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DE1909979A1 - Kapazitiver Druckgeber - Google Patents

Kapazitiver Druckgeber

Info

Publication number
DE1909979A1
DE1909979A1 DE19691909979 DE1909979A DE1909979A1 DE 1909979 A1 DE1909979 A1 DE 1909979A1 DE 19691909979 DE19691909979 DE 19691909979 DE 1909979 A DE1909979 A DE 1909979A DE 1909979 A1 DE1909979 A1 DE 1909979A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
pressure transducer
electrodes
temperature
base
changes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19691909979
Other languages
English (en)
Inventor
Max Bouderlique
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trayvou SA
Original Assignee
Trayvou SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trayvou SA filed Critical Trayvou SA
Publication of DE1909979A1 publication Critical patent/DE1909979A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

  • Kapazitiver Druckgeber Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Druckgeber, dth4 einen Wandler, der den Wert einer mechanischen Kraft auf kapazitivem Wege in eine elektrische Größe umsetzt.
  • Die französische Patentschrift 1 552 069 schlägt einen kapazitiven Druckgeber vor, der eine zur Aufnahme der Kraft bestimmte Mittelsäule aufweist, die Uber eine untere Platte mit einem ringförmigen Sockel verbunden ist, wobei Zugstäbe ringförmig um die Mittelsäule herum angeordnet sind und die Zugstäbe ihrerseits von Druckstäben umgeben sind0 Die Verbindung zwischen den Zugstäben und den Druckstäben erfolgt über radiale Joche; die Anordnung ist derart dimensioniert, daß sich die beim Anlegen der Meßkraft eintretenden elastischen Verformungen im wesentlichen auf die Zugstäbe beschränken0 Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine derartige Anordnung zu verbessern.
  • Der Druckgeber nach der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die elastischen Verbindungsglieder von radialen Jochen gebildet sind, die den oberen Teil der Säule mit einem koaxialen, zylindrischen Sockel verbindens Auf diese Weise wird eine Anordnung erhalten, die eine wesentlich geringere Höhe erhalten kann und die, falls sie aus einem geeigneten Werkstoff gefer-, tigt ist, ebenfalls sehr genaue Messungen erlaubt, Das System mit veränderlicher Kapazität wird vorzugsweise von einer mittleren Elektrode, die am unteren Ende der Mittelsäule befestigt und mit Masse verbunden ist, und zwei isolierten Elektroden gebildet, die zu beiden Seiten der Mittelelektrode angeordnet sind und von denen die eine einen Teil des Meßkreises bildet9 während die andere in einem dem Meßkreis zugeordneten Kompensationskreis liegt. Die Mittelelektrode kann in Form einer kreisförmigen Platte ausgeführt sein, während die isolierten Elektroden von flachen Ringen gehildet-werden, -deren Außendurchmesser kleiner als derjenige der Platte ist. Auf diese Weise wird eine völlig symmetrische Anordnung erhalten, bei der Linearitätsfehler, die in der Kondensatortechnik als Randeffekt bezeichnet werden9 auf einen Kleinstwert beschränkt werden können0 Gleichzeitig werden auch die parasitären Kapazitäten verringert, die sich den für die Messung ausgenutzten veränderlichen Kapazitäten überlagernO Die Fehler9 die auf Änderungen des Elastieitätsmoduls des den Druckgeber bildenden Werkstoffes als Punktion der Temperatur zurückzuführen sind, werden kompensiert, indem Mittel vorgesehen werden, die bewirken, daß die veränderliche Kapazität oder veränderlichen Kapazitäten ihrerseits durch die Temperatur in einem solchen Sinne beeinflußt werden, daß die erwünschte Kompensation eintritt, Diese Kapazitätsänderung kann insbesondere dadurch erhalten werden, daß mindestens bestimmte der Elektroden in einer ausreichenden Stärke aus einem Metall gefertigt werdeng das einen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, der sich in zweckentsprechender Weise von denjenigen des Werkstoffes des Druckgebers unterscheidetOStattdessen können die Elektroden in eine isolierende Flüssigkeit eingetaucht werden, deren Dielektrizitätskonstante sich in Abhängigkeit von der Temperatur ändert. Beide Maßnahmen können auch miteinander kombiniert werden0 Die Erfindung ist im folgenden an Hand eines AugfUhrungsbeispiels in Verbindung mit den Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt: Figur 1 eine Draufsicht auf einen kapazitiven Druckgeber nach der Erfindung, Figur 2 einen lotrechten Axialschnitt entlang der Linie - II der Figur 1 und Figur 3 einen waagrechten Schnitt entlang der Linie III-III der Figur 2.
  • Der gezeigte Druckgeber weist einen zylindrischen hohlen Sockel 1 auf, dessen obere Stirnseite mit vier radialen Jochen 2 vereinigt ist, die den Sockel mit dem oberen Teil einer nach unten gerichteten Mittelsäule 3 verbinden, Diese Säule hat eine geringere Höhe als der Sockel 1 und trägt an ihrem unteren Ende eine Metallplatte 4, die an der Säule mittels einer axial verlaufenden Schraube 5 befestigt ist. Zu beiden Seiten der Platte sind in geringem Abstand von ihr zwei flache Metallringe 6 und 7 angeordnet, die von Scheiben 8 und 9 aus Isolierstoff getragen werden0 Die beiden Scheiben sind mittels eines kurzen zylindrischen AbstandwEückes 10 voneinander getrennt. Die Anordnung 8, 9, 10 wird in einem durch eine Schulter begrenzten Teil der Bohrung des Sockels 1 mittels eines Deckels Ii gehalten, der seinerseits mittels Schrauben 12 festgemacht ist. Das Abstandsstück 10 besitzt eine seitliche Öffnung 10a, die mit einer Radialbohrung Ia des Sockels 1 ausgerichtet ist, sodaß ein Auslaß für nicht dargestellte elektrische Anschlußleitungen erhalten wird, die zu den Metallringen 6 und 7 führen.
  • Die Anordnung ist vorzugsweise derart getroffen, daß die beiden Ringe 6 und 7 im Ruhezustand des Druckgebers im wesentlichen den gleichen Abstand von der mittleren Platte 4 haben.
  • Die Ringe 6 und 7 sind mit nicht veranschaulichten elektrischen Stromkreisen derart verbunden, daß jede von ihnen zusammen mit der Platte 4 einen kleinen Kondensator bildet, dessen Kapazität von der Höhenlage der Platte abhängt.
  • Es kann ein Vergleichssystem, beispielsweise eine Brücke, aufgebaut werden9 bei dem im Ruhezustand ein Gleichgewicht zwischen den Kapazitäten der Ringe oder Elektroden 6 und 7 gegenüber der mittleren Platte 4 herrscht, die die gemeinsame, mit Masse verbundene Elektrode darstellt, Wenn auf die Mittelsäule 3 eine nach unten gerichtete Kraft P aufgebracht wird, verformt sich der Druckgeber9 wobei die Verformung im wesentlichen auf die radialen Joche 2 beschränkt ist, die eine Biegebewegung ausführen Auf Grund der axialen Symmetrie führt diese Verformung zu einer Verschiebung der Platte 4 nach unten, d0h., die Platte 4 entfernt sich von der oberen Elektrode 7 und nähert sich der unteren Elektrode 60 Die Vergleichsschaltung wird dadurch außer Gleichgewicht gebracht; die Größe der Gleichgewichtsverschiebung stellt ein Maß für die auf die Säule ausgeübte Kraft dar, Es ist leicht zu zeigen, daß bei Bestimmung des Wertes der Kapazitäten unter Ausnutzung des Resonanzeffektes eine im wesentlichen lineare Beziehung zwischen den hervorgerufenen Kapazitätsänderungen und den an den Druckgeber angelegten Kräften erhalten wird0 Das von der Platte 4 und den beiden isolierten Ringen oder Elektroden 6 und 7 gebildete Doppelkapazitätsßystem erlaubt es einerseits, die Empfindlichkeit des Druckgebers zu steigern und gestattet es andererseits, den Einfluß von parasitären Effekten auf die Linearität der Messungen kleinstmöglich zu halten.
  • Die beschriebene Ausbildung beschränkt ferner Randeffekte auf ein Mindestmaß, die bekanntlich Linearitätsfehler bei den veränderlichen Kapazitäten hervorrufen könnten, Was den Temperatureinfluß anbelangt9 so ist zunächst festzustellen, daß auf Grund der Fertigung der Mittelsäule 3, der Joche 2 und des Sockels 1 aus dem gleichen Metall die Ausdehnungen sich gegenseitig kompensieren und keine Verschiebung der Platte 4 zwischen den Elektroden 6 und 7 zur Folge haben. Eine Beeinflussung durch Änderungen des Elastiitätsmoduls des den Druckgeber bildenden Werkstoffes ist zwar nicht zu vermeiden, die Größe dieses parasitären Einflusses kann Jedoch erheblich herabgesetzt werden9 indem Nickelstähle mit einem extrem niedrigen Ausdehnungskoeffizienten benutzt werden, beispielsweise ein unter dem Namen Invar bekannter Stahl, und indem große Unterschiede zwischen der Meßtemperatur und der Eichtemperatur vermieden werden0 Außerdem können die Fehler, die auf geringfügige Änderungen des Elastizitätsmoduls zurückzuführen sind, mindestens in gewissem Umfang dadurch kompensiert werden, daß Mittel vorgesehen werden, die bewirken, daß sich die beiden von der Platte 4 und den Elektroden 6 und 7 gebildeten Kapazitaten ihrerseits ändern, und zwar derart, daß dem Einfluß auf Grund-einer Änderung des Elastizitätsmoduls entgegengewirkt wird.
  • Für diesen Zweck kann die Platte 4 verhältnismäßig dick ausgebildet und aus einet Metall gefertigt werden, das gegenüber dem Abstandsstück tO einen hinreichend unterschiedlichen Ausdehnungskoeffizienten besitzt, um eine Änderung des Abstandes zwischen den Stirnflächen der Platte und den beiden Elektroden 6 und 7 herbeizuführen0 In entsprechender Weise könnte auch bei den beiden Elektroden 6 und 7 selbst verfahren werden0 Eine weitere Möglichkeit besteht darin9 das Elektrodensystem und die Mittelplatte in eine isolierende Flüssigkeit einzutauchen, deren Dielektrizitätskonstante sich in Abhängigkeit von der Temperatur wandert0 Es versteht sich, daß die beiden oben genannten Maßnahmen auch miteinander kombiniert angewendet werden können0

Claims (3)

  1. Ansprüche 1.
  2. Kapazitiver Druckgeber mit einer eine bewegbare Elektrode tragenden Säule, die über verformbare elastische Verbindungsglieder mit einem Sockel verbunden ist, der eine der bewegbaren Elektrode gegenüberliegende, feststehende Elektrode der art trägt, daß eine auf die Säule ausgeübte Kraft durch der formung der Verbindungsglieder eine Änderung des gegenseitigen Abstandes der Elektroden bewirkt, dadurch gekennzeichnet, daß die elastischen Verbindungsglieder von radialen Jochen (2) gebildet sind, die den oberen Teil der Säule mit einem koaxialen, zylindrischen Sockel (1) verbinden0 2o Druckgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zylindrische Sockel (1) zwei feststehende, ringförmige Elektroden (6,7) trägt, die zu beiden Seiten der bewegbarenF,Elektrode (4) angeordnet sind, die als Platte mit einem größeren Durchmesser als die feststehenden Elektroden ausgebildet ist und zusammen mit den feststehenden EleXtrod.en zwei Kapazitäten bildet, deren Größe sich bei Verformungen der radialen Joche (2) in entgegengesetztem Sinne ändert.
  3. 3 Druckgeber nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in dem zylindrischen Sockel (i) isolierende Scheiben (8,9) angeordnet sind, die die ringförmigen, feststehenden Elektrode den (6,7) tragen, mittels eines ringförmigen Abstandsstückes (10) in Abstand voneinander gehalten und mittels eines Dekkels (11) festgelegt sind, der an dem unteren Ende des Sockels befestigt isto 4o Druckgeber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Einflüsse durch temperaturbedingte Änderungen des Elastizitätsmoduls der radialen joche durch lastunabhängige, unmittelbar temperaturbedingte Kapazitätsänderungen kompensiert sind.
    So Druckgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herbeiführung der temperaturbedingten Kapazitätsänderungen mindestens bestimmte der Elektroden verhältnismäßig dick und aus einem Metall-gefertigt sind, das einen großen Ausdehnungskoeffizienten besitzt0 6 Druckgeber nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herbeiführung der temperaturbedingten Kapazitätsänderungen zwischen die Elektroden eine isolierende Flüssigkeit eingebracht ist, deren Dielektrizitätskonstante sich in Abhängigkeit von der Temperatur ändert, L e e r s e i t e
DE19691909979 1968-02-29 1969-02-27 Kapazitiver Druckgeber Pending DE1909979A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR69049722 1968-02-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE1909979A1 true DE1909979A1 (de) 1969-09-18

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DE19691909979 Pending DE1909979A1 (de) 1968-02-29 1969-02-27 Kapazitiver Druckgeber

Country Status (3)

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DE (1) DE1909979A1 (de)
FR (1) FR1569749A (de)
NL (1) NL6902787A (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
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