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DE69311918T2 - Quarzkristalldruckwandler - Google Patents

Quarzkristalldruckwandler

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DE69311918T2
DE69311918T2 DE69311918T DE69311918T DE69311918T2 DE 69311918 T2 DE69311918 T2 DE 69311918T2 DE 69311918 T DE69311918 T DE 69311918T DE 69311918 T DE69311918 T DE 69311918T DE 69311918 T2 DE69311918 T2 DE 69311918T2
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DE
Germany
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quartz crystal
cut
crystal
resonator
axis
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John R Dennis
Charles D Totty
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Halliburton Energy Services Inc
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0008Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
    • G01L9/0022Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

  • Diese Erfindung betrifft einen Quarzdruckmeßwandler und dessen Verwendung bei der Überwachung von Druck in einer heißen Umgebung.
  • Druck, wie z.B. in einem Öl- oder Gasbohrloch, läßt sich auf bekannte Weise mit einem Quarzdruckmeßwandler messen. Ein solcher Meßwandler beinhaltet einen Quarzkristallresonator, d.h. ein piezoelektrisches Element, das ein elektrisches Merkmal einer elektrischen Schaltung, ansprechend auf mechanischen Streß, der durch den gemessenen Druck im Resonator erzeugt wird, verändert. Normalerweise gehört der Resonator zu einer Oszillatorschaltung, die ein elektrisches Sinussignal, das vom Ansprechen des Resonators abhängig ist, erzeugt.
  • Eine Art von Druckmeßwandler, die sich besonders zum Feststellen von Druck in einem Öl- oder Gasbohrloch eignet, hat einen Dickenscherungsschwingung- Quarzkristallresonator. Bei einem Dickenscherungsschwingung-Quarzkristallresonator sind Elektroden an zwei Hauptflächen des Resonators befestigt, und das elektrische Ansprechen ist auf den Streß zurückzuführen, der auf die Resonatordicke einwirkt. Diese Dicke ist lotrecht zu den Hauptflächen. Obgleich andere vorgeschlagen wurden, kommen größtenteils, wenn nicht ausschließlich, zwei spezifische Dickenscherungsschwingung-Quarzkristallresonatoren zur Verwendung, einschließlich entweder AT- Schnitt-Quarzkristall oder BT-Schnitt-Quarzkristall.
  • AT-Schnitt- und BT-Schnitt-Quarzkristallresonatoren eignen sich wenigstens teilweise, weil ihr Ansprechen auf Druck größtenteils temperaturunabhängig ist, d.h. diese Resonatoren haben angeblich einen Nulltemperatur-Frequenzkoeffizienten. Beide Resonatoren sind jedoch hinsichtlich ihrer maximal nützlichen Druck- und Temperaturbereiche beschränkt. Es kommt dann zu dieser Einschränkung, wenn der auf den Resonator einwirkende Streß ein Höchstniveau erreicht oder darüber geht. Zu diesen Zeitpunkt kommt es entweder zum Zerbrechen oder zur "Zwillingsbildung" des Quarzkristalls.
  • BT-Schnitt-Resonatoren leiden prinzipiell unter Zerbrechen. Bei einer spezifischen Ausführung von BT-Schnitt-Drucksensoren kommt es dazu ungefähr bei 82 MPa und ca. 175º C. AT-Schnitt-Sensoren leiden hauptsächlich unter dem "Zwillingsbildungs"-Ausfall. Bei einer spezifischen Ausführung kommt es dazu bei ca. 138 MPa und 175º C oder ca. 110 MPa bei ca. 200º C oder anderen zutreffenden Druck-Temperatur-Kombinationen, die zum maximal zulässigen Streßniveau im Resonator führen. Bei einer weiteren Ausführung von AT-Schnitt-Sensoren kann es dazu bei ca. 138 MPa und ca. 200º C oder ca. 172 MPa bei ca. 175º C oder einer anderen zutreffenden Druck-Temperatur-Kombination kommen.
  • Wenn sich infolge von zu hohem Streß Quarzzwillinge bilden, kommt es zur rapiden Veränderung der Kristallstruktur, die in einen beständigeren Zustand wechselt. Bei dem AT-Schnitt-Kristall kann ein elektrischer Zwilling dieser Art als eine Drehung um 180º um die Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen, mit Bezug auf die der Kristall auf bekannte Weise orientiert werden kann, angesehen werden. Theoretisch wird ein Zwilling durch Ansetzen eines Streßmusters zurück verwandelt, wodurch der ursprüngliche Zustand zum niedrigeren Energiezustand des angesetzten Streßmusters werden würde. Zur Zeit ist das praktisch nicht durchführbar. Deshalb bleibt ein Kristall nach der Zwillingsbildung in diesem Zustand. Der AT-Schnitt- Kristall spricht nach der Zwillingsbildung empfindlicher auf Temperatur an als im ursprünglichen, unverdoppelten Zustand. Weiter erfolgt die Zwillingsbildung eines Kristalls normalerweise nur teilweise. Ein solcher Kristall mit teilweiser oder unvollständiger Zwillingsbildung kann nicht resoniert werden, d.h. er ist als Resonator der hier erörterten Art unbrauchbar.
  • Infolge der maximalen Druck- und Temperatureinschränkungen der weit verbreiteten AT- und BT-Schnitt-Resonatoren besteht ein Bedarf für einen verbesserten Druckmeßwandler mit einem Quarzkristall solcher Art, das anstelle von AT-Schnitt- oder BT-Schnitt-Kristallen im gesamten normalen Einsatzbereich der AT-Schnitt- und BT-Schnitt-Kristalle sowie mit höheren Drücken und Temperaturen eingesetzt werden kann und trotzdem in angemessener Weise auf Druck anspricht.
  • Diese Erfindung vermittelt einen verbesserten Druckmeßwandler, bestehend aus einem Quarzkristall mit einem Drehschnitt, wobei es sich beim Quarzkristall um das Resonatorteil im Meßwandler handelt. Der Quarzkristall hat eine Orientierung in einem Winkelbereich, während die Hauptflächen des Kristalls in einem Winkel geschnitten sind, der durch die Orientierung bestimmt wird. Der Druckmeßwandler ist gekennzeichnet dadurch, daß die Winkel als Drehung um die X-Achse definiert sind, wobei die Winkel größtenteils -25ºund größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen sind.
  • Eine bevorzugte Ausführung der Erfindung vermittelt einen Druckmeßwandler, bestehend aus einem größtenteils zylindrischen Dickenscherungsschwingungs- Quarzkristallresonator mit größtenteils parallelen Hauptflächen, die parallel zu einer Orientierung verlaufen, die in einem Winkel von größtenteils -25º bis größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse eine Drehung um die X-Achse der X-, Y- und Z- Kristallachsen geschnitten sind.
  • In einer spezifischeren Ausführung befindet sich der Schnittwinkel des Quarzkristalls im Bereich von größtenteils -25º bis größtenteils -35º gegenüber der Z-Achse. Noch spezifischer wird der Quarzkristall in einem Winkel gleich dem eines AT-Schnitt-Kristalls mit Zwillingsbildung orientiert.
  • Um ein besseres Verständnis der Erfindung herbeizuführen, wird auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen. Es zeigen:
  • FIG. 1 einen mit Bezug auf die X-, Y- und Z-Kristallachsen orientierten Quarzkristall.
  • FIG. 2 die Orientierung herkömmlicher X-Schnitt-, Y-Schnitt- und Z- Schnittflächen gegenüber den X-, Y- und Z-Kristallachsen.
  • FIG. 3 die Ebenen an den Grenzen des Schnittbereichs für Quarzkristallresonatoren der Druckmeßwandler dieser Erfindung sowie die Ebenen für herkömmliche AT- und BT-Schnitt-Resonatoren.
  • FIG. 3A einen Dickenscherungsschwingungs-Quarzkristallresonator, der nach dieser Erfindung orientiert ist.
  • FIG. 4-10A bekannte Druckmeßwandler als Beispiele für die strukturellen Konfigurationen, die Meßwandler dieser Erfindung aufweisen können.
  • FIG. 1 zeigt ein gegenüber den X-, Y- und Z-Kristallachsen orientiertes Quarzkristall 2. Die X-Achse ist die elektrische Achse, die Y-Achse ist die mechanische Achse und die Z-Achse ist die optische Achse laut bekannter Technik. Die korrekte Orientierung des Kristalls 2 gegenüber den Achsen kann auf bekannte Weise herbeigeführt werden, wie z.B. durch die dem Fachmann bekannte Röntgen- Diffraktionsmethode.
  • Von der in FIG. 1 gezeigten Orientierung kann Kristall 2 auf bekannte Weise mit einem oder mehreren Winkeln gegenüber einer oder mehreren Kristallachsen geschnitten werden. Zur Veranschaulichung werden in FIG. 2 herkömmliche X- Schnitt-, Y-Schnitt- und Z-Schnittorientierungen dargestellt. Bezugnehmend auf FIG. 3 werden die Orientierungen herkömmlicher Dickenscherungsschwingungs- Quarzkristallresonatoren mit AT- und BT-Schnitt gezeigt. Die Hauptflächen der ATund BT-Schnitt-Kristalle, an denen die Elektroden im Druckmeßwandler der diese Erfindung betreffenden Art befestigt werden sollten, sind jeweils parallel zu den oder inklusive der Planarflächen 4, 6 in FIG. 3 ausgeführt. Die Planarfläche 4 wird von der Z-Achse im Winkel von +35º 15' um die X-Achse gedreht. Die Planarfläche 6 wird im Winkel von -49º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht. Als Dickenscherungsschwingungs-Resonatoren weisen die AT- und BT-Schnitt-Kristalle eine Dicke auf, die größtenteils kleiner als die Durchmesser oder die maximale lineare Abmessung ihrer Hauptflächen ausfällt.
  • Gleichfalls erscheinen in FIG. 3 zwei Planarflächen 8, 10, die die Winkegrenzen der Schnittbereichsorientierungen für Quarzkristalle darstellen, die in Druckmeßwandlern nach dieser Erfindung aufgenommen werden. Die Oberfläche 8 wird im Winkel von ca. -25º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht, während Oberfläche 10 im Winkel von ca. -45º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht wird. So werden die Hauptflächen eines Quarzkristallresonators dieser Erfindung in einem Winkel im Bereich zwischen ca. -25º und ca. -45º geschnitten. Wenn φ den Winkel gegenüber der Z-Achse und 0 den Winkel gegenüber der X-Achse bezeichnet, sind die Hauptflächen des Quarzkristalls in dieser Erfindung im Bereich von φ = ca. -25º bis ca. -45º und θ = 0º orientiert. Somit hat der Quarzkristall dieser Erfindung einen einzelnen Drehschnitt. Ein bevorzugterer Bereich ist φ = ca. -25º bis ca.-35º und θ = 0º.
  • Eine besonders bevorzugte Orientierung hat einen Winkel von φ = -35º 15', so daß der Quarzkristall gleich einem AT-Schnitt-Kristall mit kompletter oder perfekter Zwillingsbildung geschnitten ist. Obwohl diese spezifische Orientierung einen Resonator erzeugt, der mit ausgeprägterer Temperaturempfindlichkeit auf Druck anspricht als ein herkömmlicher AT-Schnitt-Quarzkristallresonator, konnten wir feststellen, daß ein Quarzkristallresonator dieser speziellen Orientierung dieser Erfindung in akzeptabler Weise auf Druck anspricht sowie einen breiteren Einsatzbereich als entweder AT- oder BT-Schnitt-Quarzkristallresonatoren aufweist.
  • In den bevorzugten Ausführungen ist ein Quarzkristallresonator dieser Erfindung größtenteils zylindrisch, d.h. die Peripherie der Hauptflächen des Kristalls ist rund mit Ausnahme eines bevorzugten abgeflachten Abschnitts des Randes, der zur externen Anzeige der Orientierung vorgesehen wird. Ein so abgeflachter Rand sowie die bevorzugte zylindrische Form wurden bereits in Quarzkristallresonatoren nach bekanntem Stand der Technik benutzt. Eine solche Orientierung mit einer Winkelstellung 4) im Bereich dieser Erfindung wird durch den Quarzkristallresonator 12 in FIG. 3A dargestellt. Die größtenteils runden Hauptflächen 14, 16 sind parallel. Der allgemein zylindrische Rand 18 hat, wie schon im Vortext erläutert, zur Orientierung eine Flachstelle 20.
  • Der Druckmeßwandler dieser Erfindung umfaßt vorzugsweise ein kristallines Gehäuse, in dem der Quarzkristallresonator kapselig eingeschlossen wird. Das Gehäuse weist vorzugsweise eine zylindrische Quarzkristallwand auf, durch die der Resonator integral gebildet wird. Diese Wand steht lotrecht zu den Hauptflächen des Resonators. Die Wand bildet bei den Hauptflächen des Resonators Hohlräume. Passende kristalline Endkappen verschließen diese Hohlräume. Diese Konfigurationsweise ist dem Fachmann bekannt und wurde mit den schon erwähnten AT- und BT-Schnitt- Quarzkristallresonatoren verwendet. Beispiele dieser Konfigurationsweise gehen aus FIG. 4-9 hervor. FIG. 4 und 5 wurden der US Patentschrift Nr.3,561,832, Karrer u.a., entnommen; FIG. 6 und 7 wurden der US Patentschrift Nr.3,617,780, Benjaminson u.a., entnommen; FIG. 8 wurden der US Patentschrift Nr.4,550,610, Eernisse, entnommen und FIG. 9 wurde der US Patentschrift Nr.4,802,370, Eernisse u.a., entnommen. Diese Patente werden zur Referenz angegeben.
  • FIG. 6 und 7 veranschaulichen, daß die Hauptflächen nicht planar sein müssen, d.h. sie müssen also nicht unbedingt parallel sein. HG. 8 zeigt den Resonator, der in eine Oszillatorschaltung verknüpft ist. Angesichts des Winkelbereichs dieser im Vortext beschriebenen Erfindung ist dem Fachmann die Fertigung solcher Gehäuse und der gesamten Druckmeßwandler bekannt. Eine bei der Fertigung der Ausführung bevorzugte Methode und deren Bauweise gehen aus HG. 10 und 10A hervor. Dabei handelt es sich um einen dem Fachmann einschlägig bekannten Typ. Zunächst wird ein Resonator 22 aus einem Stück hergestellt, dann bilden sich daneben Hohlräume, die durch die hohlen Endkappen 24, 26 dargestellt werden. Diverse Resonatorkonfigurationen können verwendet werden. So kann beispielsweise ein zweiter Kristall der gleichen Orientierung wie der des Drucksensors, der jedoch nicht dem Druck ausgesetzt wird, zum Ausgleichen der Temperatureinwirkungen durch Vergleichen der Frequenzveränderungen beider Resonatoren benutzt werden. Dem Drucksensor und 1 oder dem Vergleichskristall kann beispielsweise ein Temperatur-Ibezugskristall beigefügt werden.
  • Wir haben verschiedene Drucksensoren der in FIG. 10 und 10A gezeigten Art hergestellt, wobei jedoch ein Kristallschnitt nach dieser Erfindung eingesetzt wurde. Drei verschiedene Kristallorientierungen wurden benutzt. Dabei handelt es sich um die folgenden: -35º, -40º und -45º gegenüber der Z-Achse. Die Fertigung und der Zusammenbau der Resonatoren und zugehörigen Endkappen wurde mit Hilfe bewährter Methoden durchgeführt. Fünf Drucksensoren dieser Art wurden bei Temperaturen bis 230ºC und Druck bis 206 MPa getestet. Dabei kam es zu keinem Ausfall. Zu beachten ist, daß diese Temperaturen und Drücke nicht die nützlichen Grenzwerte der Erfindung darstellen, sondern lediglich die Grenzen der Prüfanlagen darstellen. Obwohl wir keine Schnitte bei -25º getestet haben, gehen wir davon aus, daß ein bevorzugter Bereich zwischen -25º und -35º liegt, weil der Frequenz- Temperatur-Übergang bei weniger negativ werdendem Winkel ansteigt. Das erlaubt möglicherweise höhere Temperaturen.
  • Der im Vortext beschriebene Druckmeßwandler kann zum Überwachen von Druck in heißen Umgebungen eingesetzt werden. Diese Verwendung umfaßt das Erkennen von Druck in der Umgebung durch einen Quarzkristall mit einem Drehschnitt in einem Winkel, der dem schon beschriebenen Bereich von ca. -25º bis ca. -45º gegenüber der Z-Kristallachse entspricht, so daß der Quarzkristall weder zerbricht noch es, ansprechend auf Druck oder Temperatur, zur Zwillingsbildung kommt.
  • Solcher Druck kann mindestens 138 MPa bei Temperaturen von wenigstens ca. 200º C sein. In dieser Umgebung kann diese Erfindung eingesetzt werden, geht jedoch über den unteren, sicheren Einsatzbereich herkömmlicher AT- und BT-Schnitt- Kristalle hinaus (in dem diese Erfindung gleichfalls eingesetzt werden kann). Das Erkennen erfolgt durch piezoelektrisches Ansprechen des Quarzkristallresonators auf die Umgebungstemperatur. Dieses Ansprechen wird von der Oszillatorschaltung festgestellt, in die der Resonator laut Darstellung der Anordnung in FIG. 8 eingebunden ist und wie sie dem Fachmann bekannt ist.
  • Ein Öl- und Gasbohrloch ist ein spezifisches Beispiel einer Umgebung, in der diese Erfindung eingesetzt werden kann. So kann der Druckmeßwandler dieser Erfindung beispielsweise in einem Bohrlochmeß- und Aufzeichnungsgerät eingesetzt werden, wie es in US Patentschrift Nr.4,866,607, Anderson u.a., eröffnet wird.

Claims (6)

1. Ein Druckmeßwandler, bestehend aus einem Quarzkristall (12) mit einem Drehschnitt, wobei es sich bei dem Quarzkristall (12) um ein Resonatorelement im Meßwandler handelt, wobei besagter Quarzkristall (12) eine Orientierung in einem Winkelbereich aufweist und Hauptflächen des Kristalls in einem durch besagte Orientierung bestimmten Winkel geschnitten sind, gekennzeichnet dadurch, daß besagte Winkel als Drehung um die X-Achse definiert sind, wobei besagter Winkel in besagtem Bereich zwischen größtenteils -25º und größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen liegt.
2. Ein Meßwandler nach Anspruch 1, wobei besagter Quarzkristall (12) in besagtem Bereich im Winkel gleich dem eines AT-Schnitt-Kristalls mit Zwillingsbildung orientiert ist.
3. Ein Meßwandler nach einem der Ansprüche 1 oder 2, weiter bestehend aus einem kristallinen Gehäuse (FIG. 4 bis 9), in dem besagter Quarzkristall (12) kapselig gehalten wird.
4. Ein Druckmeßwandler, bestehend aus einem größtenteils zylindrischen Dickenscherungsschwingungs-Quarzkristallresonator (12), gekennzeichnet dadurch, daß besagter Kristallresonator größtenteils parallele Hauptflächen (14, 16) aufweist, die parallel zu einer Orientierung stehen, die in einzelner Drehung um die X-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen in einem Winkel im Bereich von größtenteils -25º und größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse geschnitten sind.
5. Ein Meßwandler nach Anspruch 4, bei dem besagter Winkel einen Zwilling des Winkels eines AT-Schnitt-Quarzkristallresonators (12) darstellt.
6. Ein Meßwandler nach Anspruch 4 oder 5, weiter bestehend aus einem kristallinen Gehäuse (FIG. 4 bis 9), das integral zum besagten Kristallresonator zählt.
In besagtem Gehäuse befinden sich Hohlräume neben den besagten Hauptflächen des besagten Quarzkristallresonators.
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