DE3535022C2 - Metallischer Gegenstand mit Überzugsschichten und Verfahren zur Herstellung durch Ionenbedampfung - Google Patents
Metallischer Gegenstand mit Überzugsschichten und Verfahren zur Herstellung durch IonenbedampfungInfo
- Publication number
- DE3535022C2 DE3535022C2 DE3535022A DE3535022A DE3535022C2 DE 3535022 C2 DE3535022 C2 DE 3535022C2 DE 3535022 A DE3535022 A DE 3535022A DE 3535022 A DE3535022 A DE 3535022A DE 3535022 C2 DE3535022 C2 DE 3535022C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- titanium
- coating layer
- oxygen
- atomic
- vapor deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 title description 46
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 title description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 29
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 29
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 21
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 21
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 12
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 10
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 8
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 6
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 6
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 claims description 5
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 239000001294 propane Substances 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 16
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 8
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 3
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- -1 titanium ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 241001663154 Electron Species 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009189 diving Effects 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/006—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterized by the colour of the layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0015—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterized by the colour of the layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0664—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/36—Carbonitrides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Über
zugsschichten auf der Oberfläche geeigneter Substrate durch
Ionenbedampfung, und zwar insbesondere ein Beschichtungs
verfahren, durch das mittels Ionenbedampfung auf der Ober
fläche von metallischen Substraten, wie beispielsweise Uhren
gehäusen, Uhrenarmbändern, Armbändern, Ringen und ähnlichen
persönlichen Schmuckgegenständen, dekorative Überzüge mit
schwärzlichem Farbton geschaffen werden können.
Wie sich aus dem Trend der letzten Jahre ergibt, besteht eine
Nachfrage nach Schmuckwaren zum persönlichen Gebrauch, wie
beispielsweise Uhrengehäusen, die einen spezifischen und
ansprechenden Farbton bzw. eine derartige Farbschattierung
anstelle des üblichen goldenen oder silbrigen Metallglanzes
aufweisen. Als Folge dieser starken Nachfrage wurden verschie
dene Verfahren zur abschließenden Oberflächenbehandlung metal
lischer Substrate, so zum Beispiel Farbplattieren, Färben,
Lackieren und dergleichen entwickelt und benutzt.
Aus der GB-PS 2 075 068 sind Gegenstände bekannt, die mit
einer harten Überzugsschicht ausgestattet sind. Es handelt
sich dabei bei diesen Gegenständen um Werkzeuge bzw. Maschi
nenteile, beispielsweise Schneidewerkzeuge. Bei diesen bekann
ten Gegenständen kommt es lediglich auf die physikalischen
Eigenschaften, nicht jedoch auf den ästhetischen Eindruck an.
Die hieraus bekannten Gegenstände werden in einem Ionen
plattierungsverfahren in einer Atmosphäre beschichtet, die
Stickstoff, Acetylen und gegebenenfalls Sauerstoff enthält.
Bei den mit diesem bekannten Verfahren beschichteten Gegen
ständen kommt es ausschließlich auf deren physikalische Eigen
schaften an, jedoch nicht auf deren ästhetischen Eindruck.
Demgegenüber liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe
zugrunde, einen metallischen Gegenstand mit einer harten und
dekorativen Überzugsschicht sowie ein zur Herstellung der
Überzugsschicht geeignetes Verfahren zu schaffen. Es soll
damit ein schwärzlicher Farbton auf der Oberfläche von den als
Substrat dienenden metallischen Gegenständen, die als persön
liche Schmuckgegenstände bestimmt sind, wie zum Beispiel
Uhrengehäuse, Uhrenarmbänder, Armbänder, Ringe und derglei
chen, mit einem Ionenbedampfungsverfahren erreicht werden.
Der erfindungsgemäße metallische Gegenstand weist eine durch
reaktive Ionenbedampfung erhaltene harte und dekorative
Beschichtung aus Titannitrid und Titancarbid auf, deren
chemische Zusammensetzung 15 bis 40 Atom-% Titan, 10 bis 25
Atom-% Stickstoff und 40 bis 65 Atom-% Kohlenstoff sowie,
bezogen auf Titan, 2 bis 40 Atom-% Sauerstoff aufweist.
Das erfindungsgemäß geschaffene Verfahren zur Herstellung des
metallischen Gegenstands weist folgende Schritte auf:
- a) Halterung des metallischen Gegenstands gegenüber einem Titan-Verdampfer in einer Argon, Stickstoff, einen aliphatischen Kohlenwasserstoff und Sauerstoff enthal tenden Gasatmosphäre bei einem Druck von 1 bis 7 mbar,
- b) Anlegen einer Gleichspannung im Bereich von 20 bis 200 V zwischen Titan-Verdampfer und dem Substrat und
- c) Verdampfen von Titan unter Ionisierung in der Gas atmosphäre und Abscheidung einer Mischung aus Titan nitrid und Titancarbid auf der Substratoberfläche, wobei der Sauerstoffanteil in der Gasmischung so weit abge senkt wird, daß eine Beschichtung mit einem Atom verhältnis Sauerstoff zu Titan von 2 bis 40% abgeschieden wird.
Es wurde entdeckt, daß die Haftfestigkeit der auf der Ober
fläche des metallischen Gegenstandes in dieser Weise gebil
deten Überzugsschicht durch den Sauerstoffgehalt in der
Überzugsschicht in empfindlicher Weise beeinflußt wird.
Vorzugsweise sollte das Atomverhältnis von Sauerstoff zu
Titan in der Überzugsschicht 40% oder weniger betragen.
Wie bereits oben erwähnt, wird das Ionenbedampfen des
erfindungsgemäßen Verfahrens mit Titan als Metall ausge
führt, wobei das Metall unter Anlegen einer Gleichspannung
in einer reaktiven Atmosphäre, die aus Argon, Stickstoff
und einem aliphatischen Kohlenwasserstoff besteht, verdampft
wird. Wenn das reaktive Gas innerhalb der Atmosphäre nur
Stickstoff ist, besteht die Überzugsschicht, die durch das
Ionenbedampfen auf der Oberfläche des metallischen Ge
genstandes niedergeschlagen wird, aus Titannitrid und zeigt
eine gelblich goldene Farbe, wobei die Farbtiefe von ver
schiedenen Parametern abhängt. Wenn die Atmosphäre, inner
halb derer das Ionenbedampfen stattfindet, zusätzlich
einen aliphatischen Kohlenwasserstoff als weitere Reaktions
gaskomponente enthält, besteht andererseits die Überzugs
schicht, die durch das Ionenbedampfen abgeschieden
wurde, aus einem Gemisch aus Titannitrid und Titancarbid
und weist eine schwärzliche Farbe auf.
Es können ganz unterschiedliche aliphatische Kohlenwasser
stoffe für die Atmosphäre, innerhalb derer das Ionenbe
dampfungsverfahren ausgeführt wird, verwendet werden, je
doch wird üblicherweise ein preiswerter und leicht erhältli
cher Kohlenwasserstoff verwendet, z. B. Methan, Acetylen,
Ethylen, Propan und dergleichen. Diese aliphatischen Kohlen
wasserstoffe können entweder allein oder im Gemisch von zwei
oder mehr Kohlenwasserstoffen ganz nach Bedarf verwendet
werden. Die Schwärze der durch das Ionenbedampfen gebildeten
Überzugsschicht kann kontrolliert werden, indem ein geeig
neter aliphatischer Kohlenwasserstoff gewählt und der
Partialdruck in der gasförmigen Atmosphäre in der erforder
lichen Weise eingestellt wird. So kann zum Beispiel ein tief
schwarzer Farbton der Überzugsschicht erhalten werden, wenn
Ethylen bei einem Partialdruck verwendet wird, der etwa 10
bis 15% des Gesamtdrucks der gasförmigen Atmosphäre beträgt,
während die gasförmige Atmosphäre unter einem Druck im Bereich
von 1 bis 7 µbar gehalten werden sollte, um das Ionenbedampfen
effizient und problemlos zu gestalten.
Im folgenden wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand von
Abbildungen näher beschrieben. So zeigen
Fig. 1 in schematischer Darstellung ein Gerät, wie es
zum Ionenbedampfen entsprechend der vor
liegenden Erfindung verwendet werden kann, und des
sen äußeren Stromkreis; und
Fig. 2 ein Diagramm, in dem das Atomverhältnis von
Sauerstoff zu Titan in der entsprechend dem er
findungsgemäßen Verfahren hergestellten Überzugs
schicht in Abhängigkeit von der Schichtdicke
der Überzugsschicht dargestellt ist.
Den Kern des Geräts zur Ausführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens macht eine Vakuumkammer 1 aus, in der eine Halte
rung 2 für die Substrate in der Weise angebracht ist, daß
die Halterung dem Titan emittierenden Verdampfer frei gegenüber
liegt und vorzugsweise in eine Rotationsbewegung versetzt
werden kann. Die Halterung 2 ist mit der Kathode einer Gleich
stromspannungsquelle 4 verbunden, deren Anode geerdet ist.
Nach Befestigung mehrerer sorgfältig gereinigter, als Substrat
dienender Gegenstände 6 an der Halterung 2 wird die Vakuum
kammer 1 durch die Vakuumleitung 7 evakuiert, bis ein Vakuum
von 30 nbar oder niedriger erreicht ist. Anschließend
wird eine geringe Menge Argon in die Vakuumkammer 1 durch
einen Gaseinlaß 8 eingeführt und, wenn der Druck im Inneren
der Vakuumkammer 4 µbar erreicht hat, wird der
Stromkreis der Gleichstromspannungsquelle 4 mittels des
Schalters 5 geschlossen und damit eine Spannung von 20 bis
200 Volt zwischen die Substrate 6 und den ebenfalls geerde
ten Titan emittierenden Verdampfer 3 angelegt, um Ionenbedampfung
auszulösen. Anschließend wird ein gasförmiges Gemisch
aus Stickstoff und einem aliphatischen Kohlenwasserstoff,
zum Beispiel Ethylen, in die Vakuumkammer 1 ebenfalls durch
den Gaseinlaß 8, eingeführt, bis ein Gesamtdruck im Bereich
von 1 bis 7 µbar erreicht ist. Dar Titan emittieren
de Verdampfer 3 wird von der Spannungsquelle 11 gespeist,
so daß das metallische Titan erhitzt und verdampft wird. Die
in dieser Weise verdampften Titanatome werden von der Anode
10, die durch die Spannungsquelle 9 auf einem positiven
Potential relativ zur Erde gehalten wird, ionisiert und die
Titanionen werden im elektrischen Feld zwischen dem Verdamp
fer 3 als Anode und der Halterung 2 bzw. den Substraten 6
als Kathode beschleunigt, um schließlich gegen die Substrat
oberfläche zu prallen, wo die Titanionen entladen werden und
mit den Stickstoff- und Kohlenstoffatomen der Atmosphäre
reagieren, so daß sich eine Überzugsschicht auf der Ober
fläche der Substrate in Form von Titannitrid und Titancarbid
bildet.
Die Ionisierung der verdampften Titanatome kann durch die
Emission von Thermoelektronen aus den geerdeten Glühdrähten
12 bzw. 13, die von den Heizstromquellen 14 bzw. 15 be
heizt werden, beschleunigt werden. Die besonders harte Über
zugsschicht, die entsprechend dem erfindungsgemäßen Ver
fahren hergestellt wird, zeigt einen glänzenden schwarzen Farb
ton und besteht aus einem Gemisch aus Titannitrid und Titan
carbid, das durch die Reaktion der Titanionen mit der gas
förmigen Atmosphäre aus Stickstoff und aliphatischen Kohlen
wasserstoffen gebildet wird. Daher ist der entsprechend dem
erfindungsgemäßen Verfahren behandelte Schmuckgegenstand mit
einer Überzugsschicht versehen, die äußerst dekorativ und
in besonderer Weise ansprechend ist.
Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte Über
zugsschicht sollte eine chemische Zusammensetzung aufweisen,
wobei Titan etwa 15 bis 40 Atom-%, Stickstoff 10 bis 25 Atom-%
und Kohlenstoff 40 bis 65 Atom-% ausmachen. Außerdem enthält
die Überzugsschicht unvermeidlicherweise Sauerstoff, wie
weiter unten noch näher ausgeführt wird. Der Anteil an Sauer
stoff sollte so niedrig wie möglich sein, jedoch beträgt
er üblicherweise etwa 2 bis 40 Atom-%, bezogen auf Titan.
Die Überzugsschicht aus der Mischung aus Titannitrid und
Titancarbid, die in der oben beschriebenen Weise gebildet
wird, sieht elegant aus. Jedoch wird der große Wert der so
hergestellten Überzugsschicht dadurch eingeschränkt, daß
sich die Überzugsschicht manchmal ablösen kann, so daß die
freie Oberfläche des darunterliegenden metallischen Gegen
stands zum Vorschein kommt, da die Haftfestigkeit der Über
zugsschicht gering ist. Daher wurden weitere Untersuchungen
durchgeführt, um die Ursache dieser geringen Haftfestigkeit
der Überzugsschicht zu ermitteln. Es stellte sich heraus,
daß die Haftfestigkeit der Überzugsschicht durch den in ihr
eingeschlossenen Sauerstoff bzw. den zwischen die Überzugs
schicht und die Substratoberfläche gelangenden Sauerstoff
beeinflußt wird. Eine quantitative Untersuchung des Phänomens des
Ablösens der Überzugsschicht mit der Auger-Elektronenspektrosko
pie führte zu dem Ergebnis, daß die kritische Menge an
Sauerstoff in der Überzugsschicht 40 Atom-%, bezogen auf das
in der Überzugsschicht enthaltene Titan, beträgt und daß die
Haftfestigkeit der Überzugsschicht nicht wesentlich ver
schlechtert wird, wenn der kritische Wert nicht überschritten
wird.
Der Sauerstoffanteil in der Überzugsschicht sollte so nied
rig wie nur möglich gehalten werden. In der Praxis ist es
jedoch nahezu unmöglich, das Sauerstoff-Atomverhältnis
unter 2% zu bringen, so daß dieser Wert eine unvermeidliche
untere Grenze darstellt, selbst wenn mit äußerster Sorgfalt,
wie weiter unten näher ausgeführt, gearbeitet wird.
Eine Maßnahme, die ergriffen werden kann, wenn eine Verringe
rung des Sauerstoffanteils in der Überzugsschicht gewünscht
wird, besteht darin, die Zeit, die zur Befestigung und zum
Abmontieren der Substrate an der Halterung in der Vakuum
kammer benötigt wird, zu verkürzen, ebenso wie die Zeit, die
zum Abkühlen des Geräts einschließlich der Hochspannungselek
tronenkanone erforderlich ist. Außerdem ist es empfehlenswert,
die Getterwirkung des metallischen Titans zu nutzen, indem
die Innenwände mit metallischem Titan, das im Vakuum ausge
heizt wird, überzogen werden.
Die erfindungsgemäße Überzugsschicht weist üblicherweise eine
Schichtdicke im Bereich von 0,2 µm bis 2 µm oder
vorzugsweise im Bereich von 0,4 µm bis 1 µm auf. Wenn die
Schichtdicke kleiner ist als die oben angegebene untere
Grenze, zeigt die Überzugsschicht keinen reinen schwarzen
Farbton mehr; außerdem geht auch die Widerstandsfähigkeit
der Überzugsschicht gegenüber mechanischer Belastung und
die Haftfestigkeit an der Substratoberfläche zurück.
In Fig. 2 ist die Abhängigkeit des Atomverhältnisses Sauer
stoff/Titan in einer 0,4 µm dicken schwarzen Über
zugsschicht, die auf der Oberfläche eines Armbandanschluß
teiles eines Edelstahluhrengehäuses durch Ionenbedampfen
aufgebracht wurde, von dem Abstand X (Einheit: µm)
von der Oberfläche der Überzugsschicht dargestellt. Die Kurve I
entspricht einer Überzugsschicht, die entsprechend dem er
findungsgemäßen Verfahren hergestellt wurde, und Kurve II
entspricht einer Überzugsschicht, die nach einem bekannten
Verfahren gefertigt wurde. In Fig. 2 entspricht der Wert
X = 0 der Oberfläche der Überzugsschicht, während der
Wert X = 0,4 der Grenzfläche zwischen der Substratober
fläche und der Oberfläche der etwa 0,4 µm dicken
Überzugsschicht entspricht. Die Zunahme des Atomverhältnisses
Sauerstoff/Titan in den Randbereichen ist auf den Einfluß
der Oberfläche der Überzugsschicht bzw. der Substratober
fläche zurückzuführen.
Um die Haftfestigkeit der erfindungsgemäßen Überzugsschicht
zu testen, wurden Uhrenarmbänder aus Edelstahl durch Anwendung
des erfindungsgemäßen Verfahrens mit einer schwarzen Über
zugsschicht versehen, anschließend auf 250°C aufgeheizt
und dann abgeschreckt. Es zeigte sich, daß sich die Über
zugsschicht von keinem der 20 verwendeten Uhrenarmbänder,
die entsprechend dem erfindungsgemäßen Verfahren beschichtet
und dem oben beschriebenen Abschreckversuch unterworfen wurden,
ablöste. Jedoch wurde festgestellt, daß sich die Überzugs
schicht von 7 von 20 Uhrenarmbändern, die mit einem bekannten
Beschichtungsverfahren mit einer Überzugsschicht versehen
wurden, ablöste.
In den folgenden Ausführungsbeispielen wird das erfindungsge
mäße Verfahren anhand von Versuchen mit Uhrengehäusen näher
erläutert; das erfindungsgemäße Verfahren ist jedoch grund
sätzlich auf jeden aus Metall gefertigten Gegenstand anwend
bar.
Uhrengehäuse aus Edelstahl der amerikanischen Güteklasse
SUS 316 werden an der Halterung 2 des in Fig. 1 dargestellten
Gerätes befestigt und, nachdem bis auf einen Druck von 40 nbar
evakuiert wurde, wird gasförmiges Argon in die
Vakuumkammer 1 eingeleitet, bis ein Druck von 4 µbar
erreicht ist. Anschließend wird eine Spannung von 80 V
an die Halterung 2 mittels der Spannungsquelle 4 angelegt
und die Oberfläche der als Substrat dienenden Uhrengehäuse
wird durch Beschuß bei 100°C 10 min lang gereinigt.
Im Anschluß daran wird zu dem in der Vakuumkammer 1 befind
lichen Argon Stickstoff und Ethylen zugemischt, bis ein Druck
von 1 µbar erreicht ist. Dann wird das metallische Titan
des Verdampfers 3 erhitzt und mittels der Heizspannungsquelle
11 verdampft, während eine Gleichspannung von 50 V
zwischen die Halterung 2 und den Verdampfer 3 angelegt wird,
so daß das Ionenbedampfen bei 100°C etwa 25 min lang
durchgeführt werden kann. Auf die Oberfläche der Uhrenge
häuse wird so eine glänzende schwarzgefärbte und ansprechend
aussehende Überzugsschicht aufgebracht.
Die so erhaltene Überzugsschicht auf dem Uhrengehäuse er
weist sich als äußert widerstandsfähig gegen Ausschwitzung
in einem 48 h andauernden Tauchversuch und zeigt ebenfalls
in Abriebversuchen sehr gute Ergebnisse. Nach Durchführung
des oben beschriebenen Abschreckversuches, bei dem das mit
dem Überzug versehene Substrat auf 250°C aufgeheizt und dann
abgeschreckt wird, zeigt sich, daß sich die Überzugsschicht
nicht vom Substrat ablöst.
Nickelüberzogene Uhrengehäuse aus Messing werden als Substrate
verwendet, und diese Substrate werden durch Beschuß, wie in
Beispiel 1 beschreiben, gereinigt.
Anschließend wird zu dem Argon in der Vakuumkammer 1 Stick
stoff und Methan zugemischt, bis ein Druck von 7 µbar
erreicht ist. Dann wird das metallische Titan in dem Ver
dampfer erhitzt und mittels der Heizspannungsquelle ver
dampft, während eine Gleichspannung von 100 V zwischen
die Halterung und den Verdampfer angelegt wird, so daß das
Ionenbedampfen bei 100°C etwa 20 min lang ausgeführt werden
kann. Die so erhaltene Überzugsschicht auf dem Uhrengehäuse
weist einen schönen purpurartigen schwarzen Farbton auf. Be
friedigende Ergebnisse wurden im Antikorrosionsversuch mit
simulierter Ausschwitzung, im Abschreckversuch bei 250°C
und im Abriebversuch, die alle in der gleichen Weise wie in
Beispiel 1 beschrieben durchgeführt wurden, erzielt.
Claims (3)
1. Metallischer Gegenstand mit einer durch reaktive
Ionenbedampfung erhaltenen harten und dekorativen
Beschichtung aus Titannitrid und Titancarbid, deren
chemische Zusammensetzung 15 bis 40 Atom-% Titan, 10 bis
25 Atom-% Stickstoff und 40 bis 65 Atom-% Kohlenstoff
sowie, bezogen auf Titan, 2 bis 40 Atom-% Sauerstoff
aufweist.
2. Verfahren zur Herstellung eines metallischen Gegenstandes
nach Anspruch 1 mit den Schritten
- a) Halterung des metallischen Gegenstandes gegenüber einem Titan-Verdampfer in einer Argon, Stickstoff, einen aliphatischen Kohlenwasserstoff und Sauerstoff enthaltenden Gasatmosphäre bei einem Druck von 1 bis 7 µbar.
- b) Anlegen einer Gleichspannung im Bereich von 20 bis 200 V zwischen Titan-Verdampfer und dem Substrat und
- c) Verdampfen von Titan unter Ionisierung in der Gasatmosphäre und Abscheidung einer Mischung aus Titannitrid und Titancarbid auf der Substratoberfläche, dadurch gekennzeichnet, daß der Sauerstoffanteil in der Gasmischung so weit abgesenkt wird, daß eine Beschichtung mit einem Atomverhältnis Sauerstoff zu Titan von 2 bis 40% abgeschieden wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß als aliphatischer Kohlenwasserstoff Methan, Acetylen,
Ethylen oder Propan eingesetzt wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60022831A JPS61183458A (ja) | 1985-02-08 | 1985-02-08 | 黒色イオンプレ−テイング膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3535022A1 DE3535022A1 (de) | 1986-08-14 |
DE3535022C2 true DE3535022C2 (de) | 1994-07-14 |
Family
ID=12093640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3535022A Expired - Fee Related DE3535022C2 (de) | 1985-02-08 | 1985-10-01 | Metallischer Gegenstand mit Überzugsschichten und Verfahren zur Herstellung durch Ionenbedampfung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4643952A (de) |
JP (1) | JPS61183458A (de) |
DE (1) | DE3535022C2 (de) |
GB (1) | GB2170821B (de) |
HK (1) | HK88390A (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62116762A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-28 | Citizen Watch Co Ltd | 外装部品の製造方法 |
CH664377A5 (de) * | 1986-01-16 | 1988-02-29 | Balzers Hochvakuum | Dekorative schwarze verschleissschutzschicht. |
US4774151A (en) * | 1986-05-23 | 1988-09-27 | International Business Machines Corporation | Low contact electrical resistant composition, substrates coated therewith, and process for preparing such |
FR2612204A1 (fr) * | 1987-03-12 | 1988-09-16 | Vac Tec Syst | Procede et appareil pour le depot par un plasma d'arc electrique sous vide de revetements decoratifs et de revetements resistant a l'usure |
US4816291A (en) * | 1987-08-19 | 1989-03-28 | The Regents Of The University Of California | Process for making diamond, doped diamond, diamond-cubic boron nitride composite films |
US5192410A (en) * | 1988-07-28 | 1993-03-09 | Nippon Steel Corporation | Process for manufacturing multi ceramic layer-coated metal plate |
US5079089A (en) * | 1988-07-28 | 1992-01-07 | Nippon Steel Corporation | Multi ceramic layer-coated metal plate and process for manufacturing same |
US5039376A (en) * | 1989-09-19 | 1991-08-13 | Stefan Zukotynski | Method and apparatus for the plasma etching, substrate cleaning, or deposition of materials by D.C. glow discharge |
US5420778A (en) * | 1990-08-09 | 1995-05-30 | System Homes Company, Ltd. | Independent real time control of output frequency and voltage of PWM inverter |
CN1040556C (zh) * | 1994-06-01 | 1998-11-04 | 中国原子能科学研究院 | 低活性表面强放射源制靶工艺 |
US5753045A (en) * | 1995-01-25 | 1998-05-19 | Balzers Aktiengesellschaft | Vacuum treatment system for homogeneous workpiece processing |
DE59603312D1 (de) * | 1995-01-25 | 1999-11-18 | Balzers Ag Liechtenstein | Verfahren zur reaktiven Schichtabscheidung |
US7144637B2 (en) * | 2004-07-12 | 2006-12-05 | Thomae Kurt J | Multilayer, corrosion-resistant finish and method |
US20080014420A1 (en) * | 2006-07-11 | 2008-01-17 | Ion Technology (Hong Kong) Limited | Surface treatment for titanium or titanium-alloys |
EP2119807B1 (de) * | 2006-11-14 | 2017-09-06 | Kabushiki Kaisha Riken | Herstellungsverfahren für chromnitridüberzugsfilm durch ionenplattieren auf einem kolbenring |
JP4722874B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2011-07-13 | 株式会社デンソー | 燃料供給装置 |
US8974896B2 (en) * | 2013-03-08 | 2015-03-10 | Vapor Technologies, Inc. | Coated article with dark color |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3900592A (en) * | 1973-07-25 | 1975-08-19 | Airco Inc | Method for coating a substrate to provide a titanium or zirconium nitride or carbide deposit having a hardness gradient which increases outwardly from the substrate |
DD145283A1 (de) * | 1979-08-06 | 1980-12-03 | Helmut Bollinger | Verfahren zur herstellung von verschleissfesten und korrosionsbestaendigen schichten |
GB2075068A (en) * | 1980-05-02 | 1981-11-11 | Sumitomo Electric Industries | Articles coated with hard materials |
GB2086943A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-19 | Sumitomo Electric Industries | A process of physical vapor deposition |
US4337300A (en) * | 1979-08-09 | 1982-06-29 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Surface-coated blade member for cutting tools and process for producing same |
US4480010A (en) * | 1982-06-18 | 1984-10-30 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method and coating materials by ion plating |
JPS609872A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-18 | Banbi:Kk | 時計バンドの被膜形成方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH264574A4 (de) * | 1973-03-05 | 1977-04-29 | Suwa Seikosha Kk | Verfahren zum Plattieren von Uhrenteilen in einem Vakuumbehälter |
CH619344B (de) * | 1977-12-23 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur herstellung goldfarbener ueberzuege. | |
CH640886A5 (de) * | 1979-08-02 | 1984-01-31 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zum aufbringen harter verschleissfester ueberzuege auf unterlagen. |
CH624817B (de) * | 1979-09-04 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur herstellung goldfarbener ueberzuege. | |
JPS57200557A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-08 | Mitsubishi Metal Corp | Surface-coated hard alloy member |
JPS5822374A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-09 | Mitsubishi Metal Corp | 表面被覆高速度鋼部材 |
EP0089818A3 (de) * | 1982-03-23 | 1985-04-03 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Beschichtung von Schneideklingen |
AT381268B (de) * | 1982-05-05 | 1986-09-25 | Ver Edelstahlwerke Ag | Werkzeug und verfahren zu dessen herstellung |
-
1985
- 1985-02-08 JP JP60022831A patent/JPS61183458A/ja active Pending
- 1985-09-30 US US06/781,500 patent/US4643952A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-10-01 DE DE3535022A patent/DE3535022C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-10-02 GB GB8524348A patent/GB2170821B/en not_active Expired
-
1990
- 1990-10-25 HK HK883/90A patent/HK88390A/xx unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3900592A (en) * | 1973-07-25 | 1975-08-19 | Airco Inc | Method for coating a substrate to provide a titanium or zirconium nitride or carbide deposit having a hardness gradient which increases outwardly from the substrate |
DD145283A1 (de) * | 1979-08-06 | 1980-12-03 | Helmut Bollinger | Verfahren zur herstellung von verschleissfesten und korrosionsbestaendigen schichten |
US4337300A (en) * | 1979-08-09 | 1982-06-29 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Surface-coated blade member for cutting tools and process for producing same |
GB2075068A (en) * | 1980-05-02 | 1981-11-11 | Sumitomo Electric Industries | Articles coated with hard materials |
GB2086943A (en) * | 1980-11-06 | 1982-05-19 | Sumitomo Electric Industries | A process of physical vapor deposition |
US4480010A (en) * | 1982-06-18 | 1984-10-30 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method and coating materials by ion plating |
JPS609872A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-18 | Banbi:Kk | 時計バンドの被膜形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4643952A (en) | 1987-02-17 |
GB2170821A (en) | 1986-08-13 |
GB8524348D0 (en) | 1985-11-06 |
JPS61183458A (ja) | 1986-08-16 |
HK88390A (en) | 1990-11-02 |
DE3535022A1 (de) | 1986-08-14 |
GB2170821B (en) | 1989-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3535022C2 (de) | Metallischer Gegenstand mit Überzugsschichten und Verfahren zur Herstellung durch Ionenbedampfung | |
DE3027526C2 (de) | ||
DE3841731C1 (en) | Process for coating a tool base, and tool produced by this process | |
DE2825513C2 (de) | Außen goldgefärbtes, schmückendes Teil | |
DE2705225C2 (de) | Ornamentteil für Uhren usw. | |
DE3786800T2 (de) | Anlage zur kontinuierlichen Verbundbeschichtung von bandförmigem Gut. | |
DE69210841T2 (de) | Verfahren zur metallbeschichtung unter verwendung von niedrigtemperaturplasma und elektrotauchlackierung | |
DE68910731T2 (de) | Verfahren zum Aufbringen einer schwarzen Beschichtung auf ein Substrat, sowie dadurch erhaltene schwarze Beschichtung. | |
DE69523950T2 (de) | Dekoratives element | |
DE69310334T2 (de) | Mit hartem Kohlenstoff beschichtetes Material | |
DE3027404A1 (de) | Verfahren zur herstellung goldfarbener ueberzuege | |
DE102015114479A1 (de) | Herstellungsverfahren für hartes gleitelement | |
CH664377A5 (de) | Dekorative schwarze verschleissschutzschicht. | |
DE68903073T2 (de) | Duenner, korrosions- und hitzefester film aus einer aluminiumlegierung sowie verfahren zu dessen herstellung. | |
DE2119066A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von edel metall und/oder edelmetalloxid beschich teten Gegenstanden, insbesondere Elektro den | |
EP0832993A1 (de) | Schichtsystem, Verfahren zur Herstellung desselben und Metallsubstrat mit einem derartigen Schichtsystem | |
DE1954366B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von harten UEberzuegen aus Titan- und/oder Tantalverbindungen | |
DE69102687T2 (de) | Beschichtung zum Schutz vor Verschleiss auf einem Substrat auf Titanbasis. | |
DE69409278T2 (de) | Dekoratives Element mit goldener Färbung und Verfahren zu dessen Herstellung | |
EP1116799A1 (de) | PVD-Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung | |
DE10005612A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes und Gegenstand | |
DE4416525B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung erhöhter Verschleißfestigkeit auf Werkstückoberflächen, und dessen Verwendung | |
DE3637810C2 (de) | Verfahren zum Aufbringen eines dekorativen Überzugs auf eine elektrisch leitende Oberfläche | |
DE69030752T2 (de) | Verfahren zur abscheidung von mindestens einer stärke von mindestens einem dekorativen werkstoff über einen gegenstand und dadurch erhaltener gegenstand | |
DE3425467C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |