JP2016180627A - 偏光光測定装置、および偏光光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる偏光光測定装置、および偏光光照射装置を提供する。【解決手段】偏光光測定装置１は、偏光光が入射する第１の偏光子と第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部３１、受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部３０、偏光光が第１の偏光子を介して光電変換部に入射する第１の偏光子の第１の位置、偏光光が直接光電変換部３０に入射する第１の偏光子の第２の位置との間に、第１の偏光子を移動させる移動部２２を具備。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、偏光光測定装置、および偏光光照射装置に関する。

液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向膜などの配向処理を行う際には、被照射体に所定の波長の偏光光を照射している。
この様な配向処理方法は、光配向法と呼ばれている。
広い範囲の配向処理を行うためには、長い偏光子が必要となるが、長い偏光子を製造することは困難である。
そのため、直線状に並べて設けられた複数の偏光子を用いて配向処理を行う様にしている。
ところが、複数の偏光子を用いると、取り付け誤差などにより、被照射体に照射される偏光光の偏光方向にばらつきが生じ得る。
そのため、検光子と呼ばれる偏光子を用いて、偏光光の偏光方向のばらつきを測定し、測定結果に基づいて偏光方向の調整を行う技術が提案されている。

ここで、光配向法を用いる場合には、被照射体に照射される偏光光の光量も測定することが好ましい。
偏光光の光量を測定する場合に、検光子が取り付けられていると、偏光光の光量を正確に測定することができない。
そのため、偏光光の偏光方向を測定する際には作業員が検出部に検光子を取り付け、偏光光の光量を測定する際には作業員が検出部から検光子を取り外すようにしている。
ところが、作業員が検光子の取り付けと取り外しを行えば、偏光光の偏光方向を測定する際に、取り付け誤差に起因する測定誤差が生じるおそれがある。

また、偏光方向を測定するために、線状体が延びる方向（透過軸の角度）が異なる複数種類の検光子を用いる技術が提案されている。
しかしながら、複数種類の検光子を用いると、偏光光測定装置の大型化や高コスト化を招くことになる。
また、偏光方向の測定精度は、検光子の種類の数に依存することになるので、精度の高い測定ができないおそれがある。
そこで、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる技術の開発が望まれていた。

特開２０１４−１０３８８号公報 特開２００７−１２７５６７号公報

本発明が解決しようとする課題は、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる偏光光測定装置、および偏光光照射装置を提供することである。

実施形態に係る偏光光測定装置は、偏光光が入射する第１の偏光子と；前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；を具備している。

本発明の実施形態によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる偏光光測定装置、および偏光光照射装置を提供することができる。

本実施の形態に係る偏光光測定装置１、および偏光光照射装置１００を例示するための模式斜視図である。 本実施の形態に係る偏光光測定装置１を例示するための模式断面図である。 偏光部１０２を例示するための模式平面図である。 偏光光照射装置１００による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定装置１による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について例示をするための模式斜視図である。

実施形態に係る発明は、偏光光が入射する第１の偏光子と；前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；を具備した偏光光測定装置である。
この偏光光測定装置によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる。

前記移動部は、前記偏光光の偏光方向を測定する際には、前記第１の位置に前記第１の偏光子を移動させるようにすることができる。
前記偏光光の光量を測定する際には、前記第２の位置に前記第１の偏光子を移動させるようにすることができる。
この様にすれば、作業員が第１の偏光子の取り付けと取り外しとを行う場合に比べて再現性を格段に向上させることができる。

また、前記第１の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含むものとすることができる。
この様にすれば、消光比を高めることができるので、偏光光の偏光方向をより精度よく測定することができる。

実施形態に係る発明は、所定の方向に延びた形態を有する光源と；前記光源が延びる方向に沿って並べて設けられ、前記光源から出射した光を偏光光とする複数の第２の偏光子と；前記複数の第２の偏光子の前記光源側とは反対側に設けられた上記の偏光光測定装置と；を具備した偏光光照射装置である。
この偏光光照射装置によれば、偏光光の偏光方向と偏光光の光量を精度よく測定することができる。
そのため、生産性を向上させることができる。

また、前記第２の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含むものとすることができる。
この様にすれば、消光比を高めることができるので、偏光光の偏光方向をより精度よく測定することができる。

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、各図中の矢印Ｘ、Ｙは互いに直交する二方向を表しており、例えば、矢印Ｘは被照射体２００の搬送方向としている。
また、被照射体２００は、例えば、液晶表示素子や視野角補償フィルムなどの配向膜を有するものとすることができる。
ただし、被照射体２００は、例示をしたものに限定されるわけではなく、光配向法を用いて配向処理を行うものであればよい。

図１は、本実施の形態に係る偏光光測定装置１、および偏光光照射装置１００を例示するための模式斜視図である。
図２は、本実施の形態に係る偏光光測定装置１を例示するための模式断面図である。
なお、図２は、図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
図３は、偏光部１０２を例示するための模式平面図である。

図１に示すように、本実施の形態に係る偏光光照射装置１００には、照射部１０１、偏光部１０２、搬送部１０３、偏光光測定装置１、および制御部１０４が設けられている。

まず、本実施の形態に係る偏光光測定装置１について例示する。
図１、図２に示すように、偏光光測定装置１には、偏光部２、検出部３、移動部４、および制御部５が設けられている。

偏光部２は、偏光子２０（第１の偏光子の一例に相当する）、保持部２１、および移動部２２を有する。
偏光子２０には、後述する偏光光Ｌｐが入射する。
偏光子２０は、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際に用いられる。偏光子２０は、検光子と呼ばれることもある。
偏光子２０は、偏光光Ｌｐの所定の方向に振動する成分のみを透過させて、偏光光Ｌｐｐとする。
偏光子２０は、ワイヤーグリッド型の偏光素子とすることができる。
偏光子２０は、例えば、石英などからなる基板と、基板上に互いに平行となるように設けられた複数の直線状の線状体を有するものとすることができる。
この場合、複数の線状体は、等間隔に設けられている。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長以下とすることができる。線状体のピッチ寸法は、入射する光の波長の１／３以下とすることが好ましい。

線状体の材料は、例えば、クロムやアルミニウム合金などの金属とすることができる。 なお、一般的には、線状体は導電性材料から形成されるが、線状体は絶縁性材料や半導体材料から形成することもできる。
例えば、線状体は、酸化チタンなどのチタンを含む材料や、シリコンを含む材料などから形成することができる。
後述するように、光源１０１ａからは、波長が紫外線の波長領域（例えば、２００ｎｍ以上、４００ｎｍ以下の波長領域）にある光が照射される。そのため、線状体をシリコンを含む材料から形成すれば、消光比を高めることができる。すなわち、線状体をシリコンを含む材料から形成すれば、検出精度を向上させることができる。

保持部２１は、本体部２１ａおよび保持爪２１ｂを有する。
本体部２１ａは、板状を呈している。本体部２１ａには、厚み方向を貫通する孔２１ａ１が設けられている。
保持爪２１ｂは、孔２１ａの周縁に設けられている。保持爪２１ｂは、偏光子２０の周縁を保持する。
偏光子２０は、孔２１ａを塞ぐようにして本体部２１ａの上に設けられ、保持爪２１ｂにより保持されている。
そのため、偏光子２０を透過した光は、孔２１ａ１を通って検出部３に入射することができる。

移動部２２は、保持部２１を保持し、所定の方向に移動させる。保持部２１には偏光子２０が設けられているので、保持部２１を移動させることで偏光子２０を移動させることができる。
移動部２２は、例えば、保持部２１を所定の方向に移動させるためのガイド、サーボモータやエアシリンダなどの駆動機器、保持部２１の位置を検出する位置検出器などを備えたものとすることができる。

移動部２２は、偏光光の光量を測定する際には、光電変換部３０の上に光の入射を阻害するものがないように、保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
また、移動部２２は、偏光光の偏光方向を測定する際には、光電変換部３０の上に偏光子２０が位置するように保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
この際、偏光子２０の中心が、光源１０１ａから光電変換部３０に向う軸Ｒの位置と重なるようにする。
すなわち、移動部２２は、偏光光Ｌｐが偏光子２０を介して光電変換部３０に入射する偏光子２０の第１の位置と、偏光光Ｌｐが直接光電変換部３０に入射する偏光子２０の第２の位置と、の間において、偏光子２０を移動させる。
この場合、移動部２２は、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際には、第１の位置に偏光子２０を移動させる。移動部２２は、偏光光Ｌｐの光量を測定する際には、第２の位置に偏光子２０を移動させる。

検出部３は、光電変換部３０および回転部３１を有する。
光電変換部３０は、保持部２１（偏光子２０）の下方（光源１０１ａ側とは反対側）に設けられている。
光電変換部３０は、受光した光の光量に応じた電気信号を出力する。光電変換部３０は、例えば、フォトダイオードなどの光電変換素子を備えたものとすることができる。

回転部３１は、光源１０１ａから光電変換部３０に向う軸Ｒを中心として、偏光子２０を回転方向に移動させる。偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する際には、偏光子２０の中心が軸Ｒの位置と重なっているので、回転部３１は、偏光子２０の中心軸回りに偏光子２０を回転移動させることができる。そのため、偏光子２０に設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。

回転部３１は、取付部３１ａおよび基部３１ｂを有する。
取付部３１ａの内部には、光電変換部３０が設けられている。取付部３１ａの一方の端面には、光電変換部３０の受光面が露出している。
また、取付部３１ａには、偏光部２が設けられている。例えば、取付部３１ａの中心部に光電変換部３０を設け、取付部３１ａの周縁部に移動部２２を設けることができる。

基部３１ｂの一方の端部には、取付部３１ａが設けられている。
基部３１ｂの他方の端部は、移動部４０に取り付けられている。
基部３１ｂは、軸Ｒを中心として、取付部３１ａを回転方向に移動させる。
基部３１ｂは、例えば、回転テーブル、サーボモータなどの駆動機器、エンコーダなどの位置検出器などを備えたものとすることができる。

移動部４は、偏光部２および検出部３を移動させる。
移動部４は、第１移動部４０および第２移動部４１を有する。
第１移動部４０には、取付部３１ａが取り付けられている。そのため、第１移動部４０は、Ｙ方向に偏光部２および検出部３を移動させることができる。
第２移動部４１には、第１移動部４０が取り付けられている。そのため、第２移動部４１は、Ｘ方向に偏光部２および検出部３を移動させることができる。
第１移動部４０および第２移動部４１は、例えば、位置検出器を備えた単軸ロボットなどとすることができる。
ただし、移動部４の構成は、例示をしたものに限定されるわけではない。移動部４は、所定の平面内（例えば、水平面内）において、偏光部２および検出部３を移動させることができ、移動させた偏光部２および検出部３の位置を求めることができるものであればよい。

制御部５は、偏光光測定装置１に設けられた各要素の動作を制御する。
例えば、制御部５は、移動部４（第１移動部４０および第２移動部４１）を制御して、偏光部２および検出部３を所望の位置に移動させる。
制御部５は、基部３１ｂを制御して、偏光子２０の中心軸回りに所定の角度だけ偏光子２０を回転移動させる。
制御部５は、移動部２２を制御して、保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
また、制御部５は、制御部１０４からの指令に基づいて、偏光光Ｌｐの測定を行う。
例えば、制御部５は、光電変換部３０からの出力と、基部３１ｂからの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。
また、制御部５は、光電変換部３０からの出力に基づいて、偏光光Ｌｐの光量を演算する。
演算された偏光光Ｌｐの偏光方向と偏光光Ｌｐの光量は、図示しない表示装置などに出力することもできるし、制御部１０４に向けて出力することもできる。
なお、偏光光Ｌｐの測定に関する詳細は後述する。
また、制御部５は、後述する制御部１０４と一体的に設けられていてもよいし、制御部１０４が制御部５の機能を併せ持つようにしてもよい。

次に、図１に戻って、本実施の形態に係る偏光光照射装置１００について例示をする。 照射部１０１は、光源１０１ａおよびリフレクタ１０１ｂを有する。
光源１０１ａは、波長が紫外線の波長領域にある光を照射する。
光源１０１ａから照射された光は、さまざまな振動方向成分を有するいわゆる非偏光の光である。
光源１０１ａは、例えば、２５６ｎｍ付近の波長の紫外線を照射するロングアーク型の高圧水銀ランプとすることができる。
光源１０１ａは、例えば、ロングアーク型のメタルハライドランプや蛍光ランプなど線状光源としてもよい。
光源１０１ａは、例えば、紫外線を出射する発光素子（例えば、発光ダイオード、レーザーダイオード、有機発光ダイオードなど）や、ショートアーク水銀ランプのような点状の光源を直線状に複数配置したものとすることもできる。
光源１０１ａは、所定の方向に直線状に延びた形態を有するものとすることができる。
光源１０１ａは、被照射体２００を搬送する方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に延びるように設置することができる。

リフレクタ１０１ｂは、一方が開口した樋形状を有している。
リフレクタ１０１ｂの断面形状は、楕円形の一部とすることができる。
リフレクタ１０１ｂの内面は、反射鏡となっている。
リフレクタ１０１ｂの内部には、光源１０１ａが設けられている。
光源１０１ａは、リフレクタ１０１ｂの長手方向に沿うように配置されている。
リフレクタ１０１ｂは、光源１０１ａからリフレクタ１０１ｂの内面に向かう光を反射させて、偏光部１０２に入射させる。

図３に示すように、偏光部１０２は、偏光子１０２ａ（第２の偏光子の一例に相当する）、保持部材１０２ｂ、および保持部材１０２ｃを有する。
偏光子１０２ａは、光源１０１ａから照射された光を、特定の偏光方向を持つ偏光光Ｌｐにする。

偏光子１０２ａは、例えば、前述した偏光子２０と同様の構成を有するものとすることができる。

保持部材１０２ｂは、枠状を呈し、偏光子１０２ａの周縁を保持する。
偏光子１０２ａの基板は、石英などから形成されるので、偏光子１０２ａの端部などが欠けやすくなる。そのため、保持部材１０２ｂは、偏光子１０２ａを保護するために設けられている。
なお、偏光子１０２ａの欠損などが生じにくい場合には、保持部材１０２ｂを設ける必要はない。

保持部材１０２ｂの一方の端面の中央部分には、半円状の凹部１０２ｂ１が設けられている。
保持部材１０２ｂの凹部１０２ｂ１が設けられた端面と対峙する端面には、矩形状の凹部１０２ｂ２が設けられている。凹部１０２ｂ２は、中央部分からずれた位置（例えば、保持部材１０２ｂの角部の近傍）に設けられている。
長さの長い偏光子１０２ａを製造するのは困難である。そのため、偏光子１０２ａおよび保持部材１０２ｂは、光源１０１ａが延びる方向（Ｙ方向）に沿って並べて複数組設けられている。
なお、複数の保持部材１０２ｂ同士の間には、所定の隙間が設けられ、後述する傾き調整（偏光方向のばらつき調整）ができるようになっている。

保持部材１０２ｃは、枠部１０２ｃ１の内部に複数の保持部材１０２ｂを保持する。
保持部材１０２ｃは、枠部１０２ｃ１、支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４を有する。
支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４は、複数の保持部材１０２ｂのそれぞれに対して１組ずつ設けられている。
枠部１０２ｃ１は、枠状を呈している。枠部１０２ｃ１は、光源１０１ａが延びる方向（Ｙ方向）に延びている。

支持部１０２ｃ２は、円柱状を呈し、凹部１０２ｂ１に接触している。
弾性部１０２ｃ３は、弾性力により、保持部材１０２ｂを支持部１０２ｃ２に押し付ける。弾性部１０２ｃ３は、基部１０２ｃ３ａおよびコイルバネ１０２ｃ３ｂを有する。
基部１０２ｃ３ａは、保持部材１０２ｃに設けられている。基部１０２ｃ３ａは、凹部１０２ｂ２と対峙する位置に設けられている。
コイルバネ１０２ｃ３ｂは、基部１０２ｃ３ａと凹部１０２ｂ１の間に設けられている。

調整部１０２ｃ４は、弾性部１０２ｃ３と離隔させて設けられている。
調整部１０２ｃ４は、例えば、保持部材１０２ｂの中心線１０２ｂ３に対して弾性部１０２ｃ３と線対称となる位置に設けることができる。
調整部１０２ｃ４は、基部１０２ｃ４ａおよび突出部１０２ｃ４ｂを有する。
基部１０２ｃ４ａは、保持部材１０２ｃに設けられている。

突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａに設けられている。突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａからの突出している。突出部１０２ｃ４ｂの先端は、保持部材１０２ｂと接触している。突出部１０２ｃ４ｂは、基部１０２ｃ４ａからの突出長さＤを変化させることができる。
突出部１０２ｃ４ｂは、例えば、段階的に突出する機構やねじ機構を有し、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させるものとすることができる。
この場合、ねじ機構を有する突出部１０２ｃ４ｂとすれば、無段階の調整が可能となるので、段階的に突出するものよりも微調整が容易となる。
なお、作業員が突出部１０２ｃ４ｂを操作して突出長さＤを変化させてもよいし、突出部１０２ｃ４ｂに設けられた駆動機構により突出部１０２ｃ４ｂを駆動して突出長さＤを変化させてもよい。

１組の支持部１０２ｃ２、弾性部１０２ｃ３、および調整部１０２ｃ４により、１つの保持部材１０２ｂが３点支持されている。
図３に示すように、突出部１０２ｃ４ｂの突出長さＤを変化させれば、支持部１０２ｃ２を支点として、保持部材１０２ｂ、ひいては偏光子１０２ａを回転方向に移動させることができる。偏光子１０２ａを回転方向に移動させれば、偏光子１０２ａに設けられた線状体が延びる方向を変化させることができる。
そのため、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて突出長さＤを変化させることで、複数の偏光子１０２ａごとに偏光方向のばらつき調整を行うことができる。

搬送部１０３は、光源１０１ａが延びる方向と直交する方向（Ｘ方向）に被照射体２００を搬送する。
搬送部１０３は、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられる側の下方を被照射体２００が通過するように被照射体２００を搬送する。
搬送部１０３は、例えば、被照射体２００を保持する保持装置と、単軸ロボットなどの搬送装置などを備えたものとすることができる。

制御部１０４は、照射部１０１および搬送部１０３の動作を制御する。
例えば、制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。
制御部１０４は、搬送部１０３を制御して、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられる側の下方を被照射体２００が通過するように、搬送部１０３に被照射体２００を搬送させる。
また、制御部１０４は、偏光光測定装置１による測定結果に基づいて、突出部１０２ｃ４ｂに設けられた駆動機構を制御して、複数の偏光子１０２ａごとに偏光方向のばらつき調整を行うこともできる。

次に、偏光光測定装置１の作用、および偏光光照射装置１００の作用について例示する。
図４は、偏光光照射装置１００による偏光光Ｌｐの生成と、偏光光測定装置１による偏光光Ｌｐの偏光方向の測定について例示をするための模式斜視図である。
制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。光源１０１ａから出射した光Ｌは、直接またはリフレクタ１０１ｂの内面で反射して、リフレクタ１０１ｂの開口から出射する。リフレクタ１０１ｂの開口から出射した光Ｌは、様々な方向、例えば、Ｂ方向やＣ方向に振動する成分を含んでいる。

光Ｌは、偏光子１０２ａに入射し、偏光子１０２ａを透過することで偏光光Ｌｐとなる。
前述したように、偏光子１０２ａには、所定の方向に延びる複数の線状体が設けられている。そのため、偏光子１０２ａは、光Ｌの成分のうち、線状体が延びる方向と直交する方向に振動する成分のみを透過させる。そのため、光Ｌは、偏光子１０２ａを透過すると、所定の方向（例えば、Ｃ方向）に振動する成分のみを持つ偏光光Ｌｐとなる。
以上の様にして、偏光光照射装置１００は、偏光光Ｌｐを生成する。
被照射体２００の配向処理を行う場合には、偏光光Ｌｐは被照射体２００に照射される。しかしながら、被照射体２００が配置されていると偏光光Ｌｐの偏光方向を測定することができないので、偏光光Ｌｐの偏光方向を測定する場合には、被照射体２００が配置されず、偏光光Ｌｐは偏光光測定装置１に設けられた偏光子２０に入射する。

制御部５は、移動部２２を制御して、光電変換部３０の上に偏光子２０が位置するように保持部２１（偏光子２０）を移動させる。
偏光光Ｌｐは、偏光子２０を透過することで偏光光Ｌｐｐとなる。
偏光光Ｌｐｐは、光電変換部３０に入射し、受光した光の光量に応じた電気信号が出力される。
また、制御部５は、回転部３１（基部３１ｂ）を制御して、偏光子２０を回転方向に移動させて、偏光子２０に設けられた線状体が延びる方向を変化させる。

線状体が延びる方向が変化すれば、偏光光Ｌｐの偏光方向に応じて偏光光Ｌｐｐの照度が変化する。例えば、回転角度θが、０°、−２０°、９０°では、偏光光Ｌｐｐの照度が異なるものとなり、光電変換部３０から出力される電気信号の値が異なるものとなる。 そのため、光電変換部３０から出力された電気信号の値が最大または最小となった時の回転角度θが分かれば、予め求められた回転角度θと偏光光Ｌｐの偏光方向との関係から偏光光Ｌｐの偏光方向を求めることができる。

例えば、回転角度θが９０°の場合をＸ方向、回転角度θが０°の場合をＹ方向とし、回転角度θが０°の場合に光電変換部３０から出力された電気信号の値が最大となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＹ方向となる。
なお、回転角度θが０°の場合に光電変換部３０から出力された電気信号の値が最小となった場合には、偏光光Ｌｐの偏光方向はＸ方向となる。

偏光光Ｌｐの偏光方向の測定においては、光電変換部３０から出力される電気信号の最大値または最小値の前後を測定するだけで十分である。
以上の様に、制御部５は、光電変換部３０からの出力と、回転部３１（基部３１ｂ）からの回転位置情報に基づいて、偏光光Ｌｐの偏光方向を演算する。

偏光光Ｌｐの偏光方向の測定は、複数の偏光子１０２ａが並ぶ方向（Ｙ方向）に沿って、任意の複数位置において行う。
制御部５は、移動部４を制御して、複数の偏光子１０２ａが並ぶ方向における任意の位置に偏光部２および検出部３を移動させ、前述した偏光光Ｌｐの偏光方向の測定を行う。 なお、移動範囲は、少なくとも照射部１０１の有効照射範囲とすることが好ましい。
複数位置において偏光光Ｌｐの偏光方向を測定すれば、複数位置における偏光光Ｌｐの偏光方向、すなわち、偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきを求めることができる。

偏光光照射装置１００により生成された偏光光Ｌｐの光量を測定する場合には、制御部５は、移動部２２を制御して、保持部２１（偏光子２０）を移動させて、偏光光Ｌｐを光電変換部３０に直接入射させる。
光電変換部３０は、受光した光の光量に応じた電気信号を出力するので、出力された電気信号の値に基づいて偏光光Ｌｐの光量を求めることができる。
すなわち、制御部５は、光電変換部３０からの出力に基づいて、偏光光の光量を演算する。

求められた偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきや、偏光光Ｌｐの光量は、偏光光Ｌｐの測定結果として、制御部５から制御部１０４に送られる。

偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲を超えた場合には、偏光方向のばらつきが大きい位置の直上ないしはその近辺に位置する偏光子１０２ａの傾きを調整する。
この場合、制御部５または制御部１０４から表示装置などに出力された情報に基づいて、作業員が突出部１０２ｃ４ｂを操作して偏光子１０２ａの傾きを調整することができる。
また、制御部１０４が突出部１０２ｃ４ｂを駆動する駆動機構を制御して偏光子１０２ａの傾きを調整することもできる。

偏光子１０２ａの傾き調整の後には、複数の位置において、偏光光Ｌｐｐの偏光方向を再度測定する。
そして、偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲内となるまで、前述した手順が繰り返される。

偏光光Ｌｐの偏光方向のばらつきが所定の範囲内となった場合には、被照射体２００の配向処理を行う。
被照射体２００の配向処理を行う場合には、制御部５は、移動部４を制御して、被照射体２００の搬送領域外に偏光部２および検出部３を退避させる。
この様にすれば、被照射体２００と、偏光部２および検出部３との干渉を回避することができる。

次に、制御部１０４は、光源１０１ａを制御して、光源１０１ａから波長が紫外線の波長領域にある光Ｌを出射させる。
また、制御部１０４は、搬送部１０３を制御して、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられた側の下方を被照射体２００が通過するようにする。
光源１０１ａから出射した光Ｌは、偏光子１０２ａに入射し、偏光子１０２ａを透過することで偏光光Ｌｐとなる。
偏光光Ｌｐは、被照射体２００に入射し、偏光光Ｌｐにより配向処理が施される。
また、光源１０１ａの偏光部１０２が設けられた側の下方を被照射体２００が通過することで、被照射体２００の全域に配向処理が施される。

本実施の形態によれば、偏光光Ｌｐの偏光方向の測定と、偏光光Ｌｐの光量の測定とを切り換える際に、移動部２２を用いて偏光子２０を移動させるので、作業員が偏光子２０の取り付けと取り外しとを行う場合に比べて再現性を格段に向上させることができる。 そのため、偏光光Ｌｐの偏光方向と偏光光Ｌｐの光量を精度よく測定することができる。
また、偏光光照射装置１００に偏光光測定装置１を内蔵することも可能であるため、既存の偏光光照射装置に偏光光測定装置１を取り付けることもできる。

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

１ 偏光光測定装置、２ 偏光部、３ 検出部、４ 移動部、５ 制御部、２０ 偏光子、２１ 保持部、２２ 移動部、３０ 光電変換部、３１ 回転部、３１ａ 取付部、３１ｂ 基部、４０ 第１移動部、４１ 第２移動部、１００ 偏光光照射装置、１０１ 照射部、１０１ａ 光源、１０１ｂ リフレクタ、１０２ 偏光部、１０２ａ 偏光子、１０２ｂ 保持部材、１０２ｃ 保持部材、１０２ｃ４ 調整部、１０２ｃ４ｂ 突出部、１０３ 搬送部、１０４ 制御部、２００ 被照射体、Ｌ 光、Ｌｐ 偏光光、Ｌｐｐ 偏光光

Claims (5)

1. 偏光光が入射する第１の偏光子と；
   前記第１の偏光子を回転方向に移動させる回転部と；
   受光した光の光量に応じた電気信号を出力する光電変換部と；
   前記偏光光が前記第１の偏光子を介して前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第１の位置と、前記偏光光が直接前記光電変換部に入射する前記第１の偏光子の第２の位置と、の間において、前記第１の偏光子を移動させる移動部と；
   を具備した偏光光測定装置。
2. 前記移動部は、前記偏光光の偏光方向を測定する際には、前記第１の位置に前記第１の偏光子を移動させ、
   前記偏光光の光量を測定する際には、前記第２の位置に前記第１の偏光子を移動させる請求項１記載の偏光光測定装置。
3. 前記第１の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含む請求項１または２に記載の偏光光測定装置。
4. 所定の方向に延びた形態を有する光源と；
   前記光源が延びる方向に沿って並べて設けられ、前記光源から出射した光を偏光光とする複数の第２の偏光子と；
   前記複数の第２の偏光子の前記光源側とは反対側に設けられた請求項１〜３のいずれか１つに記載の偏光光測定装置と；
   を具備した偏光光照射装置。
5. 前記第２の偏光子に設けられた複数の線状体は、シリコンを含む請求項４記載の偏光光照射装置。