JP2008542628A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

ターボ分子真空ポンプ（５４）は、ハウジング（７０）と、軸受装置（６４）によって支持され、ハウジング（７０）に対して回転するロータ（５２）と、を含む。軸受装置（６４）は、複数の可撓性部材（８４）によって連結された内側環状部分（８６）および外側環状部分（８８）を含む弾性支持体（８０）によって半径方向および軸線方向の両方に支持された軸受（７２、７４、７６、７８）を含み、弾性支持体（８０）は、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲の半径方向剛性を有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、真空ポンプに関する。

真空ポンプは、典型的には周囲のステータに対して回転するために、シャフトに取付けられたロータの形態のインペラーを含む。シャフトは、シャフトのそれぞれの端に、あるいはそれらの中間に配置された２つの軸受を含む軸受装置によって支持される。これらの軸受の一方あるいは両方は、転がり軸受の形態である。通常、上軸受は、磁気軸受の形態であり、下軸受は、転がり軸受の形態である。

図１に示すように、典型的な転がり軸受１０は、ポンプのシャフト１４に対して固定された内側レース１２と、外側レース１６と、内側レース１２および外側レース１６の相対的な回転を可能にするための、保持器２０によって支持された複数の転がり要素１８と、を含む。転がり軸受１０は、摩擦と磨耗を最小限にするために軸受部品を転がり接触と滑り接触に分離する荷重支持膜を確立するために潤滑され、転がり軸受１０の外への潤滑剤の浸透に抵抗するために遮蔽要素２２が設けられる。ポンプ内に転がり軸受１０を支持するための取付け装置は、外側レース１６とハウジング部分２６との間に半径方向に位置決めされた、外側レース１６の半径方向移動を減衰させるための半径方向減衰エラストマーリング２４と、外側レース１６の端面とハウジング部分２６との間に位置決めされた、外側レース１６の軸線方向移動を減衰させるための軸線方向減衰エラストマーリング２８と、を含む。

真空ポンプ内の振動を減衰させるための半径方向減衰エラストマーリング２４および軸線方向減衰エラストマーリング２８の使用と関連した多数の問題がある。

第１に、動的安定性のために複雑な減衰リング配置が要求される。有益な軸線方向乃至半径方向の剛性寄与のために薄い軸線方向減衰リングが要求され、薄い軸線方向リングの正確な配置は、動的安定性を確保するために複雑な機械加工を要求する。半径方向減衰リングは、信頼性のある軸線方向配置のための完全な溝を要求する。これらの溝は、厳しい公差を有し、難しい且つ費用のかかる機械加工を要求し、清掃が難しく、汚染および軸受の早期故障となることがある。

第２に、ターボ分子ポンプの良好な振動絶縁は、下転がり軸受１０が低半径方向剛性を有する取付け装置を要求する。上述した取付け装置の全体の半径方向剛性は、半径方向減衰リング２４の剛性と、軸線方向減衰リング２８の剪断変形に関する更なる剛性の合計である。しかしながら、エラストマー材料の最小硬度が、半径方向および軸線方向減衰エラストマーリングを用いて達成できる最小半径方向剛性を制限する。
更に、ある期間にわたってエラストマー材料は、荷重下で、クリープおよび応力緩和を受ける。エラストマー材料は、また、軸受から吐出される潤滑剤との相互作用のために柔らかくなる。軸線方向減衰リングの軟化は、その減衰リングの剪断弾性率、かくして、下軸受の取付け装置の有効な半径方向剛性を増加させ、それによって時が経つにつれてポンプハウジングへの振動伝達を増加させ、望ましくない。

エラストマー材料の剛性特性は、非常に非線形であり、時間、温度、および潤滑剤との相互作用で著しく変化するので、現在、使用中、減衰リングの剛性および減衰特性を予測するための正確な分析モデルはない。

更に、ロータに嵌められた「従属」転がり軸受を用いてポンプの大雑把な低速バランシングを実行するのが通常の方法であるので、ポンプの通常使用中に用いられる「最終」転がり軸受は、バランシング中、過度の荷重にさらされない。しかしながら、引き続いて最終軸受がロータに嵌められたとき、嵌め合いおよび従属軸受と最終軸受の間に突き出たレースの違いにより、ある程度のアンバランスがある。その結果、最終軸受がロータに嵌められたとき、次いで、高速バランシングを行わなければならない。エラストマー材料の剛性特性が、時間、温度、および軸受潤滑剤との相互作用で変化するので、バランシング中、ポンプの動力学的特性が変化し、時が経つにつれて、取付け装置の力学的特性の変化を調整するために、バランシング工程の時間が増加する。

本発明の少なくとも好ましい実施形態の目的は、これらのおよび他の問題を解決しようとすることである。

本発明は、ハウジングと、軸受装置によって支持され、ハウジングに対して回転するロータと、を含み、軸受装置が、複数の可撓性部材によって連結された内側環状部分および外側環状部分を含む弾性支持体によって半径方向および軸線方向の両方に支持された軸受を含む、真空ポンプ、好ましくはターボ分子真空ポンプを提供する。

かくして、先行技術の半径方向および軸線方向エラストマー密封リングは、単一の弾性支持体によって置き換えられる。先行技術におけるように、２つの別々の減衰リングの代わりに単一の弾性支持体のみが要求されるので、コストを著しく減じることができる。弾性支持体の配置の特徴を非常に簡単にすることができ、かくして、機械加工が安くなる。例えば、弾性支持体の取付けのための完全な溝を設けなくてもよい。２つの別々の減衰リングの設置と比べて、単一の弾性支持体の設置は、比較的簡単である。

弾性支持体の可撓性は、例えば、有限要素解析を用いて、ロータの振動特性に適合された所定の撓み特性を有するように容易に設計することができる。かくして、弾性支持体は、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲、好ましくは約２００Ｎ／ｍｍの非常に低い半径方向剛性を有し、真空ポンプの要求されるロータ動力に合うように設計することができる。先行技術の軸線方向減衰リングが除去されるため、そのような部材からの全体の半径方向剛性への寄与がないので、全半径方向剛性は、非常に低い。これに照らして、嵌め合いおよび「従属」軸受と「最終」軸受から突き出たレースの違いから生じるアンバランスにかかわらず、伝達されるアンバランスな振動の許容可能なレベルを達成することができる。その結果、高速バランシングは要求されない。

可撓性部材の各々は、好ましくは、内側環状部分および外側環状部分とほぼ同心の、細長い弓形の部材である。好ましい実施形態では、これらの部材は円周方向に整合されている。かくして、弾性支持体の可撓性部材は、弾性支持体の一体板バネをなし、従って、弾性支持体の半径方向剛性を決定する。

弾性支持体は、金属材料、例えば、鍛鋼、アルミニウム、チタン、燐青銅、ベリリウム銅、アルミニウム合金、およびチタン合金から都合よく形成することができる。この場合、弾性支持体の剛性は、板バネの形状に依存し、温度に依存しない。比較的低い半径方向剛性で、時が経つにつれて弾性支持体の半径方向剛性を変化させる著しいクリープ、応力緩和あるいは潤滑剤相互作用効果はない。

弾性支持体は、好ましくは前記可撓性部材を構成する複数のスロットを含む。１つの好ましい実施形態では、荷重支持減衰膜をもたらすために潤滑剤あるいは他の流体をスロットに供給するための手段が提供される。ポンプの使用中、軸受は、ロータの或るアンバランスによってもたらされる振動にさらされる。これらの振動中、弾性支持体のスロット内の潤滑剤の存在によって提供される油圧減衰膜は、或る角度位置で圧縮され、振動がこの圧縮点を弾性支持体の周りに移動する。スロット内に圧力下に維持された潤滑剤の存在は、振動を減衰させる効果を有し、それによって真空ポンプのハウジングへの振動の伝達を減衰させる。

流体供給手段は、弾性支持体に配置され、スロットと流通した流体リザーバを含むのがよい。例えば、リザーバは、弾性支持体の端面に形成された環状溝からなるのがよく、流体が該環状溝からスロットへ供給される。第２の流体リザーバが、また、弾性支持体の反対側の端面に形成され且つスロットと流通する他の環状溝によって提供される。一実施形態では、２つのリザーバは密封されて、流体の一定量を弾性支持体内に保持する。これにより、ポンプを、弾性支持体から潤滑剤の損失なしに都合のよいどんな向きでも利用することができる。

他の実施形態では、流体を流体源から供給するための流体ポンプが提供される。ポンプは、ポンプの使用中、潤滑剤を軸受へ提供するために用いられる潤滑剤源を利用することができる。例えば、潤滑剤を軸受に供給するために、ロータの回転で潤滑剤を軸受に運ぶための手段をロータに設けて、潤滑剤を潤滑剤源からロータに供給するための手段を提供することができる。１つの好ましい実施形態では、フェルトウィックが潤滑剤をロータに供給する。軸受に向って増大する直径を有する円錐面が、例えば、円錐ナットあるいはロータの一体表面によってロータに設けられる。ロータの回転で、潤滑剤は、円錐面に沿って移動し、かくして、表面の端で、軸受の中に飛び込ませる。次いで、軸受から吐出された潤滑剤を弾性支持体のスロットへ供給するための手段が設けられる。例えば、軸受および弾性支持体は、ハウジングに取付けられたカートリッジの中に配置されるのがよく、カートリッジは少なくとも部分的に、軸受から吐出された潤滑剤を受け入れる環状キャビティを構成し、吐出された潤滑剤が重力で該環状キャビティから弾性支持体のスロットに供給される。

弾性支持体のために別々の潤滑剤源あるいは供給源が要求されないので、コストが最小になる。更に、そのような潤滑剤供給システムは、潤滑剤を流速ｆで送出し、ｆは１／ω²に比例し、ωはロータの回転速度である。その結果、スロットへの潤滑剤の供給速度は、最大回転速度までのロータの最初の回転数増大中、およびその後の最大回転速度からのロータの回転数減少中、比較的高い。弾性支持体内のスロットの適当な設計によって、回転数増大中および回転数減少中、「臨界速度」、すなわち、非常に高振動と関連した速度を制御するために最大の減衰を与えるように、回転数増大中および回転数減少中、減衰膜を潤滑剤で完全に充満させるように準備することが可能である。

他の実施形態では、少なくとも１つのエラストマー減衰部材が、弾性支持体の内側環状部分と外側環状部分の間に配置される。例えば、一方の減衰部材は半径方向の振動の減衰をなすように構成され、他方の減衰部材は軸線方向の振動の減衰をなすように構成されるのがよい。各減衰部材は、弾性支持体のそれぞれの端面に形成された環状溝内に配置されたエラストマーリングからなるのがよい。すると、振動を減衰させるための減衰膜を作り出すために潤滑剤が要求されないので、ポンプを、また、弾性支持体から潤滑剤の損失なしに都合のよいどんな向きでも利用することができる。

軸受および弾性支持体をハウジング内に軸線方向に位置決めするための手段が設けられる。残留アンバランスによって引き起こされるポンプロータからポンプハウジングへの振動の伝達を減じるために、軸受が幾分半径方向に移動できるようにすることが有利である。弾性支持体は、非常に低い剛性を有することができるので、高アンバランスのとき、比較的大きなロータおよび軸受の移動があることがある。ロータとポンプの静止部品との間の接触を避けるために、軸線方向位置決め手段が、特にロータのブレードとポンプのステータとの間に、ロータおよび軸受の許容可能な最大半径方向移動を制限するための半径方向停止面を都合よく提供するのがよい。潤滑剤が弾性支持体に供給される場合、潤滑剤を弾性支持体のスロットから外側レースの軸線方向に延びる外面と半径方向停止面との間の隙間に運ぶための手段を設けるのがよい。かくして、外側レースおよび半径方向停止面との間の隙間は、軸受の振動を減衰させるための減衰膜を形成することができる。

軸線方向減衰リングが弾性支持体に取付けられている場合、軸線方向弾性支持体は、軸線方向減衰をなすために、軸線方向位置決め手段によって圧縮される。

本発明の好ましい特徴を、添付図面を参照して、例示としてのみ、今記載する。

図２は、シャフト５２によって駆動される排気装置を含む真空ポンプ５０の断面図を示す。図示した真空ポンプは、ターボ分子排気機構５４および分子ドラッグ排気機構５６を含むターボ分子真空ポンプである。ターボ分子排気機構は、シャフト５２に取付けられた、あるいはシャフト５２と一体の複数のロータブレード５８を含む。分子ドラッグ排気機構５６は、ホルウェック排気機構の形態であり、シャフト５２に取付けられた１つ以上のシリンダ６０を含む。シャフトは、モータ６２によって回転され、排気装置を駆動する。

シャフト５２は、示すようにシャフトのそれぞれの端で、あるいは変形例では両端の中間のいずれで位置決めしてもよい２つの軸受を含む軸受装置によって支持される。図２では、転がり軸受６４が、シャフト５２の第１の部分を支持し、磁気軸受６６が、シャフト５２の第２の部分を支持する。第２の転がり軸受を、磁気軸受６６の変形例として用いてもよい。磁気軸受を用いるとき、補助転がり軸受６８を選択的に設けてもよい。

また、図３を参照して、転がり軸受６４は、シャフト５２の第２の端部分とポンプ５０のハウジング部分７０との間に設けられる。転がり軸受６４は、シャフト５２に対して固定された内側レース７２と、外側レース７４と、内側レース７２と外側レース７４の相対的な回転を許すための、保持器７８によって支持された複数の転がり要素７６と、を含む。以下でより詳細に論ずるように、転がり軸受６４は、摩擦と磨耗を最小限にするために、転がり接触と滑り接触をしている軸受部品を分離する荷重支持膜を確立する、オイルのような潤滑剤を用いて潤滑される。

ポンプ５０の使用中、シャフト５２と軸受６４の振動の減衰を行うために、軸受６４をハウジング７０に対して半径方向と軸線方向の両方に支持するための弾性支持体８０を設ける。図４に示すように、弾性支持体８０は、弾性支持体８０の複数の一体の可撓性部材８４を構成する複数のスロット８２を含む。各可撓性部材８４は、弾性支持体８０の内側環状部分８６と弾性支持体８０の外側環状部分８８との間に配置される。各可撓性部材８４は、第１の弾性ヒンジ９０によって内側部分８６に連結され、第２の弾性ヒンジ９２によって外側部分８８に連結される。

各可撓性部材８４は、内側環状部分８６および外側環状部分８８とほぼ同心の細長い弓形部材の形態であり、図４に示すように好ましくは円周方向に整合されている。かくして、弾性支持体８０の可撓性部材８４は、弾性支持体８０の一体板バネ８４をなし、各板バネ８４は、その内側円周面に隣接して配置された１つのスロット８２およびその外側円周面に隣接して配置されたもう１つのスロット８２と関連する。

内側部分８６は、転がり軸受６４の外側レース７４の外面に係合する、軸線方向に延びる内側円筒面９４を有する。図３および図５に示すように、内側部分８６は、また、軸受６４を軸線方向に支持するため、転がり軸受６４の外側レース７４の上面に係合するための、（図示するように）内側部分８６の上端面９８に向って配置された半径方向内方に延びる肩部分９６を有する。

弾性支持体８０をハウジング７０に対して保持するためのカートリッジ１００が設けられる。カートリッジ１００は、弾性支持体８０の外側部分８８の軸線方向に延びる外側円筒面１０６に係合する内面１０４を有する。カートリッジ１００は、また、弾性支持体８０の上端面９８に係合する（図示するように）下壁を有する半径方向内方に延びる壁１０８を有するので、弾性支持体８０は、カートリッジ１００によって半径方向および軸線方向の両方に支持される。

軸受ナット１１０の（図示するように）上端面が弾性支持体８０の下端面１１２に係合して、弾性支持体８０をカートリッジ１００の中に保持し、且つ好ましくは弾性支持体８０に軸線方向に予荷重をかけるように、軸受ナット１１０が、相互螺合ネジ山によってカートリッジ１００の内面１０４に取付けられる。図５に示すように、軸受ナット１１０は、軸線方向に延びる隙間１１６によって軸受６４の外側レース７４の外面から間隔を隔てられ、ロータ５２および軸受６４の半径方向移動を制限するための半径方向端停止面をなす、軸線方向に延びた内面１１４を有する。軸受ナット１０８は、また、軸受の外側レース７４の下端面から間隔を隔てられ、ロータ５２および軸受６４の軸線方向移動を制限するための軸線方向端停止面をなす、（図示するように）上面１２０を有する半径方向内方に延びた部分１１８を有する。

図３に戻ると、カートリッジ１００は、ボルト１２２によってハウジング７０に取付けられ、それによって弾性支持体８０をハウジング７０に対して固定する。

弾性支持体８０は、好ましくは金属材料、例えば、アルミニウムあるいはその合金、鍛鋼、ベリリウム銅、燐青銅、チタンあるいはその合金、あるいは他の金属合金から形成される。弾性支持体８０の剛性は、スロット８２の形状、かくして、板バネ８４の形状によって決定され、有限要素解析を用いて正確に見積もることができる。発明者は、弾性支持体８０を、ロータ５２からハウジング７０への振動の伝達を阻止するための、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲、例えば約２００Ｎ／ｍｍの比較的低い半径方向剛性を有するように容易に設計することができることを見出している。

この実施形態では、ポンプ５０は、ポンプ５０の使用中、ロータ５２の振動を減衰させるための減衰膜をスロット８２内に形成するために、潤滑剤あるいは他の流体を、転がり軸受６４および弾性支持体８０のスロット８２の両方に供給するための潤滑剤供給システムを含む。潤滑剤供給システムは、潤滑剤をポンプ５０の潤滑剤リザーバからロータ５２の一端に配置された円錐ナット１２８のテーパ面１２６に供給するための、１つ以上のウィック（芯）１２４を含む。ロータ５２の回転で、潤滑剤がテーパ面１２６に沿って（図示するように）軸受６４の下端の中へ移動し、引き続いて軸受６４の上端から吐出される。カートリッジ１００の半径方向に延びた壁１０８には軸受６４から吐出された潤滑剤を弾性支持体８０に向って偏向させるための環状溝１３２が形成され、その結果、潤滑剤が重力で弾性支持体８０のスロット８２の中へ供給される。図５に示すように、弾性支持体８０の上端面９８には、潤滑剤をカートリッジ１００の溝１３２から受け入れるための、且つ潤滑剤をスロット８２の中へ供給するためのリザーバをなす環状溝１３４が形成される。潤滑剤が、板バネ８４の内周面および外周面に隣接して荷重支持減衰膜を発生させる。ロータ５２の振動で、減衰膜が圧縮され、動圧を発生させる。スロット内に圧力下に維持された潤滑剤の存在は、振動を減衰させる効果を有し、それによって真空ポンプのハウジングへの振動の伝達を減衰させる。

減衰膜によって達成される減衰の程度は、とりわけ弾性支持体８０に形成されたスロット８２の形状に依存する。スロット８２の半径方向幅が比較的大きいとき、円筒部材８０のスロット８２の形成は簡単であるが、その中の潤滑剤による振動の減衰は比較的小さい。スロット８２が比較的広いとき、外側レース７４の外面と軸受ナット１１０の軸線方向に延びる内面１１４との間の隙間１１６への潤滑剤の供給によって、付加的な減衰膜を作ることができる。図５に示すように、これは、スロット８２の下端から吐出された潤滑剤を受け入れ、且つ潤滑剤を隙間１１６に運ぶための他の環状溝１３６を弾性支持体８０の下端面１１２に形成することによって達成することができる。隙間１１６を通る潤滑剤は、ロータ５２の振動を減衰させるための更なる減衰膜を形成する。隙間１１６から吐出された潤滑剤は、引き続いて軸受６４へ戻るためにポンプ５０のオイルリザーバへ戻る。

重力によるカートリッジ１００の環状溝１３２からスロット８２への潤滑剤の供給のため、上述した潤滑剤供給システムは、ポンプ５０が図２に示すように直立位置に配置されるとき、すなわちポンプ５０のガス吸気口１３８がポンプ５０からのガス排気口１４０の上方に配置され、ポンプ５０の長手方向軸線１４２がほぼ垂直に延びているとき、潤滑剤を弾性支持体８０のスロット８２へ供給するのに適している。図６に示す第２の実施形態では、潤滑剤が、軸受への潤滑剤の供給と別々に、且つポンプ５０をどんな向きでも作動することができるような方法で、弾性支持体８０のスロット８２に供給される。本実施形態では、潤滑剤を軸受６４に供給するために、同様の潤滑剤供給システムを用いることができ、軸受６４からの潤滑剤の浸透に抵抗するために遮蔽要素１４４を設けるのがよい。遮蔽要素は、バネクリップあるいは他の留め具によって所定の位置に保持される別部品であってもよいし、外側レース７４の一体部品であってもよい。
変形例では、軸受６４をグリース（オイルと増粘剤の混合物）を用いて潤滑してもよい。潤滑剤を弾性支持体８０のスロット８２に供給するために、弾性支持体８０の端面に形成された環状溝１３４、１３６を用いて、潤滑剤リザーバを提供し、該リザーバの各々は、少なくとも部分的に潤滑剤で満たされ、且つ、潤滑剤をスロットおよびリザーバの中に保持するために、弾性支持体８０の端面に接着され、さもなければ取付けられたそれぞれの環状密封要素１４６、１４８で密封される。リザーバの一方を部分的にのみ満たすことによって、ポンプ５０の使用中、潤滑剤の半径方向の圧搾が起こるとき、潤滑剤が弾性支持体８０のスロット８２間を循環することができる。

図７に示す第３の実施形態では、振動を減衰させるために、潤滑剤がスロット８２に供給されない。本実施形態では、第１および第２のエラストマー減衰リング１５０、１５２が、各々、弾性支持体８０の端面に形成された環状溝１３４、１３６のそれぞれに配置される。減衰リング１５０、１５２は、溝１３４、１３６内の比較的ゆるい半径方向の嵌め合いを有するように設計され、第２の減衰リング１５２は、軸受ナット１１０によって軸線方向に圧縮される。ポンプ５０の使用中、例えば、比較的大きいアンバランスのため、あるいは臨界速度で、あるいは臨界速度付近で回転するとき、ロータ５２と軸受６４の比較的大きい半径方向の移動により、減衰リング１５０、１５２が半径方向に圧縮され、その結果、振動の半径方向の減衰をもたらす。振動が比較的小さいとき、減衰リング１５０、１５２によって半径方向の減衰を殆ど生じさせないので、カートリッジ１００、従って、ハウジング７０への振動の伝達は殆どない。第２の減衰リング１５２の圧縮により、第２の減衰リング１５２が軸受６４の軸線方向の振動を減衰させる。また、振動を減衰させるために潤滑剤に頼ることなしに、ポンプ５０をどんな向きでも作動させることができる。

既知の転がり軸受の断面図である。 ターボ分子真空ポンプの断面図である。 弾性支持体の第１の実施形態によって支持された転がり軸受の断面図を示す、図２の真空ポンプの部分の拡大図である。 図２の真空ポンプの弾性支持体の斜視図である。 図２の真空ポンプの弾性支持体への潤滑剤の供給を示す。 弾性支持体の第２の実施形態によって支持された転がり軸受の断面図を示す。 弾性支持体の第３の実施形態によって支持された転がり軸受の断面図を示す。

Claims (24)

1. ハウジングと、軸受装置によって支持された、ハウジングに対して回転するロータと、を含み、
   軸受装置が、複数の可撓性部材によって連結された内側環状部分および外側環状部分を含む弾性支持体によって、半径方向および軸線方向の両方に支持された軸受を含み、
   弾性支持体は、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲の半径方向剛性を有する、
   ことを特徴とする真空ポンプ。
2. 可撓性部材の各々が、内側環状部分および外側環状部分とほぼ同心の細長い弓形部材である、請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 可撓性部材は、円周方向に整合されている、請求項２に記載の真空ポンプ。
4. 可撓性部材は、複数の弾性支持体の一体板バネをなす、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
5. 可撓性部材は、軸受に軸線方向に予荷重をかけるために、軸線方向に移動される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
6. 弾性支持体が、金属材料で形成される、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
7. 金属材料が、鍛鋼、アルミニウム、チタン、燐青銅、ベリリウム銅、アルミニウム合金、およびチタン合金の１つからなる、請求項６に記載の真空ポンプ。
8. 弾性支持体が、前記可撓性部材を構成する複数のスロットを含む、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
9. 荷重支持減衰膜をもたらすために流体をスロットに供給するための手段を含む、請求項８に記載の真空ポンプ。
10. 流体供給手段が、弾性支持体に配置され且つスロットと流通した流体リザーバを含む、請求項９に記載の真空ポンプ。
11. リザーバが、弾性支持体の端面に形成された環状溝からなる、請求項１０に記載の真空ポンプ。
12. 流体供給手段が、流体を流体源から供給するための流体ポンプを含む、請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
13. 流体ポンプが、軸受の潤滑のための流体を軸受に供給するように構成される、請求項１２に記載の真空ポンプ。
14. 流体ポンプが、流体を流体源からロータに供給するためのウィックと、ロータの回転で流体を軸受に運ぶための、ロータに配置された円錐面と、を含む、請求項１３に記載の真空ポンプ。
15. 軸受および弾性支持体は、ハウジングに取付けられたカートリッジ内に配置され、カートリッジは、軸受から吐出された流体を受け入れるための環状キャビティを少なくとも部分的に構成し、吐出された流体が重力で環状キャビティから弾性支持体のスロットに供給される、請求項１４に記載の真空ポンプ。
16. 円錐面がロータに取付けられている、請求項１４または１５に記載の真空ポンプ。
17. 内側環状部分と外側環状部分の間に配置された少なくとも１つのエラストマー減衰部材を含む、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
18. ハウジングと、軸受装置によって支持された、ハウジングに対して回転するロータと、を含み、
    軸受装置は、複数の可撓性部材によって連結された内側環状部分および外側環状部分からなる弾性支持体によって、半径方向と軸線方向の両方に支持された軸受と、内側環状部分と外側環状部分の間に配置された少なくとも１つの減衰エラストマー部材と、を含む、
    ことを特徴とする真空ポンプ。
19. 前記少なくとも１つの減衰エラストマー部材が、半径方向振動減衰部材と、軸線方向振動減衰部材と、を含む、請求項１７または１８に記載の真空ポンプ。
20. 各弾性支持体が、弾性支持体のそれぞれの端面に形成された環状溝内に配置される、請求項１９に記載の真空ポンプ。
21. ハウジング内に軸受と弾性支持体を軸線方向に位置決めするための手段を含む、請求項１乃至２０のいずれか１項に記載の真空ポンプ。
22. 軸受が、内側レースおよび外側レースを有する転がり軸受からなり、軸線方向位置決め手段が、軸受の外側レースの半径方向移動を制限するための半径方向停止面からなる、請求項２１に記載の真空ポンプ。
23. 軸線方向振動減衰部材は、軸線方向位置決め手段によって圧縮される、請求項２０または請求項１９に従属する請求項２１に記載の真空ポンプ。
24. ターボ分子真空ポンプの形態である、請求項１乃至２３のいずれか１項に記載の真空ポンプ。

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