CN110027910B - 基板搬出装置 - Google Patents

Abstract

提供能够从至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板多次划分分割单元并从基板载置部顺畅且适当搬出的基板搬出装置。基板搬出装置(1)的特征在于，其具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割成多个分割单元的基板(F)；片材(3)，其覆盖载置在基板载置部(2)上的基板(F)的上表面；片材移送部(100)，其在规定方向上输送片材(3)；以及搬出部(300)，其搬出未被片材(3)覆盖的基板(F)的分割单元。

Description

基板搬出装置

技术领域

本发明涉及用于搬出基板的基板搬出装置。

背景技术

玻璃基板等脆性材料基板在载置在基板载置部上的状态下进行加工和搬运。在以下的专利文献1中公开了在基板的端部位于从基板载置部偏离的区域的情况下也能够吸附基板的基板载置部的结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-193167号公报

发明内容

发明要解决的课题

在基板被分割成多个分割单元的状态下载置在基板载置部上的情况下，能够采用按照规定数量的分割单元从基板载置部搬出基板的结构。该情况下，优选能够顺畅地仅搬出作为搬出对象的分割单元，其余的分割单元停留在规定的位置，以使得在后续的搬出动作时能够顺畅地搬出。

鉴于该课题，本发明的目的在于，提供能够从至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板多次划分分割单元并从基板载置部顺畅且适当搬出的基板搬出装置。

用于解决课题的手段

本发明的方式涉及基板搬出装置。该方式的基板搬出装置构成为具有：基板载置部，其载置有至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板；片材，其覆盖载置在所述基板载置部上的所述基板的上表面；片材移送部，其在所述规定方向上输送所述片材；以及搬出部，其搬出未被所述片材覆盖的所述基板的分割单元。

根据本方式的基板搬出装置，被片材覆盖的基板的分割单元被片材按压，因此，搬出部能够可靠且顺畅地仅搬出未被片材覆盖的基板的分割单元。此时，被片材覆盖的基板的分割单元中不产生偏移，因此，搬出部在后续的搬出动作中能够顺畅且适当地搬出其余的分割单元，例如，能够准确地配置在后续的处理装置的基板载置部上。另外，如果对通过片材移送部送出片材的量进行调整，则能够搬出期望数量的基板的分割单元。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为所述基板载置部具有用于对所载置的所述基板的下表面赋予压力的压力赋予部，在所述搬出部进行搬出动作时，通过所述压力赋予部对所述基板的下表面赋予正压来输送空气。

由此，在搬出动作前基板在吸附状态下载置在基板载置部上的情况下，在搬出动作时，也能够适当地解除基板与基板载置部之间的吸附状态。由此，搬出部能够更加顺畅地搬出未被片材覆盖的基板的分割单元。另外，其余的分割单元被片材覆盖，因此，即使不吸附基板的下表面，另外，即使向基板的下表面输送空气，也抑制了其余的分割单元的位置偏移。由此，在后续的搬出动作中，能够顺畅且适当地搬出其余的分割单元。

需要说明的是，在基板载置部上形成有多个细孔，在压力赋予部对基板输送空气的情况下，空气通过该细孔输送到基板。

在本方式的基板搬出装置中，所述片材移送部具有能够在所述规定方向上移动的搬运辊，所述片材能够沿着所述搬运辊的外周面折返配置。所述片材移送部能够以在所述基板的上表面侧不与所述基板接触的方式使所述搬运辊移动来移送所述片材。

由此，针对搬出对象以外的分割单元，能够使片材的沿着搬运辊的外周面折返的下侧的部分通过该部分的自重覆盖在基板上。由此，能够更加有效地抑制分割单元的位置偏移。

在本方式的基板搬出装置中，能够构成为具有：锤，其对所述片材赋予张力；以及引导辊，其介于所述锤与所述搬运辊之间，将所述片材向所述搬运辊引导。

根据该结构，能够通过利用锤的重力的简单结构顺畅地对片材赋予张力。另外，在使片材移动时对片材赋予张力，因此，能够使片材适当地覆盖在基板表面上，能够防止缩小基板表面的由片材覆盖的区域时的片材的松弛。由此，能够利用片材适当地覆盖搬出对象以外的分割单元整体，能够适当地收纳片材。

在本方式的基板搬出装置中，所述锤能够形成为外周面的至少一部分成为向外侧凸出的曲面。所述片材能够构成为沿着所述锤的外周面折返配置，并且端部被固定为不能移动。

由此，锤的曲面部分与片材滑动接触，并且，该锤通过片材的移动而上下动作。由此，在通过搬运辊的移动来移送片材的期间内，锤能够适当地对片材持续赋予张力。

该情况下，所述锤能够以被引导构件支承为能够在上下方向上移动的状态载置于所述片材的折返位置。根据该结构，能够抑制锤从片材偏移，能够稳定地对片材赋予张力。

发明效果

如上所述，根据本发明，能够提供能够从至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板多次划分分割单元并从基板载置部顺畅且适当搬出的基板搬出装置。

本发明的效果或意义能够通过以下所示的实施方式的说明而更加清楚。但是，以下所示的实施方式只不过是实施本发明时的一个例示，本发明完全不受限于以下实施方式所记载的内容。

附图说明

图1是示出实施方式的基板搬出装置的外观结构的立体图。

图2是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材移送部的结构的立体图。

图3是用于说明实施方式的基板搬出装置的片材引导部的结构的分解立体图。

图4(a)是示出实施方式的基板搬出装置的结构的框图。图4(b)是示出实施方式的基板搬出装置的动作的流程图。

图5(a)～(d)分别是示意地示出实施方式的基板搬出装置的动作的侧视图。

符号说明

1…基板搬出装置

2…基板载置部

3…片材

4…压力赋予部

100…片材移送部

110…搬运辊

130…引导辊

210、220…锤

230a、230b…引导板

231a、232a…槽

231b、232b…槽

240a、240b…引导轨道

250a、250b…引导滑动件

F…基板

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，在各图中，为了简便而附记了相互正交的X轴、Y轴和Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是铅垂方向。Z轴正侧是上方，Z轴负侧是下方。

<实施方式>

玻璃基板和陶瓷基板等脆性材料基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂)基板和聚酰亚胺树脂基板等树脂基板等(以下简称为“基板”。)经由各种处理成为最终产品。作为这种处理，例如存在将基板切断成规定数量的分割单元的处理、去除切断基板时产生的端材的处理、清洗基板的表面的处理等。基板按照每个处理被搬运到规定的工作台，当处理结束后，为了进行下一个处理而被搬出到其他工作台。特别地，本实施方式的基板搬出装置1是用于多次划分并搬出至少在规定方向上被分割成多个分割单元的状态的基板F的装置。需要说明的是，在本实施方式中，规定方向是X轴的正方向，与分割单元的搬出方向一致。

图1是示出实施方式的基板搬出装置1的外观结构的立体图。如图1所示，基板搬出装置1具有基板载置部2、片材3、压力赋予部4、片材移送部100、片材引导部200、搬出部300。

基板载置部2载置有至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板F。这里，规定方向是基板F的搬出方向。另外，基板F也可以在规定方向上进行分割，进而相对于规定方向垂直进行分割。这样分割后的基板F的分割单元成为格状。

基板载置部2例如是具有用于载置作为搬出对象的基板F的平坦面的部件，包含桌子和传送带等。在图1中，相对于基板载置部2从X轴方向的负侧配设有片材引导部200和片材移送部100。这里，图1所示的基板搬出装置1示出要搬运基板F之前的状态，省略了基板F。图1所示的基板搬出装置1的状态是“初始状态”。该初始状态还包含基板F被搬入基板搬出装置1中且载置在基板载置部2上、要搬出基板F的分割单元之前的基板搬出装置1的状态。另外，在基板载置部2上形成有多个细孔，后面说明的压力赋予部4的压力通过该细孔输送到基板F。

在基板中，例如存在聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、PET等聚酯树脂、聚乙烯或聚丙烯等聚烯烃树脂、聚苯乙烯或聚氯乙烯等乙烯聚合物树脂等树脂基板等有机质基板(还包含薄膜和片材。以下相同)、玻璃基板或陶瓷基板等脆性材料基板等无机质基板，但是，本实施方式的基板搬出装置1的搬出对象的基板F是树脂基板。树脂基板可以层叠不同的基板，例如，可以设为从下层起依次层叠了PET、聚酰亚胺树脂、PET的基板。

另外，搬入基板搬出装置1中的基板F处于被分割成多个分割单元的状态。在本实施方式的基板搬出装置1中搬入可能包含切断处理中产生的端材的状态的基板F。这种端材包含沿着基板F的外周产生的端材、分割单元彼此之间产生的端材。

片材3覆盖基板F的上表面。片材3的材质没有特别限定，但是，优选是高分子树脂，具体而言，优选是聚乙烯、聚苯乙烯、PET等。

压力赋予部4包含空压源，设置在基板载置部2的下表面，对基板F的下表面赋予压力。在压力赋予部4对基板F赋予压力时，通过形成在基板载置部2的下表面上的多个微小的孔对基板F的下表面赋予压力。在压力赋予部4对基板F赋予负压时，基板F吸附在基板载置部2上。因此，不容易从基板载置部2分离基板F。由此，抑制了基板F的分割单元的位置偏移。与此相对，在压力赋予部4不对基板F赋予压力的情况下以及赋予正压的情况下，解除基板载置部2相对于基板F的吸附。因此，能够容易地从基板载置部2分离基板F。

片材移送部100向载置在基板载置部2上的基板F的上表面移送片材3。片材引导部200在向片材移送部100送出片材3时以及回收所送出的片材3时，顺畅地移送片材3。

搬出部300搬出未被片材3覆盖的基板F的分割单元。如图1所示，在基板搬出装置1的初始状态下，搬出部300配设在X轴方向的正侧，即相对于基板载置部2配设在上方。另外，基板搬出装置1在基板载置部2的上方，在X轴方向上配设有2个轨道301和302。搬出部300与轨道301和302卡合，构成为能够沿着该轨道301和302在X轴方向上滑动移动。

搬出部300具有能够吸附在基板F上的吸附部310和能够伸缩的管构件320。搬出部300向X轴的负方向移动，以使得吸附部310位于搬出对象的分割单元的正上方。然后，搬出部300移动到规定的位置后，使管构件320延伸，使吸附部310吸附搬出对象的分割单元。搬出部300使管构件320收缩而抬起分割单元。吸附部310可以在Y轴方向上被分割成多个吸附部，各吸附部也可以吸附在Y轴方向上被分割成多个的分割单元。搬出部300在吸附了搬出对象的分割单元的状态下向X轴的正方向移动，在规定的场所载置分割单元。这样，搬出部300按照每个分割单元搬出基板F。

图2是用于说明实施方式的基板搬出装置1的片材移送部100的结构的立体图。图2对应于图1，是示出片材移送部100的初始状态的立体图。

如图1和图2所示，片材移送部100具有搬运辊110、搬运部120、引导辊130。搬运辊110以在基板F的上表面侧不与基板F接触的方式向X轴的正方向和负方向移动。搬运辊110的长度方向上的长度、即Y轴方向的长度比基板载置部2的Y轴方向的长度长。

在搬运辊110中，在Y轴方向的正侧设置有搬运托架111a，在Y轴方向的负侧设置有搬运托架111b。在搬运托架111a上从X轴方向的负侧起依次设置有带轮112a、113a和114a。虽然没有图示，但是，搬运托架111b也同样从X轴方向的负侧起依次设置有带轮112b、113b和114b。另外，在搬运托架111a和111b的下部分别设置有搬运滑动件125a和125b。搬运滑动件125a和125b在后面说明。

搬运部120使搬运辊110移动到基板F的上表面侧。如图1和图2所示，搬运部120在Y轴方向的正侧具有搬运带121a、带轮122a、带轮123a、搬运轨道124a、搬运滑动件125a。

搬运带121a沿着基板载置部2的X轴方向配设，挂在带轮122a和带轮123a上。带轮122a相对于基板载置部2配设在X轴方向的负侧，带轮123a相对于基板载置部2配设在X轴方向的正侧。带轮122a和带轮123a分别固定在固定板5a和6a上，固定板5a和6a固定在基板搬出装置1的框架7a上。另外，搬运带121a以从X轴的正方向起依次与搬运托架111a的带轮112a的下端面、带轮113a的上端面、带轮114a的下端面抵接的方式被挂住。

在搬运带121a的下方，沿着搬运带121a配设有固定在框架7a上的搬运轨道124a。搬运滑动件125a设置在搬运托架111a的下部，以能够在搬运轨道124a上滑动移动的方式安装在搬运轨道124a上。

关于上述结构，如图1和图2所示，Y轴方向的负侧也同样。即，搬运部120在Y轴方向的负侧具有搬运带121b、带轮122b、带轮123b、搬运轨道124b，带轮122b和带轮123b分别固定在固定板5b和6b上，固定板5b和6b固定在基板搬出装置1的框架7b上。搬运滑动件125b设置在搬运托架111b的下部，以能够在搬运轨道124b上滑动移动的方式安装在搬运轨道124b上。另外，带轮122a和带轮122b通过轴126连结。

搬运滑动件125a在从未图示的驱动部赋予驱动力后，在搬运轨道124a上滑动移动。另一方面，搬运滑动件125b也与搬运滑动件125a同样在搬运轨道124b上滑动移动。如上所述，在搬运托架111a的带轮112a、113a和114a上挂着搬运带121a，在搬运托架111b的带轮112b、113b和114b上挂着搬运带121b，因此，搬运辊110能够稳定地在X轴方向上移动。另外，带轮122a和122b通过轴126连结，带轮122a和122b的旋转量一致。由此，搬运滑动件125a和125b的移动速度一致。

图3是用于说明实施方式的基板搬出装置1的片材引导部200的结构的分解立体图。图3对应于图1和图2，是示出片材引导部200的初始状态的立体图。

如图1和图3所示，片材引导部200具有锤210和220、轴260。另外，片材引导部200在Y轴方向的正侧作为引导构件具有引导板230a、引导轨道240a、引导滑动件250a。

锤210在通过片材移送部100移送片材3的期间内对片材3赋予张力。锤210是轴，在Y轴方向的端部210a和210b分别设置有轴211a和211b。在轴211a和211b上还分别设置有突部212a和212b。锤220是与锤210相同的构件，在Y轴方向的端部220a和220b分别设置有轴221a和221b，在轴221a和221b上还分别设置有突部222a和222b。

在引导板230a上，在Z轴方向上形成有相同尺寸的槽231a和232a。槽231a的宽度设定成比锤210的轴部的直径和突部212a的直径小，比轴211a的直径大。在槽231a中嵌入锤210的轴211a，在轴211a的前端安装有突部212a。同样，在槽232a中嵌入锤220的轴221a，在轴221a的前端安装有突部222a。由此，锤210和220能够稳定地上下移动而不从片材3露出。

在引导板230a上沿着槽231a和232a设置有引导轨道240a。在引导轨道240a上安装有能够滑动移动的引导滑动件250a，引导滑动件250a与锤210的突部212a和锤220的突部222a卡合。

基板搬出装置1在Y轴方向的负侧具有与引导板230a成对的引导板230b。引导板230b与引导板230a同样在Z轴方向上形成有相同尺寸的槽231b和232b。在槽231b中嵌入锤210的轴211b，在轴211b的前端安装有突部212b。同样，在槽232b中嵌入锤220的轴221b，在轴221b的前端安装有突部222b。

另外，在引导板230b上沿着槽231b和232b设置有未图示的引导轨道240b。在该引导轨道240b上安装有能够滑动移动的引导滑动件250b。引导滑动件250b与锤210的突部212b和锤220的突部222b卡合。

片材3如下所述放置在基板搬出装置1中。片材3在沿着Y轴方向延伸的端缘部3a通过未图示的片材固定部进行固定。片材3从端缘部3a起向下方延伸，沿着锤210的外周面折返而向上方延伸，沿着轴260的外周面折返而向下方延伸。然后，片材3沿着锤220的外周面折返而向上方延伸，沿着引导辊130的外周面折返。片材3从此处起向X轴的正方向延伸，沿着搬运辊110的外周面折返而向X轴的负方向延伸，片材3的端缘部3b的角部被片材夹持部270a和270b夹持。如图1所示，片材夹持部270a和270b分别固定在框架7a和7b上。这样，片材3配设在基板搬出装置1中。

当搬运辊110向X轴的正方向移动时，引导滑动件250a和250b沿着引导轨道240a和240b向上方滑动移动。在该期间内，片材3与锤210和220的外周面滑动接触并向上方移动。由此，片材3被送出到基板F的上表面侧，通过片材3的自重覆盖基板F的上表面。锤210和220的张力设为跟与片材3和搬运辊110等之间的摩擦力以及片材3的覆盖基板F的部分的自重等平衡的程度的大小。

在使搬运辊110向X轴的负方向移动的情况下，引导滑动件250a和250b在引导轨道240a和240b上向下方滑动移动。在该期间内，片材3与锤210和220滑动接触并向下方移动。由此，送出到基板F的上表面的片材3返回原来的状态即折叠的状态。

图4(a)是示出基板搬出装置1的结构的框图。如图4(a)所示，基板搬出装置1具有图1所示的基板载置部2、压力赋予部4、片材移送部100、片材引导部200、搬出部300，还具有输入部10、检测部20、控制部30。

输入部10受理在一次搬出作业中由搬出部300搬出的基板F的分割单元的数量。检测部20检测搬运辊110的位置。检测部20例如可以是编码器，该情况下，如图2所示，能够在带轮122b上设置伺服马达127。编码器检测伺服马达127的转速，对搬运辊110的位置进行控制。而且，检测部20能够适当检测搬运辊110的位置即可，例如也可以是传感器和摄像装置等。

控制部30包含CPU等运算处理电路和ROM、RAM、硬盘等存储器。控制部30按照存储器中存储的程序对各部进行控制。

图4(b)是示出实施方式的基板搬出装置1的动作的流程图。图4(a)所示的控制部30执行该控制。下面，适当参照图5(a)～(d)对控制部30的控制进行说明。图5(a)～(d)分别是示意地示出基板搬出装置1的动作的侧视图。

图5(a)示出基板搬出装置1的初始状态。即，示出图1中在基板载置部2上载置有基板F的状态。此时，搬出部300在X轴方向的正侧即上方待机，锤210和220分别位于槽231a和232a的最下端。即，突部212a和222a位于槽231a和232a的最下端。另外，压力赋予部4对基板F赋予负压，使基板载置部2和基板F成为吸附状态。图4(b)的流程图中的“开始”设为图5(a)的初始状态。

在初始状态下，控制部30使输入部10受理在一次搬出动作中搬出部300应该搬出的基板F的分割单元的数量。用户能够根据基板F的尺寸和分割单元的尺寸等适当决定该数量。或者，例如，也可以预先使控制部30按照基板的每个种类存储要搬出的分割单元的数量，设定成如果用户在输入部10中输入基板的种类，则控制部30读出要搬出的分割单元的数量。在本实施方式中，如图5(a)～(c)所示，设为最初搬出分割单元A。

搬出动作开始后，如图5(b)所示，控制部30使搬运辊110向X轴的正方向移动，利用片材3覆盖分割单元A以外的部分(S11)。此时，控制部30以使搬运辊110移动的距离使片材引导部200送出片材3。由此，引导滑动件250a在引导轨道240a上向上方滑动移动，锤210和220与片材3滑动接触并上升。

接着，控制部30使搬出部300的吸附部310吸附分割单元A(S12)。在该时点，控制部30使压力赋予部4对基板F赋予负压。由此，吸附部310能够在基板载置部2上顺畅且可靠地吸附整齐排列的状态的分割单元A。然后，控制部30使压力赋予部4对基板F赋予正压(S13)。即，控制部30使压力赋予部4对基板F输送大气压以上的空气。由此，解除基板载置部2与基板F的吸附状态。然后，如图5(c)所示，控制部30使搬出部300搬出分割单元A(S14)。此时，基板F中分割单元A以外的分割单元被片材3覆盖，因此，即使向基板F的下表面送出空气，也不会产生位置偏移。另外，解除了基板载置部2与基板F的吸附状态，因此，分割单元A成为容易从基板载置部2分离的状态。由此，控制部30能够顺畅地使搬出部300搬出分割单元A。

在使搬出部300搬出分割单元A后，控制部30判断是否存在应该搬出的基板F的分割单元(S15)。在存在要搬出的基板F的分割单元的情况下，进入步骤S16。另一方面，在不存在应该搬出的基板F的分割单元、即搬出了全部分割单元的情况下，基板F的搬出结束。

在步骤S15为“否”的情况下，控制部30使压力赋予部4对基板F赋予负压(S16)。由此，基板载置部2和基板F成为吸附状态。

在步骤S16之后，控制部30进行控制，以使得反复进行步骤S11～S16，直到搬出基板F的全部分割单元为止。具体而言，控制部30使搬运辊110向X轴的负方向移动，利用片材3覆盖基板F的分割单元B以外的部分(S11)。此时，锤210和220与片材3滑动接触并下降，片材3以搬运辊110向X轴的负方向移动的长度进行折叠。示出该状态的图是图5(d)。然后，与上述步骤相同。

这样，在基板搬出装置1中，从位于X轴方向的正侧的分割单元起按照规定数量依次搬出基板F。搬出全部基板F的分割单元后，通过规定的处理去除残留在基板载置部2的表面上的端材。控制部30使搬运辊110和搬出部300移动到图5(a)所示的初始状态。然后，新的基板F在被搬入基板搬出装置1中而载置在基板载置部2上之后同样搬出。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，发挥以下效果。

如图5(a)～(d)所示，基板F的分割单元中的搬出对象以外的分割单元被片材3覆盖。即，被片材3覆盖的区域通过片材3的自重被按压。这里，在不存在片材3的状态下搬出基板F的搬出对象的分割单元的情况下，基板F的搬出对象以外的分割单元(在后续的搬出动作中成为搬出对象的分割单元)容易产生位置偏移。基板F在整齐排列的状态下被搬入基板搬出装置1中，但是，当在搬出动作中成为搬出对象的分割单元产生位置偏移时，不容易顺畅地搬出。如果是本实施方式，则搬出对象的分割单元以外的部分被片材3按压，因此，被该片材3覆盖的基板F的分割单元不会产生偏移。因此，搬出部300在后续的搬出动作中能够顺畅且适当地搬出其余的分割单元。

另外，明确得知未被片材3覆盖的分割单元是搬出的对象，因此，搬出部300能够可靠地搬出该分割单元。

如图1所示，基板搬出装置1具有压力赋予部4。由此，当通过压力赋予部4解除针对基板F的负压、或压力赋予部4对基板F赋予正压时，解除基板F与基板载置部2的吸附状态，因此，基板F容易从基板载置部2分离。该情况下，基板F的分割单元容易产生位置偏移。但是，如果是本实施方式，则搬出对象的分割单元以外的部分被片材3覆盖，通过片材3的自重被按压，因此，即使压力赋予部4不对基板F赋予负压、或即使压力赋予部4对基板F赋予正压，被片材3覆盖的分割单元也不会产生位置偏移。由此，搬出部300能够顺畅地搬出作为搬出对象的分割单元，并且，在后续的搬出动作中顺畅且适当地搬出其余的分割单元。

如图1、图3和图5(a)～(d)所示，锤210和220盛放在片材3上，而不是安装在片材3上。这样，通过利用锤210和220的重力的简单结构对片材3赋予适度的张力。由此，能够使片材3通过自重适当地覆盖在基板F的表面上。

另外，锤210和220的外周面成为圆弧状。因此，锤210和220的圆弧状的部分与片材3滑动接触，并且通过片材3的移动而上下动作。由此，在通过搬运辊110的移动来移送片材3的期间内，锤210和220能够适当地对片材3持续赋予张力。需要说明的是，锤210和220也可以通过片材3的移动而旋转并上下动作。

另外，锤210和220构成为通过滑动件在形成于引导板230a和230b上的槽中上下移动。由此，能够抑制锤210和220从片材3偏移，能够稳定地对片材3赋予张力。

片材3的材质例如为聚乙烯，具有柔软性，搬运辊110不与基板F接触。片材3通过自重覆盖基板F，因此，搬运辊110能够覆盖基板F的上表面而不会损伤基板F。

如图5(a)～(d)和图4(b)的步骤S12和S16所示，控制部30结合搬出部300对分割单元的吸附和搬出的时机，使压力赋予部4对基板F赋予正压或负压，或者解除压力的赋予。即，控制部30使压力赋予部4维持或解除基板载置部2与基板F的吸附状态。由此，在基板F的上表面被片材3覆盖的期间内，即使解除基板载置部2与基板F的吸附状态(解除压力的赋予或赋予正压)，基板F的分割单元也不会产生位置偏移。由此，能够顺畅地进行后续的搬出动作。另外，作为未被片材3覆盖的搬出对象的分割单元在被搬出部300的吸附部310吸附而被搬出之前的期间内，也相对于被片材3覆盖的分割单元处于被分割的状态，但是处于一体连接的状态，因此，不会产生位置偏移。由此，搬出部300能够顺畅且可靠地搬出作为搬出对象的分割单元。

<其他实施方式>

在上述实施方式中，在锤210和220中使用轴，外周面的形状为圆形。这里，锤210和220只要是能够与片材3滑动接触的形状即可，外周面的形状不限于圆形。

因此，锤210和220能够形成为外周面的至少一部分成为向外侧凸出的曲面。作为这种形状，例如，凸出的曲面以外的部分可以形成为凹状，也可以是直线状。即使以这种形状形成锤210和220，片材3也能够与凸出的曲面部分滑动接触。

本发明的实施方式能够在权利请求的范围所示的技术思想范围内适当进行各种变更。

Claims (5)

1.一种基板搬出装置，其特征在于，所述基板搬出装置具有：

基板载置部，其载置有至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板；

片材，其覆盖载置在所述基板载置部上的所述基板的上表面；

片材移送部，其在所述规定方向上输送所述片材；以及

搬出部，其搬出未被所述片材覆盖的所述基板的分割单元，

所述片材移送部具有能够在所述规定方向上移动的搬运辊，

所述片材沿着所述搬运辊的外周面折返配置，

所述片材移送部以在所述基板的上表面侧不与所述基板接触的方式使所述搬运辊移动来移送所述片材。

2.根据权利要求1所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板载置部具有用于对所载置的所述基板的下表面赋予压力的压力赋予部，在所述搬出部进行搬出动作时，通过所述压力赋予部对所述基板的下表面赋予正压来输送空气。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述基板搬出装置具有：

锤，其对所述片材赋予张力；以及

引导辊，其介于所述锤与所述搬运辊之间，将所述片材向所述搬运辊引导。

4.根据权利要求3所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述锤的外周面的至少一部分成为向外侧凸出的曲面，

所述片材沿着所述锤的外周面折返配置，并且端部被固定为不能移动。

5.根据权利要求4所述的基板搬出装置，其特征在于，

所述锤以被引导构件支承为能够在上下方向上移动的状态载置于所述片材的折返位置。

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