KR20190063406A - 기판 반출 장치 - Google Patents

Abstract

[과제] 기판의 단재를 기판 재치부로부터 효율적으로 제거하는 것이 가능한 기판 반출 장치를 제공한다.
[해결 수단] 소정 방향으로 분할된 기판이 재치되는 기판 재치부(2)와, 기판 재치부(2)를 수평 위치와 수평 위치로부터 하부로 경사진 경사 위치와의 사이에서 이동시키는 구동부(400)와, 기판(F)을 분할 요소마다 반출하는 반출부(300)를 구비한다. 또, 제어부(40)를 구비하고 있으며, 제어부(40)는, 반출부(300)에 의해 기판(F)의 분할 요소를 모두 반출시킨 후에, 구동부(400)에 의해 기판 재치부를 경사 위치로 경사시켜 기판 재치부(2)로부터 기판(F)의 단재(R)를 낙하시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치(1).

Description

기판 반출 장치{SUBSTRATE UNLOADING APPARATUS}

본 발명은, 기판을 반출하기 위한 기판 반출 장치에 관한 것이다.

유리 기판 등의 취성(脆性) 재료 기판은, 최종 제품의 형태에 따라서, 소정수의 분할 요소로 절단된다. 이 때, 분할 요소와는 별도로, 단재(端材)가 생긴다. 이하의 특허 문헌 1에는, 단재를 절단할 때에 미리 단재를 척(chuck) 부재에 의해 잡아 두고, 단재의 절단 후에, 단재를 척 부재에 의해 슈터(shooter)의 개구부로 이송하여 슈터에 투하하는 구성이 기재되어 있다.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2012－250871호 공보

기판으로부터 분할 요소를 생성하는 시스템에서는, 개개의 분할 요소로 분할한 상태의 기판을, 일단, 기판 재치부에 재치하고, 그 후, 소정수씩 분할 요소를 하류측의 장치로 반출하는 장치가 이용될 수 있다. 여기서, 기판 재치부에 재치되는 기판에는, 상류측의 분할 공정에서 생긴 단재(端材)가 제거되지 않고 남아 있는 경우가 있다. 이 때문에, 모든 분할 요소가 하류측의 장치로 반송된 상태에서, 기판 재치부 상에, 이들 단재가 산재(散在)하는 것이 생길 수 있다. 이러한 단재는, 다음의 기판의 반입전에 제거할 필요가 있다. 특허 문헌 1에 개시된 구성에서는, 기판의 분단 동작시에 단재를 제거하는 것이기 때문에, 상기와 같이 분할 상태의 기판이 일단 기판 재치부에 재치되는 구성의 장치에는, 그대로 적용될 수 없다.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 기판의 단재를 기판 재치부로부터 효율적으로 제거하는 것이 가능한 기판 반출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 형태는, 기판 반출 장치에 관한 것이다. 이 형태에 관한 기판 반출 장치는, 기판이 재치되는 기판 재치부와, 상기 기판 재치부를 수평 위치와 상기 수평 위치로부터 하부로 경사진 경사 위치와의 사이에서 이동시키는 구동부와, 상기 기판을 반출하는 반출부를 구비한다.

기판 재치부로부터 기판을 반출한 후, 새로운 기판이 기판 재치부에 반입되어 오지만, 이 때, 기판 재치부 상에는 아무것도 놓여져 있지 않은 상태로 할 필요가 있다. 본 형태에 관한 기판 반출 장치에 의하면, 구동부에 의해서 기판 재치부를 수평 위치와 경사 위치와의 사이를 이동시키면, 기판 재치부 상에 남아 있는, 예를 들면, 기판을 절단했을 때에 생긴 단재를, 경사진 기판 재치부 상을 따르게 하여 낙하시킬 수 있다. 이와 같이, 기판 재치부 상에 남아 있는 것을 제거할 수 있다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 기판은, 반출 대상과 비(非)반출 대상으로 분할되며, 상기 반출부에 의해 상기 반출 대상을 반출시킨 후에, 상기 구동부에 의해 상기 기판 재치부를 상기 경사 위치로 경사시켜 상기 기판 재치부로부터 상기 비반출 대상을 낙하시키는 제어부를 더 구비하는 구성으로 될 수 있다.

이 구성이면, 기판을 반출한 후, 기판 재치부를 경사시키는 것에 의해, 기판 재치부 상에 남아 있는 비반출 대상을 낙하시켜, 기판 재치부로부터 제거할 수 있다. 「비반출 대상」이란, 예를 들면, 기판을 복수로 절단했을 때에 생기는 단재를 의미한다. 따라서, 비반출 대상 즉 단재(이후, 「비반출 대상」은, 「단재」라고 칭함)를 기판 재치부로부터 효율적으로 제거할 수 있다. 또, 기판 재치부의 하부에 회수용 용기 등을 설치해 두면, 단재를 효율적으로 회수하는 것도 가능하다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 기판 재치부는, 상기 기판 재치부에 재치된 기판의 하면에 압력을 부여하는 것이 가능하게 구성되고, 상기 기판 재치부에 재치된 기판의 하면에 압력을 부여하기 위한 압력 부여부를 더 구비하며, 상기 제어부는, 상기 단재를 상기 기판 재치부로부터 낙하시킬 때에, 상기 비반출 대상의 하면에 정압(正壓)을 부여하도록, 압력 부여부를 제어하도록 구성될 수 있다.

이와 같이 단재의 하면에 정압이 부여되는 것에 의해, 단재는, 기판 재치부로부터 떨어지기 쉬워지기 때문에, 기판 재치부를 경사시키면, 단재는 보다 용이하게 낙하한다. 따라서, 단재를 기판 재치부로부터, 보다 확실히 또한 원활히 낙하시켜, 효율 좋게 제거할 수 있다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 기판 재치부는, 수평 방향으로 복수의 부분으로 분할되고, 상기 구동부는, 상기 복수의 부분을 각각 상기 수평 위치와 상기 경사 위치와의 사이에서 구동시키는 구성으로 될 수 있다.

기판 재치부로부터 단재를 제거하기 위해서는, 단재를 확실히 낙하시킬 수 있을 정도로 기판 재치부를 경사시킬 필요가 있다. 그 때문에, 기판 재치부의 하부에 기판 재치부의 경사를 받아 들이기 위한 스페이스를 확보해야 한다. 이 점, 본 형태에 관한 기판 반출 장치에서는, 기판 재치부가 복수의 부분으로 분할되어 있기 때문에, 단일의 기판 재치부를 경사시키는 경우에 비해, 각 부분을 소정 각도만큼 경사시키는데 필요한 하부의 스페이스를 작게 할 수 있다. 따라서, 기판 반출 장치의 대형화, 특히 높이 방향에 대한 대형화를 억제할 수 있다. 또, 각 부분을 크게 회동시킬 수 있기 때문에, 각 부분 상에 있는 단재를 원활히 낙하시켜, 효율적으로 제거할 수 있다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 기판 재치부는, 상기 수평 방향으로 2개의 부분으로 분할되도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의해, 기판 재치부의 하부의 스페이스를 적절히 확보하면서, 2개의 부분을 크게 회동시킬 수 있기 때문에, 기판 재치부로부터, 비반출 대상을 보다 원활히 낙하시켜, 효율 좋게 제거할 수 있다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 구동부는, 상기 2개의 부분의 경계측의 단부가 하부로 이동하도록 상기 2개의 부분을 경사시켜, 상기 2개의 부분을 상기 경사 위치로 위치시키는 구성으로 될 수 있다.

이것에 의해, 비반출 대상은, 2개의 부분이 각각 수평 상태에 있을 때의 각 부분의 경계 위치 부근으로부터, 2개의 부분이 경사 위치로 경사졌을 때의 각각의 부분의 단부의 위치 부근까지의 범위에서 낙하한다. 따라서, 이 범위에 단재를 회수하기 위한 용기를 설치하는 것에 의해, 2개의 부분으로부터 단재를 낙하시켜, 용기에 낙하시킬 수 있다. 이것에 의해, 각각의 부분으로부터 단재를 한꺼번에 용기에 회수하기 쉬워지기 때문에, 단재의 회수 효율이 향상된다.

본 형태에 관한 기판 반출 장치에서, 상기 구동부는, 상기 기판 재치부를 연직 방향으로 회동 가능하게 지지함과 아울러, 상기 수평 위치와 상기 경사 위치와의 사이에서 상기 기판 재치부를 회동시키는 구동 기구를 구비하도록 구성될 수 있다.

이 구성에 의해, 기판 재치부는, 수평 위치로부터 경사 위치로 원활히 이동한다. 따라서, 단재는 기판 재치부로부터 확실히 낙하하여, 제거될 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 기판의 단재를 기판 재치부로부터 효율적으로 제거하는 것이 가능한 기판 반출 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 분명해질 것이다. 다만, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 기재된 것에 어떠한 제한이 되는 것은 아니다.

도 1은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1의 기판 반출 장치로부터, 기판, 압력 부여부, 및 반출 장치를 생략한 사시도이다.
도 3은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 시트 이송부의 구성을 설명하기 위한 사시도이다.
도 4는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 시트 가이드부의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 5는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 구동부의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 6은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 7은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 나타내는 플로우차트이다.
도 8의 (a)~(d)는, 각각, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 9의 (a) 및 (b)는, 각각, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 모식적으로 나타내는 정면도이다.
도 10의 (a)~(c)는, 각각, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치의 동작을 모식적으로 나타내는 측면도이다.
도 11은, 실시 형태의 변경예에 관한 기판 반출 장치의 동작을 나타내는 플로우차트이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기(付記)되어 있다. X－Y평면은 수평면에 평행이고, Z축 방향은 연직 방향이다. Z축 정(正)측이 상부이고, Z축 부(負)측이 하부이다.

＜실시 형태＞

유리 기판 및 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판이나, PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지) 기판 및 폴리이미드 수지 기판 등의 수지 기판 등(이후, 간단하게 「기판」이라고 칭함)은, 여러 가지의 처리를 거쳐 최종 제품이 된다. 이러한 처리로서, 예를 들면, 기판을 소정수의 분할 요소로 절단하는 처리나, 기판을 절단했을 때에 생기는 단재(端材)를 제거하는 처리, 기판의 표면을 클리닝하는 처리 등이 있다. 기판은, 처리마다 소정의 스테이지로 반송되고, 처리가 종료되면 다음의 처리를 위해서 다른 스테이지로 반출된다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)는, 특히, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 상태의 기판(F)을 복수회 나누어 반출하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에서 소정 방향은, X축의 정방향으로서, 분할 요소의 반출 방향과 일치하고 있다.

또, 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)에는, 절단의 처리에서 생긴 단재(R)가 포함된 상태의 기판(F)이 반입된다. 이러한 단재(R)는, 기판(F)의 외주를 따르도록 생긴 단재나, 분할 기판끼리의 사이에 생긴 단재가 포함된다. 이들 단재(R)는, 반출해서는 안되는 대상이며, 즉, 비반출 대상이다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)는, 단재(R)를 기판 재치부(2)로부터 제거하도록 구성되어 있다.

도 1은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 외관 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는, 기판 재치부(2)와, 시트(3)와, 압력 부여부(4)와, 가대(架台, 8)과, 시트 이송부(100)와, 시트 가이드부(200)와, 반출부(300)와, 구동부(400)를 구비한다. 도 2는, 도 1의 기판 반출 장치(1)로부터, 기판 재치부(2), 압력 부여부(4), 및 반출부(300)를 생략한 사시도이다.

기판 재치부(2)는, 적어도 소정 방향에서 복수의 분할 요소로 분할된 기판(F)이 재치된다. 여기서, 소정 방향이란, 기판(F)의 반출 방향이다. 또, 기판(F)은, 소정 방향으로 분할되고, 소정 방향에 대해서 수직으로 더 분할되어도 괜찮다. 이와 같이 분할된 기판(F)은, 분할 요소가 바둑판 모양으로 되어 있다.

기판 재치부(2)는, 예를 들면, 반출 대상이 되는 기판(F)을 재치하기 위한 평탄면을 가지는 부품이며, 테이블이나 벨트 컨베이어 등이 포함된다. 도 1에서는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 부측(負側)으로부터 시트 가이드부(200) 및 시트 이송부(100)가 배치되어 있다. 여기서, 도 1에서 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)는, 기판(F)이 반송되기 직전의 상태를 나타내고 있고, 기판(F)은 생략되어 있다. 도 1에 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)의 상태가, 「초기 상태」이다. 이 초기 상태에는, 기판(F)이 기판 반출 장치(1)에 반입되어 기판 재치부(2)에 재치되고, 기판(F)의 분할 요소가 반출되기 직전의 기판 반출 장치(1)의 상태도 포함된다. 또, 기판 재치부(2)에는, 다수의 미세 구멍이 형성되어 있고, 다음에서 설명하는 압력 부여부(4)에 의한 압력은 이 미세 구멍을 통해서 기판(F)에 보내어진다.

또, 본 실시 형태에서는, 기판 재치부(2)는, 수평 방향으로 2개의 부분으로 분할되어 있고, Y축의 정측 및 부측에 위치하는 각 부분은, 각각 기판 재치부(2a 및 2b)이다. 기판 재치부(2a 및 2b)의 면적이나 형상은 동등하다.

기판에는, 예를 들면, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, PET 등의 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀 수지, 폴리스티렌, 폴리염화비닐 등의 폴리비닐 수지 등의 수지 기판 등의 유기질 기판(필름이나 시트도 포함함. 이하 동일), 유리 기판이나 세라믹스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 무기질 기판이 있지만, 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 반출 대상의 기판(F)은, 수지 기판이다. 수지 기판은, 다른 기판이 적층되어 있어도 좋고, 예를 들면, PET, 폴리이미드 수지, PET를 하층으로부터 이 순서로 적층한 기판으로 해도 좋다.

시트(3)는, 기판(F)의 상면을 덮는다. 시트(3)의 재질은, 특별히 한정되지 않지만, 고분자 수지가 바람직하고, 구체적으로는, 폴리에틸렌, 폴리스티렌, PET 등이 적합하다.

압력 부여부(4)는, 공압원(空壓源)을 포함하며, 기판 재치부(2)의 하면에 마련되고, 기판(F)의 하면에 압력을 부여한다. 압력 부여부(4)가 기판(F)에 압력을 부여하면, 기판 재치부(2)의 하면에 형성되어 있는 다수의 미소(微小)한 구멍을 통해서, 기판(F)의 하면에 압력이 부여된다. 압력 부여부(4)가 기판(F)에 대해서 부압(負壓)을 부여하면, 기판(F)은 기판 재치부(2)에 흡착된다. 이 때문에, 기판(F)을 기판 재치부(2)로부터 떨어뜨리기 어려워진다. 따라서, 기판(F)의 분할 요소의 위치 어긋남은 억제된다. 이것에 대해서, 압력 부여부(4)가 기판(F)에 대해서 부압을 부여하지 않는 경우, 및 정압을 부여하는 경우, 기판(F)에 대한 기판 재치부(2)의 흡착이 해제된다. 이 때문에, 기판(F)을 기판 재치부(2)로부터 용이하게 떨어뜨릴 수 있다.

가대(8)는, 기판 재치부(2)의 하부에 설치되고, 구동부(400)을 지지한다. 가대(8)는, 내부에 공간(8a)이 형성되어 있고, 그 상면에는 개구부(8b)가 형성되어 있다. 도 1 및 도 2에서는, 가대(8)의 저면은 바닥이 없지만, 바닥이 있어도 상관없다.

시트 이송부(100)는, 기판 재치부(2)에 재치된 기판(F)의 상면에 시트(3)를 이송한다. 시트 가이드부(200)는, 시트 이송부(100)에 시트(3)를 송출할 때, 및 송출한 시트(3)를 회수할 때, 시트(3)를 원활히 이송한다. 시트 이송부(100) 및 시트 가이드부(200)에 대해서는, 추후 상세하게 설명한다.

반출부(300)는, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 기판(F)의 분할 요소를 반출한다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)의 초기 상태에서, 반출부(300)는, X축 방향의 정측으로서 기판 재치부(2)에 대해서 상부에 배치되어 있다. 또, 기판 반출 장치(1)는, 기판 재치부(2)의 상부로서, X축 방향으로 2개의 레일(301 및 302)이 배치되어 있다. 반출부(300)는, 레일(301 및 302)에 걸려져 있고, 이 레일(301 및 302)을 따라 X축 방향으로 슬라이드 이동 가능하도록 구성되어 있다.

반출부(300)는, 기판(F)에 흡착할 수 있는 흡착부(310)와, 신축 가능한 관 부재(320)를 구비한다. 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소의 바로 위에 흡착부(310)가 위치하도록, X축의 부(負)방향으로 이동한다. 그리고, 반출부(300)는, 소정의 위치까지 이동하면, 관 부재(320)를 연신시키고, 흡착부(310)에 반출 대상인 분할 요소를 흡착시킨다. 반출부(300)는, 관 부재(320)를 수축시켜 분할 요소를 들어 올린다. 흡착부(310)는 Y축 방향에서 복수의 흡착부에 의해 분할되어 있어도 좋고, Y축 방향에서 복수로 분할된 분할 요소를 각 흡착부가 흡착하도록 해도 괜찮다. 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 흡착한 상태에서, X축의 정방향으로 이동하고, 소정의 장소에 분할 요소를 재치한다. 이와 같이 하여, 반출부(300)는 기판(F)을 분할 요소마다 반출한다.

구동부(400)는, 기판 재치부(2)를 경사시킨다. 구동부(400)는, 동일한 구동 기구(410)를 복수 구비하고 있으며, 본 실시 형태에서는, 구동부(400)는, 기판 재치부(2a 및 2b)의 각각에, 4개의 구동 기구(410)를 구비하고 있다. 구동부(400)에 대해서도, 추후 상세하게 설명한다.

도 3은, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 시트 이송부(100)의 구성을 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은, 도 1 및 도 2에 대응하고 있고, 시트 이송부(100)의 초기 상태를 나타내는 사시도이다.

도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 시트 이송부(100)는, 반송 롤러(110)와, 반송부(120)와, 가이드 롤러(130)를 구비한다. 반송 롤러(110)는, 기판(F)의 상면측에서 기판(F)에 접촉하지 않고 전동(轉動)하면서 X축의 정방향 및 부방향으로 이동한다. 반송 롤러(110)의 Y축 방향의 길이는, 기판 재치부(2)의 Y축 방향의 길이보다도 길다.

반송 롤러(110)에서, Y축 방향의 정측에 반송 브라켓(111a)이 마련되고, Y축 방향의 부측에 반송 브라켓(111b)이 마련되어 있다. 반송 브라켓(111a)에는, X축 방향의 부측으로부터 순서대로, 풀리(112a, 113a, 및 114a)가 마련되어 있다. 도시하지 않지만, 반송 브라켓(111b)도 마찬가지로, X축 방향의 부측으로부터 순서대로, 풀리(112b, 113b, 및 114b)가 마련되어 있다. 또, 반송 브라켓(111a 및 111b)의 하부에는, 각각 반송 슬라이더(125a 및 125b)가 마련되어 있다. 반송 슬라이더(125a 및 125b)에 대해서는, 다음에 설명한다.

반송부(120)는, 반송 롤러(110)를 기판(F)의 상면측에서 이동시킨다. 반송부(120)는, Y축 방향의 정측에, 반송 벨트(121a)와, 풀리(122a)와, 풀리(123a)와, 반송 레일(124a)과, 반송 슬라이더(125a)를 구비한다.

반송 벨트(121a)는, 기판 재치부(2)의 X축 방향을 따르도록 배치되어 있고, 풀리(122a) 및 풀리(123a)에 걸려져 있다. 풀리(122a)는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 부측에 배치되어 있고, 풀리(123a)는, 기판 재치부(2)에 대해서 X축 방향의 정측에 배치된다. 풀리(122a) 및 풀리(123a)는, 각각 고정판(5a 및 6a)에 고정되어 있고, 고정판(5a 및 6a)은, 기판 반출 장치(1)의 프레임(7a)에 고정된다. 또, 반송 벨트(121a)는, X축의 정방향으로부터 순서대로, 반송 브라켓(111a)의 풀리(112a)의 하단면, 풀리(113a)의 상단면, 풀리(114a)의 하단면에 맞닿도록 걸려진다.

반송 벨트(121a)의 하부에는, 프레임(7a)에 고정되어 있는 반송 레일(124a)이 반송 벨트(121a)를 따라서 배치되어 있다. 반송 슬라이더(125a)는, 반송 브라켓(111a)의 하부에 마련되어 있고, 반송 레일(124a)을 슬라이드 이동 가능하도록 반송 레일(124a)에 장착된다.

상기한 구성은, 도 3에 나타내는 바와 같이, Y축 방향의 부측도 마찬가지이다. 즉, 반송부(120)는, Y축 방향의 부측에, 반송 벨트(121b)와, 풀리(122b)와, 풀리(123b)와, 반송 레일(124b)을 구비하고 있고, 풀리(122b) 및 풀리(123b)는, 각각 고정판(5b 및 6b)에 고정되어 있으며, 고정판(5b 및 6b)은, 기판 반출 장치(1)의 프레임(7b)에 고정된다. 반송 슬라이더(125b)는, 반송 브라켓(111b)의 하부에 마련되어 있고, 반송 레일(124b)을 슬라이드 이동 가능하도록 반송 레일(124b)에 장착된다. 또, 풀리(122a) 및 풀리(122b)는, 샤프트(126)에 의해 연결되어 있다.

반송 슬라이더(125a)는, 도시하지 않은 구동부로부터 구동력이 부여되면, 반송 레일(124a)을 슬라이드 이동한다. 한편, 반송 슬라이더(125b)도 반송 슬라이더(125a)와 마찬가지로, 반송 레일(124b)을 슬라이드 이동한다. 상기와 같이, 반송 브라켓(111a)의 풀리(112a, 113a, 및 114a)에는, 반송 벨트(121a)가 걸려져 있고, 반송 브라켓(111b)의 풀리(112b, 113b, 및 114b)에는, 반송 벨트(121b)가 걸려져 있기 때문에, 반송 롤러(110)는 안정되게 X축 방향으로 이동할 수 있다. 또, 풀리(122a 및 122b)는, 샤프트(126)에 의해 연결되어 있어, 풀리(122a 및 122b)의 회전량은 일치한다. 따라서, 반송 슬라이더(125a 및 125b)의 이동 속도는 일치한다.

도 4는, 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 시트 가이드부(200)의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다. 도 4는, 도 1 및 도 2에 대응하고 있고, 시트 가이드부(200)의 초기 상태를 나타내는 사시도이다.

도 4에 나타내는 바와 같이, 시트 가이드부(200)는, 추(210 및 220)와, 샤프트(260)를 구비한다. 또, 시트 가이드부(200)는, Y축 방향의 정측에, 가이드 부재로서, 가이드판(230a)과, 가이드 레일(240a)과, 가이드 슬라이더(250a)를 구비한다.

추(210)는, 시트(3)가 시트 이송부(100)에 의해서 이송되고 있는 동안, 시트(3)에 텐션을 부여한다. 추(210)는, 샤프트이며, Y축 방향의 단부(210a 및 210b)에 각각, 축(211a 및 211b)이 마련되어 있다. 축(211a 및 211b)의 각각에는, 또한, 돌기부(212a 및 212b)가 마련되어 있다. 추(220)는, 추(210)와 동일한 부재이며, Y축 방향의 단부(220a 및 220b)에 각각, 축(221a 및 221b)이 마련되고, 축(221a 및 221b)의 각각에는, 또한, 돌기부(222a 및 222b)가 마련되어 있다.

가이드판(230a)에는, 동일한 사이즈인 홈(231a 및 232a)이 Z축 방향으로 형성되어 있다. 홈(231a)의 폭은, 추(210)의 샤프트부의 지름 및 돌기부(212a)의 지름보다도 작고, 축(211a)의 지름보다도 크게 설정되어 있다. 홈(231a)에 추(210)의 축(211a)을 끼우고, 축(211a)의 선단에 돌기부(212a)가 장착된다. 마찬가지로, 홈(232a)에 추(220)의 축(221a)을 끼우고, 축(221a)의 선단에 돌기부(222a)가 장착된다. 이것에 의해, 추(210 및 220)는, 시트(3)로부터 돌출되지 않고, 안정되게 상하로 이동할 수 있다.

가이드판(230a)에는, 홈(231a 및 232a)을 따르도록 가이드 레일(240a)이 마련되어 있다. 가이드 레일(240a)에 슬라이드 이동 가능한 가이드 슬라이더(250a)가 장착되어 있고, 가이드 슬라이더(250a)는, 추(210)의 돌기부(212a) 및 추(220)의 돌기부(222a)와 걸린다.

기판 반출 장치(1)는, Y축 방향의 부측에, 가이드판(230a)과 쌍이 되는 가이드판(230b)을 구비한다. 가이드판(230b)은, 가이드판(230a)과 마찬가지로, 동일한 사이즈인 홈(231b 및 232b)이 Z축 방향으로 형성되어 있다. 홈(231b)에 추(210)의 축(211b)이 끼워지고, 축(211b)의 선단에 돌기부(212b)가 장착된다. 마찬가지로, 홈(232b)에 추(220)의 축(221b)이 끼워지고, 축(221b)의 선단에 돌기부(222b)가 장착된다.

또, 가이드판(230b)에는, 홈(231b 및 232b)을 따르도록, 도시하지 않은 가이드 레일(240b)이 마련되어 있다. 이 가이드 레일(240b)에 슬라이드 이동 가능한 가이드 슬라이더(250b)가 장착되어 있다. 가이드 슬라이더(250b)는, 추(210)의 돌기부(212b) 및 추(220)의 돌기부(222b)에 걸린다.

시트(3)는, 이하와 같이 하여 기판 반출 장치(1)에 셋팅된다. 시트(3)는, Y축 방향으로 연장되는 단부 가장자리부(3a)에서 도시하지 않은 시트 고정부에 의해 고정된다. 시트(3)는, 단부 가장자리부(3a)로부터 하부로 연장되며, 추(210)의 외주면을 따르도록 접혀져 상부로 연장되고, 샤프트(260)의 외주면을 따르도록 접혀져 하부로 연장된다. 그리고, 시트(3)는, 추(220)의 외주면을 따르도록 접혀져 상부로 연장되고, 가이드 롤러(130)의 외주면을 따르도록 접혀진다. 이곳으로부터, 시트(3)는 X축의 정방향으로 연장되고, 반송 롤러(110)의 외주면을 따르도록 접혀져, X축의 부방향으로 연장되며, 시트(3)의 단부 가장자리부(3b)의 모서리부가 시트 협지부(挾持部)(270a 및 270b)에 끼워 지지된다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 시트 협지부(270a 및 270b)는, 각각, 프레임(7a 및 7b)에 고정되어 있다.

반송 롤러(110)가 X축의 정방향으로 이동하면, 가이드 슬라이더(250a 및 250b)가 가이드 레일(240a 및 240b)을 따라서 상부로 슬라이드 이동한다. 이 사이, 시트(3)는, 추(210 및 220)의 외주면에 슬라이드 접촉하면서 상부로 이동한다. 이것에 의해, 시트(3)는 기판(F)의 상면측으로 송출되고, 시트(3)의 자중에 의해 기판(F)의 상면을 덮는다. 추(210 및 220)에 의한 텐션은, 시트(3)와 반송 롤러(110) 등과의 마찰력 및 시트(3)의 기판(F)을 덮는 부분의 자중 등과 균형을 이룰 정도의 크기이다.

반송 롤러(110)를 X축의 부방향으로 이동시킨 경우, 가이드 슬라이더(250a 및 250b)는 가이드 레일(240a 및 240b)을 하부로 슬라이드 이동한다. 이 사이, 시트(3)는 추(210 및 220)에 슬라이드 접촉하면서 하부로 이동한다. 이것에 의해, 기판(F)의 상면으로 송출된 시트(3)는, 원래의 상태 즉 접혀진 상태로 되돌아간다.

도 5는, 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 구동부(400)의 구성을 설명하기 위한 분해 사시도이다. 구동부(400)는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 구동 기구(410)와, 공압원(420)을 구비한다. 공압원(420)은, 도 6에 나타낸다. 구동 기구(410)는, 실린더(411)와, 로드(412)와, 지지 부재(413)와, 회전축(414)을 구비한다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)의 구동부(400)에는, Y축의 정측 및 부측, 즉, 기판 재치부(2a 및 2b)의 각각에, 4개의 구동 기구(410)가 배치되어 있다. 도 5에 나타내어져 있는 구동부(400)의 상태는, 도 1 및 도 2에 대응하고 있으며, 시트 이송부(100), 시트 가이드부(200), 및 반출부(300)와 마찬가지로, 초기 상태이다.

실린더(411)는, 내부에 로드(412)를 수용하고 있고, 실린더(411)의 길이 방향은 Y축 방향으로 평행이 되도록 배치된다.

지지 부재(413)는, 기판 재치부(2a)의 하면에 배치되고, 기판 재치부(2a)를 하면으로부터 지지한다. 지지 부재(413)의 상면은, 기판 재치부(2a)의 하면에 맞닿는 면이며, 지지면(413a)이다. 지지면(413a)으로부터 연속하고, X축 방향으로 대향하는 측면(413b)에서, 실린더(411)에 가까운 쪽의 단부에 회전축(414)을 삽입 통과시키기 위한 축 구멍(413c)이 형성되어 있다. 지지 부재(413)의 측면(413b)의 하부에는, 파지부(413d)가 형성되어 있다. 로드(412)에서 실린더(411)와 반대측의 단부(412a)에, 지지 부재(413)의 파지부(413d)를 파지하는 파지 부재(415)가 장착되어 있다. 파지 부재(415)가 파지부(413d)를 파지하는 것에 의해, 실린더(411)와 로드(412) 및 지지 부재(413)가 연결된다. 도 1 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)의 초기 상태에서는, 지지 부재(413)의 지지면(413a)은, 기판 재치부(2)를 수평 위치에 위치시킨다.

실린더(411)는, 실린더(411)의 로드(412)로부터 먼 쪽의 단부(411a)에 연결되어 있는 연결 부재(416)에 의해서 가대(8)와 연결되어, 고정된다. 회전축(414)은, 각 구동 기구(410)의 각각의 축 구멍(413c)에 삽입 통과된다.

구동 기구(410)는, 로드(412)가 실린더(411)를 슬라이딩하는 것에 의해, 기판 재치부(2a 및 2b)를 수평 위치와 경사 위치에 위치시킨다. 구체적으로는, 도 6에 도시되는 공압원(420)으로부터 실린더(411)에 부압이 부여되면, 로드(412)는, 실린더(411)의 단부(411a)의 쪽으로 슬라이딩한다. 이 때, 로드(412)의 단부(412a)에 연결되어 있는 지지 부재(413)의 파지부(413d)도 단부(411a)의 쪽으로 이동한다. 이것에 의해, 지지 부재(413)는, 회전축(414)을 중심으로 하부로 회동하고, 지지면(413a)은 하부로 경사진다.

지지 부재(413)의 경사 각도, 즉, 기판 재치부(2)의 경사 각도는, 기판 재치부(2)나 기판(F)의 사이즈나 중량에 따라 적절히 설정되지만, 바람직하게는, 45도~90도의 범위이다. 이 범위이면, 기판 재치부(2) 상에 산재하고 있는 단재(R)를 원활히 낙하시켜, 제거할 수 있다.

구동 기구(410)가 배치되는 간격이나 개수는, 기판 재치부(2a) 및 기판(F)의 사이즈나 중량에 따라 적절히 조정된다. 본 실시 형태에 관한 기판 반출 장치(1)에서는, 구동 기구(410)는, 기판 재치부(2a 및 2b)의 각각에 4개씩 배치되어 있지만, 적어도 1개 배치되어 있으면 좋고, 또, 이것보다 많게 배치해도 상관없다.

또, 회전축(414)의 양단에는, 스탠드(9) 및 스탠드(10)가 배치되어 있다. 스탠드(9)는, 가대(8)에 고정되어 있고, 프레임(7a 및 7b)을 지지한다. 스탠드(10)는, 가대(8)에 고정되어 있고, 프레임(7a 및 7b)을 지지한다. 스탠드(10)는, 또한, 고정판(6a 및 6b)을 지지한다.

도 6은, 기판 반출 장치(1)의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는, 도 1에 나타낸 기판 재치부(2)와, 압력 부여부(4)와, 시트 이송부(100)와, 시트 가이드부(200)와, 반출부(300)와, 구동부(400)를 구비하며, 또한, 입력부(20)와, 검출부(30)와, 제어부(40)를 구비한다.

입력부(20)는, 반출부(300)에 의해서 반출되는 기판(F)의 분할 요소의 수(數)를 받아들인다. 검출부(30)는, 반송 롤러(110)의 위치를 검출한다. 검출부(30)는, 예를 들면, 인코더라도 좋고, 이 경우, 도 2에 나타내는 바와 같이, 풀리(122b)에 서보 모터(127)를 마련할 수 있다. 인코더는, 서보 모터(127)의 회전수를 검출하여, 반송 롤러(110)의 위치를 제어한다. 이 외에, 검출부(30)는, 반송 롤러(110)의 위치를 적절히 검출할 수 있으면 좋고, 예를 들면, 센서나, 촬상 장치 등이라도 괜찮다.

제어부(40)는, CPU 등의 연산 처리 회로나, ROM, RAM, 하드 디스크 등의 메모리를 포함하고 있다. 제어부(40)는, 메모리에 기억된 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다.

도 7은, 실시 형태 1에 관한 기판 반출 장치(1)의 동작을 나타내는 플로우차트이다. 이 제어는, 도 6에 나타낸 제어부(40)가 실행한다. 이하, 제어부(40)에 의한 제어를, 적절히, 도 8의 (a)~(d), 도 9의 (a), (b), 및 도 10의 (a)~(c)를 참조하여 설명한다. 도 8의 (a)~(d), 도 9의 (a), (b)는, 각각, 기판 반출 장치(1)의 동작을 모식적으로 나타내는 정면도이다. 도 10의 (a)~(c)는, 기판 반출 장치(1)의 동작을 모식적으로 나타내는 측면도이다.

도 8의 (a)에서 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)의 상태는, 초기 상태이다. 여기서, 기판(F)은 기판 반출 장치(1)에 반입되는 전단계에서, 소정수의 분할 요소로 절단되는 공정을 거치고 있고, 기판(F)을 절단할 때에 생기는 단재(R)를 포함하여, 기판(F)은 기판 반출 장치(1)로 반출된다. 초기 상태에서는, 반출부(300)는, X축 방향의 정측으로서 상부에 대기하고 있고, 추(210 및 220)는, 각각, 홈(231a 및 232a)의 최하단에 위치하고 있다. 즉, 홈(231a 및 232a)의 최하단에 돌기부(212a 및 222a)가 위치하고 있다. 또, 제어부(40)는, 압력 부여부(4)에, 기판(F)에 대해서 부압을 부여시켜, 기판(F)을 기판 재치부(2a 및 2b)에 흡착시킨다. 도 7의 플로우차트에서, 「시작」시의 기판 반출 장치(1)의 상태는, 도 8의 (a)에서 나타내어져 있는 기판 반출 장치(1)의 초기 상태이다.

제어부(40)는, 입력부(20)에, 1회의 반출 작업에 의해 반출부(300)가 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소의 수를 받아들이게 한다. 이 수는, 기판(F)의 사이즈나 분할 요소의 사이즈 등에 따라 적절히, 유저가 결정할 수 있다. 혹은, 예를 들면, 미리, 기판의 종류마다 반출할 분할 요소의 수를 제어부(40)에 기억시켜 두고, 유저가 기판의 종류를 입력부(20)에 입력하면, 제어부(40)가 반출할 분할 요소의 수를 읽어내도록 설정해도 괜찮다. 기판 반출 장치(1)는, 기판(F)의 가장 X축의 정측에 위치하는 분할 요소(A)로부터 순서대로, X축의 부측을 향해 분할 요소를 반출한다.

반출 동작이 개시되면, 제어부(40)는, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 반송 롤러(110)를 X축의 정방향으로 이동시키고, 분할 요소(A) 이외를 시트(3)에 의해 덮이게 한다(S11). 이 때, 제어부(40)는, 반송 롤러(110)를 이동시킨 거리만큼, 시트 가이드부(200)에 시트(3)를 송출시킨다. 이것에 의해, 가이드 슬라이더(250a)가 가이드 레일(240a)를 상부로 슬라이드 이동시키고, 추(210 및 220)는 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서 상승한다.

다음으로, 제어부(40)는, 반출부(300)의 흡착부(310)에 분할 요소(A)를 흡착시킨다(S12). 이 시점에서는, 제어부(40)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 부압을 부여시키고 있다. 이것에 의해, 흡착부(310)는, 기판 재치부(2a 및 2b) 상에 정렬한 상태의 분할 요소(A)를 확실히 흡착할 수 있다. 이 후, 제어부(40)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 정압을 부여시킨다(S13). 이것에 의해, 기판 재치부(2a 및 2b)와 기판(F)과의 흡착 상태가 해제된다. 그리고, 도 8의 (c)에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는, 반출부(300)에 분할 요소(A)를 반출시킨다(S14).이 때, 기판(F)에서, 분할 요소(A) 이외의 분할 요소는 시트(3)에 의해 덮여져 있기 때문에, 기판(F)의 하면에 공기가 송출되어도 기판(F)의 분할 요소에 위치 어긋남이 생기지 않는다. 또, 기판 재치부(2a 및 2b)와 기판(F)과의 흡착 상태는 해제되어 있기 때문에, 분할 요소(A)는 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 떨어지기 쉬운 상태로 되어 있다. 따라서, 제어부(40)는, 반출부(300)에 분할 요소(A)를 원활히 반출시킬 수 있다. 이 때, 단재(R)가 기판 재치부(2a 및 2b) 상에 남는다.

반출부(300)가 분할 요소(A)를 반출한 후, 제어부(40)는, 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소가 있는지 아닌지 판단한다(S15). 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소가 있는 경우, 스텝 S16으로 진행된다. 한편, 반출해야 할 기판(F)의 분할 요소가 없는, 즉, 모든 분할 요소를 반출한 경우, 기판(F)의 반출은 종료된다.

스텝 S15에서 NO인 경우, 제어부(40)는, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 부압을 부여시킨다(S16). 이것에 의해, 기판(F)은 기판 재치부(2a 및 2b)에 흡착된다.

스텝 S16 후, 제어부(40)는, 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출될 때까지, 스텝 S11~S16를 반복하도록 제어한다. 예를 들면, 제어부(40)는, 반송 롤러(110)를 X축의 부방향으로 이동시켜, 기판(F)의 분할 요소(B) 이외를 시트(3)에 의해 덮이게 한다(S11). 이 때, 추(210 및 220)는, 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서 하강하고, 시트(3)는 반송 롤러(110)가 X축의 부방향으로 이동한 길이만큼 접혀진다. 이 상태를 나타낸 도면이, 도 8의 (d)이다. 이 다음은, 상기한 스텝과 동일하다. 이와 같이 하여, 기판 반출 장치(1)는, 기판(F)의 반출을 분할 요소마다 행한다.

도 9의 (a)에 나타내는 바와 같이, 반출부(300)에 의한 기판(F)의 반출 작업이 진행됨에 따라, 기판 재치부(2a 및 2b) 상에는 단재(R)가 남는다. 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출되면, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는, 반송 롤러(110) 및 반출부(300)를 초기 상태로 되돌린다. 기판(F)이 반출된 후의 기판 재치부(2a 및 2b) 상에는, 단재(R)가 산재하고 있다.

다음으로, 기판 반출 장치(1)는, 도 10의 (a)에 나타내어져 있는, 기판 재치부(2a 및 2b) 상에 산재하고 있는 단재(R)를 제거한다. 제어부(40)가 구동부(400)의 공압원(420)에 대해서, 실린더(411)에 부압을 부여하도록 제어하면, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 로드(412)가 실린더(411)의 단부(411a)측으로 슬라이딩한다. 이 때, 로드(412)의 단부(412a)에 연결되어 있는 지지 부재(413)의 파지부(413d)는 단부(411a)의 쪽으로 이동한다. 이것에 의해, 지지 부재(413)는, 회전축(414)을 중심으로 하부로 회동하여, 지지면(413a)은 하부로 경사진다. 따라서, 기판 재치부(2a 및 2b)는 하부로 경사진다.

기판 재치부(2a 및 2b)에 산재하고 있는 단재(R)는, 경사진 기판 재치부(2a 및 2b)의 상면을 미끄러져 떨어진다. 제어부(40)가 구동부(400)의 공압원(420)에 대해서 실린더(411)에 부압을 부여하도록 계속 제어하면, 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 지지 부재(413)는, 지지면(413a)이 소정의 각도까지 경사지도록 회동한다. 따라서, 기판 재치부(2a 및 2b)는 소정의 각도까지 경사진다. 단재(R)는, 경사진 기판 재치부(2a 및 2b)의 상면을 미끄러져 떨어져, 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 제거된다(S17).

도 10의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 가대(8)의 공간(8a)에서, 기판 재치부(2a 및 2b)의 하부에, 낙하한 단재(R)를 회수하기 위한 용기(P)를 마련해도 좋다. 용기(P)의 사이즈는, 기판 재치부(2)의 사이즈에 따라 적절한 것을 설치하면 좋다.

기판 재치부(2a 및 2b) 상에 산재하고 있던 단재(R)가 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 완전하게 제거되고, 제어부(40)는, 공압원(420)에 대해서 실린더(411)에 정압을 부여하도록 제어하면, 로드(412)는, 실린더(411)로부터 멀어지는 측으로 슬라이딩한다. 이것에 의해, 지지 부재(413)의 파지부(413d)는 실린더(411)로부터 멀어지는 측으로 이동한다. 이 때, 지지 부재(413)는, 회전축(414)을 중심으로 상부로 회동하고, 지지면(413a)은 수평 위치에 위치시켜진다. 따라서, 기판 재치부(2a 및 2b)는, 수평 위치에 위치시켜진다(S18). 스텝 S18에서의 기판 반출 장치(1)의 상태는, 도 8의 (a)에 나타내어져 있는 초기 상태이다.

이와 같이 하여, 기판(F)은 분할 요소마다 반출되고, 기판 재치부(2a 및 2b) 상에 산재하고 있던 단재(R)가 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 제거된 후, 새로운 기판(F)이 기판 반출 장치(1)에 반입된다.

＜실시 형태의 효과＞

본 실시 형태에 의하면, 이하의 효과가 나타내어진다.

도 8의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 기판(F)의 분할 요소 중 반출 대상 이외의 분할 요소는 시트(3)에 의해 덮여진다. 즉, 시트(3)에 의해 덮여져 있는 영역은, 시트(3)의 자중에 의해 눌려져 있다. 여기서, 시트(3)가 없는 상태에서 기판(F)의 반출 대상인 분할 요소가 반출되는 경우, 기판(F)의 반출 대상 이외의 분할 요소(후속의 반출 동작에서 반출 대상이 되는 분할 요소)는 위치 어긋남이 생기기 쉬워진다. 기판(F)은 정렬한 상태에서 기판 반출 장치(1)에 반입되어 왔음에도 불구하고, 반출 동작에서 반출 대상이 되는 분할 요소에 위치 어긋남이 생기면, 원활히 반출되기 어렵다. 본 실시 형태이면, 반출 대상인 분할 요소 이외는 시트(3)에 의해 눌려져 있기 때문에, 이 시트(3)에 덮여진 기판(F)의 분할 요소에는 어긋남이 생기지 않는다. 이 때문에, 반출부(300)는, 후속의 반출 동작에서, 나머지의 분할 요소를 원활히 또한 적절히 반출할 수 있다.

또, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 분할 요소가 반출 대상이라고 명확하게 알기 때문에, 반출부(300)는 이 분할 요소를 확실히 반출할 수 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 반출 장치(1)는 압력 부여부(4)를 구비한다. 이것에 의해, 압력 부여부(4)에 의해서 기판(F)에 대한 부압이 해제되면, 또는, 기판(F)에 정압이 부여되면, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태가 해제되기 때문에, 기판 재치부(2)로부터 기판(F)이 떨어지기 쉬워진다. 이 경우, 기판(F)의 분할 요소는 위치 어긋남이 생기기 쉬워진다. 그러나, 본 실시 형태이면, 반출 대상인 분할 요소 이외는 시트(3)에 의해 덮여져, 시트(3)의 자중에 의해 눌려져 있기 때문에, 압력 부여부(4)가 기판(F)에 부압을 부여하지 않아도, 또는 압력 부여부(4)가 기판(F)에 정압을 부여한다고 해도, 시트(3)에 의해 덮여진 분할율 요소에 위치 어긋남은 생기지 않는다. 따라서, 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 원활히 반출함과 아울러, 나머지의 분할 요소를 후속의 반출 동작에서 원활히 또한 적절히 반출할 수 있다.

도 8의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 추(210 및 220)는, 시트(3)에 장착하는 것이 아니라, 시트(3)에 실려져 있다. 이와 같이, 추(210 및 220)의 중력을 이용하는 간소한 구성에 의해, 시트(3)에는 적절한 텐션이 부여된다. 따라서, 시트(3)의 자중에 의해 적절히 기판(F)의 표면에 씌울 수 있다.

또, 추(210 및 220)는, 외주면이 원호 모양으로 되어 있다. 이 때문에, 추(210 및 220)의 원호 모양의 부분이 시트(3)에 슬라이드 접촉하면서, 시트(3)의 이동에 의해 상하로 움직이게 된다. 따라서, 반송 롤러(110)의 이동에 의해 시트(3)가 이송되고 있는 동안, 추(210 및 220)는 시트(3)에 적절히 텐션을 계속 부여할 수 있다. 또, 추(210 및 220)는, 시트(3)의 이동에 의해 회전하면서 상하로 움직이도록 해도 괜찮다.

또, 추(210 및 220)는, 가이드판(230a 및 230b)에 형성된 홈을 슬라이더에 의해서 상하로 이동하도록 구성된다. 이것에 의해, 추(210 및 220)가 시트(3)로부터 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 시트(3)에 안정적으로 텐션을 부여할 수 있다.

시트(3)의 재질은, 예를 들면, 폴리에틸렌이며, 유연성을 가지고, 반송 롤러(110)는 기판(F)에 대해서 비접촉이다. 시트(3)는, 자중에 의해 기판(F)을 덮기 때문에, 반송 롤러(110)는 기판(F)을 손상시키지 않고 기판(F)의 상면을 덮을 수 있다.

도 8의 (a)~(d) 및 도 7의 스텝 S12 및 S16에 나타내는 바와 같이, 제어부(40)는, 반출부(300)에 의한 분할 요소의 흡착 및 반출의 타이밍에 맞추어, 압력 부여부(4)에 기판(F)에 대해서 정압 또는 부압을 부여시키거나, 또는 압력의 부여를 해제한다. 즉, 제어부(40)는, 압력 부여부(4)에, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태를 유지 또는 해제시킨다. 이것에 의해, 기판(F)의 상면이 시트(3)에 의해 덮여져 있는 동안, 기판 재치부(2)와 기판(F)과의 흡착 상태를 해제(압력의 부여를 해제 또는 정압을 부여)시켜도, 기판(F)의 분할 요소에 위치 어긋남은 생기지 않는다. 따라서, 후속의 반출 동작을 원활히 행할 수 있다. 또, 시트(3)에 의해 덮여져 있지 않은 반출 대상인 분할 요소도, 반출부(300)의 흡착부(310)에 흡착되어 반출될 때까지의 동안, 시트(3)에 의해 덮여져 있는 분할 요소와 분할된 상태이지만 일체적으로 이어진 상태에 있기 때문에 위치 어긋남이 생기지 않는다. 따라서, 반출부(300)는, 반출 대상인 분할 요소를 원활히 또한 확실히 반출할 수 있다.

도 5에 나타내는 바와 같이, 실린더(411)의 내부를 정압 또는 부압으로 하는 것에 의해서, 지지 부재(413)가 수평 위치로부터 경사 위치로 위치시켜진다. 이것에 의해, 기판 재치부(2)에 산재하고 있던 단재(R)는, 기판 재치부(2) 상을 미끄러져 떨어진다. 이와 같이, 단재(R)는 기판 재치부(2)로부터 원활히 낙하하여, 기판 재치부(2)로부터 효율적으로 제거된다.

도 10의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 단재(R)는, 기판 재치부(2)가 수평 상태에 있을 때, 2개의 부분으로 나누어져 있고, 각 부분의 경계 위치 부근으로부터, 각 부분이 경사 위치로 경사졌을 때의 각 부분의 단부의 위치 부근까지의 범위에서 낙하하기 때문에, 이 범위에 단재(R)의 회수용 용기(P)를 설치하면 좋다. 이것에 의해, 기판 재치부(2)로부터 단재(R)를 원활히 또한 효율 좋게 낙하시켜, 제거할 수 있다. 또, 기판 재치부(2)로부터 단재(R)를 한꺼번에 회수하기 쉬워지기 때문에, 단재(R)의 회수 효율이 향상된다.

또, 기판 재치부(2)를, 상기와 같이 분할하고 있기 때문에, 단일의 기판 재치부(2)를 경사시키는 경우에 비해, 각 부분을 소정 각도만큼 경사시키는데 필요한 하부의 스페이스를 작게 할 수 있다. 따라서, 기판 반출 장치(1)의 대형화, 특히 높이 방향에 대한 대형화를 억제할 수 있다. 또, 각 부분을 크게 회동시킬 수 있기 때문에, 각 부분 상에 있는 단재(R)를 원활히 낙하시켜, 효율적으로 제거할 수 있다.

＜실시 형태의 변경예＞

상기의 실시 형태에서는, 도 7의 플로우차트에서, 스텝 S15가 NO인 경우, 즉, 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출된 경우, 스텝 S17로 진행되어, 단재(R)가 기판 재치부(2)로부터 제거되어 있었다. 상기와 같이, 기판(F)이 재치된 기판 재치부(2)에 정압이 부여되면, 기판(F)은 기판 재치부(2)로부터 용이하게 떨어질 수 있다. 그래서, 실시 형태의 변경예에서는, 도 11의 플로우차트에 나타내는 바와 같이, 스텝 S15에서, 기판(F)의 분할 요소가 모두 반출된 경우, 제어부(40)는, 기판 재치부(2a 및 2b)에 대해서, 압력 부여부(4)에 정압을 부여시킨다. 이것에 의해, 단재(R)는, 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 용이하게 떨어질 수 있다. 이 상태에서 스텝 S18에서, 제어부(40)가 지지 부재(413)를 하부로 경사시키면, 단재(R)는, 기판 재치부(2a 및 2b)의 상면에 따라서 보다 원활히 미끄러져 떨어진다. 따라서, 단재(R)를 보다 효율적으로 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 제거할 수 있다. 스텝 S18은, 실시 형태에서의 도 7의 스텝 S17에 상당하는 처리이다.

도 11에 나타내는 바와 같이, 스텝 S18에서 단재(R)가 기판 재치부(2a 및 2b)로부터 완전하게 제거된 후, 스텝 S19에서, 기판 재치부(2a 및 2b)는 제어부(40)에 의해 다시 수평 위치에 위치시켜진다. 스텝 S19는, 도 7의 스텝 S18에 상당하는 처리이다.

＜다른 실시 형태＞

(1) 기판 재치부의 분할에 대해

상기의 실시 형태에서는, 기판 재치부(2)가 2개의 부분으로 분할되어 있었지만, 예를 들면, 기판 재치부(2)의 사이즈가 비교적 작은 경우, 기판 재치부(2)의 하부에 스페이스를 확보하기 쉽기 때문에, 기판 재치부(2)를 분할할 필요는 없다. 혹은, 기판 재치부(2)의 사이즈가 큰 경우에도, 기판 재치부(2)의 하부에 기판 재치부(2)를 경사시켰을 때에 받아들일 수 있는 스페이스를 확보할 수 있다면, 기판 재치부(2)를 분할할 필요는 없다.

또, 기판 재치부(2)를 3개 이상의 부분으로 분할하고, 각 부분에 구동 기구(410)를 배치하면 좋다. 이 경우, 구동 기구(410)의 수는, 각 부분이나 기판(F)의 사이즈나 중량에 따라 배치하는 것도 가능하다. 또, 기판 재치부(2)를 분할하는 경우, 어느 비율로 할지는, 기판 재치부(2)의 사이즈나, 기판 반출 장치(1) 전체의 사이즈에 의해서 적절히 변경할 수 있다.

(2) 추의 형상에 대해

상기의 실시 형태에서는, 추(210 및 220)에 샤프트를 이용하고 있고, 외주면의 형상은 원형이었다. 여기서, 추(210 및 220)는, 시트(3)을 슬라이드 접촉하는 것이 가능한 형상이면 좋고, 외주면의 형상은 원형에 한정되지 않는다.

그래서, 추(210 및 220)는, 외주면의 적어도 일부가 외측으로 볼록한 곡면이 되도록 형성될 수 있다. 그러한 형상으로서, 예를 들면, 볼록한 곡면 이외의 부분은, 오목 모양으로 형성되어 있어도 좋고, 직선 모양이라도 좋다. 이러한 형상으로 추(210 및 220)를 형성해도, 시트(3)는, 볼록한 곡면 부분에 슬라이드 접촉하는 것이 가능하다.

본 발명의 실시 형태는, 특허 청구 범위에 나타내어진 기술적 사상의 범위 내에서, 적절히, 여러 가지의 변경이 가능하다.

1 - 기판 반출 장치 2 - 기판 재치부
2a, 2b - 기판 재치부 3 - 시트
4 - 압력 부여부 300 - 반출부
400 - 구동부 410 - 구동 기구
F - 기판 R - 단재

Claims (7)

1. 기판이 재치되는 기판 재치부와,
   상기 기판 재치부를 수평 위치와 상기 수평 위치로부터 하부로 경사진 경사 위치와의 사이에서 이동시키는 구동부와,
   상기 기판을 반출하는 반출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 기판은, 반출 대상과 비(非)반출 대상으로 분할되며,
   상기 반출부에 의해 상기 반출 대상을 반출시킨 후에, 상기 구동부에 의해 상기 기판 재치부를 상기 경사 위치로 경사시켜 상기 기판 재치부로부터 상기 비반출 대상을 낙하시키는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 기판 재치부는, 상기 기판 재치부에 재치된 기판의 하면에 압력을 부여하는 것이 가능하게 구성되고,
   상기 기판 재치부에 재치된 기판의 하면에 압력을 부여하기 위한 압력 부여부를 더 구비하며,
   상기 제어부는, 상기 비반출 대상을 상기 기판 재치부로부터 낙하시킬 때에, 상기 비반출 대상의 하면에 정압(正壓)을 부여하도록, 압력 부여부를 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판 재치부는, 수평 방향으로 복수의 부분으로 분할되고,
   상기 구동부는, 상기 복수의 부분을 각각 상기 수평 위치와 상기 경사 위치와의 사이에서 구동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 기판 재치부는, 상기 수평 방향으로 2개의 부분으로 분할되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 구동부는, 상기 2개의 부분의 경계측의 단부가 하부로 이동하도록 상기 2개의 부분을 경사시켜, 상기 2개의 부분을 상기 경사 위치로 위치시키는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
7. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 구동부는, 상기 기판 재치부를 연직 방향으로 회동 가능하게 지지함과 아울러, 상기 수평 위치와 상기 경사 위치와의 사이에서 상기 기판 재치부를 회동시키는 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반출 장치.
   

Images