CN112389002B - 电动致动器 - Google Patents

Abstract

使电动致动器高精度检测从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷并且提高电动致动器的可靠性。第1载荷传感器(141)及第2载荷传感器(142)分别以沿轴向被夹持的方式且以被施加了沿轴向的预压载荷的状态，固定在壳体(120)内。第1载荷传感器(141)及第2载荷传感器(142)设置为如下方式：轴体(110)被施加向着轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器(142)的检测值增加，但第1载荷传感器(141)的检测值减少，并且，轴体(110)被施加向着轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器(141)的检测值增加，但第2载荷传感器(142)的检测值减少。

Description

电动致动器

技术领域

本发明涉及电动致动器。

背景技术

作为揭载了电动致动器方案的现有技术，例如日本国特开2014－168373号公报(专利文献1)及日本国特开2009－101419号公报(专利文献2)披露的电动致动器具备了检测轴向载荷的载荷检测手段。

专利文献1所述的电动驱动筒中，变形检测部作为载荷检测手段设置在板状部件上，该板状部件夹持在构成外筒体的第1筒部与第2筒部之间。板状部件设置着多个凹孔，从而板状部件具有：固定部，其夹持在设于板状部件外周的第1筒部及第2筒部之间；载荷承载部，其设置于板状部件中央且承载向杆所施加的轴向载荷；以及感应部，其将固定部与载荷承载部相连接且感应变形。载荷承载部介由轴承保持部件来承载由轴承所承载的推力方向上的载荷。

专利文献2所述的伺服压力机中，载荷传感器由1对推力轴承所夹持的环状变位部件及应变仪构成，其中，该1对推力轴承与用来支撑推压杆的1对推力轴承区别设置。

(现有技术文献)

专利文献1：日本国特开2014－168373号公报

专利文献2：日本国特开2009－101419号公报

发明内容

(发明要解决的问题)

关于专利文献1所述的电动致动器，供设置载荷检测手段的板状部件的外周面露出在外筒体的外部，因此在室外等使用电动致动器时的可靠性还有待提高。另外，在高精度检测从无载荷状态起出现的外力载荷方面，其技术还有待提高。关于专利文献2所述的电动致动器，为了设置载荷传感器，需要设置与用来支撑推压杆的1对推力轴承不同的另1对推力轴承，因此电动致动器的全长增加，造成大型化。

本发明是鉴于上述问题而研发的，目的是提供能够抑制大型化且能够高精度地检测从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷的高可靠性电动致动器。

(用以解决问题的技术手段)

基于本发明的电动致动器具备：驱动机构、轴体、可移动的螺帽、壳体、第1轴承及第2轴承、第1载荷传感器及第2载荷传感器。轴体沿电动致动器的轴向延伸且具有轴螺纹部。螺帽介由滚珠与轴螺纹部螺合，且能够通过驱动机构的驱动而相对于轴体进行沿上述轴向的相对性移动。壳体容纳轴体的一部分。第1轴承及第2轴承均为被轴体插通着的状态且至少一部分设置在壳体内。第1载荷传感器及第2载荷传感器均设置在壳体内。第1载荷传感器沿上述轴向与第1轴承并排设置。第2载荷传感器沿上述轴向与第2轴承并排设置。第1载荷传感器及第2载荷传感器分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体内。第1载荷传感器及第2载荷传感器设置为如下方式：轴体被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器的检测值增加，但第1载荷传感器的检测值减少，并且，轴体被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器的检测值增加，但第2载荷传感器的检测值减少。

本发明的一个方面中，壳体具有该壳体的内径局部性缩小的缩径部，缩径部位于上述轴向上的、第1载荷传感器的设置位置与第2载荷传感器的设置位置之间。轴体具有雄螺纹部、以及轴体直径局部性增大的扩径部，在轴体的上述一部分容纳在壳体中的状态下，雄螺纹部位于相较于缩径部的位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且扩径部位于相较于缩径部的位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。电动致动器还具备与轴体的雄螺纹部螺合的防松螺帽。第1载荷传感器及第2载荷传感器分别沿上述轴向与缩径部并排设置。第1载荷传感器及第1轴承夹持在缩径部及防松螺帽之间。第2载荷传感器及第2轴承夹持在缩径部与扩径部之间。

本发明的一个方面中，电动致动器还具备通过驱动机构的驱动而相对于轴体的圆周方向进行旋转的转轮。壳体包含彼此连接的第1壳体及第2壳体。转轮容纳在壳体的内侧。第1载荷传感器及第1轴承位于相对于转轮而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置，且容纳在壳体的内侧。第2载荷传感器及第2轴承位于相对于转轮而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，且容纳在壳体的内侧。第1壳体具有第1壳体的内径局部性缩小的第1缩径部，第1缩径部位于相对于第1载荷传感器及第1轴承的设置位置而言靠向上述轴向上的上述另一端侧的位置。第2壳体具有第2壳体的内径局部性缩小的第2缩径部，第2缩径部位于相对于第2载荷传感器及第2轴承的设置位置而言靠向上述轴向上的上述一端侧的位置。第1载荷传感器沿上述轴向与第1缩径部并排设置。第2载荷传感器沿上述轴向与第2缩径部并排设置。第1载荷传感器及第1轴承夹持在第1缩径部及转轮之间。第2载荷传感器及第2轴承夹持在第2缩径部及转轮之间。

本发明的一个方面中，轴体与转轮同时旋转，从而使螺帽沿上述轴向移动。

本发明的一个方面中，螺帽与转轮同时旋转，从而使轴体沿上述轴向移动。

本发明的一个方面中，所述壳体的内周面与所述第1轴承及所述第2轴承之间均设置着弹性体。由此，弹性体能够吸收由于轴体受到外力而产生的从第1轴承及第2轴承向着壳体内周面传递的载荷，因此，壳体上不易产生反抗轴体移动的摩擦力。

本发明的一个方面中，具备：壳体，其收容沿载荷检测机构的轴向延伸的轴体的一部分；轴承，其以被所述轴体插通着的状态设置在所述壳体内；载荷传感器，其在所述壳体内沿所述轴向与所述轴承并排设置；以及，弹性体，其介于所述壳体的内周面与所述轴承之间。由此，弹性体能够吸收由于轴体受到外力而产生的从轴承向着壳体内周面传递的载荷，因此，壳体上不易产生反抗轴体移动的摩擦力。

本发明的一个方面中，所述轴承包括第1轴承及第2轴承，所述载荷传感器包括第1载荷传感器及第2载荷传感器，所述第1载荷传感器沿所述轴向与所述第1轴承并排设置，所述第2载荷传感器沿所述轴向与所述第2轴承并排设置，所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器分别以沿所述轴向被夹持的方式且以被施加了沿所述轴向的预压载荷的状态，固定在所述壳体内，所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器设置为如下方式：所述轴体被施加向着所述轴向上的一端的载荷时，所述第2载荷传感器的检测值增加，但所述第1载荷传感器的检测值减少，并且，所述轴体被施加向着所述轴向上的另一端的载荷时，所述第1载荷传感器的检测值增加，但所述第2载荷传感器的检测值减少。由此，弹性体能够吸收由于轴体受到外力而产生的从各轴承向着壳体内周面传递的载荷，因此，壳体不易产生反抗轴体移动的摩擦力。所以，各载荷传感器能够正确进行载荷检测。

本发明的一个方面中，所述轴承为圆锥滚柱式轴承。由此，圆锥滚柱式轴承能够同时承受轴体移动时产生的径向载荷及轴向载荷。并且，径向载荷被弹性体吸收，因此壳体上不易产生反抗轴体移动的摩擦力，从而载荷传感器能够高精度地进行载荷检测。

本发明的一个方面中，所述弹性体由具有类橡胶弹性的部件形成。由此，能够将具有类橡胶弹性的O型环用作弹性体，其中，该O型环是具有类橡胶弹性的部件中的一种。该O型环价格较经济且易获得，并且能够容易地安装在壳体的内周面与第1轴承及第2轴承之间。

(发明的效果)

根据本发明，能够就电动致动器来高精度检测从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷，并且能够提高可靠性。

附图说明

图1是本发明的实施方式1的电动致动器结构的局部截面图。

图2是可动筒未被施加载荷时的状态示意图。

图3是可动筒被施加比预压载荷低的载荷时的状态示意图。

图4是可动筒被施加比预压载荷高的载荷时的状态示意图。

图5是本发明的实施方式2的电动致动器结构的局部截面图。

图6是本发明的实施方式3的电动致动器结构的局部截面图。

图7是本发明的实施方式4的电动致动器结构的局部截面图。

图8是本发明的实施方式5的外力载荷检测单元的结构截面图。

图9是将本发明的实施方式5的外力载荷检测单元安装到本发明的实施方式1的电动致动器上后的状态的局部截面图。

图10是本发明的实施方式6的外力载荷检测单元的结构截面图。

图11是将本发明的实施方式6的外力载荷检测单元安装到本发明的实施方式1的电动致动器上后的状态的局部截面图。

图12是本发明的实施方式7的载荷检测机构的结构截面图。

图13是图12的载荷检测机构所具备的载荷检测部的局部截面图。

图14是示出图12的载荷检测机构的、外力与载荷传感器输出电压之间关系的图表。

图15是本发明的实施方式8的载荷检测机构的结构截面图。

图16是图15的载荷检测机构所具备的载荷检测部的局部截面图。

图17是示出图15的载荷检测机构的、外力与载荷传感器输出电压之间关系的图表。

<附图标记说明>

10马达；11输出轴部；12减速机构部；20外罩；21底盘；21h开口部；22外筒；23轴瓦；30圆筒蜗杆；40转轮；41，121，221，231，331，335，521，621内周面；42第2肩部；43第1肩部；100，200，300，400电动致动器；110，570，670轴体；111轴螺纹部；112，571，671扩径部；113，572，672圆柱部；114，573，673，692雄螺纹部；115轴旋转部；120，420，520壳体；122，422，522，622缩径部；123，571h贯通孔；131第1轴承；132第2轴承；141，541第1载荷传感器；142，542第2载荷传感器；150，550，650防松螺帽；160，360螺帽；170可动筒；171，470顶端金属件；180接线盒；181主体部；182盖部；183密封圈；184密封部；186基板台；187放大器载台；220，690第2壳体；222第2缩径部；223，233，333，624，693端部；230，330，620第1壳体；232，332，691凸缘部；234，334第1缩径部；240螺栓；500，600外力载荷检测单元；523，623雌螺纹部；641载荷传感器。

700A，B载荷检测机构；701第1轴承；701a内轮；701b外轮；701c圆锥滚柱；702第2轴承；702a内轮；702b外轮；702c圆锥滚柱；703第1载荷传感器；704第2载荷传感器；705壳体；705a内周面；705b槽部；709外力；710，711载荷；712弹性体；713间隙；714摩擦阻力

具体实施方式

以下，根据附图，对本发明的各实施方式的电动致动器进行说明。在以下实施方式的说明中，对图中相同或等同的部分赋予相同附图标记，并不再反复说明。

(实施方式1)

图1是本发明的实施方式1的电动致动器结构的局部截面图。如图1所示，本发明的实施方式1的电动致动器100具备：驱动机构、载荷检测机构、轴体110、可移动的螺帽160、壳体120、第1轴承131及第2轴承132、第1载荷传感器141及第2载荷传感器142。

驱动机构包含马达10、及与马达10的输出轴部11相连结着的减速机构部12。减速机构部12与轴旋转部115相连结，该轴旋转部115处在轴体110的位于轴向上的一端侧的端部。虽然本实施方式中，马达10与轴体110并列设置，但不限定于此，马达10与轴体110也可设置在同一直线上。

轴体110沿电动致动器100的轴向延伸。轴体110从上述轴向上的一端侧开始依次具有轴旋转部115、雄螺纹部114、圆柱部113、扩径部112、及轴螺纹部111。在扩径部112处，轴体110的直径局部性增大。轴螺纹部111是作为所谓滚珠螺杆的轴螺纹来发挥功能的部分。

螺帽160介由滚珠与轴螺纹部111螺合，螺帽160能够通过驱动机构的驱动而相对于轴体110进行沿上述轴向的相对性移动。螺帽160是所谓滚珠螺杆的螺帽。电动致动器100中，滚珠螺杆包含轴体110及螺帽160。

螺帽160可与可动筒170相连接。轴体110的轴螺纹部111位于可动筒170的内侧。可动筒170能够与螺帽160一起相对于轴体110进行沿上述轴向的相对性移动。在可动筒170的位于上述轴向上的另一端侧的端部，安装着顶端金属件171。本实施方式的电动致动器100中，可动筒170及顶端金属件171构成线性可动部，顶端金属件171为线性可动部的顶端部。

载荷检测机构用来检测轴体110的轴向载荷，该载荷检测机构包含：壳体120、第1轴承131及第2轴承132、第1载荷传感器141及第2载荷传感器142。壳体120可容纳轴体110的一部分。本实施方式中，壳体120具有基本为圆筒状的外形。壳体120与轴体110同轴设置。轴体110的圆柱部113及扩径部112位于壳体120的内部。壳体120上设置着沿壳体120的径向延伸的2个贯通孔123。与第1载荷传感器141相连接的引脚布线从2个贯通孔123中的一个贯通孔向壳体120的外侧引出。与第2载荷传感器142相连接的引脚布线从2个贯通孔123中的另一个贯通孔向壳体120的外侧引出。

在壳体120的上述轴向上的一端侧，设置着外罩20，在壳体120的上述轴向上的另一端侧，设置着外筒22。壳体120在被夹持在外罩20及外筒22之间的状态下，与外罩20及外筒22分别相连接。

外罩20与马达10的马达外罩相连接。输出轴部11、减速机构部12、轴体110的轴旋转部115及雄螺纹部114位于外罩20的内部。外罩20上安装有底盘21，底盘21与轴体110的位于上述轴向上的一端侧的端面对置设置。底盘21具有沿上述轴向突出的突出部，突出部上设置着开口部21h。

在外筒22的位于上述轴向上的另一端侧的端部，安装着将外筒22与可动筒170之间密闭的轴瓦23。轴瓦23的内周面设置着与可动筒170的外周面滑动接触的润滑部件。

外罩20、壳体120、外筒22及轴瓦23所围成的空间是封闭空间。另外，如后述的那样，通过在壳体120安装接线盒180等使壳体120的2个贯通孔123封闭。

第1轴承131及第2轴承132的至少一部分均以被轴体110插通着的状态设置在壳体120内。轴体110的圆柱部113位于第1轴承131及第2轴承132这两者的内侧。第1轴承131及第2轴承132例如为滚动轴承或滑动轴承。具体而言，第1轴承131及第2轴承132可为圆锥滚柱式轴承。

第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别为环状，且以被轴体110插通着的状态设置在壳体120内。轴体110的圆柱部113位于第1载荷传感器141及第2载荷传感器142这两者的内侧。第1载荷传感器141与第1轴承131并排设置。第2载荷传感器142与第2轴承132并排设置。本实施方式中，虽然第1载荷传感器141与第1轴承131直接连结着，但例如第1载荷传感器141也可介由垫圈等与第1轴承131间接地连结。虽然第2载荷传感器142与第2轴承132直接连结着，但例如第2载荷传感器142也可介由垫圈等与第2轴承132间接地连结。另外，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自的形状不限定为环状。

第1载荷传感器141及第2载荷传感器142例如为应变仪式、压电式、磁致伸缩式、电容式、陀螺仪式、弹簧式或音叉式载荷传感器。第1载荷传感器141及第2载荷传感器142可由所谓的测压元件构成。

壳体120具有壳体120的内径局部性缩小的缩径部122，缩径部122位于上述轴向上的、第1载荷传感器141的设置位置与第2载荷传感器142的设置位置之间。

具体而言，就壳体120来看，在围着第1轴承131及第1载荷传感器141的内周面121与围着第2轴承132及第2载荷传感器142的内周面121之间，设置着与内周面121相比内径更小的缩径部122。第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别沿上述轴向与缩径部122并排设置。

轴体110具有雄螺纹部114及扩径部112，以轴体110的圆柱部113及扩径部112被容纳在壳体120中的状态来看轴体110时，雄螺纹部114位于相较于缩径部122的位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且扩径部112位于相较于缩径部122的位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。

电动致动器100还具备与轴体110的雄螺纹部114螺合的防松螺帽150。第1载荷传感器141及第1轴承131位于相对于缩径部122而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且，第2载荷传感器142及第2轴承132位于相对于缩径部122而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。通过将向着上述轴向上的一端侧插通了第1载荷传感器141、第1轴承131、第2载荷传感器142及第2轴承132的轴体110的雄螺纹部114与防松螺帽150螺合，使第1载荷传感器141及第1轴承131被夹持在缩径部122与防松螺帽150之间，且使第2载荷传感器142及第2轴承132被夹持在缩径部122与扩径部112之间。结果是，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体120内。也就是说，预压载荷是将防松螺帽150拧紧在雄螺纹部114上时的轴向力所带来的。

接线盒180包含主体部181、盖部182、密封圈183及密封部184。主体部181的底面介由密封部184与壳体120的外周面相接。密封部184使壳体120与接线盒180气密连接。

主体部181的底面设置着与壳体120的2个贯通孔123相对应的开口。与第1载荷传感器141相连接的引脚布线及与第2载荷传感器142相连接的引脚布线分别通过该开口及贯通孔123被引入接线盒180的内部。

主体部181的内部设置着用来保持基板的基板台186、及用来保持放大器的放大器载台187。主体部181介由密封圈183被盖部182气密性封闭。

如上所述，通过向壳体120安装接线盒180等，壳体120的2个贯通孔123被封闭，从而能够使第1载荷传感器141及第2载荷传感器142不暴露于壳体120的外部。

马达10正转驱动来使顶端金属件171向上述轴向上的另一端按压物体时，顶端金属件171受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。顶端金属件171受到的载荷F1介由可动筒170传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F1介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F1从轴体110的扩径部112介由第2轴承132传递到第2载荷传感器142。结果是载荷F1被第2载荷传感器142检测到。

马达10倒转驱动来使顶端金属件171向上述轴向上的一端拖拉物体时，顶端金属件171受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。顶端金属件171受到的载荷F2介由可动筒170传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F2介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F2从轴体110的雄螺纹部114而介由防松螺帽150及第1轴承131传递到第1载荷传感器141。结果是载荷F2被第1载荷传感器141检测到。

这里，关于电动致动器100所具备的载荷检测机构，对根据被施加了预压载荷的第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自的检测值来计算外力载荷的方法进行说明。

图2是可动筒未被施加载荷时的状态示意图。图2中，只图示了电动致动器100中第1载荷传感器141及第2载荷传感器142周围的结构，未图示顶端金属件171。

在可动筒170未受到载荷的状态下，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别只被施加有预压载荷F0。在该状态下，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142的检测值分别为F0。例如，预压载荷F0＝80kg的情况下，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142的检测值分别为80kg。

也就是说，能够从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，80kg－80kg＝0kg，从而计算出可动筒170被施加的载荷。

图3是可动筒被施加比预压载荷低的载荷时的状态示意图。如图3所示，可动筒170以比预压载荷低的载荷Fa按压物体时，可动筒170被施加向着上述轴向上的一端的载荷Fa。在该状态下，第1载荷传感器141被施加预压载荷F’0，第2载荷传感器142被施加预压载荷F’0及载荷Fa。例如，预压载荷F0＝80kg、载荷Fa＝20kg的情况下，第1载荷传感器141的检测值为70kg，第2载荷传感器142的检测值为90kg。

也就是说，可从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，90kg－70kg＝20kg，从而计算出可动筒170被施加的载荷。

图4是可动筒被施加比预压载荷高的载荷时的状态示意图。如图4所示，可动筒170以比预压载荷高的载荷Fb按压物体时，可动筒170被施加向着上述轴向上的一端的载荷Fb。例如，预压载荷F0＝80kg、载荷Fb＝200kg的情况下，第1载荷传感器141的检测值为0kg，第2载荷传感器142的检测值为200kg。

也就是说，可从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，200kg－0kg＝200kg，从而计算出可动筒170被施加的载荷。

如上所述，从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，从而能够计算出可动筒170被施加的载荷。若计算出的载荷值为正，则指动筒170被施加了向着上述轴向上的一端的载荷，若计算出的载荷值为负，则指动筒170被施加了向着上述轴向上的另一端的载荷。

如上所述，本实施方式的电动致动器100中，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142设置为如下方式：轴体110被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器142的检测值增加，但第1载荷传感器141的检测值减少，并且，轴体110被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器141的检测值增加，但第2载荷传感器142的检测值减少。

本发明的实施方式1的电动致动器100中，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体120内。另外，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142设置为如下方式：轴体110被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器142的检测值增加，但第1载荷传感器141的检测值减少，并且，轴体110被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器141的检测值增加，但第2载荷传感器142的检测值减少。

在可动筒170未受到载荷的无载荷状态时，就已经对第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别施加有预压载荷，从而能够降低第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自在检测微少载荷时的检测误差。结果是电动致动器100能够高精度检测其从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

另外，通过使第1载荷传感器141及第2载荷传感器142不暴露于壳体120的外部，能够抑制水及灰尘附着到第1载荷传感器141及第2载荷传感器142，从而能够提高电动致动器100的可靠性。

另外，不需要设置与支撑轴体110的第1轴承131及第2轴承132不同的另外1对轴承，因此能够抑制电动致动器100的大型化。

(实施方式2)

以下，根据附图，对本发明的实施方式2的电动致动器进行说明。与本发明的实施方式1的电动致动器100相比，本发明的实施方式2的电动致动器200主要是驱动机构及施加预压载荷的方案不同，因此不再重复说明其与本发明的实施方式1的电动致动器100相同的方案。

图5是本发明的实施方式2的电动致动器结构的局部截面图。如图5所示，本发明的实施方式2的电动致动器200具备：驱动机构、轴体110、可移动的螺帽160、壳体、第1轴承131及第2轴承132、第1载荷传感器141及第2载荷传感器142。

电动致动器200还具备通过驱动机构的驱动而相对于轴体110的圆周方向进行旋转的转轮40。具体而言，驱动机构包含马达、及与马达的输出轴部相连结着的圆筒蜗杆30。圆筒蜗杆30与作为蜗轮的转轮40卡合着。圆筒蜗杆30及转轮40构成了蜗轮机构。

轴体110从上述轴向上的一端侧开始依次具有雄螺纹部114、圆柱部113、及轴螺纹部111。轴螺纹部111的最小直径比圆柱部113的直径大。

壳体包含彼此连接的第1壳体230及第2壳体220。第1壳体230与第2壳体220同轴设置，并且，第1壳体230以第1壳体230的位于上述轴向上的一端侧的端部233嵌入第2壳体220的位于上述轴向上的另一端侧的端部223的内侧的状态，被固定于第2壳体220。第2壳体220的内周面221的位于上述轴向上的另一端侧的端部与第1壳体230的端部233的外周面彼此相接。

第1壳体230与第2壳体220以第2壳体220的端部223与第1壳体230的凸缘部232在上述轴向上彼此抵接的方式，通过未图示的螺栓彼此缔合固定。

圆筒蜗杆30及转轮40被容纳在第2壳体220的内侧。第1载荷传感器141及第1轴承131位于相对于转轮40而言靠向上述轴向上的上述另一端侧的位置，且被容纳在壳体的内侧。第2载荷传感器142及第2轴承132位于相对于转轮40而言靠向上述轴向上的上述一端侧的位置，且被容纳在壳体的内侧。

第1壳体230具有第1壳体230的内径局部性缩小的第1缩径部234，第1缩径部234位于相对于第1载荷传感器141及第1轴承131的设置位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。就第1壳体230来看，第1缩径部234与围着第1载荷传感器141及第1轴承131的内周面231相邻。

第2壳体220具有第2壳体220的内径局部性缩小的第2缩径部222，第2缩径部222位于相对于第2载荷传感器142及第2轴承132的设置位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置。就第2壳体220来看，第2缩径部222与围着第2载荷传感器142及第2轴承132的内周面相邻。

第1载荷传感器141沿上述轴向与第1缩径部234并排设置。第2载荷传感器142沿上述轴向与第2缩径部222并排设置。

转轮40的内周面41具有雌螺纹部，该雌螺纹部与轴体110的位于上述轴向上的上述一端侧的端部外周面上所设的雄螺纹部114螺合。轴体110的位于上述轴向上的一端侧的端部外周面上所设的雄螺纹部114与转轮40的雌螺纹部螺合，从而轴体110与转轮40彼此相连接。在轴体110的雄螺纹部114与转轮40的雌螺纹部螺合的状态下，转轮40的位于上述轴向上的另一端侧的端部、与轴体110的轴螺纹部111的位于上述轴向上的一端侧的端部，在上述轴向上彼此抵接着。

转轮40具有：齿部，其与圆筒蜗杆30卡合；第1肩部43，该第1肩部43在相对于齿部而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置，与齿部并排设置；及第2肩部42，该第2肩部42在相对于齿部而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，与齿部并排设置。

第1载荷传感器141及第1轴承131夹持在第1缩径部234与第1肩部43之间。第2载荷传感器142及第2轴承132夹持在第2缩径部222与第2肩部42之间。结果是，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体内。也就是说，预压载荷是将第1壳体230与第2壳体220彼此缔合固定的未图示的螺栓的轴向力所带来的。

马达正转驱动来使顶端金属件171向上述轴向上的另一端按压物体时，顶端金属件171受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。顶端金属件171受到的载荷F1介由可动筒170传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F1介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F1从轴体110的轴螺纹部111传递到转轮40。传递到了转轮40的载荷F1从转轮40的第2肩部42介由第2轴承132传递到第2载荷传感器142。结果是载荷F1被第2载荷传感器142检测到。

马达倒转驱动来使顶端金属件171向上述轴向上的一端拖拉物体时，顶端金属件171受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。顶端金属件171受到的载荷F2介由可动筒170传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F2介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F2从轴体110的雄螺纹部114而介由转轮40及第1轴承131传递到第1载荷传感器141。结果是载荷F2被第1载荷传感器141检测到。

本发明的实施方式2的电动致动器200中，也能够从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，从而计算出可动筒170被施加的载荷。

本发明的实施方式2的电动致动器200中，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体内。另外，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142设置为如下方式：轴体110被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器142的检测值增加，但第1载荷传感器141的检测值减少，并且，轴体110被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器141的检测值增加，但第2载荷传感器142的检测值减少。

在可动筒170未受到载荷的无载荷状态时，就已经对第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别施加有预压载荷，从而能够降低第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自在检测微少载荷时的检测误差。结果是电动致动器200能够高精度检测其从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

另外，通过使第1载荷传感器141及第2载荷传感器142不暴露于壳体的外部，能够抑制水及灰尘附着到第1载荷传感器141及第2载荷传感器142，从而能够提高电动致动器200的可靠性。

另外，不需要设置与支撑轴体110的第1轴承131及第2轴承132不同的另外1对轴承，因此能够抑制电动致动器200的大型化。

(实施方式3)

以下，根据附图，对本发明的实施方式3的电动致动器进行说明。与本发明的实施方式2的电动致动器200相比，本发明的实施方式3的电动致动器300主要是转轮与螺帽相连结的这一点不同，因此不再重复说明其与本发明的实施方式2的电动致动器200相同的方案。

图6是本发明的实施方式3的电动致动器结构的局部截面图。如图6所示，本发明的实施方式3的电动致动器300具备：驱动机构、轴体110、螺帽360、壳体、第1轴承131及第2轴承132、第1载荷传感器141及第2载荷传感器142。

电动致动器300还具备通过驱动机构的驱动而相对于轴体110的圆周方向进行旋转的转轮40。具体而言，驱动机构包含马达、及与马达的输出轴部相连结着的圆筒蜗杆30。圆筒蜗杆30与作为蜗轮的转轮40卡合着。圆筒蜗杆30及转轮40构成了蜗轮机构。轴体110具有轴螺纹部111。

壳体包含彼此连接的第1壳体330及第2壳体220。第1壳体330与第2壳体220同轴设置，并且，第1壳体330以第1壳体330的位于上述轴向上的一端侧的端部333嵌入第2壳体220的位于上述轴向上的另一端侧的端部223的内侧的状态，被固定于第2壳体220。第2壳体220的内周面221的位于上述轴向上的另一端侧的端部与第1壳体330的端部333的外周面彼此相接。转轮40的外周面的位于上述轴向上的另一端侧的端部，与第1壳体330的端部333的内周面335彼此相接。

第1壳体330与第2壳体220之间由螺栓240来缔合固定，从而使第2壳体220的端部223与第1壳体330的凸缘部332在上述轴向上彼此抵接。

圆筒蜗杆30及转轮40被容纳在第2壳体220的内侧。第1载荷传感器141及第1轴承131位于相对于转轮40而言靠向上述轴向上的上述另一端侧的位置，并且被容纳在壳体的内侧。第2载荷传感器142及第2轴承132位于相对转轮40而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且被容纳在壳体的内侧。

第1壳体330具有第1壳体330的内径局部性缩小的第1缩径部334，第1缩径部334位于相对于第1载荷传感器141及第1轴承131的设置位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。就第1壳体330来看，第1缩径部334与围着第1载荷传感器141及第1轴承131的内周面331相邻。

第2壳体220具有第2壳体220的内径局部性缩小的第2缩径部222，第2缩径部222位于相对于第2载荷传感器142及第2轴承132的设置位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置。就第2壳体220来看，第2缩径部222与围着第2载荷传感器142及第2轴承132的内周面相邻。

第1载荷传感器141沿上述轴向与第1缩径部334并排设置。第2载荷传感器142沿上述轴向与第2缩径部222并排设置。

转轮40的内周面具有雌螺纹部，该雌螺纹部与螺帽360的位于上述轴向上的一端侧的端部外周面上所设的雄螺纹部螺合。螺帽360的位于上述轴向上的上述一端侧的端部外周面上所设的雄螺纹部与转轮40的雌螺纹部螺合，从而轴体110与转轮40彼此相连接。

第1载荷传感器141及第1轴承131夹持在第1缩径部334与螺帽360之间。第2载荷传感器142及第2轴承132夹持在第2缩径部222与转轮40之间。结果是，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体内。也就是说，预压载荷是将第1壳体330与第2壳体220彼此缔合固定的螺栓240的轴向力所带来的。

本发明的实施方式3的电动致动器300中，马达正转驱动，螺帽360与转轮40同时旋转，从而使轴体110向上述轴向上的另一端侧移动。马达倒转驱动，螺帽360与转轮40同时旋转，从而使轴体110向上述轴向上的一端侧移动。本实施方式的电动致动器300中，轴体110构成线性可动部。

马达正转驱动来使轴体110向上述轴向上的另一端按压物体时，轴体110受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。轴体110受到的载荷F1介由滚珠传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F1传递到转轮40。传递到了转轮40的载荷F1介由第2轴承132传递到第2载荷传感器142。结果是载荷F1被第2载荷传感器142检测到。

马达倒转驱动来使轴体110向上述轴向上的一端拖拉物体时，轴体110受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。轴体110受到的载荷F2介由滚珠传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F2介由第1轴承131传递到第1载荷传感器141。结果是载荷F2被第1载荷传感器141检测到。

本发明的实施方式3的电动致动器300中，也能够从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，从而计算轴体110受到的载荷。

本发明的实施方式3的电动致动器300中，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体内。另外，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142设置为如下方式：轴体110被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器142的检测值增加，但第1载荷传感器141的检测值减少，并且，轴体110被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器141的检测值增加，但第2载荷传感器142的检测值减少。

在轴体110未受到载荷的无载荷状态时，就已经对第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别施加有预压载荷，从而能够降低第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自在检测微少载荷时的检测误差。结果是电动致动器300能够高精度检测其从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

另外，通过使第1载荷传感器141及第2载荷传感器142不暴露于壳体的外部，能够抑制水及灰尘附着到第1载荷传感器141及第2载荷传感器142，从而提高电动致动器300的可靠性。

另外，不需要设置与支撑轴体110的第1轴承131及第2轴承132不同的另外1对轴承，因此能够抑制电动致动器300的大型化。

(实施方式4)

以下，根据附图，对本发明的实施方式4的电动致动器进行说明。与本发明的实施方式1的电动致动器100相比，本发明的实施方式4的电动致动器400主要是线性可动部的方案不同，因此不再重复说明其与本发明的实施方式1的电动致动器100相同的方案。

图7是本发明的实施方式4的电动致动器结构的局部截面图。如图7所示，本发明的实施方式4的电动致动器400具备：驱动机构、轴体110、可移动的螺帽160、壳体420、第1轴承131及第2轴承132、第1载荷传感器141及第2载荷传感器142。

驱动机构包含马达10、及与马达10的输出轴部相连结着的减速机构部12。减速机构部12与轴旋转部115相连结，该轴旋转部115处在轴体110的位于轴向上的一端侧的端部。虽然本实施方式中，马达10与轴体110彼此正交设置，但不限定于此，马达10与轴体110也可设置在同一直线上。

螺帽160上安装有顶端金属件470。顶端金属件470能够与螺帽160一起相对于轴体110进行沿上述轴向的相对性移动。本实施方式的电动致动器400中，顶端金属件470为线性可动部。

壳体420容纳轴体110的一部分。本实施方式中，壳体420具有基本为圆筒状的外形。壳体420与轴体110同轴设置。轴体110的圆柱部113及雄螺纹部114位于壳体420的内部。

在壳体420的上述轴向上的一端侧，设置着外罩20，在壳体420的上述轴向上的另一端侧，设置着外筒22。壳体420在夹持在外罩20及外筒22之间的状态下，与外罩20及外筒22分别相连接。

第1轴承131及第2轴承132以被轴体110插通着的状态设置在壳体420内。轴体110的圆柱部113位于第1轴承131及第2轴承132这两者的内侧。

第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别为环状，且以被轴体110插通着的状态设置在壳体420内。轴体110的圆柱部113位于第1载荷传感器141及第2载荷传感器142这两者的内侧。第1载荷传感器141与第1轴承131并排设置。第2载荷传感器142与第2轴承132并排设置。

壳体420具有壳体420的内径局部性缩小的缩径部422，缩径部422位于上述轴向上的、第1载荷传感器141的设置位置与第2载荷传感器142的设置位置之间。具体而言，就壳体420来看，在围着第1轴承131及第1载荷传感器141的内周面与围着第2轴承132及第2载荷传感器142的内周面之间，设置着内径缩小的缩径部422。第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别沿上述轴向与缩径部422并排设置。

轴体110具有雄螺纹部114及扩径部112，以轴体110的圆柱部113被容纳在壳体420中的状态来看轴体110时，雄螺纹部114位于相较于缩径部422的位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且，扩径部112位于相较于缩径部422的位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。

电动致动器400还具备与轴体110的雄螺纹部114螺合的防松螺帽150。壳体420内，第1载荷传感器141及第1轴承131位于相对于缩径部422而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且，第2载荷传感器142及第2轴承132位于相对于缩径部422而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。通过将向着上述轴向上的一端侧插通了第1载荷传感器141、第1轴承131、第2载荷传感器142及第2轴承132的轴体110的雄螺纹部114与防松螺帽150螺合，使第1载荷传感器141及第1轴承131被夹持在缩径部422与防松螺帽150之间，且使第2载荷传感器142及第2轴承132被夹持在缩径部422与扩径部112之间。结果是，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体420内。也就是说，预压载荷是将防松螺帽150拧紧在雄螺纹部114上时的轴向力所带来的。

本实施方式的电动致动器400中，马达10正转驱动，轴体110的轴螺纹部111旋转，从而使顶端金属件470与螺帽160一起向上述轴向上的另一端侧移动。马达10倒转驱动，轴体110的轴螺纹部111旋转，从而使顶端金属件470与螺帽160一起向上述轴向上的一端侧移动。

马达10正转驱动来使顶端金属件470向上述轴向上的另一端按压搬运物时，顶端金属件470受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。顶端金属件470受到的载荷F1传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F1介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F1从轴体110的扩径部112介由第2轴承132传递到第2载荷传感器142。结果是载荷F1被第2载荷传感器142检测到。

马达10倒转驱动来使顶端金属件470向上述轴向上的一端拖拉搬运物时，顶端金属件470受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。顶端金属件470受到的载荷F2传递到螺帽160。传递到了螺帽160的载荷F2介由滚珠传递到轴体110的轴螺纹部111。传递到了轴体110的载荷F2从轴体110的雄螺纹部114介由防松螺帽150及第1轴承131传递到第1载荷传感器141。结果是载荷F2被第1载荷传感器141检测到。

本发明的实施方式4的电动致动器400中，也可从第2载荷传感器142的检测值减去第1载荷传感器141的检测值，从而计算向顶端金属件470施加的载荷。

本发明的实施方式4的电动致动器400中，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体420内。另外，第1载荷传感器141及第2载荷传感器142设置为如下方式：轴体110被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器142的检测值增加，但第1载荷传感器141的检测值减少，并且，轴体110被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器141的检测值增加，但第2载荷传感器142的检测值减少。

在顶端金属件470未受到载荷的无载荷状态时，就已经对第1载荷传感器141及第2载荷传感器142分别施加有预压载荷，从而能够降低第1载荷传感器141及第2载荷传感器142各自在检测微少载荷时的检测误差。结果是电动致动器400能够高精度检测其从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

另外，通过使第1载荷传感器141及第2载荷传感器142不暴露于壳体420的外部，能够抑制水及灰尘附着到第1载荷传感器141及第2载荷传感器142，从而提高电动致动器400的可靠性。

另外，不需要设置与支撑轴体110的第1轴承131及第2轴承132不同的另外1对轴承，因此能够抑制电动致动器400的大型化。

(实施方式5)

以下，根据附图，对本发明的实施方式5的外力载荷检测单元进行说明，该外力载荷检测单元以能装卸的方式被安装给电动致动器的线性可动部的顶端部，且检测该电动致动器的外力载荷。

图8是本发明的实施方式5的外力载荷检测单元的结构截面图。图9是将本发明的实施方式5的外力载荷检测单元安装到本发明的实施方式1的电动致动器上后的状态的局部截面图。

如图8及图9所示，本发明的实施方式5的外力载荷检测单元500以能装卸的方式被安装给电动致动器的线性可动部的顶端部，且检测电动致动器的外力载荷。

外力载荷检测单元500具备：壳体520、轴体570、第1载荷传感器541及第2载荷传感器542。

壳体520以能够与可动筒170的顶端部相连结的方式设置，该可动筒170的顶端部亦即电动致动器100的线性可动部的顶端部。

轴体570沿外力载荷检测单元500的轴向延伸。轴体570从上述轴向上的一端侧起依次具有雄螺纹部573、圆柱部572、及扩径部571。在扩径部571处，轴体570的直径局部性增大。扩径部571具有贯通孔571h，贯通孔571h沿与上述轴向相垂直的方向贯通了扩径部571。轴体570的位于上述轴向上的一端侧的一部分被容纳在壳体520的内侧。

本实施方式中，壳体520具有基本为圆筒状的外形。壳体520与轴体570同轴设置。轴体570的圆柱部572及雄螺纹部573位于壳体520的内部。

第1载荷传感器541及第2载荷传感器542分别为环状，且以被轴体570插通着的状态设置在壳体520内。轴体570的圆柱部572位于第1载荷传感器541及第2载荷传感器542这两者的内侧。另外，第1载荷传感器541及第2载荷传感器542各自的形状不限定为环状。

壳体520具有壳体520的内径局部性缩小的缩径部522，缩径部522位于上述轴向上的、第1载荷传感器541的设置位置与第2载荷传感器542的设置位置之间。

具体而言，就壳体520来看，在围着第1载荷传感器541的内周面521与围着第2载荷传感器542的内周面521之间，设置着与内周面521相比内径更小的缩径部522。第1载荷传感器541沿上述轴向与缩径部122并排设置。第2载荷传感器542沿上述轴向与缩径部122并排设置。虽然本实施方式中，第1载荷传感器541与缩径部122直接连结着，但例如第1载荷传感器541也可介由垫圈等与缩径部122间接地连结。虽然第2载荷传感器542与缩径部122直接连结着，但例如第2载荷传感器542也可介由垫圈等与缩径部122间接地连结。

轴体570具有雄螺纹部573、以及轴体570的直径局部性增大的扩径部571，以轴体570的圆柱部572及雄螺纹部573被容纳在壳体520中的状态来看轴体570时，雄螺纹部573位于相较于缩径部522的位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且扩径部571位于相较于缩径部522的位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。

外力载荷检测单元500还具备与轴体570的雄螺纹部573螺合的防松螺帽550。壳体520内，第1载荷传感器541位于相对于缩径部522而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且，第2载荷传感器542位于相对于缩径部522而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置。通过将向着上述轴向上的一端侧插通了第1载荷传感器541及第2载荷传感器542的轴体570的雄螺纹部573与防松螺帽550螺合，使第1载荷传感器541夹持在缩径部522与防松螺帽550之间，且使第2载荷传感器542夹持在缩径部522与扩径部571之间。结果是，第1载荷传感器541及第2载荷传感器542分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体520内。也就是说，预压载荷是将防松螺帽550拧紧在雄螺纹部573上时的轴向力所带来的。

壳体520的内周面521的位于上述轴向上的一端侧的端部具有雌螺纹部523，该雌螺纹部523用于将电动致动器100的可动筒170的顶端部与外力载荷检测单元500相连接。

马达10正转驱动而使得轴体570向上述轴向上的另一端按压物体时，轴体570受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。轴体570受到的载荷F1传递到第2载荷传感器542。结果是载荷F1被第2载荷传感器542检测到。

通过对电动致动器100的第2载荷传感器142的检测值与外力载荷检测单元500的第2载荷传感器542的检测值进行比较，能够校准电动致动器100的第2载荷传感器142对载荷F1的检测。

马达10倒转驱动而使得轴体570向上述轴向上的一端拖拉物体时，轴体570受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。轴体570受到的载荷F2从轴体570的雄螺纹部573介由防松螺帽550传递到第1载荷传感器541。结果是载荷F1被第1载荷传感器541检测到。

通过对电动致动器100的第1载荷传感器141的检测值与外力载荷检测单元500的第1载荷传感器541的检测值进行比较，能够校准电动致动器100的第1载荷传感器141对载荷F2的检测。

如上所述，本实施方式的外力载荷检测单元500中，第1载荷传感器541及第2载荷传感器542设置为如下方式：轴体570被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器542的检测值增加，但第1载荷传感器541的检测值减少，并且，轴体570被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器541的检测值增加，但第2载荷传感器542的检测值减少。

本发明的实施方式5的外力载荷检测单元500中，第1载荷传感器541及第2载荷传感器542分别以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了上述轴向的预压载荷的状态，固定在壳体520内。另外，第1载荷传感器541及第2载荷传感器542设置为如下方式：轴体570被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，第2载荷传感器542的检测值增加，但第1载荷传感器541的检测值减少，并且，轴体570被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，第1载荷传感器541的检测值增加，但第2载荷传感器542的检测值减少。

在轴体570未受到载荷的无载荷状态时，就已经对第1载荷传感器541及第2载荷传感器542分别施加有预压载荷，从而能够降低第1载荷传感器541及第2载荷传感器542各自在检测微少载荷时的检测误差。结果是外力载荷检测单元500能够高精度检测其从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

关于本发明的实施方式5的外力载荷检测单元500，只需在将外力载荷检测单元500安装在电动致动器100的线性可动部的顶端部的状态下使电动致动器100工作，就能够简便正确地检测电动致动器100的外力载荷。

虽然本实施方式中，外力载荷检测单元500安装于本发明的实施方式1的电动致动器100，但不限定于此，外力载荷检测单元500也可安装于本发明的实施方式2～4所述的任一个电动致动器，还可安装于没有内置载荷传感器的电动致动器。若将本发明的实施方式5的外力载荷检测单元500安装给了没有内置载荷传感器的电动致动器，则通过确认由外力载荷检测单元500检测出的载荷，就能够得知电动致动器实际受到的载荷。由此，能够得出马达10的输出值与电动致动器受到的载荷之间的关系。

(实施方式6)

以下，根据附图，对本发明的实施方式6的外力载荷检测单元进行说明，该外力载荷检测单元以能装卸的方式被安装给电动致动器的线性可动部的顶端部，且检测该电动致动器的外力载荷。

图10是本发明的实施方式6的外力载荷检测单元的结构截面图。图11是将本发明的实施方式6的外力载荷检测单元安装到本发明的实施方式1的电动致动器上后的状态的局部截面图。

如图10及图11所示，本发明的实施方式6的外力载荷检测单元600以能装卸的方式被安装给电动致动器的线性可动部的顶端部，且检测电动致动器的外力载荷。

外力载荷检测单元600具备：第1壳体620、第2壳体690、轴体670、载荷传感器641。载荷传感器641为环状，且以被轴体670插通着的状态设置在第1壳体620内。另外，载荷传感器641的形状不限定为环状。

第1壳体620具有第1壳体620的内径局部性缩小的缩径部622，缩径部622位于相对于载荷传感器641的设置位置而言靠向上述轴向上的一端侧的位置。并且，第1壳体620具有雌螺纹部623，雌螺纹部623位于第1壳体620的、相对于载荷传感器641的设置位置而言靠向上述轴向上的另一端侧的内周面621。第1壳体620以能够与可动筒170的顶端部相连结的方式设置，该可动筒170的顶端部亦即电动致动器100的线性可动部的顶端部。

在第2壳体690的嵌入第1壳体620的内侧的端部693的外周面上，具有与雌螺纹部623螺合的雄螺纹部692，并且第2壳体690具有、凸缘部691，凸缘部691与第1壳体620的位于上述轴向上的另一端侧的端面相抵接。

第2壳体690与第1壳体620同轴设置，第2壳体690以第2壳体690的位于上述轴向上的一端侧的端部693嵌入第1壳体620的位于上述轴向上的另一端侧的端部624的内侧的状态，被固定于第1壳体620。

具体而言，第1壳体620的雌螺纹部623与第2壳体690的雄螺纹部692螺合，从而在第1壳体620的端部624与第2壳体690的凸缘部691相抵接的状态下，第1壳体620与第2壳体690彼此相连接。

轴体670沿轴向延伸。轴体670从上述轴向上的一端侧起依次具有雄螺纹部673、圆柱部672、及扩径部671。在扩径部671处，轴体670的直径局部性增大。就轴体670来看，其圆柱部672及雄螺纹部673被容纳在第1壳体620的内侧。

轴体670具有雄螺纹部673、以及轴体670的直径局部性增大的扩径部771。以第1壳体620的缩径部622的位于上述轴向上的另一端侧的端缘为准来看时，雄螺纹部673位于相较于缩径部622的该端缘而言靠向上述轴向上的一端侧的位置，并且扩径部671位于相较于缩径部622的设置位置而言靠向上述另一端侧的位置。

外力载荷检测单元600还具备与轴体670的雄螺纹部673螺合的防松螺帽650。第1壳体620内，载荷传感器641位于相对于缩径部622而言靠向上述轴向上的另一端侧的位置，通过将向着上述轴向上的一端侧插通了载荷传感器641的轴体670的雄螺纹部673与防松螺帽650螺合，使载荷传感器641夹持在防松螺帽650与扩径部671之间。

第2壳体690的雄螺纹部692与第1壳体620的雌螺纹部623螺合，从而第1壳体620的上述端面与第2壳体690的凸缘部691相抵接，并且载荷传感器641夹持在缩径部622与第2壳体690的端部693之间。

结果是，载荷传感器641以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在第1壳体620内。也就是说，预压载荷是将防松螺帽650拧紧在雄螺纹部673上时的轴向力、及将第2壳体690的雄螺纹部692拧紧在第1壳体620的雌螺纹部623上时的轴向力所带来的。

马达10正转驱动而使得轴体670向上述轴向上的另一端按压物体时，轴体670受到向着上述轴向上的一端的载荷F1。轴体670受到的载荷F1传递到载荷传感器641。结果是载荷F1被载荷传感器641检测到。

通过对电动致动器100的第2载荷传感器142的检测值与外力载荷检测单元600的载荷传感器641的检测值进行比较，能够校准电动致动器100的第2载荷传感器142对载荷F1的检测。

马达10倒转驱动而使得轴体670向上述轴向上的一端拖拉物体时，轴体670受到向着上述轴向上的另一端的载荷F2。轴体670受到的载荷F2从轴体670的雄螺纹部673介由防松螺帽650传递到载荷传感器641。结果是载荷F1被载荷传感器641检测到。

通过对电动致动器100的第1载荷传感器141的检测值与外力载荷检测单元600的载荷传感器641的检测值进行比较，能够校准电动致动器100的第1载荷传感器141对载荷F2的检测。

如上所述，本实施方式的外力载荷检测单元600中，载荷传感器641设置为如下方式：轴体670被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，载荷传感器641的检测值增加，并且，轴体670被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，载荷传感器641的检测值增加。

本发明的实施方式5的外力载荷检测单元600中，载荷传感器641以沿上述轴向被夹持的方式且以被施加了沿上述轴向的预压载荷的状态，固定在第1壳体620内。另外，载荷传感器641还设置为如下方式：轴体670被施加向着上述轴向上的一端的载荷时，载荷传感器641的检测值增加，并且，轴体670被施加向着上述轴向上的另一端的载荷时，载荷传感器641的检测值增加。

在轴体670为受到载荷的无载荷状态时，就已经对载荷传感器641施加有预压载荷，从而能够降低荷传感器641在检测载微少载荷时的检测误差。结果是外力载荷检测单元600能够高精度检测从无载荷状态起出现的推拉两方的外力载荷。

关于本发明的实施方式6的外力载荷检测单元600，只需在将外力载荷检测单元600安装在电动致动器100的线性可动部的顶端部的状态下使电动致动器100工作，就能够简便正确地检测电动致动器100的外力载荷。

虽然本实施方式中，外力载荷检测单元600安装于本发明的实施方式1的电动致动器100，但不限定于此，外力载荷检测单元600可安装于本发明的实施方式2～4所述的任一个电动致动器，还可安装于没有内置载荷传感器的电动致动器。若将本发明的实施方式6的外力载荷检测单元600安装给了没有内置载荷传感器的电动致动器时，通过确认由外力载荷检测单元600检测出的载荷，就能够得知电动致动器实际受到的载荷。由此，能够得出马达10的输出值与电动致动器受到的载荷之间的关系。

本实施方式中，外力载荷检测单元600具备的载荷传感器仅为1个，因此，与本发明的实施方式5的外力载荷检测单元500相比，本实施方式的外力载荷检测单元更为经济。

以下的实施方式中，对所述实施方式1的电动致动器100所具备的载荷检测机构的其他例子进行说明。

(实施方式7)

以下，对本发明的其他实施方式进行说明。为便于说明，对与上述实施方式中说明了的部件具有相同功能的部件，赋予相同的附图标记，并不再反复说明。

(载荷检测机构的概要)

图12是本发明的实施方式7的载荷检测机构700A的概略结构截面图。载荷检测机构700A是所述实施方式1的图1的电动致动器100所具备的载荷检测机构的其他例子。具备载荷检测机构700A的电动致动器的除载荷检测机构700A之外的结构与所述实施方式1的电动致动器100相同，因此省略对相同结构的详细说明。

载荷检测机构700A包含：第1轴承701、第2轴承702、第1载荷传感器703、第2载荷传感器704、壳体705，并且，载荷检测机构700A对以下载荷进行检测：构成轴体110的圆柱部113被施加的箭头A方向或箭头B方向的载荷。这里，第1轴承701、第2轴承702、第1载荷传感器703、第2载荷传感器704及壳体705与上述实施方式1中说明了的第1轴承131、第2轴承132、第1载荷传感器141、第2载荷传感器142及壳体120分别对应。

第1轴承701及第2轴承702，以它们各自的至少一部分被轴体110插通着的状态，设置在壳体705内。轴体110的圆柱部113位于第1轴承701及第2轴承702这两者的内侧。

第1载荷传感器703及第2载荷传感器704分别为环状，且以被轴体110插通着的状态设置在壳体705内。轴体110的圆柱部113位于第1载荷传感器703及第2载荷传感器704这两者的内侧。第1载荷传感器703与第1轴承701并排设置。第2载荷传感器704与第2轴承702并排设置。本实施方式中，第1载荷传感器703与第1轴承701直接相接，但例如第1载荷传感器703也可介由垫圈等与第1轴承701间接相接。第2载荷传感器704与第2轴承702直接相接，但例如第2载荷传感器704也可介由垫圈等与第2轴承702间接相接。另外，第1载荷传感器703及第2载荷传感器704各自的形状不限定为环状。

第1载荷传感器703及第2载荷传感器704例如为应变仪式、压电式、磁致伸缩式、电容式、陀螺仪式、弹簧式或音叉式载荷传感器。第1载荷传感器703及第2载荷传感器704可由所谓的测压元件构成。

载荷检测机构700A中，圆柱部113受到箭头A方向的外力709时，第1轴承701被向着设置在该圆柱部113的防松螺帽150按压，从而由第1载荷传感器703检测载荷。另一方面，载荷检测机构700A中，圆柱部113受到箭头B方向的外力709时，第2轴承702被向着设置在该圆柱部113的扩径部112按压，从而由第2载荷传感器704检测载荷。

这里，第1轴承701是圆锥滚柱轴承(第1圆锥滚柱式轴承)，其包含：内轮701a、外轮701b、及夹持在内轮701a与外轮701b之间的圆锥滚柱701c。第1轴承701设置为如下方式：内轮701a及外轮701b的轨道面的顶点与圆锥滚柱701c的锥面的顶点相交于第1载荷传感器703侧的轴承的中线上的同1点。

另外，第2轴承702是圆锥滚柱轴承(第2圆锥滚柱式轴承)，其包含：内轮702a、外轮702b、及夹持在内轮702a与外轮702b之间的圆锥滚柱702c。第2轴承702设置为如下方式：内轮702a及外轮702b的轨道面的顶点与圆锥滚柱702c圆锥面的顶点相交于第2载荷传感器704侧的轴承的中线上的同1点。

由此，第1轴承701通过在内轮701a侧与圆柱部113接触，而能够将由该圆柱部113受到的箭头A方向的外力所带来的载荷，分散为轴向(向着第1载荷传感器703)的载荷与径向(向着壳体705侧)的载荷。同样地，第2轴承702通过在内轮702a侧与圆柱部113接触，而能够将由该圆柱部113受到的箭头B方向的外力所带来的载荷，分散为轴向(向着第2载荷传感器704)载荷与径向(向着壳体705侧)的载荷。

这样，第1轴承701及第2轴承702能够同时支撑轴向载荷与径向载荷，因此，即使外力大，也能够减低轴承部分的摩擦。也就是说，轴体110以轴体110能够流畅移动的方式被第1轴承701及第2轴承702支撑着，因此，电动致动器能够高精度检测从无载荷状态起出现的推拉两方的外力所带来的载荷。

(载荷检测)

图13是图12的载荷检测机构700A的载荷检测部X1的主要部分截面图。该载荷检测部X1包含第1轴承701、第1载荷传感器703、及壳体705的一部分。另外，包含第2轴承702、第2载荷传感器704、及壳体705的一部分的载荷检测部的结构与载荷检测部X1相同，因此省略对其的详细说明。

如图13所示，第1轴承701中，圆柱部113受到的外力709所带来的载荷由内轮701a承受，并被分散为轴向载荷710及径向载荷711。也就是说，第1轴承701将轴向载荷710传递给第1载荷传感器703，并且，将径向载荷(分力)711从外轮701b向着壳体705的内周面705a传递。

第1载荷传感器703对由第1轴承701传递的轴向载荷710进行检测。并且，第2载荷传感器704对由第2轴承702传递的轴向载荷进行检测。

这里，径向载荷711使第1轴承701的外轮701b向外侧变位。也就是说，第1轴承701的外轮701b由于径向载荷711而向外侧膨胀。由于外轮701b与壳体705的内周面705a接触，因此，载荷711会介由外轮701b传递给壳体705的内周面705a，从而产生摩擦阻力714。该摩擦阻力714的方向与外力709的箭头方向相反，因此，外力709(图12的箭头A方向的外力)所带来的载荷710也会发生变动。同样地，包含第2轴承702、第2载荷传感器704、壳体705的一部分的载荷检测部中，也会产生摩擦阻力，因此外力709(图12的箭头B方向的外力)所带来的载荷也会发生变动。因此，具备载荷检测机构700A的电动致动器中，从无载荷状态起出现的推拉两方的外力所带来的载荷不同。

图14所示的图表示出了图12的载荷检测机构700A被施加的外力与第1载荷传感器703及第2载荷传感器704的输出电压之间的关系。

图14所示的图表示出了外力709(图12的箭头A方向的外力)从零向最大值Fmax逐渐增大时(加压时)的输出电压(V)的值、以及外力709达到最大值Fmax后使外力709(沿图12的箭头B方向)逐渐减小时(减压时)的输出电压(V)的值。从该图表可知，除了外力709为零及最大值Fmax的情况以外，即使是同一大小的外力709，不同外力施加方向(加压方向·减压方向)时的输出电压的值也会不同。其理由在于受到了摩擦阻力714的影响，该摩擦阻力714是由外力709所带来的载荷711所引起的。如此可知，对外力709进行加压时与对外力709进行减压时，输出电压的值会不一致，输出电压的值会表现出滞后曲线形态的变化。

就载荷检测机构700A而言，沿箭头A方向施加外力709时的输出电压的值、与沿箭头B方向施加外力709时的输出电压的值越接近，则可以说对轴体110受到的载荷的检测精度越高。并且，实施方式8对提高载荷检测精度的例子进行说明。

(实施方式8)

以下，对本发明的其他实施方式进行说明。为便于说明，对与上述实施方式中说明了的部件具有相同功能的部件，赋予相同的附图标记，并不再反复说明。

(载荷检测机构的概要)

图15是本发明的实施方式8的电动致动器的载荷检测机构700B的概略结构的局部截面图。载荷检测机构700B的结构与上述实施方式7的图12的载荷检测机构700A基本相同，不同之处在于：在第1轴承701及第2轴承702与壳体705之间设置着间隙，并且该间隙中夹着弹性体712。

如图15所示，载荷检测机构700B中，通过使壳体705的内径大于通常内径，从而在该壳体705的内周面705a与第1轴承701的外轮701b及第2轴承702的外轮702b之间形成规定间距的间隙713(图16)。由此，径向载荷711不会从外轮701b及外轮702b向壳体705传递，因此，不易产生与外力施加方向相反的摩擦阻力。

并且，在壳体705的内周面705a与第1轴承701的外轮701b及第2轴承702的外轮702b之间的间隙713(图16)，设置着弹性体712，该弹性体712比间隙713的间距稍大一些。也就是说，在第1轴承701的外轮701b及第2轴承702的外轮702b与壳体705的内周面705a之间，隔着弹性体712。该弹性体712的大小供实现如下方式：弹性体712以使第1轴承701及第2轴承702与壳体705的内周面705a保持规定距离的方式夹持第1轴承701及第2轴承702。由此，载荷检测机构700B能够抑制由于壳体705的内径大于一般的内径而带来的徐变(creep)及轴承的偏心。

(载荷检测)

图16是图15的载荷检测部X2的示意图。另外，包含第2轴承702、第2载荷传感器704、及壳体705的一部分的载荷检测部的结构与载荷检测部X2相同，因此省略对其的详细说明。

壳体705的内周面705a与第1轴承701的外轮701b之间形成着规定间距的间隙713。间隙713的间距设定为比以下的距离长：即使第1轴承701由于径向载荷而膨胀，第1轴承701也不与壳体705的内周面705a接触的距离。由此，不会由于第1轴承701的膨胀了的外轮701b与壳体705的内周面705a接触而形成摩擦阻力，但是，这种情况下，插入在轴承中的轴体会产生振动，因此将上述弹性体712夹在间隙713中。设定间隙713时，将第1轴承701的外轮701b的膨胀考虑在内。具体而言，间隙713的间距设定为：即使第1轴承701的外轮701b膨胀，该外轮701b也不与壳体705的内周面705a接触。

弹性体712由具有类橡胶弹性的部件的O型环形成，该O型环是具有类橡胶弹性的部件中的一种。如图16所示，弹性体712嵌入在槽部705b，该槽部705b形成在壳体705的内周面705a上的、与第1轴承701的外轮701b相对置的位置。槽部705b是沿着壳体705的内周面705a的圆周方向形成的槽。这里，类橡胶弹性(rubber-like elasticity)是指物体的如下趋势：在很小的应力作用下产生很大的变形，并欲迅速从该变形恢复到原状。

该O型环价格较经济且易获得，并且能够容易地安装在槽部705b，因此作为弹性体712较适用。但是，弹性体712不限定为O型环，也可为其他具有类橡胶弹性的部件。

弹性体712以其一部分从壳体705突出的方式嵌入在槽部705b。相对于第1轴承701的外轮701b与壳体705的内周面705a之间的间隙713的间距而言，弹性体712的突出部分的长度稍大于该间距。由此，弹性体712一边反抗来自第1轴承701的外轮701b的势能，一边与第1轴承701的外轮701b抵接，因此，能够保持第1轴承701在壳体705内的稳定。

由此，即使壳体705的内径大于通常内径，通过设置弹性体712，也能够抑制由与第1轴承701之间的间隙所引起的徐变及轴承的偏心。具体而言，通过在第1轴承701的外轮701b与弹性体712抵接的状态下的调心，能够以轴向载荷710的矢量方向无浮动且无载荷失衡的方式，将外力709带给圆柱部113的载荷传递给第1载荷传感器703。并且，将弹性体712夹持在壳体705的内周面705a(内径周面)与第1轴承701的外轮701b之间，能够通过弹性体712来保持第1轴承701的外轮701b，从而抑制第1轴承701的外轮701b旋转，结果是能够防止徐变。

同样地，关于包含第2轴承702的载荷检测部，在壳体705的内周面705a与第2轴承702的外轮702b之间的间隙713，也设置着弹性体712。由此，包含第2轴承702的载荷检测部起到与包含第1轴承701的载荷检测部X同样的效果。

另外，如图16所示，弹性体712吸收径向载荷(分力)711，因此，载荷711不易传递给壳体705的内周面705a。由此，壳体705上不易产生由载荷711所带来的摩擦阻力，从而轴向载荷710不易受到逆向的摩擦阻力的影响，因此外力709(图15的箭头A方向的外力)所带来的载荷710不易变动。同样地，包含第2轴承702、第2载荷传感器704、及壳体705的一部分的载荷检测部中也设置着弹性体712，所以不易产生摩擦阻力，从而外力709(图15的箭头B方向的外力)所带来的载荷不易变动。

图17所示的图表示出了图15的载荷检测机构700B被施加的外力与第1载荷传感器703及第2载荷传感器704的输出电压之间的关系。该图表所示的是将壳体705的内径扩展得稍微超过公差范围时的一例测定结果。这里，壳体705的内径稍微超过公差范围的程度是随轴体110的外径、及轴承内径尺寸等而变动的。

图17所示的图表示出了外力709(图15的箭头A方向的外力)从零向最大值Fmax逐渐增大时(加压时)的输出电压(V)的值、以及外力709达到最大值Fmax后使外力709(沿图15的箭头B方向)逐渐减小时(减压时)的输出电压(V)的值。从该图表可知，对外力709进行加压时的输出电压的值与对外力709进行减压时的输出电压的值基本一致。因此可知，载荷检测机构700B不易受到外力709带给圆柱部113(轴体110)的两类载荷中的径向载荷711的影响。

因此，能够提高载荷检测机构700B的载荷检测精度。

另外，弹性体712除了可以是具有类橡胶弹性的O型环等部件之外，还可以为其他树脂制弹性体，或者可以由例如垫片、密封圈、胶带等吸收外力的部件形成。并且，弹性体712也可沿着壳体705的槽部705b连续设置，或断续设置。

另外，弹性体712的位置只要能够用来吸收第1轴承701及第2轴承702施加给壳体705的内周面705a的载荷711即可，相对于壳体705的内周面705a，弹性体712可任意设置。并且，槽部705b也只需配合弹性体712的设置位置来形成即可。

另外，所述实施方式7、8中，对将圆锥滚柱轴承(圆锥滚柱式轴承)作为第1轴承701及第2轴承702的例子进行了说明，但不限定于此。第1轴承701及第2轴承702是使得轴向、径向这两个方向上产生载荷的轴承即可，例如可为向心推力球轴承、滚针轴承。

上述实施方式的说明中，也可对能够组合的方案进行相互组合。

本发明的实施方式在所有方面均为例示，不构成对本发明的限定。本发明的范围不限于上述说明，而是由发明构思示出，本发明的范围包括发明构思的均等意义及均等范围内的所有变更。

Claims (6)

1.一种电动致动器，其具备：

驱动机构；

轴体，其沿电动致动器的轴向延伸，且具有轴螺纹部；

螺帽，其介由滚珠与所述轴螺纹部螺合，且能够通过所述驱动机构的驱动而相对于所述轴体进行沿所述轴向的相对性移动；

壳体，其容纳所述轴体的一部分；

第1轴承及第2轴承，它们均为被所述轴体插通着的状态且至少一部分设置在所述壳体内；

第1载荷传感器及第2载荷传感器，它们均设置在所述壳体内，

并且，

所述第1载荷传感器沿所述轴向与所述第1轴承并排设置，

所述第2载荷传感器沿所述轴向与所述第2轴承并排设置，

所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器分别以沿所述轴向被夹持的方式且以被施加了沿所述轴向的预压载荷的状态，固定在所述壳体内，

所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器设置为如下方式：所述轴体被施加向着所述轴向上的一端的载荷时，所述第2载荷传感器的检测值增加，但所述第1载荷传感器的检测值减少，并且，所述轴体被施加向着所述轴向上的另一端的载荷时，所述第1载荷传感器的检测值增加，但所述第2载荷传感器的检测值减少，

所述壳体具有壳体内径局部性缩小的缩径部，所述缩径部位于所述轴向上的、所述第1载荷传感器的设置位置与所述第2载荷传感器的设置位置之间，

所述轴体具有雄螺纹部、以及轴体直径局部性增大的扩径部，在所述轴体的所述一部分容纳在所述壳体中的状态下，所述雄螺纹部位于相较于所述缩径部的位置而言靠向所述轴向上的一端侧的位置，并且所述扩径部位于相较于所述缩径部的位置而言靠向所述轴向上的另一端侧的位置，

所述电动致动器还具备与所述轴体的所述雄螺纹部螺合的防松螺帽，

所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器分别沿所述轴向与所述缩径部并排设置，

所述第1载荷传感器及所述第1轴承夹持在所述缩径部与所述防松螺帽之间，

所述第2载荷传感器及所述第2轴承夹持在所述缩径部与所述扩径部之间。

2.根据权利要求1所述的电动致动器，其中，

所述壳体的内周面与所述第1轴承及所述第2轴承之间均设置着弹性体。

3.一种电动致动器，其具备：

驱动机构；

轴体，其沿电动致动器的轴向延伸，且具有轴螺纹部；

螺帽，其介由滚珠与所述轴螺纹部螺合，且能够通过所述驱动机构的驱动而相对于所述轴体进行沿所述轴向的相对性移动；

壳体，其容纳所述轴体的一部分；

第1轴承及第2轴承，它们均为被所述轴体插通着的状态且至少一部分设置在所述壳体内；

第1载荷传感器及第2载荷传感器，它们均设置在所述壳体内，

并且，

所述第1载荷传感器沿所述轴向与所述第1轴承并排设置，

所述第2载荷传感器沿所述轴向与所述第2轴承并排设置，

所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器分别以沿所述轴向被夹持的方式且以被施加了沿所述轴向的预压载荷的状态，固定在所述壳体内，

所述第1载荷传感器及所述第2载荷传感器设置为如下方式：所述轴体被施加向着所述轴向上的一端的载荷时，所述第2载荷传感器的检测值增加，但所述第1载荷传感器的检测值减少，并且，所述轴体被施加向着所述轴向上的另一端的载荷时，所述第1载荷传感器的检测值增加，但所述第2载荷传感器的检测值减少，

所述电动致动器还具备通过所述驱动机构的驱动而相对于所述轴体圆周方向进行旋转的转轮，

所述壳体包含彼此连接的第1壳体及第2壳体，

所述转轮容纳在所述壳体的内侧，

所述第1载荷传感器及所述第1轴承位于相对于所述转轮而言靠向所述轴向上的另一端侧的位置，且容纳在所述壳体的内侧，

所述第2载荷传感器及所述第2轴承位于相对于所述转轮而言靠向所述轴向上的一端侧的位置，且容纳在所述壳体的内侧，

所述第1壳体具有所述第1壳体的内径局部性缩小的第1缩径部，所述第1缩径部位于相对于所述第1载荷传感器及所述第1轴承的设置位置而言靠向所述轴向上的所述另一端侧的位置，

所述第2壳体具有所述第2壳体的内径局部性缩小的第2缩径部，所述第2缩径部位于相对于所述第2载荷传感器及所述第2轴承的设置位置而言靠向所述轴向上的所述一端侧的位置，

所述第1载荷传感器沿所述轴向与所述第1缩径部并排设置，

所述第2载荷传感器沿所述轴向与所述第2缩径部并排设置，

所述第1载荷传感器及所述第1轴承夹持在所述第1缩径部与所述转轮之间，

所述第2载荷传感器及所述第2轴承夹持在所述第2缩径部与所述转轮之间。

4.根据权利要求3所述的电动致动器，其中，

所述轴体与所述转轮同时旋转，从而使所述螺帽沿所述轴向移动。

5.根据权利要求3所述的电动致动器，其中，

所述螺帽与所述转轮同时旋转，从而使所述轴体沿所述轴向移动。

6.根据权利要求3～5中任一项所述的电动致动器，其中，

所述壳体的内周面与所述第1轴承及所述第2轴承之间均设置着弹性体。