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DE69209132T2 - Piezoelektrischer Messfühler - Google Patents

Piezoelektrischer Messfühler

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DE69209132T2
DE69209132T2 DE69209132T DE69209132T DE69209132T2 DE 69209132 T2 DE69209132 T2 DE 69209132T2 DE 69209132 T DE69209132 T DE 69209132T DE 69209132 T DE69209132 T DE 69209132T DE 69209132 T2 DE69209132 T2 DE 69209132T2
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DE
Germany
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piezoelectric
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piezoelectric component
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Takao Kojima
Tetsuma Shimozato
Hideki Toyoda
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Niterra Co Ltd
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NGK Spark Plug Co Ltd
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    • GPHYSICS
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    • G01L23/10Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by pressure-sensitive members of the piezoelectric type
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Description

  • Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Sensor, der auf dem Zylinderblock eines Verbrennungsmotors zu montieren ist, geeignet zum Erfassen des Zylinderblock-Innendrucks.
  • Daß man piezoelektrische Sensoren zum Erfassen des Zylinder-Innendrucks eines verbrennungsmotors verwendet, ist bekannt. Ein solcher Sensor weist einen Hauptkärper auf, der so eingerichtet ist, daß er durch Anschrauben am Zylinderblock befestigbar ist, und zwar in einem Loch, das in der Wand des Zylinderblocks bereitgestellt und mit einem Gewinde versehen ist. Der Hauptkärper enthält ein Loch, in dem ein piezoelektrisches Bauteil und ein Druckübertragungsstift untergebracht sind. Das Loch ist mit einer Membran verschlossen, so daß die Membran und der Druckübertragungsstift den Druck im Inneren des Zylinderblocks auf das piezoelektrische Bauteil übertragen, wenn der Sensor am Zylinderblock befestigt ist. Dabei wird der Druck in ein elektrisches Signal umgesetzt. Als piezoelektrisches Bauteil ist Bleititanatzirkonat oder Bleititanat verwendet worden.
  • Es hat sich gezeigt, daß der bekannte piezoelektrische Sensor einen Nachteil hat. Es ist erforderlich, den Sensor zusammen mit Kühlvorrichtungen zu betreiben, die dafür eingerichtet sind, den Sensor in einem niedrigen Temperaturbereich zu halten, da sonst das piezoelektrische Bauteil während des Betriebs Schaden nimmt. Insbesondere ist der piezoelektrische Sensor allgemein einer hohen Temperatur von ungefähr 500 ºC ausgesetzt, so daß das piezoelektrische Bauteil ebenfalls einer Temperatur von etwa 400 ºC ausgesetzt ist. Da die Gurietemperaturen von Bleititanatzirkonat und Bleititanat bei ungefähr 250 ºC bzw. 350 ºC liegen, neigt das piezoelektrische Bauteil dazu, Entpolarisierung zu erzeugen, wodurch sich seine piezoelektrischen Eigenschaften verschlechtern.
  • Obwohl eine derartige Verschlechterung durch das Vorsehen geeigneter Kühleinrichtungen, die das Bauteil unter seiner Curietemperatur halten, vermeidbar ist, wird der Sensoraufbau umfangreich und kompliziert. Der bekannte piezoelektrische Sensor hat den weiteren Nachteil, daß während des Betriebs das S/N-Verhältnis (S/N = Signal/Noise, Signal- Rausch-Abstand) dazu neigt, sich durch den pyroelektrischen Effekt zu verringern.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Sensor bereitzustellen, der die Nachteile des bekannten piezoelektrischen Sensors nicht mehr aufweist.
  • Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen piezoelektrischen Sensor bereitzustellen, der geeignet zum Erfassen einer physikalischen Größe eines Körpers verwendet wird, die in eine mechanische Verformung umsetzbar ist, beispielsweise den Innendruck oder die Schwingung eines Verbrennungsmotors oder die Beschleunigung eines Fahrzeugs.
  • Es ist eine besondere Aufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Sensor der obengenannten Art bereitzustellen, der eine hohe Wärmebeständigkeit und eine lange Lebensdauer hat.
  • Es ist noch eine weitere Aufgabe der Erfindung, einen piezoelektrischen Sensor der oben genannten Art bereitzustellen, der ein hohes S/N-Verhältnis aufweist.
  • Erfindungsgemäß wird ein piezoelektrischer Sensor für einen Verbrennungsmotor mit einem Zylinder bereitgestellt, umfassend:
  • einen Hauptkörper, der für die Befestigung am Zylinder eingerichtet ist, und in dem ein axial verlaufendes Loch bestimmt ist;
  • eine Membran, die an einem Ende des Hauptkörpers befestigt ist, um das Loch zu verschließen; und
  • ein in dem Loch angeordnetes piezoelektrisches Bauteil, so daß der Druck innerhalb des Zylinders über die Membran auf das piezoelektrische Bauteil übertragen wird, wobei das piezoelektrische Bauteil eine kreisförmige oder polygonförmige Scheibe mit einer Dicke von 0,3 - 1,5 mm ist und aus einem piezoelektrischen Einkristall-Bauteil geformt ist, das eine Curietemperatur von über 500 ºC hat und so polarisiert ist, daß die Polarisationsrichtung unter einem Winkel von 20º oder weniger bezüglich der X-Y-Ebene der Scheibe ausgerichtet ist.
  • Lithiumniobat (LiNbO&sub3;) und Lithiumtantalat (LiTaO&sub3;) haben Curietemperaturen von ungefähr 1200ºC bzw. ungefähr 650ºC und zeigen eine gute Wärmebeständigkeit. Diese piezoelektrischen Bauteile brechen jedoch sehr leicht, wenn man sie mit herkömmlichen Schneideverfahren schneidet, bei denen beispielsweise ein Diamantschneider, ein Ultraschallschneider oder ein Laserstrahl verwendet wird. Daher muß das piezoelektrische Bauteil mindestens 0,3 mm dick sein, um dem Schneidevorgang standzuhalten. Ein mindestens 0,3 mm dickes Bauteil ist auch wünschenswert, um sowohl eine befriedigende Genauigkeit der druckaufnehmenden Oberflächen als auch eine gute Parallelität zu erhalten. Eine zu große Dicke von mehr als 1,5 mm bewirkt dagegen Brüche des piezoelektrischen Bauteils durch Wärmestöße. Das piezoelektrische Bauteil ist bevorzugt ungefähr 0,5 - 1,0 mm dick.
  • Die Polarisationsrichtung des piezoelektrischen Bau teils sollte wegen eines verbesserten S/N-Verhältnisses unter einem Winkel nicht größer als 20 bezüglich seiner X-Y- Ebene ausgerichtet sein.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Weitere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der Erfindung kann man der folgenden ausführlichen Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung entnehmen, wenn sie zusammen mit den begleitenden Zeichnungen betrachtet wird.
  • Es zeigt:
  • Fig. 1 eine Querschnitts-Vorderansicht, die schematisch eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen piezoelektrischen Sensors zeigt;
  • Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, die schematisch ein Beispiel für das piezoelektrische Bauteil zeigt, das im Sensor nach Fig. 1 zu verwenden ist;
  • Fig. 3 eine perspektivische Ansicht, die schematisch ein weiteres Beispiel des piezoelektrischen Bauteils zeigt;
  • Fig. 4 eine perspektivische Ansicht, die ein Verfahren zum Herstellen piezoelektrischer Bauteile erklärt;
  • Fig. 5 eine Kurve des Zusammenhangs zwischen der Ladung, die durch den pyroelektrischen Effekt eines Lithiumniobat-Einkristalls erzeugt wird, und dem Ausrichtungswinkel der Z-Achsen-Komponente der Polarisation des Lithiumniobat Einkristalls;
  • Fig. 6 eine erklärende Ansicht der Polarisationsrichtung in den X-, Y- und Z-Koordinaten;
  • Fig. 7 eine Querschnitts-Vorderansicht eines weiteren piezoelektrischen Sensors (nicht beansprucht); und
  • Fig. 8 eine Querschnitts-Vorderansicht noch eines weiteren piezoelektrischen Sensors (nicht beansprucht).
  • Ausführliche Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
  • Es wird nun Bezug auf Fig. 1 genommen. Das Bezugszei- -5- chen 1 bezeichnet einen Hauptkörper, der aus einem Metall besteht und ein unteres Teil 1a hat, dessen äußerer Umfang mit einem Außengewinde 2 versehen ist. Das Außengewinde 2 ist so ausgebildet, daß es in ein Innengewinde einschraubbar ist, das in der Wand eines Zylinderblocks (nicht dargestellt) eines Verbrennungsmotors ausgebildet ist. Der Hauptkörper weist einen Mittenabschnitt 3 auf, der einen sechseckigen Querschnitt hat, um das Befestigen des Hauptkörpers 1 am Zylinderblock mit geeigneten Befestigungseinrichtungen, beispielsweise einem Schraubenschlüssel, zu erleichtern. Der Hauptkörper 1 weist ein axial verlaufendes Durchgangsloch 4 auf, das aus einem unteren Abschnitt 4a von mittlerem Durchmesser besteht, und einen Mittelabschnitt 4b von kleinerem Durchmesser sowie einen oberen Abschnitt 4c von größerem Durchmesser.
  • Im unteren Abschnitt 4a des Durchgangslochs 4 sind untergebracht: ein elektrisch isolierender Ring 5, ein erster Anschluß 6, ein piezoelektrisches Bauteil 7, ein zweiter Anschluß 8 und ein Druckübertragungsstift 10, die in dieser Reihenfolge zum unteren, offenen Endabschnitt des Hauptkörpers 1 hin angeordnet sind. Mit 5a ist ein elektrisch isolierendes Material bezeichnet, das zum Isolieren des piezoelektrischen Bauteils 7 vom Hauptkörper 1 bereitgestellt ist. Der erste Anschluß 6 hat einen Vorsprung 6a, der sich durch den isolierenden Ring 5 erstreckt und an einen Leitungsdraht 13 angeschlossen ist.
  • Das piezoelektrische Bauteil kann die Form einer Kreisscheibe haben, siehe Fig. 2, oder die Form einer quadratischen Scheibe, siehe Fig. 3. Unter wirtschaftlichen Gesichtspunkten bevorzugt man quadratische Scheiben. Fig. 4 stellt schematisch das Herstellungsverfahren für quadratische Scheiben dar. Durch das Zerschneiden einer großen Platte aus piezoelektrischem Einkristall-Material entlang einer Anzahl länqs und quer verlaufender Linien 7t kann leicht eine große Menge quadratisch geformter Scheiben hergestellt werden. Wichtig ist, daß das piezoelektrische Bauteil eine Dicke von 0,3 - 1,5 mm haben sollte. Es sollte weiterhin aus einem piezoelektrischen Einkristall-Bauteil geformt sein, das eine curietemperatur von über 500ºC hat, um eine erhöhte Beständigkeit gegen Hitze sowie thermische und mechanische Stöße sicherzustellen.
  • Die piezoelektrische Scheibe 7 ist mit oberen und unteren Elektroden 7a und 7b versehen, die durch Metallisieren, Vakuumabscheiden oder irgendein anderes üblicherweise angewendetes Verfahren erzeugt werden. Aus Gründen einer verbesserten Haftung ist es zum Herstellen der Elektroden 7a und 7b ratsam, eine Tinte zu verwenden, die Nickel, Silber oder ein ähnliches Metall in einem organischen Medium verteilt enthält. In diesem Fall wird bevorzugt, daß die oben genannten ersten und zweiten Anschlüsse 6 und 8 auf beide Oberflächen der Scheibe gelegt werden, nachdem diese mit Tinte bedruckt wurden, und daß die sich ergebende Baugruppe zusammengebacken wird; dadurch ist ein sehr guter elektrischer Kontakt zu erhalten.
  • Es wird nun wieder Fig. 1 betrachtet. Die untere Öffnung des Durchgangslochs 4 ist durch eine Membran 11 ver schlossen, die aus hitzebeständigem Material wie Inconel, nichtrostendem Stahl SUS630 oder einer ähnlichen Legierung gebildet ist. Von den oben genannten Bauteilen, die im Unterteil 4a des Durchgangslochs 4 untergebracht sind, stehen je zwei benachbarte Bauteile in gegenseitigem Druckkontakt, so daß der auf die Membran 11 ausgeübte Druck auf das piezoelektrische Bauteil 7 ausgeübt wird.
  • Der Abschnitt 4c mit größerem Durchmesser hat einen gestuften Sitz 4c', in den ein verbreiterter Abschnitt 9a einer Metallhülse 9 eingepreßt ist. Das oben beschriebene Kabel 12 ist mit der Hülse 9 verstemmt, die ihrerseits über einen oberen dünnen Wandabschnitt 3a des Hauptkörpers 1 fest mit dem Hauptkörper 1 verbunden ist. Der obere dünne Wandabschnitt 3a des Hauptkörpers 1 ist über den äußeren Umfang des verbreiterten Abschnitts 9a der Hülse 9 zwangsweise nach innen gebogen.
  • Das Kabel 12 weist einen Kerndraht 12a auf, der mit dem Leitungsdraht 13 verbunden ist. Dieser verläuft vom ersten Anschluß 6a durch den Abschnitt 4b mit kleinem Durchmesser, so daß das Kabel 12 über die obere Elektrode 7a elektrisch mit dem piezoelektrischen Bauteil 7 verbunden ist. Die untere Elektrode 7b des piezoelektrischen Bauteils 7 ist über den zweiten Anschluß 8 und den Druckübertragungsstift 10 am Hauptkörper 1 an Masse gelegt.
  • Wird der Hauptkörper 1 am Zylinderblock eines Verbrennungsmotors befestigt, wobei das Außengewinde 2 in das Innengewinde des Zylinderblocks eingreift, so übertragen die Membran 11 und der Druckübertragungsstift aufgrund des obigen Aufbaus den Druck im Zylinderblock auf das piezoelektrische Bauteil 7, so daß das piezoelektrische Bauteil ein elektrisches Signal über das Kabel 12 abgibt.
  • Fig. 7 zeigt einen weiteren piezoelektrischen Sensor, der zum Erkennen des Klopfens bei einem Verbrennungsmotor verwendet wird. Mit 20 ist ein aus Metall geformter Hauptkörper bezeichnet. Dieser hat einen unteren Vorsprung 23, der koaxial zum Hauptkörper 20 verläuft. Der äußere Umfang des Vorsprungs ist mit einem Außengewinde versehen, das für das Einschrauben in ein Innengewinde angepaßt ist. Das Innengewinde ist in der Wand eines Zylinderblocks 29 eines Verbrennungsmotors ausgebildet. Der Hauptkörper 20 ist mit einem sechseckigen Querschnitt ausgebildet, um das Befestigen am zylinderblock 29 mit einem geeigneten Befestigungs mittel, beispielsweise einem Schraubenschlüssel, zu erleichtern. Der Hauptkörper 20 weist ein mittiges Loch auf, dessen obere Öffnung von einem Deckel 21 verschlossen ist. Der Deckel 21 ist über einen oberen dünnen Wandabschnitt 22 des Hauptkörpers 20 dicht am Hauptkörper 20 befestigt. Der dünne Wandabschnitt 22 ist über dem äußeren Umfang des Deckels 21 zwangsweise nach innen gebogen.
  • Innerhalb des Lochs im Hauptkörper 20 ist ein Schwingungssensor untergebracht, der allgemein mit 24 bezeichnet ist. Der Schwingungssensor 24 weist eine dünne Metallplatte 25 auf, die mit einer Schraube 27 am Mittelpunkt eines unteren Grundteils des Hauptkörpers 20 befestigt ist. Die Metallplatte 25 trägt ein piezoelektrisches Bauteil 26 in Form eines Rings. Das piezoelektrische Bauteil 26 ist bevorzugt in der Form einer piezoelektrischen Einkristall-Keramik ausgeführt, die eine Curietemperatur von über 500ºC hat. Das piezoelektrische Bauteil 26 ist an seinen beiden Oberflächen mit Elektroden versehen. Eine der beiden Elektroden ist elektrisch mit einem Anschluß 28 versehen, der durch den Deckel 21 verläuft und von ihm gehalten wird. Die andere Elektrode ist über die Metallplatte 25 und die Schraube 27 am Hauptkörper 20 an Masse gelegt.
  • Erzeugt die Brennkammer des Motors Klopfen, so wird der Stoß als mechanische Schwingung auf den Zylinderblock übertragen. Die mechanische Schwingung wird ihrerseits auf die Schraube 27 übertragen, um sie in Schwingung zu versetzen. Diese Schwingung wird auf das piezoelektrische Bauteil 26 übertragen, so daß eine Signalspannung erzeugt wird. Durch Erfassen der Spannung ist es möglich, das Klopfen des Motors zu erkennen.
  • Fig. 8 zeigt einen weiteren piezoelektrischen Sensor, der als Beschleunigungsdetektor für einen sich bewegenden Körper verwendet wird. Mit 30 ist ein Gehäuse bezeichnet, das einen unteren dicken Wandgrundabschnitt 31 hat. Von dort verläuft ein Vorsprung 34 koaxial zum Gehäuse 30 nach unten.
  • Der äußere Umfang des Vorsprungs 34 ist mit einem Außenge winde versehen. Das Außengewinde ist für das Einschrauben in ein Innengewinde angepaßt, das in einem sich bewegenden Körper ausgebildet ist (nicht dargestellt). Im Gehäuse 30 ist ein piezoelektrisches Bauteil 32 untergebracht. Es ist direkt auf dem Grundabschnitt 30 des Gehäuses 31 angeordnet. Auf das piezoelektrische Bauteil 32 ist ein Gewicht 33 gelegt. Das piezoelektrische Bauteil 32 ist aus einer piezoelektrischen Einkristall-Keramik ausgebildet, die eine Curietemperatur von mindestens 500ºC hat und auf ihren beiden Oberflächen mit Elektroden zum Anschluß an Leitungsdrähte versehen ist (nicht dargestellt). Der obige Beschleunigungserkennungssensor ist beispielsweise zum Betätigen eines Airbags in Automobilen verwendbar.
  • In der vorhergehenden Ausführungsform&sub1; die in Fig. 1 dargestellt ist, ist das piezoelektrische Bauteil bevorzugt aus einem LiNbO&sub3;-Einkristall ausgebildet. Wegen der verbesserten Hitzebeständigkeit und der geringen Pyroelektrizität sollte ein piezoelektrisches Einkristall-Bauteil verwendet werden, dessen Polarisationsrichtung einen Winkel von 20º oder weniger gegen seine X-Y-Ebene einnimmt. Da das piezoelektrische Bauteil in den Sensoren nach Fig. 7 und Fig. 8 nicht unmittelbar einem so hohen Druck ausgesetzt ist wie im Bauteil des Sensors nach Fig. 1, ist die Dicke des piezoelektrischen Bauteils nicht auf 0,3 - 1,5 mm eingeschränkt.
  • Das folgende Beispiel erläutert die Erfindung noch weiter.
  • Beispiel:
  • Ein LiNbO&sub3;-Einkristall wurde mit einer Ultraschallwellen-Schneidevorrichtung in verschiedene Formen geschnitten, siehe Tabelle 1. Lediglich die Probe Nr. 4 wurde aus einem LiTaO&sub3;-Einkristall hergestellt. Die Proben Nr. 2, 4 und 15 hatten quadratische Form, die anderen Proben waren kreisförmige Scheiben. Jede der so geformten piezoelektrischen Scheiben wurde in einen piezoelektrischen Sensor nach Fig. 1 eingesetzt, wobei eine Membran verwendet wurde, deren Größe Tabelle 1 zeigt. Die bei den Proben Nr. 8 und 12 - 15 verwendeten Membranen waren 0,2 mm dick; dagegen wurden bei den anderen Proben 0,1 mm dicke Membranen verwendet. Jeder der so aufgebauten Sensoren wurde an einem Automobil-Verbrennungsmotor montiert, der folgende Nenndaten hatte: Zylindervolumen 2000 cm³, Drehzahl 6000 U/min und einen größten Zylinderinnendruck von 70 kg/cm². Nach 100 Betriebsstunden wurde das piezoelektrische Bauteil aus dem Sensor entfernt, um zu bestimmen, ob das Bauteil gebrochen war oder nicht. Es ergaben sich die in Tabelle 1 gezeigten Ergebnisse.
  • Ähnliche Proben wurden auch auf ihre Druckabhängigkeit geprüft, indem der Zusammenhang zwischen der erzeugten Ladung und dem Druck innerhalb des Zylinders gemessen wurde. Die Proben Nr. 1, 4 und 7 zeigten eine geringfügige Druckabhängigkeit. Ähnliche Proben wurden auch auf ihre Temperaturabhängigkeit untersucht, indem sie mit einem Bandheizkörper erwärmt wurden. Die Proben Nr. 1 und 7 zeigten eine deutliche Temperaturabhängigkeit. Als wichtig wird der Partialdruck in der Membran angesehen, der einen großen Einfluß auf die Eigenschaften des piezoelektrischen Bauteils hat. Die geringe Druckabhängigkeit der Probe Nr. 4 beruht auf den relativ schlechten piezoelektrischen Eigenschaften von LiTaO&sub3;.
  • Ähnliche piezoelektrische Scheiben, wie sie in den Proben Nr. 3 und 11 verwendet wurden, wurden auf ihre pyroelektrischen Eigenschaften untersucht. Es wurden also verschiedene Scheiben hergestellt, die entlang verschiedener Richtungen geschnitten waren, und abwechselnd in Tanks eingetaucht, die Wasser mit 0ºC und Silikonöl mit 150ºC enthielten. Die Ergebnisse der Prüfung sind in Fig. 5 als Kurve dargestellt, die den Zusammenhang zwischen der Ladung, die bei Temperaturänderungen erzeugt wird (Ordinate), und dem Grad Θ der Z-Achsen-Komponente der Polarisation (Abszisse) wiedergibt. Den Ergebnissen in Fig. 5 ist zu entnehmen, daß die Z-Achsen-Komponente bevorzugt klein ist. Der Winkel Θ stellt den Abweichungswinkel der Polarisationsrichtung von der Ebene (X-Y Ebene) auf die Richtung der Dicke (Z-Achse) zu dar. Hat Θ den Wert 90º, so ist die Polarisationsrichtung nämlich parallel zur Richtung der Dicke. Hat Θ den Wert 0º, so ist die Polarisationsrichtung parallel zur Ebene der Scheibe.
  • Es zeigt sich auch, daß ein Winkel Θ von 20º oder weniger zu bevorzugen ist, um eine Druckempfindlichkeit von 10 atm oder weniger zu erzielen. Besonders bevorzugt ist ein Winkel Θ von 10º oder weniger entsprechend einer Druckempfindlichkeit von 5 atm oder weniger. In diesem Fall ist die Filterung in der Schaltung einfach, und es sind gute piezoelektrische Eigenschaften zu erhalten.
  • Piezoelektrische Bauteilproben ohne Z-Achsen-Komponente (Θ = 0) zeigten nahezu keine Pyroelektrizität und ergaben somit ganz ausgezeichnete Eigenschaften. Aus den Proben ohne Z-Achsen-Komponente (Θ = 0), die entlang der Y-Achse oder der X-Achse geschnitten waren, zeigten die entlang der Y- Achse geschnittenen Proben bessere piezoelektrische Eigenschaften (ungefähr 20 pC/N) als die entlang der X-Achse geschnittenen (unter 10 pC/N). Die entlang der Y-Achse geschnittenen Proben zeigten auch gute mechanische Eigenschaften. Tabelle 1 Probe Nr. Piezoelektrisches Bauteil Membran Bruchanteil Durchmesser (o. Seitenl.) Dicke Außen-Durchmesser Innen-Durchmesser *: Seitenlänge des quadratischen piezoelektrischen Bauteils **: Das Bauteil ist aus piezoelektrischem Lithiumtantalat-Einkristallmaterial ausgebildet. ***: Die Membran ist 0,1 mm dick.

Claims (2)

1. Piezoelektrischer Sensor für einen Verbrennungsmotor, der einen Zylinder aufweist, umfassend:
einen Hauptkörper (1), der zum Befestigen am Zylinder eingerichtet ist, und in dem ein axial verlaufendes Loch (4) bestimmt ist;
eine Membran (11), die an einem Ende des Hauptkörpers befestigt ist, um das Loch zu verschließen; und
ein piezoelektrisches Bauteil (7), das im Loch (4) angeordnet ist, so daß der Druck innerhalb des Zylinders über die Membran (11) auf das piezoelektrische Bauteil übertragen wird,
wobei das piezoelektrische Bauteil (7) eine kreis- oder polygonförmige Scheibe mit einer Dicke von 0,3 bis 1,5 mm ist, aus einem piezoelektrischen Einkristall- Bauteil mit einer Curietemperatur von über 500ºC gebildet und so polarisiert ist, daß die Polarisationsrichtung mit einem Winkel von 20º oder weniger bezogen auf die X-Y-Ebene der Scheibe ausgerichtet ist.
2. Piezoelektrischer Sensor nach Anspruch 1, wobei das piezoelektrische Bauteil (7) aus LiNbO&sub3; ausgebildet ist.
DE69209132T 1991-04-27 1992-04-16 Piezoelektrischer Messfühler Expired - Fee Related DE69209132T2 (de)

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