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CN203720529U - 扫描曝光装置 - Google Patents

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CN203720529U
CN203720529U CN201420091928.0U CN201420091928U CN203720529U CN 203720529 U CN203720529 U CN 203720529U CN 201420091928 U CN201420091928 U CN 201420091928U CN 203720529 U CN203720529 U CN 203720529U
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CN
China
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substrate
scanning
light irradiation
illuminance transducer
stage
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
CN201420091928.0U
Other languages
English (en)
Chinese (zh)
Inventor
桥本和重
新井敏成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
V Technology Co Ltd
Original Assignee
V Technology Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by V Technology Co Ltd filed Critical V Technology Co Ltd
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