JP2002314372A - 弾性表面波フィルタ装置 - Google Patents
弾性表面波フィルタ装置Info
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
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Abstract
れており、阻止域における減衰量を充分な大きさとし得
る、弾性表面波フィルタ装置を提供する。 【解決手段】 一端子対弾性表面波共振子からなる複数
の直列腕共振子111a,111b及び複数の並列腕共
振子112a〜112cを有する梯子型回路構成の弾性
表面波フィルタ装置であって、入力端100Aまたは出
力端100Bに接続された第1の並列腕共振子112
a,112cの静電容量Cp1と、直列腕共振子112
a,112b間の接続点Aに接続された第2の並列腕共
振子112bの静電容量Cp2が、Cp1×2<Cp2
の関係にあり、インダクタンス113bがインダクタン
ス113a,113c以下とされている、弾性表面波フ
ィルタ装置100。
Description
性表面波素子を用いて構成された弾性表面波フィルタ装
置に関し、より詳細には、ラダー型回路を構成するよう
に複数の一端子対弾性表面波共振子により並列腕共振子
及び直列腕共振子が構成されている弾性表面波フィルタ
装置に関する。
弾性表面共振子からなる直列腕共振子を挿入し、直列腕
とアース電位との間に構成される並列腕に弾性表面共振
子からなる並列腕共振子を有する弾性表面波フィルタが
種々提案されている。梯子型回路構成を有する弾性表面
波フィルタは、低損失かつ広帯域であるため、バンドパ
スフィルタとして利用するのに適しており、携帯電話機
用帯域フィルタとして幅広く用いられている。
9に示すように、破線で示す単位フィルタ501,50
2を影像接続することにより、ラダー型回路構成を有す
る弾性表面波フィルタの整合性が改善されると述べられ
ている。なお、単位フィルタとは、1個の直列腕共振子
と1個の並列腕共振子で構成される回路部分をいうもの
とする。図29に示す弾性表面波フィルタでは、3個の
単位フィルタ501〜503が接続されている。ここ
で、単位フィルタ501,502の共振子を合成した場
合、図30に示すように表される。
と出力端505との間に、直列腕共振子S1,S2が接
続されており、2個の並列腕にそれぞれ、並列腕共振子
P1,P2が設けられている。ここで、入力端側に位置
する並列腕共振子P1の容量をCp1、直列腕共振子S
1,S2間の並列腕に位置する並列腕共振子P2の容量
をCp2とした時、Cp2/Cp1=2とされている。
は、Cp2/Cp1が2以上とされており、かつ直列腕
共振子間に存在する並列腕共振子P2の一端に接続され
るインダクタンスを他の並列腕共振子に接続されるイン
ダクタンスよりも大きくした構成が開示されている。こ
のような構成により、図31に示すように、通過帯域よ
りも低い周波数領域(frb〜fra)における減衰量
が確保されると述べられている。
及び複数の並列腕共振子を有するラダー型の弾性表面波
フィルタでは、並列腕共振子の静電容量については、イ
ンピーダンス整合を重視すると、Cp2/Cp1=2に
設定すればよいこと、並びに、通過帯域よりも低域側の
減衰量を確保するには、Cp2/Cp1を1:2以上と
し、かつ直列腕共振子間に位置している並列腕の並列腕
共振子の一端に接続されるインダクタンスを他の並列腕
共振子に接続されるインダクタンスよりも大きくすれば
よいことが知られていた。
5−183380号公報に記載のように、Cp2/Cp
1=2とした場合には、通過帯域よりも低域側における
フィルタ特性の急峻性が損なわれるという問題があっ
た。低域側におけるフィルタ特性の急峻性は、図32に
示す周波数特性において、ある減衰量Aから減衰量Bま
での周波数間隔Δfで表される値であり、Δfが小さい
ほど選択度が高くなる。
載のように、Cp2/Cp1を2以上とし、かつ直列腕
共振子間に存在する並列腕共振子の一端に接続されるイ
ンダクタンス値を他の並列腕共振子に接続されるインダ
クタンス値よりも大きくした場合には、上記のように通
過帯域よりも低域側の減衰量が高められる。また、特開
平11−55067号公報には明記されていないもの
の、通過帯域低域側における急峻性も高められる。
公報に記載の構成では、逆に、通過帯域よりも高域側に
おける減衰量が悪化することがわかった。本発明の目的
は、上述した従来技術の欠点を解消し、通過帯域よりも
低域側及び高域側の各阻止域における減衰量が充分であ
り、通過帯域の近傍の低周波数領域におけるフィルタ特
性の急峻性が優れた、梯子型回路構成を有する弾性表面
波フィルタ装置及び該弾性表面波フィルタ装置を用いた
通信機を提供することにある。
ば、一端子対弾性表面波共振子からなる直列腕共振子及
び並列腕共振子を有する梯子型回路構成の弾性表面波フ
ィルタ装置であって、圧電性基板と、前記圧電性基板上
に形成された複数の並列腕共振子及び直列腕共振子と、
前記各並列腕共振子に直列に接続されたインダクタンス
とを備え、前記複数の並列腕共振子が、入力端または出
力端に接続された第1の並列腕共振子と、直列腕共振子
間の接続点に接続された第2の並列腕共振子とを有し、
第1の並列腕共振子の静電容量をCp1、第2の並列腕
共振子の静電容量をCp2とした時、Cp1×2<Cp
2の関係にあり、かつ前記第2の並列腕共振子に接続さ
れているインダクタンスのインダクタンス値が、第1の
並列腕共振子に接続されているインダクタンスのインダ
クタンス値以下とされていることを特徴とする弾性表面
波フィルタ装置が提供される。
p2<Cp1×10の範囲とされているため、フィルタ
特性の急峻性が高められているだけでなく、帯域幅が比
較的広い弾性表面波フィルタを得ることができる。
腕共振子の共振周波数が、第1の並列腕共振子の共振周
波数よりも低くされており、フィルタ特性の急峻性がよ
り一層高められる。
他の特定の局面では、前記圧電性基板上に前記直列腕共
振子及び並列腕共振子が構成されている弾性表面波素子
を収納しており、かつ該弾性表面波素子の直列腕共振子
または並列腕共振子に接続される複数の電極パッドを有
するパッケージと、前記パッケージの電極パッドと、前
記直列腕共振子または並列腕共振子とを接続するボンデ
ィングワイヤとをさらに備え、前記第2の並列腕共振子
に接続されているボンディングワイヤの長さが、前記第
1の並列腕共振子に接続されているボンディングワイヤ
の長さ以下とされており、それによって第2の並列腕共
振子に接続されているインダクタンスの値が、第1の並
列腕共振子に接続されているインダクタンスの値以下と
されている。この場合には、通過帯域近傍における急峻
性が高められるだけでなく、通過帯域よりも高域側にお
ける減衰量をさらに改善することができる。
共振子及び並列腕共振子が圧電性基板上に形成されてい
る弾性表面波素子を収納しており、かつ直列腕共振子ま
たは並列腕共振子に接続される複数の電極パッドを有す
るパッケージと、前記電極パッドと直列腕共振子または
並列腕共振子とを接続しているボンディングワイヤとを
さらに備え、前記第2の並列腕共振子の一端がボンディ
ングワイヤにより前記複数の電極パッドの内、グラウン
ド電位に接続される少なくとも2個の電極パッドに電気
的に接続されており、それによって第2の並列腕共振子
に接続されるインダクタンスの値が、第1の並列腕共振
子に接続されるインダクタンスの値以下とされている。
この場合においても、通過帯域近傍の急峻性が優れてい
るだけでなく、通過帯域よりも高域側における減衰量を
さらに改善することができる。
構成された弾性表面波フィルタ装置を帯域フィルタとし
て備えており、従って、選択度に優れた通信機を提供す
ることができる。
55067号公報に記載の弾性表面波フィルタにおける
問題点を解消すべくなされたものである。本願発明者ら
は、この先行技術に記載の構成により通過帯域よりも低
い周波数領域における減衰量は高められるものの、上記
のように逆に通過帯域よりも高い周波数領域における減
衰量が悪化することを見出し、この原因を調べた。
は、並列腕共振子にインダクタンス成分が含まれていな
い場合、直列腕共振子の容量Csと並列腕共振子の容量
Cpとの比により決定される。しかしながら、一般に弾
性表面波フィルタを構成する場合、パッケージの電極ラ
ンドと弾性表面波素子の端子とはボンディングワイヤを
用いて電気的に接続されることが多い。ボンディングワ
イヤはインダクタンス成分として作用するため、並列腕
共振子にはインダクタンス成分が自然に接続される。ま
た、パッケージ内の引き回し電極などもインダクタンス
成分を構成する。従って、並列腕共振子に直列に接続さ
れるこれらのインダクタンス成分が、帯域外減衰量に大
きな影響を与えざるを得なかった。
は、これらのインダクタンス成分の影響は小さいもの
の、通過帯域よりも高い周波数領域においてはこれらの
インダクタンス成分の影響が顕著となる。
を示し、図3はこのインピーダンス特性を示す。また、
図4は弾性表面波共振子に直列にインダクタンスL2が
接続されている構成の等価回路を示し、図5はこのイン
ピーダンス特性を示す。
振子のインピーダンス特性では、1個の共振点frと1
個の反共振点faが存在する。ところが、図5に示され
ているようにSAW共振子に直列にインダクタンスが接
続されていると、第2の共振点fr2が反共振点faよ
りも高い側に発生し、第2の共振点fr2の周波数が、
反共振点faよりも充分高ければ、第2の共振点fr2
の周波数は、下記の式(1)により求められる。
L2に、第2の共振点fr2の周波数が依存し、電極容
量C0及びインダクタンスL2が大きくなるほど低くな
ることがわかる。なお、第2の共振点fr2が反共振点
faに近づくと、式(1)により求められる第2の共振
点fr2の周波数精度は悪くなるものの、fr2が容量
C0及びインダクタンスL2が大きくなるほど低くなる
という傾向は変わらない。
面波フィルタの広い周波数特性を見た場合、上記SAW
共振子の第2の共振点fr2が減衰極となり、この周波
数において減衰量は改善される。しかしながら、第2の
共振点fr2よりも高い周波数領域においては、図4に
示した等価回路が全体としてインダクタンス素子として
作用するので、ハイパスフィルタのように働き、fr2
よりも高い周波数における減衰量が悪化することにな
る。
W共振子に直列にインダクタンスを接続した素子を並列
接続した場合の伝送特性を図6に示す。なお、この伝送
特性を得た回路構成は図7に示す通りである。弾性表面
波共振子P1として、36°LiTaO3基板上に、交
叉幅50μm、電極指の対数40対、及び電極指ピッチ
1.05μm、h/λ=0.09のインターデジタルト
ランスデューサを形成したものを用いた。なお、インダ
クタンスLwのインダクタンス値は1nHとした。
よれば、共振点fr及び第2の共振点fr2において減
衰極が発生しているが、第2の共振点fr2よりも高い
周波数において減衰量が悪化していることがわかる。
を構成し、各並列腕共振子P1,P2に、それぞれ、イ
ンダクタンスLwが接続されている構成において、並列
腕共振子P1,P2の容量比を1:2とした場合の伝送
特性を図9に示す。
は、並列腕共振子P1は、図6に示した伝送特性を得た
場合と同様に構成し、並列腕共振子P2については、交
叉幅を100μmとしたことを除いては並列腕共振子P
1と同様とした。
1の第2の共振点による減衰極が周波数fr2に表わ
れ、並列腕共振子P2の第2の共振点による極が周波数
fr3に表われており、これらの周波数fr2,fr3
が異なっていることがわかる。従って、図9に示した伝
送特性によれば、図6に示した伝送特性に比べて全体的
に減衰量が改善されている。
れ過ぎると、極間の減衰量が著しく悪化する傾向がある
ことがわかった。すなわち、上記並列腕共振子P1,P
2の容量比を、1:2、1:3、1:4と変化させた場
合の伝送特性を図10に示す。この場合の各共振子の電
極パラメータを下記の表1に示す。ここでは、並列腕共
振子P1の容量を小さくし、並列腕共振子P2の容量が
大きくされており、並列腕共振子P1,P2の容量の合
計は変わらないように、容量比が変化されている。
大きくなるに従って、2つの減衰極の間の減衰量が悪化
していることがわかる。上述した式(1)に示すよう
に、インダクタンス値が同じであっても、電極の容量が
大きくなれば共振周波数は低くなり、電極容量が小さく
なれば共振周波数は高くなる。従って、上記容量比を
1:2から1:4まで変化させるに従って、2つの減衰
極の間隔はますます広がっていくため、上記のように2
つの減衰極間における減衰量が悪化している。
載の先行技術では、大きな静電容量を有する並列腕共振
子P2に接続されるインダクタンス成分が相対的に大き
くされているので、それによって上記2つの減衰極の周
波数間隔がより大きくなり、減衰量がさらに悪化してい
ると考えられる。
低域側近傍におけるフィルタ特性の急峻性が高められ、
かつ通過帯域高域側における減衰量が改善される。これ
を以下において説明する。
善 通過帯域低域側におけるフィルタ特性の急峻性を改善す
るために、本願発明では、入力端または出力端に接続さ
れた第1の並列腕共振子の静電容量Cp1と、直列腕共
振子の接続点に接続された第2の並列腕共振子の静電容
量Cp2とが、前述したようにCp1×2<Cp2を満
たす範囲とされている。
した場合の電極容量の最適化法は、前述した特開平5−
183380号公報に開示されている。すなわち、図2
9及び図30を参照したように、インピーダンスマッチ
ングを重視し、影像接続すればよい。そのため、入出力
端のいずれかに最も近接するように配置された並列腕共
振子、本発明における第1の並列腕共振子に相当する並
列腕共振子の容量を同様にCp1、直列腕共振子間の接
続点に接続された並列腕共振子、すなわち本発明におけ
る第2の並列腕共振子の容量をCp2とした場合、Cp
2/Cp1=2とすればよい。
減衰量は、並列腕共振子の静電容量Cpと直列腕共振子
の静電容量Csとの比により決定されることが知られて
いる。この比Cp/Csが大きいほど減衰量を拡大する
ことができる。もっとも、実際には、帯域外減衰量は、
ボンディングワイヤによるインダクタンス成分の影響を
大きく受けるが、インダクタンス成分の付加による共振
点は反共振周波数よりも高い周波数に発生するので、通
過帯域の低域側では依然としてCp/Csの影響が支配
的である。
力インピーダンスZ0が決定されれば、直列腕共振子と
並列腕共振子の容量の積の最適値は、パッケージの寄生
成分を考慮しない場合、下記の式(2)により決定され
ることが知られている(特開平6−69750号公
報)。従って、結果として、Cp2/Cp1=2とした
場合、静電容量の絶対値の自由度は小さくなる。なお、
パッケージの寄生成分を考慮した場合でも容量の絶対値
の自由度は大きくなるわけではないことを指摘してお
く。
する角周波数を示す。すなわち、一定の減衰量を確保す
るには、まず容量比Cp/Csが決定され、また入出力
インピーダンスとフィルタの中心周波数f0とにより容
量積Cp×Csが決定され、さらに影像接続が前提であ
れば、各並列腕共振子の静電容量も決定されることにな
る。従って、各共振子の容量の絶対値の自由度は非常に
低いことがわかる。
側の急峻性は、並列腕共振子の共振周波数と反共振周波
数との間隔Δfが小さければ小さいほど高められる。ま
た、弾性表面波共振子にインダクタンスを直列接続した
構成では、共振周波数は低下し、Δfは大きくなる。こ
の時、Δfは、インダクタンス成分が大きくかつ電極の
容量が大きいほど大きくなる。従って、フィルタ特性の
急峻性を高めようとした場合には、インダクタンス成分
を小さくすること、あるいは電極容量を小さくすること
が望ましい。
ングワイヤの長さや接続構造を工夫することによりある
程度小さくされるものの、ある一定の大きさ以上に小さ
くすることは困難である。従って、通過帯域近傍におけ
る急峻性を高めるには、並列腕共振子の容量が小さけれ
ば小さいほど好ましいことがわかる。
では、並列腕共振子の容量は一義的に定められる。従っ
て、通過帯域外減衰量の改善とフィルタ特性の急峻性の
改善はトレードオフの関係となり、通過帯域外減衰量の
拡大及びフィルタ特性の急峻性の向上の双方を実現する
ことは非常に困難であった。
続した場合の各並列腕共振子がフィルタ特性に与える影
響を説明する。複数の並列腕共振子により複数の減衰極
が発生する場合、フィルタの低域側の急峻性は、通過帯
域の低域側において最も近接している減衰極がどの位置
に存在するかにより決定される。例えば、図31に示し
たフィルタ特性において、減衰極はfraとfrbの位
置に存在するが、fraの周波数位置が高くなれば、よ
り急峻性は高められ、fraの周波数が低くなれば通過
帯域低域側における急峻性は悪くなる。そして、通過帯
域に最も近接した減衰極を構成するfraとは異なり、
frbの位置はフィルタ特性の急峻性には大きな影響を
与えないことがわかる。
接している減衰極を生じさせる並列腕共振子において、
容量を相対的に小さく、あるいはインピーダンスを大き
くすれば、通過帯域低域側における通過帯域近傍の急峻
性を高めることができる。
数領域において減衰極を確保しようとした場合、容量比
Cp/Csを大きくする必要があり、かつ複数の並列腕
共振子の合計の容量C0pにはある最適値が存在する。
従って、複数の直列腕共振子及び並列腕共振子を有する
梯子型回路構成の弾性表面波フィルタ装置では、上述し
た第2の並列腕共振子と第1の並列腕共振子の容量Cp
2,Cp1の比Cp2/Cp1を2以上とし、かつCp
1とCp2との和をC0pとすることにより、フィルタ
特性の急峻性を高めることができると共に、通過帯域外
減衰量を改善することができる。すなわち、第1の並列
腕共振子の容量Cp1により通過帯域の低域側における
通過帯域近傍の急峻性が高められ、第2の並列腕共振子
の容量Cp2により通過帯域から離れた領域における減
衰量を確保することができる。
が改善される理由を説明する。
号公報に記載の構成では、通過帯域よりも高域側の減衰
量が悪化するという問題が生じる。これに対して、第2
の並列腕共振子、すなわち直列腕共振子間の接続点に接
続されている並列腕共振子に直列に接続されるインダク
タンス値を小さくすると、前述した式(1)の関係によ
り共振周波数は高くなる。従って、第1,第2の並列腕
共振子の減衰極の周波数間隔が狭くなり、通過帯域高域
側全体の減衰量は大幅に改善される。
た回路を用い、並列腕共振子P1,P2の電極容量の比
を1:3とし、並列腕共振子P1に接続されるインダク
タンスLwの値を1.0nHとして固定し、並列共振子
P2に接続されるインダクタンスLwの値を0.7n
H、1.0nH及び1.3nHと変化させた場合の各特
性を図11に示す。図11において、実線が0.7nH
の場合、破線が1.0nHの場合、一点鎖線が1.3n
Hの場合を示す。
P2に接続されるインダクタンスを大きくすると、並列
腕共振子P1,P2の減衰極が離れ過ぎ、全体の減衰量
が悪化する。これに対して、並列腕共振子P2に接続さ
れるインダクタンスを1nHとすることにより減衰量が
改善され、0.7nHとすればさらに減衰量が改善され
ることがわかる。
前述した特開平11−55067号公報に示されている
ように、反射特性が悪くなる。通過帯域の低域側で反射
特性が悪くなると、局部的に損失が悪化し、フィルタ特
性の急峻性も劣化する。この点については、第2の並列
腕共振子すなわち電極容量が大きな並列腕共振子の共振
周波数を低くすることにより解決することができる。こ
れを、図12及び図13を参照して説明する。
極容量が大きい場合と小さい場合のインピーダンス特性
を示す。図12から明らかなように、電極容量が大きな
弾性表面波共振子のインピーダンス値の方が、インピー
ダンス特性全体にわたり低くなっていることがわかる。
一端子対弾性表面波共振子を梯子型回路構成の弾性表面
波フィルタの並列腕共振子として用いた場合、弾性表面
波共振子の共振周波数から反共振周波数までの間隔(f
r〜fa)が通過帯域の低域側を構成することになる。
従って、第2の並列腕共振子Cp2の容量を通常よりも
大きくすると、通過帯域低域側におけるインピーダンス
が最適値から小さくなる。すなわち、Cp1×2<Cp
2となるように第2の並列腕共振子の容量を大きくする
と、通過帯域低域側におけるインピーダンスが最適値か
ら小さくされる。
面波共振子を変形し、その共振周波数を10MHz低く
した場合のインピーダンス特性を図13に実線で示す。
図13において、比較のために、図12に示した容量の
小さな弾性表面波共振子の周波数特性を破線で示す。
弾性表面波共振子の共振子周波数を低めることにより、
通過帯域低域側に相当するfr〜faの周波数領域にお
けるインピーダンスは、電極容量が小さな共振子のイン
ピーダンス値とほぼ重なることがわかる。従って、容量
を変えると同時に、容量の大きな共振子の周波数を低く
することにより、通過帯域低域側におけるインピーダン
スを最適な値に補正することができ、インピーダンスマ
ッチングを良好に図ることができ、反射特性を改善する
ことができる。
並列腕共振子の容量Cp1,Cp2がCp1×2<Cp
2を満たしているので通過帯域近傍のフィルタ特性の急
峻性が高められ、さらに第2の並列腕共振子に直列接続
されているインダクタンスの値が第1の並列腕共振子に
直列接続されているインダクタンスの値以下とされてい
るので、通過帯域高域側の減衰量が確保される。
説明する。図1は、本発明の第1の実施例にかかる弾性
表面波フィルタ装置の回路構成を示す図であり、図14
はその略図的平面図である。
フィルタ装置100では、入力端100Aと出力端10
0Bとの間に延びる直列腕に、直列腕共振子111a,
111bが設けられている。
は、3本の並列腕が構成されており、3本の並列腕に、
それぞれ、並列腕共振子112a〜112cが設けられ
ている。また、各並列腕共振子112a〜112cに直
列にアース電位との間にインダクタンス113a〜11
3cが接続されている。
並列腕共振子112a,112cが第1の並列腕共振子
であり、それぞれ、入力端100Aまたは出力端100
Bに接続されている。並列腕共振子112cは本発明に
おける第2の並列腕共振子であり、直列腕共振子111
a,111b間の接続点Xに接続されている。
Bと複数の並列腕共振子112a〜112cとの間に、
整合容量が挿入されてもよい。図14に示すように、パ
ッケージ101内に、弾性表面波フィルタ素子110が
収納されている。パッケージ101の構造は特に限定さ
れないが、本実施例では、パッケージ101に設けられ
た凹部内に弾性表面波フィルタ素子110が収納されて
いる。弾性表面波フィルタ素子110の両側には上方に
突出した2本の段部が形成されており、一方の段部に電
極パッド101a〜101cが、他方の段部上に電極パ
ッド101d〜101fが形成されている。
36°YcutX伝搬LiTaO3基板からなる圧電性
基板上に上記直列腕共振子111a,111b、並列腕
共振子112a〜112c及びこれらを接続するための
配線パターンが形成された構造を有する。また、図14
から明らかなように、直列腕共振子111a,111b
及び並列腕共振子112a〜112cは、いずれも1個
のインターデジタルトランスデューサ(IDT)と、I
DTの表面波伝搬方向両側に配置された反射器とを有す
る一端子対SAW共振子により構成されている。
電極指交叉幅を40μm、IDTの電極指の対数が10
5対、反射器の電極指の本数は100本、電極指ピッチ
が2.07μm(表面波の波長λは4.14μm)とさ
れており、同じ構造を有する。
は、交叉幅を種々異ならせ、第1の並列腕共振子112
a,112cの容量Cp1と、第2の並列腕共振子11
2bの容量Cp2との比を変化させ、種々の弾性表面波
装置を構成した。なお、各並列腕共振子の電極パラメー
タは下記の表2に示す通りとした。
は、ボンディングワイヤ113A〜113Cにより、そ
れぞれ、アース電位に接続される電極パッド101a,
101f,101cに電気的接続されている。ここで、
ボンディングワイヤ113A,113Cの長さは、イン
ダクタンスが約1nHとなるように、ボンディングワイ
ヤ113Bの長さは、インダクタンスが約0.7nHと
なるようにボンディングワイヤ113A,113Cより
も短くされている。
12cの電極指交叉幅を変化することにより、第2の並
列腕共振子112bの容量Cp2と、第1の並列腕共振
子112a,112cの容量Cp1との比を異ならせて
得られた各弾性表面波フィルタ装置における通過帯域低
域における急峻性を調べた。すなわち、電極容量は対数
及び交叉幅に比例するため、交叉幅を変えることにより
電極容量を調整した。
て減衰量が4dBである周波数位置と、減衰量が12d
Bにある周波数位置との周波数間隔を測定することによ
り評価した。結果を図15に示す。
する容量比Cp2/Cp1が2の場合に比べて、容量比
Cp2/Cp1を高めていくにつれて急峻性が改善され
ることがわかる。これは、両端に位置する第1の並列腕
共振子112a,112cの容量Cp1が小さくなるに
つれて、インピーダンスが高くなるためと考えられる。
p2/Cp1が2である従来例に相当する場合の特性
と、Cp2/Cp1=5とした場合の特性を図16に、
それぞれ、実線及び破線で示す。
1=5(破線)とすることにより、従来例に比べて、低
域側における急峻性が大幅に高められていることがわか
る。また、図17に、図16に示した特性をより広い周
波数範囲で表す。図17から明らかなように、Cp2/
Cp1=5の場合には、第2の並列腕共振子112bに
接続されるボンディングワイヤによるインダクタンスが
0.7nHと小さいため、2700MHz付近まで減衰
量が劣化していないことがわかる。
実施例の弾性表面波フィルタ装置に対し、第2の並列腕
共振子112bに接続されるインダクタンス値が1.0
nHとなるようにボンディングワイヤを接続した例及び
1.3nHとなるようにボンディングワイヤを接続した
例の周波数特性を図18に示す。図18において、実線
が1.0nHの場合、破線が1.3nHの場合を示す。
図18から明らかなように、第2の並列腕共振子に接続
されるインダクタンスの大きさが大きくなるにつれて、
2700MHz付近の減衰量が悪化していることがわか
る。
第2の並列腕共振子の電極ピッチが容量比によって変え
られており、容量比が大きくなるほど大きな値とされて
いる。これは、第2の並列腕共振子の周波数を低めてい
るのと同じことになる。すなわち、上記容量比Cp2/
Cp1を大きくすると、通過帯域低域側におけるインピ
ーダンス整合による損失が増大し、急峻性が劣化する
が、第2の並列腕共振子の電極ピッチを大きくすること
により、周波数を低め、急峻性の劣化を抑制している。
タ装置における容量比Cp2/Cp1と帯域幅との関係
を示す。なお、帯域幅は減衰量が4dBである帯域の幅
を言うものとする。
ているように、並列腕共振子にインダクタンスが直列接
続されると、共振周波数が低くなり、通過帯域が広くな
る。しかしながら、並列腕共振子の容量が小さくなる
と、共振周波数はシフトし難くなり、通過帯域が減少す
ることになる。
きくなるほど急峻性は高まるものの、Cp2/Cp1が
10以上になると急峻性を改善する程度が小さくなる。
従って、好ましくは、Cp2/Cp1を2〜10の範囲
とすることが望ましく、それによって急峻性に優れ、か
つ帯域幅も比較的広いフィルタ特性を得ることができ
る。
ルタ装置の回路構成を示す図であり、図21はその略図
的平面断面図である。第2の実施例の弾性表面波フィル
タ装置200では、入力端200Aと出力端200Bと
の間に延びる直列腕に直列腕共振子211a,211b
が配置されている。また、第1の並列腕共振子212a
が入力端200Aに接続されており、該並列腕共振子2
12aにインダクタンス213aが直列に接続されてい
る。また、直列腕共振子211a,211b間の接続点
Yに第2の並列腕共振子212bが接続されている。並
列腕共振子212bには、アース電位との間に、インダ
クタンス213b1,213b2が直列に接続されてい
る。もっとも、インダクタンス213b1,213b2
は互いに並列に接続されている。
に構成されており、パッケージ201は、電極パッド2
01a〜201fを有する。また、弾性表面波フィルタ
素子210は、第1の実施例と同じ圧電基板上に、上記
直列腕共振子211a,211b、並列腕共振子212
a,212b及びこれらを接続するための配線パターン
を形成することにより構成されている。
腕共振子212a,212bは、第1の実施例と同様に
一端子対弾性表面波共振子により構成されている。より
具体的には、直列腕共振子212aのIDTにおける交
叉幅を40μm、電極指の対数が105対、反射器にお
ける電極指の本数は100本、電極指ピッチは2.07
μmすなわち弾性表面波の波長λは4.14μmとされ
ている。直列共振子211bでは、交叉幅が80μmと
されていることを除いては、直列腕共振子211aと同
様に構成されている。
の表3に示すように、様々な交叉幅を有するように構成
されており、それによって並列腕共振子212aの容量
Cp1と、並列腕共振子212bの静電容量Cp2との
容量比が種々異なる弾性表面波フィルタ装置200を作
製した。なお、各並列腕共振子212a,212bの電
極パラメータは下記の表3に示す通りである。
は、ボンディングワイヤ213A,213B1,213
B2により、パッケージの電極パッド201a,201
c,201fに電気的接続されている。この場合、ボン
ディングワイヤ213Aによるインダクタンスが約1n
Hとなるようにボンディングワイヤ213Aの長さが選
ばれており、ボンディングワイヤ213B1,213B
2は、異なる電極パッド201c,201fに接続され
ており、それによって並列腕共振子212bとアース電
位との間に約0.55nHのインダクタンスが直列に接
続されるように構成されている。
タ装置における通過帯域低域側の急峻性と容量比との関
係を調べた。結果を図22に示す。フィルタ特性の急峻
性は第1の実施例と同様にして評価した。
する容量比Cp2/Cp1=2の場合に比べて、容量比
Cp2/Cp1を高めていくに従って、急峻性が改善さ
れることがわかる。これは、第1の並列腕共振子212
aの容量Cp1が極端に小さくなり、高インピーダンス
になるためと考えられる。
である従来例と、Cp2/Cp1=5の場合の伝送特性
を図23に示す。図23において、実線が実施例を、破
線が従来例を示す。
1=5とした場合、通過帯域低域側の急峻性が効果的に
高められることがわかる。また、周波数範囲を広げた場
合の特性を、図24に示す。
されるボンディングワイヤ113B1,113B2によ
り加わる合計のインダクタンスが1.3nHとされてい
る例と、1.0nHとされている場合の特性を示す。図
24から明らかなように、容量の大きな並列腕共振子2
13bに接続されるインダクタンス値を大きくした場合
には、2700MHz付近の減衰量が悪化していること
がわかる。
ダクタンスと減衰量との関係は、第1の実施例の場合の
3個の並列腕共振子を用いた場合と同じ傾向を示してい
る。従って、第1,第2の実施例から、2個以上の直列
腕共振子と、2個以上の並列腕共振子とを有する梯子型
回路構成の弾性表面波フィルタにおいては、第1の実施
例のように入出力が対称である構造、及び第2の実施例
のように入出力が非対称な構造のいずれにおいても本発
明の効果の得られることがわかる。
0MHzの梯子型回路構成を有する弾性表面波フィルタ
装置につき説明する。なお、第3の実施例では、回路構
成については、第1の実施例と同様とし、従って、第1
の実施例について示した図1及び図14を参照して第3
の実施例を説明することとする。
a,111bにおいて、交叉幅が20μm、IDTの対
数が100対、反射器の電極指の本数が100本、電極
指ピッチが1.00μm(表面波の波長λは2.00μ
m)とされており、直列腕共振子111a,111bは
同じ構造を有するように構成した。
は、交叉幅を異ならせることにより、容量Cp1とCp
2との比を種々異ならせた。並列腕共振子112a〜1
12cの電極パラメータは下記の表4に示す通りであ
る。
直列に接続されるインダクタンスが約1nHであるよう
に、ボンディングワイヤ113A,113Cの長さが相
対的に長くされており、並列腕共振子112bに直列に
接続されるインダクタンスが約0.7nHとなるように
ボンディングワイヤ113Bの長さが相対的に短くされ
ている。
タ装置における通過帯域低域側における急峻性と容量比
Cp2/Cp1との関係を調べた。急峻性は第1の実施
例と同様にして評価した。結果を図25に示す。
する容量比Cp2/Cp1=2の場合に比べて、容量比
を高めていくに従って急峻性が改善されることがわか
る。代表的な特性として、容量比Cp2/Cp1=2の
場合の従来例の伝送特性と、容量比Cp2/Cp1=5
の場合の伝送特性を図26に示す。
/Cp1を5とすることにより、従来例に比べて、急峻
性が高められていることがわかる。また、容量の大きな
並列腕共振子112bに接続されるインダクタンス値を
1.3nHと大きくした場合の例と、上記実施例の弾性
表面波フィルタ装置(容量比=5、並列腕共振子112
bに接続されるインダクタンス0.7nH)の伝送特性
を図27により広い周波数範囲にわたって示す。第3の
実施例においては、周波数が第1,第2の実施例に比べ
て高いため、通過帯域の3倍付近の周波数である580
0MHz付近では減衰量が悪化しているものの、通過帯
域の高域側における減衰量の悪化を従来例に比べて抑制
し得ることがわかる。
クタンスと減衰量との関係は、第1の実施例の800M
Hzのラダー型の弾性表面波フィルタ装置と同じ傾向を
示している。従って、第1,第3の実施例によれば、中
心周波数の高低に関わらず、本発明に従って通過帯域低
域側における急峻性を高めることができ、かつ広い周波
数範囲に減衰量の悪化を抑制し得ることがわかる。
波フィルタ装置を帯域フィルタとして備える通信機を説
明する。図28は、本発明に係る弾性表面波装置を用い
た通信機160を説明するための概略ブロック図であ
る。
プレクサ162が接続されている。デュプレクサ162
と受信側ミキサ163との間に、RF段を構成する弾性
表面波フィルタ164及び増幅器165が接続されてい
る。さらにミキサ163にIF段の表面波フィルタ16
9が接続されている。また、デュプレクサ162と送信
側のミキサ166との間には、RF段を構成する増幅器
167及び弾性表面波フィルタ168が接続されてい
る。
フィルタ164として本発明に従って構成された弾性表
面波フィルタ装置を好適に用いることができる。
では、一端子対弾性表面波共振子からなる直列腕共振子
及び並列腕共振子を複数個備え、各並列腕共振子に直列
にインダクタンスが接続されている構成において、入力
端または出力端に接続された第1の並列腕共振子及び直
列腕共振子間の接続点に接続された第2の並列腕共振子
の静電容量Cp1,Cp2が、Cp1×2<Cp2の関
係にあるため、すなわち容量比Cp2/Cp1が2より
大きいため、通過帯域の低域側におけるフィルタ特性の
急峻性が高められる。また、第2の並列腕共振子に接続
されているインダクタンスのインダクタンス値が、第1
の並列腕共振子に接続されているインダクタンスのイン
ダクタンス値以下とされているので、通過帯域外減衰量
を充分な大きさとすることができる。よって、フィルタ
特性の急峻性に優れているだけでなく、阻止域における
減衰量が充分な大きさの、良好なフィルタ特性を実現す
ることが可能となる。
とされている場合には、フィルタ特性の急峻性及び阻止
域における減衰量の向上だけでなく、帯域幅を充分な広
さとすることができる。
が、第1の並列腕共振子の共振周波数よりも低い場合に
は、通過帯域低域側における反射特性の劣化を抑制する
ことができ、それによってフィルタ特性の急峻性をより
一層効果的に高めることができる。
列に接続されるインダクタンスを構成する部材について
は特に限定されないが、パッケージの電極パッドと並列
腕共振子とを接続するボンディングワイヤの長さを調整
することにより、上記並列腕共振子に接続されるインダ
クタンスの大きさを調整することができる。すなわち、
第2の並列腕共振子に接続されているボンディングワイ
ヤの長さが、第1の並列腕共振子に接続されているボン
ディングワイヤの長さ以下とすることにより、第2の並
列腕共振子に接続されているインダクタンス値を第1の
並列腕共振子に接続されているインダクタンス値以下と
することができる。同様に、第2の並列腕共振子の一端
が複数のボンディングワイヤにより複数の電極パッドに
電気的に接続されている構成を採用することによって
も、第2の並列腕共振子に接続されるインダクタンスの
値を第1の並列腕共振子に接続されるインダクタンスの
値以下とすることができる。
て構成された弾性表面波フィルタ装置を帯域フィルタと
して備えているため、帯域フィルタにおけるフィルタ特
性が改善されるので、選択度に優れた通信機を提供する
ことが可能となる。
ルタ装置の回路構成を示す図。
図。
ス特性を示す図。
続された構成の等価回路を示す図。
示す図。
接続された回路構成の伝送特性を示す図。
図。
並列腕共振子にインダクタンスが直列に接続されている
回路を示す図。
1,P2の静電容量の割合を異ならせた場合の伝送特性
の変化を示す図。
子P1,P2の容量比を1:3とし、並列腕共振子P2
に接続されるインダクタンスの値を変化させた場合の伝
送特性の変化を示す図。
のインピーダンス特性を示す図。
共振子において、周波数を10MHz低下させた場合の
インピーダンス特性と、図12に示した静電容量の小さ
な弾性表面波共振子のインピーダンス特性を示す図。
図的平面図。
1を変化させた場合のフィルタ特性の通過帯域低域側に
おける急峻性の変化を示す図。
の弾性表面波フィルタ装置の伝送特性と、第1の実施例
(Cp2/Cp1=5)の弾性表面波フィルタ装置の伝
送特性を示す図。
囲にわたって示した図。
いて、Cp2/Cp1=5とし、第2の並列腕共振子に
接続されるインダクタンスの値を異ならせた場合の伝送
特性を示す図。
1と帯域幅との関係を示す図。
路構成を示す図。
図的平面図。
1と急峻性との関係を示す図。
表面波フィルタ装置、及び従来例(Cp2/Cp1=
2)の各弾性表面波フィルタ装置の伝送特性を示す図。
いて、第2の並列腕共振子に接続されるインダクタンス
の値を変化させた場合の伝送特性の変化を示す図。
とフィルタ特性の急峻性との関係を示す図。
表面波フィルタ装置及び比較のために用意した従来例
(Cp2/Cp1=2)の弾性表面波フィルタ装置の伝
送特性を示す図。
ンスの大きさを変化させた場合の伝送特性の変化を示す
図。
信機を説明するための概略ブロック図。
説明するための回路図。
他の例を説明するための回路図。
送特性を示す図。
におけるフィルタ特性の急峻性を説明するための図。
ヤ A,B…接続点
Claims (6)
- 【請求項1】 一端子対弾性表面波共振子からなる直列
腕共振子及び並列腕共振子を有する梯子型回路構成の弾
性表面波フィルタ装置であって、 圧電性基板と、 前記圧電性基板上に形成された複数の並列腕共振子及び
直列腕共振子と、 前記各並列腕共振子に直列に接続されたインダクタンス
とを備え、 前記複数の並列腕共振子が、入力端または出力端に接続
された第1の並列腕共振子と、直列腕共振子間の接続点
に接続された第2の並列腕共振子とを有し、 第1の並列腕共振子の静電容量をCp1、第2の並列腕
共振子の静電容量をCp2とした時、Cp1×2<Cp
2の関係にあり、かつ前記第2の並列腕共振子に接続さ
れているインダクタンスのインダクタンス値が、第1の
並列腕共振子に接続されているインダクタンスのインダ
クタンス値以下とされていることを特徴とする弾性表面
波フィルタ装置。 - 【請求項2】 前記第2の並列腕共振子の静電容量Cp
2が、Cp1×2<Cp2<Cp1×10の範囲とされ
ている、請求項1に記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項3】 前記第2の並列腕共振子の共振周波数
が、前記第1の並列腕共振子の共振周波数よりも低い、
請求項1または2に記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項4】 前記圧電性基板上に前記直列腕共振子及
び並列腕共振子が構成されている弾性表面波素子を収納
しており、かつ該弾性表面波素子の直列腕共振子または
並列腕共振子に接続される複数の電極パッドを有するパ
ッケージと、前記パッケージの電極パッドと、前記直列
腕共振子または並列腕共振子とを接続するボンディング
ワイヤとをさらに備え、 前記第2の並列腕共振子に接続されているボンディング
ワイヤの長さが、前記第1の並列腕共振子に接続されて
いるボンディングワイヤの長さ以下とされており、それ
によって第2の並列腕共振子に接続されているインダク
タンスの値が、第1の並列腕共振子に接続されているイ
ンダクタンスの値以下とされている、請求項1〜3のい
ずれかに記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項5】 前記直列腕共振子及び並列腕共振子が圧
電性基板上に形成されている弾性表面波素子を収納して
おり、かつ直列腕共振子または並列腕共振子に接続され
る複数の電極パッドを有するパッケージと、前記電極パ
ッドと直列腕共振子または並列腕共振子とを接続してい
るボンディングワイヤとをさらに備え、 前記第2の並列腕共振子の一端がボンディングワイヤに
より前記複数の電極パッドの内、グラウンド電位に接続
される少なくとも2個の電極パッドに電気的に接続され
ており、それによって第2の並列腕共振子に接続される
インダクタンスの値が、第1の並列腕共振子に接続され
るインダクタンスの値以下とされている、請求項1〜3
のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ装置。 - 【請求項6】 請求項1〜5のいずれかに記載の弾性表
面波フィルタ装置を帯域フィルタとして備える通信機。
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