JPH0437210A - 圧電振動子の電極構造 - Google Patents
圧電振動子の電極構造Info
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- JPH0437210A JPH0437210A JP14557590A JP14557590A JPH0437210A JP H0437210 A JPH0437210 A JP H0437210A JP 14557590 A JP14557590 A JP 14557590A JP 14557590 A JP14557590 A JP 14557590A JP H0437210 A JPH0437210 A JP H0437210A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/321—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の目的〉
「産業上の利用分野」
本発明は、エージング特性を改善した圧電振動子に関す
る。
る。
「従来の技術」
従来より圧電振動子、とりわけ広く利用されている水晶
振動子において、厚みすべり振動のＡＴカットの丸板、
角板、また複雑な形状に加工出来るエツチング加工によ
る振動子等種々の振動子か利用されている。そして水晶
振動子を支持具に固定する際、導電性接着剤で固着して
いる。通常は水晶と接する面には膜強度の強い材料を選
定し、その上に導電率の良い材料を用い、２層膜として
いた。しかし導電性接着剤のエポキシと金の密着性が悪
く、長期のエージング特性がこれに起因して劣化してい
た。
振動子において、厚みすべり振動のＡＴカットの丸板、
角板、また複雑な形状に加工出来るエツチング加工によ
る振動子等種々の振動子か利用されている。そして水晶
振動子を支持具に固定する際、導電性接着剤で固着して
いる。通常は水晶と接する面には膜強度の強い材料を選
定し、その上に導電率の良い材料を用い、２層膜として
いた。しかし導電性接着剤のエポキシと金の密着性が悪
く、長期のエージング特性がこれに起因して劣化してい
た。
「発明が解決しようとする課題」
通常の２層構造ではエポキシ樹脂の導電性接着剤を使用
したときは特に、固着部分での歪によりエージング特性
が劣化していた。
したときは特に、固着部分での歪によりエージング特性
が劣化していた。
「発明の目的」
本発明は、前述した欠点を除去し、安定なエージング特
性の水晶振動子を提供することを目的としている。
性の水晶振動子を提供することを目的としている。
く本発明の構成〉
「課題を解決する手段」
そこで本発明では、圧電振動板の縁部を固着して成る圧
電振動子において、該圧電振動板上の励振電極及び該縁
部に延びる引き出し部に第１金属膜と第２金属膜の２層
の電極を形成し、少なくとも該圧電振動板の縁部と導電
性接着剤により支持具とを固着する該２層の電極部分上
に第３金属膜を形成した構成である。
電振動子において、該圧電振動板上の励振電極及び該縁
部に延びる引き出し部に第１金属膜と第２金属膜の２層
の電極を形成し、少なくとも該圧電振動板の縁部と導電
性接着剤により支持具とを固着する該２層の電極部分上
に第３金属膜を形成した構成である。
「作用」
本発明では、第１金属膜には圧電振動板と密着性の良い
金属、第２金属膜には導電率の良い金属、第３金属膜に
は固着剤と第２金属膜とも密着性の良い金属を選択する
ことにより、温度変化による歪が生じなくなる。
金属、第２金属膜には導電率の良い金属、第３金属膜に
は固着剤と第２金属膜とも密着性の良い金属を選択する
ことにより、温度変化による歪が生じなくなる。
「実施例」
第１図は、本発明の実施例を示す断面図である。
水晶振動板１上に第１金属膜２としてクロムが蒸着され
ている。水晶振動板１の主面中央部には励振電極があり
、側面に向かって引き出し電極が延在している。本例の
場合圧電振動板の下側−面で支持具と固着するため、側
面を経由して他方の面まで引き出し電極が延びている。
ている。水晶振動板１の主面中央部には励振電極があり
、側面に向かって引き出し電極が延在している。本例の
場合圧電振動板の下側−面で支持具と固着するため、側
面を経由して他方の面まで引き出し電極が延びている。
クロムの上に更に第２金属膜３として金が蒸着されてい
る。そして支持部には、第２金属膜３の上に、さらに第
３金属膜４としてニッケル・クロムを蒸着している。
る。そして支持部には、第２金属膜３の上に、さらに第
３金属膜４としてニッケル・クロムを蒸着している。
圧電振動板は、支持具６の上に載置され固着剤５として
導電性接着剤により支持具に固着されている。
導電性接着剤により支持具に固着されている。
本発明では第２金属膜として金を用いているが、金は導
電性接着剤として最も使われているエポキシ樹脂の場合
密着性が悪い。そこで金の上にエポキシ樹脂と密着性の
いいニッケル・クロムを蒸着し、長期エージングにより
周波数が変化するのを防止できるようになった。
電性接着剤として最も使われているエポキシ樹脂の場合
密着性が悪い。そこで金の上にエポキシ樹脂と密着性の
いいニッケル・クロムを蒸着し、長期エージングにより
周波数が変化するのを防止できるようになった。
第２図は、本発明と従来品との比較を示す高温放置エー
ジング特性である。実線は、本発明による水晶振動子の
特性であり、点線は従来の２層金属膜の水晶振動子の特
性であり、従来品では時間とともに周波数が急激に変化
してしまうが、本発明による水晶振動子では長期に安定
した周波数を維持出来るようになった。
ジング特性である。実線は、本発明による水晶振動子の
特性であり、点線は従来の２層金属膜の水晶振動子の特
性であり、従来品では時間とともに周波数が急激に変化
してしまうが、本発明による水晶振動子では長期に安定
した周波数を維持出来るようになった。
なお、実施例において第１金属膜としてクロム、第２金
属膜として金、第３金属膜としてニッケル・クロムを用
いているが、必ずしもこれに限定されず、第１金属膜に
は水晶等圧電素子と密着性の良い金属、第２金属膜には
導電性の良い金属、第３金属膜にはエポキ／樹脂等固着
材と密着性のよい金属であればよい。
属膜として金、第３金属膜としてニッケル・クロムを用
いているが、必ずしもこれに限定されず、第１金属膜に
は水晶等圧電素子と密着性の良い金属、第２金属膜には
導電性の良い金属、第３金属膜にはエポキ／樹脂等固着
材と密着性のよい金属であればよい。
なお圧電体として水晶を例に挙げたか、タンタル酸リチ
ウムや圧電セラミック等でもよい。
ウムや圧電セラミック等でもよい。
〈本発明の効果〉
本発明によって、従来よりあった長期エージング特性で
、圧電振動板を固着する固着剤と圧電板上の金属膜との
密着性に起因する特性劣化がなくなり、安定な周波数特
性の圧電振動子を得ることが出来るようになった。
、圧電振動板を固着する固着剤と圧電板上の金属膜との
密着性に起因する特性劣化がなくなり、安定な周波数特
性の圧電振動子を得ることが出来るようになった。
第１図は、本発明の実施例を示す断面図である。
第２図は、本発明による圧電振動子と従来の圧電振動子
のエージング特性を示すグラフである。 １・・・・・−・−圧電振動板） ２・・・・−・・−・−第１金属膜、 ３−・・−一一一一・ 第２金属膜、 ４−・・・・−−−−一 第３金属膜、５−・・・・−
・・・ 導電性接着剤、６−・・・−・−支持具
のエージング特性を示すグラフである。 １・・・・・−・−圧電振動板） ２・・・・−・・−・−第１金属膜、 ３−・・−一一一一・ 第２金属膜、 ４−・・・・−−−−一 第３金属膜、５−・・・・−
・・・ 導電性接着剤、６−・・・−・−支持具
Claims (1)
- 圧電振動板の縁部を固着して成る圧電振動子において
、該圧電振動板上の励振電極及び該縁部に延びる引き出
し部に第１金属膜と第２金属膜の２層の電極を形成し、
少なくとも該圧電振動板の縁部と導電性接着剤により支
持具とを固着する該２層の電極部分上に第３金属膜を形
成したことを特徴とする圧電振動子の電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14557590A JPH0437210A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 圧電振動子の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14557590A JPH0437210A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 圧電振動子の電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437210A true JPH0437210A (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=15388282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14557590A Pending JPH0437210A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 圧電振動子の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437210A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0629769A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-04 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型電子部品 |
| JPH0722894A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-24 | Rohm Co Ltd | セラミック発振素子及びこれを用いた圧電発振子 |
| EP0686310A1 (en) * | 1993-12-23 | 1995-12-13 | Motorola, Inc. | A method of compliantly mounting a piezoelectric device |
Citations (9)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS5390793A (en) * | 1977-01-19 | 1978-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Piezoelectric vibrator |
| JPS5425692A (en) * | 1977-07-29 | 1979-02-26 | Nippon Denpa Kogyo Kk | Thin film structure |
| JPS5626338U (ja) * | 1979-08-08 | 1981-03-11 | ||
| JPS5753124A (en) * | 1980-09-17 | 1982-03-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal resonator unit and its production |
| JPS5793715A (en) * | 1980-12-02 | 1982-06-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Electrode construction of piezoelectric oscillator |
| JPS5827548U (ja) * | 1981-08-15 | 1983-02-22 | マツダ株式会社 | エンジンのシリンダブロツク構造 |
| JPS58173847A (ja) * | 1982-04-07 | 1983-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 素子作製方法 |
| JPH0241510B2 (ja) * | 1985-07-02 | 1990-09-18 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP14557590A patent/JPH0437210A/ja active Pending
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