DE4122621A1 - Pruefkopf fuer das pruefen integrierter schaltkreise - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Prüfkopf mit einer Kontak­ tapparatur für das Kontaktieren einer Belastungsplatte mit einem inte­ grierten Schaltkreis.

Ein konventionelles Prüfsystem 10 für integrierte Schaltkreise ist in Fig. 1 dargestellt. Es umfaßt einen oder mehrere Prüfköpfe 12, angekoppelt an eine Prüfsystemkontrolleinrichtung 14. Jeder Prüfkopf 12 ist einem einzelnen Handhabungsgerät 16 bei einer Lastplatte 18 zuge­ ordnet. Die Lastplatte 18 stützt einen zu prüfenden integrierten Schalt­ kreis ab. Da die konventionellen Prüfköpfe immer nur eine Lastplatte zu einer gegebenen Zeit prüfen, gibt es einen großen Anteil an Rüstzeit zwischen aufeinanderfolgenden Prüfungen, während welcher das Handha­ bungsgerät 16 die Lastplatte 18 neu positioniert, damit eine andere in­ tegrierte Schaltung geprüft werden kann. Es besteht demgemäß eine Not­ wendigkeit für das Erhöhen der eigentlichen Meßzeit und damit des Durchsatzes des Prüfsystems.

Eine Möglichkeit für die Erhöhung des Systemdurchsatzes besteht darin, die Zeit zu verringern, die erforderlich ist, um den Prüfkopf 12 an einem Handhabungsgerät 16 anzudocken. Konventionelle Prüfköpfe 12 umfassen eine Kontaktfläche 20, die um einige Grade verdreht werden kann um ihr Zentrum in der Ebene der Kontaktfläche 20, während er im übrigen so fixiert wird, daß Bewegungen in allen anderen Richtungen verhindert werden. Im Ergebnis erfolgen im wesentlichen alle Manipulationen, die erforderlich sind für das Andocken an einem Handhabungsgerät 16 durch Manipulation des Prüfkopfes 12. Diese Technik hat sich als befriedigend erwiesen für Prüfköpfe mit bis zu 256 Stiften. Für Prüfköpfe jedoch mit 512 Stiften oder mehr wird der Kopf zu voluminös und zu schwer, um frei manipulierbar zu sein. Demgemäß erhöht sich die Andockzeit in unbefrie­ digender Weise.

Eine Möglichkeit für das Verringern der Andockzeit besteht dar­ in, automatische Manipuliereinrichtungen vorzusehen, welche den Andock­ prozeß automatisieren. Um jedoch vernünftige Andockzeiten zu erzielen, muß der Manipulator in der Lage sein, den Prüfkopf mit Genauigkeit in­ nerhalb enger Toleranzen zu bewegen. Eine solche Lösung ist teuer. Eine brauchbare und zugleich weniger teure Lösung für die Verringerung der Andockzeit und die Erhöhung des Systemdurchsatzes wäre demgemäß wün­ schenswert.

Die Lösung dieser Aufgabe gemäß der vorliegenden Erfindung er­ gibt sich aus den unabhängigen Ansprüchen.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein doppel­ seitiger Prüfkopf vorgesehen. Ein Vorteil des doppelseitigen Prüfkopfes besteht darin, daß die Todzeit zwischen den Prüfungen verkürzt wird, da eine integrierte Schaltung auf einer Seite des Kopfes geprüft werden kann, während das Handhabungsgerät auf der gegenüberliegenden Seite den integrierten Schaltkreis wafer für eine nachfolgende Prüfung erneut po­ sitioniert.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine schwimmende Kontakteinrichtung auf jeder Seite des Prüfkopfes vorgesehen. Ein Vor­ teil des schwimmenden Kontaktes besteht darin, daß die erforderlichen Manipulatortoleranzen weniger streng gehalten werden können, und damit eine weniger teure Lösung für die Verkürzung der Andockzeit ermöglicht wird. Der Kontakt wird schwimmend gehalten durch ein Aufhängungssystem, welches dem Kontakt Bewegungsfreiheit gibt sich zu verdrehen, sich in­ nerhalb seiner Ebene zu verlagern, sich parallel zu seiner Ursprungs­ ebene zu verlagern und verschwenkt zu werden relativ zu seiner Ursprungs­ ebene.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den beigefügten Zeichnungen dargestellt und werden nachfolgend unter Bezugnahme auf diese im einzelnen erläutert.

Fig. 1 ist ein Blockdiagramm eines konventionellen Prüfsystems,

Fig. 2 ist ein Blockdiagramm eines Prüfsystems mit einem dop­ pelseitigen Kopf und einer schwimmenden Kontaktapparatur gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 3 ist eine weggebrochene Darstellung eines doppelseitigen Prüfkopfes gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,

Fig. 4 ist eine teilweise weggebrochene Ansicht des doppelsei­ tigen Prüfkopfes nach Fig. 3,

Fig. 5 ist eine Draufsicht auf den Prüfkopf nach Fig. 3 mit ei­ ner schwimmenden Kontaktapparatur gemäß einer Ausführungsform der Er­ findung,

Fig. 6 ist eine Draufsicht auf die Kontaktplatte gemäß der Aus­ führungsform nach Fig. 5,

Fig. 7 ist eine Draufsicht auf das interface-pc-board zwischen der Kontaktplatte und dem Kontaktstützring gemäß der Ausführungsform nach Fig. 5,

Fig. 8 ist eine Ansicht eines Federstützelementes für das Schwimmenlassen der Kontaktplatte,

Fig. 9 ist ein Blockdiagramm und stellt die Kontakteinrichtung in komprimierter Position dar,

Fig. 10 ist ein Blockdiagramm und zeigt die Kontakteinrichtung in einer verschwenkten Position, und

Fig. 11 ist eine Ansicht einer Lastplatte.

In Fig. 2 ist das Blockdiagramm eines Prüfsystems 30 mit einem Paar von doppelseitigen Prüfköpfen 32 dargestellt. Eine Prüfsystemkon­ trolleinheit 34 bewirkt die Systemsteuerung für das Manipulieren jedes Prüfkopfes 32 zum Andocken an einem entsprechenden Paar von Handha­ bungsgeräten 36, 38. Entsprechende Lastplatten 40, 42 sind an den ent­ sprechenden Handhabungsgeräten 36, 38 positioniert. Typischerweise wird ein entsprechender Halbleiter wafer mit einer Mehrzahl integrierter Schaltkreise (IC), die zu prüfen sind, verbunden mit einer entsprechen­ den Lastplatte 40, 42. Im Betrieb wird eine integrierte Schaltung auf einem wafer, angekoppelt an eine Lastplatte 40, geprüft, während ein anderer wafer auf der gegenüberliegenden Lastplatte 42 erneut positio­ niert wird. Die entsprechenden Handhabungsgeräte 36, 38 positionieren die zugeordneten Lastplatten 40, 42 für die Prüfung des entsprechenden IC. Während demgemäß eine Seite des Prüfkopfes außer Betrieb ist, kann die andere Seite des Prüfkopfes in Betrieb sein. Demgemäß wird die Tod-Zeit des Systems 30 verringert und damit der Durchsatz des Systems erhöht.

Gemäß Fig. 3 und 4 weist der doppelseitige Prüfkopf 32 eine zentrale hohle zylindrische Trommel 44 und zwei äußere Plattenbaugruppen 46, 48 auf. Die Plattenbaugruppen 46, 48 sind an zugeordneten Enden der Trommel 44 angeordnet und bilden die entsprechenden Seiten des doppel­ seitigen Prüfkopfes 32. Die Trommel 44 umfaßt eine Mehrzahl ausgefluch­ teter Längsöffnungen 50, die in gleichförmigem Abstand um ihren Um­ fang herum angeordnet sind. Jede Öffnung dient zur Aufnahme eines Ver­ binders 51 (Fig. 4), der eine entsprechende Prüfschaltungskarte 53 auf­ nimmt. Die Prüfschaltungskarten 53 werden an Ort und Stelle zwischen den Platten 46, 48 befestigt, so daß sie sich radial einwärts zu der ent­ sprechenden Öffnung 50 erstrecken.

An der einen Plattenbaugruppe 46 ist eine Kontaktbaugruppe 52 montiert. An der anderen Plattenbaugruppe 48 ist eine andere Kontakt­ baugruppe 54 montiert. Jede Kontaktbaugruppe 52, 54 umfaßt eine Kon­ taktplatte 56, ein Distanzstück 58, eine Kontaktschaltungskarte 60 und einen Stützring 62. Ein System von Federbeinen 63 ist zwischen dem Stützring 62 und einer Plattenbaugruppe 46, 48 so angeordnet, daß die Position der Kontaktplatte 56 relativ zu dem Prüfkopf 32 schwimmend ist.

In Fig. 5 ist eine Draufsicht auf den Testkopf 32 gezeigt und illustriert eine der Doppelseiten einschließlich der Testkopfplatten­ baugruppe 46 und der Kontaktierplatte 56. Die Armstruktur 64, die zu der Plattenbaugruppe 46 führt, stellt die Verbindung zu der zentralen zyl­ indrischen Trommel 44 (Fig. 3) her. Die elektrische Verdrahtung von der Systemkontrolleinheit 34 (Fig. 2) erstreckt sich durch den Arm 64 in die Trommel 44 zu den Prüfkarten, die rings um die Peripherie der Trommel 44 angeordnet sind. Die elektrische Kopplung zwischen den Prüfkarten und den Kontaktierplatten 56, 58 wird durch entsprechende Kontaktierschalt­ kreiskarten 60 hergestellt.

Gemäß Fig. 5 und 6 ist die Kontaktierplatte 56 als ein Kreisring dargestellt. Der Ring ist am Außendurchmesser dünnner als am Innendurchmesser. Im dickeren Abschnitt sind zwei konzentrische Ringe von Aufnahmen ausgebildet. Der äußere Ring von Aufnahmen umfaßt eine Mehrzahl von Versorgungsleitungskontaktaufnahmen 66. Jede Aufnahme 66 erstreckt sich radial einwärts und dient der Aufnahme eines Satzes von Versorgungsleitungskontakten 68. Der innere Ring von Aufnahmen umfaßt eine Mehrzahl von Prüfpunktkontaktaufnahmen 70. Jede Aufnahme 70 er­ streckt sich radial einwärts und nimmt entweder einen Satz von Prüf­ punktkontakten oder eine Füllung auf. Die Füllungen dichten die Aufnahme bei Abwesenheit eines Prüfpunktkontaktes ab. Die Prüfpunktkontakte be­ wirken den elektrischen Kontakt zwischen dem Prüfkopf 32 und einer Lastplatte 40 oder 42. Der Prüfkopf 32 wird in physischen Kontakt mit der Lastplatte 40 oder 42 derart angedockt, daß die Kontaktierungsplat­ ten 56 entsprechender Kontakte 52, 54 generell parallel stehen und im Eingriff mit entsprechenden Lastplatten 40, 42.

In Fig. 7 ist die Kontaktierschaltkreisplatte 60 gezeigt. Die Prüfpunktaufnahmen 70 und die darin untergebrachten Kontakte der Kon­ taktierplatte 56 sind darauf montiert zur Ausbildung eines elektrischen Kontakts mit der Kontaktierschaltkreisplatte 60. In ähnlicher Weise sind auch die Versorgungsleitungskontakte 68 montiert bezüglich der Kontak­ tierplatte 56 zur Bildung eines elektrischen Kontakts mit der Kontak­ tierschaltungskarte 60. Die Schaltungskarte 60 ist mit den Prüfkarten 53 durch interne Verdrahtung gekuppelt, und den Prüfkartenverbindern 51 zum Aufbau einer elektrischen Schaltung von der Systemkontrolleinheit 34 zu der Kontaktierplatte 56.

Fig. 8 zeigt ein Federbein 63. Das Aufhängungssystem umfaßt acht Federbeine 63, angeschlossen zwischen dem Stützring 62 und der zugeord­ neten Plattenbaugruppe 46 bzw. 48 läßt die Kontaktierplatte 56 hin­ sichtlich ihrer Position schweben relativ zu dem Prüfkopf 32 und ermög­ licht der Kontaktierplatte 56 Bewegungsfreiheit für Kompression, Er­ streckung, Kippen oder Versatz. Jedes Federbein 63 umfaßt Anschlußstücke 90 bzw. 92 für mechanische Ankopplung an einer Plattenbaugruppe 46, 48 bzw. einem Stützring 62. Der Verbinder 92 umfaßt einen Verlängerungs­ schaft 94 in einem Zylinder 96, der eine Feder 98 aufnimmt. Der Schaft 94 ist verbunden mit einem Sprengring 100, welcher den Schaft 94 in­ nerhalb des Zylinders 96 während der Relativbewegung des Schaftes 94 hält. Der Verbinder 90 wird an dem Zylinder 96 verankert, kann jedoch auch einen Schaft umfassen und sich ebenso wie der Schaft 94 relativ zum Zylinder 96 bewegen.

Gemäß Fig. 9 und 10 ist die Kontaktierbaugruppe 52 bzw. 54 im komprimierten bzw. abgewinkelten Zustand dargestellt. Vorzugsweise kann die Kontaktierbaugruppe 52 (54) in Vertikalrichtung um plus oder minus 6 bis 7 mm verlagert werden unter Expansion bzw. Kompression. Durch Kom­ primieren der Federbeine 63 auf einer Seite kann die Kontaktierbaugruppe 52 (54) verschwenkt oder abgewinkelt werden. Seitlicher Versatz der Kontaktierbaugruppe 52 (54) wird erzielt durch gleichzeitige Kompression einiger Federbeine und Ausfahren anderer Federbeine. Vorzugsweise ist ein seitlicher Versatz von plus oder minus 6 bis 7 mm erzielbar.

In Fig. 3 ist die Verbindung zwischen einem Federbein 63 und dem Kontaktierstützring 62 gezeigt. Der Verbinder 92 kann, wie dargestellt, sich innerhalb eines Schlitzes 104 auf dem Ring 62 bewegen. Da ein Schlitz 104 für jedes Federbein 63 vorgesehen ist, kann die Kontaktier­ baugruppe 52 relativ zu der entsprechenden Plattenbaugruppe 46 oder 48 verdreht werden. Vorzugsweise kann die Kontaktierbaugruppe 52 um bis zu 7 Grad verdreht werden.

Demgemäß hat die Kontaktierbaugruppe Bewegungsfreiheit für Ro­ tation, Versatz, Kompression, Expansion und Kippen. Gemäß der bevorzug­ ten Ausführungsform kann irgendein Punkt der Kontaktierplatte 56 bewegt werden relativ zu einer Ursprungsposition in eine neue Position um plus oder minus 6 bis 7 mm in jeder Richtung. Die maximale Positionsänderung kann in verschiedenen Ausführungsformen unterschiedlich sein, obwohl sich plus oder minus 6 mm als hinreichend erwiesen hat für das Erzielen einer akzeptierbaren Andockzeit.

In Fig. 11 ist eine Musterlastplatte 40 gezeigt. Die Lastplatte 40 umfaßt einen Satz von Ausfluchtungslöchern 74 zur Aufnahme von Aus­ fluchtungszapfen 76, die an der Kontaktierplatte 56 angeordnet sind. Beim Andocken des Prüfkopfes 32 an der Lastplatte 40 werden die Zapfen 76 und die Löcher 74 zusammengefügt.

Das Andocken wird vervollständigt durch Sichern der Lastplatte 40 an der Kontaktierplatte 56. Gemäß Fig. 5 und 6 umfaßt die Kon­ taktierplatte 56 ein Paar von konzentrischen Gummidichtungsringen 80, 82. Vier Öffnungen 84 sind auf der Kontaktierplatte 56 nahe dem inneren Dichtungsring 80 und zwischen den beiden Ringen 80, 82 vorgesehen. Wei­ tere vier Öffnungen 86 sind auf der Kontaktierplatte 56 nahe dem äußeren Dichtungsring 82 zwischen den Dichtungsringen 80, 82 ausgebildet. Die Öffnungen 84, 86 nehmen Vakuumleitungen auf, die an eine Saugpumpe oder dergleichen angeschlossen sind. Im Betrieb erzeugt die Pumpe eine Saug­ kraft zwischen der Kontaktierplatte 56 und der Lastplatte 40 innerhalb des ringförmigen Bereiches, begrenzt von dem inneren und dem äußeren Dichtungsring 80 bzw. 82. Demgemäß wird die Lastplatte 40 in Kontakt gehalten mit der Kontaktierplatte 56 durch eine Saugkraft. Während des Normalbetriebes des Prüfsystems 30 wird das Andocken erzielt an der Lastplatte 40 bzw. 42 mittels der Handhabungsgeräte 36 bzw. 38 unter Verwendung eines Manipulators (Teil der Kontrolleinheit 34) zum Bewegen des Prüfkopfes 32. Zum Ermöglichen des Andockens an beiden Lastplatten 40, 42 sind die Kontaktierbaugruppen 52, 54 schwimmend. Die schwimmende Natur vereinfacht die Toleranzanforderungen an die Steuerungen der Be­ wegungen des Manipulators.

Wenn der Prüfkopf 32 einmal an beiden Lastplatten angedockt hat, positioniert das Handhabungsgerät 36 einen integrierten Schaltkreis für die Prüfung. In ähnlicher Weise positioniert auch das Handhabungsgerät 38 einen integrierten Schaltkreis für die Prüfung. Wie beschrieben, sind diese integrierten Schaltkreise typischerweise Teil eines Halbleiter wafers mit mehreren zu prüfenden integrierten Schaltkreisen. Die Kon­ trolleinheit 34 prüft den integrierten Schaltkreis auf Lastplatte 40. Nach Beendigung der Prüfung prüft die Kontrolleinheit den integrierten Schaltkreis auf Lastplatte 42, und während dieser geprüft wird, posi­ tioniert das Handhabungsgerät 36 den Halbleiter auf der Lastplatte 40 erneut, um einen anderen integrierten Schaltkreis auszuwählen. Nach Beendigung der Prüfung des Schaltkreises auf Lastplatte 42 durch die Kontrolleinheit 34 prüft sie den jetzt ausgewählten Halbleiter auf Lastplatte 40. Während dieser Zeit positioniert das Handhabungsgerät 38 den Halbleiter wafer auf Lastplatte 42 erneut zur Auswahl eines weiteren integrierten Schaltkreises. Durch Hin- und Herschalten der Prüfung von einer Seite des Kopfes 32 zur anderen wird der Systemdurchsatz vergrö­ ßert. Durch das Schwimmenlassen der Kontaktierbaugruppen 52, 54 ist das Andocken auf beiden Seiten des Prüfkopfes 32 innerhalb akzeptabler An­ dockzeiten möglich.

Obwohl eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dargestellt und beschrieben wurde, können verschiedene Alternativen, Modifikationen und Äquivalente zum Einsatz gelangen. Beispielsweise können die Last­ platten 40 alternativ in Eingriff mit der Kontaktierplatte 56 gehalten werden durch lösbare Verriegelungen, magnetische Anziehungskraft oder entgegengesetzt gerichtete Kräfte. Demgemäß soll der Schutzumfang nur durch die beigefügten Patentansprüche definiert sein.

Claims (20)

1. Prüfkopf für ein Prüfsystem für integrierte Schaltkreise, wel­ ches System eine integrierte Schaltung, angekoppelt an eine Lastplatte, prüft, welcher Prüfkopf umfaßt:
eine Kontaktieranordnung für die Ausbildung einer elektrischen Schnittstelle von dem Prüfkopf zu der Lastplatte,
Mittel zum Abstützen der Kontaktieranordnung derart, daß ihr Bewegungsfreiheit zur Bewegung innerhalb einer ersten Ebene gegeben wird, definiert durch die Kontaktieranordnung relativ zu dem Prüfkopf und zur Bewegung aus dieser ersten Ebene heraus, und
Mittel für das Halten der Kontaktiereinrichtung und der Last­ platte in physischem Kontakt.

2. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Abstützmittel der Kontak­ tieranordnung Bewegungsfreiheit relativ zu dem Prüfkopf verleihen be­ züglich Verdrehung, Kippen, seitlicher Verlagerung und vertikaler Ver­ lagerung.

3. Prüfkopf nach Anspruch 1 mit zwei Seiten einer entsprechenden Kontaktieranordnung und entsprechenden Abstützmitteln auf jeder Seite des Prüfkopfes zum Bereitstellen einer Schnittstelle zu einer zugeord­ neten Lastplatte an jeder Seite des Prüfkopfes, wobei ein Paar von Ab­ stützmitteln der zugeordneten Kontaktieranordnung Bewegungsfreiheit gibt zum Erleichtern des gleichzeitigen Kontakts zwischen jeweils einer Lastplatte und jeweils einer Kontaktieranordnung auf jeder Seite.

4. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Abstützmittel eine Mehr­ zahl von Federbeinen umfassen.

5. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Abstützmittel der Kon­ takteinrichtung Bewegungsfreiheit ermöglichen zur Bewegung derart, daß ein Punkt auf der Kontaktieranordnung beweglich ist innerhalb der Be­ grenzungen einer Kugel mit einem Durchmesser von 6 bis 7 mm, zentriert auf diesen Punkt.

6. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Kontaktieranordnung ver­ drehbar ist innerhalb eines Verdrehwinkels von etwa 7 Grad.

7. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Kontaktieranordnung seit­ lich innerhalb der ersten Ebene um plus oder minus 6 bis 7 mm verlager­ bar ist.

8. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Kontaktieranordnung in jeder Richtung um etwa 3 Grad kippbar ist.

9. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Kontaktieranordnung aus der ersten Ebene um plus oder minus 6 bis 7 mm parallel zu der ersten Ebene verlagerbar ist.

10. Prüfkopf nach Anspruch 1, bei dem die Haltemittel ein Mittel umfassen zum Erzeugen einer Saugkraft an der Kontaktieranordnung zum Halten der Lastplatte an der Kontaktieranordnung.

11. Doppelseitiger Prüfkopf für ein Testsystem für integrierte Schaltkreise, das eine integrierte Schaltung, angekoppelt an eine Last­ platte, prüft, wobei der Prüfkopf umfaßt:
eine erste Kontaktieranordnung auf einer ersten Seite des Prüf­ kopfes zum Herstellen einer elektrischen Schnittstelle zu einer ersten Lastplatte, und eine zweite Kontaktieranordnung an einer zweiten Seite des Prüfkopfes zum Herstellen einer elektrischen Schnittstelle zu einer zweiten Lastplatte,
Mittel zum Abstützen einer der ersten und zweiten Kontaktanord­ nungen derart, daß der Kontaktanordnung Bewegungsfreiheit zur Bewegung innerhalb einer Ausgangsebene gegeben wird, definiert durch die eine Kontaktanordnung, relativ zu dem Prüfkopf und aus dieser Ursprungsebene sich heraus zu bewegen, und
Mittel für das gleichzeitige Halten der ersten und zweiten Lastplatten an der ersten bzw. zweiten Kontaktieranordnung.

12. Doppelseitiger Prüfkopf nach Anspruch 11, bei dem die Abstütz­ mittel ein erstes Abstützmittel umfassen und ferner ein zweites Mittel für das Abstützen der ersten und der zweiten Kontaktieranordnung umfas­ sen zum Ermöglichen der Bewegungsfreiheit der anderen Kontaktieranord­ nung zum Verlagertwerden innerhalb einer ersten Ebene, definiert durch die andere Kontaktieranordnung, relativ zu dem Prüfkopf, und zum Her­ ausverlagertwerden aus der ersten Ebene.

13. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Haltemittel ein Mittel zum Erzeugen einer Saugkraft umfassen.

14. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Abstützmittel eine Mehr­ zahl von Federbeinen umfassen.

15. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die ersten und zweiten Ab­ stützmittel der ersten bzw. der anderen Kontaktieranordnung Bewegungs­ freiheit ermöglichen zum Verdrehen, Kippen, seitlichen Verlagern und vertikalen Verlagern relativ zu der Ursprungsebene bzw. ersten Ebene.

16. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die ersten Abstützmittel der einen Kontaktieranordnung Bewegungsfreiheit ermöglichen zum Bewegen derart, daß ein Punkt auf der Kontaktieranordnung beweglich ist inner­ halb der Begrenzungen einer Kugel mit einem Durchmesser von 6 bis 7 mm, zentriert auf den genannten Punkt.

17. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Kontaktieranordnung sich innerhalb eines Drehwinkels von etwa 7 Grad verdrehen kann.

18. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Kontaktieranordnung in­ nerhalb der ersten Ebene um plus oder minus 6 bis 7 mm verlagerbar ist.

19. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Kontaktieranordnung in jeder Richtung um etwa 3 Grad kippbar ist.

20. Prüfkopf nach Anspruch 12, bei dem die Kontaktieranordnung aus der ersten Ebene herausbewegbar ist um plus oder minus 6 bis 7 mm und parallel zu der ersten Ebene.