CN109836035A - 基板搬出装置 - Google Patents

Abstract

提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。基板搬出装置(1)具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割的基板；驱动部(400)，其使基板载置部(2)在水平位置与从水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部(300)，其按照每个分割单元搬出基板(F)。另外，基板搬出装置(1)的特征在于，其具有控制部(40)，控制部(40)在通过搬出部(300)搬出基板(F)的全部分割单元后，通过驱动部(400)使基板载置部在倾斜位置倾斜，使基板(F)的端材(R)从基板载置部(2)落下。

Description

基板搬出装置

技术领域

本发明涉及用于搬出基板的基板搬出装置。

背景技术

玻璃基板等脆性材料基板根据最终产品的形态被切断成规定数量的分割单元。此时，与分割单元不同，还产生端材。在以下的专利文献1中记载了如下结构：在切断端材时预先利用卡盘构件捆住端材，在端材切断后，利用卡盘构件向弹射器的开口部移送端材并将其投入弹射器中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-250871号公报

发明内容

发明要解决的课题

在从基板生成分割单元的系统中，能够使用将被分割成各个分割单元的状态的基板暂时载置在基板载置部上、然后以规定数量向下游侧的装置搬出分割单元的装置。这里，在载置于基板载置部上的基板中，上游侧的分割工序中产生的端材有时未被去除而残留。因此，在全部分割单元被搬运到下游侧的装置的状态下，这些端材可能分散存在于基板载置部上。需要在下一个基板搬入前去除这种端材。在专利文献1所公开的结构中，在基板的分断动作时去除端材，因此，如上所述，无法直接应用于分割状态的基板暂时载置在基板载置部上的结构的装置。

鉴于该课题，本发明的目的在于，提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。

用于解决课题的手段

本发明的方式涉及基板搬出装置。该方式的基板搬出装置具有：基板载置部，其载置有基板；驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及搬出部，其搬出所述基板。

在从基板载置部搬出基板后，新的基板被搬入基板载置部，但是，此时，需要成为在基板载置部上未放置任何内容的状态。根据本方式的基板搬出装置，如果通过驱动部使基板载置部在水平位置与倾斜位置之间移动，则能够使残留在基板载置部上的、例如切断基板时产生的端材沿着倾斜的基板载置部上落下。这样，能够去除残留在基板载置部上的内容。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。

根据该结构，在搬出基板后，通过使基板载置部倾斜，使残留在基板载置部上的非搬出对象落下，能够从基板载置部去除。“非搬出对象”例如意味着在将基板切断成多个部分时产生的端材。由此，能够高效地从基板载置部去除非搬出对象即端材(以下，“非搬出对象”称为“端材”。)。另外，如果在基板载置部的下方设置回收用的容器等，则还能够高效地回收端材。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，所述控制部以在使所述端材从所述基板载置部落下时对所述非搬出对象的下表面赋予正压的方式对压力赋予部进行控制。

这样，通过对端材的下表面赋予正压，端材容易从基板载置部分离，因此，当使基板载置部倾斜时，端材更加容易落下。由此，更加可靠且顺畅地使端材从基板载置部落下，能够高效地去除。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部在水平方向上被分割成多个部分，所述驱动部以使所述多个部分分别在所述水平位置与所述倾斜位置之间移动的方式进行驱动。

为了从基板载置部去除端材，需要以端材能够可靠落下的程度使基板载置部倾斜。因此，必须在基板载置部的下方确保用于接纳基板载置部的倾斜的空间。关于这点，在本方式的基板搬出装置中，基板载置部被分割成多个部分，因此，与使单一的基板载置部倾斜的情况相比，能够减小使各部分以规定角度倾斜所需要的下方的空间。由此，能够抑制基板搬出装置的大型化、特别是高度方向上的大型化。另外，能够使各部分大幅转动，因此，顺畅地使位于各部分上的端材落下，能够高效地去除。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部在所述水平方向上被分割成两个部分。

根据该结构，适当确保基板载置部的下方的空间，并且能够使两个部分大幅转动，因此，更加顺畅地使非搬出对象从基板载置部落下，能够高效地去除。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述驱动部以使所述两个部分的边界侧的端部向下方移动的方式使所述两个部分倾斜，使所述两个部分定位在所述倾斜位置。

由此，非搬出对象在从两个部分分别处于水平状态时的各部分的边界位置附近到两个部分在倾斜位置倾斜时的各个部分的端部的位置附近的范围内落下。由此，通过在该范围内设置用于回收端材的容器，使端材从两个部分落下，能够落下到容器中。由此，容易将端材从各个部分集中回收到容器中，因此，端材的回收效率提高。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述驱动部具有驱动机构，该驱动机构将所述基板载置部支承为能够向铅垂方向转动，并且，使所述基板载置部在所述水平位置与所述倾斜位置之间转动。

根据该结构，基板载置部顺畅地从水平位置向倾斜位置移动。由此，端材能够可靠地从基板载置部落下并去除。

发明效果

如上所述，根据本发明，能够提供能够高效地从基板载置部去除基板的端材的基板搬出装置。

本发明的效果或意义能够通过以下所示的实施方式的说明而更加清楚。但是，以下所示的实施方式只不过是实施本发明时的一个例示，本发明完全不受限于以下实施方式所记载的内容。

附图说明

图1是示出实施方式的基板搬出装置的外观结构的立体图。

图2是从图1的基板搬出装置中省略了基板、压力赋予部和搬出装置的立体图。

图3是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材移送部的结构的立体图。

图4是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材引导部的结构的分解立体图。

图5是用于说明实施方式的基板搬出装置的驱动部的结构的分解立体图。

图6是示出实施方式的基板搬出装置的结构的框图。

图7是示出实施方式的基板搬出装置的动作的流程图。

图8(a)～(d)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的主视图。

图9(a)和(b)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的主视图。

图10(a)～(c)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的侧视图。

图11是示出实施方式的变更例的基板搬出装置的动作的流程图。

符号说明

1…基板搬出装置

2…基板载置部

2a、2b…基板载置部

3…片材

4…压力赋予部

300…搬出部

400…驱动部

410…驱动机构

F…基板

R…端材

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了简便而附记了相互正交的X轴、Y轴和Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是铅垂方向。Z轴正侧是上方，Z轴负侧是下方。

<实施方式>

玻璃基板和陶瓷基板等脆性材料基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂)基板和聚酰亚胺树脂基板等树脂基板等(以下简称为“基板”。)经由各种处理成为最终产品。作为这种处理，例如存在将基板切断成规定数量的分割单元的处理、去除切断基板时产生的端材的处理、清洗基板的表面的处理等。基板按照每个处理被搬运到规定的工作台，当处理结束后，为了进行下一个处理而被搬出到其他工作台。特别地，本实施方式的基板搬出装置1是用于多次划分并搬出至少在规定方向上被分割成多个分割单元的状态的基板F的装置。在本实施方式中，规定方向是X轴的正方向，与分割单元的搬出方向一致。

另外，在本实施方式的基板搬出装置1中搬入包含切断处理中产生的端材R的状态的基板F。这种端材R包含沿着基板F的外周产生的端材、分割基板彼此之间产生的端材。这些端材R是不应该搬出的对象，即，是非搬出对象。本实施方式的基板搬出装置1构成为从基板载置部2去除端材R。

图1是示出实施方式的基板搬出装置1的外观结构的立体图。如图1所示，基板搬出装置1具有基板载置部2、片材3、压力赋予部4、架台8、片材移送部100、片材引导部200、搬出部300、驱动部400。图2是从图1的基板搬出装置1中省略了基板载置部2、压力赋予部4和搬出部300的立体图。

基板载置部2载置有至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板F。这里，规定方向是基板F的搬出方向。另外，基板F也可以在规定方向上进行分割，进而相对于规定方向垂直进行分割。这样分割后的基板F的分割单元成为格状。

基板载置部2例如是具有用于载置作为搬出对象的基板F的平坦面的部件，包含桌子和传送带等。在图1中，相对于基板载置部2从X轴方向的负侧配设有片材引导部200和片材移送部100。这里，图1所示的基板搬出装置1示出要搬运基板F之前的状态，省略了基板F。图1所示的基板搬出装置1的状态是“初始状态”。该初始状态还包含基板F被搬入基板搬出装置1中且载置在基板载置部2上、要搬出基板F的分割单元之前的基板搬出装置1的状态。另外，在基板载置部2上形成有多个细孔，后面说明的压力赋予部4的压力通过该细孔输送到基板F。

另外，在本实施方式中，基板载置部2在水平方向上被分割成两个部分，位于Y轴的正侧和负侧的各部分分别是基板载置部2a和2b。基板载置部2a和2b的面积和形状相同。

在基板中，例如存在聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、PET等聚酯树脂、聚乙烯或聚丙烯等聚烯烃树脂、聚苯乙烯或聚氯乙烯等乙烯聚合物树脂等树脂基板等有机质基板(还包含薄膜和片材。以下相同)、玻璃基板或陶瓷基板等脆性材料基板等无机质基板，但是，本实施方式的基板搬出装置1的搬出对象的基板F是树脂基板。树脂基板可以层叠不同的基板，例如，可以设为从下层起依次层叠了PET、聚酰亚胺树脂、PET的基板。

片材3覆盖基板F的上表面。片材3的材质没有特别限定，但是，优选是高分子树脂，具体而言，优选是聚乙烯、聚苯乙烯、PET等。

压力赋予部4包含空压源，设置在基板载置部2的下表面，对基板F的下表面赋予压力。在压力赋予部4对基板F赋予压力时，通过形成在基板载置部2的下表面上的多个微小的孔对基板F的下表面赋予压力。在压力赋予部4对基板F赋予负压时，基板F吸附在基板载置部2上。因此，不容易从基板载置部2分离基板F。由此，抑制了基板F的分割单元的位置偏移。与此相对，在压力赋予部4不对基板F赋予正压的情况下以及赋予正压的情况下，解除基板载置部2相对于基板F的吸附。因此，能够容易地从基板载置部2分离基板F。

架台8设置在基板载置部2的下方，支承驱动部400。架台8在内部形成有空间8a，在其上表面形成有开口部8b。在图1和图2中，架台8的底面是无底的，但是也可以是有底的。

片材移送部100向载置在基板载置部2上的基板F的上表面移送片材3。片材引导部200在向片材移送部100送出片材3时以及回收所送出的片材3时，顺畅地移送片材3。对片材移送部100和片材引导部200进行追加详细说明。

搬出部300搬出未被片材3覆盖的基板F的分割单元。如图1所示，在基板搬出装置1的初始状态下，搬出部300配设在X轴方向的正侧，即相对于基板载置部2配设在上方。另外，基板搬出装置1在基板载置部2的上方，在X轴方向上配设有两个轨道301和302。搬出部300与轨道301和302卡合，构成为能够沿着该轨道301和302在X轴方向上滑动移动。

搬出部300具有能够吸附在基板F上的吸附部310和能够伸缩的管构件320。搬出部300向X轴的负方向移动，以使得吸附部310位于搬出对象的分割单元的正上方。然后，搬出部300移动到规定的位置后，使管构件320延伸，使吸附部310吸附搬出对象的分割单元。搬出部300使管构件320收缩而抬起分割单元。吸附部310可以在Y轴方向上被分割成多个吸附部，各吸附部也可以吸附在Y轴方向上被分割成多个的分割单元。搬出部300在吸附了搬出对象的分割单元的状态下向X轴的正方向移动，在规定的场所载置分割单元。这样，搬出部300按照每个分割单元搬出基板F。

驱动部400使基板载置部2倾斜。驱动部400具有多个相同的驱动机构410，在本实施方式中，驱动部400在基板载置部2a和2b上分别具有4个驱动机构410。对驱动部400也进行追加详细说明。

图3是用于说明实施方式的基板搬出装置1的片材移送部100的结构的立体图。图3对应于图1和图2，是示出片材移送部100的初始状态的立体图。

如图1～图3所示，片材移送部100具有搬运辊110、搬运部120、引导辊130。搬运辊110以在基板F的上表面侧不与基板F接触的方式转动并向X轴的正方向和负方向移动。搬运辊110的Y轴方向的长度比基板载置部2的Y轴方向的长度长。

在搬运辊110中，在Y轴方向的正侧设置有搬运托架111a，在Y轴方向的负侧设置有搬运托架111b。在搬运托架111a上从X轴方向的负侧起依次设置有带轮112a、113a和114a。虽然没有图示，但是，搬运托架111b也同样从X轴方向的负侧起依次设置有带轮112b、113b和114b。另外，在搬运托架111a和111b的下部分别设置有搬运滑动件125a和125b。搬运滑动件125a和125b在后面说明。

搬运部120使搬运辊110移动到基板F的上表面侧。搬运部120在Y轴方向的正侧具有搬运带121a、带轮122a、带轮123a、搬运轨道124a、搬运滑动件125a。

搬运带121a沿着基板载置部2的X轴方向配设，挂在带轮122a和带轮123a上。带轮122a相对于基板载置部2配设在X轴方向的负侧，带轮123a相对于基板载置部2配设在X轴方向的正侧。带轮122a和带轮123a分别固定在固定板5a和6a上，固定板5a和6a固定在基板搬出装置1的框架7a上。另外，搬运带121a以从X轴的正方向起依次与搬运托架111a的带轮112a的下端面、带轮113a的上端面、带轮114a的下端面抵接的方式被挂住。

在搬运带121a的下方，沿着搬运带121a配设有固定在框架7a上的搬运轨道124a。搬运滑动件125a设置在搬运托架111a的下部，以能够在搬运轨道124a上滑动移动的方式安装在搬运轨道124a上。

关于上述结构，如图3所示，Y轴方向的负侧也同样。即，搬运部120在Y轴方向的负侧具有搬运带121b、带轮122b、带轮123b、搬运轨道124b，带轮122b和带轮123b分别固定在固定板5b和6b上，固定板5b和6b固定在基板搬出装置1的框架7b上。搬运滑动件125b设置在搬运托架111b的下部，以能够在搬运轨道124b上滑动移动的方式安装在搬运轨道124b上。另外，带轮122a和带轮122b通过轴126连结。

搬运滑动件125a在从未图示的驱动部赋予驱动力后，在搬运轨道124a上滑动移动。另一方面，搬运滑动件125b也与搬运滑动件125a同样在搬运轨道124b上滑动移动。如上所述，在搬运托架111a的带轮112a、113a和114a上挂着搬运带121a，在搬运托架111b的带轮112b、113b和114b上挂着搬运带121b，因此，搬运辊110能够稳定地在X轴方向上移动。另外，带轮122a和122b通过轴126连结，带轮122a和122b的旋转量一致。由此，搬运滑动件125a和125b的移动速度一致。

图4是用于说明实施方式的基板搬出装置1的片材引导部200的结构的分解立体图。图4对应于图1和图2，是示出片材引导部200的初始状态的立体图。

如图4所示，片材引导部200具有锤210和220、轴260。另外，片材引导部200在Y轴方向的正侧作为引导构件具有引导板230a、引导轨道240a、引导滑动件250a。

锤210在通过片材移送部100移送片材3的期间内对片材3赋予张力。锤210是轴，在Y轴方向的端部210a和210b分别设置有轴211a和211b。在轴211a和211b上还分别设置有突部212a和212b。锤220是与锤210相同的构件，在Y轴方向的端部220a和220b分别设置有轴221a和221b，在轴221a和221b上还分别设置有突部222a和222b。

在引导板230a上，在Z轴方向上形成有相同尺寸的槽231a和232a。槽231a的宽度设定成比锤210的轴部的直径和突部212a的直径小，比轴211a的直径大。在槽231a中嵌入锤210的轴211a，在轴211a的前端安装有突部212a。同样，在槽232a中嵌入锤220的轴221a，在轴221a的前端安装有突部222a。由此，锤210和220能够稳定地上下移动而不从片材3露出。

在引导板230a上沿着槽231a和232a设置有引导轨道240a。在引导轨道240a上安装有能够滑动移动的引导滑动件250a，引导滑动件250a与锤210的突部212a和锤220的突部222a卡合。

基板搬出装置1在Y轴方向的负侧具有与引导板230a成对的引导板230b。引导板230b与引导板230a同样在Z轴方向上形成有相同尺寸的槽231b和232b。在槽231b中嵌入锤210的轴211b，在轴211b的前端安装有突部212b。同样，在槽232b中嵌入锤220的轴221b，在轴221b的前端安装有突部222b。

另外，在引导板230b上沿着槽231b和232b设置有未图示的引导轨道240b。在该引导轨道240b上安装有能够滑动移动的引导滑动件250b。引导滑动件250b与锤210的突部212b和锤220的突部222b卡合。

片材3如下所述放置在基板搬出装置1中。片材3在沿着Y轴方向延伸的端缘部3a通过未图示的片材固定部进行固定。片材3从端缘部3a起向下方延伸，沿着锤210的外周面折返而向上方延伸，沿着轴260的外周面折返而向下方延伸。然后，片材3沿着锤220的外周面折返而向上方延伸，沿着引导辊130的外周面折返。片材3从此处起向X轴的正方向延伸，沿着搬运辊110的外周面折返而向X轴的负方向延伸，片材3的端缘部3b的角部被片材夹持部270a和270b夹持。如图1所示，片材夹持部270a和270b分别固定在框架7a和7b上。

当搬运辊110向X轴的正方向移动时，引导滑动件250a和250b沿着引导轨道240a和240b向上方滑动移动。在该期间内，片材3与锤210和220的外周面滑动接触并向上方移动。由此，片材3被送出到基板F的上表面侧，通过片材3的自重覆盖基板F的上表面。锤210和220的张力是跟与片材3和搬运辊110等之间的摩擦力以及片材3的覆盖基板F的部分的自重等平衡的程度的大小。

在使搬运辊110向X轴的负方向移动的情况下，引导滑动件250a和250b在引导轨道240a和240b上向下方滑动移动。在该期间内，片材3与锤210和220滑动接触并向下方移动。由此，送出到基板F的上表面的片材3返回原来的状态即折叠的状态。

图5是用于说明本实施方式的基板搬出装置1的驱动部400的结构的分解立体图。如图5所示，驱动部400具有驱动机构410、空压源420。

图6示出空压源420。驱动机构410具有缸体411、杆412、支承构件413、旋转轴414。在本实施方式的基板搬出装置1的驱动部400中，在Y轴的正侧和负侧、即基板载置部2a和2b上分别配设有4个驱动机构410。图5所示的驱动部400的状态对应于图1和图2，与片材移送部100、片材引导部200和搬出部300同样是初始状态。

缸体411在内部收容杆412，缸体411的长度方向配设成与Y轴方向平行。

支承构件413配设在基板载置部2a的下表面，从下表面支承基板载置部2a。支承构件413的上表面是与基板载置部2a的下表面抵接的面，是支承面413a。在从支承面413a连续且在X轴方向上对置的侧面413b，在接近缸体411的一方的端部形成有用于贯穿插入旋转轴414的轴孔413c。在支承构件413的侧面413b的下部形成有把持部413d。在杆412中与缸体411相反的一侧的端部412a安装有把持支承构件413的把持部413d的把持构件415。把持构件415把持着把持部413d，由此，缸体411与杆412和支承构件413连结。如图1和图5所示，在基板搬出装置1的初始状态下，支承构件413的支承面413a将基板载置部2定位在水平位置。

缸体411通过与缸体411的远离杆412的一方的端部411a连结的连结构件416而与架台8连结并固定。旋转轴414被贯穿插入到各驱动机构410的各个轴孔413c中。

驱动机构410通过使杆412在缸体411中滑动，而将基板载置部2a和2b定位在水平位置和倾斜位置。具体而言，当从图6中图示的空压源420对缸体411赋予负压时，杆412向缸体411的端部411a一侧滑动。此时，与杆412的端部412a连结的支承构件413的把持部413d也向端部411a一侧移动。由此，支承构件413以旋转轴414为中心向下方转动，支承面413a向下方倾斜。

支承构件413的倾斜角度、即基板载置部2的倾斜角度根据基板载置部2和基板F的尺寸和重量适当设定，但是，优选在45度～90度的范围内。如果在该范围内，则能够顺畅地使分散存在于基板载置部2上的端材R落下并去除。

配设有驱动机构410的间隔和个数根据基板载置部2a和基板F的尺寸和重量适当调整。在本实施方式的基板搬出装置1中，在基板载置部2a和2b上分别各配设4个驱动机构410，但是，至少配设一个即可，另外，也可以配设更多的驱动机构410。

另外，在旋转轴414的两端配设有支架9和支架10。支架9固定在架台8上，支承框架7a和7b。支架10固定在架台8上，支承框架7a和7b。支架10还支承固定板6a和6b。

图6是示出基板搬出装置1的结构的框图。如图6所示，基板搬出装置1具有图1所示的基板载置部2、压力赋予部4、片材移送部100、片材引导部200、搬出部300、驱动部400，还具有输入部20、检测部30、控制部40。

输入部20受理利用搬出部300搬出的基板F的分割单元的数量。检测部30检测搬运辊110的位置。检测部30例如可以是编码器，该情况下，如图2所示，能够在带轮122b上设置伺服马达127。编码器检测伺服马达127的转速，对搬运辊110的位置进行控制。而且，检测部30能够适当检测搬运辊110的位置即可，例如也可以是传感器和摄像装置等。

控制部40包含CPU等运算处理电路和ROM、RAM、硬盘等存储器。控制部40按照存储器中存储的程序对各部进行控制。

图7是示出实施方式1的基板搬出装置1的动作的流程图。图6所示的控制部40执行该控制。下面，适当参照图8(a)～(d)、图9(a)、(b)和图10(a)～(c)对控制部40的控制进行说明。图8(a)～(d)、图9(a)、(b)分别是示意地示出基板搬出装置1的动作的主视图。图10(a)～(c)是示意地示出基板搬出装置1的动作的侧视图。

图8(a)所示的基板搬出装置1的状态是初始状态。这里，基板F在被搬入基板搬出装置1之前的阶段，经由被切断成规定数量的分割单元的工序，包含切断基板F时产生的端材R在内，基板F被搬出到基板搬出装置1。在初始状态下，搬出部300在X轴方向的正侧即上方待机，锤210和220分别位于槽231a和232a的最下端。即，突部212a和222a位于槽231a和232a的最下端。另外，控制部40使压力赋予部4对基板F赋予负压，使基板载置部2a和2b吸附基板F。在图7的流程图中，“开始”时的基板搬出装置1的状态是图8(a)所示的基板搬出装置1的初始状态。

控制部40使输入部20受理在一次搬出作业中搬出部300应该搬出的基板F的分割单元的数量。用户能够根据基板F的尺寸和分割单元的尺寸等适当决定该数量。或者，例如，也可以预先使控制部40按照基板的每个种类存储要搬出的分割单元的数量，设定成如果用户在输入部20中输入基板的种类，则控制部40读出要搬出的分割单元的数量。基板搬出装置1从位于基板F的最靠X轴正侧的分割单元A起依次朝向X轴的负侧搬出分割单元。

搬出动作开始后，如图8(b)所示，控制部40使搬运辊110向X轴的正方向移动，利用片材3覆盖分割单元A以外的部分(S11)。此时，控制部40以使搬运辊110移动的距离使片材引导部200送出片材3。由此，引导滑动件250a在引导轨道240a上向上方滑动移动，锤210和220与片材3滑动接触并上升。

接着，控制部40使搬出部300的吸附部310吸附分割单元A(S12)。在该时点，控制部40使压力赋予部4对基板F赋予负压。由此，吸附部310能够在基板载置部2a和2b上可靠地吸附整齐排列的状态的分割单元A。然后，控制部40使压力赋予部4对基板F赋予正压(S13)。由此，解除基板载置部2a和2b与基板F的吸附状态。然后，如图8(c)所示，控制部40使搬出部300搬出分割单元A(S14)。此时，在基板F中，分割单元A以外的分割单元被片材3覆盖，因此，即使向基板F的下表面送出空气，基板F的分割单元也不会产生位置偏移。另外，解除了基板载置部2a和2b与基板F的吸附状态，因此，分割单元A成为容易从基板载置部2a和2b分离的状态。由此，控制部40能够顺畅地使搬出部300搬出分割单元A。此时，端材R残留在基板载置部2a和2b上。

在搬出部300搬出分割单元A后，控制部40判断是否存在应该搬出的基板F的分割单元(S15)。在存在应该搬出的基板F的分割单元的情况下，进入步骤S16。另一方面，在不存在应该搬出的基板F的分割单元、即搬出了全部分割单元的情况下，基板F的搬出结束。

在步骤S15为“否”的情况下，控制部40使压力赋予部4对基板F赋予负压(S16)。由此，基板F被吸附在基板载置部2a和2b上。

在步骤S16之后，控制部40进行控制，以使得反复进行步骤S11～S16，直到搬出基板F的全部分割单元为止。例如，控制部40使搬运辊110向X轴的负方向移动，利用片材3覆盖基板F的分割单元B以外的部分(S11)。此时，锤210和220与片材3滑动接触并下降，片材3以搬运辊110向X轴的负方向移动的长度进行折叠。示出该状态的图是图8(d)。然后，与上述步骤相同。这样，基板搬出装置1按照每个分割单元进行基板F的搬出。

如图9(a)所示，随着搬出部300进行基板F的搬出作业，在基板载置部2a和2b上残留有端材R。搬出基板F的全部分割单元后，如图9(b)所示，控制部40使搬运辊110和搬出部300返回初始状态。端材R分散存在于搬出基板F后的基板载置部2a和2b上。

接着，基板搬出装置1去除图10(a)所示的分散存在于基板载置部2a和2b上的端材R。在控制部40对驱动部400的空压源420进行控制以使得对缸体411赋予负压时，如图10(b)所示，杆412向缸体411的端部411a侧滑动。此时，与杆412的端部412a连结的支承构件413的把持部413d向端部411a一侧移动。由此，支承构件413以旋转轴414为中心向下方转动，支承面413a向下方倾斜。由此，基板载置部2a和2b向下方倾斜。

分散存在于基板载置部2a和2b上的端材R在倾斜的基板载置部2a和2b的上表面滑落。在控制部40对驱动部400的空压源420持续进行控制以使得对缸体411赋予负压时，如图10(c)所示，支承构件413转动以使支承面413a倾斜到规定的角度。由此，基板载置部2a和2b倾斜到规定的角度。端材R在倾斜的基板载置部2a和2b的上表面滑落，从基板载置部2a和2b去除。(S17)。

如图10(a)～(c)所示，也可以在架台8的空间8a中，在基板载置部2a和2b的下方设置用于回收落下的端材R的容器P。关于容器P的尺寸，根据基板载置部2的尺寸设置适当尺寸即可。

从基板载置部2a和2b完全去除分散存在于基板载置部2a和2b上的端材R，在控制部40对空压源420进行控制以使得对缸体411赋予正压时，杆412向远离缸体411的一侧滑动。由此，支承构件413的把持部413d向远离缸体411的一侧滑动。此时，支承构件413以旋转轴414为中心向上方转动，支承面413a被定位在水平位置。由此，基板载置部2a和2b被定位在水平位置(S18)。步骤S18中的基板搬出装置1的状态是图8(a)所示的初始状态。

这样，按照每个分割单元搬出基板F，从基板载置部2a和2b去除分散存在于基板载置部2a和2b上的端材R后，新的基板F被搬入基板搬出装置1中。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，发挥以下效果。

如图8(a)～(d)所示，基板F的分割单元中的搬出对象以外的分割单元被片材3覆盖。即，被片材3覆盖的区域通过片材3的自重被按压。这里，在不存在片材3的状态下搬出基板F的搬出对象的分割单元的情况下，基板F的搬出对象以外的分割单元(在后续的搬出动作中成为搬出对象的分割单元)容易产生位置偏移。基板F在整齐排列的状态下被搬入基板搬出装置1中，但是，当在搬出动作中成为搬出对象的分割单元产生位置偏移时，不容易顺畅地搬出。如果是本实施方式，则搬出对象的分割单元以外的部分被片材3按压，因此，被该片材3覆盖的基板F的分割单元不会产生偏移。因此，搬出部300在后续的搬出动作中能够顺畅且适当地搬出其余的分割单元。

另外，明确得知未被片材3覆盖的分割单元是搬出的对象，因此，搬出部300能够可靠地搬出该分割单元。

如图1所示，基板搬出装置1具有压力赋予部4。由此，当通过压力赋予部4解除针对基板F的负压、或对基板F赋予正压时，解除基板载置部2与基板F的吸附状态，因此，基板F容易从基板载置部2分离。该情况下，基板F的分割单元容易产生位置偏移。但是，如果是本实施方式，则搬出对象的分割单元以外的部分被片材3覆盖，通过片材3的自重被按压，因此，即使压力赋予部4不对基板F赋予负压、或即使压力赋予部4对基板F赋予正压，被片材3覆盖的分割单元也不会产生位置偏移。由此，搬出部300能够顺畅地搬出作为搬出对象的分割单元，并且，在后续的搬出动作中顺畅且适当地搬出其余的分割单元。

如图8(a)～(d)所示，锤210和220盛放在片材3上，而不是安装在片材3上。这样，通过利用锤210和220的重力的简单结构对片材3赋予适度的张力。由此，能够通过片材3的自重适当地覆盖在基板F的表面上。

另外，锤210和220的外周面成为圆弧状。因此，锤210和220的圆弧状的部分与片材3滑动接触，并且通过片材3的移动而上下动作。由此，在通过搬运辊110的移动来移送片材3的期间内，锤210和220能够适当地对片材3持续赋予张力。需要说明的是，锤210和220也可以通过片材3的移动而旋转并上下动作。

另外，锤210和220构成为通过滑动件在形成于引导板230a和230b上的槽中上下移动。由此，能够抑制锤210和220从片材3偏移，能够稳定地对片材3赋予张力。

片材3的材质例如为聚乙烯，具有柔软性，搬运辊110不与基板F接触。片材3通过自重覆盖基板F，因此，搬运辊110能够覆盖基板F的上表面而不会损伤基板F。

如图8(a)～(d)和图7的步骤S12和S16所示，控制部40结合搬出部300对分割单元的吸附和搬出的时机，使压力赋予部4对基板F赋予正压或负压，或者解除压力的赋予。即，控制部40使压力赋予部4维持或解除基板载置部2与基板F的吸附状态。由此，在基板F的上表面被片材3覆盖的期间内，即使解除基板载置部2与基板F的吸附状态(解除压力的赋予或赋予正压)，基板F的分割单元也不会产生位置偏移。由此，能够顺畅地进行后续的搬出动作。另外，作为未被片材3覆盖的搬出对象的分割单元在被搬出部300的吸附部310吸附而被搬出之前的期间内，也相对于被片材3覆盖的分割单元处于被分割的状态，但是处于一体连接的状态，因此，不会产生位置偏移。由此，搬出部300能够顺畅且可靠地搬出作为搬出对象的分割单元。

如图5所示，通过使缸体411的内部成为正压或负压，支承构件413从水平位置定位在倾斜位置。由此，分散存在于基板载置部2上的端材R在基板载置部2上滑落。这样，端材R顺畅地从基板载置部2落下，高效地从基板载置部2去除。

如图10(a)～(c)所示，在基板载置部2处于水平状态时被划分成两个部分，端材R在从各部分的边界位置附近到各部分在倾斜位置倾斜时的各部分的端部的位置附近的范围内落下，因此，在该范围内设置端材R的回收用的容器P即可。由此，能够顺畅且高效地使端材R从基板载置部2落下并去除。另外，容易从基板载置部2集中回收端材R，因此，端材R的回收效率提高。

另外，如上所述分割基板载置部2，因此，与使单一的基板载置部2倾斜的情况相比，能够减小使各部分以规定角度倾斜所需要的下方的空间。由此，能够抑制基板搬出装置1的大型化、特别是高度方向上的大型化。另外，能够使各部分大幅转动，因此，顺畅地使位于各部分上的端材R落下，能够高效地去除。

<实施方式的变更例>

在上述实施方式中，在图7的流程图中，在步骤S15为“否”的情况下、即搬出了基板F的全部分割单元的情况下，进入步骤S17，从基板载置部2去除端材R。如上所述，当对载置有基板F的基板载置部2赋予正压时，基板F容易从基板载置部2分离。因此，在实施方式的变更例中，如图11的流程图所示，在步骤S15中搬出了基板F的全部分割单元的情况下，控制部40使压力赋予部4对基板载置部2a和2b赋予正压。由此，端材R能够容易地从基板载置部2a和2b分离。在该状态下，在步骤S18中，当控制部40使支承构件413向下方倾斜时，端材R沿着基板载置部2a和2b的上表面更加顺畅地滑落。由此，能够更加高效地从基板载置部2a和2b去除端材R。步骤S18是与实施方式中的图7的步骤S17相当的处理。

如图11所示，在步骤S18中从基板载置部2a和2b完全去除端材R后，在步骤S19中，基板载置部2a和2b通过控制部40再次被定位在水平位置。步骤S19是与图7的步骤S18相当的处理。

<其他实施方式>

(1)关于基板载置部的分割

在上述实施方式中，基板载置部2被分割成两个部分，但是，例如在基板载置部2的尺寸比较小的情况下，容易在基板载置部2的下方确保空间，因此，不需要分割基板载置部2。或者，在基板载置部2的尺寸较大的情况下，如果能够在基板载置部2的下方确保使基板载置部2倾斜时能够接纳的空间，则也不需要分割基板载置部2。

另外，也可以将基板载置部二分割成三个以上的部分，在各部分中配设驱动机构410即可。该情况下，驱动机构410的数量也能够根据各部分和基板F的尺寸和重量进行配设。另外，在要分割基板载置部2的情况下，能够根据基板载置部2的尺寸和基板搬出装置1整体的尺寸适当变更如何分割。

(2)关于锤的形状

在上述实施方式中，在锤210和220中使用轴，外周面的形状为圆形。这里，锤210和220只要是能够与片材3滑动接触的形状即可，外周面的形状不限于圆形。

因此，锤210和220能够形成为外周面的至少一部分成为向外侧凸出的曲面。作为这种形状，例如，凸出的曲面以外的部分可以形成为凹状，也可以是直线状。即使以这种形状形成锤210和220，片材3也能够与凸出的曲面部分滑动接触。

本发明的实施方式能够在权利请求的范围所示的技术思想范围内适当进行各种变更。

Claims (7)

1.一种基板搬出装置，其特征在于，所述基板搬出装置具有：

基板载置部，其载置有基板；

驱动部，其使所述基板载置部在水平位置与从所述水平位置向下方倾斜的倾斜位置之间移动；以及

搬出部，其搬出所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板被分割成搬出对象和非搬出对象，

所述基板搬出装置还具有控制部，该控制部在通过所述搬出部搬出所述搬出对象后，通过所述驱动部使所述基板载置部在所述倾斜位置倾斜，使所述非搬出对象从所述基板载置部落下。

3.根据权利要求2所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板载置部构成为能够对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，

所述基板搬出装置还具有压力赋予部，该压力赋予部用于对载置在所述基板载置部上的基板的下表面赋予压力，

所述控制部以在使所述非搬出对象从所述基板载置部落下时对所述非搬出对象的下表面赋予正压的方式对压力赋予部进行控制。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板载置部在水平方向上被分割成多个部分，

所述驱动部以使所述多个部分分别在所述水平位置与所述倾斜位置之间移动的方式进行驱动。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板载置部在所述水平方向上被分割成两个部分。

6.根据权利要求5所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述驱动部以使所述两个部分的边界侧的端部向下方移动的方式使所述两个部分倾斜，将所述两个部分定位在所述倾斜位置。

7.根据权利要求1～3中的任意一项所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述驱动部具有驱动机构，该驱动机构将所述基板载置部支承为能够向铅垂方向转动，并且，使所述基板载置部在所述水平位置与所述倾斜位置之间转动。