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Ein weiteres Problem, das bei Monochromatoren auftritt, ist das Streulicht.
Auf den Eintrittsspalt fällt bei einem einfachen Monochromator Licht verschiedener
Wellenlängen, beispielsweise ein Kontinuum. Dieses Licht läuft nicht nur längs des
idealen, theoretischen Strahlengangs durch das Gerät, wobei nur ein definiertes
Spektralband durch den Austrittsspalt gelangen würde. Vielmehr gelangt auch ein
gewisser Anteil des durch den Eintrittsspalt eingetretenen Lichts durch Streuung
od. dgl. auf anderen Wegen zum Austrittsspalt, so daß am Austrittsspalt außer dem
gewünschten Spektralband auch ein Anteil anderer, unerwünschter Wellenlängen erscheint.
Dieser Anteil kann möglicherweise zwar klein sein. Durch ungünstige Empfindlichkeitscharakteristiken
mancher photoelektrischer Empfänger, die am Rinde des abgetasteten Wellenlängenbereichs
eine steil abfallende Flanke haben, kann dadurch jedoch das Verhältnis von Störsignal
zu Nutzsignal in untragbarer Weise verschlechtert werden.
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Es sind daher Doppelmonochromatoren bekannt (Brügcl. »Einführung
in die tJltrarotspektroskopie« 3.
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Aufl. [1962]. 5. 131), bestehend aus einem als Gitternionochromator
ausgebildeten Vormonochromator und einem ebenfalls als G itiermonochromator ausgebildeten
Hauptnionochromator. Vormonochromator und llauptmonochromator sind dabei im wesentlichen
übereinstimmend ausgebildet. Der Ausrittsspalt des Vormonochromators bildet gleichzeitig
den Eintrittsspalt des 1 lauptmonochromatois. Die Beugungsgitter beider Monochromatoren
liegen im parallelen Strahlengang und werden von dem Wellenlängenantrieb synchron
über je ein Sinusgetriebe angetrieben. Eine Lichtquelle wird, wic bei üblichen Monochromatoren,
über einen Hohlspiegel auf den Eintrittsspalt des Vormonochromators abgebildet.
In diesem Strahlengang sitzt auch eine Filteranordnung zum Herausfiltern störender
Ordnungen. Bei solchen Doppclmonochromatoren tritt aus dem Vormonochromator bereits
im wesentlichen nur Strahlung aus einem engen Spektralband in den Hauptmonochromator.
Eine Streuung im Hauptmonochromator erfolgt daher im wesentlichen nur von Strahlung,
die sowieso in dem gewünschten Spektralband liegt, so daß durch eine solche Streuung
keine unerwünschten Wellenlängen auf den Austrittsspalt des Hauptmonochromators
gelangen können. Bekannte Doppelmonochromatoren haben relativ große Abmessungen
und sind aufwendig und teuer.
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Es ist bekannt zwei Gittermonochromatoren zur tJntcrdrückung höherer
Ordnungen hintereinanderzuschalten. wobei der eine Gittermonochromator in einer
von dem anderen verschiedenen Ordnung arbeitet.
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Dabei wird die durch die höhere Ordnung bedingte hohe Auflösung des
einen Monochromators kombiniert mit dem großen freien Spektralbereich des anderen
(James und Sternberg, »The Design of Optical Spectrometers«, Verlag Chaprnan and
Hall Ltd. London [1969], Seitc 59).
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Bei dieser bekannten Anordnung handelt es sich um das schon oben
erörterte Problem der Unterdrückung höherer Ordnungen. Es wird dabei besondere Sorgfalt
auf die optische Anpassnung der beiden Monochromatoren verwandt. wodurch auch eine
solche Anordnung relativ aufwendig wird.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem noppelmonoch
romÜ tor nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 eine Vcrcinfachung des Aufbaus
und der Einstellung des Vonnonochromators sowie eine raumsparende Anordnung zu erreichen,
wobei jedoch trotzdem nahezu die gleiche Streulichtunterdrückung erfolgt wie bei
vorbekannten. wesentlich aufwendigeren Geräten.
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Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs
1 angegebene Maßnahme gelöst.
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Es ist an sich bekannt. ein ebenes Beugungsgitter im nichtparallelen
Strahlengang in einem Spektrometer anzuordnen. Die dabei auftretenden Abbildungsverhältnisse
werden untersucht (1. N. Howard, »applied Optics« Bd. 5, Nr. 9 [l966j, S. 1466-1467;
Daniel 1,. Schroeder.
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»Journal of the Optical Society of America« Bd. 60, Nr. 8 [1970],
S. 1022 ff., M. V. R. K. Murty. »lournal of the Optical Society of America« Bd.
52. Nr. 7 [1962], S.
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768 ff.; james T Hall, »Applied Opticx« Bd. 5. Nr. 6 11661. S. 1051ff.
und Daniel 8. Schrxleder, ,,Applied Optics« Bd. 5. Nr. 4 [1966]. S. 545 ff.). Dabei
handelt es sich jedoch jeweils um einfache Monochromatoren, wobei sich ergibt. dalt
das Gitter im konvergenten oder divergenten Strahlengang wellenlängenabhängige Abbildungseigenschaften
zeigt, was die Anwendung bei einem hochauflösenden Monochromator nicht zu begünstigen
scheint.
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Es hat sich aber gezeigt, daß ein Monochromator mit einem im konvergenten
oder divergenten Strahlengang angeordncten cbenen Beugungsgitter als Vormonoehromator
bei einem Doppelmonochromator sehr geeignet ist und mit kaum größerem Gesamtaufwand
als bei einem üblichen Monochromator praktisch die gleiche Störlichtunterdrückung
ergibt, wic sie mit vorbekannten, wesentlich aufwendigeren Geräten crreicht wird.
Dabei spielt eine Rolle, daß für einen Vormonochromator mit einem im konvergenten
oder divergenten Strahlengang angeordneten Gitter Bauteile, z. B. ein abbildender
Hohlspiegel, Verwendung finden können, die auch bei einem üblichen Monochromator
zur Abbildung der Lichtquelle auf den Eintrittsspalt sowieso vorgesehen werden müsssen.
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Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist Gegenstand des
Patentanspruchs2.
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Die Erfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels unter
Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen näher erläutert: Fig. 1 zeigt schematisch
eine Draufsicht auf einen Doppelmonochromator; F i g. 2 zeigt einen Strahlengang
zur Erläuterung eines Aspekts der Erfindung.
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In F i g. 1 ist mit 10 eine Lichtquelle bezeichnet, die durch einen
sphärischen Flohispiegel 12 über ein Beugungsgitter 14 auf den Eintrittsspalt 16
eines llauptmonochromators 18 abgebildet wird. Der hauptmonochromator 18 enthält
einen Kollimatorspiegel 20, in dessen Brennebene der Eintrittsspalt 16 liegt. Der
Kollimatorspiegel 20 erzeugt ein einfallendes Parallellichtbündel 22, das auf ein
Beugungsgitter 24 fällt. Das Beugungsgitter 24 wirft für jede Wellenlänge ein gebeugtes
Parallellichtbündel 26 zurück. Normalerweise würde von dem Beugungsgitter ein Kontinuum
von gebeugten Parallellichtbündeln in verschiedene von der jeweiligen Wellenlänge
abhängige Richtungen zurückgeworfen. Durch den Vormonochromator, der generell mit
28 bezeichnet ist, wird aus diesem Kontinuum jedoch schon ein relativ schmales Spektralband
ausgesondert. Die gebeugten Parallellichtbündel fallen wieder auf den Kollimatorspiegel
20, und dieser erzeugt aus den Parallellichtbündeln 26 über einen Planspiegel 30
ein aus Bildern des Eintrittsspaltes 16 bestehendes Spektrum in der Ebene eines
Austrittsspaltes 32.
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In den divergenten Strahlengang des Vormonochromotors 28 zwischen
Lichtquelle 10 und Hohlspiegel 12 taucht en Filterrad 34 ein. Dieses Filterrad 34
ist mit einem Wellenlängenantrieb 36 gekuppelt. Mit dem Filterrad 34 ist wiederum
das um eine Achse 38 verschwenkbare Beugungsgitter 14 über einen in der Figur durch
eine gestrichelte Linie angedeuteten linearen Stelltrieb 40 in Form eines Zahnriemens
gekuppelt. Mit dem Wellenlängerantrieb 36 ist weiterhin das Beugungsgitter 24 des
llauptmonochroinators 18. das um eine Achse 42 verschwenkbar ist, über einen Sinustrieb
44 gekuppelt. so daß der Sinus des Schwenkwinkels proportional der vom Wellenlängenantrieb
36 vorgegebenen Wellenlänge wird. Ein solcher Sinustrieb. der an sich bekannt ist,
kann eine nach Maßgabe der Wellenlänge verdrehbare Spindel enthalten, auf der eine
geradgeführte Mutter sitzt. Ein mit dem Beugungsgitter 24 verbundener Hebel liegt
kraltsehlt is-
sig an einer Planfläche der Mutter an.
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Das Beugungsgitter 14 des Vormonochromators 28 hat einen Gitterabstand
g von 1/144 Millimeter, während das Beugungsgitter 24 des Hauptmonochromators 18
einen Gitterabstand von 1/1440 besitzt.
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Das Beugungsgitter 14 besitzt unter den gegebenen Umständen. wie
schon erwähnt. Abbiidungseigenschaften. Bezeichnet man mit: a die Gegenstandsweite
der Lichtquelle. d. h. den Abstand Lichtquelle-Beugungsgitter, wobei 1 bei Anordnung
des Beugungsgitters im konvergenten Strahlengang negativ und dem Betrag nach gleich
dem Abstand zwischen Beugungsgitter und dem virtuellen Lichtquellenbild im einfallenden
Bündel hinter dem Beugungsgitter ist.
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b die Bildweite. d. h. den Abstand Beugungsgitter-Lichtquellenbild.
wobei b bei Anordnung des Beugungsgitters im divergenten Strahlengang negativ und
dem Betrag nach gleich dem Abstand zwischen dem Beugungsgitter und dem rückwärtigen
virtuellen Lichtquellenbild in ausfallenden Bündel hinter dem Beugungsgitter ist.
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ST den Einfallswinkel der Bündelachse zur Gitternormalen.
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ç den Ausfallwinkel der Bündelachse, ß den Winkel zwischen einfallendem
und ausfallendem Strahl.
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a den Gitterschwenkwinkel und f die formale Brennweite des als Plangitter
ausgebildeten Beugungsgitters.
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dann ergibt sich:
Unter Berücksichtigung der vorgenannten Gleichungen ergeben sich für die verschiedenen
Wellenlängen A und Beugungsgitter mit g = 1/144 mm bzw. 1/1440 mm bei ß = 20 und
tlJ < ç folgende Abbildungsverhältnisse Ib/a Tabelle 1 Abbildungsverhältnisse
b/a A Inml g = 1/1440 mm g = 1/144mm 200 1,110 1,010 400 1,241 1,021 600 1,412 1,031
800 1,668 1,042 Bei einem feinen Beugungsgitter, wie es für den Hauptmonochromator
18 verwendet wird, ändert sich das Abbildungsverhältnis im Spektralbereich von 200
Nanometer bis 800 Nanometer (nm) um 500/6, also bei einem Abstand von 100 Millimeter
um 50 Millimeter.
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Damit wäre eine Abbildung der Lichtquelle auf dem Eintrittsspalt des
Hauptmonochromators über den
gesamten Wellenlängenbereich hinweg nicht mehr gewährleistet.
Bei einem groben Beugungsgitter. wie es tatsächlich als Beugungsgitter 14 für den
Vormonochromator 28 vorgesehen ist. tritt nur eine Änderung des Abbildungsverhältnisses
um etwa 30A> ein. im obigen Beispiel also um 3 Millimeter.
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Der absolute Betrag der axialen Bildverschiebung läßt sich auch dadurch
verringern. daß man die Gegenstandsweite a und damit auch die Bildweite b verkleinert.
Es ist also hinsichtlich der axialen Verschiebung nicht unbedingt erforderlich.
das Gitter sehr grob zu gestalten. Selbst ein dem Sauptgitter gleiches Gitter wäre
grundsätzlich nicht ausgeschlossen.
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Vorzugsweise wird man aber beide Maßnahmen geeignet kombinieren. also
ein groberes Gitter verwenden und kleine Abstände a und b wählen.
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In F i g. 2 ist die Erzeugung eines Lichtquellenbildes der Breite
s durch ein Lichtbündel mit einer Pupille der Breite B veranschaulicht. Das Lichtquellenbild
liegt im Abstand b von der Pupille. d. h. dem Beugungsgitter 14.
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Rechts und links von dem Lichtquellenbild s. d. h. axial vor und hinter
diesem, erkennt man zwei schraffiert dargestellte Gebiete der Tiefen xl und x2 die
von allen Punkten der Pupille her ausgeleuchtet werden und innerhalb derer praktisch
die volle Bestrahlungsstärke wie im Lichtquellenbild s selbst herrscht. Außerhalb
dieser »Kernlichtgebiete« sinkt die Bestrahlungsstärke zum Bündelrand hin bis auf
Null ab. Die Bildweite b sollte sich bei der Abtastung des Wellenlängenbereiches
nur soweit ändern, daß der Eintrittsspalt 16 stets immer noch in diesen Kernlichtgebieten
liegt.
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Für die Tiefen xl und x2 ergibt sich quantitativ
Für die Tiefe xl + x2 des gesamten Kernlichtgebietes kann man näherungsweise schreiben
Der Öffnungswinkel ", des Bündels ist 8 2b (6) Damit ergibt sich X1 + X2 = (7) Die
Änderung der Bildweite b während der Wellenlängenabtastung sollte kleiner als dieser
Wert sein, was nach Tabelle 2 für ein grobes Beugungsgitter erfüllbar ist.
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Die vorstehenden Gleichungen (1) und (2) und Tabelle 1 beziehen sich
auf Abbildungsverhältnisse, die sich aus achsnahen Strahlen ergeben. Für achsferne
Strahlen, die mit der Bündelachse einen endlichen Winkel dz lp im ausfallenden Bündel
einschließen, ergibt sich
Der Zusammenhang zwischen lu # und 1 # ergibt sich aus sin(# +
1#) = m . # v sin(q + 1 q#) (9) g wobei 1 die Wellenlänge und m die Gitterordnung
bezeichnet. Für fi = 20° und die Randstrahlen mit A = - 50 und A zp = + 5° sowie
die Bündelachse d # = 0 ergeben sich die folgenden Abbildungsverhältnisse bei den
beiden Beugungsgittern mit g 5 1/1440 mm undg= s/144mm: Tabelle 2 Abbildungsverhältnisse
b/a bei endlicher Bündelöffnungundg= 1/144mm A [nml ## = - 5° 4 = = d 9 = +50 200
1,095 1,110 1,125 400 1,208 1,241 1,276 600 1,354 1,412 1,474 800 1,569 1,668 1,774
Tabelle 3 Abbildungsverhältnisse b/a bei endlicher Bündelöffnung und g = 1/144mm
A lnm] # # = -5° ## = 0 4, +50 200 1,009 1,010 1,012 400 1,018 1,021 1,024 600 1,027
1,031 1,036 800 1,037 1,042 1,048 Die Randstrahlen haben im Vergleich zu den Wellenlängen
einen verhältnismäßig geringen Einfluß auf die Abbildungsverhältnisse. Bei dem hier
besonders günstigen groben Beugungsgitter liegt die Abweichung bei 800 nm um 1%,
bei 200 nm sogar um 0,3%. Diese »Abbildungsfehler« sind daher zu vernachlässigen.
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Für die Winkeldispersion des Vormonochromators 28 gilt: d # g (10)
dr m und für die Lineardispersion bei einem Abbildungsverhältnis 1:1 durch den Hohlspiegel
12: d # = 1 g dx = b m cosr, (lt) wobei x Wegstrecke in der Ebene des Eintrittsspaltes
16 senkrecht zu der Spaltrichtung bedeuteL Es ergeben sich etwas unterschiedliche
Zahlenwerte je nachdem, ob 4, < tp oder # > SV ist. Für das grobe Beugungsgitter
mitg = 1/144 mm und ß = 20° ergibt sich:
Tabelle 4 Winkeldispersion d #/d # [nm/rad]
[nm] w< # y> v 200 6942 6589 400 6893 6187 600 6675 5617 800 6252 4842 Der
Fall 4, < ç ergibt eine bessere Konstanz der Dispersion über den ganzen Spektralbereich.
Für b = 100mm liefert ein Lichtquellenbild von 1 mm Breite eine spektrale Bandbreite
zwischen 69 nm und 63 nm.
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Der Drehwinkel a des Beugungsgitters 14 ist bei dem groben Beugungsgitter
mit g = 1/144 mm nur klein. Er ändert sich für Wellenlängen zwischen 200 nm und
800 nm zwischen 0,9° und 3,4°. Es muß dafür gesorgt werden, daß das relativ scharfe
Maximum der Wirkungsgrad-Kurve (»Efficiency-Kurve«) des Beugungsgitters 14 in diesem
Bereich liegt Für den Hauptmonochromator 18 gilt hinsichtlich des Schwenkwinkels
des Beugungsgitters 24:
Das Beugungsgitter 14 wird dagegen linear mit der von dem Wellenlängenantrieb 36
vorgegebenen Wellenlänge # verschwenkt. Es ist also # = C + D . # (13) Infolgedessen
liefert der Vormonochromator 28 eine von # etwas abweichende Wellenlänge #' als
Schwerpunkt seines Spektralbands, wobei aber #' stets innerhalb dieses Spektralbandes
mit der oben angegebenen Bandbreite liegt. Wählt man Cund D so, daß an den Enden
des Wellenlängenbereiches 1 = A' wird, dann erhält man für ß = 20°: Tabelle 5 Wellenlängenabweichung
A' - A [nm] # [nm] A' -A(nm] 200 0,00 300 0,05 400 0,09 500 0,14 600 0,13 700 0,09
800 0,00 Diese Wellenlängenabweichung läßt sich noch halbieren, wenn man Cund Dso
wählt, daß sich an den Enden des Spektralbereiches jeweils eine geringe negative
Abweichung zeigt.
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Die obigen Betrachtungen und Berechnungen zur Wellenlängenabweichung
#' - # und zur axialen Bildverschiebung innerhalb des Kernlichtgebiets bleiben auch
dann unverändert gültig, wenn das Gitter im divergenten Strahlengang angeordnet
ist und also die errechne-030 119/371
ten Abweichungen und Verschiebungen
zunächst im virtuellen Bild entstehen. Die reelle Abbildung auf den Haupteintrittsspalt
durch den Spiegel 12 ändert nichts an den Ergebnissen (soweit die axiale Verschiebung
dadurch verändert wird, verändert sich auch im gleichen Verhältnis die Länge des
KernlichtgebietsX Im Gegensatz zur F 1 g. 1 sitzt dabei das Gitter 14 nicht zwischen
Spiegel 12 und Spalt 16, sondern zwischen Uchtqueilen bild 10 und Spiegel 11 Auch
die spektrale Bandbreite bleibt unverändert, Lediglich die Uneardispersion in der
Ebene des Haupteintrittsspalts und damit auch die geometrische Breite des Lichtquellenbildes
in dieser Ebene werden vom Abbildungsverhältnis des Spiegels 12 heeinflußt, wobei
dieses Abbildungsverhältnis nicht mit dem Abbildungsverhältnis l/al des Gitters
verwechselt werden darf. Dieses geometrische Lichtqucllenbild muß möglichst breiter
sein als der Haupteintrittsspalt, weil sonst der Haupteintrittsspalt selbst dann
nicht immer voll ausgeleuchtet wird, wenn die Wellenlängenabweichung ,- stets innerhalb
der spektralen Bandbreite des Vormonochromators liegt Diese Voraussetzung ist im
allgemeinen schon bei einer 1:1 -Abbildung erffillL Aus den vorstehenden Berechnungen
ergibt sich: 1. Bei Verwendung eines relativ grob gerasterten Beugungsgitters 14
hält sich die wellenlängenab-' händige Anderung der Bildweite selbst bei konvergentein
Strahlengang am Beugungsgitter in tragbaren Grenzen Der Eintrittaspalt 16 wird stets
voll ausgeleuchtet 2. Die »Abbildungsfehler«, die durch den endlichen Offnungswinkel
des Bündels hervorgerufen werden, sind vernachlässigbar.
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3. Die spektrale Bandbreite des Vormonochromators ist wesentlich
größer, zwischen 69 nm und 63 nm,
als die spektrale Bandbreite des Hauptmonochromators.
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4. Die wellenlängenproportionale Verschwenkung des Beugungsgitters
14 führt nur zu solchen Abweichungen der Wellenlänge Ä,von der sich aus der Sinusverschwenkung
des Beugungsgitters 24 ergebenden Wellenlänge A, daß A auf jeden Fall innerhalb
der spektralen Bandbreite des Vormonochroinators 28 liegt.
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5. Der beschriebene Doppelmonochromator ist wesentlich einfacher
und kleiner einfacher und kleiner als übliche Doppelmonochromatoren nach dem Stand
der Technik Er steht diesen in seiner Leistungsfãhigkeit jedoch kaum nach.
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Bei der beschriebenen lösung ergeben sich Vereinfachungen verschiedener
Art, die sich gegenseitig bedingen und möglich machen: Die vergrößerte Bandbreite
des vereinfachten Vormonochromators ermöglicht die lineare Gitterverstellung und
damit eine weitere Vereinfachung. Die vergrößerte Bandbreite des Vormonochnrmators
gestattet weiterhin die Verwendung eines gröberen Beugungsgitters, und dieses gröbere
Beugungsgitter kann wiederum in einem konvergenten oder divergenten Strahlengang
angeordnet werden, ohne daß die Wellenlängen abhängige Veränderung der »Schärtenebene«
der über das Gitter im konvergenten oder divergenten Strahlengang erfolgenden Abbildung
kritisch wird. Die vergrößerte Bandbreite des Vormonochromators bringt somit einerseits
eine gewisse Unempfindlichkeit hinsichtlich der seitlichen Lage des vom Vormonochromator
erzeugten Spektrums zum Eintrittsspalt und anderers'eits wird die Verlagerung des
erzeugten Spektrums in Bündeirichtung unkritisch gehalten.