DE19520640C2 - Optisches Aufzeichnungsmedium und Abspielverfahren für dieses - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Aufzeichnungsmedium nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 und ein Abspiel­ verfahren für ein solches Aufzeichnungsmedium nach dem Ober­ begriff des Patentanspruches 10. In einem solchen Aufzeich­ nungsmedium, wie einer magnetooptische Platte wird Adreß­ information für eine Aufzeichnungs-/Wiedergabespur vorab durch eine Pitreihe aufgezeichnet.

Als Art einer optischen Platte, bei der Neuschreiben möglich ist, wurde eine magnetooptische Platte erforscht und ent­ wickelt. Derartige magnetooptische Platten sind teilweise als externer Speicher für einen Computer bereits der prakti­ schen Verwendung zugeführt.

Magnetooptische Platten zeichnen sich dadurch aus, daß ihre Aufzeichnungskapazität größer als die einer Diskette oder einer Festplatte unter Verwendung eines Films mit in der Ebene liegender Magnetisierung ist, da als Aufzeichnungsme­ dium ein Film mit rechtwinkliger Magnetisierung verwendet wird, wobei das Aufzeichnen und Abspielen unter Verwendung von Licht ausgeführt werden.

Wie es in Fig. 12 dargestellt ist, ist Adreßinformation für eine Spur, in der Information aufgezeichnet wird und von der sie abgespielt wird, in einem erhabenen Bereich 52 durch ei­ ne Pitreihe 53 zwischen Gräben 51, die in einer magnetoopti­ schen Platte ausgebildet sind, aufgezeichnet, wodurch Adreß­ information für die Spur, die dem erhabenen Bereich 52 ent­ spricht, der von einem Lichtfleck 55 abgerastert wird, er­ halten werden kann.

Der Spurabstand ist ungefähr auf einen Wert eingestellt, der mit dem Durchmesser des Lichtflecks 55 übereinstimmt, wobei der Durchmesser des Lichtflecks 55 durch die Wellenlänge ei­ nes Laserstrahls und die numerische Apertur einer Objektiv­ linse zum Konvergieren des Laserstrahls in den Lichtfleck 55 bestimmt ist. Die Wellenlänge des Laserstrahls beträgt im allgemeinen 780 bis 830 nm und die numerische Apertur der Objektivlinse beträgt 0,45 bis 0,6. Daher beträgt der Durch­ messer des Lichtflecks 55 1,2 bis 1,4 µm und der Spurabstand ist ebenfalls auf 1,4 bis 1,6 µm eingestellt. Aus diesem Grund wird die Größe einer Aufzeichnungsdomäne 54, in der die Magnetisierung nach oben oder nach unten zeigt, ungefähr 0,8 µm, was der kleinste Wert ist.

In den letzten Jahren wurde hinsichtlich einer solchen ma­ gnetooptischen Platte ein System zum Herstellen mehrerer ma­ gnetischer Schichten eines Aufzeichnungsfilms zum Abspielen vorgeschlagen, ein Aufzeichnungsbit, das kleiner als der Lichtfleck 55 ist, durch magnetische Superauflösung abzu­ spielen, um die Aufzeichnungsdichte zu verbessern (siehe z. B. die Veröffentlichung 5-81717/1993 (Tokukaihei 5-81717) zu einer japanischen Patentanmeldung sowie Japanese Journal of Applied Magnetics 1991, Vol. 15, Nr. 5, S. 838-845). Gemäß diesen Vorschlägen kann, da ein Aufzeichnungsbit mit einer Größe von 1/2 der obigen abgespielt werden kann, auch der Spurabstand auf im wesentlichen 1/2 verringert werden, d. h. auf ungefähr 0,8 µm.

Außerdem wurde, wie es in Fig. 13 dargestellt ist, für eine optische Platte vom Phasenänderungstyp, bei der eine Auf­ zeichnungsdomäne 58 in einem Graben 56 und erhabenen Bereich 57 ausgebildet ist, ein Verfahren zum Verringern von Über­ sprechen bei einem Aufzeichnungssignal, gemäß dem Störsigna­ le von benachbarten Spuren eindringen, vorgeschlagen (siehe z. B.: (1) CONFERENCE DIGEST 1992, No. 3, 18a-T-2, S. 948; 53rd SYMPOSIUM ON APPLIED PHYSICS, und (2) Improvement of track density by land and groove recording on phase change optical disk; CONFEPENCE DIGEST, Juli 1993, S. 57-58; JOINT INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON OPTICAL MEMORY AND OPTICAL DATA STORAGE).

Jedoch wird bei der vorstehend genannten herkömmlichen An­ ordnung dann, wenn der Spurabstand 1/2 ist, z. B. der Abstand zwischen Pits 53 in aneinandergrenzenden Spuren 1/2. Aus diesem Grund wird das Übersprechen, gemäß dem ein Adreßsig­ nal für die Pitreihe 53 in der nächsten Spur enthalten ist, größer, wodurch die Schwierigkeit entsteht, daß keine genaue Adreßinformation erhalten werden kann.

Außerdem entsteht auch die Schwierigkeit, wenn die Pitreihe 53, die jeweils Adreßinformation liefert, im Graben 56 und in dem erhabenen Bereich 57 ausgebildet ist, daß der Her­ stellprozeß für eine optische Platte kompliziert wird.

Aus der DE 42 12 663 A1 ist ein magnetooptischer Datenauf­ zeichnungsträger bekannt, der ein transparentes Plattensub­ strat mit spiralförmig und parallel zueinander ausgebildeten stegförmigen und rillenförmigen Bereichen enthält, von denen die rillenförmigen Bereiche gegenüber den stegförmigen Bereichen abgestuft sind. Die Bereiche besitzen in ihrer Oberfläche eine magnetische Leseschicht und eine magnetische Schreibschicht, die unterschiedliche Curie-Temperaturen und magnetische Koerzitivkräfte haben.

Weiterhin ist aus der DE 37 14 804 A1 eine optische Informa­ tionsspeicherplatte bekannt, bei der Adreß- oder Steuer­ spuren für mehrere Datenspuren gemeinsam ausgebildet sind.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches Auf­ zeichnungsmedium und ein Abspielverfahren für ein solches Medium zu schaffen, bei denen verhindert werden kann, daß Adreßinformation von einer Spur, wie durch eine Pitreihe er­ halten, die unregelmäßig in einem optischen Aufzeichnungsme­ dium ausgebildet ist, von Adreßinformation her eintritt, wie sie von einer folgenden Pitreihe erhalten wird, und auch ein optisches Aufzeichnungsmedium zu schaffen, das mit einem vereinfachten Prozeß hergestellt werden kann.

Diese Aufgabe ist durch das Aufzeichnungsmedium gemäß dem beigefügten Anspruch 1 gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Anordnung sind die Adreßinforma­ tion repräsentierenden Pitreihen im Grenzabschnitt zwischen benachbarten Gräben und erhabenen Bereichen in jedem über­ nächsten Grenzabschnitt ausgebildet, wobei die aneinander­ grenzenden Pitreihen voneinander um einen Abstand entfernt sind, der (Breite des Grabens) + (Breite des erhabenen Be­ reichs) entspricht. Anders gesagt, ist der Abstand zwischen der Mitte des Grabens oder des erhabenen Bereichs, wo eine Pitreihe am Grenzabschnitt ausgebildet ist, zur Mitte einer Pitreihe, die am nächsten Grenzabschnitt ausgebildet ist, das 1,5- bis 2,5-fache der Breite des Grabens oder des erha­ benen Bereichs.

Daher liegt bei einem optischen Aufzeichnungsmedium, bei dem Aufzeichnungsbits sowohl in den Gräben als auch den erhabe­ nen Bereichen ausgebildet sind, so daß der Spurabstand auf 1/2 verringert ist, selbst dann, wenn die Gräben und die er­ habenen Bereiche mit einem Lichtfleck herkömmlicher Größe beleuchtet werden und ein Aufzeichnungsbit mittels der oben genannten magnetischen Superauflösung ausgelesen wird, eine am nächsten Grenzabschnitt ausgebildete Pitreihe nicht im optischen Fleck. Als erster Effekt ist Übersprechen dann verhindert, wenn Adreßinformation aus einer bestimmten Pit­ reihe ausgelesen wird, so daß also keine Adreßinformation einer nächsten Pitreihe enthalten ist, was es ermöglicht, genaue Adreßinformation zu erhalten.

Da benachbarte Pitreihen ausreichend voneinander getrennt sind, ist außerdem, als zweite Wirkung, die Änderung des Ausmaßes von Übersprechen mit einer Änderung der Pitbreite verringert. Darüber hinaus werden, da die Pitreihen in den Grenzabschnitten zwischen den Gräben und den erhabenen Be­ reichen ausgebildet sind, dann, wenn Aufzeichnungsbits abge­ spielt werden, wobei die Mitte des Lichtflecks in der Mitte der Gräben oder erhabenen Bereiche liegt, alle Pitreihen im Umfangsbereich des Lichtflecks beleuchtet, so daß Adreßin­ formation ausgelesen wird. Wenn eine Pitreihe im Umfangsbe­ reich des Lichtflecks beleuchtet wird, wird die Stärke der Lichtbeugung schwächer. Im Ergebnis wird als dritter Effekt die Abhängigkeit der Stärke des Signals, das von einer Pit­ reihe an der Breite eines Pits erhalten wird, auch schwä­ cher. Auf diese Weise wird, nachdem der vorstehend genannte zweite und dritte Effekt erzielt sind, die Herstellung eines optischen Aufzeichnungsmediums einfach, da die Genauigkeits­ forderungen hinsichtlich der Form eines Pits gelindert sind.

Da es nicht erforderlich ist, Adreßinformation liefernde Pitreihen in den Gräben und erhabenen Bereichen auszubilden, kann ferner als vierter Effekt die Gesamtanzahl von Pitrei­ hen stark verringert werden, was es ermöglicht, ein opti­ sches Aufzeichnungsmedium einfach herzustellen.

Hierbei kann in jedem Graben oder erhabenen Bereich ein Mar­ kierungsbereich mit speziellem Brechungsindex (z. B. ein Un­ terscheidungspit) ausgebildet sein.

Im Ergebnis kann eine Erkennung leicht dahingehend erfolgen, ob eine vom Lichtfleck beleuchtete Aufzeichnungs-/Wiederga­ bespur ein Graben oder ein erhabener Bereich ist, und zwar durch Erkennen des Markierungsbereichs auf Grundlage einer Änderung der Stärke reflektierten Lichts.

Anders gesagt, ergibt sich dann, wenn der Markierungsbereich nicht vorhanden ist und sowohl die Gräben als auch die erha­ benen Bereiche Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren bilden, die­ selbe Adresse von ein und derselben Pitreihe im Grenzab­ schnitt zwischen der Aufzeichnungs-/Wiedergabespur des Gra­ bens und derjenigen des erhabenen Bereichs. Jedoch kann eine Unterscheidung zwischen einem Graben und einem erhabenen Be­ reich, die beide dieselbe Adresse erhalten haben, einfach dadurch ausgeführt werden, daß ein Markierungsbereich entwe­ der für jeden Graben oder jeden erhabenen Bereich vorhanden ist.

Hinsichtlich des Verfahrens ist die oben genannte Aufgabe durch die Lehre von Anspruch 10 gelöst.

Durch die Maßnahmen des erfindungsgemäßen Verfahrens werden dann, wie hinsichtlich des erfindungsgemäßen optischen Auf­ zeichnungsmediums erläutert, dann, wenn die Gräben oder er­ habenen Bereiche als Aufzeichnungs-/Wiedergabespur durch Licht abgerastert werden, alle Pitreihen im Umfangsbereich des Lichtflecks beleuchtet, so daß ihre Adreßinformation ausgelesen wird, jedoch liegt eine Pitreihe, die im nächsten Grenzabschnitt ausgebildet ist, nicht im Lichtfleck. Im Er­ gebnis wird dann, wenn Adreßinformation aus einer bestimmten Pitreihe ausgelesen wird, Übersprechen, das einem Einschluß von Adreßinformation aus einer folgenden Pitreihe ent­ spricht, verhindert, wodurch es ermöglicht ist, genaue Adreßinformation zu erhalten.

Dabei wird sowohl für eine Aufzeichnungs-/Wiedergabespur in einem Graben als auch die Aufzeichnungs-/Wiedergabespur in einem erhabenen Bereich dieselbe Adresse aus derselben Pit­ reihe im Grenzabschnitt zwischen dem Graben und dem erhabe­ nen Bereich ausgelesen. Da jedoch das Abspielverfahren für das optische Aufzeichnungsmedium den Schritt des Unterschei­ dens, ob die vom Licht abgerasterte Aufzeichnungs-/Wiederga­ bespur in einem Graben oder einem erhabenen Bereich liegt, beinhaltet, kann eine durch Licht abgerasterte Aufzeich­ nungs-/Wiedergabespur auf Grundlage genauer Adreßinformation genau spezifiziert werden.

Hierbei kann die Unterscheidung dahingehend, ob eine durch Licht abgerasterte Aufzeichnungs-/Wiedergabespur in einem Graben oder einem erhabenen Bereich liegt, dadurch erfolgen, daß die Polarität eines Spurführungssignals erfaßt wird.

Die Erzeugung eines Spurführungssignals ist unbedingt erfor­ derlich, damit ein Lichtfleck einem Graben oder einem erha­ benen Bereich folgt. Die negative/positive Polarität des Spurführungssignals wird umgekehrt, um eine verfolgte Spur auf einen Graben oder einen erhabenen Bereich umzuschalten. Daher kann eine Unterscheidung zwischen Gräben und erhabenen Bereichen einfach dadurch erfolgen, daß die Polarität eines Spurführungssignals abgespeichert wird, ohne daß eine spe­ zielle Anordnung hinzuzufügen ist.

Für ein vollständigeres Verständnis der Art und der Vorteile der Erfindung ist auf die folgende detaillierte Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen Bezug zu neh­ men.

Fig. 1 ist eine Draufsicht, die schematisch den Aufbau einer erfindungsgemäßen magnetooptischen Platte zeigt, die mit adreßinformationsgebenden Pitreihen versehen ist.

Fig. 2 ist eine Draufsicht, die schematisch einen Aufbau ei­ ner erfindungsgemäßen magnetooptischen Platte zeigt, die mit Unterscheidungspits und Pitreihen versehen ist.

Fig. 3 ist ein Kurvendiagramm, das die Abhängigkeit der Stärke eines durch die Anordnung der in Fig. 1 dargestellten Pitreihen erhaltenen Pitsignals von der Pitbreite zeigt.

Fig. 4 ist ein Kurvendiagramm, das die Änderung der Stärke eines Übersprechungssignals von der Pitbreite zeigt, wobei die Erfindung mit einem herkömmlichen Beispiel verglichen ist.

Fig. 5 ist ein Kurvendiagramm, das die Abhängigkeit der Stärke des durch die Anordnung der in Fig. 1 dargestellten Pitreihen erhaltenen Signals von der Pittiefe zeigt.

Fig. 6 ist ein Kurvendiagramm, das die Änderung der Stärke eines Übersprechungssignals von der Spurtiefe zeigt, mit ei­ nem Vergleich zwischen der Erfindung und einem herkömmlichen Beispiel.

Fig. 7 ist ein Kurvendiagramm, das die Änderung der Stärke eines Übersprechungssignals von der Spurtiefe zeigt, mit ei­ nem Vergleich zwischen der Erfindung und einem herkömmlichen Beispiel, wenn die Wellenlänge des zum Erhalten des Ergeb­ nisses von Fig. 6 verwendeten Lichts geändert wird.

Fig. 8(a) bis 8(d) sind erläuternde Zeichnungen, die konkre­ te Verfahren zum Verwalten von Adressen von Aufzeichnungs-/ Wiedergabespuren bei der in Fig. 1 dargestellten Anordnung von Pitreihen veranschaulichen.

Fig. 9(a) bis 9(f) sind Längsschnitte, die schematisch Pro­ zesse zum Herstellen einer magnetooptischen Platte mit dem in Fig. 1 dargestellten Aufbau in der Ausführungsreihenfolge zeigen.

Fig. 10(a) bis 10(c) sind Längsschnitte, die schematisch Va­ riationen für die Form zeigen, die die in Fig. 1 dargestell­ ten Pitreihen einnehmen können.

Fig. 11 ist ein Kurvendiagramm, das die Abhängigkeit der Stärke eines aus einer Adreßinformation liefernden Pitreihe erhaltenen Pitsignals von der Pitbreite für eine magnetoop­ tische Platte mit herkömmlichem Aufbau zeigt.

Fig. 12 ist eine Draufsicht, die schematisch einen Aufbau einer magnetooptischen Platte mit herkömmlichen Pitreihen zeigt.

Fig. 13 ist ein perspektivische Ansicht, die schematisch ei­ nen Aufbau einer herkömmlichen optischen Platte vom Phasen­ änderungstyp zeigt.

Ausführungsbeispiel 1

Im folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung er­ örtert.

Wie in Fig. 1 dargestellt, sind ein Graben 1 und ein erhabe­ ner Bereich 2 zwischen Gräben 1, 1 bei einer magnetoopti­ schen Platte des vorliegenden Ausführungsbeispiels so ausge­ bildet, daß sie spiralförmig oder konzentrisch, kreisförmig sind. Da Information als Aufzeichnungsbitkette 4 im Graben 1 und im erhabenen Bereich 2 aufgezeichnet ist, ist jeder Kreis aus einem Graben 1 und einem Bereich 2 eine Spur zum Aufzeichnen und Wiedergeben. Darüber hinaus sind die Breite des Grabens 1 und die Breite des erhabenen Bereichs 1 auf denselben Wert eingestellt, so daß die Qualität eines Ab­ spielsignals hinsichtlich der Aufzeichnungsbitkette 4, die im Graben 1 aufgezeichnet wurde, und die Qualität eines Ab­ spielsignals hinsichtlich der Aufzeichnungsbitkette 4, die im erhabenen Bereich 2 aufgezeichnet wurde, im wesentlichen übereinstimmen.

Eine Pitreihe 3, die später detaillierter erläutert wird, ist jeweils in jedem zweiten Grenzabschnitt zwischen einem Graben 1 und dem benachbarten erhabenen Bereich 2 ausgebil­ det. Mittels jeder Pitreihe 3 ist Adreßinformation aufge­ zeichnet, die die Adresse jeder Aufzeichnungs-/Wiedergabe­ spur auf der magnetooptischen Platte angibt.

Zum Vereinfachen der Erläuterung sind zu jedem Graben 1 in Fig. 1 Untersymbole [G1, G2, G3] in dieser Reihenfolge hin­ zugefügt, und Untersymbole [L1, L2, L3] bzw. [P1, P2, P3] sind in dieser Reihenfolge zu jedem erhabenen Bereich 2 bzw. jeder Pitreihe 3 hinzugefügt. Wenn die folgende Erläuterung eine Unterscheidung für jeden Graben 1 erfordert, werden diese Untersymbole verwendet. Dies gilt entsprechend für die erhabenen Bereiche 2 und die Pitreihen 3.

Hierbei werden ein Graben 1 und ein erhabener Bereich 2, die aneinander angrenzen, als eine Gruppe angesehen. D.h., daß der Graben G1 und der erhabene Bereich L1, die aneinander­ grenzen, der Graben G2 und der erhabene Bereich L2, die an­ einandergrenzen, und der Graben G3 und der erhabene Bereich L3, die aneinandergrenzen, jeweils eine Gruppe bilden.

Wie es aus Fig. 1 erkennbar ist, ist eine Folge von Pitrei­ hen 3 pro Gruppe aus einem Graben 1 und einem erhabenen Be­ reich 2 vorhanden. D.h., daß eine Pitreihe P1 im Grenzab­ schnitt zwischen dem Graben G1 und dem erhabenen Bereich L1 ausgebildet ist, eine Pitreihe P2 im Grenzabschnitt zwischen dem Graben G2 und dem erhabenen Bereich L2 ausgebildet ist, und eine Pitreihe P3 im Grenzabschnitt zwischen dem Graben G3 und dem erhabenen Bereich L3 ausgebildet ist. Anders ge­ sagt, sind die Pitreihen 3 in jedem übernächsten Grenzab­ schnitt zwischen benachbarten Gräben 1 und erhabenen Berei­ chen 2 ausgebildet.

In diesem Fall haben der Graben G1 und der erhabene Bereich L1 dieselbe Adresse, da die Adreßinformation für diesen Gra­ ben G1 und den erhabenen Bereich L1 in der Pitreihe P1 auf­ gezeichnet ist. Auf ähnliche Weise haben der Graben G2 und der erhabene Bereich L2 durch die Pitreihe P2 dieselbe Adresse, und der Graben G3 und der erhabene Bereich L3 haben durch die Pitreihe P3 dieselbe Adresse.

Fig. 10(a) zeigt einen Schnitt und eine Draufsicht entlang einer Linie A-A für ein Substrat 7, in dem eine Pitreihe 3 im Grenzabschnitt zwischen einem Graben 1 und einem erhabe­ nen Bereich 2 ausgebildet ist. In Fig. 10(a) ist die Pitrei­ he 3 dadurch im genannten Grenzabschnitt ausgebildet, daß eine Ecke an der Oberfläche des erhabenen Bereichs 2 einge­ höhlt ist und anschließend eine Ecke an der Bodenseite des Grabens 1 eingehöhlt ist.

Wenn bei der obigen Anordnung eine Aufzeichnungsbitkette 4 durch einen Lichtfleck 5 mit hoher Leistung ausgebildet wird und Information auf einer magnetooptischen Platte aufge­ zeichnet wird, und wenn die Aufzeichnungsbitkette 4 durch einen Lichtfleck 5 mit geringer Leistung abgerastert wird, um Information von der magnetooptischen Platte abzuspielen, wird die Spurführung hinsichtlich des Grabens 1 oder hin­ sichtlich des erhabenen Bereichs 2 geregelt.

Wie beispielhaft in Fig. 1 dargestellt, kann dann, wenn der Lichtfleck 5 eine Aufzeichnungs-/Wiedergabespur im Graben G2 abrastert, Adreßinformation aus der Pitreihe P2 erhalten werden, die im Grenzabschnitt zwischen dem Graben G2 und dem erhabenen Bereich L2 ausgebildet ist. Dabei sind beim vor­ liegenden Ausführungsbeispiel die Intervalle zwischen auf­ einanderfolgenden Pitreihen 3 doppelt so groß wie der Spur­ abstand, da jeweils eine Pitreihe 3 in jedem übernächsten Grenzabschnitt zwischen einem Graben 1 und einem erhabenen Bereich 2, die aneinandergrenzen, ausgebildet sind. Ferner wird die Beziehung zwischen der Mitte der Beleuchtung durch den Lichtfleck 5 und einer Pitreihe 3 erläutert. Der Abstand zwischen der Mitte eines Grabens G2, entsprechend der Mitte der Beleuchtung durch den Lichtfleck 5 und der nächsten Pit­ reihe P1 ist das 1,5-fache des Spurabstands, und der Abstand zwischen der Mitte eines Grabens G2 und der auf der nächsten Seite benachbarten Pitreihe P3 ist das 2,5-fache des Spurab­ stands.

Im Ergebnis sind, da der Radius des Lichtflecks 5 kleiner als der Spurabstand ist, dann, wenn der Lichtfleck 5 die Pitreihe P2 abrastert, z. B. die Pitreihe P1 und die Pitreihe P3, die zur Pitreihe P2 benachbart sind, ziemlich weit vom Bereich der Beleuchtung durch den Lichtfleck 5 getrennt. Da­ her wird das Übersprechen im Vergleich zu dem Fall, bei dem Pitreihen sowohl in den Gräben als auch den erhabenen Berei­ chen ausgebildet sind, aus einer benachbarten Pitreihe sehr klein, was es ermöglicht, genaue Adreßinformation zu erzie­ len.

Auf ähnliche Weise kann aus der Pitreihe P2 auch dann genaue Adreßinformation erhalten werden, wenn der Lichtfleck 5 eine Spur im erhabenen Bereich L2 abrastert.

Dabei kann eine Unterscheidung zwischen der Aufzeichnungs-/ Wiedergabespur im Graben G2 und der Aufzeichnungs-/Wiederga­ bespur im erhabenen Bereich L2 durch Erfassen der Polarität auf einfache Weise erfolgen.

Hierbei wird das Spurführungssignal verwendet, das im allge­ meinen ein durch ein Gegentaktverfahren erzeugtes Signal ist. Die positive/negative Polarität des Spurführungssignals wird umgekehrt, damit die verfolgte Spur auf einen Graben oder einen erhabenen Bereich umgeschaltet wird. Daher kehrt sich die Polarität des Spurführungssignals um, wenn der Lichtfleck 5 einen Graben 1 oder einen erhabenen Bereich 2 beleuchtet. Aus diesem Grund kann die Unterscheidung zwi­ schen einem Graben und einem erhabenen Bereich einfach da­ durch erfolgen, daß die umgekehrte Polarität abgespeichert wird und die Polarität des Spurführungssignals erfaßt wird.

Auf diese Weise ist es nicht erforderlich, eine spezielle Anordnung zum Unterscheiden zwischen einem Graben und einem erhabenen Bereich hinzuzufügen.

Daher kann beim Aufzeichnen und Abspielen unter Verwendung des Grabens G2 oder des erhabenen Bereichs L2 als Aufzeich­ nungs-/Wiedergabespur selbst dann, wenn dieselbe Adreßinfor­ mation von derselben Pitreihe P2 erhalten wird, durch Erfas­ sen der Polarität des Spurführungssignals leicht unterschie­ den werden, ob die Aufzeichnungsspur im Graben G2 oder die im erhabenen Bereich L2 zum Aufzeichnen und Abspielen ver­ wendet wird.

Außerdem ist gemäß einem anderen Verfahren zum Unterscheiden zwischen einem Graben 1 und einem erhabenen Bereich 2, wie durch Fig. 2 veranschaulicht, ein Unterscheidungspit 11 vor­ ab entweder in jedem Graben 1 oder jedem erhabenen Bereich 2 ausgebildet, und die Unterscheidung kann unter Verwendung eines Abspielsignals vom Unterscheidungspit 11 erfolgen. Hierbei kann das Unterscheidungspit 11 an einer Position vorhanden sein, bevor der Lichtfleck 5 die Pitreihen 3 abra­ stert, oder danach. Darüber hinaus ist in Fig. 2 ein Unter­ scheidungspit 11 dargestellt, das an einer Position ausge­ bildet ist, jedoch können mehrere Unterscheidungspit 11 so, daß sie eine Reihe bilden, ausgebildet werden, um zu verhin­ dern, daß ein Unterscheidungspit 11 nicht erkannt wird.

Wie in Fig. 2 dargestellt, ist es dann, wenn ein Unterschei­ dungspit 11 in jedem erhabenen Bereich 2 ausgebildet ist, der Brechungsindex des Substrats n ist und die Wellenlänge des Lichtflecks λ ist, zweckmäßig, daß das Unterscheidungs­ pit 11 so ausgebildet ist, daß es eine Tiefe von ungefähr λ/4n und eine Breite von ungefähr 0,3 T bis 0,4 T aufweist; T ist dabei der Spurabstand. Der Grund hierfür ist der, daß in diesem Fall das Abspielsignal zum Unterscheidungspit 11 maximal wird und Übersprechen vom benachbarten Unterschei­ dungspit 11 begrenzt ist. Hierbei bedeutet die Breite eines Unterscheidungspits 11 eine Längsabmessung der magnetoopti­ schen Platte in radialer Richtung.

Außerdem unterscheidet sich dann, wenn der Lichtfleck 5 ei­ nen erhabenen Bereich 2 abrastert, die Stärke des vom Unter­ scheidungspit 11 erhaltenen Abspielsignals von der Stärke eines Signals, wie es von der Pitreihe 3 erhalten wird, so daß die beiden Signale deutlich voneinander unterschieden werden können. Indessen ist dann, wenn der Lichtfleck 5 den Graben 1 abrastert, die Stärke des vom Unterscheidungspit 11 erhaltenen Signals, da das Unterscheidungspit 11 im erhabe­ nen Bereich 2 kaum vom Lichtfleck 5 beleuchtet wird, viel kleiner als dann, wenn der Lichtfleck 5 den erhabenen Be­ reich 2 abrastert. Daher können ein Graben 1 und ein erhabe­ ner Bereich 2 durch die Änderung der Stärke des Signals un­ terschieden werden, das von einem Unterscheidungspit 11 er­ halten wird.

Wenn beim vorliegenden Ausführungsbeispiel die Pitreihe 3 z. B. im Grenzabschnitt zwischen dem Graben G2 und dem erha­ benen Bereich L2 ausgebildet ist und der Lichtfleck 5 den Graben G2 abrastert, sind die Pitreihen 3 rechts von der Richtung angeordnet, in der sich der Lichtfleck 5 bewegt. Jedoch können die Pitreihen z. B. im Grenzabschnitt zwischen dem Graben G2 und dem erhabenen Bereich L1 ausgebildet sein, so daß sie links von der Richtung liegen, in der sich der Lichtfleck 5 bewegt. Hinsichtlich der Stärke des Signals, das von den Pitreihen 3 erhalten wird, macht es keinerlei Unterschied, welcher Fall gewählt wird, jedoch ist es dann, wenn es um die Kompatibilität zu optischen Platten geht, er­ forderlich, die Relativpositionen der Gräben 1 oder der er­ habenen Bereiche 2 zu den Pitreihen 3 zu spezifizieren.

Nachfolgend wird ein Verfahren zur Adressenverwaltung erör­ tert.

Bei einem ersten Verfahren werden, wie in Fig. 8(a) darge­ stellt, Adressen so in den Pitreihen 3 aufgezeichnet, daß sie aufeinanderfolgend um den Wert 1 zunehmen oder abnehmen. Ein Graben und ein erhabener Bereich, in deren Grenzab­ schnitt die Pitreihen 3 ausgebildet sind, werden durch die­ selbe Adresse verwaltet. Da in diesem Fall die aus den Pit­ reihen 3 ausgelesene Adresse unmittelbar verwendet wird, be­ steht der Vorteil, daß die Adresse leicht im Vergleich zu einem Verfahren verwaltet werden kann, bei dem eine aus den Pitreihen 3 ausgelesene Adresse in eine Adresse für einen Graben oder einen erhabenen Bereich umgesetzt wird.

Bei einem zweiten Verfahren, wie es durch Fig. 8(b) veran­ schaulicht ist, ist jede Pitreihe 3 so ausgebildet, daß die Adressen um den Wert 2 zunehmen oder abnehmen. Dann wird ei­ ne Adresse, die mit derjenigen der Pitreihe 3 übereinstimmt, entweder für den Graben oder den erhabenen Bereich verwen­ det, und für den jeweils anderen Bereich wird eine Adresse verwendet, die aus der Adresse der Pitreihe 3 durch Addieren oder Subtrahieren von 1 hervorgeht. Im Ergebnis werden ein Graben und ein erhabener Bereich, in deren Grenzabschnitt die Pitreihen 3 ausgebildet sind, durch verschiedene Adres­ sen verwaltet. Da in diesem Fall die Adressen in radialer Richtung der optischen Platte fortlaufend sind, besteht der Vorteil, daß der Zugriff auf eine Aufzeichnungs-/Wiedergabe­ spur mit einer Zieladresse einfach ist.

Außerdem ist bei einem dritten Verfahren, wie durch Fig. 8(c) veranschaulicht, ähnlich wie beim ersten Verfahren jede Pitreihe 3 so ausgebildet, daß die Adressen um den Wert 1 zunehmen oder abnehmen. Dann wird eine Adresse, die mit der der Pitreihe 3 übereinstimmt, für den Graben oder den erha­ benen Bereich festgelegt, und für den jeweils anderen Be­ reich erfolgt eine Umsetzung entsprechend der Formel (Adres­ se der Pitreihe) + (Gesamtanzahl der Spuren)/2, wodurch eine Adresse spezifiziert wird. Im Ergebnis werden ein Graben und ein erhabener Bereich, in deren Grenzabschnitt die Pitreihe 3 ausgebildet ist, durch verschiedene Adressen verwaltet. Da in diesem Fall die Adressen für die Gräben und die erhabenen Bereiche jeweils fortlaufend sind, ist dann, wenn durch Auf­ suchen der fort laufenden Adressen auf eine Ziel-Aufzeich­ nungs-/Wiedergabespur zugegriffen wird, keine Regelungsum­ schaltung für einen Graben und einen erhabenen Bereich er­ forderlich, wodurch es möglich ist, die Zugriffsgeschwindig­ keit zu erhöhen.

Außerdem ist bei einem vierten Verfahren, wie es durch Fig. 8(d) veranschaulicht ist, ähnlich wie beim ersten Verfahren jede Pitreihe 3 so ausgebildet, daß die Adressen um den Wert 1 zunehmen oder abnehmen. Dann wird eine mit der Adresse der Pitreihe 3 übereinstimmende Adresse für den Graben oder den erhabenen Bereich spezifiziert und für den anderen dieser Bereiche erfolgt eine Umsetzung entsprechend der Formel (Ge­ samtanzahl der Spuren) - (Adresse der Pitreihe) + 1, wodurch eine Adresse spezifiziert ist. Im Ergebnis werden der Graben und der erhabene Bereich, in deren Grenzabschnitt die Pit­ reihe 3 ausgebildet ist, durch verschiedene Adressen verwal­ tet. In diesem Fall ist dann, wenn durch Suchen der fortlau­ fenden Adressen auf eine Ziel-Aufzeichnungs-/Wiedergabespur zugegriffen wird, kein Umschalten der Regelung für Gräben und erhabene Bereiche erforderlich. Ferner kann, da hin­ sichtlich der letzten Adresse der Pitreihe (Gesamtanzahl der Spuren)/2 und (Gesamtanzahl der Spuren)/2 + 1 Adressen eines Grabens und eines erhabenen Bereichs, die aneinandergrenzen, sind, nach dem Ankommen an der letzten Adresse der Pitreihe die jeweils nächste Zielspur fortlaufend gesucht werden, was es ermöglicht, die Zugriffsgeschwindigkeit zu erhöhen.

Für das Verfahren zum Verwalten der Adressen von Gräben und erhabenen Bereichen besteht keine Beschränkung auf die vor­ stehend genannten Verfahren, jedoch ist es, wenn Kompatibi­ lität mit optischen Platten in Betracht gezogen wird, erfor­ derlich, irgendein Adreßverwaltungsverfahren zu spezifizie­ ren.

Nachfolgend wird die Pitform erörtert, wie sie für die Pit­ reihe 3 bei der Erfindung geeignet ist.

Die Fig. 3 bis 5 sind Kurvendiagramme, die Ergebnisse für Beziehungen zwischen der Beugungsstärke und der Pitform ei­ ner Pitreihe 3 zeigen, wenn ein Lichtfleck 5 einen erhabenen Bereich abrastert, und zwar für den Fall, daß die Breiten der Gräben 1 und der erhabenen Bereiche 2 jeweils 0,8 µm sind (d. h., daß der Spurabstand 0,8 µm beträgt).

Hierbei wurde ein Polycarbonat mit einem Brechungsindex n von 1,58 als Substrat verwendet, und es wurden Gräben mit einer Tiefe 55 nm hergestellt. Darüber hinaus betrug die Wellenlänge des Abspiellichts λ 780 nm und die numerische Apertur NA einer konvergierenden Objektivlinse betrug 0,55. Hierbei wurde die Stärke eines Signals als Verhältnis der Stärke des Substratlichts zur Reflexionsstärke in einem ebe­ nen Bereich erhalten.

Fig. 3 zeigt die Änderung der Stärke eines Pitsignals hin­ sichtlich einer Breitenänderung eines Pits, wenn die Länge jedes Pits der Pitreihe 3 konstant ist. Hierbei wiesen Pits 2 verschiedene Längen auf: 2,4 µm (langes Pit) und 0,7 bis 0,8 µm (kurzes Pit), wobei die Pittiefe 130 nm betrug. Da die Reihe kurzer Pits mit einem Abstand von 1,52 µm ausge­ bildet war, bestand Beeinflussung durch das jeweils nächste kurze Pit und die Signalstärke war kleiner als dann, wenn nur ein kurzes Pit durch einen Lichtfleck 5 beleuchtet wird. Hierbei bedeutet die Breite eines Pits die Breite einer ma­ gnetooptischen Platte in radialer Richtung, und die Länge eines Pits bedeutet die Längsrichtung einer magnetooptischen Platte hinsichtlich der radialen Richtung, d. h. die Spur­ richtung.

Fig. 4 zeigt ein Ergebnis für die Beziehung zwischen der Pitbreite und der Stärke eines Übersprechungssignals, wie es von der nächsten Pitreihe 3 her eindringt, wenn die Länge eines Pits 2,4 µm beträgt und die Pittiefe 130 nm beträgt.

Gemäß den Ergebnissen der Fig. 3 und 4 übersteigt die Stärke eines Pitsignals bei der Erfindung im wesentlichen 0,2, wenn die Pitbreite im Bereich von 0,3 bis 0,7 µm liegt. Ferner wird das Übersprechen von einer benachbarten Pitreihe 3 im wesentlichen 0, was es ermöglicht, ausreichende Adreßsignale zu erzeugen.

Fig. 5 zeigt eine Änderung der Stärke des Pitsignals abhän­ gig von einer Änderung der Pittiefe, wenn die Breite jedes Pits der Pitreihe 3 0,5 µm beträgt. Hier waren Pits, ähnlich wie im Fall von Fig. 3, so ausgebildet, daß sie zwei ver­ schiedene Längen aufwiesen: 2,4 µm (langes Pit) und 0,7 bis 0,8 µm (kurzes Pit), wobei eine Reihe kurzer Pits mit einem Abstand von 1,52 µm hergestellt wurde. Das Ergebnis für die langen Pits ist durch eine durchgezogene Linie dargestellt, und das für kurze Pits mit einer gestrichelten Linie.

Gemäß dem Ergebnis von Fig. 5 übersteigt die Stärke des Pit­ signals bei der Erfindung dann im wesentlichen 0,2, wenn die Pittiefe im Bereich von 100 bis 160 nm liegt, was es ermög­ licht, ausreichende Adreßsignale zu erhalten.

Außerdem kann auch dann, wenn der Lichtfleck 5 einen Graben 1 abrastert, dasselbe Ergebnis erhalten werden wie dann, wenn der Lichtfleck 5 einen erhabenen Bereich 2 abrastert.

Hier zeigen die Fig. 4 und 11 zum Vergleich Ergebnisse für die Beziehung zwischen der Beugungsstärke einer Pitreihe und der Form eines Pits in einer Pitreihe, wenn jeweils eine Pitreihe in einem Graben und einem erhabenen Bereich mit ei­ ner Breite von 0,8 µm ausgebildet werden. Bei der Darstel­ lung der Fig. 4 und 11 bestehen für Zahlenwerte, die die Form eines Pits bei der Erfindung und beim herkömmlichen Vergleichsbeispiel betreffen, dieselben Bedingungen.

Gemäß den Ergebnissen der Fig. 4 und 11 ist beim herkömmli­ chen Beispiel die Stärke des Pitsignals groß, jedoch steigt dann, wenn die Pitbreite größer wird, das Ausmaß von Über­ sprechen von einer benachbarten Pitreihe an. Daher ist es schwierig, genaue Adreßsignale zu erhalten. Darüber hinaus stellt es sich beim herkömmlichen Beispiel gemäß dem Ergeb­ nis von Fig. 11 heraus, daß die Abhängigkeit der Stärke ei­ nes Pitsignals von der Pitbreite insbesondere bei einem langen Pit hoch ist. Im Ergebnis tritt beim herkömmlichen Beispiel dann, wenn keine Pitreihe mit genauer Form ausge­ bildet ist, fehlerhafte Erkennung eines Adreßsignals auf und es besteht die Tendenz, daß das Ausmaß an Übersprechen zu­ nimmt.

Hinsichtlich dieses Punkts ist, wie es aus den Ergebnissen der Fig. 3 und 4 deutlich ist, da bei der Erfindung die Ab­ hängigkeit der Stärke des Pitsignals und das Ausmaß von Übersprechen von der Pitbreite gering ist, die Genauigkeits­ forderung hinsichtlich der Form eines Pits in der Pitreihe 3 gelindert und die Herstellung der Pitreihen 3 wird einfach.

Das Ausmaß der Abhängigkeit der Stärke eines Pitsignals von der Pitbreite hängt mit dem Ausmaß an Lichtbeugung wegen ei­ nes Pits zusammen. Da beim herkömmlichen Beispiel eine Pit­ reihe in der Mitte eines Grabens oder eines erhabenen Be­ reichs ausgebildet ist und jedes Pit im mittleren Bereich eines Lichtflecks beleuchtet wird, wird das Ausmaß an Licht­ beugung hoch. Da dagegen bei der Erfindung die Pitreihe 3 im Grenzabschnitt zwischen einem Graben 1 und einem erhabenen Bereich 2, die aneinandergrenzen, ausgebildet ist, wird die­ se Pitreihe 3 im Außenumfang des Lichtflecks 5 beleuchtet, der die Mitte des Grabens 1 beleuchtet. Wenn die Pitreihe 3 durch den Außenumfang des Lichtflecks 5 beleuchtet wird, ist die Stärke von Beugungslicht gering. Daher sollte die Stärke des Pitsignals kleiner als beim herkömmlichen Beispiel sein, jedoch ist auch die Abhängigkeit von der Pitbreite kleiner.

In den folgenden Tabellen 1 und 2 sind Ergebnisse für die Beziehung zwischen der Beugungsstärke durch eine Pitreihe 3 und der Form eines Pits in der Pitreihe 3 angegeben, wenn der Lichtfleck 5 einen erhabenen Bereich 2 abrastert, für die Fälle veränderten Spurabstands. Zum Vergleich sind in den Tabellen 1 und 2 auch Ergebnisse für das herkömmliche Beispiel angegeben, bei dem eine Pitreihe in einem Graben und einem erhabenen Bereich mit jeweils einer Breite von 0,8 µm ausgebildet ist.

Die Tabelle 1 bezieht sich auf ein Substrat aus einem Polycarbonat mit einem Brechungsindex von 1,58, mit einer Grabentiefe von 55 nm, einer Wellenlänge λ des Abspiellichts von 780 nm, einer numerischen Apertur NA der konvergierenden Objektivlinse von 0,55 und einer Pittiefe von 130 nm.

Die Bedingungen für die Tabelle 2 sind dieselben wie die für die Tabelle 1, mit der Ausnahme, daß die Wellenlänge λ des Abspiellichts 680 nm betrug und der Radius r₀ des Lichtstrahls (1/e² der Stärke in der Mitte) von 0,60 in Tabelle 1 auf 0,55 geändert war.

Tabelle 1

In der Tabelle 1 ist die Pitbreite, für die das Signal von einem langen Pit maximal wird, sowohl für die Erfindung als auch für das herkömmliche Beispiel für jeden Spurabstand ausgewählt, und die Werte eines Über­ sprechungssignals, das dabei von der nächsten Reihe langer Pits ein­ dringt, sind unterstrichen. In Fig. 6 ist ein Kurvendiagramm dargestellt, das dadurch erhalten wurde, daß die unterstrichenen Werte über den Spurabständen aufgetragen wurden.

Tabelle 2

In der Tabelle 2 ist die Pitbreite, für die das Signal von einem langen Pit maximal wird, sowohl für die Erfindung als auch für das herkömmliche Beispiel für jeden Spurabstand ausgewählt, und die Werte eines Über­ sprechungssignals, das dabei von der nächsten Reihe langer Pits eindringt, sind unterstrichen. In Fig. 7 ist ein Kurvendiagramm dar­ gestellt, das dadurch erhalten wurde, daß die unterstrichenen Werte über den Spurabständen aufgetragen wurden.

Wie es aus den Werten für die Signale von langen Pits und die Signale von kurzen Pits in den Tabellen 1 und 2 erkennbar ist, kann bei der Erfindung selbst dann, wenn der Spurabstand 0,4 µm beträgt, eine ausreichende Signalstärke, die 0,2 übersteigt, erhalten werden. Gemäß den Ergebnissen von Tabelle 1 und Fig. 6 ist bei einer Wellenlänge λ von 780 nm und einem Spurabstand von bis zu ungefähr 0,6 µm die Stärke des Überspre­ chungssignals von der nächsten Pitreihe ausreichend schwach, so daß ein ausgezeichnetes Pitsignal erhalten werden kann. Darüber hinaus ist gemäß den Ergebnissen von Tabelle 2 in Fig. 7 die Stärke des Übersprech­ signals von der nächsten Pitreihe ausreichend schwach, wenn die Wel­ lenlänge λ 680 nm beträgt und der Spurabstand bis ungefähr 0,5 µm be­ trägt, so daß ein ausgezeichnetes Bitsignal erhalten werden kann.

Dagegen steigt beim herkömmlichen Beispiel dann, wenn der Spurabstand verkürzt wird, die Stärke des Übersprechsignals von der nächsten Pitreihe stark an, so daß es schwierig ist, ein genaues Pitsignal zu erhalten.

Hierbei ist im obigen Ausführungsbeispiel eine Pitform er­ läutert, die für den Fall geeignet ist, daß die Wellenlänge λ 780 nm oder 680 nm beträgt, die numerische Apertur NA der Objektivlinse 0,55 beträgt und der Brechungsindex n des Sub­ strats 1,58 ist. Allgemeiner gesagt, kann der Spurabstand T (im vorliegenden Fall entspricht er jeweils der Breite eines Grabens 1 und eines erhabenen Bereichs 2) so verengt werden, daß die folgende Beziehung gilt, wobei im folgenden Text die Pitbreite mit Pw bezeichnet ist, die Pittiefe mit Pd, die Wellenlänge mit λ und der Brechungsindex des Substrats mit n:

T 0,35 × λ/NA,

dabei kann ein hervorragendes Pitsignal erhalten werden, wenn für die Pitbreite Pw folgendes gilt:

0,4 T Pw 1,2 T.

Darüber hinaus kann im Bereich T 0,35 × λ/NA und 0,5 T Pw 1,0 T ein Pitsignal mit höherer Qualität erhalten wer­ den, was bevorzugt ist. Ferner kann ein hervorragendes Pit­ signal erhalten werden, wenn die Pittiefe im Bereich λ/6n Pd λ/3n liegt.

Wenn z. B. ein Aufzeichnungsmedium mit magnetischer Superauf­ lösung, wie in der Veröffentlichung Nr. 5-81717/1993 (Toku­ kaihei 5-81717) zu einer japanischen Patentanmeldung offen­ bart ist, als magnetooptisches Aufzeichnungsmedium verwendet wird, kann die Größe eines Aufzeichnungsbits 4 auf ungefähr 0,4 µm verringert werden und das Übersprechen von der näch­ sten Spur nimmt beträchtlich ab, wenn ein Aufzeichnungsbit abgespielt wird. Im Ergebnis können Aufzeichnungs- und Ab­ spielvorgänge selbst dann einfach ausgeführt werden, wenn die Spurbreite nicht größer als 0,8 µm ist, so daß die Er­ findung besonders geeignet ist.

Wenn das vorstehend genannte Aufzeichnungsmedium mit magne­ tischer Superauflösung beim vorliegenden Ausführungsbeispiel verwendet wird, kann der Spurabstand nicht mehr als 0,8 µm betragen, was es ermöglicht, die Aufzeichnungsdichte stark zu erhöhen. Ferner kann durch die Erfindung genaue Adreßin­ formation erhalten werden.

Außerdem kann dann, wenn die Wellenlänge des zum Aufzeichnen und Abspielen verwendeten Laserstrahls verkürzt wird, der Spurabstand noch weiter verkleinert werden. Wenn z. B. die Wellenlänge des Laserstrahls von 830 nm auf 458 nm verkürzt wird, kann der Spurabstand auf ungefähr 1/2 verkleinert wer­ den, was es ermöglicht, die Aufzeichnungsdichte zu erhöhen.

Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf die Fig. 9(a) bis 9(f) ein Prozeß zur Masterherstellung für eine magnetooptische Platte gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erörtert.

Zunächst wird, wie es in Fig. 9(a) dargestellt ist, Photore­ sist 8 auf eine Seite eines Substrats 7 aus Quarzglas aufge­ tragen. Danach wird ein Laserstrahl auf den Photoresist 8 konvergiert und der Photoresist 8 wird gemäß gewünschten Mu­ stern für die Gräben 1 und die Pitreihen 3 belichtet. Dabei wird die Leistung des Laserstrahls beim Ausbilden des Mu­ sters der Pitreihen 3 höher eingestellt als diejenige beim Herstellen des Musters der Gräben 1. Nachdem der belichtete Photoresist 8 entwickelt wurde und überflüssiger Photoresist 8 entfernt wurde, wie in Fig. 9(b) dargestellt, verbleibt auf dem Substrat 7 Photoresist 8 mit Mustern für Grabenab­ schnitte 8b und Pitabschnitte 8a entsprechend Gräben 1 und Pitreihen 3.

Danach wird, wie es in Fig. 9(c) dargestellt ist, das Sub­ strat 7 unter Verwendung des Photoresists 8 als Maske troc­ kengeätzt. Was konkrete Verfahren zum Trockenätzen betrifft, ist reaktives Ionenätzen, bei dem ein Halogenverbindungsgas wie CF₄ als Ätzgas verwendet wird, geeignet. Wenn der Photo­ resist 8 nach dem Ätzen entfernt wird, wie in Fig. 9(d) dar­ gestellt, sind auf dem Substrat 7 ein Grabenmuster 7b ent­ sprechend den Grabenabschnitten 8b und ein Pitreihenmuster 7a entsprechend den Pitabschnitten 8a ausgebildet, und zwi­ schen benachbarten Grabenmustern 7b sind Muster 7c für erha­ bene Bereiche ausgebildet.

Anschließend wird, wie es in Fig. 9(e) dargestellt ist, eine aus Ni bestehende Metallschicht 9 elektrisch abgeschieden. Wenn die Metallschicht 9 abgezogen wird, wie in Fig. 9(f) dargestellt, wird ein aus der Metallschicht 9 bestehender Stempel erhalten, der mit Vorsprüngen 9a versehen ist. Unter Verwendung des Stempels wird ein Kunststoff wie ein Polycar­ bonat geformt, wodurch ein Substrat für eine magnetooptische Platte mit den gewünschten Gräben 1 und Pitreihen 3 erhalten wird. Wenn auf dem Substrat eine Aufzeichnungsmediumsschicht hergestellt ist, ist eine magnetooptische Platte gemäß der Erfindung erhalten.

Außerdem kann, nachdem der Photoresist 8 durch einen Laser­ strahl entsprechend den Mustern der gewünschten Gräben 1 und Pitreihen 3 belichtet wurde, eine Photomaske hergestellt werden, wie z. B. in der Veröffentlichung Nr. 4-2939/1992 (Tokukohei 4-2939) zu einem erteilten japanischen Patent of­ fenbart. Dann werden die Gräben 1 und die Pitreihen 3 durch ein Kontaktbelichtungsverfahren und ein Trockenätzverfahren unter Verwendung der Photomaske direkt auf einem Glassub­ strat ausgebildet, wodurch eine magnetooptische Platte her­ gestellt wird.

In jedem Fall wird die Ausbildung der Gräben 1 und der Pit­ reihen 3 dadurch begonnen, daß der Photoresist 8 unter Ver­ wendung z. B. eines Argonlaserstrahls belichtet wird. Eine Vorrichtung zum Belichten von Photoresist unter Verwendung eines Argonlaserstrahls wird allgemein als Schneidvorrich­ tung bezeichnet, ein Verfahren zum Herstellen von Gräben 1 und Pitreihen 3 unter Verwendung eines Argonlaserstrahls wird als Einstrahl-Schneidverfahren bezeichnet, und ein Ver­ fahren zum Herstellen derselben unter Verwendung zweier Ar­ gonlaserstrahlen wird als Zweistrahlverfahren bezeichnet.

Wenn die Pitreihen 3 im Grenzabschnitt zwischen jeweils ei­ nem Graben 1 und einem erhabenen Bereich 2 ausgebildet wer­ den, wie beim vorliegenden Ausführungsbeispiel angegeben, kann z. B. ein Dreistrahlverfahren verwendet werden. In die­ sem Fall werden die Gräben 1 durch zwei Strahlen hergestellt und die Pitreihen 3 werden durch einen Strahl hergestellt. Beim Dreistrahlverfahren kann die Breite eines Grabens da­ durch eingestellt werden, daß der Abstand zwischen zwei Strahlen verändert wird, und die Tiefe von Gräben und Pits kann durch Ändern der Stärke jedes Strahls eingestellt wer­ den.

Gemäß der vorstehenden Erläuterung ist die Tiefe der Pits in einer Pitreihe 3 konstant, jedoch muß dies nicht immer so sein. Wie in Fig. 10(b) dargestellt, sind die Tiefen der Pits in einer Pitreihe 3 in einem Bereich, der zu einem Gra­ ben 1 gehört, sowie in einem Bereich, der zu einem erhabenen Bereich 2 gehört, voneinander verschieden, wodurch Höhenun­ terschiede am Boden der Pitreihe 3 bestehen können. In die­ sem Fall bestehen die Vorteile, daß das begrenzte Ausmaß für die Breite und Tiefe von Pits in der Pitreihe 3 größer ist als das begrenzte Ausmaß beim obigen Ausführungsbeispiel und daß die Pitreihe 3 einfach hergestellt werden kann, da die Genauigkeitsanforderung für die Tiefe von Pits gelindert ist, was heißt, daß magnetooptischen Platten einfach herge­ stellt werden können.

Außerdem können, wie es in Fig. 10(c) dargestellt ist, die Tiefe eines Pits in einer Pitreihe 3 und die Tiefe eines Grabens 1 übereinstimmen. In diesem Fall besteht die Pitrei­ he 3 aus halbzylindrischen Pits, jedoch ist es nicht erfor­ derlich, daß sich die Tiefen der Pits einer Pitreihe 3 und eines Grabens 1 voneinander unterscheiden, so daß der Vor­ teil besteht, daß die Herstellung einfacher ist als beim obigen Ausführungsbeispiel.

Beim obigen Ausführungsbeispiel ist eine magnetooptische Platte beschrieben, jedoch kann die Erfindung in großem Um­ fang auch auf optische Platten angewandt werden, bei denen Adreßinformation unter Verwendung von Pits aufgezeichnet ist, wie bei optischen Platten vom Phasenänderungstyp. Dar­ über hinaus ist die Erfindung auch auf WORM (write once read many = einmal beschreibbar, häufig lesbar) -Platte anwendbar, wenn eine übersprechenaufhebende Technik für Aufzeichnungs­ signale entwickelt wird. Darüber hinaus ist die Erfindung nicht auf plattenförmige optische Aufzeichnungsmedien be­ schränkt, sondern sie ist z. B. auch auf kartenähnliche opti­ sche Aufzeichnungsmedien anwendbar.

Claims (15)

1. Optisches Aufzeichnungsmedium mit:

• - Gräben (1) und erhabenen Bereichen (2), die ab­ wechselnd vorhanden sind, wobei Aufzeichnungsbitketten in den Gräben und erhabenen Bereichen ausbildbar sind;
• - Grenzabschnitten zwischen benachbarten Gräben und erhabenen Bereichen; und
• - Pitreihen (3), die Adreßinformation für Aufzeich­ nungs- /Wiedergabespuren repräsentieren; dadurch gekennzeichnet, daß die Pitreihen für die Adreß­ information in jedem übernächsten Grenzabschnitt zwi­ schen Gräben und erhabenen Bereichen ausgebildet sind.

2. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß entweder die Gräben (1) oder die erhabe­ nen Bereiche (2) einen Markierungsabschnitt (11) enthalten, mit einem Brechungsindex für Licht, der sich von dem in je­ dem Graben und jedem erhabenen Bereich unterscheidet, wobei eine Unterscheidung, ob eine von Licht abgerasterte Auf­ zeichnungs-/Wiedergabespur in einem Graben oder einem erha­ benen Bereich liegt, auf Grundlage der Erkennung des Markie­ rungsabschnitts erfolgt.

3. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Markierungsabschnitt ein Pit (11) ist, das örtlich in der Nähe der Mitte entweder eines Gra­ bens (1) oder eines erhabenen Bereichs (2) ausgebildet ist.

4. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Markierungsabschnitt ein Pit (11) ist, das örtlich und linear in der Nähe der Mitte entweder jedes Grabens oder jedes erhabenen Bereichs ausgebildet ist.

5. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Markierungsabschnitt (11) eine Tiefe von ungefähr λ(4n) und eine Breite von 0,3 T bis 0,4 T auf­ weist, wobei n der Brechungsindex des Substrats des opti­ schen Aufzeichnungsmediums ist, T der Spurabstand der Auf­ zeichnungs-/Wiedergabespuren ist und λ die Wellenlänge von Licht ist, das auf eine jeweilige Aufzeichnungs-/Wiedergabe­ spur gestrahlt wird.

6. Optisches Aufzeichnungsmedium nach einem der vorstehen­ den Ansprüche, mit einem Substrat, wobei das optische Auf­ zeichnungsmedium den folgenden Bedingungen genügt: T 0,35 × λ/NA
0,4 T Pw 1,2 T
λ/6n Pd λ/3n,wobei T der Spurabstand der Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren ist, λ die Wellenlänge von Licht ist, das auf diese Spuren gestrahlt wird, n der Brechungsindex des Substrats ist, Pw die Breite jedes Pits in den Pitreihen (3) ist und Pd die Tiefe jedes Pits ist.

7. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß für den Wert Pw der folgende engere Be­ reich gilt: 0,5 T Pw 1,0 T.

8. Optisches Aufzeichnungsmedium nach einem der vorstehen­ den Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Pits in den Pitreihen (3) mit verschiedenen Tiefen in den Gräben (1) und erhabenen Bereichen (2) ausgebildet sind.

9. Optisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Pitreihen (3) über Pits verfügen, deren Tiefe mit derjenigen der Gräben (1) übereinstimmt.

10. Abspielverfahren für ein gemäß Anspruch 1 ausgestaltetes optisches Aufzeichnungsmedium, dadurch gekennzeichnet, daß

• - aus den Pitreihen (3) für die Adreßinformation die Adresse für eine Aufzeichnungs-/Wiedergabespur ausge­ lesen wird, wenn eine solche Spur in einem Graben oder einem erhabenen Bereich durch Licht entlang der Spurrich­ tung abgerastert wird; und
• - unterschieden wird, ob die abgerasterte Spur ein Graben oder ein erhabener Bereich ist.

11. Abspielverfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die genannte Unterscheidung abhängig von der Polarität eines Spurführungssignals getroffen wird.

12. Abspielverfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Adressen für die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren durch die Pitreihen so aufgezeichnet werden, daß die Adressen auf­ einanderfolgend um jeweils den Wert 1 zunehmen oder abneh­ men; und
• - Gräben und erhabene Bereiche, in deren Grenzabschnitten die Pitreihen ausgebildet sind, durch dieselbe Adresse ver­ waltet werden.

13. Abspielverfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Adressen für die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren durch die Pitreihen so aufgezeichnet werden, daß die Adressen auf­ einanderfolgend um jeweils den Wert 2 zunehmen oder abneh­ men; und
• - die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren entweder in den Gräben oder den erhabenen Bereich entsprechend den Adressen der in ihren jeweiligen Grenzabschnitten ausgebildeten Pitreihen verwaltet werden, und die Spuren in den jeweils anderen Be­ reichen unter den Gräben und erhabenen Bereichen durch Adressen verwaltet werden, die aus den durch die Pitreihen gegebenen Adressen durch Addieren oder Subtrahieren des Werts 1 hervorgehen.

14. Abspielverfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Adressen für die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren durch die Pitreihen so aufgezeichnet werden, daß die Adressen auf­ einanderfolgend um jeweils den Wert 1 zunehmen oder abneh­ men; und
• - die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren entweder in den Gräben oder den erhabenen Bereich entsprechend den Adressen der in ihren jeweiligen Grenzabschnitten ausgebildeten Pitreihen verwaltet werden, und die Spuren in den jeweils anderen Be­ reichen unter den Gräben und erhabenen Bereichen durch Adressen dadurch spezifiziert werden, daß eine Umsetzung ge­ mäß der folgenden Formel erfolgt: (durch die Pitreihen gege­ bene Adresse) + (Gesamtzahl der Spuren)/2.

15. Abspielverfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß

• - die Adressen für die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren durch die Pitreihen so aufgezeichnet werden, daß die Adressen auf­ einanderfolgend um jeweils den Wert 1 zunehmen oder abneh­ men; und
• - die Aufzeichnungs-/Wiedergabespuren entweder in den Gräben oder den erhabenen Bereich entsprechend den Adressen der in ihren jeweiligen Grenzabschnitten ausgebildeten Pitreihen verwaltet werden, und die Spuren in den jeweils anderen Be­ reichen unter den Gräben und erhabenen Bereichen durch Adressen dadurch spezifiziert werden, daß eine Umsetzung ge­ mäß der folgenden Formel erfolgt (Gesamtzahl der Spuren) - (durch die Pitreihen gegebene Adresse) + 1.