JP3017068B2 - 回転多面鏡駆動モーター - Google Patents
回転多面鏡駆動モーターInfo
- Publication number
- JP3017068B2 JP3017068B2 JP34189795A JP34189795A JP3017068B2 JP 3017068 B2 JP3017068 B2 JP 3017068B2 JP 34189795 A JP34189795 A JP 34189795A JP 34189795 A JP34189795 A JP 34189795A JP 3017068 B2 JP3017068 B2 JP 3017068B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating film
- bearing
- inner ring
- rotor
- polygon mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 23
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 23
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910000677 High-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCKIEQZJEYYRIY-UHFFFAOYSA-N Titanium ion Chemical compound [Ti+4] LCKIEQZJEYYRIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Printer (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Description
ターに係り、特にレーザープリンタ及びレーザースキャ
ナーでレーザーの光経路を変化させるために回転多面鏡
を駆動させる回転多面鏡駆動モーターに関する。
ために、レーザープリンタ及びレーザースキャナーのよ
うな光情報処理装置が開発されている。大量の情報を高
速で印刷またはスキャニングしようとするこのような光
情報処理装置は図1に示されたように、集光性の優秀な
レーザー1と、高速ビーム偏向機2と、回転多面鏡3及
び回転多面鏡駆動モーター4とを含んで構成されてい
る。
ベアリングの概略的な断面図である。図2に示すよう
に、モーターの回転子41に固定された軸30とベアリ
ングハウジング10との間には2個のボールベアリング
40が上部及び下部にそれぞれ設置されている。図2
中、参照符号11はベアリングカバーを示す。このよう
なボールベアリング40が設置された駆動モーターは低
速で駆動されるプリンタまたはスキャナーでは印刷及び
スキャニングに深刻な影響を及ぼさない。しかし、高速
で駆動されるプリンタまたはスキャナーでは印刷及びス
キャニングに深刻な影響を及ぼす。即ち、回転多面鏡3
を20,000RPM以上高速回転させ印刷及びスキャ
ニングを遂行する場合、接触式ベアリングであるボール
ベアリング40を使うと振動及び騒音が発生されるから
である。
の問題点を解決するために案出されたものであり、レー
ザープリンタ及びレーザースキャナーのような光情報処
理装置が高速で印刷及びスキャニングを遂行する時振動
と騒音を効果的に減少させることができるようにベアリ
ングの構造が改善された回転多面鏡駆動モーターを提供
するにその目的がある。
めに本発明による回転多面鏡駆動モーターは固定子及び
回転子と、前記回転子と固定子との間に設置され前記回
転子の回転を支持するベアリングを具備した回転多面鏡
駆動モーターにおいて、前記ベアリングが半球形流体ベ
アリングであることを特徴とする。
回転子に固定された軸にお互いに対面するように挟まれ
る半球形の上部内輪及び下部内輪と、前記固定子に収納
され前記上部内輪及び下部内輪の回転を支持する外輪を
具備することを特徴とする。そして、前記内輪及び外輪
のうち、少なくともいずれか1つの潤滑面にチタニウム
またはセラミックでなっている第1コーティング膜の形
成されることを特徴とする。
ていることを特徴とする。そして、前記第1コーティン
グ膜の上にDLCでなっている第2コーティング膜がも
っと形成されることを特徴とする。このように、本発明
による回転多面鏡駆動モーターは半球形流体ベアリング
を用いてレーザープリンタまたはレーザースキャナーが
高速で印刷及びスキャニングを遂行する時振動と騒音を
効果的に減少させることができる。
よる回転多面鏡駆動モーターは従来の回転多面鏡駆動モ
ーターと同様に図1に示されたように、回転多面鏡3を
回転させる回転子41と、回転子41の回りに設置され
回転子41が回転するように回転子41と電気的に相互
作用する固定子12と、回転子41に挿入されているモ
ーター軸30と、モーター軸30に設置されモーター軸
30を回転支持するベアリング50と、ベアリング50
を内蔵するベアリングハウジング10を含む。ここで、
上記ベアリングは従来のボールベアリングとは異なり半
球形流体ベアリングという点が本発明の特徴である。
形であり、軸30にお互いに対面するように固定された
上部内輪51及び下部内輪52と、ベアリングハウジン
グ10に固定され内輪51,52が回転するように支持
する外輪54と、上部内輪51と下部内輪52の間に挿
入され上部内輪51及び下部内輪52が外輪54とのク
リアランスを維持させるスペーサ53と、上部内輪51
及び下部内輪52をモーター軸30に圧着させるリング
55とでなっている。ここで、リング55はモーター軸
30と、要するに、むりやりに嵌合または螺合できる。
図3で、参照番号12はベアリング50が軸方向に押さ
れることを防止するためのハウジングあごを示す。
を主成分とし作られた上、下部内輪51,52には5μ
m〜10μmの厚さのチタニウム膜21がコーティング
されている。同様に、高炭素鋼またはWCoを主成分と
する外輪54の潤滑面には5μm〜20μmの厚さのチ
タニウム膜21’がコーティングされている。上、下部
内輪51,52と外輪54の潤滑面にはチタニウムコー
ティング膜21と21’の代わりにセラミック、要する
に、Al2 O3 よりなるコーティング膜が形成されるこ
ともできる。そして、上、下部内輪51,52と外輪5
4はセラミック材質よりなることができる。
または停止の時即ち、臨界速度の以下で上、下部内輪5
1,52と外輪54との間の固体摩擦により上、下部内
輪51,52及び外輪54が磨耗されることを緩和させ
る役割をする。一方、上、下部内輪51,52と外輪5
4との間の固体摩擦による前記磨耗をさらに減少させる
ために上、下部内輪51,52にコーティングされたチ
タニウムコーティング膜21の上に厚さ5μm〜10μ
mのDLC(Dimond Like Carbon)
膜22がコーティングされている。前記DLCコーティ
ング膜22はチタニウムコーティング膜21との線膨張
係数が類似し剥離問題とかクリアランス変化の問題を惹
起しないばかりでなく、チタニウムコーティング膜21
より磨耗に強いので固体摩擦の影響をより効果的に減ら
すことができる。
成されている。溝23は必要ならDLCコーティング膜
22の厚さによりDLCコーティング膜22を通りチタ
ニウムコーティング膜21まで延長できる。この溝23
は上、下部内輪51,52が回転される時オイルまたは
空気圧を発生させ上、下部内輪51,52を外輪54か
ら浮き上らせる機能をする。
23は外輪54に備えられる。以下、前述した本発明に
よる回転多面鏡駆動モーターに設置された半球形流体ベ
アリングの製造方法の1実施例を詳細に説明する。高炭
素鋼又はWCoを主成分とし作られた上、下部内輪5
1,52を真球度が0.15μm〜0.25μmとなる
ようにラッピングし、その周面に5μm〜20μm厚さ
のチタニウム膜をコーティングする。そしてチタニウム
コーティング膜の上に5μm〜10μmの厚さのDLC
膜をコーティングする。
ニウムイオンビームを走射する方法またはチタニウムガ
スを蒸着する方法が使われることができる。このような
方法を用いてチタニウム膜の代わりにセラミック膜をコ
ーティングすることができる。同じ方法で、外輪54の
潤滑面にも5μm〜20μm厚さのチタニウムまたはセ
ラミック膜がコーティングされる。
が形成される。溝23の形成は溝を形成する部分を化学
的に腐蝕する方法または電気放電加工の方法により遂行
できる。このような半球形流体ベアリングを駆動モータ
ーに組み立てる工程は次の通りである。第一に、上部内
輪51をモーター軸30に、要するに、焼きばめにより
スリップが発生しないようにモーター軸30に固定す
る。次にスペーサ53を軸30に挿入した後、外輪54
を、要するに、焼きばめによりベアリングハウジング1
0の内に挿入する。そして下部内輪52をモーター軸3
0に同じ方式で挿入しモーター軸30に固定させる。続
いて、リング55をモーター軸30に無理矢理に嵌合し
たり螺合させる。
駆動モーターによるとレーザープリンタ及びレーザース
キャナーが高速で印刷及びスキャニングを遂行する時振
動及び騒音が効果的に減少できる。
図である。
を示した断面図である。
ング部を示した断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 固定子及び回転子と、前記回転子と固定
子との間に設置され前記回転子の回転を支持するベアリ
ングを具備したモーターにおいて、 前記ベアリングは、前記回転子に固定された軸の下端側
にお互いに対面するように挟まれた半球形の上部内輪及
び下部内輪と、前記固定子のベアリングハウジング内に
固定してあり、前記上部内輪及び下部内輪の回転を支持
する外輪とよりなり、 前記外輪はセラミック材質であり、 前記内輪及び外輪のうち、少なくともいずれか1つの潤
滑面に、厚さが5μm〜20μmでありチタニウムまた
はセラミックでなっている第1コーティング膜が形成し
てあり、且つ、前記第1コーティング膜の上に厚さが5
μm〜20μmでありDLCでなっている第2コーティ
ング膜がさらに形成してあり、且つ、前記第2コーティ
ング膜を所定のパターンで上記第1コーティング膜が露
出するまで除去して形成され、上記第2コーティング膜
の厚さに対応する深さを有する所定の溝を有する構成と
した半球形流体ベアリングであることを特徴とするモー
ター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34189795A JP3017068B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 回転多面鏡駆動モーター |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34189795A JP3017068B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 回転多面鏡駆動モーター |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09189876A JPH09189876A (ja) | 1997-07-22 |
JP3017068B2 true JP3017068B2 (ja) | 2000-03-06 |
Family
ID=18349596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34189795A Expired - Fee Related JP3017068B2 (ja) | 1995-12-27 | 1995-12-27 | 回転多面鏡駆動モーター |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3017068B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100513708B1 (ko) * | 1997-10-29 | 2005-12-21 | 삼성전기주식회사 | 회전체지지용공기동압베어링구조체 |
JP2000213533A (ja) * | 1999-01-27 | 2000-08-02 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 動圧軸受装置及びそれを用いたモ―タ |
CN102094899A (zh) * | 2011-02-14 | 2011-06-15 | 李记东 | 一种可低、中、高速旋转空气轴承 |
-
1995
- 1995-12-27 JP JP34189795A patent/JP3017068B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH09189876A (ja) | 1997-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0918170B1 (en) | Dynamic pressure pneumatic bearing structure and optical deflection scanner employing the structure | |
JP2728202B2 (ja) | 半球型流体ベアリング | |
US5538347A (en) | Dynamic pressure bearing | |
JP3017068B2 (ja) | 回転多面鏡駆動モーター | |
US5631761A (en) | Drive motor for rotating multi-faceted mirror | |
KR200145217Y1 (ko) | 공기 동압 베어링 | |
US5532729A (en) | Scanner motor with ceramic sleeve bearing | |
JP3574266B2 (ja) | 小型モータの軸支承構造 | |
EP0780716B1 (en) | Drive motor for rotating multi-faceted mirror | |
JP2746830B2 (ja) | 動圧空気軸受装置およびその動圧発生用溝の作製方法 | |
JP2954903B2 (ja) | スぺーサを有する流体軸受 | |
JPH09126229A (ja) | 動圧軸受、光偏向装置および記録装置 | |
JP2578765B2 (ja) | 動圧型流体軸受式スキヤナ−ユニツト | |
CN1072332C (zh) | 半球形流体轴承 | |
KR200156684Y1 (ko) | 공기 동압 베어링 | |
KR100218952B1 (ko) | 반구형 베어링 | |
KR100224811B1 (ko) | 반구형 유체 베어링 및 그 제조방법 | |
JP3647489B2 (ja) | ポリゴンモータ | |
JPS58224305A (ja) | 回転鏡鏡面の製作方法 | |
JP2974514B2 (ja) | 走査光学装置 | |
JPH0722123U (ja) | 動圧空気軸受 | |
JPH11125243A (ja) | 動圧軸受装置および光偏向装置 | |
JP3087482B2 (ja) | 回転多面鏡駆動装置 | |
JPH11132224A (ja) | 動圧軸受装置および光偏向装置 | |
JP3282307B2 (ja) | 回転駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071224 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081224 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101224 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101224 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111224 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111224 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121224 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121224 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 14 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |