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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen elektronischen Baustein für die Oberflächenmontage
gemäß dem Oberbegriff
des Anspruchs 1, bei welchem an einem Gehäusesubstrat elektronische Elemente montiert
sind und eine Abdeckung auf das Gehäusesubstrat angebracht wird,
um den elektronischen Baustein abzudecken. Ein solcher elektronischer Baustein
ist beispielsweise aus der
DE
100 11 381 A1 bekannt.
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2. Beschreibung des Stands
der Technik
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Mit
zunehmender Abnahme der Größe von Schaltungen
wurden in letzter Zeit häufig
elektronische (Chip-)Bausteine für
die Oberflächenbestückung an
Stelle von Bausteinen mit Leitungen verwendet. Bei herkömmlichen
elektronischen Bausteinen für
die Oberflächenmontage,
wie sie zum Beispiel in der nicht geprüften
japanischen Patentanmeldungsschrift Nr.
2000-286665 beschrieben werden, umfasst ein piezoelektrischer
Resonanzbaustein einen piezoelektrischen Resonator, der an einem
Kondensatorsubstrat montiert ist, sowie eine Abdeckung, die an dem
Kondensatorsubstrat montiert ist. Das Kondensatorsubstrat umfasst
mehrere geschichtete dielektrische Schichten und erste bis dritte
Innenelektroden, die darin vorgesehen sind. Die erste Innenelektrode
ist in einer anderen Schicht als die zweiten und dritten Innenelektroden
vorgesehen und die zweiten und dritten Innenelektroden sind so vorgesehen,
dass sie getrennt, aber an der gleichen Schicht angeordnet sind.
Die erste Innenelektrode liegt der zweiten und dritten Innenelektrode
gegenüber,
wobei eine dielektrische Schicht dazwischen angeordnet ist. Die
ersten bis dritten Außenelektroden sind
auf der Außenfläche der
beiden Endteile und des mittleren Teils des Kondensatorsubstrats
vorgesehen. Bei der an der Außenfläche des
mittleren Teils vorgesehenen dritten Außenelektrode ist deren oberer
Flächenteil
weggelassen. Die ersten bis dritten Außenelektroden sind mit den
ersten bis dritten Innenelektroden jeweils elektrisch verbunden.
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Bei
dem elektronischen Baustein für
die Oberflächenmontage
mit dem oben beschriebenen Aufbau sind die auf der oberen Fläche, der
unteren Fläche
und der Seitenfläche
des Kondensatorsubstrats vorgesehenen ersten und zweiten Außenelektroden
kontinuierliche Bänder
mit gleicher Breite. Das heißt
der Abstand zwischen den Außenelektroden
an der oberen Fläche,
an der das piezoelektrische Element angebracht ist, und der Abstand
zwischen den Außenelektroden
an der unteren Fläche
eines Schaltungssubstrats zur Montage von elektronischen Bausteinen
ist gleich.
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Der
Abstand zwischen den Außenelektroden an
der oberen Fläche
des Kondensatorsubstrats muss jedoch entsprechend der Länge des
an dem Kondensatorsubstrat montierten piezoelektrischen Elements
ermittelt werden und der Abstand zwischen den Außenelektroden an der unteren
Fläche
des Kondensatorsubstrats muss entsprechend den Landeplatzmaßen des
Schaltungssubstrats für
das Montieren der elektronischen Bausteine ermittelt werden.
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In
letzter Zeit hat die Länge
piezoelektrischer Elemente abgenommen. Wenn der Abstand zwischen
den Außenelektroden
entsprechend abnimmt, wenn diese auf einem Schaltungssubstrat montiert werden,
kommt es zu Problemen, wie Kurzschluss.
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Wenn
der Abstand zwischen Außenelektroden
an der oberen und unteren Fläche
gleich ist, sind die Länge
des Elements, die Außenformmaße des Kondensatorsubstrats
und die Landeplatzmaße
beschränkt
und es kommt zu dem Problem, dass das Maß an Konstruktionsfreiheit
stark eingeschränkt wird.
Ferner wird das Maß,
um das die Größe von elektronischen
Bausteinen verringert werden kann, stark eingeschränkt.
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ZUSAMMENFASSENDE BESCHREIBUNG
DER ERFINDUNG
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Um
die oben beschriebenen Probleme zu überwinden, sieht die Erfindung
einen elektronischen Baustein für
die Oberflächenmontage
mit den Merkmalen des Anspruchs 1 vor, welcher außergewöhnliche
Konstruktionsfreiheit und eine stark verringerte Größe aufweist.
Bevorzugte Ausführungen
der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
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Nach
einer bevorzugten Ausführung
der vorliegenden Erfindung umfasst ein elektronischer Baustein für die Oberflächenmontage
ein im Wesentlichen rechteckiges Gehäusesubstrat, ein an dem Gehäusesubstrat
in Längsrichtung
montiertes elektronisches Element und eine Abdeckung, welche so
an dem Gehäusesubstrat
befestigt ist, dass sie das elektronische Element abdeckt, wobei
erste und zweite Elektroden an der oberen Fläche und erste und zweite Elektroden
an der unteren Fläche,
welche sich in Breitenrichtung des Gehäusesubstrats erstrecken, vorgesehen
sind und an der oberen Fläche
und der unteren Fläche
des Gehäusesubstrats
jeweils beabstandet sind, wobei die erste Elektrode an der oberen Fläche und
die erste Elektrode an der unteren Fläche mittels einer an einer
Seitenfläche
des Gehäusesubstrats
vorgesehenen ersten Seitenelektrode mit einander verbunden sind
und die zweite Elektrode an der oberen Fläche und die zweite Elektrode
an der unteren Fläche
mittels einer an einer Seitenfläche des
Gehäusesubstrats
vorgesehenen zweiten Seitenelektrode mit einander verbunden sind,
wobei das elektronische Element mit den ersten und zweiten Elektroden
an der oberen Fläche
elektrisch verbunden ist und der Abstand d1 zwischen den ersten
und zweiten Elektroden an der oberen Fläche sich vom Abstand d2 zwischen
den ersten und zweiten Elektroden an der unteren Fläche unterscheidet.
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Ein
elektronischer Baustein ist zwischen den an der oberen Fläche des
Gehäusesubstrats
vorgesehenen ersten und zweiten Elektroden an der oberen Fläche elektrisch
verbunden. Die an der unteren Fläche
des Gehäusesubstrats vorgesehenen
ersten und zweiten Elektroden an der unteren Fläche sind an einer Elektrodengrundplatte
des Schaltungssubstrats montiert. Da der Abstand d1 zwischen den
Elektroden der oberen Fläche
des Gehäusesubstrats
sich von dem Abstand d2 zwischen den Elektroden der unteren Fläche unterscheidet,
wird insbesondere der Abstand d1 der Elektroden der oberen Fläche auf
die geeignetesten Maße
entsprechend der Länge
des elektronischen Bausteins festgelegt und der Abstand d2 der Elektroden
der unteren Fläche
wird auf die geeignetesten Maße
entsprechend des Abstands der Elektrodengrundflächen festgelegt. Daher wird
die Konstruktionsfreiheit stark verbessert und die Größe weiter
verringert.
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Der
Abstand d1 zwischen den ersten und zweiten Elektroden der oberen
Fläche
kann geringer als der Abstand d2 zwischen den ersten und zweiten Elektroden
der unteren Fläche
sein.
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In
den bevorzugten Ausführungen
der vorliegenden Erfindung werden die Abstände d1 und d2 nach Wunsch festgelegt.
Die Länge
eines piezoelektrischen Elements ist jedoch häufig sehr kurz. Wird d1 > d2 festgelegt, ist
der Abstand d2 der Elektroden der unteren Fläche zu klein, und wenn das
piezoelektrische Element auf einem Schaltungssubstrat montiert wird,
kann es zu Kurzschluss kommen. Daher wird durch Festlegen von d1 < d2 bei Montieren
eines kurzen, kleinen piezoelektrischen Elements ein Kurzschluss
verhindert.
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Die
Seitenelektrode umfasst vorzugsweise einen Teil, der sich in der
Dickenrichtung des Gehäusesubstrats
von der Elektrode der oberen Fläche
bei gleicher Breite wie die Elektrode der oberen Fläche kontinuierlich
erstreckt, sowie einen Teil, welcher sich in Dickenrichtung des
Gehäusesubstrats
von der Elektrode der unteren Fläche
bei gleicher Breite wie die Elektrode der unteren Fläche kontinuierlich
erstreckt, und beide Teile sind vorzugsweise in einem Zwischenteil
des Gehäusesubstrats
in Dickenrichtung verbunden. Das heißt die an der Seitenfläche des
Gehäusesubstrats
vorgesehenen ersten und zweiten Seitenelektroden sind vorzugsweise
stufenförmig.
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Da
sich der Abstand d1 zwischen den Elektroden der oberen Fläche von
dem Abstand d2 zwischen den Elektroden der unteren Fläche unterscheidet,
kommt es insbesondere, wenn die an der Seitenfläche des Gehäusesubstrats vorgesehene Seitenelektrode
mit der Elektrode der oberen Fläche
ausgerichtet ist, an der Kante des Gehäusesubstrats zu einer Abweichung
von der Elektrode der unteren Fläche.
Wenn die Seitenelektrode analog mit der Elektrode der unteren Fläche ausgerichtet
ist, kommt es an der Kante des Gehäusesubstrats zu einer Abweichung
von der Elektrode der oberen Fläche.
Die Abweichung der Elektrode an der Kante des Gehäusesubstrats
verringert die Leitzuverlässigkeit.
Aus diesem Grund ist bevorzugt, dass die an benachbarten Flächen mit
einer Kante dazwischen vorgesehenen Elektroden im Wesentlichen die
gleiche Breite aufweisen.
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Demgemäss wird
in einem Zwischenteil des Gehäusesubstrats
in Dickenrichtung durch Verbinden eines Teils der Seitenelektrode,
welche sich kontinuierlich in Dickenrichtung des Gehäusesubstrats von
der Elektrode der oberen Fläche
bei gleicher Breite wie die Elektrode der oberen Fläche erstreckt, und
eines Teils der Seitenelektrode, welche sich kontinuierlich in Dickenrichtung
des Gehäusesubstrats von
der Elektrode der unteren Fläche
bei gleicher Breite wie die Elektrode der unteren Fläche erstreckt, die
Elektrodenabweichung an der Kante eliminiert und somit die Leitzuverlässigkeit
der Elektroden an den oberen und unteren Flächen stark verbessert.
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Das
elektronische Element kann ein piezoelektrisches Element sein. Das
Gehäusesubstrat
umfasst vorzugsweise zwei darin integrierte Kondensatoren. Eine
dritte Elektrode ist vorzugsweise zwischen den ersten und zweiten
Elektroden der unteren Fläche
vorgesehen. Einer der Kondensatoren ist zwischen einer der ersten
Elektrode der oberen Fläche und
der ersten Elektrode der unteren Fläche und der dritten Elektrode
angeschlossen und der andere Kondensator ist zwischen einer der
zweiten Elektrode der oberen Fläche
und der zweiten Elektrode der unteren Fläche und der dritten Elektrode
angeschlossen.
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Insbesondere
in einer Colpitts-Oszillatorschaltung wird ein phasenausgleichender
Kondensator zwischen einer der Elektroden des piezoelektrischen
Elements und der Erde und zwischen der anderen Elektrode und der
Erde angeschlossen. In der vorliegenden bevorzugten Ausführung der
vorliegenden Erfindung wird durch Integrieren dieser Kondensatoren
in das Gehäusesubstrat
ein kompakter piezoelektrischer Resonator für eine Oszillatorschaltung erhalten.
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Das
Gehäusesubstrat
umfasst vorzugsweise mehrere geschichtete dielektrische Schichten
mit daran vorgesehenen Innenelektroden oder es kann ein Chipkondensator
separat vorgesehen werden.
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Weitere
Merkmale, Elemente, Eigenschaften und Vorteile der vorliegenden
Erfindung gehen aus der folgenden eingehenden Beschreibung ihrer
bevorzugten Ausführungen
unter Bezug auf die Begleitzeichnungen hervor.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine perspektivische Ansicht einer bevorzugen Ausführung eines
elektronischen Bausteins für
die Oberflächenmontage
nach der vorliegenden Erfindung.
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2A ist
eine Draufsicht auf das Äußere eines
in 1 gezeigten elektronischen Bausteins; 2B ist
eine Vorderansicht desselben und 2C ist
eine Seitenansicht desselben.
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3 ist
eine Seitenansicht entlang der Linie X-X' in 2.
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4 ist
eine perspektivische Ansicht eines für den in 1 gezeigten
elektronischen Baustein verwendeten Gehäusesubstrats.
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5 ist
eine auseinander gezogen dargestellte perspektivische Ansicht des
in 4 gezeigten Gehäusesubstrats.
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6 ist
ein Schaltplan des in 1 gezeigten elektronischen Bausteins.
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7 ist
eine perspektivische Ansicht eines in dem in 1 gezeigten
elektronischen Baustein montierten piezoelektrischen Elements.
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8 ist
eine perspektivische Ansicht, welche Herstellungsschritte für das in 4 gezeigte Gehäusesubstrat
zeigt.
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9A, 9B und 9C sind
Prozessdiagramme, welche ein Herstellungsverfahren für eine Elektrode
des in 4 gezeigten Gehäusesubstrats zeigen.
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10 ist
eine perspektivische Ansicht einer weiteren bevorzugten Ausführung eines
erfindungsgemäßen Gehäusesubstrats.
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11A, 11B, 11C und 11D sind
Draufsichten, welche Beispiele von Mustern einer in dem Gehäusesubstrat
vorgesehenen Kondensatorelektrode zeigen.
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EINGEHENDE BESCHREIBUNG DER
BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGEN
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1 und 3 zeigen
einen piezoelektrischen Resonatorbaustein als Beispiel für einen
elektronischen Baustein für
die Oberfächenmontage nach
einer erfindungsgemäßen bevorzugten
Ausführung.
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Der
piezoelektrische Resonatorbaustein umfasst vorzugsweise ein an einem
Gehäusesubstrat 1 montiertes
piezoelektrisches Energiefallenelement 10 und eine an dem
Gehäusesubstrat 1 so
angeklebte Metallabdeckung 20, dass diese das piezoelektrische
Resonatorelement 10 umgibt und abdichtet.
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Das
Gehäusesubstrat 1 umfasst
mehrere geschichtete dielektrische Keramikschichten mit keinen piezoelektrischen
Eigenschaften und mit einer im Wesentlichen rechteckigen Form. Wie
in 4 und 5 gezeigt, sind erste und zweite
Außenelektroden 2 und 3,
die Ausgangselektroden bilden, und eine Außenelektrode 4, die
eine Erdungselektrode bildet, an der Außenfläche des Gehäusesubstrats 1 vorgesehen.
Insbesondere an der oberen Fläche
des Gehäusesubstrats 1 sind
bandförmige
Elektroden 2a und 3a der oberen Oberfläche bei
einem Abstand d1 in Längsrichtung,
die sich in der Breitenrichtung erstrecken, sowie streifenförmige Elektroden 2b und 3b der
unteren Fläche
bei einem Abstand d2 in Längsrichtung,
die sich in Breitenrichtung erstrecken, vorgesehen. Die Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
sind mit den Elektroden 2b und 3b der unteren
Fläche über Seitenelektroden 2c bzw. 3c verbunden.
Erste und zweite Außenelektroden 2 und
sind um das Gehäusesubstrat 1 gewunden,
so dass sie ein Band bilden. Die Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
und die Elektroden 2b und 3b der unteren Fläche haben
allesamt eine konstante Breite. Die Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
und die Elektroden 2b und 3b der unteren Fläche haben
die gleiche Breite und liegen einander teilweise gegenüber, mit dem
Gehäusesubstrat 1 dazwischen.
Der Abstand d1 zwischen den Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
ist kleiner als der Abstand d2 zwischen den Elektroden 2b und 3b der
unteren Fläche,
so dass d1 < d2.
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Daher
ist der Abstand d1 zwischen den Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
auf die geeignetesten Maße
entsprechend der Länge
des piezoelektrischen Elements 10 festgelegt, welches in
dem Raum zwischen den Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
montiert ist, und der Abstand d2 zwischen den Elektroden 2b und 3b der
unteren Fläche
ist auf die geeignetesten Maße
entsprechend dem Abstand der Elektrodengrundplatten eines Schaltungssubstrats
festgelegt, auf welchem dieser piezoelektrische Resonanzbaustein
montiert wird.
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Die
Seitenelektroden 2c und 3c weisen bei Betrachtung
von der Seite eine abgestufte Form auf. Das heißt die Seitenelektrode 2c hat
einen Teil 2c1, welcher sich kontinuierlich in der Dickenrichtung
des Gehäusesubstrats 1 von
der Elektrode 2a der oberen Fläche bei gleicher Breite wie
die Elektrode 2a der oberen Fläche erstreckt, und einen Teil 2c2,
welcher sich kontinuierlich in der Dickenrichtung des Gehäusesubstrats 1 von
der Elektrode 2b der unteren Fläche bei gleicher Breite wie
die Elektrode 2b der unteren Fläche erstreckt, und die Teile 2c1 und 2c2 sind in
einem Zwischenteil des Gehäusesubstrats 1 in
Dickenrichtung verbunden.
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Analog
weist die Seitenelektrode 3c einen Teil 3c1 auf,
welcher sich kontinuierlich in der Dickenrichtung des Gehäusesubstrats 1 von
der Elektrode 3a der oberen Fläche bei gleicher Breite wie
die Elektrode 3a der oberen Fläche erstreckt, und einen Teil 3c2,
welcher sich kontinuierlich in der Dickenrichtung des Gehäusesubstrats 1 von
der Elektrode 3b der unteren Fläche bei gleicher Breite wie
die Elektrode 3b der unteren Fläche erstreckt, und die Teile 3c1 und 3c2 sind
in einem Zwischenteil des Gehäusesubstrats 1 in
Dickenrichtung verbunden.
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Eine
dritte Außenelektrode 4,
welche eine Erdungselektrode bildet, erstreckt sich kontinuierlich von
der unteren Fläche
des Gehäusesubstrats 1 zu einem
Teil der Seitenfläche
desselben. Die dritten Außenelektrode 4 kann
sich auch um eine Öffnung an
der oberen Fläche
des Gehäusesubstrats 1 erstrecken.
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In
dem Gehäusesubstrat 1 sind,
wie in 5 gezeigt, mehrere Kondensatorelektroden 5 bis 9 vorgesehen.
Das heißt
das Gehäusesubstrat 1 wird durch
vier dielektrische Schichten 1a bis 1d ausgebildet.
Eine Kondensatorelektrode ist nicht an der dielektrischen Schicht 1a vorgesehen.
Zwei separate Kondensatorelektroden 5 und 6 sind
an der zweiten Schicht 1b vorgesehen. An der dritten Schicht 1c ist eine
breitflächige
Kondensatorelektrode 7 vorgesehen. Zwei separate Kondensatorelektroden 8 und 9 sind
an der vierten Schicht 1d vorgesehen. Die Kondensatorelektroden 5 und 6 sowie
die Kondensatorelektroden 8 und 9 weisen im Wesentlichen
die gleiche Form auf. In beiden Endteilen der Kondensatorelektroden 5 bis 9 in
Breitenrichtung sind Verlängerungsteile 5a bis 9a vorgesehen,
die an der Seitenfläche der
längeren
Seite des Gehäusesubstrats 1 freigelegt
sind. Die Verlängerungsteile 5a und 8a der
Kondensatorelektroden 5 und 8 sind mit der Seitenelektrode 2c der
ersten Elektrode 2 verbunden und die Verlängerungsteile 6a und 9a der
Kondensatorelektroden 6 und 9 sind mit der Seitenelektrode 3c der zweiten
Elektrode 3 verbunden. Weiterhin ist der Verlängerungsteil 7a der
Kondensatorelektrode 7 mit der Seitenelektrode 4a der
dritten Elektrode 4 verbunden.
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Daher
sind, wie in 6 gezeigt, die Kondensatoren
C1 und C2 zwischen den Kondensatorelektroden 5 und 6 und
der Kondensatorelektrode 7 vorgesehen, welche sich teilweise
gegenüberliegen, wobei
die zweite Schicht 1b dazwischenliegt, und die Kondensatoren
C3 und C4 sind zwischen den Kondensatorelektroden 8 und 9 und der
Kondensatorelektrode 7 vorgesehen, welche sich teilweise
gegenüberliegen,
wobei die dritte Schicht 1c dazwischenliegt.
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Zwar
ist in dieser bevorzugten Ausführung das
Gehäusesubstrat 1 durch
vier dielektrische Schichten 1a bis 1d ausgebildet
und die Kondensatorelektroden 5 bis 9 der drei
Schichten sind darin vorgesehen, doch ist die vorliegende Erfindung
nicht hierauf beschränkt.
Zum Beispiel weisen die dielektrischen Schichten einen dreischichtigen
Aufbau (Kondensatorelektroden sind an einem zweischichtigen Aufbau
vorgesehen) auf oder die dielektrischen Schichten können fünf oder
mehr Schichten sein (Kondensatorelektroden sind an vier oder mehr Schichten
vorgesehen) und dies wird nach phasenausgleichenden Eigenschaften
festgelegt.
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Das
in 7 gezeigte piezoelektrische Element 10 ist
ein piezoelektrischer Resonator unter Verwendung einer Oberwelle
eines sich in Dickenrichtung ausdehnenden Schwingungsmodus. Das
piezoelektrische Element 10 umfasst eine aus piezoelektrischer
Keramik hergestellte piezoelektrische Substanz 11 mit einer
rechteckigen Streifenform, an der Vorderfläche und der Rückfläche der
piezoelektrischen Substanz 11 vorgesehene erste und zweite Erregerelektroden 12 und 13,
die sich von einem Ende der piezoelektrischen Substand 11 in
Längsrichtung
zu einem mittleren Teil derselben erstrecken, sowie eine in der
piezoelektrischen Substanz 11 vorgesehene Innenelektrode 14,
die sich von dem anderen Ende der piezoelektrischen Substanz 11 in Längsrichtung
zu einem mittleren Teil derselben erstreckt. Die Erregerelektroden 12 und 13 und
die Innenelektrode 14 liegen einander teilweise gegenüber. An
beiden Endflächen
der piezoelektrischen Substanz 11 sind in Längsrichtung
Endflächenelektroden 15 und 16 vorgesehen,
wobei eine der Endflächenelektroden 15 mit
den Erregerelektroden 12 und 13 und die andere
Endflächenelektrode 16 mit
der Innenelektrode 14 verbunden ist. Die Endflächenelektrode 16 erstreckt
sich teils um die Vorder- und Rückflächen der
piezoelektrischen Substanz 11.
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Die
piezoelektrische Substanz 11 ist in der Dickenrichtung
polarisiert, wie durch den Pfeil P in 7 gezeigt,
und wenn ein vorbestimmtes Signal zwischen den Endflächenelektroden 15 und 16 eingegeben
wird, wird eine Oberwelle einer sich in Dickenrichtung erstreckenden
Schwingung mit einem kleinen Betrag an Streustrahlung erregt.
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Wie
in 1 und 3 gezeigt, ist das piezoelektrische
Element 10 so an dem Gehäusesubstrat 1 angeordnet,
dass die Längsrichtung
desselben im Wesentlichen parallel zur Richtung der längeren Seite
des Gehäusesubstrats 1 verläuft. Die
Endflächenelektroden 15 und 16 sind
mit den Elektroden 2a und 3a der oberen Fläche des
Gehäusesubstrats 1 jeweils
mittels leitender Verbindungsmaterialien 17 und 18,
wie zum Beispiel ein leitender Klebstoff oder ein Lot, elektrisch
verbunden und mechanisch befestigt. Ein gewünschter Freiraum 6 ist
zwischen dem mittleren Teil des piezoelektrischen Elements 10 und dem
Gehäusesubstrat 1 so
vorgesehen, dass die Schwingung des piezoelektrischen Elements 10 nicht behindert
wird (siehe 3).
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Die
Abdeckung 20 wird vorzugsweise durch Formpressen einer
Metallplatte gebildet und ein isolierender Klebstoff 21 wird
in der Öffnung
derselben durch ein Transferverfahren aufgebracht. Nach dem Montieren
des piezoelektrischen Elements 10 an dem Gehäusesubstrat 1 wird
die Abdeckung 20 an der oberen Fläche des Gehäusesubstrats 1 so
angeklebt und befestigt, dass sie das piezoelektrische Element 10 abdeckt.
Als Klebstoff 21 kann ein hitzehärtbarer Epoxidklebstoff verwendet
werden.
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Nach
dem Ankleben und Befestigen der Abdeckung 20 durch den
isolierenden Klebstoff 21 werden die Abdeckung 20 und
die Erdungselektrode 4 über
einen leitenden Klebstoff mit einander verbunden, so dass ein abgeschirmter
Aufbau gebildet wird.
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Die
Abdeckung 20 dieser bevorzugten Ausführung wird zwar durch Formpressen
einer Metallplatte gebildet, doch kann auch eine Harzabdeckung oder
eine Keramikabdeckung verwendet werden.
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Nun
wird unter Bezug auf 8 ein Verfahren zum Herstellen
des Gehäusesubstrats 1 der
oben beschriebenen bevorzugten Ausführung beschrieben.
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Zuerst
wird, wie in 8(a) gezeigt, das Gehäuse durch
Schichten von vier dielektrischen Schichten 1a bis 1d (siehe 5),
in denen die Kondensatorelektroden 5 bis 9 vorgesehen
sind, und durch Brennen der vier geschichteten dielektrischen Schichten 1a bis 1d erhalten.
An einer Seitenfläche der
längeren
Seite des Gehäusesubstrats 1 sind
die Verlängerungsteile 5a bis 9a der
Kondensatorelektroden 5 bis 9 freigelegt.
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Um
die Verlängerungsteile 5a bis 9a freizulegen,
wird die Seitenfläche
des Gehäusesubstrats 1 poliert,
und um die elektrische Leitung zu den Seitenelektroden 2c, 3c und 4 (später zu beschreiben)
zu verbessern, wird die Seitenfläche
des Gehäusesubstrats 1 durch
Sandstrahlen oder Rommeln aufgeraut.
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Als
Nächstes
erstrecken sich, wie in 8(b) gezeigt,
die Elektroden 2b, 3b und 4 der unteren
Fläche
und die Seitenelektrodenteile 2c2, 3c2 und 4a kontinuierlich
von der unteren Fläche
des Gehäusesubstrats 1 zu
der Seitenfläche
und die Seitenelektrodenteile 2c2, 3c2 und 4a bedecken
die Verlängerungsteile 5a bis 9a der
Kondensatorelektroden 5 bis 9, die an der Seitenfläche des
Gehäusesubstrats 1 frei
liegen.
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Das
Verfahren zum Bilden von Elektroden wird in 9A, 9B und 9C gezeigt.
Wie in 9A gezeigt, werden mehrere Nute
G1 bis G3 auf einer pastenbeschichteten Platte A mit Gummielastizität gebildet
und diese Nute G1 bis G3 werden mit einer leitenden Paste S so gefüllt, dass
sie bündig
zur Fläche
der pastenbeschichteten Platte A sind. Als Nächstes wird, wie in 9B gezeigt,
das Gehäusesubstrat 1 von
oberhalb der beschichteten Platte A gepresst, um die beschichtete
Platte A zu biegen. Zu diesem Zeitpunkt fließt ein Teil der Paste S in
den Nuten G1 bis G3 um die Seitenfläche des Gehäusesubstrats 1 aufgrund
des Pressens gegen die untere Fläche
des Gehäusesubstrats 1.
Danach wird, wie in 9C gezeigt, beim Heben des Gehäusesubstrats 1 von
der beschichteten Platte A die Paste S kontinuierlich von der unteren
Fläche
des Gehäusesubstrats 1 zur
Seitenfläche
aufgebracht. Da die Menge der in den Nuten G1 bis G3 der beschichteten
Platte A nach Beendigung einer Beschichtung verbleibende Menge an
Paste S gering ist, wird die Paste S an der oberen Fläche der
beschichteten Platte A für
das nächste Beschichten
vorgesehen und es wird ein Zusammenpressen durchgeführt und
somit kehrt der Zustand wieder zum Zustand von 9A zurück.
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Mit
dem in 9A, 9B und 9C gezeigten
Verfahren wird die Elektrode, die von einer Hauptfläche des
Gehäusesubstrats 1 zur
Seitenfläche
kontinuierlich vorliegt, in einem Arbeitsgang gebildet.
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Das
Gehäusesubstrat 1,
auf dem die Elektrode in der vorstehend beschriebenen Weise kontinuierlich
von der unteren Fläche
zur Seitenfläche
gebildet wird, wird umgedreht und es wird ein Verfahren ähnlich zu
dem vorstehend beschriebenen Verfahren eingesetzt, um die Elektroden 2a und 3a,
die kontinuierlich von der oberen Fläche des Gehäusesubstrats 1 zur
Seitenfläche
verlaufen, und die Seitenelektrodenteile 2c1 und 3c1 (siehe 8(c)) auszubilden. Zu diesem Zeitpunkt
ist es wichtig, dass die Seitenelektrodenteile 2c1 und 3c1 mit
den Seitenelektrodenteilen 2c2 und 3c2 verbunden
sind. Die hier verwendete beschichtete Platte umfasst im Gegensatz
zu der in 9A, 9B und 9C gezeigten
beschichteten Platte A zwei Nute und der Abstand d1 zwischen den
Nuten ist schmäler
als der Abstand d2 zwischen den Nuten G1 und G3 der beschichteten Platte
A. Dadurch werden die Seitenelektroden 2c und 3c mit
einer gestuften Form an der Seitenfläche des Gehäusesubstrats 1 gebildet.
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10 zeigt
eine zweite bevorzugte Ausführung
eines Gehäusesubstrats.
Die Komponenten des Gehäusesubstrats 1 der
zweiten bevorzugten Ausführung
sind die gleichen wie beim Gehäusesubstrat 1 der
ersten bevorzugten Ausführung
und erhalten daher die gleichen Bezugsziffern und demgemäss unterbleiben
Doppelbeschreibungen derselben.
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Bei
dem Gehäusesubstrat 1 der
zweiten bevorzugten Ausführung
sind die Breiten der Elektroden 2a und 3a der
oberen Fläche
größer als
bei den Elektroden 2b und 3b der unteren Fläche. Der
Abstand d1 zwischen den Elektroden 2a und 3a der oberen
Fläche
ist dagegen geringer als der Abstand d2 zwischen den Elektroden 2b und 3b der
unteren Fläche.
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Im
Fall der zweiten bevorzugten Ausführung ist der Absatzunterschied
zu den Elektroden 2a und 3a der oberen Fläche in dem
mit der Abdeckung verklebten Teil der oberen Fläche des Gehäusesubstrats 1 geringer
und somit werden die Abdichteigenschaften der Abdeckung 20 verbessert.
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11A, 11B, 11C und 11D zeigen
verschiedene Muster von Kondensatorelektroden, die in dem Gehäusesubstrat 1 vorgesehen sind.
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In
dieser bevorzugten Ausführung
ist mindestens ein Teil von jedem der Verlängerteilsteile 5a, 6a und 7a der
Kondensatorelektroden 5 und 6 an den Eingangs-
und Ausgangsseiten und die Kondensatorelektrode 7 an der
Erdungsseite an nur einer Seitenfläche des Gehäusesubstrats 1 freigelegt.
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Insbesondere
wenn die Verlängerungsteile 5a und 6a an
den Eingangs- und Ausgangsseiten an nur einer Seitenfläche des
Gehäusesubstrats 1 freigelegt
sind, wird zwischen den Verlängerungsteilen 5a und 6a und
den (nicht abgebildeten) Seitenelektroden 2c und 3c,
die zu verbinden sind, kein geschlossener Kreislauf vorgesehen und
es kommt zu keiner Streuinduktivität. Daher werden bei Verwendung
des elektronischen Elements als Oszillationselement die Eigenschaften
stark verbessert.
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Zwar
wird in den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungen ein aus dielektrischem
Material hergestelltes mehrschichtiges Substrat als Gehäusesubstrat
verwendet, doch kann das Gehäusesubstrat aus
Glas, Keramik, Glasepoxidharz oder einem wärmebeständigen Harz oder einem anderen
geeigneten Material gefertigt werden. Daher ist das Gehäusesubstrat
nicht auf ein Gehäusesubstrat
beschränkt,
in das Kondensatoren integriert sind.
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Die
in der vorliegenden Erfindung verwendeten elektronischen Elemente
sind nicht unbedingt piezoelektrische Elemente des sich in Dickenrichtung erstreckenden
Schwindungsmodus wie die der oben beschriebenen Ausführungen
und können piezoelektrische
Elemente des Dickenscherschwingungsmodus sein und können weiterhin
andere elektronische Elemente als piezoelektrische Elemente sein.
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Zwar
ist in den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungen der Abstand d1 zwischen
den Elektroden der oberen Fläche
kleiner als der Abstand d2 zwischen den Elektroden der unteren Fläche, doch
kann umgekehrt der Abstand d1 zwischen den Elektroden der oberen
Fläche
größer als
der Abstand d2 zwischen den Elektroden der unteren Fläche sein.