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DE69111343T2 - Bilddetektor mit Grossformat-Pixels. - Google Patents

Bilddetektor mit Grossformat-Pixels.

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DE69111343T2
DE69111343T2 DE69111343T DE69111343T DE69111343T2 DE 69111343 T2 DE69111343 T2 DE 69111343T2 DE 69111343 T DE69111343 T DE 69111343T DE 69111343 T DE69111343 T DE 69111343T DE 69111343 T2 DE69111343 T2 DE 69111343T2
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DE
Germany
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DE69111343T
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DE69111343D1 (de
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Gilles Boucharlat
Yvon Cazaux
Jean-Louis Coutures
Pierre Dautriche
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Teledyne e2v Semiconductors SAS
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Thomson SCF Semiconducteurs Specifiques
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/15Charge-coupled device [CCD] image sensors
    • H10F39/153Two-dimensional or three-dimensional array CCD image sensors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Facsimile Heads (AREA)

Description

  • Die Erfindung findet Anwendung auf Bildaufnahmevorrichtungen, die aus lichtempfindlichen Halbleitern gebildet sind, und insbesondere auf derartige Vorrichtungen, die wenigstens eine lichtempfindliche Fläche mit sogenannter "großer Abmessung" besitzt.
  • Die Halbleiter-Bildaufnahmevorrichtungen enthalten meistens entweder mehrere lichtempfindliche Elemente, die in Zeilen und Spalten angeordnet sind, oder eine einzige Zeile dieser lichtempfindlichen Elemente, die dann einen Stab bilden. Jedes lichtempfindliche Element entspricht einem elementaren Bildpunkt, wobei die Abmessungen dieses elementaren Bildpunkts mit denjenigen der lichtempfindlichen Fläche des Aufnahmeelements in Beziehung stehen. In der folgenden Beschreibung wird die lichtempfindliche Fläche eines Aufnahmeelements "Pixel" genannt. Es ist anzumerken, daß in bestimmten Fällen die Bildaufnahmevorrichtung ein einziges lichtempfindliches Element, d.h. ein einziges Pixel enthalten kann.
  • Die Pixel besitzen Abmessungen, die sich mit der Anwendung ändern. Wenn beispielsweise versucht wird, ein Bild mit großer Auflösung zu erhalten, werden Pixel mit kleinen Abmessungen (beispielsweise 10 um x 10 um) verwendet. In anderen Fällen werden Pixel mit sogenannten "großen Abmessungen" verwendet (beispielsweise in der Größenordnung von 100 um x 100 um), insbesondere in einer Anwendung auf die Kommunikation zwischen Satelliten.
  • Die lichtempfindlichen Halbleiterelemente sind üblicherweise Photodioden oder aber Elemente, die gemäß der MOS-Technologie (vom englischen "Metal Oxyde Semiconductor") verwirklicht sind. In der MOS-Technologie wird eine Kapazität verwirklicht, indem auf ein Halbleitersubstrat eine aus einem Oxid gebildete Isolierschicht aufgebracht wird, die ihrerseits von einer leitenden Schicht bedeckt ist; diese leitende Schicht bildet eine Elektrode und ist häufig aus einer Schicht aus polykristallinem Silicium verwirklicht. Gemäß dieser MOS-Technologie wird üblicherweise auf demselben Halbleitersubstrat eine Aufeinanderfolge von solchen Kapazitäten verwirklicht, die eine Aufeinanderfolge von Stufen eines Schieberegisters des Typs mit Ladungsverschiebung oder abgekürzt "CCD" (vom englischen "Charges Coupled Device") bilden kann. In diesen Ladungsverschieberegistern kann jede Stufe durch das Licht erzeugte Ladungen einsammeln und diese Ladungen speichern. Diese Ladungen werden dann von einer Stufe zur nächsten bis zu einem Leseregister verschoben, das seinerseits vom CCD-Typ ist. Somit kann jede Kapazität des NOS-Typs ein lichtempfindliches Element bilden, das unter dem Namen Photo-MOS-Element bekannt ist und in der Beschreibung mit diesem Namen bezeichnet wird.
  • In den Bildaufnehmern oder Bildgeräten mit Pixeln mit großen Abmessungen sind diese Pixel aus Photodioden gebildet. Diese Bildaufnehmer sind im allgemeinen aus N Zeilen gebildet, die jeweils N lichtempfindliche Punkte enthalten (mit N gleich oder größer als 1 und M gleich oder größer als 1). Ein flächenhaftes Bildgerät dieses Typs kann dadurch erhalten werden, daß mehrere Zeilen oder Stäbe von Photodioden nebeneinander angeordnet werden. Jeder Zeile wird ein Schieberegister des CCD-Typs zugeordnet, das ein Leseregister bildet, wovon jede Stufe einer Photodiode oder einem Pixel entspricht.
  • Zum Lesen werden die Ladungen jedes Pixels in der entsprechenden Stufe des Leseregisters (gleichzeitig für sämtliche Zeilen) verschoben, anschließend wird das Register zu einer Ausgangsschaltung entleert, welche insbesondere die Umsetzung der Ladungen in eine Spannung ermöglicht; es sind daher in diesem Fall so viele Ausgänge wie Zeilen vorhanden.
  • Gemäß einer weiteren bekannten Architektur besitzt das Bildgerät Matrixform. In diesem Fall ist einerseits jede Photodiode über ein Umschaltelement, das oftmals durch einen Transistor des MOS-Typs gebildet ist, mit einem Spaltenleiter verbunden; andererseits ist jede Spalte mit einer Stufe eines Schieberegisters des CCD-Typs verbunden. Das Lesen erfolgt gemäß einer zeilenweisen Adressierung: Für sämtliche Umschaltelemente einer Zeile wird der "Übergangs"-Zustand befohlen, derart, daß in jedem Spaltenleiter die Ladungen fließen, die von einer der adressierten Zeile zugehörigen Photodiode akkumuliert worden sind. Diese Ladungen werden in der entsprechenden Stufe des Registers gespeichert, woraufhin dann, wenn dieses letztere entleert worden ist, die Adressierung der folgenden Zeile ausgeführt wird.
  • In der Anwendung auf die Pixel mit großen Abmessungen sind die Photo-MOS-Elemente wegen der Tatsache, daß sie insbesondere den Nachteil besitzen, eine verhältnismäßig lange Zeit für die richtige Evakuierung der akkumulierten oder gespeicherten Ladungen zu erfordern, voneinander beabstandet (die Schrittweite der Photo-MOS-Elemente muß mit der Verschiebung der Ladungen kompatibel sein).
  • Bei den Photodioden tritt dieser Mangel viel weniger in Erscheinung, die Photodioden besitzen jedoch andere schwere Nachteile, die mit der hohen Kapazität in Verbindung stehen, die sie besitzen. Diese hohe Kapazität der Photodioden hat insbesondere ein sehr großes Leserauschen sowie eine sehr störende Nachwirkung oder Remanenz zur Folge.
  • Die vorliegende Erfindung schlägt eine neue Architektur von Bildaufnehmern vor, mit der wenigstens ein Pixel mit großen Abmessungen verwirklicht werden kann, ohne auf die oben angegebenen Nachteile zu stoßen. Dies wird insbesondere dadurch erhalten, daß mehrere Aufnehmer oder lichtempfindliche Elemente des Photo-MOS-Typs, d.h. des CCD-Typs verwendet werden, wovon jedes höchstens eine Abmessung besitzt, die mit einer richtigen Verschiebung der Ladungen in der zugeteilten Zeit kompatibel ist, um eine lichtempfindliche Fläche zu bilden, die einem Pixel mit großen Abmessungen entspricht, und dadurch, daß die Summierung der elementaren Informationen ausgeführt wird, die in jedem dieser Photo-MOS-Elemente enthalten sind.
  • Gemäß der Erfindung ist eine Bildaufnahmevorrichtung mit einer Gruppe lichtempfindlicher Hauptflächen, die längs N Hauptzeilen und M Hauptspalten mit N größer oder gleich 1 und M größer oder gleich 1 angeordnet sind, wobei jede lichtempfindliche Hauptfläche abhängig von der Beleuchtung Ladungen erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß jede lichtempfindliche Hauptfläche eine Gruppe aus Photo-MOS-Elementen enthält, die langs j Zwischenzeilen und i Zwischenspalten angeordnet sind, mit j größer oder gleich 2 und i größer oder gleich 1, wobei die Photo-MOS-Elemente der gleichen lichtempfindlichen Hauptfläche gleichzeitig beleuchtet werden, wobei jede Zeile der lichtempfindlichen Hauptflächen ein Leseregister enthält, das wenigstens ebensoviele Lesestufen enthält, wie Zwischenspalten in einer Hauptzeile vorhanden sind, wobei jede Aufeinanderfolge der Photo-MOS-Elemente in Richtung der Zwischenspalten ein Schieberegister bildet, das an eine Lesestufe angrenzt, und daß jede Lesestufe die Kapazität hat, die Gesamtheit der in der entsprechenden Zwischenspalte angesammelten Ladungen zu speichern.
  • Die Erfindung wird besser verständlich und weitere Vorteile, die sie hervorbringt, werden deutlich beim Lesen der folgenden Beschreibung, die anhand eines nichtbeschränkenden Beispiels mit Bezug auf die beigefügten Figuren gegeben wird, von denen:
  • - Fig. 1 ein Schema einer ersten Ausführung eines Bildaufnehmers gemäß der Erfindung ist,
  • - Fig. 2 schematisch und genauer eine in Fig. 1 gezeigte lichtempfindliche Fläche zeigt,
  • - Fig. 3 schematisch die lichtempfindliche Fläche von Fig. 2 zeigt, die mit den Summierstufen arbeitet,
  • - Fig. 4 ein Zeitablaufdiagramm ist, das die Funktionsweise der Vorrichtung der Erfindung in der in Fig. 3 entsprechenden Ausführung veranschaulicht.
  • Fig. 1 zeigt schematisch einen Bildaufnehmer 1 gemäß der Erfindung.
  • Der Bildaufnehmer 1 enthält eine Bildzone, die aus einer Gruppe von N mal N lichtempfindlichen Hauptflächen gebildet ist, wovon jede ein Pixel PX1 bis PX75 mit großer Abmessung bildet, das in der folgenden Beschreibung großes Pixel genannt wird (ein Pixel wird als Pixel mit großer Abmessung betrachtet, wenn diese Abmessungen mit einer korrekten Funktion in einem herkömmlichen Bildaufnehmer nicht verträglich sind). Die großen Pixel sind längs N Zeilen und M Spalten angeordnet. In dem in Fig. 1 gezeigten nichtbeschränkenden Beispiel sind N = 5 und m = 15, so daß folglich 5 Zeilen L1 bis L5 großer Pixel PX1 bis PX75 und 15 Spalten C1 bis C15 gezeigt sind; da jedoch in der Erfindung die Anzahl N von Zeilen gleich oder größer als 1 ist, kann der Bildaufnehmer 1 eine größere Anzahl von Pixeln oder ein einziges großes Pixel PX1 enthalten.
  • Jede Zeile L1 bis L5 enthält ein Leseregister RL1 bis RL5, das dazu bestimmt ist, die Ladungen, die auf Höhe der großen Pixel PX1 bis PX75 erzeugt werden, wenn sie einer Strahlung, beispielsweise Licht ausgesetzt sind, an eine Ausgangsschaltung 10 zu evakuieren.
  • Gemäß einem Merkmal der Erfindung ist jede lichtempfindliche Fläche oder jedes große Pixel PX1 bis PX75 aus einer matrixförmigen Gruppe von elementaren Pixeln gebildet, wie in Fig. 2 gezeigt ist.
  • Fig. 2 ist eine vergrößerte Ansicht eines in Fig. 1 umrahmten großen Pixels, beispielsweise des fünfzehnten Pixels PX15.
  • Fig. 2 zeigt die Ausführung eines großen Pixels PX15 mit Hilfe einer Gruppe von j mal i elementaren Pixeln, wovon jedes durch ein Photo-MOS-Element gebildet ist. Die Photo-MOS-Elemente oder elementaren Pixel sind längs j Zwischenzeilen und i Zwischenspalten angeordnet. Der Ausdruck "Zwischen...", der diesen Zwischenzeilen- und -spalten hinzugefügt ist, ermöglicht die bessere Unterscheidung von den durch die großen Pixel gebildeten Zeilen und Spalten, die in der folgenden Beschreibung "Hauptzeilen" L1 bis L5 und "Hauptspalten" C1 bis C15 genannt werden. Die Anzahl j ist gleich oder größer als 2, während die Anzahl i gleich oder größer als 1 ist. Tatsächlich definiert die Anzahl j die Anzahl der elementaren Pixel in einer Zwischenspalte, wobei diese Anzahl mindestens so sein muß, daß die Verschiebung der Ladungen in Abhängigkeit von der zugeteilten Zeit richtig erzielt wird; die Erfindung verliert jedoch bei einem einzigen elementaren Pixel pro Zwischenspalte ihren Nutzen, so daß die Anzahl j mindestens 2 ist.
  • In dem beschriebenen nichtbeschränkenden Beispiel, j = 20 und i = 22, sind folglich 20 Zwischenzeilen LI1 bis LI20 und 22 Zwischenspalten CI1 bis CI22 gezeigt, die 440 elementare Pixel PE1 bis PE440 bilden. Aus Gründen der bequemen Darstellung ist die Abmessung der elementaren Pixel PE1 bis PE440 in Richtung der Zwischenspalten größer als in Richtung der Zwischenzeilen gezeigt, selbstverständlich können diese elementaren Pixel jedoch eine andere Geometrie besitzen.
  • Die elementaren Pixel PE1 bis PE440 sind durch an sich herkömmliche Photo-MOS-Elemente gebildet, derart, daß sie in Richtung der Zwischenspalten CI1 bis CI22 auf herkömmliche Weise eine Aufeinanderfolge von Verschiebungsstufen bilden können. Sie können somit ein Verschiebungsregister bilden, das die Ladungen in Richtung von der ersten Zwischenzeile LI1 zu einem Leseregister RL1 verschiebt, das sich am anderen Ende der Zwischenspalten nach der zwanzigsten Zwischenzeile LI20 befindet.
  • Diese Verschiebung kann beliebig in einer zweiphasigen, dreiphasigen oder vierphasigen Betriebsart erfolgen. In dem beschriebenen nichtbeschränkenden Beispiel erfolgt sie zweiphasig mit Hilfe zweier Verschiebungssignale ST1, ST2 mit unterschiedlichen Phasen. Hierzu enthält jedes elementare Pixel PE1 bis PE440 auf an sich bekannte Weise zwei Paare von Elektroden E1, E2, die in Richtung der Zwischenspalten CI1 bis CI22 aufeinanderfolgen und in die die Verschiebungssignale ST1, ST2 eingegeben werden.
  • Das Leseregister ist ein CCD-Schieberegister. Es enthält wenigstens so viele Lesestufen EL1 bis EL22, wie Zwischenspalten CI1 bis CI22 vorhanden sind. Tatsächlich kann das Leseregister RL1 mehreren großen Pixeln, die sich in derselben Hauptzeile L1 bis L5 befinden, gemeinsam sein. Außerdem muß die Anzahl der Lesestufen wenigstens gleich der Gesamtzahl der Zwischenspalten sein, die eine Hauptzeile L1 bis L5 enthält, so daß in sämtlichen Fällen jeder Zwischenspalte eine Lesestufe entspricht.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist jede Lesestufe EL1 bis EL22 (beispielsweise hinsichtlich ihrer Abmessungen) so beschaffen, daß sie die Summe der Mengen von Ladungen speichern können, die in den verschiedenen elementaren Pixeln PE1 bis PE440 akkumuliert werden, welche die Zwischenspalte CI1 bis CI22 bilden, der die Lesestufe entspricht.
  • Unter diesen Bedingungen ist die Funktionsweise der Bildaufnahmevorrichtung 1 die folgende:
  • - Nach einer Phase der Belichtung, in der die lichtempfindliche Fläche, d.h. das große Pixel PX15 ganz oder teilweise belichtet wird, werden die Verschiebungssignale ST1, ST2 in sämtliche Elektroden E1, E2 sämtlicher elementarer Pixel PE1 bis PE440 eingegeben. Diese letzteren arbeiten dann als Register und verschieben in Richtung der Zwischenspalten die von jedem von ihnen eventuell akkumulierten Ladungen, um sie in die entsprechende Lesestufe EL1 bis EL22 zu laden; wobei das Leseregister RL1 selbstverständlich angehalten ist. Jeder Zyklus der Verschiebungssignale ST1, ST2 verschiebt die in jedem der elementaren Pixel akkumulierten Ladungen um ein Fach (d.h. um ein elementares Pixel) zum Leseregister. In dem in Fig. 2 veranschaulichten Beispiel, in dem jede Zwischenspalte 20 elementare Pixel enthält, sind 20 Zyklen der Verschiebungssignale erforderlich, um die in den elementaren Pixeln PE1 bis PE22 der ersten Zwischenzeile LI1 erzeugten Ladungen in die entsprechende Lesestufe zu verschieben. Diese 20 Zyklen der Verschiebungssignale ST1, ST2 stellen die Ladezeit TC des Leseregisters RL dar; am Ende dieser Ladezeit enthält jede Stufe des Leseregisters die Summe der Ladungen, die in jeder der entsprechenden Zwischenspalten CI1 bis CI22 erzeugt werden.
  • Am Ende dieser Ladezeit TC kann das Leseregister sämtliche Informationen, die es (in Form von Ladungen) enthält, an eine Ausgangsschaltung (mit der sie verbunden ist) entleeren. Die Ausgangsstufe kann beispielsweise auf herkömmliche Weise einen Verstärker 10 enthalten, der in Abhängigkeit von der Menge der vom Leseregister RL gelieferten Ladungen ein Spannungsausgangssignal OS liefert.
  • Das Leseregister RL1 ist vom herkömmlichen Typ, das beispielsweise unter der Wirkung von zwei Register-Verschiebungssignalen STR1, STR2 mit entgegengesetzten Phasen zweiphasig arbeitet. Am Ende der Ladezeit TC werden die beiden Verschiebungssteuersignale in das Leseregister RL1 eingegeben, außerdem werden die in jeder Lesestufe EL1 bis EL22 enthaltenen Ladungen nacheinander in die Ausgangsschaltung 10 eingegeben, während die Bildzone das folgende Bild integriert.
  • Wie wiederum in Fig. 1 gezeigt, ist für jede Hauptzeile L1 bis L5 das Leseregister RL1 bis RL5 sämtlichen großen Pixeln PX1 bis PX75, die zu derselben Zeile gehören, gemeinsam. Da jedes Pixel PX1 bis PX75 als großes Pixel PX15 ausgebildet ist, das in Fig. 2 gezeigt ist, kann die Anzahl der Lesestufen sehr groß sein.
  • Andererseits werden die in die Elektrodenpaare E1, E2 (die in Fig. 2 gezeigt sind) eingegebenen Verschiebungssignale ST1, ST2 gleichzeitig in sämtliche dieser Elektroden E1, E2 sämtlicher großer Pixel PX1 bis PX75 derselben Hauptzeile L1 bis L4 mit Hilfe von gemeinsamen (nicht gezeigten) Steuerinitteln eingegeben.
  • Wenn daher die Gesamtabmessung des Bildaufnehmers groß ist, tritt eine Beschränkung der Funktionsweise auf, die mit den aufgeteilten Zeitkonstanten der Zeilen aus polykristallinem Silicium, die auf herkömmliche Weise die Elektroden des Photo- MOS-Elements bilden, zusammenhängt.
  • Diese Beschränkung hinsichtlich der Verwendung des Bildaufnehmers kann sehr schwerwiegend sein, wenn die am Ausgang der Ausgangsschaltung 10 erwartete Datenmenge hoch ist. Es wird nämlich als Zeilenperiode eine Dauer TL gesetzt, während der nacheinander einerseits die Operation des Ladens des Leseregisters RL1 bis RL5 während der Zeit TC und anschließend das Lesen sämtlicher Informationen, die in dem Leseregister RL1 bis RL5 enthalten sind, durch die Ausgangsstufe 10 während einer Zeit tl ausgeführt werden müssen: Wenn die Ladezeit TC wegen der aufgeteilten Konstanten ansteigt, wird in gleichem Maß die Lesezeit tl der M großen Pixel, wovon jedes aus i Zwischenspalten gebildet ist, verkürzt.
  • Dies kann dazu führen, daß die Steuerfrequenz der Leseregister RL1 bis RL5 bis auf Werte ansteigt, bei denen die Funktion nur sehr schwer gewährleistet werden kann.
  • Im Hinblick auf die Minimierung der Steuerfrequenz des Leseregisters RL1 bis RL5 und gemäß einem neuartigen Merkmal der Erfindung kann zwischen das Leseregister RL1 bis RL5 und jede der Zwischenspalten sämtlicher großer Pixel, die eine Hauptzeile L1 bis L5 bilden, eine Summierstufe eingefügt werden. Diese Ausführung der Erfindung mit Summierstufen ist in Fig. 1 mit Hilfe von gestrichelt dargestellten Zeilen LM1 bis LM5 dargestellt und wird mit Bezug auf Fig. 3 genauer erläutert. Es ist außerdem anzumerken, daß in Fig. 1 außerdem in Strichlinien eine Ausgangssummierschaltung ES1 bis ES5 dargestellt ist, die zwischen jedes Leseregister RL1 bis RL5 und jede Ausgangsschaltung 10 eingefügt ist und deren Funktion ebenfalls mit Bezug auf Fig. 3 erläutert wird.
  • Fig. 3 zeigt das fünf zehnte Pixel PX15 in einer Ansicht, die derjenigen von Fig. 2 ähnlich ist, bis auf die Unterschiede, daß einerseits zwischen jede Zwischenspalte CI1 bis CI22 und jede Lesestufe EL1 bis EL22 eine Summierstufe EM1 bis EM22 eingefügt ist; und daß andererseits zwischen das Leseregister RL1 und die Ausgangsschaltung 10 eine Ausgangssummierstufe ES1 in Serie geschaltet ist.
  • Jede Summierstufe EM1 bis EM22 ist an sich vom herkömmlichen Typ und beispielsweise gemäß der MOS-Technologie ausgeführt und kann außerdem als elementares Pixel PE1 bis PE440 gebildet sein.
  • Die Funktion jeder dieser Summierstufen besteht darin, im wesentlichen ständig die Ladungen zu sammeln und zu speichern, die von sämtlichen elementaren Pixeln der Zwischenspalte, der sie jeweils entsprechen, erzeugt werden.
  • Unter diesen Bedingungen ist es ausreichend, ständig die Verschiebungssignale ST1, ST2 in die Elektroden E1, E2 einzugeben, damit in jeder Zwischenspalte CI1 bis CI22 die in der Zwischenspalte erzeugten Ladungen ständig in die entsprechende Summierstufe EM1 bis EM22 verschoben werden, während in dem mit Bezug auf Fig. 2 beschriebenen Beispiel die Verschiebung in die Zwischenspalten auf die Ladezeit TC eingeschränkt ist. Am Ende der Zeilenperiode T1, d.h. am Ende der Integrationszeit oder der Belichtungszeit werden die in jeder Summierstufe EM1 bis EM22 akkumulierten Ladungen nahezu sofort in die entsprechende Lesestufe EL1 bis EL22 verschoben. Hierzu genügt nämlich ein einziger Verschiebungsschritt, der unter der Steuerung eines Speicherverschiebungssignals STM ausgeführt wird, das gleichzeitig in sämtliche Summierstufen EM1 bis EM22 eingegeben wird.
  • Die Verschiebungssteuersignale SC1, SC2 werden anschließend in das Leseregister RL1 eingegeben, um die in jeder der Lesestufen EL1 bis EL22 enthaltenen Informationen oder Ladungen zur Ausgangsschaltung 10 zu entleeren.
  • Dieses Verfahren führt dazu, daß die Ladezeit TC soweit reduziert wird, daß sie praktisch beseitigt ist, und ermöglicht somit, daß die gesamte Zeitdauer der Zeile TL den Verschiebungen in den Leseregistern RL1 bis RL5, d.h. dem Lesen der Informationen oder Ladungen von der Ausgangsschaltung 10 zur Verfügung gestellt werden kann.
  • Auf diese Weise werden gleichzeitig die Frequenz der in die Leseregister RL1 bis RL5 eingegebenen Steuersignale und die Frequenz der in die Elektrodenpaare E1, E2, d.h. in die Bildzone eingegebenen Verschiebungssignale ST1, ST2 minimiert. Da nämlich die Verschiebung in den Zwischenspalten ständig erfolgt, kann die Dauer für eine vollständige Zwischenspalte, d.h. die Dauer der Verschiebung der j Zwischenzeilen maximal sein, was der Dauer einer Zeilenperiode TL entspricht.
  • Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist zwischen das Leseregister RL1 und die Ausgangsstufe 10 eine Ausgangssummierstufe ES1 bis ES5 eingefügt. Diese Summierstufe ermöglicht die Summierung der Ladungsmengen, die in einer gegebenen Aufeinanderfolge von Lesestufen der Leseregister RL1 bis RL5 enthalten sind und den i Zwischenspalten (i = 22 im Beispiel) eines großen Pixel entsprechen; die Ladungen können von der Summierstufe ESL in Form von Paketen geliefert werden, die jeweils die Summe der von sämtlichen Zwischenspalten eines großen Pixels gelieferten Ladungen enthalten. Folglich entspricht während der Zeit der Zeilenperiode TL der Durchsatz am Ausgang der Ausgangsschaltung 10 dem Lesen von M großen Pixeln und nicht mehr X mal i Zwischenspalten. Daraus folgt, daß das für den Verstärker der Ausgangsschaltung 10 erforderliche Durchlaßband reduziert sein kann, was zu einer erheblichen Reduzierung des "RMS"-Rauschens (vom englischen "Root Mean Square") beim Lesen am Ausgang des Bildaufnehmers führt. Die Summierstufe ES1 des Ausgangs 20 kann beispielsweise als Summierstufe EM1 bis EM22 gebildet sein. Es genügt, die Verschiebung der in ihr enthaltenen Ladungen zur Ausgangsschaltung 10 mit Hilfe eines Verschiebungssteuersignals SCT zu steuern, welches in sie mit einer bestimmten Phasenbeziehung in bezug auf die Verschiebung des Leseregisters eingegeben wird; wobei ein Verschiebungssteuersignal SCT in die Summierstufe ES1 aufgrund von i Verschiebungen im Leseregister RL1 eingegeben wird. Selbstverständlich muß die Summierstufe ES1 die Kapazität zum Speichern sämtlicher Ladungen besitzen, die von einem großen Pixel PX1 bis PX75 erzeugt werden, d.h. zum Speichern der Summe der Ladungen, die von j mal 1 elementaren Pixeln erzeugt werden.
  • Die Ausgangssummierstufe ES1 kann zwischen das Leseregister und die Ausgangsstufe 10 eingefügt sein, sowohl in der Ausführung mit Summierstufen EM1 bis EM22 als auch in der mit Bezug auf Fig. 2 beschriebenen Ausführung.
  • Fig. 4 ist ein Zeitablaufdiagramm, das durch die Zeilen A bis G anhand eines nichtbeschränkenden Beispiels die Funktionsweise des Bildaufnehmers in der Ausführung mit Summierstufen EM1 bis EM22 und der Ausgangssummierstufe ES1 bis ES5 veranschaulicht.
  • Die Zeile A zeigt die Dauer einer Zeilenperiode TL, die zwischen zwei aufeinanderfolgenden Verschiebungssignalen STM definiert ist, welche in die Summierstufen EM1 bis EM22 eingegeben werden.
  • Die Zeilen B und C zeigen eine Aufeinanderfolge von ersten bzw. zweiten Verschiebungssignalen ST1, ST2, die in die Elektrodenpaare E1, E2 jedes elementaren Pixels PE1 bis PE440 mit entgegengesetzten Phasen eingegeben werden. Unter Berücksichtigung des beschriebenen Beispiels, in dem jede Zwischenspalte 20 elementare Pixel enthält, folgen in der Zeit einer Zeilenperiode TL 20 Verschiebungssignale ST1, ST2 aufeinander.
  • Die Zeilen D und E zeigen die beiden Register-Verschiebungssignale STR1, STR2, die in die Leseregister RL1 bis RL5 eingegeben werden. Unter der Annahme, daß die Hauptzeilen L1 bis L5 der großen Pixel PX1 bis PX75 jeweils 15 große Pixel enthalten und daß jedes große Pixel 22 Zwischenspalten enthält, muß während der Zeit der Zeilenperiode TL jedes Leseregister RL1 bis RL5 15 mal 22 Verschiebungen zur Ausgangssummierstufe ES1 bis ES5 ausführen; dies muß unter der Steuerung der Register- Verschiebungssignale STR1, STR2 erfolgen. Um diese Funktion zu verwirklichen, sind die Signale STR1, STR2 in Pakete von jeweils 22 Signalen gruppiert worden.
  • Die Zeile F zeigt eine Aufeinanderfolge von Verschiebungssteuersignalen SCT, die während der Zeit der Zeilenperiode TL in die Ausgangssummierstufe ES1 bis ES5 eingegeben werden, ein Steuersignal SCT für 22 Register-Verschiebungssignale STR1 oder STR2, d.h. für jedes Paket dieser Signale, wie sie in den Zeilen D und E gezeigt sind. Jedes dieser Signale hat die Wirkung, daß in die Ausgangsschaltung 10 eine Ladungsmenge eingegeben wird, welche die von einem großen Pixel erzeugte Gesamtmenge ist.
  • Die Zeile G zeigt die Aufeinanderfolge der Ausgangssignale OS, die von der Ausgangsschaltung 10 mit der gleichen Frequenz wie die in die Ausgangssummierstufe ES1 bis ES5 eingegebenen Verschiebungssteuersignale SCT geliefert werden.

Claims (6)

1 - Bildaufnahmevorrichtung mit einer Gruppe lichtempfindlicher Hauptflächen (PX1 bis PX75), die längs N Hauptzeilen (L1 bis L5) und M Hauptspalten (CI1 bis CI15) mit N größer oder gleich 1 und M größer oder gleich 1 angeordnet sind, wobei jede lichtempfindliche Hauptfläche abhängig von ihrer Beleuchtung Ladungen erzeugt, dadurch gekennzeichnet, daß jede lichtempfindliche Hauptfläche eine Gruppe aus Photo-MOS-Elementen (PE1 bis PE440) enthält, die längs j Zwischenzeilen (LI1 bis LI20) und i Zwischenspalten (CI1 bis CI22) angeordnet sind, mit j größer oder gleich 2 und i größer oder gleich 1, wobei die Photo-MOS-Elemente der gleichen lichtempfindlichen Hauptfläche gleichzeitig beleuchtet werden, daß jede Zeile (L1 bis L5) der lichtempfindlichen Hauptflächen (PX1 bis PX75) ein Leseregister (RL1 bis RL5) enthält, das wenigstens ebensoviele Lesestufen (EL1 bis EL22) enthält, wie Zwischenspalten in einer Hauptzeile vorhanden sind, wobei jede Aufeinanderfolge der Photo-MOS-Elemente in Richtung der Zwischenspalten ein Schieberegister bildet, das an eine Lesestufe angrenzt, und daß jede Lesestufe die Kapazität hat, die Gesamtheit der in der entsprechenden Zwischenspalte angesammelten Ladungen zu speichern.
2 - Aufnahmevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl N der Hauptzeilen größer oder gleich 2 ist.
3 - Aufnahmevorrichtung nach einem der vgrhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen jede Zwischenspalte (CI1 bis CI22) und die entsprechende Lesestufe (EL1 bis EL22) eine Summierstufe (EM1 bis EM22) eingefügt ist.
4 - Aufnahmevorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Summierstufe (EM1 bis EM22) die Kapazität hat, alle Ladungen zu speichern, die in der Zwischenspalte (CI1 bis CI22) erzeugt werden, die ihr entspricht.
5 - Aufnahmevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in jeder Hauptzeile (L1 bis L5) das Leseregister (RL1 bis RL5) die Ladungen zu einer Ausgangsschaltung (10) überträgt, und daß zwischen dem Leseregister und der Ausgangsstufe eine Summierstufe (ES1 bis ES5) eingefügt ist.
6 - Aufnahmevorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Summierstufe (ES1 bis ES5) die Kapazität hat, alle Ladungen zu speichern, die durch eine lichtempfindliche Hauptfläche (PX1 bis PX75) erzeugt werden, und daß sie an die Ausgangsschaltung (10) alle Ladungen einer lichtempfindlichen Hauptfläche in Form eines einzigen Ladungspakets liefert.
DE69111343T 1990-09-07 1991-09-03 Bilddetektor mit Grossformat-Pixels. Expired - Fee Related DE69111343T2 (de)

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FR9011120A FR2666714A1 (fr) 1990-09-07 1990-09-07 Detecteur d'image a pixels de grandes dimensions.

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Publication Number Publication Date
DE69111343D1 DE69111343D1 (de) 1995-08-24
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EP (1) EP0474550B1 (de)
DE (1) DE69111343T2 (de)
FR (1) FR2666714A1 (de)

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