CN1072332C - 半球形流体轴承 - Google Patents
半球形流体轴承 Download PDFInfo
- Publication number
- CN1072332C CN1072332C CN95113195A CN95113195A CN1072332C CN 1072332 C CN1072332 C CN 1072332C CN 95113195 A CN95113195 A CN 95113195A CN 95113195 A CN95113195 A CN 95113195A CN 1072332 C CN1072332 C CN 1072332C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- inner ring
- film coating
- fluid bearing
- ring
- hemispherical fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims abstract description 27
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 15
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 239000007888 film coating Substances 0.000 claims description 26
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 4
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 abstract 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 abstract 1
- 229910000677 High-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- LCKIEQZJEYYRIY-UHFFFAOYSA-N Titanium ion Chemical compound [Ti+4] LCKIEQZJEYYRIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
提供一种半球流体轴承和制造方法。该半球流体轴承有一对内环,每个内环有球形外润滑表面,它们相互面对地固定于轴上,一个外环有对应于内环润滑表面的润滑表面用于支承内环的旋转。内环之一和该外环有形成在润滑表面的钛或陶瓷的第一薄膜涂层。因此,当电动机起步或停车时由于固体摩擦产生的磨损被有效地减少。
Description
本发明涉及一种轴承,更具体地说,是一种半球形流体轴承。
一般地,流体轴承用于支承高速旋转的物体。传统的接触轴承如球轴承或滚柱轴承在高速运转的情况下会产生剧烈的振动和噪音,并且旋转不稳定。与之相反,流体轴承以非接触的形式高速旋转,很少振动且旋转稳定。因此,流体轴承能应用在必须快速旋转的硬盘驱动器的主轴电动机中,或使用在激光打印机或激光扫描器中的旋转的多表面反射镜驱动电动机中。
图1是传统的半球形轴承的剖视图,它是一个流体轴承。如所示,传统的半球形流体轴承包括一个上内环20和一个下内环30,它们各有一个半球形外表面,它们相互面对面地固定于一个发动机的轴10上;一个固定在一个轴承箱40中的外环50;一个环60,用于保持上内环20和下内环30不从轴10上脱离;一个垫片70,它设置在上内环20和下内环30之间,用于保持在外环50和上内环20之间以及外环50和下内环30之间的间隙。
外环50支承上内环20和下内环30,以便它们能旋。由于在外环50和内环20和30之间用润滑油充填间隙,且在其间产生流体摩擦,上内环20和下内环30可与外环50没接触地旋转。因此,使用这种半球形流体轴承的电动机不会产生振动并且它的旋转是稳定的。
然而,传统的半球形流体轴承显示出一个明显的缺陷,即当电动机起动和停止时会使外环50和内环20和30的接触表面磨损。这就是说,在外环50和上内环20之间,和在外环50和下内环30之间在临界速度或之下产生固体摩擦,这样加速了磨损,结果,使半球形流体轴承的寿命期减少。
本发明的目的是提供一种能有效地减少由固体摩擦引起的磨损的半球形流体轴承。
为了达到上述目的,本发明提供一种半球形流体轴承,包括一对内环,每个内环有一个球形的外润滑表面,它们互相面对地固定于一轴上,还包括一个外环,它有一个相应于所述内环的润滑表面的润滑表面,用于支承所述内环的旋转,其特征为,至少一个所述内环和所述外环有一在其润滑表面上形成的钛的第一薄膜涂层,并且在所述第一薄膜涂层上形成一个金刚石状碳的第二薄膜涂层。在第二薄膜涂层上形成一个预定的槽,它延伸到第一薄膜涂层。第一薄膜涂层是5-20μm,而第二薄膜涂层是5-10μm。
本发明的上述目的和优点通过结合附图对较佳实施例的细节的描述将更为明显,其中:
图1是传统的半球形流体轴承的剖视图;
图2是根据本发明的半球形流体轴承的剖视图;
图3是沿图2的A-A线的剖视图。
参见图2和3,根据本发明的半球形流体轴承包括一个上内环20和一个下内环30,每个内环各有一个半球形表面,它们互相面对面地固定于电动机的轴10上,还有一个固定在一个轴承箱40中的外环50,用于支承上内环20和下内环30,以便它们能旋转,一个用于保持上内环20和下内环30不从轴10脱离的环60,一个垫片70,它设置在上内环20和下内环30之间,用于保持外环50和上内环20之间,以及外环50与下内环30之间的间隙。在此,环60可被强有力地安装或和轴60螺纹结合。
上内环20和下内环30主要由高碳钢或WCo形成且带有5-20μm厚的钛(Ti)薄膜21。类似地,外环50的润滑表面主要由高碳钢或WCo形成且有5-20μm厚的钛薄膜涂层51。薄膜涂层21和51能由陶瓷薄膜涂层替换,例如,Al2O3薄膜涂层。此外,上内环20,下内环30和外环50可以全由陶瓷形成。
薄膜涂层用于减轻外环50和上内环20之间,以及外环50和下内环30之间的磨损,该磨损由电动机起动或停止时即在临界速度或低于该速度时其间的固体磨擦产生的。
另一方面,为了进一步减少由固体摩擦引起的磨损,在上内环20和下内环30的钛薄膜21上涂有5-10μm的金刚石状碳(DLC)涂层。因为DLC薄膜涂层22有与钛薄膜涂层21相似的线性膨胀系数,所以不用担心剥落或间隙变化。另外,前者比后者更耐摩擦,这样更有效地减少了固体摩擦的影响。
在DLC薄膜涂层22上形成有一个槽23,槽23根据DLC薄膜涂层22的厚度可以通过DLC薄膜涂层22到达钛薄膜涂层21。槽23通过在内外环旋转时产生油压或气压提升上内环20和下内环30,使其离开外环50。
另外,可给外环50提供DLC薄膜涂层22和槽23。
下面将详细地描述用于制造上述半球形流体轴承的一个方法的实施例。主要由高碳钢或WCo形成的上内环20和下内环30被机械研磨到有不球度0.15-0.25μm,且它们的球形表面涂有5-20μm厚的钛薄膜。然后,把5-10μm厚的DLC薄膜涂在钛薄膜上。
可将一种钛离子束喷射方法或钛气体沉积方法用于涂覆钛薄膜。钛薄膜可由陶瓷薄膜以同样的方法替换。
外环50的润滑表面涂有5-20μm厚的钛薄膜或陶瓷薄膜。
此后,通过化学腐蚀方法或放电机械方法使槽23形成在DLC薄膜22上。
如上所述,根据本发明的半球形流体轴承能有效地阻止由内环和外环之间的固体摩擦所产生的磨损。因此,它的寿命约是500,000次起-停,而传统的轴承有100,000-200,000次起-停。
Claims (6)
1.一种半球形流体轴承,包括一对内环,每个内环有一个球形的外润滑表面,它们互相面对地固定于一轴上,还包括一个外环,它有一个相应于所述内环的润滑表面的润滑表面,用于支承所述内环的旋转,
其特征为,至少一个所述内环和所述外环有一在其润滑表面上形成的钛的第一薄膜涂层,并且在所述第一薄膜涂层上形成一个金刚石状碳的第二薄膜涂层。
2.如权利要求1所述的半球形流体轴承,其特征为,在所述第二薄膜涂层上形成一个预定的槽。
3.如权利要求2所述的半球形流体轴承,其特征为,所述的槽延伸到所述第一薄膜涂层。
4.如权利要求1所述的半球形流体轴承,其特征为,所述的第一薄膜涂层是5-20μm厚。
5.如权利要求1所述的半球形流体轴承,其特征为,所述的第二薄膜涂层是5-10μm。
6.如权利要求2所述的半球形流体轴承,其特征为,所述的第二薄膜涂层是5-10μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN95113195A CN1072332C (zh) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 半球形流体轴承 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN95113195A CN1072332C (zh) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 半球形流体轴承 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1183516A CN1183516A (zh) | 1998-06-03 |
CN1072332C true CN1072332C (zh) | 2001-10-03 |
Family
ID=5079889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN95113195A Expired - Fee Related CN1072332C (zh) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 半球形流体轴承 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN1072332C (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100189929B1 (ko) * | 1996-07-27 | 1999-06-01 | 윤종용 | 스페이서를 갖는 유체베어링 |
JP4745604B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2011-08-10 | ブラザー工業株式会社 | 摺動部品の製造方法及び摺動部品 |
CN103595205A (zh) * | 2013-10-28 | 2014-02-19 | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 | 双电机拖动整体式半球轴承陀螺电机 |
CN104405769B (zh) * | 2014-11-05 | 2017-08-25 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种带均压环槽的双半球多孔质空气静压轴系 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5296248A (en) * | 1976-02-10 | 1977-08-12 | Murata Machinery Ltd | Yarn cutting apparatus |
DE3733117A1 (de) * | 1986-09-30 | 1988-04-07 | Toshiba Kawasaki Kk | Dynamikdruck-luftlager |
EP0376647A2 (en) * | 1988-12-26 | 1990-07-04 | Wing Highcera Co., Ltd. | Ceramic bearing and the manufacturing method |
-
1995
- 1995-12-28 CN CN95113195A patent/CN1072332C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5296248A (en) * | 1976-02-10 | 1977-08-12 | Murata Machinery Ltd | Yarn cutting apparatus |
DE3733117A1 (de) * | 1986-09-30 | 1988-04-07 | Toshiba Kawasaki Kk | Dynamikdruck-luftlager |
EP0376647A2 (en) * | 1988-12-26 | 1990-07-04 | Wing Highcera Co., Ltd. | Ceramic bearing and the manufacturing method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1183516A (zh) | 1998-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2728202B2 (ja) | 半球型流体ベアリング | |
KR910006195B1 (ko) | 로울러 베어링의 전동체 | |
JP3043294B2 (ja) | 円錐型流体ベアリング及びこれを具備したヘッドドラム並びにスピンドルモータ | |
US20080261708A1 (en) | Fdb motor with tapered shaft for improved pumping efficiency | |
CN1072332C (zh) | 半球形流体轴承 | |
KR200145217Y1 (ko) | 공기 동압 베어링 | |
JP2013092175A (ja) | ころ軸受およびその製造方法 | |
WO1996019678A1 (fr) | Bille pour roulements a billes | |
CN1061420C (zh) | 具有保持器的液压轴承 | |
JP3017068B2 (ja) | 回転多面鏡駆動モーター | |
KR200156684Y1 (ko) | 공기 동압 베어링 | |
JPS6357914A (ja) | 動圧グル−ブ軸受及びその製造方法 | |
KR19990009291A (ko) | 반구 베어링 장치 | |
JP2001214936A (ja) | 空気力学または流体力学軸受を作り出す方法および該方法により作られた軸受 | |
JP4539861B2 (ja) | タッチダウン軸受 | |
KR20020076505A (ko) | 하이브리드형 공기 베어링을 사용한 로울러 | |
JPH04277315A (ja) | 複合型流体軸受装置 | |
JPH08296649A (ja) | 軸受け装置 | |
JPH04140509A (ja) | 動圧流体軸受 | |
JPS6319620Y2 (zh) | ||
JPH06307437A (ja) | 動圧気体軸受装置 | |
JPH11275807A (ja) | スピンドルモータ | |
JPH03186608A (ja) | 動圧気体軸受 | |
JPH04231718A (ja) | 複合型流体軸受装置 | |
JP2003166524A (ja) | 動圧軸受装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20011003 Termination date: 20101228 |