DE3434225C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einem Substrat, einer auf dem Substrat direkt oder indi­ rekt aufgebrachten Unterschicht, die wenigstens einen Film aus weichmagnetischem Material hoher Permeabilität aufweist, und mit einer Aufzeich­ nungsmedium-Schicht, die direkt oder indirekt auf der Unter­ schicht aufgebracht ist.

Vertikale magnetische Aufzeichnungsmedien, die aus mehreren Schichten zusammengesetzt sind, sind im Stand der Technik be­ kannt. So ist in IBM Technikcal Disclosure Bulletin, Volume 18, No. 10, March 1976, Seite 3422 ein magnetisches Aufzeichnungsmedium beschrieben, bei dem auf das Substrat eine nichtmagnetische Unterschicht folgt, auf der die magnetische Aufzeichnungs­ schicht aufgebracht ist. Die Aufzeichnungsschicht ist mit einer Schutzschicht aus ferro- oder ferrimagnetischem Material überzogen.

Aus EP-A-48 414 ist ein magnetisches Aufzeichnungsmedium be­ kannt, bei dem auf einem Träger eine Zwischenschicht aus einem Material mit niedriger Koerzitivkraft und darauf die magneti­ sche Aufzeichnungsschicht aufgebracht sind. Dabei besitzt die Zwischenschicht eine magnetische Anisotropie in der zur Ober­ fläche senkrechten Richtung.

Aus der DE-OS 28 47 640 ist schließlich ein Verfahren zur lö­ schungssicheren magnetischen Aufzeichnung bekannt, bei dem mit einer polymerisierbaren Tinte, in der sich permanentmagneti­ sche Teilchen befinden, eine Magnetspur gezeichnet wird. Dabei wird vor dem Polymerisieren der mit der Tintenspur versehene Aufzeichnungsträger in ein Magnetfeld gebracht, dessen Rich­ tung in der Oberflächenebene der Tintenspur gedreht werden kann. Mit diesem Magnetfeld werden die Magnetteilchen in der Tintenspur bereichsweise ausgerichtet, anschließend wird die Tinte mit Licht auspolymerisiert, so daß die Magnetisierungs­ richtung der Tintenspurbereiche fixiert wird.

Aus der US-PS 42 10 946 ist schließlich ein zusammengesetztes, vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium bekannt, das eine Unterschicht aus einem weichmagnetischem Film von hoher Perme­ abilität und eine Aufzeichnungsmediums-Schicht mit senkrechter Anisotropie umfaßt, die auf der Unterschicht direkt oder indi­ rekt über einer Zwischenschicht angeordnet ist; es liefert ein helleres Wiedergabe-Ausgangssignal und erfordert einen kleine­ ren Aufzeichungsstrom als ein vertikales magnetisches Auf­ zeichnungsmedium, das keine solche untere Schicht von hoher Permeabilität besitzt. Das frühere vertikale magnetische Auf­ zeichnungsmedium kann mit hoher Effizienz eingesetzt werden, und es ist praktisch das bevorzugte vertikale magnetische Auf­ zeichnungsmedium. Wenn jedoch eine magnetische Platte, die aus einem konventionellen vertikalen magnetischem Aufzeichnungsme­ dium besteht, das eine Unterschicht von hoher Permeabilität besitzt, im praktischen Betrieb eingesetzt wird, so variieren deren Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften entsprechend der Fig. 1 (die die Einhüllende der Wellenform eines Wiederga­ be-Ausgangssignals darstellt) während einer Drehung der Schei­ be sehr stark aufgrund magnetischer Anisotropie der Unter­ schicht. Daher ist eine solche magnetische Platte praktisch nicht einsatzfähig. Wenn die Permeabilität der Unterschicht auf ein niedriges Niveau reduziert wird, so wird dessen magnetische Anisotropie niedrig, und das Leistungsvermögen der Platte nimmt ab. Das Vorsehen der Unterschicht in einem vertikalen magnetischen Aufzeichnungsmedium hat daher keine Bedeutung mehr.

Demzufolge ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein zusammengesetztes (komplexes) vertikales, magnetisches Auf­ zeichnungsmedium anzugeben, da deren Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften sich nicht wesentlich än­ dern (oder nur in einem praktisch vernachlässigbaren Ausmaß ändern), wenn eine Magnetplatte aus diesem Medium in Drehung versetzt wird, und das weiterhin ein hohes Leistungsvermögen besitzt.

Diese Aufgabe wird durch ein magnetisches Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 gelöst, das er­ findungsgemäß die im kennzeichnenden Teil aufgeführten Merk­ male besitzt.

Weitere, vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.

Wenn ein magnetischer Film hoher Permeabilität durch Auf­ dampfen oder Aufsputtern gebildet wird, so tritt darin auf­ grund des externen Magnetfeldes, wie z. B. des Erdmagnetfel­ des, eine Anisotropie der magnetischen Induktion auf, oder es tritt aufgrund ungleicher interner Spannungen eine ein­ achsige magnetische Anisotropie auf, so daß die Permeabili­ tät an der Oberfläche des Magnetfilms anisotrop wird. Es ist sehr schwer, eine solche Anisotropie vollständig aus dem Magnetfilm zu entfernen. Die Ergebnisse einer gründli­ chen Untersuchung des Einflusses einer Unterschicht auf die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften eines magneti­ schen Aufzeichnungsmediums haben ergeben, daß dann, wenn die Permeabilität des Unterschicht-Filmes in einem niedrigen Bereich liegt, der Leistungsgrad des magnetischen Aufzeichnungsmediums im wesentlichen im Verhältnis zu der Permeabilität des Unterschicht-Filmes verbessert wird. Wenn die Permeabilität des Filmes auf einen hohen Pegel ansteigt, so ist die Leistungsfähigkeit des Aufzeichnungsmediums gesät­ tigt. Wenn nämlich die Permeabilität des Unterschicht-Filmes nicht kleiner ist als ein bestimmter Pegel, z. B. 800, so können die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften des magnetischen Aufzeichnungsmediums als praktisch konstant angesehen werden. Es wurde festgestellt, daß dann, wenn ein Unterschicht-Film aus einem Material mit niedriger magne­ tischer Anisotropie oder mehrachsiger magnetischer Anisotro­ pie hergestellt wird, um eine Unterschicht mit einer ver­ gleichsweise hohen Permeabilität in allen Richtungen der Filmoberfläche zu erzielen, so sind die obenerwähnten Hin­ dernisse, die ein konventionelles zusammengesetztes magne­ tisches Aufzeichnungsmedium besitzt, beseitigt.

Wie allgemein bekannt ist, besteht die obenerwähnte Aufzeich­ nungsmediumschicht aus einem Film aus magnetischem Aufzeichnungsmaterial mit einer senkrechten magnetischen Anisotropie, beispielsweise aus einem Co-Cr-Legierungsfilm, der z. B. 5-25 Gew.-% an Cr enthält. Dieser Film wird gewöhn­ lich mit einem Sputter-Verfahren, mit einem Vakuum-Auf­ dampfverfahren und einem Verfahren des chemischen Abschei­ dens aus der Gasphase gebildet, wobei Material aus der Gas­ phase abgeschieden wird. Insbesondere wird das Sputter-Ver­ fahren in weitem Umfang angewendet. Die Dicke eines solchen Filmes ist gewöhnlich 0,1-3 µm. Der bei der vorliegenden Erfindung angewendete Film kann mit solcher Dicke ausge­ bildet werden, die Dicke des Filmes ist jedoch nicht darauf beschränkt.

Die unter der Aufzeichnungsmedium-Schicht befindliche Unter­ schicht, auf der sich ein Magnetfilm von hoher Permeabilität befindet, kann aus irgendeinem magnetischen Material beste­ hen, dessen relative Permeabilität in allen Richtungen der Filmoberfläche nicht kleiner als 800 bei der Maximalfrequenz des angewendeten Aufzeichnungsstromes ist, beispielsweise Permalloy mit einer typischen Zusammensetzung aus Ni-19 Gew.-% Fe, Sendust aus einer Fe-Si-Al-Legierung, eine Fe-Si-Legierung (alle diese Legierungen sind kristalline Legierungen) und eine ferromagnetische amorphe Legierung. Eine ferromagnetische amorphe Legierung enthält meistens Co, Fe oder Ni als Hauptkomponenten.

Wenn jedoch ein Magnetfilm durch Abscheiden dieser magneti­ schen Materialien zur Bildung einer Unterschicht in übli­ cher Weise in der Gasphase abgeschieden wird, so tritt eine große magnetische Anisotropie in einem Film aus irgendeinem dieser Materialien auf, und die relative Permeabilität in Richtung der niedrigen Permeabilität des Filmes wird klei­ ner als 800. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird auf das magnetische Material während seines Abscheidens auf einem Substrat in der Gasphase ein Magnetfeld ausgeübt, wobei das Magnetfeld relativ zu dem Substrat gedreht wird. Der so gebildete Magnetfilm hat eine vergleichsweise hohe Permeabi­ lität oder eine kleine Anisotropie der Permeabilität. Wenn daher dieser Film als Unterschicht verwendet wird, so kann man ein zusammengesetztes magnetisches Aufzeichnungsmedium mit ausgezeichneten Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaf­ ten erzielen. Das Magnetfeld kann kontinuierlich oder inter­ mittierend zu vorgegebenen Zeitintervallen gedreht werden. Das Magnetfeld wird wenigstens eine halbe Drehung (180°) bis zum Abschluß der Bildung der Unterschicht gedreht. Die In­ tensität des auf das Magnetfeld auszuübenden Magnetfeldes wird auf 20 Oe bis 15 kOe (1,6 × 10³ A/m-17,9 × 10⁶ A/m) eingestellt. Es ist schwierig, ein Magnetfeld von mehr als 15 kOe in einer Scheibe als Ganzes gleichmäßig zu erzeugen. Wenn das Magnetfeld kleiner als 20 Oe ist, so kann die Aus­ wirkung eines externen Magnetfeldes nicht ausreichend eli­ miniert werden. Deswegen ist es vorzuziehen, ein Magnetfeld mit einer in dem erwähnten Bereich liegenden Intensität an­ zuwenden. Außer den oben beschriebenen Verfahren kann na­ türlich auch irgendein anderes Verfahren zur Bildung eines Magnetfeldes eingesetzt werden, vorausgesetzt, daß es in der Lage ist, die magnetische Anisotropie in dem Film zu reduzieren und seine minimale relative Permeabilität auf nicht weniger als 800 zu erhöhen.

Es wurde bereits gesagt, daß die geeignete Dicke der Unter­ schicht nicht kleiner als 0,1 µm beträgt, wie beispielswei­ se in dem US-Patent 42 10 946 dargestellt ist, und bei der vorliegenden Erfindung besteht keine besondere Notwendig­ keit, diese Dicke zu ändern. Die Ausbildung eines Unter­ schicht-Filmes auf einem Substrat wird mit einem Sputter- Verfahren, einem Vakuum-Aufdampfverfahren und einem Ver­ fahren des chemischen Abscheidens aus der Gasphase ausge­ führt, bei denen das magnetische Material in einer Gas­ phase abgeschieden wird, und es ist auch ein Plattierver­ fahren (galvanisches Verfahren) möglich. Insbesondere wird das Sputter-Verfahren in weitem Umfang angewendet.

Zur Verbesserung der Magneteigenschaften eines magnetischen Mediums im Hochfrequenzbereich wird allgemein das Einfügen eines nicht-magnetischen Filmes zwischen zwei magnetischen Filmen oder das abwechselnde Auflaminieren von einigen nicht-magnetischen und einigen magnetischen Filmen angewen­ det. Diese Verfahren können zur Bildung des obenerwähnten Unterschicht-Filmes eingesetzt werden. Weiterhin kann ein Verfahren eingesetzt werden, das in der japanischen Patent­ anmeldung 4 270/1983 beschrieben ist, ebenso wie in der US-Patentanmeldung 5 71 099 und der europäischen Patentan­ meldung 8 41 00 437.7, die unter Benennung von Großbritannien, Westdeutschland, Frankreich und der Niederlande eingereicht wurde, bei denen die Priorität der erwähnten japanischen Anmeldung beansprucht wurde (alle diese Anmeldungen sind lediglich ältere Anmeldungen, ihr Inhalt ist kein Stand der Technik); das bedeutet, daß zur Bildung des Unterschicht- Filmes ein Verfahren angewendet werden kann, bei dem ein ferromagnetischer Film oder ein anti-ferromagnetischer Film zwischen zwei primären Magnetfilmen eingefügt wird, wobei jeder von ihnen aus einem ferromagnetischen Material be­ steht, das sich von dem ferromagnetischen Film unterschei­ det, ober bei dem abwechselnd einige Stücke von diesen beiden Arten von Filmen auflaminiert werden, um die Aniso­ tropie zu reduzieren und die Permeabilität des resultieren­ den Filmes zu erhöhen. Wenn nicht weniger als drei primäre Magnetfilme eingesetzt werden, so können sowohl ein Magnet­ film aus einem von den primären Magnetfilmen verschiedenen Material und ein nicht-magnetischer Film zwischen sie ge­ setzt werden.

Das Substrat, auf dem die Unterschicht ausgebildet wird, be­ steht bekanntlich aus nicht-magnetischem Material, bei­ spielsweise Glas, Quarz, Siliziumdioxid, einem polymeren Harz, Aluminium oder aus einer Aluminium-Legierung. Das magnetische Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Er­ findung ist insbesondere dann nützlich, wenn es bei einer Magnetplatte eingesetzt wird. In diesem Fall wird gewöhnlich ein kreisförmiges oder zylindrisches Substrat verwendet. Zwischen dem Substrat und der Unterschicht kann eine nicht- magnetische Schicht, die beispielsweise aus SiO₂, Al₂O₃, oder TiO₂ besteht, in bekannter Weise zur Verbesserung der Bindungsstärke vorgesehen werden. Eine Zwischenschicht aus nicht-magnetischem Material, z. B. aus SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Ti, Cr, Al, Ge, Si, Mo, W, Cu und Au kann ebenfalls zwischen einer Unterschicht und einer das Aufzeichnungsmedium bilden­ den Schicht in bekannter Art und Weise vorgesehen werden. Damit wird eine Verbesserung der Bindungsstärken dieser Schichten erreicht. Insbesondere dann, wenn eine Kristalle des Hexagonalsystems, wie z. B. Ti und Zn, enthaltende Zwi­ schenschicht so ausgebildet wird, daß die c-Achse der Schicht sich im rechten Winkel zur Substratoberfläche er­ streckt, wird die senkrechte Anisotropie einer auf der oberen Oberfläche der Zwischenschicht gebildeten Aufzeich­ nungsmediumsschicht verbessert.

Die Erfindung wird nun anhand der in den Figuren dargestell­ ten Ausführungsbeispielen beschrieben und näher erläutert.

Fig. 1 zeigt in einem Diagramm die Schwankungen des Ausgangs­ signals einer Magnetplatte bezüglich des Winkels ihrer Drehung, wobei diese Magnetplatte ein konven­ tionelles, zusammengesetztes vertikales magnetisches Aufzeichnungsmedium besitzt, das mit einer Unter­ schicht hoher Permeabilität versehen ist.

Fig. 2 zeigt einen Querschnitt durch ein Ausführungsbeispiel eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach der vor­ liegenden Erfindung.

Fig. 3 zeigt die Beziehung zwischen dem Ausgangssignal einer Magnetplatte, die mit einem Ausführungsbeispiel eines magnetischen Aufzeichnungsmediums nach der vorliegen­ den Erfindung versehen ist, und den Drehwinkel der Platte; und

Fig. 4 zeigt die Verteilung der Magnetisierungs-Vorzugsach­ sen in Richtung der Dicke einer Unterschicht hoher Permeabilität bei einem magnetischen Aufzeichnungs­ medium nach der vorliegenden Erfindung.

Das in Fig. 2 dargestellte Ausführungsbeispiel ist ein zusam­ mengesetztes (mehrteiliges), vertikales magnetisches Auf­ zeichnungsmedium, das aus einer Unterschicht 1 aus einem nicht-kristallinen Legierungsfilm Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂ und einem in senkrechter Richtung anisotropen Film 2 aus Co₈₀Cr₂₀ be­ steht. Der Co₈₀Cr₂₀-Film ist 0,2 µm dick, der Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂- Film hat eine Dicke von 1 µm. Diese Filme sind auf einer Glasplatte 3 mit einem Durchmesser von 4,5 cm auflaminiert, um eine Platte zu bilden.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium nach dem Stand der Technik, bei dem die minimale relative Permeabilität an der Filmoberfläche seiner Unterschicht 1 weniger als 800 beträgt, und das magnetische Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung, bei dem die relative Permeabilität in alle Rich­ tungen der Filmoberfläche seiner Unterschicht nicht weniger als 800 beträgt, werden nachfolgend beschrieben.

Zunächst wurden die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften einer Magnetplatte bestimmt, die einen mit einem üblichen Sput­ ter-Verfahren hergestellten Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-Film besitzt. Es wur­ de ermittelt, daß das Ausgangssignal der Platte sich in Abhän­ gigkeit der Richtung, d. h. dem Drehwinkel entsprechend der Fig. 1, ändert. Fig. 1 zeigt die Einhüllende einer Wellenform eines Ausgangssignals bei einer Aufzeichnungsdichte von 50 KBPI (50 Kilobit/inch), d. h. die Ergebnisse einer bei einem Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgang ausgeführten Messung, bei einer relativen Drehgeschwindigkeit von 2 m/s, wobei ein Lesekopf mit einem Ferrit-Ring mit einer Spaltlänge von 0,3 µm verwendet wurde. Die Abhängigkeit der Permeabilität des Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-Filmes von der Richtung wurde zusätzlich bestimmt, und die Ergebnisse wurden entsprechend den Pegeln der Ausgangssignale der Scheibe diskutiert, wobei das nach­ folgende gefunden wurde. Die relative Permeabilität dieses Filmes ist am geringsten, d. h. etwa 200, in der Bewegungs­ richtung des Aufzeichnungsmediums bei einem Drehwinkel, bei dem der Pegel des Ausgangssignals am niedrigsten wird; sie ist am höchsten, d. h. etwa 1500, in Richtung der Bewegung des Aufzeichnungsmediums bei einem Drehwinkel, bei dem der Pegel des Ausgangssignals am höchsten wird. Es wurde ferner ermit­ telt, daß dann, wenn die relative Permeabilität einer Unter­ schicht nicht weniger als 800 beträgt, vorzugsweise nicht weniger als 1000, der Pegel eines Ausgangssignals der Platte im wesentlichen konstant ist. Es wurde festgestellt, daß die Richtung, bei der die relative Permeabilität einer Unter­ schicht am niedrigsten wird, im wesentlichen mit der Rich­ tung übereinstimmt, in der das Erdmagnetfeld verläuft.

Gemäß der Erfindung wurde sodann ein Sputter-Verfahren für eine Stunde zur Bildung eines Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-Filmes mit einer Dicke von 1 µm ausgeführt, wobei ein Magnetfeld mit einer Inten­ sität von etwa 500 Oe angelegt wurde, die Richtung des Magnetfeldes in Richtung der Filmoberfläche lag und alle zehn Minuten um 30° geändert wurde. Die mittlere Drehge­ schwindigkeit des Magnetfeldes betrug nämlich 0,5 Umdrehun­ gen/h. Der magnetische Aufbau eines solchen Filmes wurde untersucht.

Fig. 4 zeigt schematisch ein rechteckiges geschnittenes Stück eines Filmes, der während eines 30minütigen Sputter-Vorganges gebildet wurde. Entsprechend der Figur besteht der mit diesem Sputter-Verfahren gebildete Film 4 aus Schichten 5, 6, 7, die in jeweils zehn Minuten gebildet wurden, wobei in ihnen die Vorzugsachsen der Magnetisierung in unterschiedlichen Rich­ tungen verlaufen. Entsprechend der Tatsache, daß der Film Vielfach-Vorzugsmagnetisierungsachsen besitzt, wird es ver­ ständlich, daß jedesmal dann, wenn die Richtung des Magnet­ feldes während des Sputter-Vorganges geändert wird, die Vor­ zugs-Magnetisierungsrichtung des Filmes um eine Achse gedreht wird, die in senkrechter Richtung zu seiner Dicke verläuft, so daß in dem Film eine sogenannte spiralige Anisotropie auf­ tritt. Die niedrigste relative Permeabilität dieses Filmes betrug 2000, seine höchste relative Permeabilität betrug 3000. Die Abhängigkeit der Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaf­ ten eines vertikalen magnetischen Aufzeichnungsmediums, das eine Unterschicht 1 aus einem solchen Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-Film und einen darauf gebildeten, in senkrechter Richtung anisotropen magne­ tischen Film 2 besitzt, von dem Drehwinkel der Platte wurde in der gleichen Weise wie in dem in Fig. 1 dargestellten Fall ermittelt, wobei man die in Fig. 3 dargestellten Ergebnisse erhielt. Anhand der Zeichnung ist ersichtlich, daß die Schwan­ kungen des Pegels des Ausgangssignals der Platte, bei der ein Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung ver­ wendet ist, im Vergleich mit jenem der Fig. 1, bei einer ein konventionelles Aufzeichnungsmedium verwendenden Platte ver­ nachlässigt werden können.

Bei dem voranstehenden Ausführungsbeispiel wurde der Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂-Film so ausgebildet, daß das an ihn angelegte Magnetfeld während des Sputter-Vorgangs intermittierend ge­ dreht wurde. Wenn ein solcher Film bei sich kontinuierlich drehendem Magnetfeld gebildet wird, so erhält man die gleichen Ergebnisse. Die Drehgeschwindigkeit wurde auf 0,5 Umdrehungen/h eingestellt. Der Sputter-Effekt in einem solchen Magnetfeld unterscheidet sich nach der Art des verwendeten Materials. Entsprechend den von den Erfindern erhaltenen experimentel­ len Ergebnissen erhält man einen deutlichen Sputter-Effekt, wenn eine nicht-kristalline magnetische Legierung der Co-Gruppe, bei der typische Beispiele Co₇₃Zr₁₅Mo₁₂ und (Co_0,94Fe_0,06)₇₅Si₁₅B₁₀ sind, oder eine polykristalline Le­ gierung verwendet wurde, bei der Ni und Fe die Hauptkompo­ nenten sind, und bei der ein typisches Beispiel Ni-19 Gew.-% Fe ist. Wenn diese Legierungen in üblicher Weise aufgesputtert werden, so tritt eine in einer Richtung große Anisotropie in dem resultierenden Film auf, und seine maximale und minimale Permeabilitäten unterscheiden sich stark. Wenn jedoch das Sputtern bei einem sich drehenden, auf den Film ausgeübten Magnetfeld ausgeführt wird, um in ihm eine vielachsige Aniso­ tropie zu erzielen, so steigt die gesamte Permeabilität des Filmes auf hohen Pegel an, und das Verhältnis der maximalen Permeabilität zu der minimalen Permeabilität geht auf ein niedriges Niveau zurück. Dieses Sputter-Verfahren hat eine so deutliche Wirkung, und es ist das bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung besonders vorzuziehende Verfahren.

Allgemein wird ein Aufzeichnen mit hoher Dichte in einem Hochfrequenzgebiet ausgeführt, so daß das magnetische Auf­ zeichnungsmedium bei hohen Frequenzen eine hohe Permeabili­ tät besitzen muß. Das Aufzeichnen mit einer magnetischen Aufzeichnungsplatte, die einen Unterschicht-Film von nicht weniger als 1 µm Dicke besitzt, kann ohne besondere Schwie­ rigkeiten selbst in einem Frequenzgebiet von 10 bis 30 MHz ausgeführt werden. Wenn die Dicke des Unterschicht-Filmes nicht weniger als 2 bis 3 µm beträgt, so hat dessen Permeabi­ lität die Neigung abzunehmen. Um ein Abnehmen der Permeabili­ tät des Filmes zu verhindern, ist es weiter vorzuziehen, Fil­ me mit einer dazwischengesetzten Schicht aus isolierendem Ma­ terial, beispielsweise SiO₂ und Al₂O₃ oder einer Schicht aus nicht-magnetischem Metall, aufzulaminieren, anstatt den Ab­ scheidevorgang kontinuierlich auszuführen, wobei lediglich das auf den Film ausgeübte Magnetfeld gedreht wird. Bei einem an­ deren Ausführungsbeispiel der Erfindung werden Schichten aus zwei Arten von ferromagnetischem Material, z. B. eine Fe-Si- Legierung und einen Ni-Fe-Legierung, oder eine Schicht aus ferromagnetischem Material und eine Schicht aus einem anti- ferromagnetischen Material, wie z. B. Fe-Mn-Legierung, aufla­ miniert. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird die Anisotropie des Filmes gering, und seine Permeabilität wird hoch. Solch ein laminierter Film kann ebenfalls als Unterschicht-Film ver­ wendet werden.

Ein Fe, Si und Al als Hauptkomponenten enthaltender Legie­ rungsfilm hat eine vergleichsweise geringe Permeabilität von etwa 850, aber er hat eine kleine Anisotropie der Permeabili­ tät; der Film hat sich für den Unterschicht-Film als verwendbar herausgestellt.

Die voranstehende Erfindung liefert ein zusammengesetztes ver­ tikales magnetisches Aufzeichnungsmedium mit ausgezeichneten Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften, die sich selbst dann, wenn sich die Richtung seiner Bewegung bezüglich eines Magnetkopfes ändert, nicht wesentlich ändern, und das vorzugs­ weise für Magnetplatten verwendet werden kann.

Claims (9)

1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einem Substrat (3) einer auf dem Substrat direkt oder indirekt aufgebrachten Unterschicht (1), die wenigstens einen Film (4) aus weich­ magnetischem Material hoher Permeabilität aufweist, und mit einer Aufzeichnungsmedium-Schicht (2), die direkt oder indi­ rekt auf der Unterschicht (1) aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die relative Permeabilität der Unterschicht (1) in allen Richtungen der Oberfläche des Filmes (4) nicht kleiner als 800 ist.

2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich in dem magnetischen Film (4) die Richtung der Vor­ zugsachse der Magnetisierung mit fortschreitender Tiefe kontinuierlich oder intermittierend ändert und um eine zur Oberfläche des Filmes senkrechten Achse dreht.

3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsmedium-Schicht (2) eine senkrechte Aniso­ tropie besitzt.

4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufzeichnungsmedium-Schicht aus einer Co-Cr-Legierung besteht.

5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Substrat (3) und der Unterschicht (1) eine nicht-magnetische Zwischenschicht vorgesehen ist.

6. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Unterschicht (1) und der Aufzeichnungsmedium- Schicht (2) eine nicht-magnetische Zwischenschicht vorgesehen ist.

7. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der magnetischen Filme von hoher Permeabi­ lität aus einer kristallinen Legierung besteht, die Ni oder Fe als Hauptkomponenten enthält, oder aus einer nicht-kristallinen Legierung besteht, die Co als Hauptkomponente besitzt.

8. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterschicht (1) wenigstens zwei magnetische Filme von hoher Permeabilität umfaßt, zwischen denen ein nicht-magnetischer Film oder ein sich von den Filmen hoher Permeabilität unterschei­ dender magnetischer Film vorgesehen ist.

9. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungsmediums nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß während der Bildung der Unterschicht (1) ein sich in Ober­ flächenrichtung dieser Unterschicht erstreckendes Magnetfeld zur Einwirkung gebracht wird, und daß während der Ausbildung der Unterschicht die Richtung dieses Magnetfeldes um eine zur Oberfläche der Unterschicht senkrechten Achse gedreht wird.