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JP2006086469A - 半導体発光装置、照明モジュール、照明装置及び半導体発光装置の製造方法 - Google Patents

半導体発光装置、照明モジュール、照明装置及び半導体発光装置の製造方法 Download PDF

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JP2006086469A
JP2006086469A JP2004272249A JP2004272249A JP2006086469A JP 2006086469 A JP2006086469 A JP 2006086469A JP 2004272249 A JP2004272249 A JP 2004272249A JP 2004272249 A JP2004272249 A JP 2004272249A JP 2006086469 A JP2006086469 A JP 2006086469A
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light emitting
emitting device
multilayer film
semiconductor
Prior art date
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JP2004272249A
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English (en)
Inventor
Hideo Nagai
秀男 永井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Priority to PCT/JP2005/016475 priority patent/WO2006030678A2/en
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Priority to DE602005021224T priority patent/DE602005021224D1/de
Priority to AT05782147T priority patent/ATE467911T1/de
Priority to EP05782147A priority patent/EP1769541B1/en
Priority to TW94130080A priority patent/TWI364116B/zh
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Abstract

【課題】 取り出される光の色ムラを抑えた上、高光束化が可能な半導体発光装置、これを用いた照明モジュール及び照明装置、並びに半導体発光装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体多層膜(12)と、半導体多層膜(12)を支持する基板(10)と、半導体多層膜(12)を覆って基板(10)上に形成された蛍光体膜(11)とを有し、蛍光体膜(11)は、基板(10)の主面(10a)に平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成され、基板(10)の主面(10a)の外縁(10c)は、基板(10)上の蛍光体膜(11)が形成された領域(10d)を囲み、かつ略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている半導体発光装置(1)とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体発光装置、これを用いた照明モジュール及び照明装置、並びに半導体発光装置の製造方法に関する。
一般にＧａＮ系の発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ、以下「ＬＥＤ」と称する）は、サファイア基板等の単結晶基板上に、一般式ＢzＡｌxＧａ1-x-y-zＩｎyＮ1-v-wＡｓvＰw（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦１、０≦ｘ＋ｙ＋ｚ≦１、０≦ｖ≦１、０≦ｗ≦１、０≦ｖ＋ｗ≦１）で表されるIII−Ｖ族窒化物半導体を結晶成長させた半導体多層膜で構成され、この半導体多層膜に電流を流すことにより、紫外域から赤外域（例えば２００〜１７００ｎｍ）の広範囲に亘る光を発光することができる。特に、現時点では青緑色より短波長域の光を発光するＬＥＤの開発が進められている。
なかでも、青色光を発する青色ＬＥＤは、青色光により励起して黄色光や赤色光を発する蛍光体と組み合わせることによって、白色光を発する白色ＬＥＤとして利用することもできる。白色ＬＥＤは、白熱電球やハロゲン電球に比べて長寿命化が可能であるため、将来的には既存の照明光源に代わる可能性を秘めている。また、紫外及び近紫外光を発するＬＥＤと、青色より長波長域の蛍光を発する蛍光体とを数種類組み合わせることによって、白色ＬＥＤを構成することもできる。
しかしながら、一般の白熱電球（６０Ｗ）の光束が８００ｌｍ程度であるのに対して、１ｍｍ角の青色ＬＥＤベアチップを用いた白色ＬＥＤの光束は３０〜６０ｌｍ程度であるため、白色ＬＥＤを照明光源として使用するには高光束化が不可欠である。そのため、多数の白色ＬＥＤを集積化したモジュールが、例えば特許文献１に提案されている。特許文献１に提案されたモジュールは、基板にサブマウント等を介することなく白色ＬＥＤがフリップチップ実装されている。この実装方式は、実装面積がチップサイズと同等であることから、高密度実装が可能となり、限られたサイズの基板に多数の白色ＬＥＤを実装することができる。その結果、モジュールから得られる光の高光束化が可能となる。しかし、特許文献１に提案されたモジュールは、基板に多数の白色ＬＥＤをフリップチップ実装するため、ひとつでも実装に失敗すると不良となることから、歩留まりの向上が困難となるおそれがある。
一方、基板にサブマウントを介して多数の白色ＬＥＤを実装したモジュールが、例えば特許文献２に提案されている。このモジュールでは、サブマウントに青色ＬＥＤをフリップチップ実装した後、サブマウント上に前記青色ＬＥＤを覆って蛍光体膜を形成することで白色ＬＥＤを含む半導体発光装置を製造し、この半導体発光装置を基板に実装している。そのため、基板へ実装する前に、半導体発光装置の電気的又は光学的な特性を検査することで、良品の半導体発光装置のみを選別して基板に搭載することが可能となる。これにより、モジュールの製造工程上の無駄を省き、歩留まりを向上させることができる。
特開２００３−１２４５２８号公報 特許第３３９９４４０号公報
しかし、特許文献２に提案されたモジュールでは、高密度に白色ＬＥＤを実装することが困難であるため、モジュールから得られる光の光束が不足するおそれがある。また、蛍光体膜が略直方体形状に形成されていることから、モジュールから得られる光が異方性を有するため、取り出される光に色ムラが生じるおそれがある。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、取り出される光の色ムラを抑えた上、高光束化が可能な半導体発光装置、これを用いた照明モジュール及び照明装置、並びに半導体発光装置の製造方法を提供する。
本発明の半導体発光装置は、
第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とがこの順に積層された半導体多層膜と、
前記第１導電型層に接触して形成された第１電極と、
前記第２導電型層に接触して形成された第２電極と、
前記半導体多層膜の前記第１導電型層側に配置され、前記半導体多層膜を支持する基板と、
前記基板における前記半導体多層膜側の主面に対する裏面に形成された第１及び第２端子と、
前記第１電極と前記第１端子とを電気的に接続する第１導電部材と、
前記第２電極と前記第２端子とを電気的に接続する第２導電部材と、
前記半導体多層膜を覆って前記基板上に形成され、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜とを有する半導体発光装置であって、
前記蛍光体膜は、前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成され、
前記基板における前記半導体多層膜側の主面の外縁は、前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されていることを特徴とする。
本発明の照明モジュールは、前記半導体発光装置と、前記半導体発光装置を実装する基板とを含む照明モジュールである。また、本発明の照明装置は、前記照明モジュールを光源とする照明装置である。
本発明の半導体発光装置の第１の製造方法は、
単結晶基板の一主面上に、前記単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成し、
前記第１及び第２導電型層にそれぞれ接触する第１及び第２電極を形成し、
別に、基板にビアホールを設けた後、前記ビアホール内にビア導体を形成し、
前記基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成し、
前記基板の前記一主面に対する裏面に、前記ビア導体を介して前記導体パターンとそれぞれ電気的に接続する第１及び第２端子を形成し、
前記第１電極と前記第１端子とを前記導体パターン及び前記ビア導体を介して電気的に接続するとともに、前記第２電極と前記第２端子とを前記導体パターン及び前記ビア導体を介して電気的に接続して、前記基板上に前記半導体多層膜を支持し、
前記基板上に、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、前記半導体多層膜を覆い、かつ前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成し、
前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む前記基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように前記基板を切り抜く。
本発明の半導体発光装置の第２の製造方法は、
単結晶基板の一主面上に、前記単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成し、
前記第１導電型層の主面に接触する第１電極を形成し、
別に、基板にビアホールを設けた後、前記ビアホール内にビア導体を形成し、
前記基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成し、
前記導体パターン上に、金属層を形成し、
前記第１電極と前記金属層とを接合させることにより、前記単結晶基板と前記基板との間に前記半導体多層膜を挟持した積層体を形成し、
前記単結晶基板を前記半導体多層膜から分離し、
前記第２導電型層と前記ビア導体とを電気的に接続する第２電極を形成し、
前記基板の前記一主面に対する裏面に、前記ビア導体を介して前記導体パターンと電気的に接続する第１端子と、前記ビア導体を介して前記第２電極と電気的に接続する第２端子とを形成し、
前記基板上に、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、前記第２導電型層の主面に接触して前記半導体多層膜を覆い、かつ前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成し、
前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む前記基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように前記基板を切り抜く。
本発明の半導体発光装置における蛍光体膜は、基板における半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている。これにより、本発明の半導体発光装置は、蛍光体膜から出射する光の異方性を低減させ、取り出される光の色ムラを抑えることができる。また、本発明の半導体発光装置における基板は、半導体多層膜側の主面の外縁が、基板上の蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている。これにより、本発明の半導体発光装置は、基板上に高密度に蛍光体膜を形成することができるため、高光束化が可能となる。また、本発明の照明モジュール及び照明装置は、それぞれ本発明の半導体発光装置を含むため、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、高光束化が可能となる。また、本発明の半導体発光装置の製造方法によれば、本発明の半導体発光装置を容易に製造することができる。
本発明の半導体発光装置は、第１導電型層と発光層と発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とがこの順に積層された半導体多層膜と、第１導電型層に接触して形成された第１電極と、第２導電型層に接触して形成された第２電極と、半導体多層膜の第１導電型層側に配置され、半導体多層膜を支持する基板と、基板における半導体多層膜側の主面に対する裏面に形成された第１及び第２端子と、第１電極と第１端子とを電気的に接続する第１導電部材と、第２電極と第２端子とを電気的に接続する第２導電部材と、半導体多層膜を覆って基板上に形成され、発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜とを有する。
半導体多層膜は、第１導電型層と発光層と第２導電型層とがこの順に積層され、例えば青色ＬＥＤを構成するダイオード構造からなる。第１導電型層は、ｐ型又はｎ型の半導体層である。第１導電型層としては、例えば、ｐ型半導体層であるｐ−ＧａＮ層や、ｎ型半導体層であるｎ−ＧａＮ層等を使用することができる。発光層の材料としては、４５０〜４７０ｎｍの光を発することができる材料が好ましい。発光層の具体例としては、例えば、ＩｎＧａＮ／ＧａＮ量子井戸発光層等が挙げられる。第２導電型層は、第１導電型層と逆の導電型の半導体層である。例えば、第１導電型層がｐ型半導体層の場合、第２導電型層はｎ型半導体層となる。第２導電型層としては、第１導電型層と同様に、例えば、ｐ型半導体層であるｐ−ＧａＮ層や、ｎ型半導体層であるｎ−ＧａＮ層等を使用することができる。ｐ型半導体層、発光層及びｎ型半導体層の厚みは、例えばそれぞれ０．１〜０．５μｍ、０．０１〜０．１μｍ及び０．５〜３μｍとすればよい。なお、第１導電型層、発光層及び第２導電型層は、それぞれ単層からなるものでもよいし、複数層からなるものでもよい。複数層からなる場合は、構成層のそれぞれが互いに異なる材料であってもよい。また、本発明の半導体発光装置は、第１導電型層の主面又は第２導電型層の主面に接触して設けられ、半導体多層膜を結晶成長させる際に使用したＧａＮ基板等の単結晶基板（厚み：０．０１〜０．５ｍｍ程度）を含んでいてもよい。
第１及び第２電極の材料は特に限定されないが、第１導電型層に接触して形成された第１電極については、発光層から発せられた光を反射する材料が好ましい。半導体発光装置の光の取り出し効率が向上するからである。発光層から発せられた光を反射する材料としては、例えば、Ｒｈ/Ｐｔ/Ａｕ等が例示できる。第１及び第２電極の厚みは、例えば０．５〜３μｍとすればよい。
基板は、特に限定されず、例えばＳｉ基板、ＳｉＣ基板等の半導体基板や、Ａｌ2Ｏ3基板、ＡｌＮ基板等のセラミック基板等を使用できる。なかでも、熱伝導率が高く、加工性が良好な高純度Ｓｉ基板が好ましい。基板の厚みは、例えば０．１〜１ｍｍとすればよい。なお、基板として、金属や導電性半導体等からなる導電性基板の所望の箇所が、ＳｉＯ2やＳｉＮ等の電気絶縁材料で被覆されたものを使用してもよい。
第１及び第２端子は、本発明の半導体発光装置を基板に実装して照明モジュールを製造する際、前記基板に接続するための端子である。第１及び第２端子の材料としては、例えばＴｉ／Ａｕ等の慣用の導電材料が使用できる。第１及び第２端子の厚みは、例えば０．５〜３μｍとすればよい。
第１及び第２導電部材としては、例えば、基板に設けられたビアホール内に形成されたビア導体や、基板における半導体多層膜側の主面に形成された導体パターン等が例示できる。第１及び第２導電部材がビア導体を含むと、照明モジュールを製造する際、本発明の半導体発光装置を基板上に高密度に実装することができる。なお、ビア導体を基板に設ける際は、半導体多層膜が設けられる箇所の直下以外の箇所（例えば、基板の端部等）に設けるとよい。半導体多層膜が設けられる箇所の直下にビア導体が形成されると、半導体多層膜を実装する際、ビア導体や半導体多層膜が変形するおそれがある。ビア導体としては、例えば、ビアホール内にめっき等によってＰｔやＣｕ等の金属材料を充填したものが使用できる。また、ビア導体の径は、例えば、２０〜２００μｍとすればよい。なお、ビア導体の代わりに、基板の側面に沿って導体を設けてもよい。また、第１及び第２導電部材が導体パターンを含む場合は、前記導体パターンが、例えば発光層から発せられた光や蛍光体膜中の蛍光体から発せられた光を反射する材料（例えば、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ等）を含み、かつ基板における半導体多層膜側の主面の略全面に形成されていてもよい。発光層や蛍光体膜から基板側へと進む光を、前記導体パターンにより光の取り出し側へと反射することができるため、半導体発光装置の光の取り出し効率が向上するからである。なお、導体パターンの厚みは、例えば、０．５〜３μｍとすればよい。
蛍光体膜は、発光層から発せられた光を吸収して蛍光（例えば黄色光や赤色光の蛍光）を発する蛍光体を含む。黄色光を発する蛍光体としては、（Ｓｒ、Ｂａ）2ＳｉＯ4：Ｅｕ2+や（Ｙ、Ｇｄ）3Ａｌ5Ｏ12：Ｃｅ3+等が例示でき、赤色光を発する蛍光体としては、（Ｃａ、Ｓｒ）Ｓ：Ｅｕ2+やＳｒ2Ｓｉ5Ｎ8：Ｅｕ2+等が例示できる。そして、蛍光体膜は、半導体多層膜を覆って基板上に形成されている。これにより、例えば発光層から発せられる光が青色光の場合は、この青色光を蛍光体膜中の蛍光体が吸収し、前記蛍光体から黄色光や赤色光が発せられる。そして、前記蛍光体から発せられた黄色光や赤色光と、発光層から発せられ、蛍光体膜を通過した青色光とが混ざりあって、例えば白色光として照明光を取り出すことができる。なお、蛍光体膜の平均厚みは、例えば０．０３〜１ｍｍとすればよい。
そして、本発明の半導体発光装置における蛍光体膜は、基板における半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている。これにより、本発明の半導体発光装置は、蛍光体膜から出射する光の異方性を低減させ、取り出される光の色ムラを抑えることができる。また、本発明の半導体発光装置における基板は、半導体多層膜側の主面の外縁が、基板上の蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている。これにより、本発明の半導体発光装置は、基板上に高密度に蛍光体膜を形成することができるため、高光束化が可能となる。
また、本発明の半導体発光装置は、基板における半導体多層膜側の主面の外縁が、略正六角形状に形成されている半導体発光装置としてもよい。半導体発光装置の製造工程において、基板の外形加工を容易に行うことができるからである。
また、本発明の半導体発光装置は、第１電極が、第１導電型層の主面に接触して形成され、蛍光体膜が、第２導電型層の主面に接触して形成されている半導体発光装置としてもよい。この構成によれば、半導体多層膜の両主面上に、半導体多層膜を結晶成長させる際に使用した単結晶基板が存在しないため、半導体発光装置全体を薄く構成することができる。更に、発光層から発せられた光が単結晶基板を通過せずに放出されるため、光の取り出し効率が向上する。
また、本発明の半導体発光装置は、蛍光体膜が、略円錐台状又は略半球状に形成されている半導体発光装置としてもよい。この構成によれば、点対称となるスポット光が得られるため、照明装置に適した光源を提供することができる。また、本発明の半導体発光装置は、半導体多層膜の最外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている半導体発光装置としてもよい。この構成によれば、発光層から発せられる光の異方性を低減させることができるため、取り出される光の色ムラをより一層抑えることができる。
本発明の照明モジュールは、前述した本発明の半導体発光装置と、この半導体発光装置を実装する基板とを含む。また、本発明の照明装置は、前記照明モジュールを光源とする。このように、本発明の照明モジュール及び照明装置は、それぞれ本発明の半導体発光装置を含むため、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、高光束化が可能となる。
本発明の半導体発光装置の第１の製造方法は、前述した本発明の半導体発光装置を製造するための好適な製造方法である。よって、以下に述べる各構成要素の材料等は、前述した本発明の半導体発光装置の場合と同様である。
本発明の半導体発光装置の第１の製造方法は、まず、ＧａＮ基板等の単結晶基板の一主面上に、この単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成する。例えば、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）等によって、単結晶基板の一主面上に、第２導電型層、発光層及び第１導電型層を順次積層すればよい。
次に、第１及び第２導電型層にそれぞれ接触する第１及び第２電極を形成する。例えば第１及び第２導電型層上の所望の位置に、電子ビーム蒸着法等によってＲｈ/Ｐｔ/Ａｕ層やＴｉ/Ｐｔ/Ａｕ層等の電極層を形成すればよい。
そして、別に、基板にドライエッチング等によってビアホールを設けた後、このビアホール内にビア導体を形成する。ビア導体の形成は、例えば前記ビアホール内にＰｔ等の金属をめっき等によって充填すればよい。次に、基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成する。例えば、基板の一主面上に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ膜等の金属膜を蒸着等によって形成した後、この金属膜をリフトオフ法等によって所望の形状にパターニングして導体パターンを形成することができる。続いて、導体パターンが形成された基板の前記一主面に対する裏面に、ビア導体を介して導体パターンとそれぞれ電気的に接続する第１及び第２端子を形成する。例えば、前記裏面上においてビア導体が露出している箇所に、電子ビーム蒸着法等によりＴｉ/Ａｕ薄膜からなる下地膜を形成した後、この下地膜上にめっき等によってＡｕ層を積層して第１及び第２端子を形成することができる。
続いて、第１電極と第１端子とを導体パターン及びビア導体を介して電気的に接続するとともに、第２電極と第２端子とを導体パターン及びビア導体を介して電気的に接続して、基板上に半導体多層膜を支持する。例えば、第１電極と導体パターンとをバンプを介して電気的に接続するとともに、第２電極と導体パターンとをバンプを介して電気的に接続すればよい。
次に、基板上に、発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、半導体多層膜を覆い、かつ基板における半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成する。例えば、前記蛍光体とシリコーン樹脂等を含む樹脂組成物とからなるペーストと、略円錐台状や略正多角錐台状等の形状を模った孔部を含むスクリーン版とを用いて、スクリーン印刷により基板上の半導体多層膜を覆う位置に蛍光体膜を形成すればよい。
そして、基板上の蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように、基板を例えばダイシングブレード等によって切り抜く。以上の方法により、本発明の半導体発光装置を容易に製造することができる。
本発明の半導体発光装置の第２の製造方法は、前述した本発明の半導体発光装置を製造するための好適な製造方法である。よって、以下に述べる各構成要素の材料等は、前述した本発明の半導体発光装置の場合と同様である。
本発明の半導体発光装置の第２の製造方法は、まず、サファイア基板等の単結晶基板の一主面上に、この単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成する。例えば、ＭＯＣＶＤ法等によって、単結晶基板の一主面上に、第２導電型層、発光層及び第１導電型層を順次積層すればよい。続いて、第１導電型層の主面に接触する第１電極を形成する。例えば第１導電型層上の所望の位置に、電子ビーム蒸着法等によってＲｈ/Ｐｔ/Ａｕ層等の電極層を形成すればよい。
そして、別に、基板にドライエッチング等によってビアホールを設けた後、このビアホール内にビア導体を形成する。ビア導体の形成は、例えば前記ビアホール内にＰｔ等の金属をめっき等によって充填すればよい。次に、基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成する。例えば、基板の一主面上に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｕ膜等の金属膜を蒸着等によって形成した後、この金属膜をリフトオフ法等によって所望の形状にパターニングして導体パターンを形成することができる。次に、導体パターン上に、例えばめっき等によりＡｕ／Ｓｎ層等の金属層を形成する。この金属層の厚みは、例えば０．５〜３μｍとすればよい。
そして、第１電極と金属層とを、例えば金属層が溶融する温度（金属層がＡｕ／Ｓｎ層の場合は３００℃程度）で加熱して接合させることにより、単結晶基板と基板との間に半導体多層膜を挟持した積層体を形成する。
そして、単結晶基板を半導体多層膜から分離する。例えば、単結晶基板側からレーザ光を照射することにより、単結晶基板と半導体多層膜との界面における結合力を低下させた後、単結晶基板を半導体多層膜から分離すればよい。なお、前記レーザ光としては、例えば波長３５５ｎｍのＹＡＧレーザや、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ等を使用することができる。
次に、第２導電型層とビア導体とを電気的に接続する第２電極を形成する。例えば、第２導電型層とビア導体との接続箇所に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ膜等の金属膜を蒸着等によって形成すればよい。そして、導体パターンが形成された基板の前記一主面に対する裏面に、ビア導体を介して導体パターンと電気的に接続する第１端子と、ビア導体を介して第２電極と電気的に接続する第２端子とを形成する。例えば、前記裏面上においてビア導体が露出している箇所に、電子ビーム蒸着法等によりＴｉ/Ａｕ薄膜からなる下地膜を形成した後、この下地膜上にめっき等によってＡｕ層を積層して第１及び第２端子を形成することができる。
次に、基板上に、発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、第２導電型層の主面に接触して半導体多層膜を覆い、かつ基板における半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成する。例えば、前記蛍光体とシリコーン樹脂等を含む樹脂組成物とからなるペーストと、略円錐台状や略正多角錐台状等の形状を模った孔部を含むスクリーン版とを用いて、スクリーン印刷により基板上の半導体多層膜を覆う位置に蛍光体膜を形成すればよい。
そして、基板上の蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように、基板を例えばダイシングブレード等によって切り抜く。以上の方法により、本発明の半導体発光装置を容易に製造することができる。以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。
［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置について図面を参照して説明する。参照する図１は、第１実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、このうち、図１Ａは、第１実施形態に係る半導体発光装置の斜視図、図１Ｂは、図１ＡのI−I線断面図、図１Ｃは、第１実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。
第１実施形態に係る半導体発光装置１は、図１Ａ，Ｂに示すように、略正六角柱状に形成された電気絶縁基板１０と、電気絶縁基板１０上に設けられ、略円錐台状に形成された蛍光体膜１１と、電気絶縁基板１０上に設けられた半導体多層膜１２と、半導体多層膜１２に接触して設けられ、半導体多層膜１２を結晶成長させる際に使用した単結晶基板１３とを含む。そして、半導体多層膜１２及び単結晶基板１３は、蛍光体膜１１で覆われている。また、単結晶基板１３は、蛍光体膜１１との接触面である主面１３ａが、凹凸加工されている。これにより、半導体発光装置１の光の取り出し効率が向上する。なお、主面１３ａに形成される凹凸において、凹部の深さは例えば０．１〜５０μｍであり、凸部のピッチは例えば０．５〜５００μｍである。
半導体多層膜１２は、図１Ｂに示すように、電気絶縁基板１０側から順に、例えばｐ型半導体からなる第１導電型層１４と、発光層１５と、例えばｎ型半導体からなる第２導電型層１６とがこの順に積層されたダイオード構造からなる。そして、第２導電型層１６は、発光層１５から発せられた光の取り出し側に配置されている。また、図１Ｃに示すように、半導体多層膜１２の最外縁となる第２導電型層１６の外縁１６ａは、略正六角形状に形成されている。なお、蛍光体膜１１は、発光層１５から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む。
また、半導体発光装置１は、上記構成に加え、図１Ｂに示すように、第１導電型層１４の主面１４ａに形成された第１電極１７と、第２導電型層１６の突出部１６ｂに形成された第２電極１８と、電気絶縁基板１０における半導体多層膜１２側の主面１０ａに対する裏面１０ｂに形成された第１端子１９及び第２端子２０と、第１電極１７と第１端子１９とを電気的に接続する第１導電部材２１と、第２電極１８と第２端子２０とを電気的に接続する第２導電部材２２とを含む。
第１導電部材２１は、第１端子１９と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ａと、ビア導体２４ａと接触し、かつ電気絶縁基板１０の主面１０ａ上に形成された導体パターン２５ａと、導体パターン２５ａと第１電極１７とを電気的に接続するバンプ２６ａとを含む。また、第２導電部材２２は、第２端子２０と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ｂと、ビア導体２４ｂと接触し、かつ電気絶縁基板１０の主面１０ａ上に形成された導体パターン２５ｂと、導体パターン２５ｂと第２電極１８とを電気的に接続するバンプ２６ｂとを含む。また、導体パターン２５ａ，２５ｂは、光を反射する材料を含み、図１Ｃに示すように、電気絶縁基板１０の主面１０ａの略全面に形成されている。これにより、半導体発光装置１は、発光層１５や蛍光体膜１１から電気絶縁基板１０側へと進む光を、導体パターン２５ａ，２５ｂにより光の取り出し側へと反射することができるため、光の取り出し効率が向上する。
蛍光体膜１１は、前述したように略円錐台状に形成されているため、電気絶縁基板１０の主面１０ａに平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状に形成されている。これにより、半導体発光装置１は、蛍光体膜１１から出射する光の異方性を低減させ、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、点対称となるスポット光が得られるため、照明装置に適した光源を提供することができる。また、電気絶縁基板１０は、前述したように略正六角柱状に形成されているため、図１Ｃに示すように、主面１０ａの外縁１０ｃが、電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄを囲み、かつ略正六角形状に形成されている。これにより、半導体発光装置１は、電気絶縁基板１０上に高密度に蛍光体膜１１を形成することができるため、高光束化が可能となる上、後述する半導体発光装置１の製造工程において、電気絶縁基板１０の外形加工を容易に行うことができる。
なお、電気絶縁基板１０の主面１０ａの外縁１０ｃにおいて、対角線の長さＤ1（図１Ｃ参照）は、例えば０．５〜５ｍｍとすればよい。また、電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄの直径Ｄ2（図１Ｃ参照）は、例えば０．４〜４．５ｍｍとすればよい。また、第２導電型層１６の外縁１６ａにおいて、対角線の長さＤ3（図１Ｃ参照）は、例えば０．２〜４ｍｍとすればよい。
このように構成された半導体発光装置１から光を取り出す際は、第１端子１９と第２端子２０との間に電圧を印加して、半導体発光装置１中に所定の電流を流す。これにより、発光層１５から、例えば波長４６０ｎｍの青色光が発せられる。そして、この青色光を蛍光体膜１１中の蛍光体が吸収し、前記蛍光体から黄色光や赤色光が発せられる。そして、前記蛍光体から発せられた黄色光や赤色光と、発光層１５から発せられ蛍光体膜１１を通過した青色光とが混ざりあって、例えば白色光として照明光を取り出すことができる。
以上、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置について説明したが、本発明の半導体発光装置は、前記実施形態には限定されない。例えば、１つの基板上に複数の半導体多層膜を配置した半導体発光装置としてもよい。また、半導体多層膜の最外縁の形状も、前記実施形態には限定されず、例えば四角形状であってもよい。
次に、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置１の製造方法について、適宜図面を参照して説明する。参照する図２〜図７は、第１実施形態に係る半導体発光装置１の製造方法の説明図であり、このうち図２〜図５は、第１実施形態に係る半導体発光装置１の製造方法の各工程を示す断面図で、図６は、半導体多層膜１２を個別に分割する工程における上面図で、図７は、半導体発光装置１を個別に分割する工程における上面図である。なお、図１と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、以下に説明する製造方法は、前述した本発明の半導体発光装置の第１の製造方法に係る一実施形態である。
まず、図２Ａに示すように、ＭＯＣＶＤ法等を用いて、単結晶基板１３の主面１３ｂ上に、第２導電型層１６、発光層１５及び第１導電型層１４を順次積層し、半導体多層膜１２を形成する。単結晶基板１３としては、例えば厚みが３００μｍ程度のＧａＮ基板等が使用できる。
続いて、図２Ｂに示すように、第２導電型層１６の突出部１６ｂ（図１Ｂ参照）を形成するために、第１導電型層１４の一部及び発光層１５の一部をドライエッチング等によりエッチングする。
続いて、図２Ｃに示すように、第２導電型層１６の一部をドライエッチング等によりエッチングし、半導体多層膜１２を個別に分割するための分割溝１６ｃを形成する。
続いて、図２Ｄに示すように、第１導電型層１４の主面１４ａ及び第２導電型層１６の突出部１６ｂにそれぞれ接触する第１電極１７及び第２電極１８を、電子ビーム蒸着法等によって形成する。
次に、図３Ａに示すように、単結晶基板１３の主面１３ａを、例えば単結晶基板１３の厚みが２００μｍ程度になるまで機械研磨等によって研磨する。
続いて、図３Ｂに示すように、単結晶基板１３の主面１３ａを、ドライエッチング等の手段を用いて凹凸加工する。これにより、形成される半導体発光装置１の光の取り出し効率が向上する。
続いて、図３Ｃに示すように、ダイシングブレード３０によって、分割溝１６ｃに沿って半導体多層膜１２を個別に分割する。なお、分割溝１６ｃは、図６に示す破線に沿って設けておくとよい。
そして、別に、図４Ａに示すように、電気絶縁基板１０にドライエッチング等によってビアホール２３を設けた後、このビアホール２３内にビア導体２４ａ，２４ｂを形成する。ビア導体２４ａ，２４ｂは、例えばビアホール２３内にＰｔ等の金属をめっき等によって充填して形成すればよい。なお、電気絶縁基板１０としては、例えば厚みが３００μ程度の高純度Ｓｉ基板等を使用することができる。
続いて、図４Ｂに示すように、電気絶縁基板１０の主面１０ａに、ビア導体２４ａ，２４ｂと電気的に接続する導体パターン２５ａ，２５ｂを形成する。例えば、電気絶縁基板１０の主面１０ａ上に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ膜等の金属膜を蒸着等によって形成した後、この金属膜をリフトオフ法等によって所望の形状にパターニングして導体パターン２５ａ，２５ｂを形成することができる。
続いて、図４Ｃに示すように、電気絶縁基板１０の裏面１０ｂを、ビア導体２４ａ，２４ｂが露出するまで機械研磨等によって研磨する。例えば、電気絶縁基板１０の厚みが２００μｍ程度になるまで研磨すればよい。
続いて、図４Ｄに示すように、電気絶縁基板１０の裏面１０ｂに、ビア導体２４ａ，２４ｂを介して導体パターン２５ａ，２５ｂとそれぞれ電気的に接続する第１端子１９及び第２端子２０を形成する。例えば、電気絶縁基板１０の裏面１０ｂ上においてビア導体２４ａ，２４ｂが露出している箇所に、電子ビーム蒸着法等によりＴｉ/Ａｕ薄膜からなる下地膜を形成した後、この下地膜上にめっき等によってＡｕ層を積層して第１及び第２端子１９，２０を形成することができる。
次に、図５Ａに示すように、導体パターン２５ａ，２５ｂ上に、それぞれバンプ２６ａ，２６ｂを形成する。
続いて、図５Ｂに示すように、第１電極１７と導体パターン２５ａとをバンプ２６ａを介して電気的に接続するとともに、第２電極１８と導体パターン２５ｂとをバンプ２６ｂを介して電気的に接続して、電気絶縁基板１０上に半導体多層膜１２を支持する。
次に、図５Ｃに示すように、電気絶縁基板１０上に、半導体多層膜１２及び単結晶基板１３を覆って蛍光体膜１１を形成する。例えば、蛍光体とシリコーン樹脂等を含む樹脂組成物とからなるペーストと、略円錐台状の形状を模った孔部を含むスクリーン版とを用いて、スクリーン印刷により電気絶縁基板１０上の半導体多層膜１２及び単結晶基板１３を覆う位置に蛍光体膜１１を形成すればよい。なお、図５Ｃに示す状態において、電気絶縁基板１０上に設けられた各々の半導体発光装置１（図５Ｄ参照）の電気的又は光学的な特性を検査することで、良品の半導体発光装置１のみを選別することができる。また、蛍光体膜１１を機械研磨等により研磨して、取り出される光の色合わせをすることもできる。
そして、図７に示す破線に沿って電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄを囲むようにして、図５Ｄに示すダイシングブレード３０により電気絶縁基板１０を略正六角柱状に切り抜く。これにより、電気絶縁基板１０の主面１０ａの外縁１０ｃ（図７参照）が略正六角形状に形成され、半導体発光装置１が得られる。
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置について図面を参照して説明する。参照する図８は、第２実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、このうち、図８Ａは、第２実施形態に係る半導体発光装置の断面図、図８Ｂは、第２実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。なお、図８Ｂでは、基板、蛍光体膜及び半導体多層膜のみを図示している。また、図１と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第２実施形態に係る半導体発光装置２は、図８Ａ，Ｂに示すように、略正六角柱状に形成された電気絶縁基板１０と、電気絶縁基板１０上に設けられ、略円錐台状に形成された蛍光体膜１１と、電気絶縁基板１０上に設けられた半導体多層膜１２とを含む。そして、半導体多層膜１２は、蛍光体膜１１で覆われている。電気絶縁基板１０としては、電気絶縁性を高めるため、高純度Ｓｉ基板４０と酸化シリコン絶縁膜４１とが積層されたものを使用している。
半導体多層膜１２は、図８Ａに示すように、電気絶縁基板１０側から順に、例えばｐ型半導体からなる第１導電型層１４と、発光層１５と、例えばｎ型半導体からなる第２導電型層１６とがこの順に積層されたダイオード構造からなる。そして、第２導電型層１６は、発光層１５から発せられた光の取り出し側に配置されている。また、第２導電型層１６は、蛍光体膜１１との接触面である主面１６ｄが、凹凸加工されている。これにより、半導体発光装置２の光の取り出し効率が向上する。また、図８Ｂに示すように、半導体多層膜１２の最外縁１２ａは、略円形状に形成されている。
また、半導体発光装置２は、上記構成に加え、図８Ａに示すように、第１導電型層１４の主面１４ａに形成された第１電極１７と、第２導電型層１６の主面１６ｄの一部に接触して形成された第２電極１８と、高純度Ｓｉ基板４０の主面４０ａに形成された第１端子１９及び第２端子２０と、第１電極１７と第１端子１９とを電気的に接続する第１導電部材２１と、第２電極１８と第２端子２０とを電気的に接続する第２導電部材２２と、第１電極１７と第２電極１８との間の絶縁を保つ窒化シリコン絶縁膜４２とを含む。
第１導電部材２１は、第１端子１９と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ａと、ビア導体２４ａと接触し、かつ酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａ上に形成された導体パターン２５ａと、導体パターン２５ａと第１電極１７とを電気的に接続する金属層４３とを含む。また、第２導電部材２２は、第２電極１８及び第２端子２０の双方と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ｂからなる。
蛍光体膜１１は、前述したように略円錐台状に形成されているため、電気絶縁基板１０における半導体多層膜１２側の主面、即ち酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａに平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状に形成されている。これにより、半導体発光装置２は、蛍光体膜１１から出射する光の異方性を低減させ、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、点対称となるスポット光が得られるため、照明装置に適した光源を提供することができる。また、電気絶縁基板１０は、前述したように略正六角柱状に形成されているため、図８Ｂに示すように、酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａの外縁４１ｂが、酸化シリコン絶縁膜４１上の蛍光体膜１１が形成された領域４１ｃを囲み、かつ略正六角形状に形成されている。これにより、半導体発光装置２は、酸化シリコン絶縁膜４１上に高密度に蛍光体膜１１を形成することができるため、高光束化が可能となる上、後述する半導体発光装置２の製造工程において、電気絶縁基板１０の外形加工を容易に行うことができる。
また、半導体発光装置２は、図８Ａに示すように、第１電極１７が第１導電型層１４の主面１４ａに接触して形成され、蛍光体膜１１が第２導電型層１６の主面１６ｄに接触して形成されている。これにより、半導体多層膜１２の両主面上に、半導体多層膜１２を結晶成長させる際に使用した単結晶基板が存在しないため、半導体発光装置２の全体を薄く構成することができる。更に、発光層１５から発せられた光が単結晶基板を通過せずに放出されるため、光の取り出し効率が向上する。
なお、酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａの外縁４１ｂにおいて、対角線の長さＤ4（図８Ｂ参照）は、例えば０．５〜５ｍｍとすればよい。また、酸化シリコン絶縁膜４１上の蛍光体膜１１が形成された領域４１ｃの直径Ｄ5（図８Ｂ参照）は、例えば０．４〜４．５ｍｍとすればよい。また半導体多層膜１２の最外縁１２ａの直径Ｄ6（図８Ｂ参照）は、例えば０．２〜４ｍｍとすればよい。
次に、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置２の製造方法について、適宜図面を参照して説明する。参照する図９〜図１４は、第２実施形態に係る半導体発光装置２の製造方法の各工程を示す断面図である。なお、図８と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。また、以下に説明する製造方法は、前述した本発明の半導体発光装置の第２の製造方法に係る一実施形態である。
まず、図９Ａに示すように、ＭＯＣＶＤ法等を用いて、単結晶基板５０の主面５０ａ上に、第２導電型層１６、発光層１５及び第１導電型層１４を順次積層し、半導体多層膜１２を形成する。単結晶基板５０としては、例えば３００μｍ程度のサファイア基板等が使用できる。
続いて、図９Ｂに示すように、略円柱状の半導体多層膜１２が残るように半導体多層膜１２の一部をドライエッチング等によりエッチングする。
続いて、図９Ｃに示すように、第１導電型層１４の主面１４ａに接触する第１電極１７を、電子ビーム蒸着法等によって形成する。
そして、別に、図１０Ａに示すように、高純度Ｓｉ基板４０と酸化シリコン絶縁膜４１とが積層された電気絶縁基板１０を用意する。そして、ドライエッチング等により、酸化シリコン絶縁膜４１と高純度Ｓｉ基板４０の一部とを貫通するビアホール２３を設けた後、このビアホール２３内にビア導体２４ａ，２４ｂを形成する。ビア導体２４ａ，２４ｂは、例えばビアホール２３内にＰｔ等の金属をめっき等によって充填して形成すればよい。なお、電気絶縁基板１０としては、例えば厚みが３００μｍ程度の高純度Ｓｉ基板４０と、厚みが０．５μｍ程度の酸化シリコン絶縁膜４１とが積層されたものを使用することができる。
続いて、図１０Ｂに示すように、酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａに、ビア導体２４ａと電気的に接続する導体パターン２５ａを形成する。例えば、酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａ上に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｕ膜等の金属膜を蒸着等によって形成した後、この金属膜をリフトオフ法等によって所望の形状にパターニングして導体パターン２５ａを形成することができる。次に、導体パターン２５ａ上に、例えばめっき等によりＡｕ／Ｓｎ層等の金属層４３を形成する。
続いて、図１０Ｃに示すように、第１電極１７と金属層４３とを、例えば金属層４３が溶融する温度（例えば３００℃程度）で加熱して接合させることにより、単結晶基板５０と電気絶縁基板１０との間に半導体多層膜１２を挟持した積層体５１を形成する。
そして、単結晶基板５０を半導体多層膜１２から分離する。例えば、図１１Ａに示すように、単結晶基板５０側からレーザ光ＬＢを照射することにより、単結晶基板５０と半導体多層膜１２との界面における結合力を低下させた後、図１１Ｂに示すように、単結晶基板５０を半導体多層膜１２（即ち、第２導電型層１６）から分離すればよい。なお、単結晶基板５０を分離した後、第２導電型層１６上に残留する金属（例えばＧａ等）を塩酸等によって除去することが好ましい。
続いて、図１１Ｃに示すように、酸化シリコン絶縁膜４１上及び半導体多層膜１２の周囲の所望の箇所に、窒化シリコン絶縁膜４２を形成する。例えば、半導体多層膜１２を覆って酸化シリコン絶縁膜４１上の全面に、高周波スパッタ法等により厚み０．３〜１μｍ程度の窒化シリコン絶縁膜４２を形成した後、絶縁を保つ必要がある箇所のみが残るように、窒化シリコン絶縁膜４２をドライエッチング等によりエッチングすればよい。
次に、図１２Ａに示すように、第２導電型層１６とビア導体２４ｂとを電気的に接続する第２電極１８を形成する。例えば、第２導電型層１６とビア導体２４ｂとの接続箇所に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ膜等の金属膜を蒸着等によって形成すればよい。
続いて、図１２Ｂに示すように、第２導電型層１６の主面１６ｄを、ドライエッチング等の手段を用いて凹凸加工する。これにより、形成される半導体発光装置２の光の取り出し効率が向上する。
続いて、図１２Ｃに示すように、半導体多層膜１２を覆って電気絶縁基板１０上の全面に、剥離可能な高分子フィルム５２を貼り合わせる。例えば、ポリエステル等からなり、加熱すると発泡して接着力がなくなる接着層（不図示）を介して、電気絶縁基板１０上に高分子フィルム５２を貼り合わせればよい。この高分子フィルム５２は、製造工程におけるハンドリングを容易にするための支持部材として用いられる。なお、高分子フィルム５２としては、例えば、ポリエステル系フィルムやポリイミド系フィルム等からなり、厚みが０．５〜１ｍｍ程度のフィルムが使用できる。
次に、図１３Ａに示すように、高純度Ｓｉ基板４０の主面４０ａを、ビア導体２４ａ，２４ｂが露出するまで機械研磨等によって研磨する。例えば、電気絶縁基板１０の厚みが２００μｍ程度になるまで研磨すればよい。
続いて、図１３Ｂに示すように、高純度Ｓｉ基板４０の主面４０ａに、ビア導体２４ａを介して導体パターン２５ａと電気的に接続する第１端子１９と、ビア導体２４ｂを介して第２電極１８と電気的に接続する第２端子２０とを形成する。例えば、高純度Ｓｉ基板４０の主面４０ａ上においてビア導体２４ａ，２４ｂが露出している箇所に、電子ビーム蒸着法等によりＴｉ/Ａｕ薄膜からなる下地膜を形成した後、この下地膜上にめっき等によってＡｕ層を積層して第１及び第２端子１９，２０を形成することができる。
続いて、高分子フィルム５２を剥離し、図１３Ｃに示すように、第１及び第２端子１９，２０を覆って高純度Ｓｉ基板４０の主面４０ａの全面に、剥離可能な高分子フィルム５３を貼り合わせる。高分子フィルム５３の材料や貼り合わせる方法は、前述した高分子フィルム５２の場合と同様である。
次に、図１４Ａに示すように、電気絶縁基板１０上に、第２導電型層１６の主面１６ｄに接触し、かつ半導体多層膜１２を覆って蛍光体膜１１を形成する。蛍光体膜１１の形成方法は、前述した半導体発光装置１の製造方法の場合（図５Ｃ参照）と同様である。なお、図１４Ａに示す状態において、電気絶縁基板１０上に設けられた各々の半導体発光装置２（図１４Ｂ参照）の電気的又は光学的な特性を検査することで、良品の半導体発光装置２のみを選別することができる。また、蛍光体膜１１を機械研磨等により研磨して、取り出される光の色合わせをすることもできる。
そして、前述した半導体発光装置１の製造方法の場合（図７参照）と同様に、図１４Ｂに示すダイシングブレード３０によって、電気絶縁基板１０及び高分子フィルム５３を略正六角柱状に切り抜く。これにより、酸化シリコン絶縁膜４１の主面４１ａの外縁４１ｂ（図８Ｂ参照）が、略正六角形状に形成される。そして、高分子フィルム５３を剥離し（図示せず）、半導体発光装置２が得られる。
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置について図面を参照して説明する。参照する図１５は、第３実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、このうち、図１５Ａは、第３実施形態に係る半導体発光装置の断面図、図１５Ｂは、第３実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。なお、図１５Ｂでは、基板、蛍光体膜及び半導体多層膜のみを図示している。また、図１及び図８と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第３実施形態に係る半導体発光装置３は、図１５Ａ，Ｂに示すように、略正六角柱状に形成された電気絶縁基板１０と、電気絶縁基板１０上に設けられ、略円錐台状に形成された蛍光体膜１１と、電気絶縁基板１０上に設けられた半導体多層膜１２とを含む。そして、半導体多層膜１２は、蛍光体膜１１で覆われている。
半導体多層膜１２は、図１５Ａに示すように、電気絶縁基板１０側から順に、例えばｎ型半導体からなる第１導電型層１４と、発光層１５と、例えばｐ型半導体からなる第２導電型層１６とがこの順に積層されたダイオード構造からなる。そして、第２導電型層１６は、発光層１５から発せられた光の取り出し側に配置されている。また、図１５Ｂに示すように、半導体多層膜１２の最外縁１２ａは、略円形状に形成されている。
また、半導体発光装置３は、上記構成に加え、図１５Ａに示すように、第１導電型層１４に接触する第１電極１７と、第２導電型層１６に接触する第２電極１８と、電気絶縁基板１０における半導体多層膜１２側の主面１０ａに対する裏面１０ｂに形成された第１端子１９及び第２端子２０と、第１電極１７と第１端子１９とを電気的に接続する第１導電部材２１と、第２電極１８と第２端子２０とを電気的に接続する第２導電部材２２と、第１電極１７と第２電極１８との間の絶縁を保つ窒化シリコン絶縁膜４２とを含む。
第１導電部材２１は、第１電極１７及び第１端子１９の双方と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ａからなる。また、第２導電部材２２は、第２電極１８及び第２端子２０の双方と接触し、かつ電気絶縁基板１０に設けられたビアホール２３内に形成されたビア導体２４ｂからなる。
蛍光体膜１１は、前述したように略円錐台状に形成されているため、電気絶縁基板１０の主面１０ａに平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状に形成されている。これにより、半導体発光装置３は、蛍光体膜１１から出射する光の異方性を低減させ、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、点対称となるスポット光が得られるため、照明装置に適した光源を提供することができる。また、電気絶縁基板１０は、前述したように略正六角柱状に形成されているため、図１５Ｂに示すように、電気絶縁基板１０の主面１０ａの外縁１０ｃが、電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄを囲み、かつ略正六角形状に形成されている。これにより、半導体発光装置３は、電気絶縁基板１０上に高密度に蛍光体膜１１を形成することができるため、高光束化が可能となる上、後述する半導体発光装置３の製造工程において、電気絶縁基板１０の外形加工を容易に行うことができる。
また半導体発光装置３は、図１５Ａに示すように、第１導電型層１４と電気絶縁基板１０との間に介在するミラー層６０を含む。ミラー層６０としては、例えば、ＡｌＧａＮ層とＧａＮ層とを交互に複数層重ねた積層体であって、厚みが１〜３μｍ程度のものが使用できる。これにより、半導体発光装置３は、発光層１５から電気絶縁基板１０側へと進む光のうち照明光として必要な光のみを、ミラー層６０によって選択的に光の取り出し側へと反射することができる。
なお、電気絶縁基板１０の主面１０ａの外縁１０ｃにおいて、対角線の長さＤ7（図１５Ｂ参照）は、例えば０．５〜５ｍｍとすればよい。また、電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄの直径Ｄ8（図１５Ｂ参照）は、例えば０．４〜４．５ｍｍとすればよい。また半導体多層膜１２の最外縁１２ａの直径Ｄ9（図１５Ｂ参照）は、例えば０．２〜４ｍｍとすればよい。
次に、本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置３の製造方法について、適宜図面を参照して説明する。参照する図１６〜図１８は、第３実施形態に係る半導体発光装置３の製造方法の各工程を示す断面図である。なお、図１５と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
まず、図１６Ａに示すように、ＭＯＣＶＤ法等を用いて、電気絶縁基板１０の主面１０ａ上にミラー層６０を積層した後、ミラー層６０上に、ＭＯＣＶＤ法等を用いて、第１導電型層１４、発光層１５及び第２導電型層１６を順次積層し、半導体多層膜１２を形成する。電気絶縁基板１０としては、例えば３００μｍ程度の高純度ＳｉＣ基板等が使用できる。
続いて、図１６Ｂに示すように、第２導電型層１６の一部及び発光層１５の一部をドライエッチング等によりエッチングする。次に、図１６Ｃに示すように、第１導電型層１４の一部及びミラー層６０の一部をドライエッチング等によりエッチングする。この際、第１導電型層１４及び発光層１５により段差が形成され、かつ半導体多層膜１２の最外縁１２ａ（図１５Ｂ参照）が略円形状に残るようにエッチングする。
続いて、図１６Ｄに示すように、電気絶縁基板１０上及び半導体多層膜１２の周囲の所望の箇所に、窒化シリコン絶縁膜４２を形成する。窒化シリコン絶縁膜４２の形成方法は、前述した半導体発光装置２の製造方法の場合（図１１Ｃ参照）と同様である。
次に、図１７Ａに示すように、ドライエッチング等により、窒化シリコン絶縁膜４２と電気絶縁基板１０の一部とを貫通するビアホール２３を設けた後、このビアホール２３内にビア導体２４ａ，２４ｂを形成する。ビア導体２４ａ，２４ｂは、例えばビアホール２３内にＰｔ等の金属をめっき等によって充填して形成すればよい。
続いて、図１７Ｂに示すように、第１導電型層１４とビア導体２４ａとを電気的に接続する第１電極１７を形成するとともに、第２導電型層１６とビア導体２４ｂとを電気的に接続する第２電極１８を形成する。例えば、第１導電型層１４とビア導体２４ａとの接続箇所、及び第２導電型層１６とビア導体２４ｂとの接続箇所に、Ｔｉ/Ｐｔ/Ａｌ膜等の金属膜を蒸着等によって形成すればよい。
続いて、図１７Ｃに示すように、電気絶縁基板１０の裏面１０ｂを、ビア導体２４ａ，２４ｂが露出するまで機械研磨等によって研磨する。例えば、電気絶縁基板１０の厚みが２００μｍ程度になるまで研磨すればよい。
続いて、図１７Ｄに示すように、電気絶縁基板１０の裏面１０ｂに、ビア導体２４ａを介して第１電極１７と電気的に接続する第１端子１９と、ビア導体２４ｂを介して第２電極１８と電気的に接続する第２端子２０とを形成する。第１及び第２端子１９，２０の形成方法は、前述した半導体発光装置２の製造方法の場合（図１３Ｂ参照）と同様である。
次に、図１８Ａに示すように、電気絶縁基板１０上に、半導体多層膜１２を覆って蛍光体膜１１を形成する。蛍光体膜１１の形成方法は、前述した半導体発光装置１の製造方法の場合（図５Ｃ参照）と同様である。なお、図１８Ａに示す状態において、電気絶縁基板１０上に設けられた各々の半導体発光装置３（図１８Ｂ参照）の電気的又は光学的な特性を検査することで、良品の半導体発光装置３のみを選別することができる。また、蛍光体膜１１を機械研磨等により研磨して、取り出される光の色合わせをすることもできる。
そして、前述した半導体発光装置１の製造方法の場合（図７参照）と同様に、図１８Ｂに示すダイシングブレード３０によって、電気絶縁基板１０を略正六角柱状に切り抜く。これにより、電気絶縁基板１０の主面１０ａの外縁１０ｃ（図１５Ｂ参照）が、略正六角形状に形成され、半導体発光装置３が得られる。
［第４実施形態］
次に、本発明の第４実施形態に係る照明モジュールについて適宜図面を参照して説明する。参照する図１９は、第４実施形態に係る照明モジュールの説明図であり、このうち図１９Ａは、第４実施形態に係る照明モジュールの斜視図、図１９Ｂは、図１９ＡのII−II線断面図、図１９Ｃは、図１９Ｂに図示した第４実施形態に係る照明モジュールの分解図である。なお、第４実施形態に係る照明モジュールは、前述した第１実施形態に係る半導体発光装置１を含む照明モジュールである。また、図１と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第４実施形態に係る照明モジュール４は、図１９Ａ，Ｂに示すように、基板７０と、基板７０上に実装された７個の半導体発光装置１と、半導体発光装置１を覆って基板７０上に貼り合わされたレンズ７１とを含む。
基板７０は、図１９Ｂに示すように、アルミニウム板７２と、アルミニウム板７２上に積層された第１電気絶縁層７３と、第１電気絶縁層７３上に積層された第２電気絶縁層７４と、第１電気絶縁層７３と第２電気絶縁層７４との間に形成された配線パターン７５とを含む。また、配線パターン７５の端部は、図１９Ａに示す第１給電端子７６及び第２給電端子７７となっている。そして、半導体発光装置１は、配線パターン７５上にフリップチップ実装されている。なお、本実施形態では、第１及び第２電気絶縁層７３，７４の材料として、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂とアルミナ等の無機フィラとを含むコンポジット材を使用した。
レンズ７１は、図１９Ｃに示すように、各々の半導体発光装置１に対応する凸部７１ａと、半導体発光装置１が発する光を反射するアルミニウム膜７１ｂとを含む。そして、基板７０上に、エポキシ樹脂等の接着剤７８（図１９Ｂ参照）によって貼り合わされている。
以上のように構成された照明モジュール４は、本発明の一実施形態である半導体発光装置１を含むため、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、高光束化が可能となる。
なお、本実施形態で使用した基板７０は、アルミニウム板７２、第１電気絶縁層７３及び第２電気絶縁層７４の厚みが、それぞれ１ｍｍ、０．５ｍｍ及び０．５ｍｍであり、図１９Ａに示す縦方向の長さ（Ｌ1）及び横方向の長さ（Ｌ2）が、それぞれ２８ｍｍ及び２４ｍｍである。また、本実施形態で使用したレンズ７１としては、凸部７１ａの最大厚みが５ｍｍのものを用いた。
また、本実施形態で使用した半導体発光装置１（図１参照）の各構成要素の材料、サイズ等は、電気絶縁基板１０：高純度Ｓｉ基板（厚み：０．２ｍｍ、Ｄ1（図１Ｃ参照）：２ｍｍ）、導体パターン２５ａ，２５ｂ（図１参照）を基準としたときの蛍光体膜１１の高さ：０．４ｍｍ、第１導電型層１４：ｐ−ＧａＮ層、発光層１５：ＩｎＧａＮ／ＧａＮ量子井戸発光層、第２導電型層１６：ｎ−ＧａＮ層、半導体多層膜１２の厚み：３μｍ、単結晶基板１３：ＧａＮ基板（厚み：０．２ｍｍ）、電気絶縁基板１０上の蛍光体膜１１が形成された領域１０ｄの直径Ｄ2（図１Ｃ参照）：１．８ｍｍ、第２導電型層１６の外縁１６ａにおける対角線の長さＤ3（図１Ｃ参照）：１ｍｍとした。
次に、照明モジュール４の製造方法について適宜図面を参照して説明する。参照する図２０Ａ，Ｂ及び図２１Ａ，Ｂは、照明モジュール４の製造方法の各工程を説明するための平面図である。なお、図１９と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
まず、アルミニウム板７２（図１９Ｂ参照）上に熱圧着により第１電気絶縁層７３を形成し、第１電気絶縁層７３の主面に転写によって図２０Ａに示す配線パターン７５を形成する。
続いて、図２０Ｂに示すように、第１電気絶縁層７３上に、半導体発光装置１の実装箇所８０に対応する孔が形成された第２電気絶縁層７４を積層し、熱圧着する。
次に、図２１Ａに示すように、配線パターン７５の実装箇所８０（図２０Ｂ参照）に、半導体発光装置１を実装する。そして、図２１Ｂに示すように、第２電気絶縁層７４上にレンズ７１を貼り合わせて、照明モジュール４が得られる。
次に、照明モジュール４の特性について説明する。照明モジュール４に対して、駆動電圧２４．５Ｖにて３５０ｍＡの電流を流すと、取り出される照明光の全光束は４００ｌｍとなり、その発光スペクトルは図２２に示すとおりとなった。また、この際の照明光の発光色は、図２３に示すｘ−ｙ色度座標中の黒体軌跡９０上の点Ａ（ｘ：０．４３６９、ｙ：０．４０４１）に相当し、その色温度Ｔｃは３０００Ｋで、その平均演色評価数Ｒａは９５であった。なお、図２３に示すｘ−ｙ色度座標中の曲線９１は、３８０〜７８０ｎｍの単色光の軌跡を示す。
［第５実施形態］
次に、本発明の第５実施形態に係る照明装置について適宜図面を参照して説明する。参照する図２４は、第５実施形態に係る照明装置の斜視図である。なお、第５実施形態に係る照明装置は、前述した第４実施形態に係る照明モジュール４を含む照明装置である。
図２４に示すように、照明装置５は、一般の白熱電球用ソケットにねじ込むタイプの口金１００と、口金１００の端部に固定されたケース１０１と、ケース１０１に取り付けられた照明モジュール４と、照明モジュール４を駆動させる駆動回路（図示せず）とを含む。
ケース１０１は、口金１００と対向する平面１０１ａに、照明モジュール４を取り付けるための収納部１０１ｂを有している。そして、照明モジュール４は、ケース１０１の収納部１０１ｂに収納されている。また、収納部１０１ｂ内には、前記駆動回路と接続する給電部（図示せず）が設けられており、この給電部は、照明モジュール４に対して、所定の駆動電流を流すことができる。
以上のように構成された照明装置５は、本発明の一実施形態である照明モジュール４を光源として使用するため、取り出される光の色ムラを抑えることができる上、高光束化が可能となる。
本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、Ａは、第１実施形態に係る半導体発光装置の斜視図、Ｂは、ＡのI−I線断面図、Ｃは、第１実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。 Ａ〜Ｄは、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｄは、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｄは、本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置に使用する半導体多層膜を個別に分割する工程における上面図である。 本発明の第１実施形態に係る半導体発光装置を個別に分割する工程における上面図である。 本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、Ａは、第２実施形態に係る半導体発光装置の断面図、Ｂは、第２実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｃは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ，Ｂは、本発明の第２実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置の説明図であり、Ａは、第３実施形態に係る半導体発光装置の断面図、Ｂは、第３実施形態に係る半導体発光装置の蛍光体膜側から見た概略平面図である。 Ａ〜Ｄは、本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ〜Ｄは、本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 Ａ，Ｂは、本発明の第３実施形態に係る半導体発光装置の製造方法の各工程を示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る照明モジュールの説明図であり、Ａは、第４実施形態に係る照明モジュールの斜視図、Ｂは、ＡのII−II線断面図、Ｃは、Ｂに図示した第４実施形態に係る照明モジュールの分解図である。 Ａ，Ｂは、本発明の第４実施形態に係る照明モジュールの製造方法の各工程を説明するための平面図である。 Ａ，Ｂは、本発明の第４実施形態に係る照明モジュールの製造方法の各工程を説明するための平面図である。 本発明の第４実施形態に係る照明モジュールから取り出される照明光の発光スペクトルである。 本発明の第４実施形態に係る照明モジュールから取り出される照明光の発光色を示すためのｘ−ｙ色度座標である。 本発明の第５実施形態に係る照明装置の斜視図である。
符号の説明
１，２，３ 半導体発光装置
４ 照明モジュール
５ 照明装置
１０ 電気絶縁基板（基板）
１０ａ，１４ａ，１６ｄ，４０ａ，４１ａ，５０ａ 主面
１０ｂ 裏面
１０ｃ，１６ａ，４１ｂ 外縁
１０ｄ，４１ｃ 領域
１１ 蛍光体膜
１２ 半導体多層膜
１２ａ 最外縁
１３，５０ 単結晶基板
１４ 第１導電型層
１５ 発光層
１６ 第２導電型層
１７ 第１電極
１８ 第２電極
１９ 第１端子
２０ 第２端子
２１ 第１導電部材
２２ 第２導電部材
２３ ビアホール
２４ａ，２４ｂ ビア導体
２５ａ，２５ｂ 導体パターン
２６ａ，２６ｂ バンプ
３０ ダイシングブレード
４０ 高純度Ｓｉ基板
４１ 酸化シリコン絶縁膜
４３ 金属層
５１ 積層体
６０ ミラー層
７０ 基板
７１ レンズ
１００ 口金
１０１ ケース
ＬＢ レーザ光

Claims (12)

  1. 第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とがこの順に積層された半導体多層膜と、
    前記第１導電型層に接触して形成された第１電極と、
    前記第２導電型層に接触して形成された第２電極と、
    前記半導体多層膜の前記第１導電型層側に配置され、前記半導体多層膜を支持する基板と、
    前記基板における前記半導体多層膜側の主面に対する裏面に形成された第１及び第２端子と、
    前記第１電極と前記第１端子とを電気的に接続する第１導電部材と、
    前記第２電極と前記第２端子とを電気的に接続する第２導電部材と、
    前記半導体多層膜を覆って前記基板上に形成され、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜とを有する半導体発光装置であって、
    前記蛍光体膜は、前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成され、
    前記基板における前記半導体多層膜側の主面の外縁は、前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されていることを特徴とする半導体発光装置。
  2. 前記基板における前記半導体多層膜側の主面の外縁は、略正六角形状に形成されている請求項１に記載の半導体発光装置。
  3. 前記第１電極は、前記第１導電型層の主面に接触して形成され、
    前記蛍光体膜は、前記第２導電型層の主面に接触して形成されている請求項１に記載の半導体発光装置。
  4. 前記蛍光体膜は、略円錐台状又は略半球状に形成されている請求項１に記載の半導体発光装置。
  5. 前記半導体多層膜の最外縁は、略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状に形成されている請求項１に記載の半導体発光装置。
  6. 前記第１及び第２導電部材は、前記基板に設けられたビアホール内に形成されたビア導体を含む請求項１に記載の半導体発光装置。
  7. 前記第１及び第２導電部材は、光を反射する材料を含む導体パターンを有し、
    前記導体パターンは、前記基板における前記半導体多層膜側の主面の略全面に形成されている請求項１に記載の半導体発光装置。
  8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の半導体発光装置と、前記半導体発光装置を実装する基板とを含む照明モジュール。
  9. 請求項８に記載の照明モジュールを光源とする照明装置。
  10. 単結晶基板の一主面上に、前記単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成し、
    前記第１及び第２導電型層にそれぞれ接触する第１及び第２電極を形成し、
    別に、基板にビアホールを設けた後、前記ビアホール内にビア導体を形成し、
    前記基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成し、
    前記基板の前記一主面に対する裏面に、前記ビア導体を介して前記導体パターンとそれぞれ電気的に接続する第１及び第２端子を形成し、
    前記第１電極と前記第１端子とを前記導体パターン及び前記ビア導体を介して電気的に接続するとともに、前記第２電極と前記第２端子とを前記導体パターン及び前記ビア導体を介して電気的に接続して、前記基板上に前記半導体多層膜を支持し、
    前記基板上に、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、前記半導体多層膜を覆い、かつ前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成し、
    前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む前記基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように前記基板を切り抜く半導体発光装置の製造方法。
  11. 単結晶基板の一主面上に、前記単結晶基板に対し遠い方から第１導電型層と発光層と前記発光層から発せられた光の取り出し側に配置される第２導電型層とをこの順に含む半導体多層膜を結晶成長によって形成し、
    前記第１導電型層の主面に接触する第１電極を形成し、
    別に、基板にビアホールを設けた後、前記ビアホール内にビア導体を形成し、
    前記基板の一主面に、前記ビア導体と電気的に接続する導体パターンを形成し、
    前記導体パターン上に、金属層を形成し、
    前記第１電極と前記金属層とを接合させることにより、前記単結晶基板と前記基板との間に前記半導体多層膜を挟持した積層体を形成し、
    前記単結晶基板を前記半導体多層膜から分離し、
    前記第２導電型層と前記ビア導体とを電気的に接続する第２電極を形成し、
    前記基板の前記一主面に対する裏面に、前記ビア導体を介して前記導体パターンと電気的に接続する第１端子と、前記ビア導体を介して前記第２電極と電気的に接続する第２端子とを形成し、
    前記基板上に、前記発光層から発せられた光を吸収して蛍光を発する蛍光体を含む蛍光体膜を、前記第２導電型層の主面に接触して前記半導体多層膜を覆い、かつ前記基板における前記半導体多層膜側の主面に平行な方向に切断した断面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように形成し、
    前記基板上の前記蛍光体膜が形成された領域を囲み、かつ前記領域を含む前記基板の主面の外縁が略円形状又は５つ以上の辺を有する略正多角形状となるように前記基板を切り抜く半導体発光装置の製造方法。
  12. 前記単結晶基板を前記半導体多層膜から分離する際、前記単結晶基板側からレーザ光を照射することにより、前記単結晶基板と前記半導体多層膜との界面における結合力を低下させた後、前記単結晶基板を前記半導体多層膜から分離する請求項１１に記載の半導体発光装置の製造方法。

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