CN105202309B - 管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 - Google Patents
管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105202309B CN105202309B CN201410289595.7A CN201410289595A CN105202309B CN 105202309 B CN105202309 B CN 105202309B CN 201410289595 A CN201410289595 A CN 201410289595A CN 105202309 B CN105202309 B CN 105202309B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipeline
- rotating shaft
- vapor deposition
- chemical vapor
- plasma chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims abstract description 80
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 31
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 12
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 4
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 31
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 26
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 239000000047 product Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
本发明涉及管道搅拌技术领域，公开了一种管道搅拌装置及一种等离子体化学气相淀积设备。所述管道搅拌装置包括：电机；转轴，穿设于所述管道的接口，所述转轴的一端具有沿管道轴向设置的搅拌件；联轴器，将所述电机的输出轴与所述转轴的另一端联接；套接于所述转轴的密封器，所述密封器密封所述转轴和所述管道的接口之间的间隙。本发明提供的管道搅拌装置能够减少粉尘在管道中堆积，进而减少堵塞管道对产品质量的影响。
Description
技术领域
本发明涉及管道搅拌技术领域，特别是涉及一种管道搅拌装置及一种等离子体化学气相淀积设备。
背景技术
等离子体化学气相淀积(Plasma Chemical Vapor Deposition，简称PCVD)是一种用等离子体激活反应气体，促进在基体表面或近表面空间进行化学反应，生成固态膜的技术。等离子体化学气相淀积技术的基本原理是在高频或直流电场作用下，源气体电离形成等离子体，利用低温等离子体作为能量源，通入适量的反应气体，利用等离子体放电，使反应气体激活并实现化学气相沉积的技术。
如图1所示，图1为现有技术等离子体化学气相淀积设备的结构示意图，以应用材料(APPLIED MATERIALS)公司型号为precision5000的等离子体化学气相淀积设备为例，该等离子体化学气相淀积设备包括反应腔室10、真空泵11和尾气处理装置12，以及连通反应腔室10和真空泵11的第一管道21，连通真空泵11和尾气处理装置12的第二管道22。在该设备中，真空泵11对设备内抽真空，反应气体在反应腔室10反应后产生的副产物(包括大量粉尘)由真空泵11抽出，再经由尾气处理装置12处理后排放至大气。当使用等离子体化学气相淀积设备对氮化硅产品进行等离子体化学气相淀积时，会产生大量的粉尘，由于第一管道21和第二管道22的管径较小，且管道长度无法缩短，这些粉尘会堆积在第一管道21和第二管道22的内壁上，特别是具有直角弯管的第一管道21，粉尘易堆积在直角弯管处，经过一段时间后会使管道内径变小，甚至堵塞管道导致工艺异常或工艺中断影响产品质量，并且易延误试验的进程。另外，管道一旦堵塞，还需要更换管道，导致设备的维护成本较高。
发明内容
本发明提供了一种管道搅拌装置及一种等离子体化学气相淀积设备，用以减少粉尘在管道中堆积，进而减少堵塞管道对产品质量的影响。
本发明实施例首先提供一种管道搅拌装置，所述管道搅拌装置包括：
电机；
转轴，穿设于所述管道的接口，所述转轴的一端具有沿管道轴向设置的搅拌件；
联轴器，将所述电机的输出轴与所述转轴的另一端联接；
套接于所述转轴的密封器，所述密封器密封所述转轴和所述管道的接口之间的间隙。
本发明的管道搅拌装置可适用于粉尘易堆积的管道，管道内可以是真空的，也可以是非真空的，特别适用于等离子体化学气相淀积设备中的管道，在本发明技术方案中，通过电机的输出轴带动具有搅拌件的转轴转动，通过搅拌件的旋转可以将管道内的粉尘扬起，使得粉尘具有流动性，防止粉尘堆积进而堵塞管道，进而避免堵塞管道或压力异常引起产品异常的问题，也避免因堵塞管道影响试验进程。另外，由于采用了密封器，可防止管道接口与转轴之间漏气，因此在设备使用中就可以对设备的管道进行疏通。本发明的管道搅拌装置可以防止管道堵塞，减少管道维护次数，延长了管道的使用寿命，降低了更换管道的成本，提高了设备的利用率。本发明的技术方案采用机械电动装置，提高了疏通效率。此外，本发明的管道搅拌装置结构简单，制作成本低，操作简单，且使用安全、方便。
密封器的结构形式有多种，优选的，所述密封器包括套接于所述转轴的密封套，以及夹持所述密封套的法兰。
密封套与转轴套接，转轴可在密封套内旋转，法兰夹持于密封套，法兰和密封套形成对转轴与管道的接口之间间隙的密封。
为了更有效地防止管道外气体流入管道内，所述密封器还包括设置于所述密封套和所述转轴之间的O型密封圈、骨架型橡胶密封圈或真空转轴磁流体密封装置，以及设置于所述密封套和所述法兰之间的O型密封圈。
优选的，所述法兰为快卸法兰。
法兰的形式有多种，采用快卸法兰，提高了法兰拆装的便携性，提高了管道搅拌装置安装的便携性。
优选的，所述管道搅拌装置，还包括套设于所述联轴器的固定支架，所述电机和所述密封套固定于所述固定支架。
为了使上述管道搅拌装置形成一体，在管道搅拌装置上设置固定支架，形成密封套与电机的固定连接，并且，该固定支架还可以固定于需要进行搅拌的管道的附近位置上，进而提高管道搅拌装置安装的便利性。
优选的，所述搅拌件为弹簧或圆形钢丝刷。
搅拌件易选用可弯曲的搅拌件，例如弹簧、钢丝刷等，这些搅拌件可以在管道内沿管道轴向延伸，特别适合搅拌弯管处的粉尘，防止最易堆积粉尘的弯管处堆积粉尘，大大提高管道的使用寿命。
搅拌件的横截面积不能太大或太小，太大会影响管道内的压力，太小则对粉尘的搅拌效果较差，优选的，所述弹簧或圆形钢丝刷的横截面积不大于所述管道横截面积的三分之一。
优选的，所述联轴器为柔性联轴器。
联轴器的类型可选多种，例如刚性联轴器、柔性联轴器等，由于柔性联轴器独特的结构，可以补偿角向，径向和轴向的偏差，可以可靠地传递转矩和运动，因此，本发明优选采用柔性联轴器。
本发明实施例还提供一种等离子体化学气相淀积设备，包括反应腔室、真空泵、尾气处理装置，连通所述反应腔室和所述真空泵的第一管道以及连通所述尾气处理装置和所述真空泵的第二管道，还包括所述第一管道和所述第二管道至少其中一个上，设置有至少一个上述任一种管道搅拌装置。
在本发明等离子体化学气相淀积设备中增加了上述任一种管道搅拌装置，由于该管道搅拌装置管道的搅拌作用，可以减少第一通道和/或第二通道内粉尘的堆积，进而减少堵塞管道对产品质量的影响。
附图说明
图1为现有技术等离子体化学气相淀积设备的结构示意图；
图2为本发明一实施例管道搅拌装置的结构示意图；
图3a为本发明一实施例管道搅拌装置的立体结构示意图；
图3b为图3a所示的管道搅拌装置的主视结构示意图；
图3c为图3a所示的管道搅拌装置的俯视结构示意图；
图3d为图3a所示的管道搅拌装置的仰视结构示意图；
图3e为图3b所示的管道搅拌装置的沿A-A线的截面结构示意图；
图4a为本发明一实施例管道搅拌装置的固定支架与密封器装配结构示意图；
图4b为图4a所示的固定支架与密封器装配的主视结构示意图；
图4c为图4a所示的固定支架与密封器装配的俯视结构示意图；
图4d为图4b所示的固定支架与密封器装配的沿B-B线的截面结构示意图；
图5为本发明一实施例管道搅拌装置的快卸法兰立体结构示意图；
图6为本发明一实施例管道搅拌装置的弹簧立体结构示意图；
图7为本发明一实施例管道搅拌装置的柔性联轴器的结构示意图；
图8为本发明一实施例管道搅拌装置的电机立体结构示意图；
图9为本发明一实施例等离子体化学气相淀积设备的结构示意图。
附图标记：
1-电机 2-转轴 3-联轴器 4-密封器 5-固定支架 10-反应腔室11-真空泵 12-尾气处理装置 20-搅拌件 21-第一管道22-第二管道 41-密封套 42-骨架型橡胶密封圈 43-法兰44-O型密封圈 50-管道
具体实施方式
为了减少粉尘在管道中堆积，进而减少堵塞管道对产品质量的影响，本发明实施例提供了一种管道搅拌装置及一种等离子体化学气相淀积设备。在该技术方案中，通过电机的输出轴带动具有搅拌件的转轴转动，通过搅拌件的旋转可以将管道内的粉尘扬起，使得粉尘具有流动性，防止粉尘堆积进而堵塞管道，进而避免堵塞管道引起产品异常的问题，也避免因堵塞管道影响试验进程。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
本发明实施例首先提供一种管道搅拌装置，如图2所示，图2为本发明一实施例管道搅拌装置的结构示意图，所述管道搅拌装置包括：
电机1；
转轴2，穿设于管道50的接口，转轴2的一端具有沿管道50轴向设置的搅拌件20；
联轴器3，将电机1的输出轴与转轴2的另一端联接；
套接于转轴2的密封器4，密封器4密封转轴2和管道50的接口之间的间隙。
本发明的管道搅拌装置可适用于粉尘易堆积的管道，管道内可以是真空的，也可以是非真空的，特别适用于等离子体化学气相淀积设备中的管道，在本发明技术方案中，通过电机1的输出轴带动具有搅拌件20的转轴2转动，通过搅拌件20的旋转可以将管道内的粉尘扬起，使得粉尘具有流动性，防止粉尘堆积进而堵塞管道50，进而避免堵塞管道引起产品异常的问题，也避免因堵塞管道影响试验进程。另外，由于采用了密封器4，可防止管道50的接口与转轴2之间漏气，因此在设备使用中就可以对设备的管道进行疏通。本发明的管道搅拌装置可以防止管道堵塞，减少管道维护次数，延长了管道的使用寿命，降低了更换管道的成本，提高了设备的利用率。本发明的技术方案采用机械电动装置，提高了疏通效率。此外，本发明的管道搅拌装置结构简单，制作成本低，操作简单，且使用安全、方便。
请继续参照图2所示，该管道搅拌装置也可以不采用电机1，可以采用手动驱动的方式，定期手动驱动搅拌件20进行搅拌，将管道内壁上的粉尘扫去，防止粉尘堆积造成管道堵塞。
如图3a至图3e所示，图3a为本发明一实施例管道搅拌装置的立体结构示意图，图3b为图3a所示的管道搅拌装置的主视结构示意图，图3c为图3a所示的管道搅拌装置的俯视结构示意图，图3d为图3a所示的管道搅拌装置的仰视结构示意图，图3e为图3b所示的管道搅拌装置的沿A-A线的截面结构示意图，密封器的结构形式有多种，优选的，密封器包括套接于转轴2的密封套41，以及夹持密封套41的法兰43。
密封套41与转轴2套接，转轴2可在密封套41内旋转，法兰43夹持于密封套41，法兰43和密封套41形成对转轴2与管道的接口之间间隙的密封。
为了更有效地防止管道外气体流入管道内，请继续参照图3e所示，所述密封器还包括设置于密封套41和转轴2之间的O型密封圈、骨架型橡胶密封圈42或真空转轴磁流体密封装置，以及设置于密封套41和法兰43之间的O型密封圈44。
请继续参照图3a至图3e所示，优选的，所述法兰44为快卸法兰。
法兰44的形式有多种，如图5所示，图5为本发明一实施例管道搅拌装置的快卸法兰立体结构示意图，采用快卸法兰，提高了法兰拆装的便携性，提高了管道搅拌装置安装的便携性。
请继续参照图3a至图3e所示，优选的，所述管道搅拌装置，还包括套设于联轴器3的固定支架5，电机1和密封套41固定于固定支架5。
为了使上述管道搅拌装置形成一体，在管道搅拌装置上设置固定支架5，形成密封套41与电机1的固定连接，并且，该固定支架5还可以固定于需要进行搅拌的管道的附近位置上，进而提高管道搅拌装置安装的便利性。为了进一步清晰展示密封器和固定支架结构，如图4a至图4d所示，图4a为本发明一实施例管道搅拌装置的固定支架与密封器装配结构示意图，图4b为图4a所示的固定支架与密封器装配的主视结构示意图，图4c为图4a所示的固定支架与密封器装配的俯视结构示意图，图4d为图4b所示的固定支架与密封器装配的沿B-B线的截面结构示意图。
请继续参照图3a至图3e所示，优选的，所述搅拌件20为弹簧或圆形钢丝刷。
搅拌件20易选用可弯曲的搅拌件，例如弹簧、可自由弯曲的圆形钢丝刷、可弯曲的长条形非字钢丝毛刷等，如图6所示，图6为本发明一实施例管道搅拌装置的弹簧立体结构示意图，这些搅拌件可以在管道内沿管道轴向延伸，特别适合搅拌弯管处的粉尘，防止最易堆积粉尘的弯管处堆积粉尘，大大提高管道的使用寿命。弹簧可以采用多段弹簧组合形成，可自由组合成不同长度，适应不同长度管道的搅拌。
搅拌件20的横截面积不能太大或太小，太大会影响管道内的压力，太小则对粉尘的搅拌效果较差，以等离子体化学气相淀积设备为例，一般以不影响真空泵的抽速为标准，优选的，所述弹簧或圆形钢丝刷的横截面积不大于所述管道横截面积的三分之一。
如图7所示，图7为本发明一实施例管道搅拌装置的柔性联轴器的结构示意图，优选的，所述联轴器为柔性联轴器。
联轴器的类型可选多种，例如刚性联轴器、柔性联轴器等，由于柔性联轴器独特的结构，可以补偿角向，径向和轴向的偏差，可以可靠地传递转矩和运动，因此，本发明优选采用柔性联轴器。
如图8所示，图8为本发明一实施例管道搅拌装置的电机立体结构示意图，通过电机的输出轴旋转带动搅拌件旋转，进而对管道内的粉尘进行搅拌。
本发明实施例还提供一种等离子体化学气相淀积设备，如图9所示，图9为本发明一实施例等离子体化学气相淀积设备的结构示意图，所述等离子体化学气相淀积设备包括反应腔室10、真空泵11、尾气处理装置12，连通反应腔室10和真空泵11的第一管道21以及连通尾气处理装置12和真空泵11的第二管道22，还包括第一管道21和第二管道22上的至少其中一个上，设置有上述任一种管道搅拌装置。
图9中第一管道21和第二管道22上分别设置有一个上述任一种管道搅拌装置，当然可以根据需要，仅在第一管道21上设置，或在第一管道21上设置两个，或分别在第一管道21和第二管道22上设置两个，在本发明等离子体化学气相淀积设备中增加了上述任一种管道搅拌装置，由于该管道搅拌装置管道的搅拌作用，可以减少第一管道21和/或第二管道22内粉尘的堆积，进而减少堵塞管道或压力异常对产品质量的影响。另外，为了适应等离子体化学气相淀积设备内的环境，搅拌件要求耐温、耐腐蚀且柔性好可自由弯曲。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (4)
1.一种等离子体化学气相淀积设备，包括反应腔室、真空泵、尾气处理装置，连通所述反应腔室和所述真空泵的第一管道以及连通所述尾气处理装置和所述真空泵的第二管道，其特征在于，还包括所述第一管道和所述第二管道中的至少其中一个上，设置有至少一个管道搅拌装置；
所述管道搅拌装置包括：
电机；
转轴，穿设于所述管道的接口，所述转轴的一端具有沿管道轴向设置的搅拌件；
联轴器，将所述电机的输出轴与所述转轴的另一端联接；
套接于所述转轴的密封器，所述密封器密封所述转轴和所述管道的接口之间的间隙；
所述密封器包括套接于所述转轴的密封套，以及夹持所述密封套的法兰；
还包括套设于所述联轴器的固定支架，所述电机和所述密封套固定于所述固定支架；
所述搅拌件为弹簧或圆形钢丝刷，所述弹簧或圆形钢丝刷的横截面积不大于所述管道横截面积的三分之一。
2.如权利要求1所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述密封器还包括设置于所述密封套和所述转轴之间的O型密封圈、骨架型橡胶密封圈或真空转轴磁流体密封装置，以及设置于所述密封套和所述法兰之间的O型密封圈。
3.如权利要求1所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述法兰为快卸法兰。
4.如权利要求1～3任一项所述的一种等离子体化学气相淀积设备，其特征在于，所述联轴器为柔性联轴器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410289595.7A CN105202309B (zh) | 2014-06-24 | 2014-06-24 | 管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410289595.7A CN105202309B (zh) | 2014-06-24 | 2014-06-24 | 管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105202309A CN105202309A (zh) | 2015-12-30 |
| CN105202309B true CN105202309B (zh) | 2017-09-26 |
Family
ID=54950143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410289595.7A Active CN105202309B (zh) | 2014-06-24 | 2014-06-24 | 管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105202309B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106641567A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-05-10 | 无锡金顶石油管材配件制造有限公司 | 一种带有搅拌功能的石油管道 |
| CN109621763A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-04-16 | 江苏协鑫软控设备科技发展有限公司 | 搅拌装置及晶体生长设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4014912A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Manfred Prof Dr Ing Weber | Hilfseinrichtung fuer pneumatische und hydraulische forderung von feststoffen in rohren |
| CN1924086A (zh) * | 2006-09-22 | 2007-03-07 | 西安工业大学 | 液体输送金属有机物化学汽相沉积设备 |
| CN103243341A (zh) * | 2013-04-23 | 2013-08-14 | 湖北诺邦化学有限公司 | 一种搅拌式氟化电解槽 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005003620A1 (de) * | 2005-01-26 | 2006-08-03 | Lanxess Deutschland Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur pneumatischen Förderung von schwerfließendem Schüttgut |
| CN201391476Y (zh) * | 2008-10-16 | 2010-01-27 | 郑薇 | 叶轮式高压气力输送泵的磨损自动补偿密封及自气化装置 |
| CN102061457B (zh) * | 2010-10-28 | 2012-10-31 | 理想能源设备(上海)有限公司 | 气相反应装置 |
| CN202647062U (zh) * | 2012-07-10 | 2013-01-02 | 南京凯盛国际工程有限公司 | 一种三通含尘气体管道防积灰装置 |
-
2014
- 2014-06-24 CN CN201410289595.7A patent/CN105202309B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4014912A1 (de) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Manfred Prof Dr Ing Weber | Hilfseinrichtung fuer pneumatische und hydraulische forderung von feststoffen in rohren |
| CN1924086A (zh) * | 2006-09-22 | 2007-03-07 | 西安工业大学 | 液体输送金属有机物化学汽相沉积设备 |
| CN103243341A (zh) * | 2013-04-23 | 2013-08-14 | 湖北诺邦化学有限公司 | 一种搅拌式氟化电解槽 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105202309A (zh) | 2015-12-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105202309B (zh) | 管道搅拌装置及等离子体化学气相淀积设备 | |
| CN204412719U (zh) | 一种裂解气输送管道清理装置 | |
| CN107931275A (zh) | 一种金属管体的内部清洗装置 | |
| CN102836833A (zh) | 清洁装置 | |
| CN106621901A (zh) | 一种泥浆处理药剂添加管道混合器 | |
| CN107984363A (zh) | 一种外接式金属管体除锈清污设备 | |
| CN103038515A (zh) | 一个具挠性轴的泵送装置 | |
| CN106744631B (zh) | 一种移动式加热鹤管 | |
| CN203725447U (zh) | 一种多功能清管器 | |
| CN106629568B (zh) | 一种槽罐车凝结稠油加热鹤管垂臂机构 | |
| CN105935678B (zh) | 一种管道清洗装置 | |
| CN209180106U (zh) | 一种新型密封性高易清洁水泵 | |
| CN104676146B (zh) | 一种快速拆卸粉料输送管 | |
| CN204663901U (zh) | 一种光热发电高温高压熔盐泵 | |
| CN112355810B (zh) | 一种圆形金属管开槽机及开槽方法 | |
| CN203515601U (zh) | 一种隧道被复布料机 | |
| CN209439144U (zh) | 一种化工管道清理器 | |
| JP5752830B1 (ja) | 小型ポンプ | |
| CN209876293U (zh) | 弯折管路防堵塞结构 | |
| CN208662028U (zh) | 一种frpp管道内腔清洗装置中的行走机构 | |
| CN217775054U (zh) | 一种管件内腔清洁设备 | |
| CN208758254U (zh) | 一种frpp管内清洗装置中的清洗单元 | |
| CN104747491A (zh) | 一种具有密封组件的卫生泵 | |
| CN109899324A (zh) | 一种耐高温液下泵 | |
| CN202845389U (zh) | 一种钢丝加强型液压胶管的清洗装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220718 Address after: 518116 founder Microelectronics Industrial Park, No. 5, Baolong seventh Road, Baolong Industrial City, Longgang District, Shenzhen, Guangdong Province Patentee after: SHENZHEN FOUNDER MICROELECTRONICS Co.,Ltd. Address before: 100871, Beijing, Haidian District Cheng Fu Road 298, founder building, 5 floor Patentee before: PEKING UNIVERSITY FOUNDER GROUP Co.,Ltd. Patentee before: SHENZHEN FOUNDER MICROELECTRONICS Co.,Ltd. |