DE3538442C2

DE3538442C2 -

Info

Publication number: DE3538442C2
Application number: DE3538442A
Authority: DE
Inventors: Toshio Fujisawa Kanagawa Jp Ando; Toshikazu Zama Kanagawa Jp Nishihara; Akihiro Sagamihara Kanagawa Jp Kimura
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1984-10-29
Filing date: 1985-10-29
Publication date: 1990-06-13
Also published as: US4743348A; KR860003590A; DE3538442A1; KR890004257B1; US4711810A

Description

Die Erfindung betrifft ein magnetisches Medium für die Aufzeichnung mit waagerechter Magnetisierung, umfassend einen nichtmagnetischen Träger und einen auf wenigstens einer Seite des Trägers ausgebildeten und aus im wesentlichen einer Co-Cr-Legierung mit einem Gehalt von 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoffatomen bestehenden magnetischen Aufzeichnungsfilm mit einer Dicke unterhalb 5 µm, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen magnetischen Mediums.

Aus dem Stand der Technik ist bekannt, daß in neuerer Zeit für die Aufzeichnung mit hoher Dichte Magnetaufzeichnungsmedien unter Verwendung von dünnen metallischen Filmen entwickelt und vorgeschlagen wurden. Die dünnen Filme werden auf einem Träger durch Sputtering, d. h. Zerstäubung, Elektroplattieren oder stromloses Plattieren von magnetischen Materialien wie z. B. Co, Co-Ni, Co-P, Co-Ni-P und dergl. hergestellt.

Dieser Typ von Magnetaufzeichnungsmedium besitzt jedoch nur einen geringen Korrosionswiderstand und ist nicht zur Verwendung unter Bedingungen einer hohen Feuchtigkeit geeignet. Zur Vermeidung hiervon wurde vorgeschlagen, eine korrosionsbeständige Schicht auf der dünnen Magnetschicht aufzutragen. Dies ist jedoch nicht vorteilhaft wegen des Kostenanstieges als Folge der zusätzlichen Stufe der Ausbildung der korrosionsbeständigen Schicht. Darüber hinaus erhöht das Vorsehen der Schicht den Abstand von einem Magnetkopf, wodurch unerwünschterweise eine Erniedrigung der Wiedergabeausgangsleistung hervorgerufen wird.

Es haben nun Co-Cr-Legierungen wegen der guten Korrosionsbeständigkeit Aufmerksamkeit gefunden. Co-Cr-Legierungen besitzen ebenfalls eine gute vertikale, magnetische Anisotropie, so daß diese Legierungen intensiv auf ihre Eignung für Aufzeichnungssysteme mit vertikaler oder senkrechter Magnetisierung untersucht wurden, welche nur ein geringes Problem der Selbst-Entmagnetisierung beinhalten.

Zur Verbesserung der vertikalen bzw. senkrechten, magnetischen Anisotropie wurde eine Hochgeschwindigkeitsabscheidungsmethode vorgeschlagen, bei welcher magnetische Co-Cr- Körnchen bei hoher Geschwindigkeit, z. B. 500 bis 800 nm/min in einer Atmosphäre eines Gases mit einem Gehalt von 6,66 × 10^-4 Pa an molekularem Sauerstoff ausgeschieden bzw. abgelagert wurden, wodurch ein Co-Cr-Film mit senkrechter Magnetisierung mit einem Gehalt von etwa 2 bis 8 Atomprozent an abgespaltenem Sauerstoff auf einem Träger ausgebildet wurde, siehe offengelegte japanische Patentanmeldung No. 59-17 216.

Dieser zuvor beschriebene Typ von magnetisches Medium ist jedoch nachteilig, da bei Anwendung in einer Aufzeichnungs- und Wiedergabeapparatur unter Verwendung beispielsweise eines Magnetringkopfes und insbesondere eines Flugringkopfes die Wiedergabeausgangsleistung gering wird. In diesem Hinblick ist ein magnetisches Aufzeichnungsmedium nicht notwendigerweise im Hinblick auf die Kenneigenschaften für Aufzeichnung und Wiedergabe zufriedenstellend.

Weiterhin ist aus der DE-OS 32 41 775 ein magnetischer Aufzeichnungsträger bekannt, der aus einer eine Sauerstoffatome enthaltenden Co-Cr-Legierung als magnetischer Schicht auf einem nichtmagnetischen Träger besteht. Der Gehalt der Sauerstoffatome zu den Metallatomen in der Legierung nimmt in der Richtung von der dem Schichtträger nächsten Seite zu der Oberfläche der Aufzeichnungsschicht allmählich ab, ausgenommen den in unmittelbarer Nähe der Oberfläche der Aufzeichnungsschicht liegenden Bereich. Gemäß dieser DE-OS 32 41 775 wird die magnetische Schicht aus der Co-Cr-Legierung vorteilhafterweise durch Aufdampfen mit einem schrägen Einfallswinkel gebildet, bei welchem die Kristallkörner schräg zur Richtung des Einfalls bzw. der Trägeroberfläche wachsen. Durch diese Kristallstruktur mit schrägem Wachstum wird die magnetische Anisotropie in einem gewissen Ausmaß längs der horizontalen Richtung verbessert, jedoch verbleibt eine Anisotropie längs der senkrechten Richtung im Film, was gemäß der vorliegenden Erfindung vermieden werden soll. Außerdem wird bei dem Verfahren der DE-OS 32 41 775 der Sauerstoffpartialdruck im Bereich von 1,33 bis 1,60 Pa gehalten, d. h. auf einem sehr niedrigen Wert. Der gemäß dieser DE-OS 32 41 775 hergestellte Film aus der Co-Cr-Legierung ist daher höchstwahrscheinlich kristallin. Weiterhin ist in der EP 01 20 413 Bl ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit senkrechter Magnetisierung beschrieben, das jedoch Nachteile bei der Wiedergabe unter Anwendung eines Magnetringkopfes oder eines Flugringkopfes aufweist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines magnetischen Mediums für die Aufzeichnung mit waagerechter bzw. horizontaler Magnetisierung, bei welchem amorphe Co-Cr-Legierungen als magnetische Aufzeichnungsschicht verwendet werden und bei dem die Wiedergabe von Informationen bei einem hohen Ausgangspegel möglich ist, wobei das magnetische Medium für eine Aufzeichnung bei waagerechter Magnetisierung geeignet ist, welche insbesondere bei Aufzeichnungs- und Wiedergabeapparaturen unter Anwendung eines Flugringkopfes geeignet ist.

Weiterhin ist ein Verfahren zur Herstellung eines solchen magnetischen Mediums des zuvor beschriebenen Typs Aufgabe der Erfindung.

Zur Lösung dieser Aufgabe dient das erfindungsgemäße magnetische Medium, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß die Co-Cr-Legierung amorph ist, der magnetische Aufzeichnungsfilm eine Dicke von 0,05 bis 0,3 µm besitzt, die amorphe Co-Cr-Legierung eine Zusammensetzung aus 71 bis 78 Atomprozent Co, 15 bis 19 Atomprozent Cr und 5 bis 15 Atomprozent 0 aufweist, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen magnetischen Mediums, welches dadurch gekennzeichnet, ist, daß die Dampfablagerung in einer Atmosphäre aus Sauerstoffgas mit einem Partialdruck von 0,133 bis 0,399 Pa und einem Verhältnis des Sauerstoff- Partialdruckes zu dem Gesamtdruck in der Atmosphäre im Bereich von 2 bis 7 : 100 bei einer Sputteringrate von etwa 0,05 bis 0,15 µm/min durchgeführt wird.

Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert, wobei die einzige Figur in der Zeichnung eine graphische Darstellung der magnetischen Eigenschaften eines erfindungsgemäßen magnetischen Aufzeichnungsmediums in Beziehung zu dem Sauerstoffgasdruck wiedergibt.

Im folgenden wird die Erfindung und Ausführungsformen hiervon näher erläutert.

Die gemäß der Erfindung verwendeten Co-Cr-Legierungen enthalten 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoff abgesondert und sie sind von amorpher Natur. Der Co-Gehalt in der für diese Zwecke verwendeten Legierung liegt bei 71 bis 78 Atomprozent. Der Gehalt an Cr liegt bei 15 bis 19 Atomprozent. Die magnetische Aufzeichnungsschicht aus der Co- Cr-Legierung wird auf einem nichtmagnetischen Träger in einer Dicke von 0,05 bis 0,3 µm ausgebildet.

Der nichtmagnetische Träger kann aus Platten aus Glas, Kunststoff, Keramikmaterial oder Metall oder aus Folien oder Bändern aus diesen Materialien, wie sie für diese Zwecke eingesetzt werden, bestehen. Der Träger kann gegebenenfalls mit NiP plattiert oder anodisiert sein, um die Haftfestigkeit eines abgelagerten Films zu verbessern.

Der magnetische Film aus amorpher Co-Cr-Legierung, welche 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoff enthält, besitzt einen isolierten Wiedergabeimpuls, der kein Doppelhöckerimpuls ist, was zeigt, daß der magnetische Film kein senkrechter Magnetisierungsfilm wie bei den zuvor beschriebenen Medien auf Basis der bekannten Co-Cr-Legierungen ist. Im Gegensatz hierzu wurde gefunden, daß der isolierte Wiedergabeimpuls ein Einspritzenimpuls ist, der charakteristisch für Filme mit waagerechter Magnetisierung ist. Daher kann nicht daran gezweifelt werden, daß der magnetische Film mit der amorphen Legierung mit einem Gehalt von 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoffatomen zum Typ mit waagerechter bzw. horizontaler Magnetisierung gehört.

Wenn der Wiedergabeausgangspegel unter Verwendung eines Ringkopfes mit einer Flughöhe von 0,25 µm bestimmt wird, besitzt der Pegel einen so hohen Wert von etwa 0,8 mV oder darüber.

Diese Art der magnetischen Schicht aus amorpher Co-Cr- Legierung kann gemäß einem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt werden, bei welchem ein Co-Cr-Target im Vakuum nach einer Dampfphasenabscheidungstechnik abgelagert wird, beispielsweise durch Sputtering bzw. Zerstäubung in einer Sauerstoffatmosphäre unter Bedingungen des Druckes von etwa 0,133 bis 0,399 Pa bei einer Zerstäubungsrate von etwa 0,05 bis 0,15 µm/min. Die Zerstäubungsrate bzw. Sputteringrate liegt vorzugsweise im Bereich von 0,09 bis 0,12 µm/min.

Besonders bevorzugt sollte die Beziehung zwischen dem Sauerstoffgasdruck p O₂ (Pa) und der Zerstäubungsrate SR (µm/min) die folgende Ungleichung erfüllen:

1,33 Pa/(µm/min) p O₂/SR 3,99 Pa/(µm/min)

Selbstverständlich wird neben dem Sauerstoffgas ein Inertgas wie Argon zu der Gasatmosphäre bei einem Druck von 1,86-20,0 Pa zugesetzt, wobei das Verhältnis des Partialdruckes des Sauerstoffs zu dem Gesamtdruck in der Abscheidungsatmosphäre so eingeregelt wird, daß es im Bereich von 2 bis 7 : 100 liegt. Die Temperatur des Trägers ist ebenfalls so einregelbar, daß sie vorteilhafterweise im Bereich von Zimmertemperatur bis 300°C liegt.

Wenn die Vakuumablagerung unter Anwendung einer Sputteringtechnik bzw. Zerstäubungstechnik durchgeführt wird, kann die bei der Durchführung der Erfindung angewandte Sputteringtechnik ein sogenanntes Zerstäuben bei hoher Geschwindigkeit und niedriger Temperatur sein, bei welchem der Temperaturanstieg eines Trägers bis zu einem gewissen Ausmaß unterdrückt werden kann, während die Zerstäubungsrate erhöht wird.

Diese Sputteringtechnik wird in den Beispielen näher erläutert.

Im allgemeinen kann magnetische Anisotropie in zwei Gruppen eingeteilt werden, einschließlich einer magnetischen Anisotropie der Gestalt und einer Magnetanisotropie der Kristallinität. Bei dünnen Magnetfilmen ist die magnetische Anisotropie der Gestalt in der Richtung der Ebene des dünnen Magnetfilmes wegen der großen Fläche relativ zur Dicke des Filmes. Jedoch wird ein dünner Co-Cr-Film üblicherweise so erhalten, daß er eine hexagonaldichte Packungsstruktur aufweist und so orientiert ist, daß die C-Achse, welche eine Achse der leichten Magnetisierung ist, senkrecht zu der Ebene steht. Als Ergebnis hiervon wird die magnetische Anisotropie der Kristallinität in der senkrechten Richtung größer als die magnetische Anisotropie der Gestalt. Dies ist der Grund dafür, daß dünne Co-Cr-Filme als "senkrechte" Magnetfilme dienen. Der erfindungsgemäß hergestellte Film wird aus einer Co-Cr-Legierung hergestellt, in welcher Sauerstoff eingebaut ist, so daß die hexagonal dichte Packungsstruktur in eine amorphe Struktur umgewandelt wird, wodurch die magnetische Anisotropie der Kristallinität bzw. des Kristallzustandes reduziert wird. Hierdurch wird die magnetische Anisotropie der Gestalt in der Richtung der Ebene überwiegend und auf diese Weise wird ein horizontaler Magnetfilm gebildet. Der Grund dafür, daß bekannte Filme aus Co-Cr-Legierung mit einem Gehalt an Sauerstoff, wie sie zuvor beschrieben wurden, zum Typ mit vertikaler oder senkrechter Magnetisierung gehören, ist nicht bekannt, jedoch sind die bekannten Filme deutlich kristallisiert, was sich auch daraus ergibt, daß die Grenzen der Kristallkörner in der zuvor genannten offengelegten japanischen Patentanmeldung diskutiert werden.

Die Erfindung wird mehr ins Einzelne gehend anhand der Beispiele erläutert.

Beispiel 1

Ein Co-Cr-Target wurde dem Sputtering unter Bedingungen eines Ar-Gasdruckes von 13,3 Pa, einer Stromflußdichte von 1,0 W/cm², einer Sputteringsrate von 13 nm/min und einem Sauerstoff-Partialdruck von 0,266 Pa unterzogen, wodurch ein Film aus einer magnetischen Co-Cr-Legierung mit einer Dicke von 0,20 µm auf einem nichtmagnetischen Träger in Form einer Platte ausgebildet wurde.

Der auf der Magnetplatte ausgebildete, dünne Film aus Co-Cr-Legierung wurde der Bestimmung der Zusammensetzung unterzogen, wobei gefunden wurde, daß die Zusammensetzung 17 Atomprozent Cr, 9,7 Atomprozent O₂ und als Rest Co war. Es wurde gefunden, daß die Magnetplatte eine Koerzitivität von 39 kA/m in der Richtung der Ebene des Mediums und ein Quadratverhältnis von 0,65 besaß. Es wurde gefunden, daß die magnetische Schicht nicht kristallin, sondern amorph war.

Die Magnetplatte wurde dann einem Korrosionsbeständigkeitstest unterzogen, bei welchem sie 200 h unter Bedingungen einer Temperatur von 60°C und einer relativen Feuchtigkeit von 90% ausgesetzt wurde. Es wurde jedoch keine Veränderung der Platte festgestellt, so daß die Platte sehr korrosionsbeständig war.

Der isolierte Wiedergabeimpuls der Platte wurde mit dem Ergebnis bestimmt, daß der Wiedergabeimpuls ein Einzelspitzenimpuls war, wie er charakteristisch für einen Film mit horizontaler Magnetisierung ist.

Die Magnetplatte wurde in ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit einem Magnetringkopf mit einer Flughöhe von 0,25 µm eingesetzt und zur Bestimmung des Wiedergabeausgangspegels untersucht. Hierbei wurde gefunden, daß der Wiedergabeausgangspegel den hohen Wert von 1 mV besaß.

Beispiel 2

Ein Co-Cr-Target wurde dem Sputtering unter Bedingungen eines Ar-Gasdruckes von 20,0 Pa einer Stromflußdichte von 1,0 W/cm², einer Sputteringsrate von 13 nm/min und einem Sauerstoff-Partialdruck von etwa 0,399 Pa unterzogen, wodurch ein Film aus einer magnetischen Co-Cr-Legierung mit einer Dicke von 0,20 µm auf einem nichtmagnetischen Träger in Form einer Platte ausgebildet wurde.

Der auf der Magnetplatte ausgebildete dünne Film aus Co-Cr-Legierung wurde auf seine Zusammensetzung untersucht, wobei gefunden wurde, daß die Zusammensetzung 15 Atomprozent Cr, 14,1 Atomprozent O₂ und als Rest Co war. Die Magnetplatte wurde der Messung der magnetischen Eigenschaften unter Anwendung eines Probenvibrationsmagnetometers unterzogen, wobei gefunden wurde, daß sie eine "Ebenen"-Koerzitivkraft von 40,6 kA/m in der Richtung der Ebene des Mediums und ein Quadratverhältnis von 0,50 besaß. Es wurde gefunden, daß die Magnetschicht nicht kristallin, sondern amorph war.

Die Magnetplatte wurde dann dem Korrosionstest unterzogen, wozu sie 200 h unter Bedingungen einer Temperatur von 60°C und einer relativen Feuchtigkeit von 90% aufbewahrt wurde. Es wurde jedoch keine Veränderung der Platte festgestellt, so daß die Platte korrosionsbeständig war.

Die Magnetplatte wurde in ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit einem Magnetringkopf mit einer Flughöhe von 0,25 µm eingesetzt und zur Bestimmung des Wiedergabeausgangswertes getestet. Hierbei wurde gefunden, daß der Wiedergabeausgangspegel einen so hohen Wert von 0,8 mV besaß.

Vergleichsversuch

Ein Co-Cr-Target wurde der Zerstäubung unter Bedingungen eines Ar-Gasdruckes von 5,32 Pa einer Stromflußdichte von 5,1 W/cm², einer Sputteringsrate von 170 nm/min und einem Sauerstoff-Partialdruck von 0,133 Pa unterzogen, wobei ein Film aus magnetischer Co-Cr-Legierung mit einer Dicke von 0,17 µm auf einem nichtmagnetischen Träger in Form einer Platte erhalten wurde.

Der auf der Magnetplatte ausgebildete dünne Film aus Co-Cr-Legierung enthielt 19 Atomprozent Cr, 2,8 Atomprozent O₂ und als Rest Co. Die Magnetplatte hatte eine "Ebenen"-Koerzitivkraft von 23,9 kA/m und ein Quadratverhältnis von 0,32. Die Magnetschicht war nicht amorph, sondern wies eine hexagonal dichte Packungsstruktur auf.

Die Magnetplatte wurde dann einem Korrosionstest in derselben Weise wie in den vorangegangenen Beispielen unterzogen, wobei sie ähnlich korrosionsfest war wie die Platten dieser Beispiele, jedoch wurde gefunden, daß der isolierte Wiedergabeimpuls der Scheibe ein Doppelhöckerimpuls war, wie er bei den Filmen mit vertikaler bzw. senkrechter Magnetisierung vorkommt.

Die Magnetplatte wurde in ein Aufzeichnungs- und Wiedergabegerät mit einem Magnetringkopf und einer Flughöhe von 0,25 µm eingesetzt und der Wiedergabeausgangspegel bestimmt. Hierbei wurde gefunden, daß der Wiedergabeausgangspegel einen so niedrigen Wert von 0,4 mV besaß.

Beispiel 3

Es wurde eine 20 Gew.-% Co-Cr-Legierung unter Verwendung einer DC-Magnetron-Sputteringsapparatur auf einem Träger aus NiP, platiert mit Al, unter folgenden Bedingungen einschließlich Differenz-Partialdrücken von Sauerstoffgas zur Bildung eines Films aus amorpher, magnetischer Co-Cr-Legierung mit einer Stärke von 0,14 bis 0,15 µm zerstäubt, wobei Magnetaufzeichnungsmedien hergestellt wurden:

Partialdruck von Ar\|5,32 Pa
Strömungsrate des Ar	(etwa 100 SCCM)
Partialdruck des O₂	etwa 0,532 Pa oder darunter
Strömungsrate des O₂-Gases	(etwa 10 SCCM oder darunter)
Sputteringsrate	etwa 0,09 bis 0,12 µm/min
Abstand zwischen Target und Al-Träger	etwa 100 mm
Temperatur des Al-Trägers	etwa 150°C

Die erhaltenen Magnetmedien wurden jeweils der Messung der magnetischen Eigenschaften wie in den vorangegangenen Beispielen unterzogen. Die Ergebnisse der Messungen in bezug auf den Partialdruck des Sauerstoffgases sind in der Figur der Zeichnung dargestellt.

Die Figur zeigt, daß bei Einstellung des Sauerstoff-Partialdruckes zum Zeitpunkt des Zerstäubens auf etwa 0,133-0,4 Pa (0,399 Pa) die Koerzitivkraft in der Richtung der Ebene des Mediums und das Quadratverhältnis groß sind, so daß die Medien gute Aufzeichnungs-Wiedergabeeigenschaften bei der Kombination mit Magnetringköpfen besitzen.

Der isolierte Wiedergabeimpuls wurde festgestellt und es wurde gefunden, daß er ein Einzelspitzenimpuls ist, der einem Film mit horizontaler Magnetisierung zueigen ist. Wenn die magnetischen Medien unter Verwendung eines Magnetringkopfes mit einer Flughöhe von 0,25 µm bei der Aufzeichnung und Wiedergabe eingesetzt wurden, war der Wiedergabeausgangspegel 0,8 mV oder darüber.

Es wurde die Bestimmung der Zusammensetzung an den Magnetschichten der jeweiligen Medien durchgeführt mit dem Ergebnis, daß innerhalb des zuvor genannten Bereiches des Sauerstoff-Partialdruckes Co im Bereich von 71 bis 78 Atomprozent, Cr im Bereich von 15 bis 19 Atomprozent und O₂ im Bereich von 5 bis 15 Atomprozent vorlagen. Die Legierung der Schicht war amorph und nicht kristallin.

Die jeweiligen Medien wurden auch dem Korrosionstest unterzogen, bei welchem sie 200 h unter Bedingungen der Temperatur von 60°C und einer relativen Feuchtigkeit von 90% aufbewahrt wurden. Auf den Magnetschichten erschienen nur geringe Änderungen. Insbesondere bei Medien, die bei einem Partialdruck O₂ von nicht mehr als 0,4 (0,399) Pa hergestellt worden waren, war die Korrosionsbeständigkeit besser.

Claims

1. Magnetisches Medium für die Aufzeichnung mit waagerechter Magnetisierung, umfassend einen nichtmagnetischen Träger und einen auf wenigstens einer Seite des Trägers ausgebildeten und aus im wesentlichen einer Co-Cr-Legierung mit einem Gehalt von 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoffatomen bestehenden magnetischen Aufzeichnungsfilm mit einer Dicke unterhalb 5 µm, dadurch gekennzeichnet, daß
di Co-Cr-Legierung amorph ist,
der magnetische Aufzeichnungsfilm eine Dicke von 0,05 bis 0,3 µm besitzt, und
die amorphe Co-Cr-Legierung eine Zusammensetzung aus 71 bis 78 Atomprozent Co, 15 bis 19 Atomprozent Cr und 5 bis 15 Atomprozent O aufweist.

2. Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Mediums für die Aufzeichnung mit waagerechter Magnetisierung, bei welchem ein Co-Cr-Target der Dampfablagerung in einer Atmosphäre aus Sauerstoffgas unterzogen wird, um auf einem nichtmagnetischen Träger eine magnetischen Aufzeichnungsschicht aus einer amorphen Co-Cr-Legierung mit einem Gehalt von 5 bis 15 Atomprozent Sauerstoffatomen in einer Dicke von 0,05 bis 0,3 µm zu bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die Dampfablagerung in einer Atmosphäre aus Sauerstoffgas mit einem Partialdruck von 0,133 bis 0,399 Pa und einem Verhältnis des Sauerstoff-Partialdruckes zu dem Gesamtdruck in der Atmosphäre im Bereich von 2 bis 7 : 100 bei einer Sputteringrate von etwa 0,05 bis 0,15 µm/min durchgeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Sputteringrate von 0,09 bis 0,12 µm/min beträgt.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Beziehung zwischen dem Partialdruck an Sauerstoff, ausgedrückt als p O₂ (Pa), und der Sputteringrate, ausgedrückt als SR (µm/min), folgende Ungleichung erfüllt 1,33 Pa/(µm/min) p O₂/SR 3,99 Pa/(µm/min)

5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des Trägers beim Aufsputtern im Bereich von Zimmertemperatur bis 300°C gehalten wird.