DE4101016A1 - Drucksensor der membranbauart - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf Drucksensoren oder Druck­ wandler zum Messen eines Fluiddrucks, und insbesondere be­ faßt sich die Erfindung mit Drucksensoren oder Druckwand­ ler der Membranbauart, bei denen ein Membranfühlelement eingesetzt wird.

Ein üblicher Drucksensor ist in Fig. 5 gezeigt. In Fig. 5 ist ein Drucksensor 3 passend in eine Befestigungsöffnung 2 eines Fluidbehälters 1 eingesetzt, der ein zu messendes Fluid enthalten kann. Der Druckwandler 3 umfaßt ein Stütz­ teil 4, eine Membrane 5 und Deformationsmesser 7, die an einer äußeren Seite der Membrane 5 angebracht sind. Das Stützteil 4 ist mit einer Druckeinleitungsöffnung 6 zum Einleiten eines zu messenden Druckes zu einer Innenseite der Membrane 5 versehen. Der Druckwandler 3 umfaßt ferner eine Abdeckung 8, welche die Deformationsmesser 7 schützt. Bei diesem Wandler wird jedoch eine externe Kraft auf die Membrane 5 insbesondere beim Vorgang zum Anbringen der Ab­ deckung 8 auf dem Stützteil 4 mittels Preßsitz und Anzie­ hen aufgebracht. Daher kann sich die Membrane 5 in uner­ wünschter Weise verformen, wodurch die Druckmessung ge­ stört wird.

Die Erfindung zielt darauf ab, einen Drucksensor (oder Wandler) der Membranbauart bereitzustellen, der externen Kräften standhalten kann.

Nach der Erfindung weist ein Drucksensor einen Hauptkör­ per, der ein Membranteil aufweist, einen Abschnitt, der eine Druckeinleitungsöffnung zum Einleiten eines zu mes­ senden Druckes zu einer Innenseite des Membranteils, einen Stützabschnitt, der das Membranteil stützt, und einen Schaftabschnitt auf, der eine Stufe bildet, die den Stütz­ abschnitt umgibt. Somit ist der Stützabschnitt mittels der Stufe von dem umgebenden Umfang getrennt. Bei einer bevor­ zugten Ausführungsform nach der Erfindung hat der Schaftabschnitt des Hauptkörpers eine Schulterfläche und eine Anlagefläche, welche jeweils den Stützabschnitt umge­ ben und eine Stufe bilden. Die jeweiligen Schulter- und Anlageflächen sind zwischen einer inneren Begrenzung (Linie), die ähnlich eines Kreises oder eines Poligons ge­ schlossen ist und einer äußeren Begrenzung (Linie) be­ grenzt, welche ebenfalls geschlossen ist. Die jeweiligen Schulter- und Anlageflächen verlaufen von der inneren Be­ grenzung zu der äußeren Begrenzung in radialer Richtung nach außen. Der Stützabschnitt steht von der inneren Be­ grenzung der Schulterfläche vor.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung von bevor­ zugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beige­ fügte Zeichnung. Darin zeigt

Fig. 1 eine Seitenansicht eines Drucksensors gemäß einer bevorzugten Ausführungsform nach der Erfindung in Teilschnittdarstellung,

Fig. 2 eine Schnittansicht zur Verdeutlichung eines Membranstützabschnittes des in Fig. 1 ge­ zeigten Druckwandlers,

Fig. 3 ein Diagramm zur Verdeutlichung eines Zusam­ menhangs zwischens einem Abmessungsverhältnis des Membranstützabschnittes nach der Erfin­ dung und einer Deformation,

Fig. 4A und 4B Schnittansichten zur Verdeutlichung von Va­ rianten der bevorzugten Ausführungsform, und

Fig. 5 eine Schnittansicht zur Verdeutlichung eines üblichen Drucksensors.

Die Fig. 1 und 2 zeigen einen Drucksensor nach der Er­ findung.

Ein Behälter 11 zur Aufnahme eines zu messenden Fluids ist mit einer Befestigungsöffnung 12 versehen. Ein Innenge­ winde 13 ist auf der Innenseitenfläche der Öffnung 12 aus­ gebildet. Ein Druckwandler 20 ist an dem Behälter 11 unter Verwendung des Gewindes 13 des Behälters 11 und eines mit Gewinde versehenen Befestigungsabschnittes 14 des Wandlers 20 befestigt.

Der Druckwandler 20 umfaßt einen Wandlerhauptkörper 21 und eine Schutzabdeckung (oder Gehäuse) 26. Der Wandlerhaupt­ körper 21 umfaßt einen Membranabschnitt 22, einen Membran­ stützabschnitt 23, einen Schaftabschnitt 24 und den vor­ stehend angegebenen Befestigungsabschnitt 14. Der Befesti­ gungsabschnitt 14 ist in der mit dem Innengewinde verse­ henen Öffnung 12 des Behälters 11 aufgenommen. Der Wandler 20 ist nur an dem Befestigungsabschnitt 14 an dem Behälter 11 angebracht und an diesem abgestützt. Bei dieser bevor­ zugten Ausführungsform ist der Hauptkörper 21 ein einziges Stück aus rostfreiem Stahl (oder einer rostfreien Legie­ rung). Der Membranabschnitt 22, der Stützabschnitt 23, der Schaftabschnitt 24 und der Befestigungsabschnitt 14 sind alle integrale Teile des Hauptkörpers 21.

Der Hauptkörper 21 umfaßt einen Abschnitt, der eine Druckeinleitungsöffnung 15 zum Einleiten eines Meßdrucks von dem inneren Hohlraum des Behälters 11 zu einer Innen­ seite des Membranabschnitts 22 bildet. Die Druckeinlei­ tungsöffnung 15 bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist gerade verlaufend und kreisförmig ausgebildet. Das Wandlerelement ist fest an einer äußeren Seite des Membranab­ schnitts 22 angebracht. Bei dieser bevorzugten Ausfüh­ rungsform sind ein oder mehrere Deformationsmesser 25 an der äußeren Seite des Membranabschnitts 22 angebracht und derart ausgelegt, daß sie eine Verlagerung des Membranab­ schnitts 22 erfassen, die durch eine Differenz zwischen den Drücken auf den beiden Seiten des Membranabschnitts 220 verursacht wird. Die Deformationsmesser 25 sind mit einer Verstärkerschaltung (nicht gezeigt) verbunden.

Der Membranabschnitt 22 ist um seinen Umfang mittels eines oberen Endes des Stützabschnitts 23 gelagert. Der Mem­ branabschnitt 22 bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist eine dünne, kreisförmige, ebene Platte. Jedoch kann der Membranabschnitt 22 konzentrische Wellungen haben. Der Stützabschnitt 23 gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform ist zylindrisch ausgelegt. Der Stütztabschnitt 23 hat eine ebene, obere Fläche und eine zylindrische, äußere Fläche, die von einer gekrümmten Fläche eines geraden Kreiszylin­ ders gebildet wird. Die Achse des zylindrischen Stützab­ schnitts 23 fällt mit einer Mittellinie des Hauptkörpers 21 zusammen. Die Achse der kreisförmigen Druckeinleitungs­ öffnung 15 fällt ebenfalls mit der Mittellinie zusammen.

Somit ist der zylindrische Stützabschnitt 23 koaxial zu der kreisförmigen Öffnung 15. Die Mittellinie geht durch eine Mitte des Membranabschnitts und ist senkrecht zu dem Membranabschnitt 22. Gegebenenfalls kann entweder der Mem­ branabschnitt 22 oder der Stützabschnitt 23 oder beide ähnlich einer radial symmetrischen Gestaltgebung ausgelegt sein, wobei es sich beispielsweise um eine Gestaltgebung handeln kann, die einen Querschnitt eines regelmäßigen Po­ lygons hat. Der Stützabschnitt 23 ragt in Fig. 1 gesehen von einem oberen Ende des Schaftabschnittes 24 vor. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist die flache, obere Fläche des Stützabschnitts 23 bündig mit der oberen, äuße­ ren Fläche des Membranabschnitts 22, so daß beide Flächen eine einzige, flache Ebene bilden.

Der Schaftabschnitt 24 bei dieser bevorzugten Ausführungs­ form umfaßt einen ersten Abschnitt 24a und einen zweiten Abschnitt 24b. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist der erste Abschnitt 24a ebenfalls zylindrisch und hat eine zylindrische Außenseitenfläche, die von einer gekrümmten Fläche eines geraden Kreiszylinders gebildet wird. Der zy­ lindrische, erste Abschnitt 24a ist koaxial zu dem Stütz­ abschnitt 23 und hat einen größeren Durchmesser als der Stützabschnitt 23. Der erste Abschnitt 24a hat ferner eine Schulterfläche 27, welche den Stützabschnitt 23 umgibt. Die Schulterfläche 27 ist zwischen einer inneren Begren­ zungslinie, welche geschlossen ist, und einer äußeren Be­ grenzungslinie begrenzt, welche ebenfalls geschlossen ist. Die Schulterfläche 27 erstreckt sich von der inneren Be­ grenzungslinie zu der äußeren Begrenzungslinie radial nach außen. Der Stützabschnitt 23 steht in Fig. 1 gesehen von der inneren Begrenzungslinie der Schulterfläche 27 nach oben vor. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform sind der Stützabschnitt 23 und der erste Abschnitt 24a beide zylin­ drisch ausgebildet. Somit sind die inneren und äußeren Be­ grenzungslinien konzentrische Kreise. Der äußere Begren­ zungskreis hat einen größeren Durchmesser als der innere Begrenzungskreis. Die Schulterfläche 27 bei dieser bevor­ zugten Ausführungsform ist im wesentlichen eben und im we­ sentlichen senkrecht zu der Mittellinie des Wandlerkörpers 21, wobei es sich bei dieser Mittellinie um eine gemein­ same Achse des Stützabschnittes 23 und des ersten Schaftabschnittes 24a handelt. Die Schulterfläche 27 weist in Fig. 1 nach oben. Die innere Begrenzungslinie der Schulterfläche 27 ist eine Schnittfläche zwischen der Schulterfläche 27 und der zylindrischen Fläche des Stütz­ abschnitts 23. Die äußere Begrenzungslinie der Schulter­ fläche 27 ist eine Schnittfläche zwischen der Schulterflä­ che 27 und der zylindrischen Fläche des ersten Abschnitts 24a.

Der Schaftabschnitt 24 bei dieser bevorzugten Ausführungs­ form umfaßt ferner den zweiten Abschnitt 24b. Der zweite Abschnitt 24b ist im allgemeinen zylindrisch ausgebildet und hat eine zylindrische, außenseitige Fläche eines gera­ den Kreiszylinders. Der zweite Abschnitt 24b ist koaxial zum ersten Abschnitt 24a und hat einen größeren Durchmes­ ser als der erste Abschnitt 24a. Der zylindrische Stützab­ schnitt 23 ist auf dem zylindrischen ersten Abschnitt 24a ausgebildet, und der erste Abschnitt 24a ist auf dem zy­ lindrischen, zweiten Abschnitt 24b ausgebildet. Der Durch­ messer des Stützabschnitts ist kleiner als der Durchmesser des ersten Abschnitts 24a, und der Durchmesser des ersten Abschnitts 24a ist kleiner als der Durchmesser des zweiten Abschnitts 24b. Der zweite Abschnitt 24b hat ferner eine Anlagefläche 28, welche die zylindrische Fläche des ersten Abschnitts 24a umgibt, und die von der zylindrischen Flä­ che des ersten Abschnittes 24a radial nach außen verläuft. Die Anlagefläche 28 bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist im wesentlichen eben und im wesentlichen senkrecht zu der Mittellinie. Ähnlich der Schulterfläche 27 ist die An­ lagefläche 28 kreisförmig ausgebildet und zwischen zwei konzentrischen Begrenzungskreisen begrenzt. Die zylindri­ sche, außenseitige Fläche des zweiten Abschnitts 24b ver­ läuft in Fig. 1 von dem äußeren Begrenzungskreis der An­ lagefläche 28 nach unten. Der zweite Abschnitt 24b ist derart ausgelegt, daß er mittels eines Werkzeugs ergriffen werden kann. Der zweite Abschnitt 24b kann einen Abschnitt zum erleichterten Ergreifen mittels eines Werkzeuges zum Festziehen des Wandlerkörpers 21 an dem Behälter 11 haben.

Die Schutzabdeckung 26 bei dieser bevorzugten Ausführungs­ form hat einen ebenen, oberen Abschnitt 26a, und einen zy­ lindrischen Abschnitt 26b, der sich von dem Umfang des oberen Abschnitts erstreckt. Der zylindrische Abschnitt 26b der Abdeckung 26 hat eine ebene, ringförmige Endflä­ che. Die Abdeckung 26 ist passend über dem ersten Ab­ schnitt 24a des Wandlerhauptkörpers 21 angebracht. Der obere Abschnitt 26a der Abdeckung 26 hat eine ebene Innen­ seitenfläche, die dem Membranabschnitt 22 zugewandt ist. Die ebene Innenseitenfläche des oberen Abschnitts 26a der Abdeckung hat einen ausreichenden Abstand von dem Mem­ branabschnitt 22. Der zylindrische Abschnitt 26b und die Abdeckung 26 haben eine zylindrische, innenseitige Fläche, die radial in Richtung auf die Mittellinie des Wandlerkör­ pers 21 weist. Diese zylindrische, innenseitige Fläche des zylindrischen Abschnitts 26b liegt auf der nach außen wei­ senden, zylindrischen, außenseitigen Fläche des ersten Ab­ schnitts 24a des Wandlerköpers 21 an. Die ringförmige Endfläche der Abdeckung 26 liegt an der ringförmigen Anla­ gefläche 28 des Wandlerkörpers 21 an. Die zylindrische, innenseitige Fläche der Abdeckung 26 weist zu der zylin­ drischen, außenseitigen Fläche des Stützabschnitts 23. Je­ doch ist die zylindrische, innenseitige Fläche der Abdeckung 26 von der zylindrischen, außenseitigen Fläche des Stützabschnitts 23 durch die Schulterfläche 27 getrennt. Ein ringförmiger Raum ist zwischen dem Stützabschnitt 23 und der zylindrischen, innenseitigen Fläche der Abdeckung 26 vorgesehen. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform hat der Stützabschnitt 26 radial einen Abstand von der zylin­ drischen außenseitigen Fläche des zweiten Abschnittes 24b, sowohl durch die Schulterfläche 27 als auch durch die An­ lagefläche 28. Der Hauptkörper 21 bei dieser bevorzugten Ausführungsform hat eine erste, ringförmige Stufe, die von der Schulterfläche 27 gebildet wird, und eine zweite, ringförmige Stufe, die von der Anlagefläche 28 gebildet wird.

Der Befestigungsabschnitt 14 ragt nach Fig. 1 ausgehend von dem zweiten Abschnitt 24b nach unten. Der Befesti­ gungsabschnitt 24 hat einen kleineren Durchmesser als der zweite Abschnitt 24b. Der Wandler 20 bei dieser bevorzug­ ten Ausführungsform ist nur an dem Befestigungsabschnitt 14 abgestützt. Der Schaftabschnitt 24, der Stützabschnitt 23 und die Abdeckung 26 haben einen Abstand von dem Behäl­ ter 11.

Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist der außenseitige Durchmesser "c" des zweiten Abschnitts 24b 20 mm, der Außendurchmesser "b" des ersten Abschnittes 24b 16 mm und der Außendurchmesser "a" des Stützabschnitts 23 12 mm. Die Höhe h₁ des Stützabschnitts 23 ist 3 mm, und die Höhe h₂ des ersten Abschnitts 24a ist 5 mm. Bei dieser bevorzugten Ausführungsform ist die Höhe h₁ (d. h. die axiale Länge) des Stützabschnitts kleiner als die Höhe h₂ des ersten Ab­ schnitts 24a.

Bei diesem Druckwandler 20 ist der Membranstützabschnitt 23 von der Schulterfläche 27 und der Anlagefläche 28 umge­ ben. Daher wird der Membranabschnitt 22 selbst dann nicht beeinflußt, wenn eine Kraft auf den ersten oder zweiten Abschnitt 24a oder 24b des Schaftabschnitts 24 ausgeübt wird.

Im allgemeinen ist es erforderlich, einen Deformationsaus­ gang in Folge von Störungen innerhalb von 3% eines Nenn­ ausganges eines Drucksensors zu begrenzen. Wenn der Nenn­ ausgang des Sensors 1400×10^-6 Belastungseinheiten ist, dann muß der Störausgang innerhalb von 42×10^-6 Bela­ stungseinheiten liegen. Zwei Haupteinflußgrößen bei dem Störungsausgang sind eine Temperaturdrift am Nullpunkt ei­ nes metallischen Widerstandselements zur Belastungs- bzw. Deformationserfassung, das zur Druckmessung eingesetzt wird, und eine Einflußgröße, die auf externe Kräfte zu­ rückgeht, die auf den Wandlerkörper einwirken. Die Null­ punkt-Temperaturdrift beläuft sich bei 25 bis 80°C des ge­ genwärtig eingesetzten metallischen Widerstandselements zur Belastungs- bzw. Deformationserfassung auf 30×10^-6 Belastungseinheiten. Daher muß der Belastungsausgang in Folge von unerwünschten externen Kräften innerhalb 10×10^-6 Belastungseinheiten begrenzt werden, um den Bela­ stungsausgang in Folge der Störung innerhalb von 3% des Sensorsnennausgangs zu begrenzen. Bei dem Drucksensor sind die metallischen Widerstandselemente zur Belastungserfas­ sung in Form einer Brücke angeordnet. Daher muß die Bela­ stung bei einem einzigen Meßelement innerhalb 2,5×10^-6 Belastungseinheiten liegen. Folglich ist es erforderlich, den Drucksensor derart auszulegen, daß die in der Membrane erzeugte Verformung bzw. Belastung innerhalb 2,5×10^-6 Belastungseinheiten liegt. Fig. 3 zeigt einen experimen­ tell bestätigten Zusammenhang zwischen einer im Membranab­ schnitt 22 gemessenen Belastung bzw. Deformation und einem Verhältnis D, das gleich (b-a)/(c-b) ist. Bei diesem Beispiel wurden fünf unterschiedliche Wandlerkörper herge­ stellt. Ihre Werte des Verhältnisses D belaufen sich auf 1/4, 1/2, 1, 3/2 und 2. Die Ordinate im Diagramm nach Fig. 3 bezieht sich auf die Belastung bzw. Deformation des Membranabschnitts gemessen wenn eine Belastung von 5 kg an dem ersten Abschnitt 24 jedes Wandlerkörpers aufgebracht wird. Diese Belastung entspricht einer einwirkenden, ex­ ternen Kraft, wenn die Abdeckung mittels Paßsitz über dem ersten Abschnitt 24a aufgebaut wird. Wie sich aus dem Diagramm nach Fig. 3 ersehen läßt, ist es möglich die Be­ lastung des Membranabschnitts 22 auf Werte von unterhalb 2,5 10^-6 Belastungseinheiten zu begrenzen, indem der Au­ ßendurchmesser "b" des ersten Abschnitts 24a mit einem solchen Wert gewählt wird, daß das Verhältnis D gleich oder größer als 1 ist. Daher ist es erwünscht, den Wand­ lerkörper 21 derart auszulegen, daß die Differenz zwischen den Außendurchmessern des ersten Abschnitts 24a und des Stützabschnitts 23 gleich oder größer als die Differenz zwischen den Außendurchmessern der ersten und zweiten Ab­ schnitte 24a und 24b ist.

Die Fig. 4A und 4B zeigen Ausführungsvarianten der be­ vorzugten Ausführungsform nach der Erfindung. Ein Wandler­ hauptkörper 31, der in Fig. 4A gezeigt ist, hat zwei Schulterflächen und eine Anlagefläche, und sein Stützab­ schnitt 32 ist von drei ringförmigen Stufen umgeben. Der Stützabschnitt 32 ist von einer Abdeckung 36 durch die beiden Schulterflächen getrennt. Ein Wandlerhauptkörper 33, der in Fig. 4B gezeigt ist, hat nur eine Schulterflä­ che und keine Anlagefläche, und sein Stützabschnitt 34 ist von der Abdeckung 36 durch die Schulterfläche getrennt.

Bei dem Wandlerhauptkörper nach der Erfindung sind der Membranabschnitt 22, die Druckeinleitungsöffnung 15 und der Membranstützabschnitt 23 alle innerhalb einer ersten, imaginären, zylindrischen Fläche eines ersten, geraden Kreiszylinders selbst dann ausgebildet, wenn der Stützab­ schnitt 23 nicht zylindrisch ist. Die außenseitige Fläche des ersten Abschnitts 24a liegt außerhalb eines zweiten, imaginären, geraden Kreiszylinders, der koaxial zum ersten imaginären Zylinder ist, und der im Durchmesser größer als der erste imaginäre Zylinder ist. Die gemeinsame Achse der ersten zweiten imaginären Zylinder fällt mit der Mittelli­ nie des Hauptkörpers 21 zusammen. Die innere Begrenzung der Schulterfläche 27 liegt auf oder innerhalb der zylin­ drischen Fläche des ersten imaginären Zylinders, und die äußere Begrenzung der Schulterfläche 27 liegt auf oder au­ ßerhalb der zylindrischen Fläche des zweiten imaginären Zylinders. Auf jeden Fall erstreckt sich die Schulterflä­ che 27 von der zylindrischen Fläche des ersten imaginären Zylinders radial nach außen zu der zylindrischen Fläche des zweiten imaginären Zylinders, und es wird ein Ringraum gebildet, der zwischen den zylindrischen Flächen der er­ sten und zweiten imaginären Zylinder begrenzt ist und den Stützabschnitt umgibt. Bei der in Fig. 1 gezeigten bevor­ zugten Ausführungsform kann der erste imaginäre Zylinder dadurch gebildet werden, daß die zylindrische, außensei­ tige Fläche des Stützabschnitts 23 nach oben und unten verlängert wird und der zweite imaginäre Zylinder kann da­ durch gebildet werden, daß die zylindrische, außenseitige Fläche des ersten Abschnitts 24a nach oben und unten ver­ längert wird.

Claims (19)

1. Drucksensor gekennzeichnet durch:
einen Druckwandlerhauptkörper (21; 31; 33), der einen Membranabschnitt (22), einen eine Öffnung (15) zum Einleiten eines Meßdruckes zu einer Innenseite des Membranabschnitts (22) bildenden Abschnitt, einen Stützabschnitt (23; 32; 34), der den Mem­ branabschnitt (22) stützt, und einen Schaftabschnitt (24) aufweist, der eine Stufe bildet, die den Stütz­ abschnitt (23; 32; 34) umgibt.

2. Drucksensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaftabschnitt (24) eine Schulterfläche (27) aufweist, die zwischen einer inneren Begren­ zung, welche geschlossen ist, und eine äußere Be­ grenzung, welche ebenfalls geschlossen ist, begrenzt ist, wobei die Schulterfläche (27) den Stützab­ schnitt (23; 32; 34) umgibt und von der inneren Be­ grenzung zu der äußeren Begrenzung radial verläuft, und daß der Stützabschnitt (23; 32; 34) von der in­ neren Begrenzung der Schulterfläche (27) vorsteht.

3. Drucksensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ferner ein Wandlerelement (25) zum Erfassen einer Auslenkung des Membranabschnitts (22) und eine Abdeckung (26; 36) vorgesehen sind, die an dem Kör­ per (21; 31; 33) zum Umschließen und Schützen des Membranabschnitts (22) und des Wandlerelements (25) angebracht sind, daß der Schaftabschnitt (24) einen ersten Abschnitt (24a) aufweist, über den die Abdeckung (26; 36) passend gesetzt ist und daß eine au­ ßenseitige Fläche des ersten Abschnitts (24a) die äußere Begrenzung der Schulterfläche (27) umgibt.

4. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckung (26; 36) eine innenseitige Fläche aufweist, die den Stützabschnitt (23; 32; 34) und den ersten Abschnitt (24a) umgibt und diesem zuge­ wandt ist, daß die innenseitige Fläche der Abdeckung (26; 36) an der außenseitigen Fläche des ersten Ab­ schnittes (24a) anliegt, der Stützabschnitt (23; 32; 34) einen Abstand von der innenseitigen Fläche der Abdeckung (26; 36) hat, der Stützabschnitt (23; 32; 34) ein oberes Ende hat, das einen Umfang des Mem­ branabschnitts (22) stützt, der Stützabschnitt (23; 32; 34) von der Schulterfläche (27) zu dem oberen Ende vorsteht, und das Wandlerelement (25) fest an einer äußeren Seite des Membranabschnitts (22) ange­ bracht ist.

5. Drucksensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Membranabschnitt (22), die Öffnung (15) und der Stützabschnitt (23; 32; 34) alle in einer er­ sten, imaginären, zylindrischen Fläche eines ersten vorbestimmten, imaginären, geraden Kreiszylinders ausgebildet sind, die äußere Begrenzung der Schul­ terfläche (27) den ersten imaginären Zylinder um­ gibt, die Schulterfläche (27) sich von der ersten imaginären Zylinderfläche zu einer zweiten ima­ ginären Zylinderfläche eines zweiten, vorbestimmten, imaginären, geraden Kreiszylinders radial nach außen erstreckt, der koaxial zum ersten Zylinder vorgese­ hen ist, und der einen größeren Durchmesser als der erste Zylinder hat, und daß die außenseitige Fläche des ersten Abschnitts (24a) außerhalb des zweiten Zylinders liegt.

6. Drucksensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Schaftabschnitt (24) eine Anlagefläche (28) aufweist, welche den ersten Abschnitt (24a) umgibt, und die von dem ersten Abschnitt (24a) radial nach außen verläuft, und daß die Abdeckung (26; 36) ein Ende hat, das an der Anlagefläche (28) anliegt.

7. Drucksensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (15) längs einer gemeinsamen Achse des ersten und zweiten imaginären Zylinders verläuft und durch den Schaftabschnitt (24) und den Stützab­ schnitt (22; 32; 34) geht.

8. Drucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schulterfläche (27) im wesentlichen eben ist und im wesentlichen senkrecht zu der gemeinsamen Achse ist.

9. Drucksensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Anlagefläche (28) im wesentlichen eben und im wesentlichen senkrecht zu der gemeinsamen Achse ist.

10. Drucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Membranabschnitt (22) in Form einer dünnen Platte mit einer radial symmetrischen Gestalt ausge­ legt ist, die gemeinsame Achse der ersten und zwei­ ten imaginären Zylinders durch eine Mitte des Mem­ branabschnitts (22) geht und senkrecht zu dem Mem­ branabschnitt (22) ist, und daß der Stützabschnitt (23; 32; 34) in ähnlicher Weise eine radial symme­ trische Auslegung hat.

11. Drucksensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Membranabschnitt (22) ähnlich einer kreis­ förmigen Platte ausgelegt ist, der Stützabschnitt (23; 32; 34) ähnlich eines geraden Kreiszylinders ausgelegt ist, und daß der Stützabschnitt koaxial zu den ersten und zweiten imaginären Zylindern ist, de­ ren gemeinsame Achse durch eine Mitte des Membranab­ schnitts geht und senkrecht zu dem Membranabschnitt (22) ist.

12. Drucksensor nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Körper (21; 31; 33) ferner einen Befe­ stigungsabschnitt (14) aufweist, der von dem Schaftabschnitt (24) vorsteht, der zwischen dem Stützabschnitt (23; 32; 34) und dem Befestigungsab­ schnitt (14) ausgebildet ist.

13. Drucksensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Membranabschnitt (22), der Stützab­ schnitt (23; 32; 34) und der Schaftabschnitt (24) alle integralen Teile eines einzigen Stücks bilden.

14. Drucksensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich­ net, daß der Körper (21; 31; 33) ein einziger Körper aus einer rostfreien Legierung ist.

15. Drucksensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeich­ net, daß der Schaftabschnitt (24) einen zweiten Ab­ schnitt (24b) aufweist, der zwischen dem ersten Ab­ schnitt (24a) und dem Befestigungsabschnitt (14) ausgebildet ist, und daß der zweite Abschnitt (24b) einen größeren Querschnitt als der erste Abschnitt (24a) hat.

16. Drucksensor nach Anspruch 15, dadurch gekennzeich­ net, daß jeder der ersten und zweiten Abschnitte (24a, 24b) ähnlich eines geraden Kreiszylinders aus­ gebildet und koaxial zu dem Stützabschnitt (23; 32; 34) ist, wobei ein Durchmesser des Stützabschnittes kleiner als ein Durchmesser des ersten Abschnittes (24a) und ein Durchmesser des zweiten Abschnittes (24b) größer als jener des ersten Abschnittes (24a) ist.

17. Drucksensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich­ net, daß der Körper (21; 31; 33) derart gestaltet ist, daß die durch Subtraktion des Durchmessers des Stützabschnittes (23; 32; 34) von dem Durchmesser des ersten Abschnittes erhaltene Differenz gleich oder größer als eine Differenz ist, die man durch Subtraktion des Durchmessers des ersten Abschnittes (24a) von dem Durchmesser des zweiten Abschnittes (24b) erhält.

18. Drucksensor nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, daß der Befestigungsabschnitt (14) einen mit einem Außengewinde versehenen Abschnitt aufweist, und daß der Befestigungsabschnitt (14) einen kleine­ ren Querschnitts als der zweite Abschnitt (24b) hat.

19. Drucksensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeich­ net, daß der Körper (21; 31; 33) fest an einem Be­ hälter (11) angebracht ist, der ein unter Druck ste­ hendes Fluid enthält, und daß er nur an dem Befesti­ gungsabschnitt (14) am Behälter (11) abgestützt ist.