DE19924266A1 - Vorrichtung zum Transport eines Targets - Google Patents

Abstract

In einem Rezipienten ist ein Winkelstück (11) lösbar eingehangen. Dieses hat einen als Seitenteil (12) ausgebildeten Schenkel, der um eine seitlich des Targets (3) verlaufende, vertikale Achse (13) verschwenkt werden kann. Sein anderer Schenkel ist als Spannplatte (14) ausgebildet, welche sich in einer Targetwechselposition vor dem Target (3) erstreckt. Durch Verschwenken des Winkelstückes (14) um die vertikale Achse (13) gelangt die Spannplatte (14) mit dem Target (3) in eine sich außerhalb des Rezipienten (1) befindlichen Übergabeposition.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport ei­ nes Targets einer innerhalb eines Rezipienten angeordne­ ten Kathode aus einer vor der Kathode befindlichen Posi­ tion durch eine seitliche Öffnung des Rezipienten in eine Übergabeposition außerhalb des Rezipienten.

Da das Target von Kathodenzerstäubungsanlagen beim Be­ schichten von Substraten verbraucht wird, besteht die Notwendigkeit, in vom Targetverbrauch abhängigen Zeitin­ tervallen das verbrauchte Target gegen ein neues Target auszuwechseln. Da das Target innerhalb eines Rezipienten angeordnet ist, kann man es nicht schon an einen Kran hängen, solange es sich noch im Rezipienten befindet. Deshalb muss man bislang das Target innerhalb des Rezi­ pienten von der Kathode lösen und von Hand dem Rezipien­ ten entnehmen, bevor man es an einen Kranhaken hängen kann. Heutige Targets erreichen jedoch zusammen mit der ebenfalls zu entnehmenden Grundplatte Gewichte von etwa 40 kp, so dass die Handhabung hohe körperliche Kräfte er­ fordert.

Man könnte zur Erleichterung des Targetwechsels mit einer Handhabungsvorrichtung von der Seite her durch die Öff­ nung des Rezipienten in diesen hineinfahren und mit der Handhabungsvorrichtung das Target greifen. Eine solche Vorrichtung müsste jedoch aufwendig gestaltet sein, da aufgrund der erforderlichen langen Hebelarme und des ho­ hen Gewichtes des Targets relativ hohe Momente auf die Vorrichtung wirken würden.

Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, eine Vorrich­ tung der eingangs genannten Art so zu gestalten, dass sie möglichst einfach ausgebildet und leicht zu handhaben ist, jedoch einen sicheren Transport des Targets von der Kathode aus dem Rezipienten heraus in eine Übergabeposi­ tion ermöglicht.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Win­ kelstück, welches mit einem als Seitenteil ausgebildeten Schenkel um eine vertikale Achse schwenkbar seitlich des Targets in dem Rezipienten zum lösbaren Befestigen und mit seinem anderen Schenkel als Spannplatte ausgebildet ist, welche sich in einer Targetwechselposition vor dem Target erstreckt, wobei die Spannplatte Haltemittel zum Halten des Targets aufweist.

Eine solche Vorrichtung kann zum Gebrauch in den Rezi­ pienten eingesetzt werden und erlaubt durch einfaches Verschwenken des Winkelstückes einen Transport des Tar­ gets von der Kathode in eine außerhalb des Rezipienten befindliche Übergabeposition. Da die vertikale Achse des Winkelstückes seitlich zum Target angeordnet wird, braucht das Seitenteil nur relativ kurz zu sein, um ein Verschwenken des Spannschenkels aus dem Rezipienten her­ aus zu ermöglichen. Dadurch wirken keine unnötig hohen Biegemomente auf die Vorrichtung. Weiterhin kann die er­ findungsgemäße Vorrichtung insgesamt klein ausgebildet werden, so dass sie nur ein relativ geringes Gewicht hat und von einer Person ohne Hebewerkzeuge in den Rezipien­ ten einzusetzen ist.

Die Vorrichtung ist besonders einfach seitlich der Ka­ thode durch einfaches Einhängen zu befestigen, indem die vertikale Achse an einem Einhängeteil angeordnet ist, welches nahe seines oberen Endes zum Einhängen in eine aus einer Halteplatte der Kathode vorspringende Kopf­ schraube eine vertikal verlaufende Nut mit einer kreis­ förmigen Erweiterung zum Einführen des Kopfes der Schraube hat. Eine solche Vorrichtung ist nach dem Ein­ hängen bereits vorfixiert, so dass man sie anschließend loslassen kann, um an einer anderen Stelle eine Schraube durch das Einhängeteil zu schrauben und dadurch eine end­ gültige, unbewegliche Befestigung zu erreichen.

Das Target wird zum Transport von unten abgestützt und ruht mit seinem Gewicht auf der Spannplatte, wenn gemäß einer anderen Weiterbildung der Erfindung die Haltemittel ein in Vertikalrichtung verstellbares Tragteil mit zwei sich spreizenden Tragarmen aufweisen, welche mit jeweils einem in Targetwechselposition unter das Target greifen­ den Tragkörper versehen sind.

Das Tragteil ist besonders einfach gestaltet und kann mit seinen Tragkörpern durch Verschwenken des Winkelstückes bis unterhalb des Targets bewegt und anschließend durch Hochbewegen gegen das Target gefahren werden, wenn das Tragteil die Form eines überkopf ausgerichteten Y hat und sein vertikaler, nach oben gerichteter Steg eine in Quer­ richtung verlaufende Nut aufweist, in welche ein mittels eines Stellhebels verschwenkbarer Exzenter greift.

Das Tragteil lässt sich, nachdem es das Target durch Hochfahren abstützt, auf einfache Weise relativ zur Spannplatte sichern, so dass es sich nicht unbeabsichtigt nach unten bewegen kann, wenn gemäß einer anderen Weiter­ bildung der Erfindung das Tragteil mit seinem nach oben gerichteten Steg auf der Spannplatte aufliegt und von ei­ ner an der Spannplatte befestigten Lasche überbrückt ist und wenn die Lasche eine gegen das Tragteil zu schrau­ bende Feststellschraube aufweist.

Um zu verhindern, dass das mit seiner unteren Seite auf den Tragkörpern stehende Target aus seiner parallel zur Spannplatte ausgerichteten Position wegkippen kann, ist es vorteilhaft, wenn die Spannplatte im oberen Bereich einen schwenkbaren und quer zur Ebene der Spannplatte verschieblichen, in Vertikalstellung durch eine mittlere Durchbrechung des Targets zu schiebenden und in Horizon­ talstellung hinter das Target greifenden Riegel hat.

Eine ausreichende Festigkeit der Vorrichtung lässt sich mit möglichst geringem Materialeinsatz und damit mit ei­ nem möglichst geringen Gewicht der Vorrichtung erreichen, wenn gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung die Spannplatte auf ihrer dem Target zugewandten Seite eine in die Durchbrechung des Targets eingreifende Leiste hat und wenn in dieser Leiste der Stellhebel zum Höhenver­ stellen des Tragteils und ein Stellhebel zum Verschwenken und Verschieben des Riegels gelagert sind.

Die Erfindung lässt verschiedene Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips ist eine davon in der Zeichnung dargestellt und wird nachfolgend beschrieben. Diese zeigt in

Fig. 1 einen horizontalen Schnitt durch eine Be­ schichtungsanlage mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung,

Fig. 2 eine Seitenansicht der Vorrichtung,

Fig. 3 eine Vorderansicht der Vorrichtung.

Die Fig. 1 zeigt einen Rezipienten 1, in welchem eine Kathode 2 mit einem Target 3 angeordnet ist. Innerhalb des Rezipienten 1 erkennt man eine Vielzahl von strich­ punktiert angedeuteten, kreisförmigen Substratträgern 4, welche auf einer kreisförmigen Substratträgerbahn 5 umzu­ laufen vermögen, um nicht gezeigte Substrate mit dem Ma­ terial des Targets 3 durch Kathodenzerstäubung zu be­ schichten.

Der Rezipient 1 hat auf seiner Mantelfläche eine Kammer­ tür 6, die im dargestellten, geschlossenen Zustand gegen Türflansche 7, 8 dichtend anliegt, zum Öffnen jedoch um eine senkrechte Scharnierachse 9 zu schwenken vermag, so dass die Kammertür 6 eine Öffnung 10 freigibt.

Wichtig für die Erfindung ist ein Winkelstück 11, welches ein Seitenteil 12 hat, das um eine vertikale Achse 13 schwenkbar ist. In der dargestellten Position verläuft eine sich rechtwinklig zu dem Seitenteil 12 erstreckende Spannplatte 14 des Winkelstückes 11 unmittelbar vor dem Target 3. Diese Spannplatte 14 vermag das Target 3 zu tragen. Verschwenkt man das Winkelstück 11 um die verti­ kale Achse 13, dann gelangt die Spannplatte 14 in die strichpunktiert dargestellt Position außerhalb des Rezi­ pienten 1, so dass man das dann von der Spannplatte 14 gehaltene Target 3 mit einem Kran übernehmen kann.

Die Fig. 2 lässt erkennen, dass die vertikale Achse 13 des Seitenteils 12 an einem Einhängeteil 15 angebracht ist. Dieses Einhängeteil 15 ist an einer strichpunktiert dargestellten Halteplatte 16 der Kathode 2 befestigt. Hierzu springt aus der Halteplatte 16 eine Kopfschraube 17 vor, die durch eine Nut 18 des Einhängeteils 15 greift. Zum Zwecke des Einhängens hat diese Nut 18 im un­ teren Bereich eine Erweiterung 19, die einen größeren Durchmesser hat als der Kopf der Kopfschraube 17.

Auf der dem in Fig. 1 zu sehenden Target 3 zugewandten Seite ist die Spannplatte 14 mit einer Leiste 20 verse­ hen, welche in eine nicht dargestellte Durchbrechung des Targets 3 zu gelangen vermag, wenn sich die Spannplatte 14 vor dem Target 3 befindet. Diese Leiste 20 lagert zwei Stellhebel 21, 22. Der untere Stellhebel 21 dient dem Verschwenken eines Exzenters 23, welcher in ein Tragteil 24 greift, das sich teilweise auf der Vorderseite der Spannplatte 14 erstreckt, nach unten hin jedoch übersteht und mit Tragkörpern 25 unter das Target 3 zu greifen ver­ mag. Durch Verschwenken des Stellhebels 21 und damit Ver­ drehen des Exzenters 23 kann man das Tragteil 24 so weit anheben, dass die Tragkörper 25 von unten her gegen das Target 3 gelangen und dann das Tragteil 24 mittels einer Feststellschraube 26 blockieren.

Die Fig. 2 zeigt zusätzlich, dass der Stellhebel 22 mit einer Welle 27 die Leiste 20 und das Target 3 durchdringt und auf der Rückseite des Targets 3 einen Riegel 28 auf­ weist. Dieser Riegel 28 ist so bemessen, dass er in einer Winkelstellung des Stellhebels 22 durch die nicht ge­ zeigte Durchbrechung des Targets 3 durch axiales Ver­ schieben der Welle 27 geschoben werden kann und in einer hierzu um 90° verschwenkten Stellung das Target 3 auf seiner Rückseite übergreift und dadurch sichert.

Die Fig. 3 zeigt, dass das Tragteil 24 die Form eines überkopf angeordneten Y hat. Es liegt mit einem Steg 32 auf der Spannplatte 14 auf und hat nach unten hin zwei sich mit einem Winkel von 90° spreizende Tragarme 30, 31, welche jeweils einen der Tragkörper 25, 25' tragen. Der Steg 32 hat eine sich horizontal erstreckende Nut 33, in die der Exzenter 23 greift. Im unteren Bereich führt eine Lasche 34 über den Steg 32. Diese Lasche 34 trägt die Feststellschraube 26.

Bezugszeichenliste

1

Rezipient

2

Kathode

3

Target

4

Substratträger

5

Substratträgerbahn

6

Kammertür

7

Türflansch

8

Türflansch

9

Scharnierachse

10

Öffnung

11

Winkelstück

12

Seitenteil

13

Achse

14

Spannplatte

15

Einhängeteil

16

Halteplatte

17

Kopfschraube

18

Nut

19

Erweiterung

20

Leiste

21

Stellhebel

22

Stellhebel

23

Exzenter

24

Tragteil

25

Tragkörper

26

Feststellschraube

27

Welle

28

Riegel

29

Steg

30

Tragarm

31

Tragarm

32

Steg

33

Nut

34

Lasche

Claims (7)

1. Vorrichtung zum Transport eines Targets einer inner­ halb eines Rezipienten angeordneten Kathode aus einer vor der Kathode befindlichen Position durch eine seitliche Öffnung des Rezipienten in eine Übergabeposition außer­ halb des Rezipienten, gekennzeichnet durch ein Winkel­ stück (11), welches mit einem als Seitenteil (12) ausge­ bildeten Schenkel um eine vertikale Achse (13) schwenkbar seitlich des Targets (3) in dem Rezipienten (1) zum lös­ baren Befestigen und mit seinem anderen Schenkel als Spannplatte (14) ausgebildet ist, welche sich in einer Targetwechselposition vor dem Target (3) erstreckt, wobei die Spannplatte (14) Haltemittel (Tragteil 24) zum Halten des Targets (3) aufweist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die vertikale Achse (13) an einem Einhängeteil (15) angeordnet ist, welches nahe seines oberen Endes zum Ein­ hängen in eine aus einer Halteplatte (16) der Kathode (2) vorspringende Kopfschraube (17) eine vertikal verlaufende Nut (18) mit einer kreisförmigen Erweiterung (19) zum Einführen des Kopfes der Kopfschraube (17) hat.

3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, dass die Haltemittel ein in Vertikalrich­ tung verstellbares Tragteil (24) mit zwei sich spreizen­ den Tragarmen (30, 31) aufweisen, welche mit jeweils ei­ nem in Targetwechselposition unter das Target (3) grei­ fenden Tragkörper (25, 25') versehen sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (24) die Form eines überkopf ausgerich­ teten Y hat und sein vertikaler, nach oben gerichteter Steg (32) eine in Querrichtung verlaufende Nut (33) auf­ weist, in welche ein mittels eines Stellhebels (21) ver­ schwenkbarer Exzenter (23) greift.

5. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Tragteil (24) mit seinem nach oben gerichteten Steg (32) auf der Spann­ platte (14) aufliegt und von einer an der Spannplatte (14) befestigten Lasche (34) überbrückt ist und dass die Lasche (34) eine gegen das Tragteil (24) zu schraubende Feststellschraube (26) aufweist.

6. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannplatte (14) im oberen Bereich einen schwenkbaren und quer zur Ebene der Spannplatte (14) verschieblichen, in Vertikal­ stellung durch eine mittlere Durchbrechung des Targets (3) zu schiebenden und in Horizontalstellung hinter das Target (3) greifenden Riegel (28) hat.

7. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannplatte (14) auf ihrer dem Target (3) zugewandten Seite eine in die Durchbrechung des Targets (3) eingreifende Leiste (20) hat und dass in dieser Leiste (20) der Stellhebel (21) zum Höhenverstellen des Tragteils (24) und ein Stellhebel (22) zum Verschwenken und Verschieben des Rie­ gels (28) gelagert sind.