JPH0228922B2 - Atsudenshindoshi - Google Patents
AtsudenshindoshiInfo
- Publication number
- JPH0228922B2 JPH0228922B2 JP16697880A JP16697880A JPH0228922B2 JP H0228922 B2 JPH0228922 B2 JP H0228922B2 JP 16697880 A JP16697880 A JP 16697880A JP 16697880 A JP16697880 A JP 16697880A JP H0228922 B2 JPH0228922 B2 JP H0228922B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- piezoelectric
- thickness shear
- piezoelectric diaphragm
- shear vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02157—Dimensional parameters, e.g. ratio between two dimension parameters, length, width or thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/176—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator consisting of ceramic material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は厚みすべり振動を利用した圧電振動
子に関する。
子に関する。
この発明の目的はスプリアス振動を抑圧し、か
つ製造上有利な圧電振動子を提供することであ
る。
つ製造上有利な圧電振動子を提供することであ
る。
すなわち、この発明の要旨は、圧電振動板の二
主表面に電極を有し、この電極面に平行な分極軸
を有し、圧電振動板の長さをＬ、幅をＷ、厚みを
Ｔとすると、 1.0T≦Ｗ≦1.5T 1.5W≦Ｌ≦4.0W の関係にした圧電振動子である。
主表面に電極を有し、この電極面に平行な分極軸
を有し、圧電振動板の長さをＬ、幅をＷ、厚みを
Ｔとすると、 1.0T≦Ｗ≦1.5T 1.5W≦Ｌ≦4.0W の関係にした圧電振動子である。
以下にこの発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図において１は圧電セラミツクなどの圧電
振動板、２と３は、圧電振動板１の二主表面に設
けた電極膜である。
振動板、２と３は、圧電振動板１の二主表面に設
けた電極膜である。
本発明において、1.0T≦Ｗ≦1.5Tとした理由
は以下のとおりである。
は以下のとおりである。
圧電振動板１は、電極膜２，３と外部接続用端
子板（図示せず）とを接触させることによつて保
持されるものであるが、Ｔ＞Ｗだと、圧電振動板
の加工が困難でかつ保持状態が不安定になるので
Ｔ≦Ｗとした。またＷ＞1.5Tだと圧電振動板１
の有効利用の点で弊害がでてくるのでＷ≦1.5T
とした。
子板（図示せず）とを接触させることによつて保
持されるものであるが、Ｔ＞Ｗだと、圧電振動板
の加工が困難でかつ保持状態が不安定になるので
Ｔ≦Ｗとした。またＷ＞1.5Tだと圧電振動板１
の有効利用の点で弊害がでてくるのでＷ≦1.5T
とした。
本発明において、1.5W≦Ｌ≦4.0Wとした理由
は以下のとおりである。
は以下のとおりである。
第１図に示す圧電振動子では、厚みすべり振動
と長さＬ方向の縦振動の二つの振動モードが存在
する。本発明では厚みすべり振動を用いるので縦
振動はできる限り抑圧しなければならない。
と長さＬ方向の縦振動の二つの振動モードが存在
する。本発明では厚みすべり振動を用いるので縦
振動はできる限り抑圧しなければならない。
第２図では複数個のサンプルについて、Ｌ／Ｗ
を1.0→2.16と変化をさせたとき、厚みすべり振
動と縦振動それぞれにおける励振の強さ20log
Ra／R1（Raは反共振抵抗、R1は共振抵抗）を測
定しその傾向を曲線で示した。曲線Ａは厚みすべ
り振動を示し、曲線Ｂは縦振動を示す。
を1.0→2.16と変化をさせたとき、厚みすべり振
動と縦振動それぞれにおける励振の強さ20log
Ra／R1（Raは反共振抵抗、R1は共振抵抗）を測
定しその傾向を曲線で示した。曲線Ａは厚みすべ
り振動を示し、曲線Ｂは縦振動を示す。
また、第３図では、Ｌ／Ｗを1.0→2.16と変化
させたとき、厚みすべり振動と縦振動それぞれに
おける共振周波数と反共振周波数の変化の傾向を
曲線で示した。曲線Ｃは縦振動の傾向を示し、曲
線Ｄは厚みすべり振動の傾向を示す。図中〇は共
振周波数、×は反共振周波数である。
させたとき、厚みすべり振動と縦振動それぞれに
おける共振周波数と反共振周波数の変化の傾向を
曲線で示した。曲線Ｃは縦振動の傾向を示し、曲
線Ｄは厚みすべり振動の傾向を示す。図中〇は共
振周波数、×は反共振周波数である。
両図からもあきらかなように、Ｌを大きくして
いくにつれ、使用しようとしている厚みすべり振
動の共振周波数、反共振周波数はほとんど変化し
ない。この場合、励振の強さは増大していき好都
合である。逆に不要振動である、縦振動の共振周
波数、反共振は急激に低下していき、また、励振
の強さも急激に低下していきＬ／Ｗ＝2.16付近で
は厚みすべり振動の励振の強さの約1/8であつて
消滅寸前である。通常のフイルタや共振子製造の
際には、スプリアスレスポンスの強さ、周波数
は、メインレスポンスのそれに比べ弱いどほど、
離れているほどよい。実用的にはＬ／Ｗ＝1.5以
上ならよい。Ｌ＞4.0Wでもよいが圧電振動板の
有効利用の点からいつてＬ≦4.0Wがよい。
いくにつれ、使用しようとしている厚みすべり振
動の共振周波数、反共振周波数はほとんど変化し
ない。この場合、励振の強さは増大していき好都
合である。逆に不要振動である、縦振動の共振周
波数、反共振は急激に低下していき、また、励振
の強さも急激に低下していきＬ／Ｗ＝2.16付近で
は厚みすべり振動の励振の強さの約1/8であつて
消滅寸前である。通常のフイルタや共振子製造の
際には、スプリアスレスポンスの強さ、周波数
は、メインレスポンスのそれに比べ弱いどほど、
離れているほどよい。実用的にはＬ／Ｗ＝1.5以
上ならよい。Ｌ＞4.0Wでもよいが圧電振動板の
有効利用の点からいつてＬ≦4.0Wがよい。
以上の実施例からもあきらかなように、この発
明によると、特に１〜2MHz付近の共振子を量産
化するのに最適な構造が得られる。
明によると、特に１〜2MHz付近の共振子を量産
化するのに最適な構造が得られる。
第１図は本発明で用いる共振子の一例の斜視
図、第２図は共振子寸法を変化させたときの励振
の強さの変化を示すグラフ、第３図は共振子寸法
を変化させたときの共振周波数、反共振周波数の
変化を示すグラフである。 １は圧電振動板、２，３は電極膜。
図、第２図は共振子寸法を変化させたときの励振
の強さの変化を示すグラフ、第３図は共振子寸法
を変化させたときの共振周波数、反共振周波数の
変化を示すグラフである。 １は圧電振動板、２，３は電極膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電振動板の二主表面に電極を有し、この電
極面に平行な分極軸を有し、圧電振動板の長さを
Ｌ、幅をＷ、厚みをＴとすると、 1.0T≦Ｗ≦1.5T 1.5W≦Ｌ≦4.0W の関係にしたことを特徴とする非エネルギー閉じ
こめ型の厚みすべり振動モードを用いた圧電振動
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16697880A JPH0228922B2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Atsudenshindoshi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16697880A JPH0228922B2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Atsudenshindoshi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5791016A JPS5791016A (en) | 1982-06-07 |
| JPH0228922B2 true JPH0228922B2 (ja) | 1990-06-27 |
Family
ID=15841127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16697880A Expired - Lifetime JPH0228922B2 (ja) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Atsudenshindoshi |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228922B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59148420A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS59148421A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-25 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子 |
| JPS61154211A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-12 | Daiwa Shinku Kogyosho:Kk | セラミツク共振子 |
| JPH07105688B2 (ja) * | 1988-07-09 | 1995-11-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動部品 |
| DE4322144C2 (de) * | 1992-07-03 | 1997-06-05 | Murata Manufacturing Co | Vibratoreinheit |
| US5621263A (en) * | 1993-08-09 | 1997-04-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonance component |
| US5648746A (en) * | 1993-08-17 | 1997-07-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Stacked diezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| US5689220A (en) * | 1993-08-17 | 1997-11-18 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Laterally coupled piezoelectric resonator ladder-type filter with at least one width expansion mode resonator |
| JP3114526B2 (ja) * | 1994-10-17 | 2000-12-04 | 株式会社村田製作所 | チップ型圧電共振部品 |
-
1980
- 1980-11-26 JP JP16697880A patent/JPH0228922B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5791016A (en) | 1982-06-07 |
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