）Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を４〜２０％、希土類元素を５〜１５％含有するＡｌ基合金（以下、「第２のＡｌ基合金」と呼ぶ場合がある）
上記第２のＡｌ基合金は、前述した第１のＡｌ基合金と希土類元素の両方を含んでいる。希土類元素も、第１のＡｌ基合金を構成する元素（Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶ）と同様、表面結晶の微細化に寄与する元素であり、Ｔｉなどの上記元素と併用することによって微細化作用が顕著に発揮される。

本発明に用いられる希土類元素としては、ランタノイド元素（周期表において、原子番号５７のＬａから原子番号７１のＬｕまでの合計１５元素）に、Ｓｃ（スカンジウム）とＹ（イットリウム）とを加えた元素群を意味する。これらは単独で使用しても良いし、２種以上を併用しても構わない。これらの中でも、例えば、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｙ、Ｌａ、Ｇｄ、Ｐｒの使用が好ましく、１種または２種以上を任意の組合わせで用いることができる。

希土類元素の含有量は、５〜１５％の範囲に制御することが好ましい。５％未満では、ジッター低減作用が不充分であり、Ａｌ基合金反射膜の厚さを本発明のように２５ｎｍ以上にするとジッターが上昇する。一方、希土類元素の含有量が１５％を超えると、反射率が小さくなり、光ディスクの再生に必要な信号強度が得られなくなる。希土類元素の含有量は、６％以上１８％以下であることがより好ましい。

以上、本発明に好適に用いられる第１〜第２のＡｌ基合金について説明した。これらのＡｌ基合金には、製造過程などで不可避的に導入される不純物も含まれる。

また、上記第１〜第２のＡｌ基合金は、前述したＲａ低減化に寄与する元素のほかに、これら元素の作用を阻害しない限度において、反射膜に要求される他の特性を付与するなどの目的で、上記以外の元素を更に添加してもよい。

具体的には、例えば、上記第１のＡｌ基合金および第２のＡｌ基合金において、更に、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｚｎ、Ｆｅ、およびＭｇよりなる群から選択される少なくとも一種を１．０〜５．０％の範囲で添加しても良い。Ｃｕなどの上記元素は、耐久性向上に寄与する元素であり、Ａｌ表面の不動態膜の強化によってＡｌの酸化の進行が抑制されるため、環境試験後の反射特性の低下が抑えられる。また、これら耐久性向上元素の添加によっても、第１および第２のＡｌ基合金における優れた表面微細化作用はそのまま有効に発揮される。

上記元素による耐久性向上作用を有効に発揮させるためには、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｚｎ、Ｆｅ、およびＭｇの１種または２種以上を、合計で１〜５％の範囲に制御することが好ましい。上記元素の含有量が１％未満では、耐久性向上作用が不充分であり、一方、５％を超えると、初期反射率が低下するなどの問題がある。上記元素の含有量は３％以下であることがより好ましい。

本発明に用いられるＡｌ基合金は、光ディスク用の反射膜材料として有用であり、１層以上の記録層を有する光ディスクに適用することが可能である。

以上、本発明に用いられるＡｌ基合金について説明した。

本発明の読み出し専用の光情報記録媒体は、Ｒａおよび厚さが適切に制御されたＡｌ基合金反射膜を用いたところに特徴があり、当該Ａｌ基合金反射膜が適用される光ディスクの構成や種類（光透過層、基板などの種類）は特に限定されず、通常、用いられるものを採用することができる。

本発明に用いられる基板の種類は特に限定されず、光ディスク用基板に汎用される樹脂、例えば、ポリカーボネート樹脂やアクリル樹脂などを用いることができる。価格や機械的特性などを考慮すると、ポリカーボネートの使用が好ましい。

基板の厚さは、おおむね、０．４〜１．２ｍｍの範囲内であることが好ましい。また、基板上に形成されるピットの深さは、おおむね、５０〜１００ｎｍの範囲内であることが好ましい。

本発明に用いられる光透過層の種類も限定されず、例えば、紫外線硬化樹脂、ポリカーボネート樹脂等を用いることができる。光透過層の厚さは、１層光ディスクでは約１００μｍ程度であることが好ましく、２層光ディスクでは、第１の光透過層の厚さは約２５μｍ程度、第２の光透過層の厚さは約７５μｍであることが好ましい。

本発明に用いられるＡｌ基合金反射膜は、例えば、スパッタリング法、蒸着法などによって成膜することができるが、スパッタリング法が好ましい。スパッタリング法によれば、上記の合金元素がＡｌマトリックス中に均一に分散するので均質な膜が得られ、安定した光学特性や耐久性が得られるからである。

スパッタリング法に使用するスパッタリングターゲットは、溶解・鋳造法、粉末焼結法、スプレイフォーミング法などのいずれの方法によっても製造することができるが、生産性などを考慮すると、粉末焼結法の使用が好ましい。

以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも可能であり、それらは何れも本発明の技術的範囲に含まれる。

実施例１
本実施例では、以下のようにして表１に示す種々の１層ＢＤ−ＲＯＭ（Ｎｏ．１〜３５）を作製した。

まず、ランド・ピットを有するＮｉスタンパーを用い、ポリカーボネートを射出成型することによって厚さ１．１ｍｍの基板を得た。得られた基板上に、Ａｌターゲット（純Ａｌ、Ａｌ−６．０％Ｎｄ合金またはＡｌ−６．０％Ｎｄ−１．０％Ｔａ合金を使用）上に表１に示す種々の元素の純金属チップを配置した後、ＤＣマグネトロンスパッタリングにより、表１に示すように厚さ１５〜４０ｎｍの各種Ａｌ基合金反射膜を形成した。具体的には、表１のＮｏ．１〜２７、２９、３０、３５のＡｌ基合金反射膜を形成するときは純Ａｌのターゲットを用い、表１のＮｏ．３１〜３４のＡｌ基合金反射膜を形成するときはＡｌ−６．０％Ｎｄ−１．０％Ｔａ合金のターゲットを用い、表１のＮｏ．２８のＡｌ基合金反射膜を形成するときはＡｌ−６．０％Ｎｄ合金のターゲットを用いた。スパッタリング条件は、Ａｒガス流量：２０ｓｃｃｍ、Ａｒガス圧：２ｍＴｏｒｒ、成膜パワー：ＤＣ４００Ｗ、到達真空度：２．０×１０^−６Ｔｏｒｒ以下とした。反射膜の厚さは、スパッタリング時間を変化させることによって制御した。

このようにして得られた各種反射膜の一部について、算術平均粗さ（Ｒａ）を測定した。具体的には、Ｒａ測定用試料として、１．１ｍｍのガラス基板上に上記と同様にして各種Ａｌ基合金反射膜を形成した試料を用意し、前述した方法に基づき、Ｒａを測定した。

次いで、スピンコート法により厚さが１００μｍとなるように紫外線硬化樹脂を塗布した後、紫外線照射によって樹脂を硬化させて光透過層を形成し、１層ＢＤ−ＲＯＭを得た。

このようにして得られた１層ＢＤ−ＲＯＭについて、以下の特性を評価した。

（反射率の測定）
反射率は、パルステック社製ＯＤＵ−１０００を用い、読み出しパワー０．３５ｍＷで再生を行なった後、横河電機社製デジタルオシロスコープ（商品名ＤＬ１６４０Ｌ）を用い、反射信号の最大レベル（反射強度、単位：ｍＶ）を測定し、この反射強度を「反射率」と定義した。本実施例では、反射強度が９５０ｍＶ以上のものを合格とした。

（耐久性の評価）
作製したＢＤ−ＲＯＭの一部について、温度８０℃、相対湿度８５％の大気雰囲気中で２４０時間保持する加速環境試験を行った。試験前と試験後の反射強度をそれぞれ測定し、試験前後の反射強度の変化率が１０．０％以下（絶対値）のものを合格とした。

（ジッターの測定）
パルステック社製ＯＤＵ−１０００および横河電機社製ＴＡ８１０を用い、以下の条件でジッターを測定した。本実施例では、ジッターが１２％以下のものを「再生安定性に優れる」とした。
再生レーザーパワー：０．３５ｍＷ
ディスク回転速度：４．９８ｍ／ｓ
収差：反射率が最大となるように調整（チルト条件：０）

更に、一部の試料について、前述した「耐久性の評価」に記載の加速環境試験を行い、試験後のジッターを測定した。試験後のジッターが１２％以下のものを「再生安定性に極めて優れる」と評価した。

これらの結果を表１〜表３に示す。

表１には、本実施例で得られたすべての試料における、反射膜の厚さ、並びにＢＤ−ＲＯＭの加速環境試験前のジッターおよび反射強度の結果を示している。表２は、表１のうち、反射膜のＲａを測定した試料を抽出したものである。表３は、表１のうち、ＢＤ−ＲＯＭの加速環境試験前・後のジッターおよび反射強度を測定した試料を抽出したものである。表２および表３のＮｏ．と、表１のＮｏ．は同じである。

表１において、Ｎｏ．４〜２７は、本発明に用いられる第１のＡｌ基合金を用いた例であり、Ｎｏ．４〜２４は、単独元素添加の例、Ｎｏ．２５〜２７は２種の元素を併用した例である。また、Ｎｏ．２８〜３４は、本発明に用いられる第２のＡｌ基合金を用いた例である。Ｎｏ．３５は、第１のＡｌ基合金に耐久性向上元素としてＦｅを添加した例である。なお、Ｎｏ．１〜３は、純Ａｌを用いた参考例である。

表２に示すように、反射膜のＲａが本発明の範囲内に制御されたものは、いずれも、試験前のジッターおよび反射強度が、それぞれ、１２％以下および９５０ｍＶ以上と良好であり、反射膜の厚さが４０ｎｍと厚膜化されているにもかかわらず、再生安定性と反射特性のバランスに優れたＢＤ−ＲＯＭが得られた。

これに対し、合金元素の含有量が本発明の好ましい範囲を外れるためにＲａが大きくなった例では、Ｒａの低減によるジッター改善作用が有効に発揮されず、ジッターが上昇した。また、純Ａｌを用いた例では、Ｒａが大きいため、反射膜の厚さを厚くすると、試験前後のジッターが増加した。

なお、表１には、反射膜のＲａは示していないが、前述した表２の結果を考慮すれば、表１のうち、試験前のジッターが本発明の範囲に制御されているものは、反射膜のＲａも本発明の範囲に制御されているものと推察される。

また、表３より、試験前のジッターが本発明の範囲に制御されているものは、試験後のジッターも１２％以下と低く抑えられている。前述した表２の結果を考慮すれば、これらは、反射膜のＲａも本発明の範囲に制御されていると推察されることから、反射膜のＲａを制御することによって試験前後のジッターも改善できることが推察される。また、合金組成を本発明の好ましい範囲に制御した例では、試験後の反射強度の変化率が小さく、耐久性にも優れていることが確認された。

図１は、読み出し専用型光ディスク（１層光ディスク）の円周方向の要部を模式的に示す断面図である。 図２は、他の読み出し専用型光ディスク（２層光ディスク）の円周方向の要部を模式的に示す図である。

符号の説明

１ 基板
２ 反射膜
３ 光透過層
２Ａ 第１の反射膜
２Ｂ 第２の反射膜
３Ａ 第１の光透過層
３Ｂ 第２の光透過層
１１ 第１の情報記録面
１２ 第２の情報記録面

Claims (4)

1. 基板上にＡｌ基合金からなる反射膜および光透過層が少なくとも１層ずつ順次積層された読み出し専用の光情報記録媒体であって、
   前記反射膜の算術平均粗さＲａは０．５ｎｍ以下であり、
   前記反射膜の厚さは２５ｎｍ以上であることを特徴とする読み出し専用の光情報記録媒体。
2. 前記Ａｌ基合金は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を７．０〜２０％（特記しない限り、％は原子％を意味する。以下、同じ。）含有する請求項１に記載の読み出し専用の光情報記録媒体。
3. 前記Ａｌ基合金は、Ｔｉ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｗ、Ｍｏ、Ｎｂ、およびＶよりなる群から選択される少なくとも一種を４〜２０％含有すると共に、希土類元素を５〜１５％含有する請求項１に記載の読み出し専用の光情報記録媒体。
4. 青色レーザーにより情報の再生が行われる請求項１〜３のいずれかに記載の読み出し専用の光情報記録媒体。

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