DE69311918T2 - Quarzkristalldruckwandler - Google Patents
QuarzkristalldruckwandlerInfo
- Publication number
- DE69311918T2 DE69311918T2 DE69311918T DE69311918T DE69311918T2 DE 69311918 T2 DE69311918 T2 DE 69311918T2 DE 69311918 T DE69311918 T DE 69311918T DE 69311918 T DE69311918 T DE 69311918T DE 69311918 T2 DE69311918 T2 DE 69311918T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- quartz crystal
- cut
- crystal
- resonator
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 83
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 49
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 49
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
- Diese Erfindung betrifft einen Quarzdruckmeßwandler und dessen Verwendung bei der Überwachung von Druck in einer heißen Umgebung.
- Druck, wie z.B. in einem Öl- oder Gasbohrloch, läßt sich auf bekannte Weise mit einem Quarzdruckmeßwandler messen. Ein solcher Meßwandler beinhaltet einen Quarzkristallresonator, d.h. ein piezoelektrisches Element, das ein elektrisches Merkmal einer elektrischen Schaltung, ansprechend auf mechanischen Streß, der durch den gemessenen Druck im Resonator erzeugt wird, verändert. Normalerweise gehört der Resonator zu einer Oszillatorschaltung, die ein elektrisches Sinussignal, das vom Ansprechen des Resonators abhängig ist, erzeugt.
- Eine Art von Druckmeßwandler, die sich besonders zum Feststellen von Druck in einem Öl- oder Gasbohrloch eignet, hat einen Dickenscherungsschwingung- Quarzkristallresonator. Bei einem Dickenscherungsschwingung-Quarzkristallresonator sind Elektroden an zwei Hauptflächen des Resonators befestigt, und das elektrische Ansprechen ist auf den Streß zurückzuführen, der auf die Resonatordicke einwirkt. Diese Dicke ist lotrecht zu den Hauptflächen. Obgleich andere vorgeschlagen wurden, kommen größtenteils, wenn nicht ausschließlich, zwei spezifische Dickenscherungsschwingung-Quarzkristallresonatoren zur Verwendung, einschließlich entweder AT- Schnitt-Quarzkristall oder BT-Schnitt-Quarzkristall.
- AT-Schnitt- und BT-Schnitt-Quarzkristallresonatoren eignen sich wenigstens teilweise, weil ihr Ansprechen auf Druck größtenteils temperaturunabhängig ist, d.h. diese Resonatoren haben angeblich einen Nulltemperatur-Frequenzkoeffizienten. Beide Resonatoren sind jedoch hinsichtlich ihrer maximal nützlichen Druck- und Temperaturbereiche beschränkt. Es kommt dann zu dieser Einschränkung, wenn der auf den Resonator einwirkende Streß ein Höchstniveau erreicht oder darüber geht. Zu diesen Zeitpunkt kommt es entweder zum Zerbrechen oder zur "Zwillingsbildung" des Quarzkristalls.
- BT-Schnitt-Resonatoren leiden prinzipiell unter Zerbrechen. Bei einer spezifischen Ausführung von BT-Schnitt-Drucksensoren kommt es dazu ungefähr bei 82 MPa und ca. 175º C. AT-Schnitt-Sensoren leiden hauptsächlich unter dem "Zwillingsbildungs"-Ausfall. Bei einer spezifischen Ausführung kommt es dazu bei ca. 138 MPa und 175º C oder ca. 110 MPa bei ca. 200º C oder anderen zutreffenden Druck-Temperatur-Kombinationen, die zum maximal zulässigen Streßniveau im Resonator führen. Bei einer weiteren Ausführung von AT-Schnitt-Sensoren kann es dazu bei ca. 138 MPa und ca. 200º C oder ca. 172 MPa bei ca. 175º C oder einer anderen zutreffenden Druck-Temperatur-Kombination kommen.
- Wenn sich infolge von zu hohem Streß Quarzzwillinge bilden, kommt es zur rapiden Veränderung der Kristallstruktur, die in einen beständigeren Zustand wechselt. Bei dem AT-Schnitt-Kristall kann ein elektrischer Zwilling dieser Art als eine Drehung um 180º um die Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen, mit Bezug auf die der Kristall auf bekannte Weise orientiert werden kann, angesehen werden. Theoretisch wird ein Zwilling durch Ansetzen eines Streßmusters zurück verwandelt, wodurch der ursprüngliche Zustand zum niedrigeren Energiezustand des angesetzten Streßmusters werden würde. Zur Zeit ist das praktisch nicht durchführbar. Deshalb bleibt ein Kristall nach der Zwillingsbildung in diesem Zustand. Der AT-Schnitt- Kristall spricht nach der Zwillingsbildung empfindlicher auf Temperatur an als im ursprünglichen, unverdoppelten Zustand. Weiter erfolgt die Zwillingsbildung eines Kristalls normalerweise nur teilweise. Ein solcher Kristall mit teilweiser oder unvollständiger Zwillingsbildung kann nicht resoniert werden, d.h. er ist als Resonator der hier erörterten Art unbrauchbar.
- Infolge der maximalen Druck- und Temperatureinschränkungen der weit verbreiteten AT- und BT-Schnitt-Resonatoren besteht ein Bedarf für einen verbesserten Druckmeßwandler mit einem Quarzkristall solcher Art, das anstelle von AT-Schnitt- oder BT-Schnitt-Kristallen im gesamten normalen Einsatzbereich der AT-Schnitt- und BT-Schnitt-Kristalle sowie mit höheren Drücken und Temperaturen eingesetzt werden kann und trotzdem in angemessener Weise auf Druck anspricht.
- Diese Erfindung vermittelt einen verbesserten Druckmeßwandler, bestehend aus einem Quarzkristall mit einem Drehschnitt, wobei es sich beim Quarzkristall um das Resonatorteil im Meßwandler handelt. Der Quarzkristall hat eine Orientierung in einem Winkelbereich, während die Hauptflächen des Kristalls in einem Winkel geschnitten sind, der durch die Orientierung bestimmt wird. Der Druckmeßwandler ist gekennzeichnet dadurch, daß die Winkel als Drehung um die X-Achse definiert sind, wobei die Winkel größtenteils -25ºund größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen sind.
- Eine bevorzugte Ausführung der Erfindung vermittelt einen Druckmeßwandler, bestehend aus einem größtenteils zylindrischen Dickenscherungsschwingungs- Quarzkristallresonator mit größtenteils parallelen Hauptflächen, die parallel zu einer Orientierung verlaufen, die in einem Winkel von größtenteils -25º bis größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse eine Drehung um die X-Achse der X-, Y- und Z- Kristallachsen geschnitten sind.
- In einer spezifischeren Ausführung befindet sich der Schnittwinkel des Quarzkristalls im Bereich von größtenteils -25º bis größtenteils -35º gegenüber der Z-Achse. Noch spezifischer wird der Quarzkristall in einem Winkel gleich dem eines AT-Schnitt-Kristalls mit Zwillingsbildung orientiert.
- Um ein besseres Verständnis der Erfindung herbeizuführen, wird auf die beiliegenden Zeichnungen Bezug genommen. Es zeigen:
- FIG. 1 einen mit Bezug auf die X-, Y- und Z-Kristallachsen orientierten Quarzkristall.
- FIG. 2 die Orientierung herkömmlicher X-Schnitt-, Y-Schnitt- und Z- Schnittflächen gegenüber den X-, Y- und Z-Kristallachsen.
- FIG. 3 die Ebenen an den Grenzen des Schnittbereichs für Quarzkristallresonatoren der Druckmeßwandler dieser Erfindung sowie die Ebenen für herkömmliche AT- und BT-Schnitt-Resonatoren.
- FIG. 3A einen Dickenscherungsschwingungs-Quarzkristallresonator, der nach dieser Erfindung orientiert ist.
- FIG. 4-10A bekannte Druckmeßwandler als Beispiele für die strukturellen Konfigurationen, die Meßwandler dieser Erfindung aufweisen können.
- FIG. 1 zeigt ein gegenüber den X-, Y- und Z-Kristallachsen orientiertes Quarzkristall 2. Die X-Achse ist die elektrische Achse, die Y-Achse ist die mechanische Achse und die Z-Achse ist die optische Achse laut bekannter Technik. Die korrekte Orientierung des Kristalls 2 gegenüber den Achsen kann auf bekannte Weise herbeigeführt werden, wie z.B. durch die dem Fachmann bekannte Röntgen- Diffraktionsmethode.
- Von der in FIG. 1 gezeigten Orientierung kann Kristall 2 auf bekannte Weise mit einem oder mehreren Winkeln gegenüber einer oder mehreren Kristallachsen geschnitten werden. Zur Veranschaulichung werden in FIG. 2 herkömmliche X- Schnitt-, Y-Schnitt- und Z-Schnittorientierungen dargestellt. Bezugnehmend auf FIG. 3 werden die Orientierungen herkömmlicher Dickenscherungsschwingungs- Quarzkristallresonatoren mit AT- und BT-Schnitt gezeigt. Die Hauptflächen der ATund BT-Schnitt-Kristalle, an denen die Elektroden im Druckmeßwandler der diese Erfindung betreffenden Art befestigt werden sollten, sind jeweils parallel zu den oder inklusive der Planarflächen 4, 6 in FIG. 3 ausgeführt. Die Planarfläche 4 wird von der Z-Achse im Winkel von +35º 15' um die X-Achse gedreht. Die Planarfläche 6 wird im Winkel von -49º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht. Als Dickenscherungsschwingungs-Resonatoren weisen die AT- und BT-Schnitt-Kristalle eine Dicke auf, die größtenteils kleiner als die Durchmesser oder die maximale lineare Abmessung ihrer Hauptflächen ausfällt.
- Gleichfalls erscheinen in FIG. 3 zwei Planarflächen 8, 10, die die Winkegrenzen der Schnittbereichsorientierungen für Quarzkristalle darstellen, die in Druckmeßwandlern nach dieser Erfindung aufgenommen werden. Die Oberfläche 8 wird im Winkel von ca. -25º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht, während Oberfläche 10 im Winkel von ca. -45º von der Z-Achse um die X-Achse gedreht wird. So werden die Hauptflächen eines Quarzkristallresonators dieser Erfindung in einem Winkel im Bereich zwischen ca. -25º und ca. -45º geschnitten. Wenn φ den Winkel gegenüber der Z-Achse und 0 den Winkel gegenüber der X-Achse bezeichnet, sind die Hauptflächen des Quarzkristalls in dieser Erfindung im Bereich von φ = ca. -25º bis ca. -45º und θ = 0º orientiert. Somit hat der Quarzkristall dieser Erfindung einen einzelnen Drehschnitt. Ein bevorzugterer Bereich ist φ = ca. -25º bis ca.-35º und θ = 0º.
- Eine besonders bevorzugte Orientierung hat einen Winkel von φ = -35º 15', so daß der Quarzkristall gleich einem AT-Schnitt-Kristall mit kompletter oder perfekter Zwillingsbildung geschnitten ist. Obwohl diese spezifische Orientierung einen Resonator erzeugt, der mit ausgeprägterer Temperaturempfindlichkeit auf Druck anspricht als ein herkömmlicher AT-Schnitt-Quarzkristallresonator, konnten wir feststellen, daß ein Quarzkristallresonator dieser speziellen Orientierung dieser Erfindung in akzeptabler Weise auf Druck anspricht sowie einen breiteren Einsatzbereich als entweder AT- oder BT-Schnitt-Quarzkristallresonatoren aufweist.
- In den bevorzugten Ausführungen ist ein Quarzkristallresonator dieser Erfindung größtenteils zylindrisch, d.h. die Peripherie der Hauptflächen des Kristalls ist rund mit Ausnahme eines bevorzugten abgeflachten Abschnitts des Randes, der zur externen Anzeige der Orientierung vorgesehen wird. Ein so abgeflachter Rand sowie die bevorzugte zylindrische Form wurden bereits in Quarzkristallresonatoren nach bekanntem Stand der Technik benutzt. Eine solche Orientierung mit einer Winkelstellung 4) im Bereich dieser Erfindung wird durch den Quarzkristallresonator 12 in FIG. 3A dargestellt. Die größtenteils runden Hauptflächen 14, 16 sind parallel. Der allgemein zylindrische Rand 18 hat, wie schon im Vortext erläutert, zur Orientierung eine Flachstelle 20.
- Der Druckmeßwandler dieser Erfindung umfaßt vorzugsweise ein kristallines Gehäuse, in dem der Quarzkristallresonator kapselig eingeschlossen wird. Das Gehäuse weist vorzugsweise eine zylindrische Quarzkristallwand auf, durch die der Resonator integral gebildet wird. Diese Wand steht lotrecht zu den Hauptflächen des Resonators. Die Wand bildet bei den Hauptflächen des Resonators Hohlräume. Passende kristalline Endkappen verschließen diese Hohlräume. Diese Konfigurationsweise ist dem Fachmann bekannt und wurde mit den schon erwähnten AT- und BT-Schnitt- Quarzkristallresonatoren verwendet. Beispiele dieser Konfigurationsweise gehen aus FIG. 4-9 hervor. FIG. 4 und 5 wurden der US Patentschrift Nr.3,561,832, Karrer u.a., entnommen; FIG. 6 und 7 wurden der US Patentschrift Nr.3,617,780, Benjaminson u.a., entnommen; FIG. 8 wurden der US Patentschrift Nr.4,550,610, Eernisse, entnommen und FIG. 9 wurde der US Patentschrift Nr.4,802,370, Eernisse u.a., entnommen. Diese Patente werden zur Referenz angegeben.
- FIG. 6 und 7 veranschaulichen, daß die Hauptflächen nicht planar sein müssen, d.h. sie müssen also nicht unbedingt parallel sein. HG. 8 zeigt den Resonator, der in eine Oszillatorschaltung verknüpft ist. Angesichts des Winkelbereichs dieser im Vortext beschriebenen Erfindung ist dem Fachmann die Fertigung solcher Gehäuse und der gesamten Druckmeßwandler bekannt. Eine bei der Fertigung der Ausführung bevorzugte Methode und deren Bauweise gehen aus HG. 10 und 10A hervor. Dabei handelt es sich um einen dem Fachmann einschlägig bekannten Typ. Zunächst wird ein Resonator 22 aus einem Stück hergestellt, dann bilden sich daneben Hohlräume, die durch die hohlen Endkappen 24, 26 dargestellt werden. Diverse Resonatorkonfigurationen können verwendet werden. So kann beispielsweise ein zweiter Kristall der gleichen Orientierung wie der des Drucksensors, der jedoch nicht dem Druck ausgesetzt wird, zum Ausgleichen der Temperatureinwirkungen durch Vergleichen der Frequenzveränderungen beider Resonatoren benutzt werden. Dem Drucksensor und 1 oder dem Vergleichskristall kann beispielsweise ein Temperatur-Ibezugskristall beigefügt werden.
- Wir haben verschiedene Drucksensoren der in FIG. 10 und 10A gezeigten Art hergestellt, wobei jedoch ein Kristallschnitt nach dieser Erfindung eingesetzt wurde. Drei verschiedene Kristallorientierungen wurden benutzt. Dabei handelt es sich um die folgenden: -35º, -40º und -45º gegenüber der Z-Achse. Die Fertigung und der Zusammenbau der Resonatoren und zugehörigen Endkappen wurde mit Hilfe bewährter Methoden durchgeführt. Fünf Drucksensoren dieser Art wurden bei Temperaturen bis 230ºC und Druck bis 206 MPa getestet. Dabei kam es zu keinem Ausfall. Zu beachten ist, daß diese Temperaturen und Drücke nicht die nützlichen Grenzwerte der Erfindung darstellen, sondern lediglich die Grenzen der Prüfanlagen darstellen. Obwohl wir keine Schnitte bei -25º getestet haben, gehen wir davon aus, daß ein bevorzugter Bereich zwischen -25º und -35º liegt, weil der Frequenz- Temperatur-Übergang bei weniger negativ werdendem Winkel ansteigt. Das erlaubt möglicherweise höhere Temperaturen.
- Der im Vortext beschriebene Druckmeßwandler kann zum Überwachen von Druck in heißen Umgebungen eingesetzt werden. Diese Verwendung umfaßt das Erkennen von Druck in der Umgebung durch einen Quarzkristall mit einem Drehschnitt in einem Winkel, der dem schon beschriebenen Bereich von ca. -25º bis ca. -45º gegenüber der Z-Kristallachse entspricht, so daß der Quarzkristall weder zerbricht noch es, ansprechend auf Druck oder Temperatur, zur Zwillingsbildung kommt.
- Solcher Druck kann mindestens 138 MPa bei Temperaturen von wenigstens ca. 200º C sein. In dieser Umgebung kann diese Erfindung eingesetzt werden, geht jedoch über den unteren, sicheren Einsatzbereich herkömmlicher AT- und BT-Schnitt- Kristalle hinaus (in dem diese Erfindung gleichfalls eingesetzt werden kann). Das Erkennen erfolgt durch piezoelektrisches Ansprechen des Quarzkristallresonators auf die Umgebungstemperatur. Dieses Ansprechen wird von der Oszillatorschaltung festgestellt, in die der Resonator laut Darstellung der Anordnung in FIG. 8 eingebunden ist und wie sie dem Fachmann bekannt ist.
- Ein Öl- und Gasbohrloch ist ein spezifisches Beispiel einer Umgebung, in der diese Erfindung eingesetzt werden kann. So kann der Druckmeßwandler dieser Erfindung beispielsweise in einem Bohrlochmeß- und Aufzeichnungsgerät eingesetzt werden, wie es in US Patentschrift Nr.4,866,607, Anderson u.a., eröffnet wird.
Claims (6)
1. Ein Druckmeßwandler, bestehend aus einem Quarzkristall (12) mit einem
Drehschnitt, wobei es sich bei dem Quarzkristall (12) um ein Resonatorelement im
Meßwandler handelt, wobei besagter Quarzkristall (12) eine Orientierung in einem
Winkelbereich aufweist und Hauptflächen des Kristalls in einem durch besagte
Orientierung bestimmten Winkel geschnitten sind, gekennzeichnet dadurch, daß
besagte Winkel als Drehung um die X-Achse definiert sind, wobei besagter Winkel
in besagtem Bereich zwischen größtenteils -25º und größtenteils -45º gegenüber der
Z-Achse der X-, Y- und Z-Kristallachsen liegt.
2. Ein Meßwandler nach Anspruch 1, wobei besagter Quarzkristall (12) in
besagtem Bereich im Winkel gleich dem eines AT-Schnitt-Kristalls mit
Zwillingsbildung orientiert ist.
3. Ein Meßwandler nach einem der Ansprüche 1 oder 2, weiter bestehend aus
einem kristallinen Gehäuse (FIG. 4 bis 9), in dem besagter Quarzkristall (12) kapselig
gehalten wird.
4. Ein Druckmeßwandler, bestehend aus einem größtenteils zylindrischen
Dickenscherungsschwingungs-Quarzkristallresonator (12),
gekennzeichnet dadurch, daß
besagter Kristallresonator größtenteils parallele Hauptflächen (14, 16) aufweist, die
parallel zu einer Orientierung stehen, die in einzelner Drehung um die X-Achse der
X-, Y- und Z-Kristallachsen in einem Winkel im Bereich von größtenteils -25º und
größtenteils -45º gegenüber der Z-Achse geschnitten sind.
5. Ein Meßwandler nach Anspruch 4, bei dem besagter Winkel einen Zwilling des
Winkels eines AT-Schnitt-Quarzkristallresonators (12) darstellt.
6. Ein Meßwandler nach Anspruch 4 oder 5, weiter bestehend aus einem
kristallinen Gehäuse (FIG. 4 bis 9), das integral zum besagten Kristallresonator zählt.
In besagtem Gehäuse befinden sich Hohlräume neben den besagten Hauptflächen des
besagten Quarzkristallresonators.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/823,734 US5221873A (en) | 1992-01-21 | 1992-01-21 | Pressure transducer with quartz crystal of singly rotated cut for increased pressure and temperature operating range |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69311918D1 DE69311918D1 (de) | 1997-08-14 |
DE69311918T2 true DE69311918T2 (de) | 1998-01-02 |
Family
ID=25239580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69311918T Expired - Fee Related DE69311918T2 (de) | 1992-01-21 | 1993-01-14 | Quarzkristalldruckwandler |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5221873A (de) |
EP (1) | EP0552884B1 (de) |
JP (1) | JPH0769237B2 (de) |
CA (1) | CA2087629C (de) |
DE (1) | DE69311918T2 (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5747857A (en) * | 1991-03-13 | 1998-05-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic components having high-frequency elements and methods of manufacture therefor |
US5471882A (en) * | 1993-08-31 | 1995-12-05 | Quartzdyne, Inc. | Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors |
US5578759A (en) * | 1995-07-31 | 1996-11-26 | Quartzdyne, Inc. | Pressure sensor with enhanced sensitivity |
US6131462A (en) * | 1998-12-18 | 2000-10-17 | Delaware Capital Formation, Inc. | Pressure/temperature transducer with improved thermal coupling and enhanced transient response |
US6111340A (en) * | 1999-04-12 | 2000-08-29 | Schlumberger Technology Corporation | Dual-mode thickness-shear quartz pressure sensors for high pressure and high temperature applications |
EP1085309A3 (de) * | 1999-09-02 | 2001-06-13 | Halliburton Energy Services, Inc. | Schwingquarzmembran-Drucksensor |
US6598481B1 (en) * | 2000-03-30 | 2003-07-29 | Halliburton Energy Services, Inc. | Quartz pressure transducer containing microelectronics |
US6744182B2 (en) | 2001-05-25 | 2004-06-01 | Mark Branham | Piezoelectric quartz plate and method of cutting same |
AT410737B (de) * | 2001-05-31 | 2003-07-25 | Avl List Gmbh | Piezoelektrisches resonatorelement der kristallographischen punktgruppe 32 |
US20050113771A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-05-26 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Odor control in personal care products |
JP2007057389A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子及び圧電振動子 |
JP2007057382A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
US7784350B2 (en) * | 2007-02-07 | 2010-08-31 | Halliburton Energy Services, Inc. | Downhole transducer with adjacent heater |
US8294332B2 (en) * | 2007-07-02 | 2012-10-23 | Schlumberger Technology Corporation | Pressure transducer |
US9038263B2 (en) | 2011-01-13 | 2015-05-26 | Delaware Capital Formation, Inc. | Thickness shear mode resonator sensors and methods of forming a plurality of resonator sensors |
US8726725B2 (en) | 2011-03-08 | 2014-05-20 | Schlumberger Technology Corporation | Apparatus, system and method for determining at least one downhole parameter of a wellsite |
US9528896B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-12-27 | Quartzdyne, Inc. | Quartz resonator pressure transducers and methods of operation |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2111383A (en) * | 1935-09-30 | 1938-03-15 | Rca Corp | Piezoelectric quartz element |
US2282369A (en) * | 1940-08-03 | 1942-05-12 | Bell Telephone Labor Inc | Piezoelectric crystal apparatus |
US2645727A (en) * | 1948-03-26 | 1953-07-14 | Bell Telephone Labor Inc | Focusing ultrasonic radiator |
USRE25413E (en) * | 1961-07-05 | 1963-07-09 | Temperature xc | |
US3376439A (en) * | 1964-08-21 | 1968-04-02 | Vasin Ivan Grigorjevich | Quartz resonator |
US3826931A (en) * | 1967-10-26 | 1974-07-30 | Hewlett Packard Co | Dual crystal resonator apparatus |
US3617780A (en) * | 1967-10-26 | 1971-11-02 | Hewlett Packard Co | Piezoelectric transducer and method for mounting same |
US3561832A (en) * | 1969-12-05 | 1971-02-09 | Hewlett Packard Co | Quartz resonator pressure transducer |
US3683213A (en) * | 1971-03-09 | 1972-08-08 | Statek Corp | Microresonator of tuning fork configuration |
US4020448A (en) * | 1973-09-17 | 1977-04-26 | James Patrick Corbett | Oscillating crystal transducer systems |
FR2260226B1 (de) * | 1974-02-04 | 1978-04-21 | Kinsekisha Lab Ltd | |
US4067241A (en) * | 1974-08-22 | 1978-01-10 | James Patrick Corbett | Improvements in or relating to oscillating crystal transducer systems |
JPS583602B2 (ja) * | 1974-11-09 | 1983-01-22 | セイコーエプソン株式会社 | スイシヨウシンドウシ |
JPS5275252A (en) * | 1975-12-19 | 1977-06-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator circuit |
US4079280A (en) * | 1976-06-02 | 1978-03-14 | Hewlett-Packard Company | Quartz resonator cut to compensate for static and dynamic thermal transients |
GB1592010A (en) * | 1977-01-12 | 1981-07-01 | Suwa Seikosha Kk | Contour vibrator |
US4175243A (en) * | 1977-11-17 | 1979-11-20 | Corbett James P | Temperature compensated oscillating crystal force transducer systems |
US4160183A (en) * | 1978-05-26 | 1979-07-03 | Hewlett-Packard Company | Oscillator having a quartz resonator cut to compensate for static and dynamic thermal transients |
US4245173A (en) * | 1979-03-27 | 1981-01-13 | Societe Suisse Pour L'industrie Horlogere Management Services S.A. | Beveled, coupled mode piezo-electric resonator |
NL8000297A (nl) * | 1980-01-17 | 1981-08-17 | Philips Nv | Piezoelektrische triller. |
EP0048689B1 (de) * | 1980-08-29 | 1985-01-30 | Asulab S.A. | Quarzthermometer |
CH641632B (fr) * | 1981-01-15 | Asulab Sa | Micro-resonateur piezo-electrique. | |
US4429248A (en) * | 1981-05-27 | 1984-01-31 | Statek Corporation | Mounting apparatus and method for piezoelectric tuning fork |
US4439705A (en) * | 1981-12-08 | 1984-03-27 | Corbett James P | Oscillating crystal transducer systems with symmetrical temperature compensator |
FR2529670A1 (fr) * | 1982-07-01 | 1984-01-06 | Asulab Sa | Element sensible pour capteur de contraintes et capteur en faisant application |
NL8202649A (nl) * | 1982-07-01 | 1984-02-01 | Philips Nv | Temperatuur sensor. |
FR2530338A1 (fr) * | 1982-07-13 | 1984-01-20 | Asulab Sa | Element sensible a la pression et capteur de pression en faisant application |
FR2531533A1 (fr) * | 1982-08-05 | 1984-02-10 | Flopetrol | Capteur piezo-electrique de pression et/ou de temperature |
FR2531532A1 (fr) * | 1982-08-05 | 1984-02-10 | Flopetrol | Capteur piezo-electrique, notamment pour la mesure de pressions |
US4512198A (en) * | 1982-09-29 | 1985-04-23 | Schlumberger Technology Corporation | Surface acoustic wave sensors |
US4454443A (en) * | 1983-03-21 | 1984-06-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Quartz resonators for acceleration environments |
US4535638A (en) * | 1983-10-03 | 1985-08-20 | Quartztronics, Inc. | Resonator transducer system with temperature compensation |
US4550610A (en) * | 1983-11-28 | 1985-11-05 | Quartztronics, Inc. | Resonator pressure transducer |
US4485323A (en) * | 1984-01-30 | 1984-11-27 | Corbett James P | Monolithic oscillating crystal transducer systems |
US4592663A (en) * | 1984-05-10 | 1986-06-03 | Quartex, Inc. | Resonator temperature transducer |
US4866607A (en) * | 1985-05-06 | 1989-09-12 | Halliburton Company | Self-contained downhole gauge system |
JPS62184325A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶式気体圧力計 |
US4936147A (en) * | 1986-12-29 | 1990-06-26 | Halliburton Company | Transducer and sensor apparatus and method |
US4802370A (en) * | 1986-12-29 | 1989-02-07 | Halliburton Company | Transducer and sensor apparatus and method |
US5012151A (en) * | 1989-09-12 | 1991-04-30 | Halliburton Company | Thermally matched strip mounted resonator and related mounting method |
-
1992
- 1992-01-21 US US07/823,734 patent/US5221873A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-14 EP EP93300218A patent/EP0552884B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-01-14 DE DE69311918T patent/DE69311918T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-01-20 CA CA002087629A patent/CA2087629C/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-01-21 JP JP5024978A patent/JPH0769237B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0552884A3 (en) | 1993-08-18 |
EP0552884A2 (de) | 1993-07-28 |
JPH0626957A (ja) | 1994-02-04 |
CA2087629A1 (en) | 1993-07-22 |
CA2087629C (en) | 2004-01-06 |
EP0552884B1 (de) | 1997-07-09 |
DE69311918D1 (de) | 1997-08-14 |
US5221873A (en) | 1993-06-22 |
JPH0769237B2 (ja) | 1995-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69311918T2 (de) | Quarzkristalldruckwandler | |
DE3013185C2 (de) | ||
DE69003339T2 (de) | Beschleunigungsmesser mit koplanaren symmetrischen kraftübertragern. | |
DE2052356C3 (de) | Quarzresonator-Druckmesswertwandler | |
DE69509312T2 (de) | Beschleunigungsmesser sowie Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE69105809T2 (de) | Druckaufnehmer mit schwingendem Element. | |
DE2600256A1 (de) | Quarzthermometer | |
DE2709834A1 (de) | Kapazitiver druckfuehler | |
DE3702412C2 (de) | ||
DE69225250T2 (de) | Quarzkristall-Resonator im Breitenausdehnungsmodus mit KT-Schnitt | |
DE19951523A1 (de) | Energiesperrender piezoelektrischer Resonator und energiesperrendes piezoelektrisches Resonanzbauteil | |
DE2701416B2 (de) | Piezoelektrischer Schwinger in rechteckiger Blockform | |
DE68924932T2 (de) | Piezoelektrische Vibrator-Komponente. | |
DE69714204T2 (de) | Druckmessgerät | |
EP3120123A1 (de) | Piezoelektrisches messelement zur messung des dynamischen und statischen druckes und/oder der temperatur | |
DE69003763T2 (de) | Membran-Deformationsmessvorrichtung. | |
DE2207852C3 (de) | Piezoelektrisches Kristallelement | |
DE19506338C2 (de) | Piezoelektrisches Meßelement | |
DE3324084C2 (de) | ||
DE68911156T2 (de) | Optische Baueinheit mit elektrooptischen Kristallelementen. | |
DE69311087T2 (de) | Kristallresonator für Temperaturmessung | |
DE68906725T2 (de) | Piezoelektrischer Resonator. | |
DE69214924T2 (de) | Piezoelektrische Fluiddrucksensor | |
AT410737B (de) | Piezoelektrisches resonatorelement der kristallographischen punktgruppe 32 | |
DE69209132T2 (de) | Piezoelektrischer Messfühler |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |