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DE69909280T2 - Halbleiterspeicher - Google Patents

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DE69909280T2
DE69909280T2 DE69909280T DE69909280T DE69909280T2 DE 69909280 T2 DE69909280 T2 DE 69909280T2 DE 69909280 T DE69909280 T DE 69909280T DE 69909280 T DE69909280 T DE 69909280T DE 69909280 T2 DE69909280 T2 DE 69909280T2
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DE
Germany
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activated
sub
word line
semiconductor memory
swl00
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Application number
DE69909280T
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DE69909280D1 (de
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Hironori Hirakata-shi AKAMATSU
Toru Osaka-shi IWATA
Makoto Kojima
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Panasonic Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Halbleiterspeichervorrichtung und betrifft insbesondere eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einer hierarchischen Wortleitungsstruktur.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • In den letzten Jahren wurde für Hochgeschwindigkeits-, Hochdichte DRAMs (Dynamische Schreib-Lese-Speicher) eine hierarchische Wortleitungsstruktur angenommen, um hinsichtlich der Grenzen bei Zwischenverbindungsleitungsabstände zu erweitern. Dies ist eine Struktur, bei der jede Wortleitung aus einer Haupt-Wortleitung und aus Neben-Wortleitungen hergestellt ist, die jeweils zwei verschiedenen Schichten angehören. Ein solches Beispiel ist ein DRAM, das in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 6-195964 (veröffentlicht am 15. Juli 1994) offenbart ist. T. Sugibayashi et al. haben in "A 30 ns 256Mb DRAM with Multi-Divided Array Structure", ISSCC, Digest of Technical Papers, pp. 50–51, Feb. 1993, ein beispielhaftes DRAM gezeigt, das eine nicht-gemultiplexte Adresseingabe verwendet. Bei diesen Beispielen des Stands der Technik werden nur ein Teil der Neben-Wortleitungen aktiviert, die einer gemeinsamen Haupt-Wortleitung zugeordnet sind.
  • Bei dem Stand der Technik wird jedoch, selbst beim Aktivieren mehrerer Neben-Wortleitungen, die einer einzelnen Haupt-Wortleitung entweder sequenziell oder zufällig zugeordnet sind, eine Abfolge, die aus (1) Aktivieren der Haupt-Wortleitung, (2) Aktivieren einer Neben-Wortleitung, (3) Deaktivieren der Neben-Wortleitung und (4) Deaktivieren der Haupt-Wortleitung wiederholt durchgeführt. Dementsprechend muss jedes Mal, wenn die zu aktivierende Neben-Wortleitung gewchselt wird, eine Haupt-Wortleitung erneut ausgewählt werden, was einer Vergrößerung der Reihenzugriffsgeschwindigkeit zuwider läuft.
  • GB 2307998 A offenbart eine Halbleiter-Speichervorrichtung, wie sie in dem Oberbegriff von Anspruch 1 beschrieben ist.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Reihenzugriffsgeschwindigkeiten einer Halbleiterspeichervorrichtung mit einer hierarchischen Wortleitungsstruktur zu vergrößern.
  • Um diese Aufgabe zu erreichen, gibt die vorliegende Erfindung einen Halbleiterspeicher, wie er in Anspruch 1 definiert ist, an. Sie nimmt eine Konstruktion an, die eine erste Einrichtung zum Aktivieren einer Haupt-Wortleitung und zweite Einrichtungen zum Ändern aktivierter Neben-Wortleitungen, die gemeinsam der Haupt-Wortleitung zugeordnet sind, während die Haupt-Wortleitung aktiviert ist. Falls mehrere Neben-Wortleitungen, die einer einzelnen Haupt-Wortleitung gemeinsam zugeordnet sind, entweder auf einander folgend oder zu unter Verwendung dieser Struktur aktiviert werden sollen, können die zu aktivierenden Neben-Wortleitungen gewechselt werden, während die selbe Haupt-Wortleitung noch ausgewählt ist. Somit vergrößert sich die Reihenzugriffsgeschwindigkeit im Vergleich mit der bekannten Struktur. Vorzugsweise wird eine Struktur benutzt, bei der die zweiten Mittel nur bedient werden, wenn ein besonderer Modus, der in einem gegebenen Steuerpaket spezifiziert ist, benutzt wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist ein Blockdiagramm, das eine beispielhafte Konfiguration für eine Halbleiter-Speichervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.
  • 2 ist ein Zeitablaufsdiagramm, das im Einzelnen ein Steuerpaket, das der Halbleiter-Speichervorrichtung, wie in 1 gezeigt ist, zugeführt werden soll.
  • 3 ist ein Blockdiagramm, das eine detaillierte Konfiguration der Speicherbank, die in 1 gezeigt ist, darstellt.
  • 4 ist ein Schaltkreisdiagramm, das detaillierte Konfigurationen des Leseverstärkerantriebs, der Leseverstärker und der Spaltenschalter, die in den 3 gezeigt sind, darstellt.
  • 5 stellt drei Moden dar, die von der Moden-Erkennungseinrichtung, die in 1 gezeigt ist, erkannt werden sollen.
  • 6 ist ein Zeitablaufsdiagramm, das einen beispielhaften Betrieb der Halbleiter-Speichervorrichtung, die in 1 gezeigt ist, darstellt.
  • 7 ist ein Zeitablaufsdiagramm, das einen anderen beispielhaften Betrieb der Halbleiter-Speichervorrichtung, die in 1 gezeigt ist, darstellt.
  • 8 ist ein Schaltkreis-Diagramm, das eine detaillierte Konfiguration der Neben-Wortdekodiereinrichtung, die in 3 gezeigt ist, darstellt.
  • BESTE AUSFÜHRUNGSFORM DER ERFINDUNG
  • Nachfolgend werden Ausführungsformen der Halbleiter-Speichervorrichtung der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • 1 stellt eine beispielhafte Konfigurationen für einen DRAM-Chip gemäß der vorliegenden Erfindung dar. Der DRAM-Chip beinhaltet nicht nur vier Speicherbänke (BANK0 bis BANK3) 10, 11, 12 und 13, die jede eine hierarchische Wortleitungsstruktur aufweisen, sondern auch eine Schnittstelle 14, eine Modenerkennungseinrichtung 15, eine Haupt-Wortvordekodiereinrichtung 16, Neben-Wortvordekodiereinrichtung 17 und Spalten-Vordekodiereinrichtung 18. synchron mit einem externen Taktsignal (CLK) wird ein Steuerpaket PKT an die Schnittstelle 14 eingegeben. Wie in 2 dargestellt ist, besteht PKT aus 4 Bit (PKT0 bis PKT3). In diesem Beispiel werden 4 Bits M0 bis M3, die einen Modus darstellen, der für jede Speicherbank spezifiziert ist, 6 Bits RA0 bis RA5, die eine Reihenadresse darstellen, und 6 Bits CA0 bis CA5, die eine Spaltenadresse darstellen, als PKT an den DRAM-Chip während vier Pulsdauern des CLK-Signals eingegeben. Wie in 1 gezeigt ist, werden M0 bis M3, die den Modus spezifizieren, durch die Moden-Erkennungseinrichtung 15 geleitet. Ein Teil der Reihenadressen RA0 bis RA5, der eine Haupt-Wortadresse MWA darstellt, wird der Haupt-Wortvordekodiereinrichtung 16 zugeführt, während der andere Teil davon, der eine Neben-Wortadresse SWA darstellt, der Neben-Wortvordekodiereinrichtung 17 zugeführt wird. Die Spaltenadressen CA0 bis CA5 werden der Spalten-Vordekodiereinrichtung 18 zugeführt. Die Moden-Erkennungseinrichtung 15 bestimmt, welcher Modus von M0 bis M3 spezifiziert ist, und stellt Steuersignale, die das Ergebnis darstellen, den jeweiligen Schaltkreisblöcken zur Verfügung. In 1 sind Signale Ermögliche-Wechsel-des-Haupt-Worts (MEN0 bis MEN3) für die jeweiligen Speicherbänke, Ermögliche-Wechsel-des-Neben-Worts (SEN0 bis SEN3) für die jeweiligen Speicherbänke und Ermögliche-Wechsel-der-Spalte (CEN0 bis CEN3) für die jeweiligen Speicherbänke dargestellt. Die Haupt-Wortvordekodiereinrichtung 16, die Neben-Wortvordekodiereinrichtung 17 und die Spalten-Vordekodiereinrichtung 18 stellen ein Haupt-Wortvordekodiersignal (MPD), eine Neben-Wortvordekodiersignal (SPD) bzw. einen Spalten-Wortvordekodiersignal (CPD) an BANK0 bis BANK3 zur Verfügung. Man beachte, dass die Darstellung eines Daten-Eingabe/Ausgabe-Weges und eines Zeitablaufssignals und anderer Steuerungssignale für die Schaltkreisblöcke in 1 weggelassen sind.
  • 3 stellt eine detaillierte Konfiguration der BANK0 dar. BANK0 beinhaltet mehrere Speicherblöcke, die jeder die selbe innere Konstruktion aufweisen, eine Haupt-Dekodiereinrichtung 22 und eine Spalten-Dekodiereinrichtung 23. die tatsächliche Anzahl der Speicherblöcke kann beispielsweise acht sein. Es sind jedoch nur zwei Speicherblöcke (BLK0 und BLK1) 20 und 21 dargestellt, um die Beschreibung einfach zu halten. BLK0 beinhaltet Speicherzellen MC, die wie eine Matrix angeordnet sind, Neben-Wortleitungen, Neben-Wortleitungsantriebseinrichtungen, eine Neben-Wortauswahlleitung S0, eine Neben-Wortdekodiereinrichtung SD0, einen Leseverstärker antrieb DR0, Leseverstärker, Spalten-Schalter und mehrere Paare von Bitleitungen. In 3 sind nur zwei Neben-Wortleitungen SWL00 und SWL01, nur zwei Neben-Wortleitungsantriebe SWD00 und SWD01, nur zwei Leseverstärker SA00 und SA01, nur zwei Spalten-Schalter SW00 und SW01 und nur zwei Bitleitungspaare BL00 und BL01 dargestellt, um die Beschreibung zu vereinfachen. Jeder der SWL00 und SWL01 ist mit zugeordneten Speicherzellen verbunden. Als Reaktion auf die Führungsspitze des MEN0-Signals verriegelt die Haupt-Wortdekodiereinrichtung 22 das MPD-Signal und veranlasst eine der Haupt-Wortleitungsantriebseinrichtungen dazu, eine zugeordnete Haupt-Wortleitung als Reaktion auf das verriegelte MPD-Signal zu aktivieren. In 3 sind zur Vereinfachung nur zwei Haupt-Wortleitungen MWL0 und MWL1 und nur zwei Haupt-Wortleitungsantriebseinrichtungen MWD0 und MWD1 dargestellt. Als Reaktion auf die Führungsspitze des SEN0-Signals verriegelt SD0 das SPD-Signal und bestimmt als Reaktion auf das verriegelte SPD-Signal, ob S0 aktiviert werden soll oder nicht. Falls MWL0 und S0 bei der aktiviert sind, wird SWL00 von SWD00 aktiviert. Falls MWL1 und S0 bei der aktiviert sind, wird SWL01 von SWD01 aktiviert. Als Reaktion auf die Führungsspitze des SEN0-Signals, verriegelt DR0 das SPD-Signal und bestimmt als Reaktion auf das verriegelte SPD-Signal, ob eine Spannung angelegt werden sollte, um SA00 und SA01 zu betreiben, oder nicht. Speziell falls BLK0 von dem SPD-Signal spezifiziert ist, wird dann S0 von SD0 aktiviert, und SA00 und SA01 werden von DR0 aktiviert. Sowohl SA00 als auch SA01 sind mit zugeordneten Speicherzellen durch BL00 bzw. BL01 gekoppelt. Als Reaktion auf die Führungsspitze des CENO-Signals verriegelt die Spalten-Dekodiereinrichtung 23 das CPD-Signal und aktiviert als Reaktion auf das verriegelte CPD-Signal eine der mehreren Spaltenauswahlleitungen. In 3 sind aus Gründen der Einfachheit nur vier Spaltenauswahlleitungen C00, C01, C10 und C11 dargestellt. Falls C00 aktiviert wurde, wird BL01 von SW01 mit den Datenleitungspaar DL verbunden. Falls C01 aktiviert ist, wird BL01 von SW01 mit dem Datenleitungspaar DL verbunden. In BLK1 bezeichnen SWL10 und SWL11 Neben-Wortleitungen, SWD10, SWD11 bezeichnen Neben-Wortleitungsantriebseinrichtungen, S1 bezeichnet eine Neben-Wortauswahlleitung, SD1 bezeichnet eine Neben-Wortdekodiereinrichtung, DR1 bezeichnet einen Leseverstärkerantrieb, SA10 und SA11 bezeichnen Leseverstärker, SW10 und SW11 bezeichnen Spalten-Schalter und BL10 und BL11 bezeichnen Bitleitungspaare. SWL00 und SWL10 sind der Haupt-Wortleitung MWL0 gemeinsam zugeordnet, und SWL01 und SWL11 sind der Haupt-Wortleitung MWL1 gemeinsam zugeordnet. Ferner weist jede der BANK1 bis BANK3 die selbe innere Konstruktion auf, wie sie in 3 dargestellt ist.
  • 4 stellt eine detaillierte Konfiguration eines Teils von BLK0 dar. DR0 beinhaltet: einen Riegel 31 zum Zurückhalten des SPD-Signals als Reaktion auf die Führungsspitze des SEN0-Signals; eine Dekodiereinrichtung 32 zum Dekodieren des SPD-Signals, dass am Riegel 31 zurückgehalten wird; einen Invertor 33; einen PMOS-Transistor 34; und zwei NMOS-Transistoren und 35 und 36. Falls die Ausgabe der Dekodiereinrichtung 32 HOCH ist, legt DR0 eine Spannung zum Betrieb von SA00 und SA01 (d. h. eine Span nungsdifferenz zwischen VDD und VSS) zwischen zwei Signalleitungen 37 und 38 an. Falls die Ausgabe der dekodieren Einrichtung 32 NIEDRIG ist, gleicht der NMOS-Transistor 36 die Spannungen auf den Signalleitungen 37 und 38 an einander an. SA00 wird von zwei PMOS-Transistoren und 41 und 42 und zwei NMOS-Transistoren 43 und 44 gebildet. SW00 wird von zwei NMOS-Transistoren 51 und 52 gebildet.
  • 5 stellt Spezifikationen dreier Moden, die von der Moden-Erkennungseinrichtung 15 erkannt werden sollen, dar. Nachfolgend wird beschrieben, wie man einen Modus für BANK0 spezifiziert. In Modus A werden die Führungsspitzen der Signale MEN0, SEN0 und CEN0 auf eine solche Weise produziert, dass die Haupt-Wortleitungen, Neben-Wortleitungen und Spalten-Auswahlleitungen, die aktiviert werden sollen, gewechselt werden können. In Modus B werden die Führungsspitzen der Signale SEN0 und CEN0 produziert, während der logische Stand des MEN0-Signals fest ist, sodass die Neben-Wortleitungen und die Spalten-Auswahlleitungen, die aktiviert werden sollen, gewechselt werden können, während noch dieselbe Haupt-Wortleitung ausgewählt ist. In Modus C wird die Führungsspitze des CEN0-Signals produziert, während die logischen Stände der Signale MEN0 und SEN0 beide fest sind, so dass Spalten-Auswahl Leitungen, die aktiviert werden sollen, gewechselt werden können, während die selben Haupt-Wortleitung und die selben Neben-Wortleitungen noch ausgewählt sind. Man beachte, dass, falls ein anderer bestimmter Modus durch M0 bis M3 spezifiziert ist, die Moden-Erkennungseinrichtung 15 dann ein Steuersignal erzeugen kann, dass alle der Haupt-Wort-, Neben-Wort- und Spalten-Auswahlleitungen deaktivieren kann. Falls dieser bestimmte Modus spezifiziert wurde, werden die Signale MEN0, SEN0 und CEN0 alle negiert. Alternativ können zusätzlich drei Moden definiert werden, um die Haupt-Wortleitungen, Neben-Wortleitungen und Spalten-Auswahlleitungen einzeln zu deaktivieren.
  • 6 stellt einen beispielhaften Datenlesebetrieb dar, der auf BANK0 durchgeführt wird. Hier wird dieser Betrieb für jede der vier Perioden, die in 6 dargestellt sind, beschrieben.
  • Während der ersten Periode werden PKT, das Bits, die Modus A spezifizieren, eine Reihenadresse, die MWL0 und BLK0 spezifiziert, und eine Spaltenadresse beinhaltet, die C00 spezifiziert, eingegeben. Wenn sie solche Bits empfängt, die Modus A spezifizieren, erzeugt die Modenerkennungseinrichtung 15 die Führungsspitzen der Signale MEN0, SEN0 und CEN0. Infolgedessen wird von den mehreren Neben-Wortleitungen, die MWL0 zugeordnet sind, nur SWL00 aktiviert, von den mehreren Leseverstärkerantrieben arbeitet nur DR0 und mehrere Leseverstärker einschließlich SA00 und SA01 werden aktiviert. Und wenn C00 aktiviert ist, öffnet SW00, so dass Daten, die in einer spezifiziert in Speicherzelle in BLK0 gespeichert sind, auf DL ausgelesen werden. In der Zwischenzeit ist beispielsweise SWL10 nicht aktiviert, und DR1 legt keine Spannung an, um die Leseverstärker zu betreiben.
  • Während der zweiten Periode wird PKT, das Bits beinhaltet, die Modus B spezifizieren, eine Reihenadresse, die BLK1 spezifiziert, und eine Spaltenadresse, die C10 spezifiziert, eingegeben. Wenn sie solche Bits empfängt, die Modus B spezifizieren, negiert die Modenerkennungseinrichtung 15 einmal die Signale SEN0 und CEN0, während der logische Stand des MEN0-Signals fest ist, und erzeugt dann die Führungsspitzen der Signale SEN0 und CEN0. Infolgedessen werden SWL10 und C10 an Stelle von SWL00 bzw. C00 aktiviert, während MWL0 noch ausgewählt ist, und Daten, die in einer spezifiziert in Speicherzelle in BLK1 gespeichert sind, werden auf DL ausgelesen.
  • Während der dritten Periode wird PKT eingegeben, das Bits beinhaltet, die Modus C spezifizieren, und eine Spaltenadresse, die C11 spezifiziert. Wenn sie solche Bits empfängt, die Modus C spezifizieren, negiert die Modenerkennungseinrichtung 15 einmal das CEN0-Signal, während die logischen Stände der Signale MEN0 und SEN0 fest sind, und erzeugt dann die Führungsspitze des CEN0-Signals. Infolgedessen wird C11 an Stelle von C10 aktiviert, während MWL0 und SWL0 noch aktiviert sind, und Daten, die auf einer spezifizierten Speicherzelle in BLK1 gespeichert sind, werden auf DL ausgelesen.
  • Während der vierten Periode wird PKT eingegeben, das Bits beinhaltet, die einen Modus spezifizieren, in dem die Haupt-Wort-, Neben-Wort- und Spalten-Auswahlleitungen alle die aktiviert sind. Infolgedessen werden die Signale MEN0, SEN0 und CEN0 alle negiert und MWL0, SWL0 und C11 werden alle die aktiviert.
  • 7 stellt einen anderen beispielhaften Betrieb des die RAM-Chips dar, der in 1 gezeigt ist. In dem er Beispiel, dass in 7 dargestellt ist, spezifizieren M0 bis M3 in PKT in dieser Reihenfolge Modus A für BANK1, Modus A für BANK2, Modus B für BANK3 und dann Modus A für BANK3. bei der Konfiguration, die in 1 gezeigt ist, können mehrere Speicherbänke auf einmal aktiviert werden, und Moden können für die jeweiligen Speicherbänke unabhängig eingestellt werden.
  • Wie oben beschrieben wurde, können in dem die RAM-Chip mit einer solchen Konfiguration, während eine Haupt-Wortleitung aktiviert ist, aktivierte der mehreren Neben-Wortleitungen, die dieser Haupt-Wortleitung zugeordnet sind, geändert werden. Somit vergrößern sich die Reihen-Zugriffsgeschwindigkeiten im Vergleich mit dem Stand der Technik. Zusätzlich werden nur eine Neben-Wortleitung und Leseverstärker, die zu einem spezifizierten der mehreren Speicherblöcke gehören, aktiviert, wodurch der Energieverbrauch des DRAM-Chips gesenkt wird. Diese Wirkung der Senkung des Energieverbrauchs macht sich besonders in einem die RAM-Chip bemerkbar, bei dem mehrere Speicherbänke auf einmal aktiviert sind. Ferner können, wenn nur Modus B spezifiziert ist, die Neben-Wortleitungen, die aktiviert werden sollen, geändert werden, während die selbe Haupt-Wortleitung noch ausgewählt ist. In anderen Moden sind jedoch andere Betriebsarten auswählbar. Infolgedessen kann der DRAM-Chip flexibler verwendet werden. Darüber hinaus kann, weil eine Adresse unter Verwendung eines Steuerpakets eingegeben wird, die Anzahl der Pins, die bei der Verpackung des DRAM erforderlich sind, im Vergleich mit nicht-gemultiplexten Adresseingaben verringert werden. Man beachte jedoch, dass die vorliegende Erfindung auch auf einen DRAM-Chip mit einer einzelnen Bankstruktur oder auf einen DRAM, der keine Steuerpakete verwendet, anwendbar ist.
  • In dem vorstehenden Beispiel stellt ein Teil einer Reihenadresse eine Neben-Wortadresse dar. Alternativ kann einen Teil einer Spaltenadresse die Neben-Wortadresse darstellen. Ferner kann jede Speicherbank eine Konfiguration aufweisen, die so entworfen ist, dass sie Stöße von Bits liest. Die Bildbreite des Steuerpakets ist nicht auf diejenige des Beispiels beschränkt, sondern kann einen beliebiger Wert sein. Ferner können verschiedene andere Moden einschließlich Auffrischungs-, Test- und Abschalt-Moden unter Verwendung des Steuerpakets definiert werden.
  • Bei dem vorstehenden Beispiel ist nur eine Neben-Wortleitung dazu vorgesehen, unter den mehreren Neben-Wortleitungen, die einer gemeinsamen Haupt-Wortleitung zugeordnet sind, aktiviert zu sein. Dem entsprechend ist die Anzahl von Speicherzellen, auf die aufeinanderfolgend in dem so genannten "Seiten-Modus" zugegriffen werden kann, viel kleiner als einer Situation, in der die hierarchische Wortleitungsstruktur nicht angenommen ist. Das bedeutet, dass die Seitenlänge sich verkürzt. Falls die Seitenlänge lieber ausgedehnt wird, kann die Konfiguration auf eine solche Weise modifiziert werden, dass wenigstens zwei Neben-Wortleitungen auf einmal aktiviert werden.
  • 8. stellt eine detaillierte Konfiguration für Neben-Wortdekodiereinrichtungen BANK0 dar, die zur Ausdehnung der Seitenlänge geeignet sind. In 8 sind nicht nur SD0, SD1, S0 und S1, die in 3 gezeigt sind, sondern auch zwei andere Neben-Wortdekodiereinrichtungen SD2 und SD3 dargestellt. Die Darstellung des Riegels zum Zurückhalten des SPD-Signals als Reaktion auf die Führungsspitze des SEN0-Signals ist jedoch weggelassen. Die in 8 gezeigt ist, wird das SPD-Signal durch wenigstens sechs Signal Leitungen SPD2, XSPD2, SPD1, XSPD1, SPD0 und XSPD0 übertragen. SPD2 und XSPD1 bilden ein anderes Paar komplementärer Signalleitungen. Und SPD0 und XSPD1 bilden noch ein anderes Paar komplementärer Signalleitungen. SD0 ist so konstruiert, dass sie S0 aktiviert, während die logischen Stände von SPD2, SPD1 und SPD0 HOCH sind. SD1 ist es so konstruiert, dass sie S1 aktiviert, während die logischen Stände von SPD2, SPD1 und XSPD0 HOCH sind. SD2 ist so konstruiert, dass es es zwei aktiviert, während die logischen Stände von SPD2, XSPD1 und SPD0 HOCH sind. Und SD3 ist so konstruiert, dass sie S3 aktiviert, während die logischen Stände von SPD2, XSPD1 und XSPD0 HOCH sind.
  • Bei der Konfiguration, die in 8 gezeigt ist, sind die logischen Stände einer der Signalleitungen SPD2 und XSPD2, die logischen Stände einer der Signalleitungen SPD1 und XSPD1 sowie die logischen Stände einer der Signalleitungen SPD0 und XSPD0 für gewöhnlich auf HOCH eingestellt. In diesem Fall werden zwei oder mehr der Neben-Wortauswahlleitungen S0, S1, S3 und S3 nicht auf einmal aktiviert. Um S0 und S1 auf einmal zu aktivieren, so dass die Seitenlänge ausgedehnt werden kann, werden die logischen Stände von SPD2, SPD1, SPD0, XSPD0 auf HOCH eingestellt. In diesem Fall werden eine Neben-Wortleitung in BLK0 und eine andere Neben-Wortleitung in BLK1 auf einmal aktiviert. Als Reaktion legen sowohl DR0 als auch DR1 eine Spannung an, um im mehrere Leseverstärker zu betreiben. Um vier Neben-Wortleitungen gleichzeitig zu aktivieren, können die logischen Stände von SPD2, SPD1, SPD0 und XSPD0 auf HOCH eingestellt werden.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein DRAM-Chip mit einer vergrößerten Reihenzugriffsgeschwindigkeit geschaffen. Die vorliegende Erfindung ist jedoch auch auf jede andere Halbleiter-Speichervorrichtung als die vom DRAM-Typ anwendbar, solange die Vorrichtung die hierarchische Wortleitungsstruktur aufweist.

Claims (5)

  1. Halbleiter-Speichervorrichtung mit einer hierarchischen Wortleitungsstruktur, die umfasst: eine Vielzahl von Speicherzellen (MC); eine Vielzahl von Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11), die jeweils mit einer dazugehörigen der Speicherzellen (MC) verknüpft sind; eine Haupt-Wortleitung (MWL0, MWL1), mit der die Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11) gemeinsam verknüpft sind; eine erste Einrichtung (MWD0, MWD1), die die Haupt-Wortleitung (MWL0, MWL1) aktiviert, gekennzeichnet durch: eine zweite Einrichtung (SWD00, SWD01, SWD10, SWD11), die aktvierte der Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11) ändert, während die Haupt-Wortleitung (MWL0, MWL1) aktiviert ist.
  2. Halbleiter-Speichervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des Weiteren umfasst: eine Einrichtung (14) zum Eingeben eines Steuerpakets (PKT); und eine Einrichtung (SD0, SD1), die die zweite Einrichtung (SWD00, SWD01, SWD10, SWD11) betätigt, wenn ein bestimmter Modus von dem Steuerpaket (PKT) bestimmt wird.
  3. Halbleiter-Speichervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des Weiteren eine Einrichtung (SD2, SD3, S2, S3) umfasst, um jeweils wenigstens zwei der Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11) zu aktivieren.
  4. Halbleiter-Speichervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie des Weiteren umfasst: eine Vielzahl von Leseverstärkern (SA00, SA01, SA10, SA11), die jeweils mit einer verknüpften der Speicherzellen (MC) gekoppelt sind; und eine Einrichtung (DR0, DR1), zum Aktivieren von lediglich einem der Leseverstärker (SA00, SA01, SA10, SA11), der mit einer der Speicherzellen (MC) gekoppelt ist, die mit der aktivierten der Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11) verbunden ist.
  5. Halbleiter-Speichervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie mehrere Bänke (BANK0, BANK1, BANK3, BANK4) umfasst, wobei jede Bank (BANK0, BANK1, BANK3, BANK4) die Vielzahl von Speicherzellen (MC), die Vielzahl von Neben-Wortleitungen (SWL00, SWL01, SWL10, SWL11), die Haupt-Wortleitung (MWL0, MWL1), die erste Einrichtung (MWD0, MWD01) und die zweite Einrichtung (SWD00, SWD01, SWD10, SWD11) enthält.
DE69909280T 1998-04-21 1999-04-20 Halbleiterspeicher Expired - Lifetime DE69909280T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11044798 1998-04-21
JP11044798 1998-04-21
PCT/JP1999/002105 WO1999054881A1 (fr) 1998-04-21 1999-04-20 Dispositif de memorisation a semiconducteurs

Publications (2)

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DE69909280D1 DE69909280D1 (de) 2003-08-07
DE69909280T2 true DE69909280T2 (de) 2004-02-05

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DE69909280T Expired - Lifetime DE69909280T2 (de) 1998-04-21 1999-04-20 Halbleiterspeicher

Country Status (9)

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US (1) US6400637B1 (de)
EP (1) EP1074994B1 (de)
JP (1) JP3719934B2 (de)
KR (1) KR100529706B1 (de)
CN (1) CN1181493C (de)
AU (1) AU3344999A (de)
DE (1) DE69909280T2 (de)
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