1. Erfindungsgebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine piezoelektrische
Vibrator-Komponente, insbesondere eine piezoelektrische
Vibrator-Komponente, die einen Dickengleit-Vibrationsmodus
vom energieangelagerten Typ verwendet. Weiterhin kann eine
piezoelektrische Vibrator-Komponente gemäß der vorliegenden
Erfindung als eine piezoelektrische Sperre, ein
piezoelektrisches Filter, ein piezoelektrischer Diskriminator oder
ein piezoelektrischer Oszillator verwendet werden.
2. Beschreibung des Standes der Technik
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Aus der japanischen Zeitschrift Applied Physics/Supplement
vol. 26, Supplement 26-1, 1987, Seiten 107-149, Tokyo,
Japan, ist aus dem Aufsatz "Trapped-energy piezoelectric
ceramic resonators and filters with internal electrodes"
der Autoren T. Inoue u.a., ein piezoelektrischer Vibrator
bekannt, der in einem Dickengleit-Vibrationsmodus betrieben
wird (thickness slip vibration).
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Aus den JP Patent Abstracts, vol. 9, Nr. 248 (E-360) (1971)
vom 4. Oktober 1985 und der JP-A-60 134 618 vom 17. Juli
1985 ist ein Dickenschervibrator bekannt, bei dem die
Polarisationsachse bezogen auf die lange Achse seiner
Rechteckform unterschiedliche Winkel haben kann.
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Fig. 8 zeigt ein piezoelektrisches Sperrelement, das ein
herkömmliches Beispiel für ein Element einer
piezoelektrischen Vibrator-Komponente ist. Das piezoelektrische
Substrat 21 ist in Rechteckform aus einem Keramik- oder
anderen piezoelektrischen Material gebildet. Das Substrat ist
so bearbeitet, daß die Polarisationsrichtungsachse P
parallel zur Längsseite des piezoelektrischen Substrats 21
liegt. Weiterhin sind auf der Vorderseite und Rückseite des
piezoelektrischen Substrats ein vibrierendes
Elektrodenelement 22 und ein Anschlußelement 23 durch Dampfabscheidung,
Kathodenzerstäubung oder ein anderes Dünnschichtverfahren
ausgebildet. Bei diesem piezoelektrischen Vibrationselement
D werden die Dickengleit-Vibrationen vom
energieangelagerten Typ im piezoelektrischen Substrat 21 eingestellt, wenn
an das vibrierende Elektrodenelement 22 ein
Wechselstromsignal angelegt wird. Die Resonanzfrequenz fo dieser
Vibrationen wird durch die Dicke des piezoelektrischen Substrats
21, die Masse des vibrierenden Elektrodenelements 22 und
andere Faktoren bestimmt.
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Darüber hinaus bildet das piezoelektrische
Vibrationselement D das piezoelektrische Vibrationselement 26, (Fig. 9),
wenn an das Anschlußelement 23 eine Anschlußzuleitung (in
der Figur nicht dargestellt) angelötet wird, und um das
piezoelektrische Vibrationselement D eine Einbettungs-
Kunstharzschicht 24 aus Epoxidharz oder irgendeinem anderen
Einbettungsharz ausgebildet wird. Daher wird, wie in der
Fig. 9 gezeigt, das piezoelektrische Substrat fest an einer
Position innerhalb der Einbettungs-Kunstharzschicht 24
gehalten und zwischen der Einbettungs-Kunstharzschicht 24 und
dem vibrierenden Elektrodenelement 22 ist ein
Vibrationshohlraum 25 ausgebildet, so daß die Vibrationen im
vibrierenden Elektrodenelement 22 durch die
Einbettungs-Kunstharzschicht 24 nicht gedämpft werden.
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Weil das piezoelektrische Vibrationselement D so durch die
Einbettungs-Kunstharzschicht 24 abgedeckt ist, um das
piezoelektrische Vibrationselement 26 zu bilden, kann von der
Einbettungs-Kunstharzschicht 24 ein Klemmdruck ausgeübt
werden und es können infolge der Differenz der
Wärmeausdehnungskoeffizienten von der Einbettungs-Kunstharzschicht 24
und dem piezoelektrischen Substrat 21 oder infolge der
Änderungen der Betriebstemperatur zwischen der Einbettungs-
Kunstharzschicht 24 und dem piezoelektrischen Substrat 22
Wärmespannungen auftreten. Wenn infolge eines dieser
Faktoren die Belastung F in Klemmrichtung auf das
piezoelektrische Substrat 21 ausgeübt wird, wird eine Anderung
(Verschiebung) der Resonanzfrequenz fo gegenüber dem
konzipierten Wert auftreten, wie dies in der Fig. 4 bei A angegeben
ist. Je größer die Belastung F wird, umso größer wird die
Änderung A-f der Resonanzfrequenz. Mögliche Gründe hierfür
umfassen die folgenden Aspekte. Infolge der
Kontraktionsverformung in Richtung der Länge und der Breite des
piezoelektrischen Substrats 21, verursacht durch die Belastung
F, tritt insbesondere eine Längenverformung in Richtung der
Dicke des piezoelektrischen Substrats 21 am vibrierenden
Elektrodenelement 22, das im Vibrationshohlraum 25
umschlossen ist, auf. Somit verringert sich die Frequenz der
stehenden Welle, die in Richtung der Dicke des
piezoelektrischen Substrats 21 im vibrierenden Elektrodenelement 22
auftritt, und es kann daraus geschlossen werden, daß als
Ergebnis die Frequenz der in Längsrichtung sich
ausbreitenden Welle erhöht wird.
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Daher wird bei einer herkömmlichen piezoelektrischen
Vibrator-Komponente, wenn das piezoelektrische Substrat von der
externen Kunstharzschicht mit Belastung beaufschlagt wird,
eine große Änderung proportional zur Resonanzfrequenz
auftreten, die die Zuverlässigkeit der piezoelektrischen
Vibrator-Komponente erheblich vermindert. Weil insbesondere
eine Änderung der Resonanzfrequenz infolge der
Wärmespannungen,
die eine Temperaturänderung begleiten, auftritt,
gab es bei den Wärmecharakteristika der piezoelektrischen
Vibrator-Komponenten Probleme. Um diese Probleme bei den
herkömmlichen Komponenten zu lösen, wurde die Entwicklung
neuer piezoelektrischer Materialien, charakterisiert durch
minimale Anderung der Resonanzfrequenz, und die Entwicklung
geeigneter Einbettungs-Kunstharze vorangetrieben, um eine
minimale Differenz der Wärmeausdehnungskoeffizienten
zwischen piezoelektrischem Substrat und Einbettungsmaterial zu
erzielen.
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Änderung der
Resonanzfrequenz, die in Verbindung mit
Temperaturänderungen erzeugt wird, zu reduzieren und die Eigenschaften der
piezoelektrischen Vibrator-Komponente zu verbessern.
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Hierzu wurden verschiedene piezoelektrische
Vibrationselemente unter Verwendung eines piezoelektrischen Substrats
hergestellt, die mit einer in Längsrichtung ausgerichteten
Polarität versehen waren und in welchen die längere Seite
und die kürzere Seite ausgetauscht war. Diese verschiedenen
piezoelektrischen Vibrationselementmaterialien wurden mit
einer Druckbelastung beaufschlagt und die Änderung der
Resonanzfrequenz zu diesem Zeitpunkt wurde gemessen. Als
Ergebnis wurde herausgefunden, daß die
Änderungsgeschwindigkeit der Resonanzfrequenz unter Belastung (die Tangente der
Linien A und B in Fig. 4) sich proportional zur Länge der
langen Seite des piezoelektrischen Substrats erhöhte.
Piezoelektrische Vibrationselemente wurden jedoch bereits
infolge der Forderung nach Verkleinerung der Komponenten
soweit als möglich in ihrer Größe reduziert und es gibt wegen
der Abmessung des Vibrationselektrodenelements und anderer
technischer Beschränkungen eine Grenze dafür, wie weit die
Länge des piezoelektrischen Substrats verringert werden
kann. Daher wurde der Umfang der Experimente weiter
ausgedehnt und es wurde ein piezoelektrisches Vibrationselement
hergestellt, bei dem die Polarisationsachse für alle
Anwendungen und Zwecke parallel zur kurzen Seite des
piezoelektrischen Substrats ist (bei einem herkömmlichen
piezoelektrischen Vibrationselement ist die Richtung der
Polarisationsachse parallel zur langen Seite des Substrats) . Diese
Proben wurden bei Versuchen verwendet, bei denen das Maß
der Druckbelastung, mit der das piezoelektrische Substrat
beaufschlagt wurde, variiert wurde und es wurde die
Resonanzfrequenz gemessen und es wurde herausgefunden, daß die
Änderung der Resonanzfrequenz klein war.
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In der graphischen Darstellung der Fig. 4 ist der Vergleich
der Änderung bei der Resonanzfrequenz der piezoelektrischen
Vibrationselemente mit gleichen Abmessungen gezeigt, und
zwar für den Fall, daß die Polarisationsachse parallel zur
langen Seite und parallel zur kurzen Seite ist. An der x-
Achse ist die Belastung aufgetragen, die in Klemmrichtung
wirkt, und entlang der y-Achse ist die Änderung der
Resonanzfrequenz angegeben. Die Linie A repräsentiert das
piezoelektrische Vibrationselement, bei dem die
Polarisationsachse parallel zur langen Seite des piezoelektrischen
Substrats ist, und die Linie B repräsentiert das
piezoelektrische Vibrationselement, bei dem die Polarisationsachse
parallel zur kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats ist.
Wie aus der graphischen Darstellung offen zu ersehen ist,
ist die Änderung (und damit die Änderungsgeschwindigkeit)
der Resonanzfrequenz signifikant kleiner bei dem
piezoelektrischen Vibrationselement mit der zur kurzen Seite des
piezoelektrischen Substrats parallelen Polarisationsachse
gegenüber einem piezoelektrischen Vibrationselement, bei
dem die Polarisationsachse parallel zur langen Seite des
piezoelektrischen Substrats liegt.
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Aus den vorstehenden Versuchen wurde geschlossen, daß die
Änderung der Resonanzfrequenz nicht durch Verkürzen der
Länge der langen Seite des piezoelektrischen Substrats,
sondern durch tatsächliche Verringerung der Abmessung des
piezoelektrischen Substrats in Richtung der
Polarisationsachse effizient verringert werden kann.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Eine erfindungsgemäße piezoelektrische Vibrator-Komponente
ist vom energieangelagerten Typ, bei dem vibrierende
Elektrodenelemente sowohl an der Vorderseite als auch an der
Rückseite eines piezoelektrischen Substrats aufgebracht
sind, das lange und kurze Seiten hat, und der in einem
Dikkengleit-Vibrationsmodus arbeitet, und dadurch
gekennzeichnet, daß die Polarisationsachse in Richtung der kurzen
Seite des piezoelektrischen Substrats ausgerichtet ist.
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Weil bei der vorliegenden Erfindung die Polarisationsachse
des piezoelektrischen Substrats mehr zur kurzen Seite als
zur langen Seite des piezoelektrischen Substrats
ausgerichtet ist, ist die Länge des piezoelektrischen Substrats in
Richtung der Polarisationsachse kürzer, verglichen mit
einem herkömmlichen piezoelektrischen Substrat, bei dem die
Polarisationsachse parallel zur langen Seite des
piezoelektrischen Substrats liegt, selbst wenn Substrate mit
gleichen Abmessungen verwendet werden. Als ein Ergebnis,
basierend auf den aus den Versuchen, wie vorstehend beschrieben,
erhaltenen Ergebnissen, kann die Änderung der
Resonanzfrequenz der piezoelektrischen Vibrator-Komponente bei Anlegen
von Belastung verringert werden.
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So kann bei einer piezoelektrischen Vibrator-Komponente,
die durch eine externe Einbettungs-Kunstharzschicht
abgedeckt ist, selbst wenn zwischen dem piezoelektrischen
Substrat und der Einbettungsschicht infolge der Änderung der
Betriebstemperatur oder anderer Bedingungen Wärmespannungen
auftreten, die Änderung der Resonanzfrequenz, verursacht
durch diese Spannungen, verringert werden, und es wird eine
piezoelektrische Vibrator-Komponente mit ausgezeichneten
thermischen Eigenschaften erhalten. Ähnlich kann die
Änderung der Resonanzfrequenz, verursacht durch die
Klemmbelastung, mit der das piezoelektrische Substrat durch das
Zusammenziehen während dem Aushärten des Einbettungsharzes
ausgesetzt ist, ebenfalls verringert werden und es kann
eine piezoelektrische Vibrator-Komponente mit geringen
Änderungen der Resonanzfrequenz erhalten werden.
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Darüber hinaus verringert die vorliegenden Erfindung auch
die Änderung der Resonanzfrequenz durch das einfache
Verfahren der Änderung der Richtung der Polarisationsachse von
der Richtung einer herkömmlichen Komponente (parallel zur
langen Seite des piezoelektrischen Substrats) und ist daher
nicht von den technischen Problemen begleitet, die dann
auftreten, wenn das piezoelektrische Substrat verkleinert
wird, wenn die Länge der langen Seite, die zur
Polarisationsachse des piezoelektrischen Vibrationselements
ausgerichtet ist, verkürzt wird. Weil es darüber hinaus nicht
notwendig ist, neue piezoelektrische Substratmaterialien
mit einer kleinen Resonanzfrequenzänderung zu entwickeln
und die Änderung der Resonanzfrequenz unter Verwendung des
gleichen Einbettungsharzes und der gleichen
piezoelektrischen Materialien mit der gleichen Young-Modul und gleichen
Wärmeausdehnungskoeffizient wie die derzeit verwendeten
Materialien verwendet werden kann, kann die vorliegende
Erfindung leicht durchgeführt werden.
KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
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Diese und andere Ziele und Merkmale der vorliegenden
Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung anhand der
bevorzugten Ausführungsformen und anhand der begleitenden
Figuren hervor, in welchen gleiche Teile mit gleichen
Bezugsziffern bezeichnet sind, und in welchen zeigt:
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Fig. 1 und 2 die Ansicht von vorne bzw. von hinten einer
piezoelektrischen Vibrator-Komponente gemäß einer
ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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Fig. 3 ein Schaltungsdiagramm einer Äquivalentschaltung
der piezoelektrischen Vibrator-Komponente, wie sie
in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist;
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Fig. 4 eine graphische Darstellung der Änderung der
Resonanzfrequenz einer piezoelektrischen
Vibrator-Komponente gemäß der vorliegenden Erfindung und gemäß
einer herkömmlichen Ausführungsform;
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Fig. 5 eine alternative Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung in einer perspektivischen Darstellung;
Fig. 6(a) und 6(b) die Vorder- bzw. Rückansicht einer
alternativen Ausführungsform gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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Fig. 7 ein Schaltungsdiagramm einer Äquivalentschaltung
der in den Fig. 6(a) und 6(b) gezeigten
piezoelektrischen Vibrator-Komponente;
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Fig. 8 eine piezoelektrische Vibrator-Komponente gemäß dem
Stand der Technik in der Draufsicht; und
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Fig. 9 die piezoelektrische Vibrator-Komponente gemäß Fig.
8, die mit einer Einbettungs-Kunstharzschicht
versehen ist, im Schnitt.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Die vorliegende Erfindung wird im folgenden anhand der
begleitenden Figuren beschrieben.
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Die Fig. 1 und 2 zeigen die Vorder- bzw. Rückansicht eines
piezoelektrischen Vibrationselementes A. Das
piezoelektrische Vibrationselement A ist mit einem
Vibrationselektrodenelement 2 versehen, um Vibrationen vom
energieangelagerten Typ zu erzeugen, das Anschlußelement 3 dient zur
Verbindung mit einer Anschlußzuführung (nicht dargestellt) an
der Vorder- und Rückseite eines dünnen piezoelektrischen
Substrats 1.
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Das piezoelektrische Substrat 1 ist aus einem
piezoelektrischen Keramikmaterial in Form eines rechteckigen dünnen
Blattes hergestellt und dann gebacken worden. Weiterhin ist
dieses piezoelektrische Substrat 1 durch Anlegen einer
Spannung in einer Richtung parallel zur kurzen Seite des
Substrats polarisiert worden und daher hat es eine
Polansationsachse P in Richtung parallel zur kurzen Seite des
Substrats, wie dies durch einen dick durchgezogenen Pfeil
in den Fig. 1 und 2 dargestellt ist. Obwohl diese
Ausrichtung als parallel bezeichnet worden ist, besteht eine
gewisse Toleranzbreite für Fehler. An der Vorder- und
Rückseite des piezoelektrischen Substrats 1 sind metallische
Dünnschicht-Vibrationselektrodenelemente 2, ein
Anschlußelement 3 und Verbindungsleiter 6, 7 unter Verwendung einer
Dampfabscheidungs-, Kathodenzerstäubungs- oder anderen
Dünnschicht-Erzeugungstechnologie ausgebildet. Bei dem
Vibrationselektrodenelement 2 liegt die Vibrationselektrode 4
an der Vorderseite des piezoelektrischen Substrats 1 und
die gemeinsame Elektrode 5 auf der Rückseite des
piezoelektrischen Substrats 1 gegenüber, so daß die Vibrationen
gemäß dem Dickengleit-Vibrationsmodus zwischen
Vibrationselektrode 4 und gemeinsamer Elektrode 5 erzeugt werden.
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Bei der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsform sind
die zwei Vibrationselektrodenelemente 2, 2 auf dem
piezoelektrischen Substrat 1 so ausgebildet, daß die
Vibrationselektroden 4, 4 jeweils an die Anschlußelemente 3, 3 an
beiden Seiten der Vorderf läche über die Verbindungsleiter
6, 6 verbunden sind und die gemeinsame Elektrode 5 an der
Rückseite mit dem Anschlußelement 3 in der Mitte über die
gemeinsame Leitung 7 verbunden ist. In der Fig. 3 ist eine
elektrische Äquivalenzschaltung dargestellt, bei der die
zwei Anschlußoszillatoren 8, 8 parallel geschaltet sind.
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Dieses piezoelektrische Vibrationselement A kann durch
Anlegen eines Wechselstromsignals an das
Vibrationselektrodenelement 2 eine Dickengleit-Vibration vom
energieangereicherten Typ erzeugen und die Resonanzfrequenz fo dieser
Vibrationen ist großenteils durch die Dicke des
piezoelektrischen Substrats 1 bestimmt. Weil weiterhin die Richtung der
Polarisationsachse P parallel zur kurzen Seite ist, ist die
Länge des piezoelektrischen Substrats 1 in Richtung der
Polarisationsachse P sehr viel kürzer bei einem
piezoelektrischen Substrat mit den gleichen Abmessungen. Es ist aus den
vorstehend beschriebenen Versuchen auch klar, daß die
Änderung Δf der Resonanzfrequenz, wenn das piezoelektrische
Vibrationselement A mit Belastung beaufschlagt wird, kleiner
ist. Daher wird ein piezoelektrisches Vibrationselement A
mit guten thermischen Eigenschaften erhalten, insbesondere
wird eine Element erhalten, bei dem die Änderung Δf der
Resonanzfrequenz selbst dann klein ist, wenn zwischen dem
Substrat und der Einbettungs-Kunstharzschicht, welche das
piezoelektrische Vibrationselement A umhüllt,
Wärmespannungen auftreten. Das Änderungsverhältnis Δf/fo der
Resonanzfrequenz zur Temperaturänderung ΔT ist ebenfalls
verringert. Beispielsweise ist bei einer piezoelektrischen
Sperre, die ein piezoelektrisches Substrat verwendet,
dessen Länge der langen Seite L = 6,7 mm ist, und dessen Länge
der kurzen Seite 2,8 mm ist, das Verhältnis der Änderung
(Δf/ΔT)fo -50 ppm/ºC, wenn die Polarisationsachse zur
langen Seite ausgerichtet ist, wird aber +5 ppm/ºC sein, wenn
die Polarisationsache zur kurzen Seite ausgerichtet ist.
Hieraus ist zu ersehen, daß das Verhältnis der Änderung
sich um ein Zehntel verbessert hat.
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Es wird auf die Fig. 5 Bezug genommen, die eine alternative
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. Eine
Streifenelektrodenschicht 9 aus einer metallischen
Dünnschicht ist auf der Vorder- und Rückseite eines
rechteckigen
piezoelektrischen Substratblattes 1 ausgebildet. In der
Mitte des piezoelektrischen Substrats 1 ist auf den
einander gegenüberliegenden Streifenelektrodenschichten 9 das
Vibrationselektrodenelement 2 vom Zwei-Anschluß-Typ und an
den Enden der Streifenelektrodenschichten 9 sind die
Anschlußelemente 3 ausgebildet, wodurch ein piezoelektrisches
Vibrationselement B mit einem Dickengleit-Vibrationsmodus
vom energieangelagerten Typ gebildet ist. Bei einem
piezoelektrischen Vibrationselement B dieser Art kann die
Änderung der Resonanzfrequenz ebenfalls dadurch minimiert
werden, daß die Richtung der Polarisationsachse B parallel zur
kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats 1 ausgerichtet
wird.
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Es wird auf die Fig. 6(a) und 6(b) Bezug genommen, in denen
die Vorder- bzw. Rückseite eines piezoelektrischen
Vibrationselementes 0 gezeigt ist, bei dem zwei
Vibrationselektrodenelemente 2, 2 bestehend aus einem Paar geteilter
Elektroden 10a, 10b und einer gemeinsamen Elektrode 11 auf dem
piezoelektrischen Substrat 1 gebildet sind, wodurch ein
Dickengleit-Vibrationsmodus piezoelektrisches
Vibrationselement C vom energieangereicherten Typ gebildet ist, das
parallel zu zwei Drei-Anschluß-Oszillatoren 12 geschaltet
ist, wie dies in der Fig. 7 gezeigt ist. Bei diesem Typ
piezoelektrischen Vibrationselement C kann die
Resonanzfrequenz durch Ausrichten der Richtung der Polarisationsachse
P parallel zur kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats
1 minimiert werden.
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Anzumerken ist, daß ein piezoelektrisches
Vibrationselement, das im Dickengleit-Vibrationsmodus arbeitet und vom
energieangelagerten Typ ist, gemäß der vorliegenden
Erfindung auch anders als die vorstehend beschriebenen
konstruiert sein kann. Weiterhin ist gemäß einer bevorzugten
Ausführungsform die Richtung der Polarisationsachse parallel
zur kurzen Seite des piezoelektrischen Substrats, aber es
ist für die Richtung der Polarisationsachse nicht
notwendig, daß sie genau parallel zur Richtung der kurzen Seite
verläuft. Anders ausgedrückt, die Änderung der
Resonanzfrequenz kann geringer als die bei einem herkömmlichen Element
gemacht werden, indem die Polarisationsachse näher an die
Richtung der kurzen Seite als an die Richtung der langen
Seite des piezoelektrischen Substrats ausgerichtet wird.
Daher ist es bei einem rechteckigen piezoelektrischen
Substrat, wie vorstehend beschrieben, ausreichend, daß der
Winkel, der durch die Polarisationsachse und die Richtung
der kurzen Seite gebildet wird, daß dieser kleiner als 45
Grad ist. Bei einem Parallel-Trapezoid muß der Winkel
jedoch nicht notwendigerweise kleiner als 45 Grad sein.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung kann die Änderung der
Resonanzfrequenz bei Beauf schlagung des piezoelektrischen
Substrats mit Belastung verringert werden. Daher wird ein
Element mit ausgezeichneten thermischen Eigenschaften, bei
dem die Änderung der Resonanzfrequenz klein ist, selbst
wenn das piezoelektrische Vibrationselement durch die
Einbettungs-Kunstharzschicht infolge einer Änderung der
Betriebstemperatur oder anderer Bedingungen mit
Wärmespannungen beaufschlagt wird, erzielt. Weiterhin kann ein
piezoelektrisches Vibrationselement erhalten werden, das eine
hohe Zuverlässigkeit hat, bei dem die Änderung der
Resonanzfrequenz klein ist und die Änderung der
Resonanzfrequenz, verursacht durch Zusammenziehen während dem
Aushärten des Einbettkunstharzes, minimal ist. Darüber hinaus
kann die Erfindung durch das einfache Verfahren der
Änderung der Ausrichtung der Polarisationsachse gegenüber der
Richtung bei herkömmlichen Elementen erzielt werden und es
kann leicht ausgeführt werden, ohne daß Schwierigkeiten,
bedingt durch das Entwickeln neuer Materialien oder
Verringern der Größe des piezoelektrischen Substrats, auftreten.
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Obwohl die vorliegende Erfindung vollständig anhand der
bevorzugten Ausführungsformen und anhand der begleitenden
Figuren beschrieben worden ist, bleibt anzumerken, daß
verschiedene Änderungen und Modifikationen für den Fachmann
denkbar sind. Diese Änderungen und Modifikationen werden
als innerhalb des Schutzumfanges der vorliegenden Erfindung
angesehen, wie er durch den Patentanspruch definiert ist.