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WO2018101232A1 - 接触端子、検査治具、及び検査装置 - Google Patents

接触端子、検査治具、及び検査装置 Download PDF

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Publication number
WO2018101232A1
WO2018101232A1 PCT/JP2017/042508 JP2017042508W WO2018101232A1 WO 2018101232 A1 WO2018101232 A1 WO 2018101232A1 JP 2017042508 W JP2017042508 W JP 2017042508W WO 2018101232 A1 WO2018101232 A1 WO 2018101232A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
rod
cylindrical body
shaped main
inspection
main body
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/042508
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
憲宏 太田
Original Assignee
日本電産リード株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電産リード株式会社 filed Critical 日本電産リード株式会社
Priority to US16/464,718 priority Critical patent/US10656179B2/en
Priority to JP2018528807A priority patent/JP6432017B2/ja
Priority to EP17875451.1A priority patent/EP3550310B1/en
Priority to CN201780073901.5A priority patent/CN110036300B/zh
Priority to KR1020197015582A priority patent/KR101996789B1/ko
Priority to SG11201903814UA priority patent/SG11201903814UA/en
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    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks

Definitions

  • the present invention relates to a contact terminal used for inspection of an inspection object, an inspection jig for bringing the contact terminal into contact with the inspection object, and an inspection apparatus including the inspection jig.
  • a contact terminal for an inspection apparatus in which a columnar center conductor (rod-shaped member) is inserted into a cylindrical body (cylindrical member) having a spring portion formed at an intermediate position, and an inspection treatment using the contact terminal.
  • a tool is known (see, for example, Patent Document 1).
  • This contact terminal is fixed by welding or caulking the center conductor near the tip of the cylindrical body with the end of the central conductor protruding from the cylindrical body.
  • one end portion of the cylindrical body is brought into contact with the electrode portion according to the elastic restoring force of the spring portion.
  • the other end portion of the center conductor is biased toward the inspection target, so that the contact state of the contact terminal with respect to the electrode portion and the inspection target is stabilized.
  • the above-described inspection jig is provided with a large number of ultra-small contact terminals, and the center conductor (small-diameter conductive portion) constituting the contact terminal is a cylindrical body having a spring portion (large-diameter cylindrical portion). ) To be fixed by welding or caulking. However, since this adhering operation is extremely complicated, it has been difficult to properly manufacture the contact terminals. Further, there is a problem that it is difficult to set the contact pressure of the contact terminal with respect to the electrode and the inspection target to an appropriate value.
  • An object of the present invention is to provide a contact terminal, an inspection jig, and an inspection apparatus that are easy to manufacture properly and that can easily set the contact pressure of the contact terminal to an electrode and an inspection object to an appropriate value. That is.
  • a contact terminal includes a cylindrical body formed in a cylindrical shape from a conductive material, and a central conductor formed in a rod shape from a conductive material.
  • a spring portion having a rod-shaped main body that is inserted through the tube-shaped body, the tube-shaped body being formed by providing a spiral groove along a circumferential surface of the tube-shaped body; and the rod-shaped body A holding portion that is externally fitted to the base end portion of the main body and holds the holding portion, and the holding portion extends in an axial direction of the cylindrical body from the end portion of the spiral groove that constitutes the spring portion. It consists of a peripheral wall partly divided in the circumferential direction of the cylindrical body by an extending slit.
  • a contact terminal includes a cylindrical body formed in a cylindrical shape from a conductive material, and a central conductor formed in a rod shape from a conductive material, and the central conductor is A first central conductor having a first rod-shaped main body inserted on one end side of the cylindrical body, and a second central conductor having a second rod-shaped main body inserted on the other end side of the cylindrical body.
  • a first holding portion that holds the proximal end portion of the first rod-shaped main body on one end side thereof, and a proximal end of the second rod-shaped main body on the other end portion side of the cylindrical body.
  • a second holding part for holding the part, a first spring part connected to the first holding part, a second spring part connected to the second holding part, A cylindrical connecting portion for connecting the second spring portions to each other, and the first and second central conductors are arranged so that the front ends of the first and second rod-shaped main bodies are in front of each other. While it is inserted to the connection portion of the tubular body, so that the tip end faces of both the rod-shaped body is kept in a state of being opposed at a gap, the first, the total length of the second rod-like body is set.
  • an inspection jig includes the above-described contact terminal and a support member that supports the contact terminal.
  • an inspection apparatus is configured to inspect the inspection object based on the above-described inspection jig and an electrical signal obtained by bringing the contact terminal into contact with an inspection point provided on the inspection object. And an inspection processing unit to be performed.
  • FIG. 1 It is a perspective view showing roughly the composition of the substrate inspection device provided with the contact terminal and inspection jig concerning one embodiment of the present invention. It is a perspective view which shows another example of the test
  • FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 3 showing a state in which a base plate is attached to the support member.
  • FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 3 showing an inspection state in which a probe is pressed against an inspection object.
  • FIG. 5 is a diagram corresponding to FIG. 4 illustrating an example of a configuration of a probe according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a view corresponding to FIG.
  • FIG. 5 illustrating an example of the configuration of the probe according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a view corresponding to FIG. 7 illustrating an example of the configuration of the probe according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 equivalent view which shows an example of a structure of the inspection jig which concerns on 3rd embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram schematically showing a configuration of a substrate inspection apparatus 1 including a contact terminal and an inspection jig according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate inspection apparatus 1 corresponds to an example of an inspection apparatus.
  • a substrate inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus for inspecting a circuit pattern formed on a substrate 101 which is an example of an inspection object.
  • the substrate 101 may be various substrates such as a printed circuit board, a flexible substrate, a ceramic multilayer circuit board, an electrode plate for a liquid crystal display or a plasma display, a semiconductor substrate, a package substrate for a semiconductor package, or a film carrier.
  • the inspection target is not limited to the substrate, but may be an electronic component such as a semiconductor element (IC: Integrated Circuit), for example, and may be any other target for electrical inspection.
  • the substrate inspection apparatus 1 shown in FIG. 1 includes inspection units 4U and 4D, a substrate fixing device 6, and an inspection processing unit 8.
  • the substrate fixing device 6 is configured to fix the substrate 101 to be inspected at a predetermined position.
  • the inspection units 4U and 4D include inspection jigs 3U and 3D and a drive mechanism (not shown).
  • the inspection jigs 3U and 3D are supported by an unillustrated drive mechanism so as to be movable in three axial directions of X, Y, and Z that are orthogonal to each other, and supported so as to be rotatable about the Z axis.
  • the inspection unit 4U is located above the substrate 101 fixed to the substrate fixing device 6.
  • the inspection unit 4D is located below the substrate 101 fixed to the substrate fixing device 6.
  • Inspection jigs 3U and 3D for inspecting circuit patterns formed on the substrate 101 are detachably disposed in the inspection units 4U and 4D.
  • the inspection units 4U and 4D include connectors (not shown) that are detachably connected to the inspection jigs 3U and 3D, respectively.
  • the inspection units 4U and 4D are collectively referred to as an inspection unit 4.
  • the inspection jigs 3U and 3D each include a plurality of probes Pr (contact terminals), a support member 31 that supports the plurality of probes Pr, and a base plate 321.
  • the probe Pr corresponds to an example of a contact terminal.
  • the base plate 321 is provided with an electrode to be described later that is in contact with one end of each probe Pr and is conductive.
  • the inspection units 4U and 4D have connection circuits (not shown) that electrically connect the rear ends of the probes Pr to the inspection processing unit 8 or switch the connection through the electrodes provided on the base plate 321. I have.
  • the probe Pr has a substantially rod-like shape as a whole, and details of its specific configuration will be described later.
  • the support member 31 has a plurality of through holes that support the probe Pr. Each through hole is arranged so as to correspond to the position of the inspection point set on the wiring pattern of the substrate 101 to be inspected.
  • the support member 31 is configured such that one end portion of each probe Pr is in contact with the inspection point of the substrate 101.
  • the plurality of probes Pr are arranged so as to correspond to the intersection positions of the lattice.
  • the direction corresponding to the bars of the lattice is directed so as to coincide with the X-axis direction and the Y-axis direction orthogonal to each other.
  • the point to be inspected includes, for example, a wiring pattern, a solder bump, a connection terminal, and the like.
  • the inspection jigs 3U and 3D are configured in the same manner except that the arrangement of the probes Pr is different and the mounting direction to the inspection units 4U and 4D is upside down.
  • the inspection jigs 3U and 3D are collectively referred to as an inspection jig 3.
  • the inspection jig 3 is configured to be replaceable according to the type of the substrate 101 to be inspected.
  • the inspection processing unit 8 includes, for example, a power supply circuit, a voltmeter, an ammeter, a microcomputer, and the like.
  • the inspection processing unit 8 controls the driving mechanism (not shown) to move and position the inspection units 4U and 4D, and brings each probe Pr into contact with each inspection point of the substrate 101. Thereby, each to-be-inspected point and the test
  • the inspection processing unit 8 supplies an inspection current or voltage to each inspection point of the substrate 101 via each probe Pr of the inspection jig 3, and the voltage signal or current obtained from each probe Pr. Based on the signal, for example, inspection of the substrate 101 such as disconnection or short circuit of the circuit pattern is performed.
  • the inspection processing unit 8 may measure the impedance to be inspected based on the voltage signal or current signal obtained from each probe Pr by supplying an alternating current or voltage to each inspection point. Good.
  • FIG. 2 is a perspective view showing another example of the inspection unit 4 provided in the substrate inspection apparatus 1 shown in FIG.
  • the inspection unit 4a shown in FIG. 2 is configured by incorporating an inspection jig 3 into a so-called IC socket 35.
  • the inspection unit 4 a does not include a drive mechanism like the inspection unit 4, and is configured such that the probe Pr contacts an IC pin, bump, electrode, or the like attached to the IC socket 35.
  • the inspection unit 4a instead of the inspection units 4U and 4D shown in FIG. 1, it is possible to configure the inspection object as, for example, a semiconductor element (IC) and configure the inspection apparatus as an IC inspection apparatus.
  • IC semiconductor element
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing an example of the configuration of the inspection jig 3 including the support member 31 and the base plate 321 shown in FIG.
  • the support member 31 shown in FIG. 3 is configured, for example, by laminating plate-like support plates 31a, 31b, and 31c.
  • a support plate 31 a located on the upper side in FIG. 3 is disposed on the front end side of the support member 31, and a support plate 31 c located on the lower side in FIG. 3 is disposed on the rear end side of the support member 31.
  • a plurality of through holes are formed so as to penetrate the support plates 31a, 31b, 31c.
  • the support plates 31a and 31b are formed with insertion hole portions Ha each having an opening hole with a predetermined diameter.
  • the support plate 31c is formed with a through hole made of a narrow portion Hb having a diameter smaller than that of the insertion hole portion Ha.
  • a small-diameter portion Ha1 having a hole diameter smaller than the insertion hole portion Ha is located at a portion of the upper support plate 31a that is located on the surface facing the substrate 101 to be inspected, that is, the front end side portion of the support member 31. Is formed.
  • the through hole is formed by communicating the small-diameter portion Ha1 and the insertion hole portion Ha of the support plate 31a, the insertion hole portion Ha of the support plate 31b, and the narrow portion Hb of the support plate 31c.
  • the support member 31 is not limited to an example in which the plate-like support plates 31a, 31b, and 31c are stacked.
  • the support member 31 is an integral member that has a small diameter portion Ha1, an insertion hole portion Ha, and a narrow portion Hb. It is good also as a structure provided with the hole. Further, the narrow narrow portion Hb and the small diameter portion Ha1 may be omitted, and the entire through hole may be an insertion hole portion Ha having a predetermined diameter.
  • a configuration in which the support plate 31a and the support plate 31b are separated from each other for example, may be connected by a column or the like.
  • a base plate 321 made of, for example, an insulating resin material is attached to the rear end side of the support plate 31c.
  • the base plate 321 closes the rear end opening of the through hole, that is, the rear end surface of the narrow portion Hb.
  • a wiring 34 is attached to the base plate 321 so as to penetrate the base plate 321 at a position facing the rear end side opening of the through hole.
  • the front surface of the base plate 321 facing the support plate 31c and the end surface of the wiring 34 are set to be flush with each other.
  • An end face of the wiring 34 is an electrode 34a.
  • the probe Pr that is inserted into and attached to each through hole of the support member 31 has a cylindrical body Pa that is formed into a cylindrical shape from a conductive material, and a rod that is formed into a rod shape from a conductive material. Center conductors Pb and Pc are provided.
  • FIG. 4 is a plan view showing a specific configuration of the probe
  • FIG. 5 is an explanatory view showing the probe Pr disassembled into a cylindrical body Pa, a first center conductor Pb, and a second center conductor Pc.
  • the cylindrical body Pa can be formed using, for example, a nickel or nickel alloy tube having an outer diameter of about 25 to 300 ⁇ m and an inner diameter of about 10 to 250 ⁇ m.
  • the cylindrical body Pa can have an outer diameter of about 120 ⁇ m, an inner diameter of about 100 ⁇ m, and a total length of about 1700 ⁇ m.
  • a plating layer such as gold plating may be applied to the inner periphery of the cylindrical body Pa, and the peripheral surface of the cylindrical body Pa may be insulated and coated as necessary.
  • first and second spring portions Pe1 and Pe2 made of a spiral body extending in a spiral shape are configured.
  • the cylindrical body Pa can be expanded and contracted in the axial direction by compressing and deforming the first and second spring portions Pe1 and Pe2.
  • 1st, 2nd spring part Pe1, Pe2 which consists of a spiral body by etching the surrounding wall of the cylindrical body Pa, for example, and forming 1st, 2nd spiral groove Pg1, Pg2.
  • the first and second spring portions Pe1 and Pe2 can also be provided by forming the first and second spiral grooves Pg1 and Pg2 on the peripheral wall of the cylindrical body Pa by electroforming, for example.
  • the connecting portion Pf is constituted by a peripheral wall portion of the cylindrical body Pa remaining by providing the cylindrical body Pa with the non-formed portions of the first and second spiral grooves Pg1, Pg2.
  • the connection part Pf is formed in the center part of the cylindrical body Pa over predetermined length.
  • a portion of the first holding portion Pd1 is formed by a first slit Ph1 extending from the end of the first spiral groove Pg1 toward one end of the cylindrical body Pa and substantially parallel to the axial direction of the cylindrical body Pa. It is comprised by the surrounding wall of the cylindrical body Pa divided.
  • the second holding portion Pd2 is formed by a second slit Ph2 extending from the end portion of the second spiral groove Pg2 toward the other end portion side of the cylindrical body Pa and substantially parallel to the axial direction of the cylindrical body Pa. It is comprised by the surrounding wall where a part of cylindrical body Pa was divided.
  • the first and second holding portions Pd1 and Pd2 have a point-symmetric shape centered on an intermediate point in the length direction of the cylindrical body Pa. Therefore, only the specific structure of the second holding part Pd2 will be described below, and the description of the specific structure of the first holding part Pd1 will be omitted.
  • FIG. 6A to 6C show a specific configuration of the second holding portion Pd2 provided at the end of the cylindrical body Pa.
  • FIG. 6A is an enlarged plan view of an end portion of the cylindrical body Pa
  • FIG. 6B is an end view of the second holding portion Pd2 as viewed from below in FIG. 6A.
  • FIG. 6C is a plan view showing a state in which the second holding part Pd2 is developed.
  • the developed shape of the second holding portion Pd2 includes a tip surface Pd21 corresponding to one side of the second slit Ph2, and an inclined surface Pd22 corresponding to one side of the second spiral groove Pg2.
  • this trapezoidal body has a structure that is curved in an arc shape, so that a C-shaped retaining ring-shaped second holding portion Pd2 having a part of a predetermined width is partly cylindrical. It is comprised by the surrounding wall of Pa.
  • the first center conductor Pb is configured to be insertable into the cylindrical body Pa by setting the outer diameter to be slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical body Pa.
  • the first rod-like main body Pb1 is set so that its entire length is longer than the formation range of the first spring portion Pe1 of the cylindrical body Pa. Thereby, when the first rod-shaped main body Pb1 is inserted into the cylindrical body Pa and the first central conductor Pb is assembled, the tip of the first rod-shaped main body Pb1 is inserted into the connecting portion Pf of the cylindrical body Pa. It is comprised so that it may be in a state.
  • the press-fit portion Pb2 of the first rod-shaped main body Pb1 has an outer diameter larger than the inner diameter of the first holding portion Pd1 of the tubular body Pa when the first rod-shaped main body Pb1 is not inserted into the tubular body Pa. Is set. As a result, when the first rod-like main body Pb1 is inserted into the cylindrical body Pa and the first central conductor Pb is assembled, the press-fit portion Pb2 expands and displaces the first holding portion Pd1, thereby causing the first holding. It is press-fitted into the holding part Pd1.
  • the press-fit part Pb2 of the first rod-shaped main body Pb1 is held by the first holding part Pd1 in a state where the first holding part Pd1 is crimped to the peripheral surface of the press-fit part Pb2, the first center conductor Pb Is maintained in the cylindrical body Pa.
  • the outer diameter of the flange portion Pb3 of the first rod-shaped main body Pb1 is set larger than the inner diameter of the cylindrical body Pa and larger than the press-fit portion Pb2.
  • the first rod-shaped main body Pb1 is configured so that the probe Pr can be supported by the support member 31 in a state where the cylindrical body Pa of the probe Pr is inserted into the insertion hole Ha of the support member 31.
  • the flange portion Pb3 has an outer diameter smaller than the inner diameter of the insertion hole Ha. Furthermore, when the outer diameter of the flange portion Pb3 is set larger than the inner diameter of the small diameter portion Ha1 formed on the support plate 31a, the first central conductor Pb is supported when the probe Pr is supported by the support member 31. It is prevented from falling off from the support member 31.
  • the connecting portion Pb4 of the first central conductor Pb is configured to be able to be inserted into the small diameter portion Ha1 by setting the outer diameter to be smaller than the inner diameter of the small diameter portion Ha1 formed in the support plate 31a. Further, with the probe Pr supported by the support member 31, the entire length of the connection portion Pb4 is such that the end of the connection portion Pb4 protrudes outward from the small diameter portion Ha1 of the support plate 31a. However, it is set larger than the length of the small diameter part Ha1.
  • a tapered portion Pb5 having a tapered shape is formed at the end of the connection portion Pb4 so that the tip surface of the Pb5 comes into contact with a point to be inspected (bump BP) when inspecting the substrate 101 or the like described later. It has become.
  • the second central conductor Pc includes the second rod-shaped main body Pc1, the press-fit portion Pc2, and the flange portion Pc3 having the same configuration as the first rod-shaped main body Pb1, the press-fit portion Pb2, and the flange portion Pb3 of the first center conductor Pb. have.
  • the front end surface of the connection part Pc4 provided in a row with the flange part Pc3 is configured to come into contact with an electrode 34a provided on the base plate 321 at the time of inspection to be described later.
  • connection portion Pc4 is inserted into the narrow portion Hb because its outer diameter is smaller than the inner diameter of the narrow portion Hb formed on the support plate 31c. Further, with the probe Pr supported by the support member 31, the entire length of the connection portion Pc4 is such that the end of the connection portion Pc4 protrudes outward from the narrow portion Hb of the support plate 31c. Is set larger than the thickness of the support plate 31c. Furthermore, the front end surface of the connection part Pc4 is formed substantially flat.
  • the second rod-shaped main body Pc1 of the second central conductor Pc is set to have a length that is longer than the formation range of the second spring portion Pe2 of the cylindrical body Pa.
  • first and second center conductors Pb and Pc are assembled to the cylindrical body Pa, as shown in FIG. 4, between the front end surface of the first bar-shaped main body Pb1 and the front end surface of the second bar-shaped main body Pc1.
  • the overall lengths of the first rod-shaped main body Pb1 and the second rod-shaped main body Pc1 are set so that a predetermined gap KG is formed.
  • the first rod shape The total length of the first rod-shaped main body Pb1 and the second rod-shaped main body Pc1 is set so that the distal end surface of the main body Pb1 and the distal end surface of the second rod-shaped main body Pc1 are maintained apart from each other.
  • the length of the main body of the probe Pr that is inserted and supported in the insertion holes Ha and Ha formed in the support plates 31a and 31b that is, the total length of the cylindrical body Pa, and the first and second center conductors Pb and Pc.
  • the length ⁇ obtained by adding the plate thicknesses of the flange portions Pb3 and Pc3 is a value obtained by adding the total length of the insertion hole portion Ha formed in the support plate 31a and the total length of the insertion hole portion Ha formed in the support plate 31b. It is preferable to set a value equal to the insertion hole length ⁇ .
  • the cylindrical body has a length corresponding to the difference dimension ( ⁇ ) between them. It is necessary to attach the probe Pr to the support member 31 in a state where the first and second spring portions Pe1 and Pe2 of Pa are compressed and deformed. In this configuration, there is an advantage that the probe Pr can be prevented from being scattered and the probe Pr can be stably held in the insertion holes Ha and Ha of the support plates 31a and 31b, but the probe Pr is attached to the support member 31. There is a drawback that the work becomes complicated.
  • the body portion length ⁇ of the probe Pr is smaller than the insertion hole length ⁇ of the support plates 31a and 31b, the first and second spring portions Pe1 and Pe2 of the cylindrical body Pa are compressed and deformed.
  • the probe Pr can be easily attached to the support member 31 without making it.
  • the lengths of the body Pr of the probe Pr and the insertion hole length ⁇ of the support plates 31a and 31b are set to be equal to each other, the length of the probe Pr with respect to the support member 31 is set. In the state where the probe Pr is attached to the support member 31, it is possible to prevent the probe Pr from becoming uneven.
  • FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of the inspection jig 3, and shows a state where the base plate 321 is attached to the support plate 31 c of the support member 31.
  • connection portion Pc4 of the second central conductor Pc slightly protrudes from the support plate 31c as shown in FIG.
  • the rear end portion of the second central conductor Pc that is, the front end surface of the connection portion Pc 4 is the base plate 321. In contact with the electrode 34 a and pressed against the front end portion side of the support member 31.
  • the first spring portion Pe1 and the second spring portion Pe2 of the cylindrical body Pa are compressed and elastically deformed, so that the connection portion Pc4 resists the urging force of the first and second spring portions Pe1 and Pe2.
  • the protruding portion is pushed into the support member 31.
  • the rear end portion of the probe Pr that is, the rear end surface of the connection portion Pc4 is pressed against the electrode 34a according to the urging force of the first and second spring portions Pe1 and Pe2, so that the rear end portion of the probe Pr
  • the electrode 34a is maintained in a stable conductive contact state.
  • the front end surface of the connecting portion Pc4 is formed to be substantially flat and the electrode 34a is also formed to be substantially flat, when the two are brought into pressure contact, the flat surfaces come into contact with each other. As a result, the contact area between them increases, and the contact resistance between the electrode 34a and the probe Pr is reduced.
  • the rear end surface of the connecting portion Pc4 is not necessarily limited to a flat shape, and may be, for example, a crown shape, a hemispherical shape, a conical shape or a truncated cone shape, and various shapes. can do.
  • FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an inspection state in which the front end portion of the probe Pr is pressed against the bump BP of the substrate 101 to be inspected.
  • connection portion Pb4 of the one central conductor Pb comes into contact with the bump BP of the substrate 101 and is pressed toward the rear end portion side of the support member 31.
  • the first spring portion Pe1 and the second spring portion Pe2 of the cylindrical body Pa are further compressed and elastically deformed, thereby resisting the biasing force of the first and second spring portions Pe1 and Pe2.
  • the protruding portion of the portion Pb4 is pushed into the rear end portion side of the support member 31.
  • the front end portion of the probe Pr that is, the front end surface of the connection portion Pb4 is pressed against the bump BP of the substrate 101, and the front end portion of the probe Pr
  • the inspected point (bump BP) of the substrate 101 is held in a stable conductive contact state.
  • the first and second center conductors Pb and Pc formed in a cylindrical shape with a cylindrical body Pa formed of a conductive material and a rod-shaped material with a conductive material are provided.
  • the second central conductors Pb and Pc have first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1 inserted through the cylindrical body Pa, and the cylindrical body Pa extends along the circumferential surface of the cylindrical body Pa.
  • the first and second spring portions Pe1 and Pe2 formed of a spiral body formed by providing the first and second spiral grooves Pg1 and Pg2, and the base end portions of the first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1
  • the first and second holding parts Pd1 and Pd2 that are fitted and hold the first and second holding parts Pd1 and Pd2 are provided, and the first and second holding parts Pd1 and Pd2 are provided at the end of the cylindrical body Pa.
  • the probe Pr (contact terminal) used for the inspection of the substrate 101 and the like can be manufactured easily and appropriately, and the contact pressure of the probe Pr with respect to the inspection point of the substrate 101 and the electrode 34a of the wiring 34 is set to an appropriate value. be able to.
  • the slit Ph1 is expanded and displaced, thereby the first holding portion Pd1 of the cylindrical body Pa.
  • the press-fit portion Pb2 of the first center conductor Pb can be easily press-fitted into the first holding portion Pd1.
  • the 1st holding part Pd1 can be crimped
  • the second holding of the cylindrical body Pa is achieved by expanding the slit Ph2.
  • the portion Pd2 can be elastically deformed, and the press-fit portion Pc2 of the second center conductor Pc can be easily press-fitted into the second holding portion Pd2.
  • the 2nd holding part Pd2 can be crimped
  • the press-fit portions Pb2 and Pc2 provided at the base end portions of the first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1 are omitted, and the first and second holding portions Pd1 and Pd2 of the cylindrical body Pa are used as the first and second It is also possible to adopt a configuration in which the base end portions of the two-bar shaped main bodies Pb1 and Pc1 are directly held.
  • the outer diameters of the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 are set smaller than the inner diameters of the first and second holding portions Pd1 and Pd2 of the cylindrical body Pa as described above,
  • the first and second center conductors Pb and Pc can be easily assembled by smoothly inserting the second rod-like main bodies Pb1 and Pc1 into the cylindrical body Pa.
  • the press-fit portions Pb2 and Pc2 having outer diameters larger than the inner diameters of the first and second holding portions Pd1 and Pd2 in a state where the first rod-shaped main body Pb1 is not inserted into the cylindrical body Pa
  • the first and second holding portions Pd1 and Pd2 of the cylindrical body Pa are crimped to the peripheral surfaces of the press-fit portions Pb2 and Pc2.
  • the press-fit portions Pb2 and Pc2 can be stably held by the first and second holding portions Pd1 and Pd2.
  • the flange portions Pb3 and Pc3 of the first and second central conductors Pb and Pc can be omitted.
  • the first and second rod-like main bodies Pb1 are provided.
  • Pc1 is inserted into the cylindrical body Pa and the first and second center conductors Pb, Pc can be positioned by the flanges Pb3, Pc3 when the first and second center conductors Pb, Pc are assembled. The assembling work can be easily performed.
  • the first slit Ph1 constituting the first holding part Pd1 is connected to the end of the first spiral groove Pg1 constituting the first spring part Pe1, and the axial direction of the cylindrical body Pa
  • the second slit Ph2 constituting the second holding part Pd2 is connected to the end of the second spiral groove Pg2 constituting the second spring part Pe2, and the shaft of the cylindrical body Pa is formed.
  • first and second slits Ph1 and Ph2 are replaced with the first and second slits Ph1 and Ph2 instead of the above-described first embodiment in which the first and second slits Ph1 and Ph2 extend substantially parallel to the axial direction of the cylindrical body Pa.
  • the shape may be inclined at a predetermined angle with the axial direction of Pa.
  • the second central conductor Pc having the two-rod body Pc1 is provided and the first and second holding portions Pd1, Pd2 are provided at both ends of the cylindrical body Pa.
  • a structure in which a single central conductor and a single holding portion are provided may be employed.
  • the first center conductor Pb and the second center conductor Pc are formed separately, and the first and second housings provided at both ends of the cylindrical body Pa.
  • the holding portions Pd1 and Pd2 are configured to hold the base ends of the first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1, respectively, the first and second are compared with the case where a single central conductor is provided.
  • the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 constituting the central conductors Pb and Pc are formed to have short overall lengths, so that the first and second central conductors Pb and Pb, The work of assembling Pc can be facilitated.
  • first spring portion Pe1 connected to the first holding portion Pd1, the second spring portion Pe2 connected to the second holding portion Pd2, and the first and second spring portions thereof.
  • Cylindrical connecting portions Pf that connect Pe1 and Pe2 to each other are provided in the cylindrical body Pa, and the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 of the first central conductors Pb and Pc are respectively connected to the distal ends thereof.
  • the first and second center conductors Pb and Pc are connected in parallel to the first and second spring portions Pe1 and Pe2.
  • the current flowing through the probe Pr has a coil shape, a large inductance, and a long current path. Therefore, the current flowing through the probe Pr is difficult to flow through the first and second spring portions Pe1, Pe2 having a large resistance value. Since the path is short, it tends to flow to the first and second center conductors Pb and Pc having a small resistance value.
  • the current flowing through the first and second spring portions Pe1 and Pe2 having a large inductance and resistance value can be reduced when inspecting the substrate 101 and the like using the probe Pr, so the first and second spring portions Pe1. , Pe2 can be suppressed from increasing, and the inspection accuracy using the probe Pr can be effectively improved.
  • the connecting portion Pf may be omitted, and a spring portion made of a spiral body may be provided on substantially the entire cylindrical body Pa excluding the installation portions of the first and second holding portions Pd1 and Pd2.
  • a spring portion made of a spiral body may be provided on substantially the entire cylindrical body Pa excluding the installation portions of the first and second holding portions Pd1 and Pd2.
  • the tip portions of the first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1 are positioned in the connecting portion Pf, respectively, and the first and second rod-like main bodies are connected to the connecting portion Pf.
  • the tip portions of Pb1 and Pc1 are configured to contact each other, the first center conductor is reduced while reducing the current flowing through the first and second spring portions Pe1 and Pe2 during the inspection of the substrate 101 and the like using the probe Pr.
  • Pb and the second central conductor Pc can be electrically connected. As a result, it is possible to reduce the increase in impedance and the generation of eddy currents in the first and second spring portions Pe1, Pe2.
  • the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 are arranged so that the tip portion reaches the connecting portion Pf of the cylindrical body Pa. Since the overall length is set, the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 can reinforce substantially the entire cylindrical body Pa, and thus there is an advantage that the mechanical strength of the probe Pr can be improved.
  • the tip surfaces of the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 are in contact with each other. If it contacts, the compression deformation of 1st, 2nd spring part Pe1, Pe2 will be inhibited at that time. Therefore, even when the first and second spring portions Pe1 and Pe2 are compressed and deformed during the inspection of the substrate 101 and the like using the probe Pr, the distance between the tip surfaces of the first and second rod-shaped main bodies Pb1 and Pc1 It is preferable to set the total length of the first and second rod-like main bodies Pb1 and Pc1 so that they are in a separated state. (Second embodiment)
  • FIG. 9 is a schematic plan view showing the configuration of the probe (contact terminal) PR according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an explanatory diagram showing the probe PR disassembled into a cylindrical body PA and a central conductor PB.
  • FIG. 11 shows a state in which the probe PR is assembled to the support member 31 and the base plate 321 is attached to the support member 31.
  • the probe PR has a cylindrical body PA formed in a cylindrical shape from a conductive material and a single central conductor PB formed in a rod shape from a conductive material.
  • segmented into the 1 center conductor and the 2nd center conductor, and the point by which the holding part is not provided in the rear-end side part PI of the cylindrical body PA differ from 1st embodiment.
  • the full length of the cylindrical body PA is formed longer than Pa of the first embodiment.
  • the central conductor PB includes a rod-shaped main body PB1 configured to be insertable into the cylindrical body PA, a press-fit portion PB2 provided at a base end portion thereof, a flange portion PB3 provided continuously to the press-fit portion PB2, Except for the point that the entire length of the rod-like main body PB1 is formed longer than that of the first rod-like main body Pb1 of the first embodiment.
  • the configuration is substantially the same as that of the first center conductor Pb.
  • the rod-shaped main body PB1 of the center conductor PB is inserted into the cylindrical body PA, and the press-fit portion PB2 provided at the base end portion is held at one end portion of the cylindrical body PA.
  • the probe PR supported in a state in which the connecting portion PB4 of the center conductor PB protrudes to the front end side of the cylindrical body PA is configured by being press-fitted into the portion PD and held.
  • the contact terminal made of the probe PR is inserted into the insertion holes Ha and Ha formed in the support member 31 and assembled.
  • the connection portion PB4 provided on the front end side portion of the probe PR is inserted into the small diameter portion Ha1 provided on the support plate 31a, and the tip portion thereof is outside the support member 31 from the opening portion of the small diameter portion Ha1.
  • the probe PR is assembled to the support member 31 in a state where the probe PR protrudes in the direction and the rear end side portion PI of the cylindrical body PA is brought into contact with the electrode 34 a provided on the base plate 321.
  • FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing an example of the configuration of the probe (contact terminal) PRa according to the third embodiment of the present invention.
  • the probe PRa includes a cylindrical body PAa configured substantially the same as the cylindrical body Pa of the first embodiment except that slits Ph1 and Ph2 are not formed at both ends, and the first and second embodiments of the first embodiment.
  • First and second center conductors PBa and PCa configured similarly to the second center conductors Pb and Pc are provided.
  • the first central conductor PBa has a first rod-like main body PBa1 configured in the same manner as the first rod-like main body Pb1 of the first embodiment, a press-fit portion PBa2 provided at the base end portion thereof, and the press-fit portion PBa2.
  • a flange portion PBa3 provided continuously and a connection portion PBa4 provided continuously to the flange portion PBa3 are provided.
  • the second central conductor PCa includes a second rod-shaped main body PCa1 configured in the same manner as the second rod-shaped main body Pc1 of the first embodiment, a press-fit portion PCa2 provided at the base end portion thereof, and the press-fit portion PCa2.
  • a collar part PCa3 provided continuously and a connection part PCa4 provided continuously to the collar part PCa3 are provided.
  • the tubular body PAa includes first and second spring portions PEa1 and PEa2 formed by the first and second spiral grooves PGa1 and PGa2, and a connecting portion PFa provided between the spring portions PEa1 and PEa2. is doing. Further, at both ends of the cylindrical body PAa, there are provided holding portions made of peripheral walls thereof, that is, cylindrical first and second holding portions PDa1 and PDa2 without the above-described dividing portions.
  • the above-mentioned press-fit portions PBa2 and PCa2 are omitted, and the first and second rod-like main bodies PBa1 and PCa1 are inserted into the cylindrical body PAa, respectively, and the base end portion and the end portion of the cylindrical body PAa, that is, the first
  • the probe PRa may be configured by connecting the first and second holding portions PDa1 and PDa2 by other connection means such as welding or caulking.
  • the total length of the first rod-shaped main body PBa1 and the second rod-shaped main body PCa1 is set so that a predetermined gap KG is formed.
  • the probe PRa including the cylindrical body PAa formed in a cylindrical shape from a conductive material, and the first and second central conductors PBa and PCa formed in a rod shape from a conductive material.
  • the first central conductor PBa has a first rod-like main body PBa1 inserted into one end side of the cylindrical body PAa, and the second central conductor PCa is inserted into the other end side of the cylindrical body PAa.
  • a first holding portion PDa1 that has a second rod-shaped main body PCa1 and the tubular body PAa holds the proximal end portion of the first rod-shaped main body PBa1 on one end side thereof, and the other end side of the tubular body PAa
  • the second holding portion PDa2 for holding the base end portion of the second rod-shaped main body PCa1, the first spring portion PEa1 connected to the first holding portion PDa1, and the second holding portion PDa2.
  • Second spring part PEa2 and the first and second spring parts PEa1 And the first and second central conductors PBa and PCa are connected to the first and second rod-like main bodies PBa1 and PCa1 at the tip ends of the cylindrical body PAa.
  • the first and second rod-shaped main bodies PBa1 so that the tip surfaces of the first and second rod-shaped main bodies PBa1, PCa1 are maintained facing each other across the gap KG.
  • the first and second central conductors PBa and PCa constituting the first and second central conductors PBa are compared with the case where a single central conductor PB is provided as in the second embodiment described above. Since the total length of the two-bar main bodies PBa1 and PCa1 can be shortened, the operation of assembling the first and second center conductors PBa and PCa by inserting them into both ends of the cylindrical body PAa can be facilitated.
  • the first and second rod-like main bodies PBa1 and PCa1 are brought into contact with the connecting portion PFa provided on the cylindrical body PAa, thereby making the first The first center conductor PBa and the second center conductor PCa can be electrically connected while reducing the current flowing through the second spring portions PEa1 and PEa2.
  • the first and second rod-shaped main bodies PBa1 and PCa1 are arranged so that the distal end reaches the connecting portion PFa of the cylindrical body PAa. Since the overall length is set, it is possible to reinforce substantially the entire cylindrical body Pa, which has the advantage that the mechanical strength of the probe PRa can be improved.
  • a contact terminal includes a cylindrical body formed in a cylindrical shape from a conductive material and a central conductor formed in a rod shape from a conductive material, and the central conductor is A spring portion comprising a rod-shaped body inserted through the tube-shaped body, the tube-shaped body being formed by providing a spiral groove along the peripheral surface of the tube-shaped body; A holding portion that is externally fitted to the base end portion of the rod-shaped main body and holds the rod-shaped main body, and the holding portion extends from the end of the spiral groove constituting the spring portion to the shaft of the cylindrical body It consists of the surrounding wall partly parted in the circumferential direction of the said cylindrical body by the slit extended in a direction.
  • the rod-shaped main body of the central conductor is set to have an outer diameter smaller than an inner diameter of the holding portion of the cylindrical body, and the outer diameter of the base end portion of the rod-shaped main body is the rod-shaped main body. It is preferable that a press-fit portion that is set larger than the inner diameter of the holding portion of the cylindrical body in a state where the main body is not inserted is provided.
  • the rod-shaped main body when the central conductor is assembled to the cylindrical body, the rod-shaped main body can be smoothly inserted into the cylindrical body to facilitate the assembly of the central conductor.
  • the holding portion of the cylindrical body can be pressure-bonded to the peripheral surface of the press-fit portion provided in the center conductor, and the press-fit portion can be stably held by the hold portion.
  • the slit may be configured to be connected to an end portion of the spiral groove constituting the spring portion and extend in the axial direction of the cylindrical body.
  • the said center conductor has the 1st center conductor which has the 1st rod-shaped main body inserted in the one end part side of the said cylindrical body, and the 2nd rod-shaped main body inserted in the other end part side of the said cylindrical body.
  • a second center conductor, and the cylindrical body includes a first holding portion that holds the base end portion of the first rod-shaped main body on one end side, and the other end portion side of the cylindrical body. It is preferable that the second holding portion for holding the proximal end portion of the second rod-shaped main body is provided.
  • the first and second rod-shaped main bodies constituting the first and second center conductors are shortened so that they are connected to both ends of the cylindrical body.
  • the cylindrical body includes a first spring portion provided continuously with the first holding portion, a second spring portion provided continuously with the second holding portion, and the first and second springs.
  • a cylindrical connecting part that connects the parts to each other, and the first and second center conductors are inserted into the connecting part of the cylindrical body, respectively, at the tip ends of the first and second rod-like bodies.
  • the lengths of the first and second rod-shaped main bodies are set such that the front end surfaces of both the rod-shaped main bodies are maintained facing each other with a gap therebetween.
  • the first and second spring portions of the cylindrical body since the current easily flows from the first center conductor to the second center conductor via the connecting portion when inspecting the substrate using the contact terminal, the first and second spring portions of the cylindrical body.
  • the first central conductor and the second central conductor can be electrically connected via the connecting portion while reducing the current flowing through the first and second conductors. For this reason, the increase in the impedance in the spring part and the generation of eddy current can be reduced. As a result, the accuracy of the inspection using the contact terminal can be effectively improved.
  • the first and second rod-shaped main bodies in the state where the central conductor is assembled to the cylindrical body, the first and second rod-shaped main bodies can reinforce substantially the entire cylindrical body, so that the mechanical strength of the contact terminal can be sufficiently secured. is there.
  • a contact terminal includes a cylindrical body formed in a cylindrical shape from a conductive material, and a central conductor formed in a rod shape from a conductive material, and the central conductor is A first central conductor having a first rod-shaped main body inserted on one end side of the cylindrical body, and a second central conductor having a second rod-shaped main body inserted on the other end side of the cylindrical body.
  • a first holding portion that holds the proximal end portion of the first rod-shaped main body on one end side thereof, and a proximal end of the second rod-shaped main body on the other end portion side of the cylindrical body.
  • a second holding part for holding the part, a first spring part connected to the first holding part, a second spring part connected to the second holding part, A cylindrical connecting portion for connecting the second spring portions to each other, and the first and second central conductors are arranged so that the front ends of the first and second rod-shaped main bodies are in front of each other.
  • the total lengths of the first and second rod-shaped main bodies are set so that they are inserted into the connecting portion of the cylindrical body and the tip surfaces of the two rod-shaped main bodies are maintained facing each other with a gap therebetween. .
  • the overall length of the first and second rod-shaped main bodies constituting the center conductor can be shortened compared to a contact terminal having a single center conductor, this can be applied to both ends of the cylindrical body.
  • the work of inserting and assembling the first and second center conductors can be facilitated.
  • the total length of the first and second rod-shaped main bodies is set so that the tip portion reaches the connecting portion of the cylindrical body, thereby Since substantially the entire cylindrical body can be reinforced, there is an advantage that the mechanical strength of the probe can be improved.
  • the first and second spring portions are brought into contact with the connecting portions provided on the cylindrical body by contacting the tip portions of the first and second rod-shaped main bodies, respectively.
  • the first center conductor and the second center conductor can be electrically connected while reducing the flowing current. Therefore, an increase in impedance and generation of eddy current in the spring portion can be reduced. As a result, the inspection accuracy using the contact terminals can be effectively improved.
  • an inspection jig includes the above-described contact terminal and a support member that supports the contact terminal.
  • an inspection apparatus is configured to inspect the inspection object based on the above-described inspection jig and an electrical signal obtained by bringing the contact terminal into contact with an inspection point provided on the inspection object. And an inspection processing unit to be performed.
  • the contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus having such a configuration are easy to manufacture appropriately, and it is easy to set the contact pressure of the contact terminal with respect to the electrode and the inspection object to an appropriate value. is there.

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Abstract

プローブPrからなる接触端子は、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体Paと、導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体Pb,Pcとを備え、当該中心導体Pb,Pcは、筒状体Paに挿通される棒状本体Pb1,Pc1を有し、筒状体Paは、その周面に沿って螺旋溝Pg1,Pg2が設けられることにより構成された螺旋状体からなるばね部Pe1,Pe2と、棒状本体Pb1,Pc1の基端部に外嵌されてこれを抱持する抱持部Pd1,Pd2とを有し、当該抱持部Pd1,Pd2は、ばね部Pe1,Pe2を構成する螺旋溝Pg1,Pg2の端部から筒状体の軸方向に延びるスリットPh1により、筒状体Paの周方向に一部が分断された筒状体Paの周壁からなる。

Description

接触端子、検査治具、及び検査装置
 本発明は、検査対象の検査に使用される接触端子、この接触端子を検査対象に接触させるための検査治具、及びその検査治具を備えた検査装置に関する。
 従来より、中間位置にばね部が形成された筒状体(円筒部材)に円柱状の中心導体(棒状部材)が挿通された、検査装置用の接触端子、及びこの接触端子を用いた検査治具が知られている(例えば、特許文献1参照)。この接触端子は、筒状体から中心導体の端部を突出させた状態で、筒状体の先端付近に中心導体が溶着、又はカシメ加工される等により固着されている。筒状体の一端部が電極部に接触し、中心導体の他端部が検査対象に当接した状態となると、ばね部の弾性復元力に応じて、筒状体の一端部が電極部に付勢されるとともに、中心導体の他端部が検査対象に付勢されることにより、電極部及び検査対象に対する接触端子の接触状態が安定化されるようになっている。
特開2013-53931号公報
 ところで、上述の検査治具には、極細径の接触端子が多数設置され、この接触端子を構成する中心導体(小径の導電部)が、ばね部を有する筒状体(大径の円筒形状部)に溶着、又はカシメ加工される等により、固着されるように構成されている。しかしながら、この固着作業が極めて煩雑であるため、接触端子を適正に製造することが難しかった。また、電極及び検査対象に対する接触端子の接触圧を適正値に設定することが困難であるという問題があった。
 本発明の目的は、適正に製造することが容易であるとともに、電極及び検査対象に対する接触端子の接触圧を適正値に設定することが容易な接触端子、検査治具、及び検査装置を提供することである。
 本発明の一局面に従う接触端子は、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体とを備え、当該中心導体が、前記筒状体に挿通される棒状本体を有し、前記筒状体が、当該筒状体の周面に沿って螺旋溝が設けられることにより構成された螺旋状体からなるばね部と、前記棒状本体の基端部に外嵌されてこれを抱持する抱持部とを有し、当該抱持部は、前記ばね部を構成する前記螺旋溝の端部から前記筒状体の軸方向に延びるスリットにより、前記筒状体の周方向に一部が分断された周壁からなっている。
 また、本発明の一局面に従う接触端子は、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体とを備え、当該中心導体が、前記筒状体の一端部側に挿入される第一棒状本体を有する第一中心導体と、前記筒状体の他端部側に挿入される第二棒状本体を有する第二中心導体とを備え、前記筒状体が、その一端部側において前記第一棒状本体の基端部を抱持する第一抱持部と、筒状体の他端部側において前記第二棒状本体の基端部を抱持する第二抱持部と、前記第一抱持部に連設された第一ばね部と、前記第二抱持部に連設された第二ばね部と、当該第一,第二ばね部を互いに連結する筒状の連結部とを備え、前記第一,第二中心導体は、前記第一,第二棒状本体の先端部がそれぞれ前記筒状体の連結部内に挿入されるとともに、両棒状本体の先端面が間隙を隔てて相対向した状態に維持されるように、前記第一,第二棒状本体の全長が設定されている。
 また、本発明の一局面に従う検査治具は、上述の接触端子と、これを支持する支持部材とを備える。
 さらに、本発明の一局面に従う検査装置は、上述の検査治具と、前記接触端子を検査対象に設けられた被検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象の検査を行う検査処理部とを備える。
本発明の一実施形態に係る接触端子及び検査治具を備えた基板検査装置の構成を概略的に示す斜視図である。 図1に示す検査装置に設けられた検査部の別の一例を示す斜視図である。 図1、図2に示す検査治具の構成の一例を示す模式的な断面図である。 プローブの具体的構成を示す平面図である。 プローブを筒状体と接触端子とに分解した構成を示す平面図である。 図5に示す筒状体の端部に設けられた抱持部の具体的構成を示し、筒状体の端部を拡大した平面図である。 図5に示す筒状体の端部に設けられた抱持部の具体的構成を示し、筒状体を図6Aの下方から見た端面図である。 図5に示す筒状体の端部に設けられた抱持部の具体的構成を示し、抱持部を展開した状態を示す平面図である。 支持部材にベースプレートが取り付けられた状態を示す図3相当図である。 検査対象にプローブが圧接された検査状態を示す図3相当図である。 本発明の第二実施形態に係るプローブの構成の一例を示す図4相当図である。 本発明の第二実施形態に係るプローブの構成の一例を示す図5相当図である。 本発明の第二実施形態に係るプローブの構成の一例を示す図7相当図である。 本発明の第三実施形態に係る検査治具の構成の一例を示す図4相当図である。
 以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
(第一実施形態)
 図1は、本発明の一実施形態に係る接触端子及び検査治具を備えた基板検査装置1の構成を概略的に示す概念図である。基板検査装置1は検査装置の一例に相当している。図1に示す基板検査装置1は、検査対象の一例である基板101に形成された回路パターンを検査するための装置である。
 基板101は、例えばプリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、半導体基板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板であってもよい。なお、検査対象は、基板に限らず、例えば半導体素子(IC:Integrated Circuit)等の電子部品であってもよく、その他にも電気的な検査を行う対象となるものであればよい。
 図1に示す基板検査装置1は、検査部4U,4Dと、基板固定装置6と、検査処理部8とを備えている。基板固定装置6は、検査対象の基板101を所定の位置に固定するように構成されている。検査部4U,4Dは、検査治具3U,3Dと図略の駆動機構とを備えている。検査治具3U,3Dは、図略の駆動機構によって、互いに直交するX,Y,Zの三軸方向に移動可能に支持され、かつZ軸を中心に回動可能に支持されている。
 検査部4Uは、基板固定装置6に固定された基板101の上方に位置する。検査部4Dは、基板固定装置6に固定された基板101の下方に位置する。検査部4U,4Dには、基板101に形成された回路パターンを検査するための検査治具3U,3Dが着脱可能に配設されている。検査部4U,4Dは、それぞれ、検査治具3U,3Dと着脱可能に接続される図略のコネクタを備えている。以下、検査部4U,4Dを総称して検査部4と称する。
 検査治具3U,3Dは、それぞれ、複数のプローブPr(接触端子)と、複数のプローブPrを支持する支持部材31、ベースプレート321とを備えている。プローブPrは接触端子の一例に相当している。ベースプレート321には、各プローブPrの一端部と接触して導通する後述の電極が設けられている。検査部4U,4Dは、ベースプレート321に設けられた各電極を介して各プローブPrの後端を、検査処理部8と電気的に接続したり、その接続を切り替えたりする図略の接続回路を備えている。
 プローブPrは、全体として略棒状の形状を有し、その具体的な構成の詳細については後述する。支持部材31には、プローブPrを支持する複数の貫通孔が形成されている。各貫通孔は、検査対象となる基板101の配線パターン上に設定された被検査点の位置と対応するように配置されている。これにより、支持部材31は、各プローブPrの一端部が基板101の被検査点に接触するように構成されている。例えば、複数のプローブPrは、格子の交点位置に対応するように配設されている。当該格子の桟に相当する方向が、互いに直交するX軸方向及びY軸方向と一致するように向けられている。被検査点は、例えば配線パターン、半田バンプ、接続端子等からなっている。
 検査治具3U,3Dは、プローブPrの配置が異なる点と、検査部4U,4Dへの取り付け方向が上下逆になる点を除き、互いに同様に構成されている。以下、検査治具3U,3Dを総称して検査治具3と称する。検査治具3は、検査対象となる基板101の種類に応じて取り替え可能に構成されている。
 検査処理部8は、例えば電源回路、電圧計、電流計、及びマイクロコンピュータ等を備えている。検査処理部8は、図略の駆動機構を制御して検査部4U,4Dを移動、位置決めし、基板101の各被検査点に、各プローブPrを接触させる。これにより、各被検査点と、検査処理部8とが電気的に接続される。この状態で、検査処理部8は、検査治具3の各プローブPrを介して基板101の各被検査点に検査用の電流又は電圧を供給し、各プローブPrから得られた電圧信号又は電流信号に基づき、例えば回路パターンの断線や短絡等の基板101の検査を実行する。あるいは、検査処理部8は、交流の電流又は電圧を各被検査点に供給することによって各プローブPrから得られた電圧信号又は電流信号に基づき、検査対象のインピーダンスを測定するものであってもよい。
 図2は、図1に示す基板検査装置1に設けられた検査部4の別の一例を示す斜視図である。図2に示す検査部4aは、いわゆるICソケット35に検査治具3が組み込まれて構成されている。検査部4aは、検査部4のような駆動機構を備えず、ICソケット35に取り付けられたICのピン、バンプ、あるいは電極等にプローブPrが接触する構成とされている。図1に示す検査部4U,4Dの代わりに検査部4aを設けることで、検査対象を、例えば半導体素子(IC)とし、検査装置をIC検査装置として構成することができる。
 図3は、図1に示す支持部材31及びベースプレート321を備えた検査治具3の構成の一例を示す模式図である。図3に示す支持部材31は、例えば板状の支持プレート31a,31b,31cが積層されることにより構成されている。図3の上方側に位置する支持プレート31aが支持部材31の前端側となり、図3の下方側に位置する支持プレート31cが支持部材31の後端側となるように配設されている。そして、支持プレート31a,31b,31cを貫通するように、複数の貫通孔が形成されている。
 支持プレート31a,31bには、所定径の開口孔からなる挿通孔部Haがそれぞれ形成されている。支持プレート31cには、挿通孔部Haよりも細径の狭隘部Hbからなる貫通孔が形成されている。また、上方側の支持プレート31aの、検査対象である基板101と対向する面側に位置する部位、つまり支持部材31の前端側部には、挿通孔部Haよりも孔径の小さい小径部Ha1が形成されている。そして、支持プレート31aの小径部Ha1及び挿通孔部Haと、支持プレート31bの挿通孔部Haと、支持プレート31cの狭隘部Hbとが連通されることにより、前記貫通孔が形成されている。
 なお、支持部材31は、板状の支持プレート31a,31b,31cが積層されて構成される例に限らず、例えば一体の部材に、小径部Ha1、挿通孔部Ha及び狭隘部Hbからなる貫通孔が設けられた構成としてもよい。また、細径の狭隘部Hb及び小径部Ha1を省略し、貫通孔の全体が所定径を有する挿通孔部Haとされた構造としてもよい。さらに、支持部材31の支持プレート31a,31bを互いに積層した例に代え、支持プレート31aと支持プレート31bとを互いに離間させた状態で、例えば支柱等により連結した構成としてもよい。
 支持プレート31cの後端側には、例えば絶縁性の樹脂材料により構成されたベースプレート321が取り付けられている。このベースプレート321により貫通孔の後端側開口部、つまり狭隘部Hbの後端面が閉塞されている。ベースプレート321には、貫通孔の後端側開口部に対向する位置において、ベースプレート321を貫通するように配線34が取り付けられている。支持プレート31cに対向するベースプレート321の前面と、配線34の端面とが面一になるように設定されている。この配線34の端面が、電極34aとされている。
 支持部材31の各貫通孔に挿入されて取り付けられるプローブPrは、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体Paと、導電性を有する素材により棒状に形成され第一,第二中心導体Pb,Pcとを備えている。
 図4は、プローブの具体的構成を示す平面図であり、図5は、プローブPrを、筒状体Paと、第一中心導体Pbと、第二中心導体Pcとに分解して示す説明図である。筒状体Paとしては、例えば約25~300μmの外径と、約10~250μmの内径とを有するニッケルあるいはニッケル合金のチューブを用いて形成することができる。例えば、筒状体Paの外径を約120μm、内径を約100μm、全長を約1700μmとすることができる。また、筒状体Paの内周には、金メッキ等のメッキ層を施し、かつ筒状体Paの周面を、必要に応じて絶縁被覆した構造としてもよい。
 筒状体Paの両端部には、後述するように第一,第二中心導体Pb,Pcを構成する第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部を抱持する第一,第二抱持部Pd1,Pd2が形成されている。また、第一,第二抱持部Pd1,Pd2の間には、筒状体Paの軸方向に伸縮する第一,第二ばね部Pe1,Pe2が所定長さに亘って形成されている。さらに、筒状体Paの長さ方向の中央部には、両第一,第二ばね部Pe1,Pe2を互いに連結する連結部Pfが設けられている。
 例えば、図示を省略したレーザ加工機から、筒状体Paの周壁にレーザ光を照射して、第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2を形成することにより、筒状体Paの周面に沿って螺旋状に延びる螺旋状体からなる第一,第二ばね部Pe1,Pe2が構成される。そして、第一,第二ばね部Pe1,Pe2を圧縮変形させることにより、筒状体Paを、その軸方向に伸縮させ得るようになっている。
 なお、筒状体Paの周壁を例えばエッチングして第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2を形成することにより、螺旋状体からなる第一,第二ばね部Pe1,Pe2を設けてもよい。また、例えば電鋳により筒状体Paの周壁に第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2を形成することによっても、第一,第二ばね部Pe1,Pe2を設けることができる。
 連結部Pfは、筒状体Paに第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2の非形成部を設けることによって残存された筒状体Paの周壁部から構成される。連結部Pfは、筒状体Paの中央部に、所定長さに亘って形成されている。
 第一抱持部Pd1は、第一螺旋溝Pg1の端部から筒状体Paの一端部側に向けて筒状体Paの軸方向と略平行に延びる第一スリットPh1によって、その一部が分断された筒状体Paの周壁により構成されている。
 また、第二抱持部Pd2は、第二螺旋溝Pg2の端部から筒状体Paの他端部側に向けて筒状体Paの軸方向と略平行に延びる第二スリットPh2によって、その筒状体Paの一部が分断された周壁により構成されている。
 第一,第二抱持部Pd1,Pd2は、筒状体Paの長さ方向の中間点を中心とした点対称形状を有している。このため、第二抱持部Pd2の具体的構造のみを以下に説明し、第一抱持部Pd1については、その具体的構造の説明を省略する。
 図6A~図6Cは、筒状体Paの端部に設けられた第二抱持部Pd2の具体的構成を示している。図6Aは、筒状体Paの端部を拡大した平面図であり、図6Bは、第二抱持部Pd2を図6Aの下方から見た端面図である。また、図6Cは、第二抱持部Pd2を展開した状態を示す平面図である。
 第二抱持部Pd2の展開形状は、図6Cに示すように、第二スリットPh2の一側辺に対応した先端面Pd21と、第二螺旋溝Pg2の一側辺に対応した傾斜面Pd22とを備えた台形状を有している。この台形状体を、図6Bに示すように、円弧状に湾曲させた構造とすることにより、一部に所定幅の分断部を有するC形止め輪状の第二抱持部Pd2が筒状体Paの周壁により構成されている。
 図4及び図5に示すように、第一中心導体Pbは、その外径が筒状体Paの内径よりもやや小さく設定されることにより筒状体Pa内に挿入可能に構成された第一棒状本体Pb1と、その基端部に設けられた圧入部Pb2と、この圧入部Pb2に連設された鍔部Pb3と、この鍔部Pb3に連設された接続部Pb4とを備えている。
 第一棒状本体Pb1は、その全長が筒状体Paの第一ばね部Pe1の形成範囲よりも長く設定されている。これにより、第一棒状本体Pb1を筒状体Pa内に挿入して第一中心導体Pbを組み付ける際に、第一棒状本体Pb1の先端部が筒状体Paの連結部Pf内に挿入された状態となるように構成されている。
 また、筒状体Paの内径と第一棒状本体Pb1の外径との差が微小に設定されることにより、第一中心導体Pbを筒状体Paに組み付けた状態で後述の検査を行う際には、筒状体Paの連結部Pfと第一棒状本体Pb1とが互いに摺動可能に接触して、電気的に導通するようになっている。
 第一棒状本体Pb1の圧入部Pb2は、第一棒状本体Pb1が筒状体Pa内に挿入されていない状態では、その外径が筒状体Paの第一抱持部Pd1の内径よりも大きく設定されている。この結果、第一棒状本体Pb1を筒状体Pa内に挿入して第一中心導体Pbを組み付ける際に、圧入部Pb2が、第一抱持部Pd1を拡開変位させることにより、第一抱持部Pd1内に圧入される。そして、圧入部Pb2の周面に第一抱持部Pd1が圧着された状態で、第一抱持部Pd1により第一棒状本体Pb1の圧入部Pb2が抱持されるため、第一中心導体Pbが筒状体Paに組み付けられた状態が維持される。
 第一棒状本体Pb1の鍔部Pb3は、その外径が筒状体Paの内径よりも大きく、かつ圧入部Pb2よりも大きく設定されている。これにより、第一棒状本体Pb1を筒状体Pa内に挿入して第一中心導体Pbを組み付ける際に、鍔部Pb3が筒状体Paの端部に当接して第一棒状本体Pb1の位置決めがなされる。
 また、図3に示すように、支持部材31の挿通孔部Ha内にプローブPrの筒状体Paを挿入した状態で、支持部材31にプローブPrを支持させ得るように、第一棒状本体Pb1の鍔部Pb3は、その外径が挿通孔部Haの内径よりも小さく形成されている。さらに、鍔部Pb3の外径が、支持プレート31aに形成された小径部Ha1の内径よりも大きく設定されることにより、プローブPrを支持部材31に支持させた際に、第一中心導体Pbが支持部材31から抜け落ちることが防止されている。
 第一中心導体Pbの接続部Pb4は、その外径が支持プレート31aに形成された小径部Ha1の内径よりも小さく設定されることより、小径部Ha1に挿通可能に構成されている。また、プローブPrを支持部材31に支持させた状態で、接続部Pb4の端部が支持プレート31aの小径部Ha1から支持部材31の外方に突出した状態となるように、接続部Pb4の全長が、小径部Ha1の長さよりも大きく設定されている。また、接続部Pb4の端部には、先窄まりのテーパ部Pb5が形成され、後述する基板101等の検査時に、Pb5の先端面が検査対象の被検査点(バンプBP)に当接するようになっている。
 一方、第二中心導体Pcは、第一中心導体Pbの第一棒状本体Pb1、圧入部Pb2、及び鍔部Pb3と同様の構成を有する第二棒状本体Pc1、圧入部Pc2、及び鍔部Pc3とを有している。そして、この鍔部Pc3に連設された接続部Pc4の先端面が、後述する検査時に、ベースプレート321に設けられた電極34aに当接するように構成されている。
 接続部Pc4は、その外径が支持プレート31cに形成された狭隘部Hbの内径よりも小さく形成されることより、狭隘部Hb内に挿入されるようになっている。また、プローブPrを支持部材31に支持させた状態で、接続部Pc4の端部が支持プレート31cの狭隘部Hbから支持部材31の外方に突出した状態となるように、接続部Pc4の全長が支持プレート31cの板厚よりも大きく設定されている。さらに、接続部Pc4の先端面は、略平坦に形成されている。
 第二中心導体Pcの第二棒状本体Pc1は、その全長が筒状体Paの第二ばね部Pe2の形成範囲よりも長く設定されている。これにより、第二棒状本体Pc1を筒状体Pa内に挿入して第二中心導体Pcを組み付けた際に、第二棒状本体Pc1の先端部が筒状体Paの連結部Pf内に挿入された状態となるように構成されている。
 また、第一,第二中心導体Pb,Pcを筒状体Paに組み付けた状態で、図4に示すように第一棒状本体Pb1の先端面と,第二棒状本体Pc1の先端面との間に、所定の間隙KGが形成されるように、第一棒状本体Pb1及び第二棒状本体Pc1の全長がそれぞれ設定されている。
 さらに、後述する検査時に、第一中心導体Pbの接続部Pb4と、第二中心導体Pcの接続部Pc4とがそれぞれ支持部材31内に押し込まれた際(図8参照)においても、第一棒状本体Pb1の先端面と,第二棒状本体Pc1の先端面とが離間した状態に維持されるように、第一棒状本体Pb1及び第二棒状本体Pc1の全長が設定されている。
 支持プレート31a,31bに形成された挿通孔部Ha,Ha内に挿入されて支持されるプローブPrの本体部長さ、つまり筒状体Paの全長と、第一,第二中心導体Pb,Pcの鍔部Pb3,Pc3の板厚とを加算した長さαは、支持プレート31aに形成された挿通孔部Haの全長と、支持プレート31bに形成された挿通孔部Haの全長とを加算した値である挿通孔長さβと等しい値に設定することが好ましい。
 すなわち、プローブPrの本体部長さαを、支持プレート31a,31bの挿通孔長さβよりも大きく形成した場合には、両者の相違寸法(α-β)に対応した長さだけ、筒状体Paの第一,第二ばね部Pe1,Pe2を圧縮変形させた状態で、支持部材31にプローブPrを取り付ける必要がある。この構成では、プローブPrのグラツキを防止して、支持プレート31a,31bの挿通孔部Ha,Ha内にプローブPr安定して保持させることができる利点がある反面、支持部材31に対するプローブPrの取り付け作業が煩雑になるという欠点がある。
 一方、前記プローブPrの本体部長さαを、支持プレート31a,31bの挿通孔長さβよりも小さく形成した場合には、筒状体Paの第一,第二ばね部Pe1,Pe2を圧縮変形させることなく、支持部材31に対してプローブPrを容易に取り付けることができるという利点がある。この反面、支持部材31にプローブPrを取り付けた状態では、プローブPrの本体部と、支持プレート31bの挿通孔部Haとの間に隙間が形成されることが避けられないため、プローブPrにグラツキが生じ易く、支持プレート31a,31bの挿通孔部Ha,Ha内にプローブPrを安定して保持させることが困難である。
 これに対し、プローブPrの本体部長さαと、支持プレート31a,31bの挿通孔長さβとが等しくなるように、両者の長さを正確に設定した場合には、支持部材31に対するプローブPrの取り付け作業を容易化しつつ、支持部材31にプローブPrを取り付けた状態で、プローブPrにグラツキを生じるのを防止できるという利点がある。
 図7は、検査治具3の構成の一例を示す模式的な断面図であって、支持部材31の支持プレート31cにベースプレート321が取り付けられた状態を示している。
 支持部材31にベースプレート321が取り付けられる前の状態では、図3に示すように、第二中心導体Pcの接続部Pc4はその後端部が支持プレート31cから僅かに突出している。そして、図7に示すように、支持プレート31cの後端部側(下方側)にベースプレート321が取り付けられると、第二中心導体Pcの後端部、すなわち接続部Pc4の先端面が、ベースプレート321の電極34aに接触して、支持部材31の前端部側に押圧される。
 この結果、筒状体Paの第一ばね部Pe1及び第二ばね部Pe2が圧縮されて弾性変形することにより、この第一,第二ばね部Pe1,Pe2の付勢力に抗して接続部Pc4の突出部分が、支持部材31に押し込まれる。また、プローブPrの後端部、つまり接続部Pc4の後端面が、第一,第二ばね部Pe1,Pe2の付勢力に応じて電極34aに圧接されることにより、プローブPrの後端部と電極34aとが安定した導電接触状態に保持される。
 接続部Pc4の先端面は、略平坦に形成され、電極34aも略平坦に形成されているので、両者を圧接させると、平坦面同士で接触した状態となる。この結果、両者の接触面積が増大し、電極34aとプローブPrとの間における接触抵抗が低減されることになる。
 なお、接続部Pc4の後端面は、必ずしも平坦な形状に限られず、例えばクラウン形状であってもよく、半球形であってもよく、円錐又は円錐台形状であってもよく、種々の形状とすることができる。
 図8は、検査対象である基板101のバンプBPにプローブPrの前端部が圧接された検査状態を示す模式的な断面図である。
 プローブPrを使用した基板101等の検査時に、支持部材31が基板101に対して位置決めされた状態で、検査治具3が基板101に圧接されると、プローブPrの前端側に設けられた第一中心導体Pbの接続部Pb4が、基板101のバンプBPに接触して、支持部材31の後端部側に押圧される。
 この結果、筒状体Paの第一ばね部Pe1及び第二ばね部Pe2がさらに圧縮されて弾性変形することにより、この第一,第二ばね部Pe1,Pe2の付勢力に抗して、接続部Pb4の突出部分が支持部材31の後端部側に押し込まれる。そして、第一,第二ばね部Pe1,Pe2の付勢力に応じ、プローブPrの前端部、つまり接続部Pb4の先端面が基板101のバンプBPに圧接された状態で、プローブPrの前端部と基板101の被検査点(バンプBP)とが安定した導電接触状態に保持される。
 このように、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体Paと、導電性を有する素材により棒状に形成された第一,第二中心導体Pb,Pcとを備え、この第一,第二中心導体Pb,Pcが、筒状体Paに挿通される第一,第二棒状本体Pb1,Pc1を有し、筒状体Paが、この筒状体Paの周面に沿って第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2を設けられることにより構成された螺旋状体からなる第一,第二ばね部Pe1,Pe2と、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部に外嵌されてこれを抱持する第一,第二抱持部Pd1,Pd2とを有する構成とし、この第一,第二抱持部Pd1,Pd2を、筒状体Paの端部に設けられたスリットPh1,Ph2により、筒状体Paの周方向に一部が分断された筒状体Paの周壁により構成したため、基板101等の検査に使用するプローブPr(接触端子)を容易かつ適正に製造できるとともに、基板101の被検査点及び配線34の電極34aに対するプローブPrの接触圧を適正値に設定することができる。
 例えば、第一中心導体Pbの第一棒状本体Pb1を筒状体Paの一端部内に挿入して組み付ける際に、スリットPh1を拡開変位させることにより、筒状体Paの第一抱持部Pd1を弾性変形させて、この第一抱持部Pd1内に第一中心導体Pbの圧入部Pb2を容易に圧入することができる。そして、第一抱持部Pd1を、その復元力に応じて圧入部Pb2の周面に圧着させることができるため、この第一棒状本体Pb1の圧入部Pb2を第一抱持部Pd1により抱持して、筒状体Paに対する第一中心導体Pbの組み付け状態を安定して維持できるという利点がある。
 同様に、第二中心導体Pcの第二棒状本体Pc1を筒状体Paの他端部内に挿入して組み付ける際に、スリットPh2を拡開変位させることにより、筒状体Paの第二抱持部Pd2を弾性変形させて、この第二抱持部Pd2内に第二中心導体Pcの圧入部Pc2を容易に圧入することができる。そして、第二抱持部Pd2を、その復元力に応じて圧入部Pc2の周面に圧着させることができるため、この第二棒状本体Pc1の圧入部Pc2を第二抱持部Pd2により抱持して、筒状体Paに対する第二中心導体Pcの組み付け状態を安定して維持できるという利点がある。
 したがって、筒状体Paに設けられた第一,第二ばね部Pe1,Pe2を弾性変形させることにより、その付勢力に応じて、第一棒状本体Pb1の先端面及び第二棒状本体Pc1の先端面を基板101のバンプBP及び電極34aに適正圧でそれぞれ圧接させることができるプローブ(接触端子)Prを容易に製造することができる。
 なお、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部に設けられた圧入部Pb2,Pc2を省略し、筒状体Paの第一,第二抱持部Pd1,Pd2により第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部を直接、抱持する構成とすることも可能である。
 しかし、上述のように第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の外径を、筒状体Paの第一,第二抱持部Pd1,Pd2の内径よりも小さく設定した場合には、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1を筒状体Pa内にスムーズに挿入して第一,第二中心導体Pb,Pcを容易に組み付けることができる。しかも、第一棒状本体Pb1が筒状体Pa内に挿入されていない状態での第一,第二抱持部Pd1,Pd2の内径よりも大きい外径を有する圧入部Pb2,Pc2を、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部に設けた構造とした場合には、圧入部Pb2,Pc2の周面に、筒状体Paの第一,第二抱持部Pd1,Pd2を圧着させて、第一,第二抱持部Pd1,Pd2により圧入部Pb2,Pc2を安定して抱持することが可能である。
 また、第一,第二中心導体Pb,Pcの鍔部Pb3,Pc3を省略することも可能であるが、この鍔部Pb3,Pc3を設けた構造とすれば、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1を筒状体Pa内に挿入して第一,第二中心導体Pb,Pcを組み付ける際に、鍔部Pb3,Pc3により第一,第二中心導体Pb,Pcを位置決めすることができるので、その組み付け作業を容易に行うことができる。
 さらに、上述のように、第一抱持部Pd1を構成する第一スリットPh1を、第一ばね部Pe1を構成する第一螺旋溝Pg1の端部に連設して筒状体Paの軸方向に延びるように形成し、かつ第二抱持部Pd2を構成する第二スリットPh2を、第二ばね部Pe2を構成する第二螺旋溝Pg2の端部に連設して筒状体Paの軸方向に延びるように形成した場合には、例えばレーザ加工機から筒状体Paの周面にレーザ光を照射して第一,第二螺旋溝Pg1,Pg2を形成する際等に、これに連続して第一,第二スリットPh1,Ph2を容易に形成できるという利点がある。
 なお、第一,第二スリットPh1,Ph2を筒状体Paの軸方向と略平行に延びるように構成した上述の第一実施形態に代え、第一,第二スリットPh1,Ph2を筒状体Paの軸方向と所定角度で傾斜させた形状としてもよい。
 また、筒状体Paの一端部側に挿入されて抱持される第一棒状本体Pb1を有する第一中心導体Pbと、筒状体Paの他端部側に挿入されて抱持される第二棒状本体Pc1を有する第二中心導体Pcとを設け、かつ筒状体Paの両端部に、第一,第二抱持部Pd1,Pd2とを設けてなる上述の第一実施形態に代え、後述のように単一の中心導体と、単一の抱持部とを設けた構造とすることも可能である。
 しかし、上述の第一実施形態に示すように、第一中心導体Pbと、第二中心導体Pcとを別体に形成し、筒状体Paの両端部に設けられた第一,第二抱持部Pd1,Pd2により第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の基端部をそれぞれ抱持するように構成した場合には、単一の中心導体を設けた場合に比べ、第一,第二中心導体Pb,Pcを構成する第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の全長をそれぞれ短く形成することにより、これらを筒状体Paの両端部に挿入して第一,第二中心導体Pb,Pcを組み付ける作業を容易化することができる。
 上述のように、第一抱持部Pd1に連設された第一ばね部Pe1と、第二抱持部Pd2に連設された第二ばね部Pe2と、これらの第一,第二ばね部Pe1,Pe2を互いに連結する筒状の連結部Pfとを、筒状体Paに設け、第一,第二中心導体Pb,Pcの第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端部が、それぞれ筒状体Paの連結部Pf内に挿入されるとともに、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端面が所定の間隙KGを隔てて相対向した状態に維持されるように構成した場合には、第一,第二ばね部Pe1,Pe2に対して第一,第二中心導体Pb,Pcが並列接続される。
 プローブPrを流れる電流は、コイル形状を有してインダクタンスが大きくかつ電流経路が長いために抵抗値の大きな第一,第二ばね部Pe1,Pe2には流れにくく、直線的でインダクタンスが小さくかつ電流経路が短いために抵抗値の小さな第一,第二中心導体Pb,Pcに流れやすくなる。
 その結果、プローブPrを使用した基板101等の検査時に、インダクタンス及び抵抗値の大きな第一,第二ばね部Pe1,Pe2に流れる電流を減少させることができるので、第一,第二ばね部Pe1,Pe2におけるインピーダンスが大きくなるのを抑制して、プローブPrを用いた検査精度を効果的に向上させることができる。
 また、例えば連結部Pfを省略し、第一,第二抱持部Pd1,Pd2の設置部を除く筒状体Paの略全体に螺旋状体からなるばね部を設けた構造とすることも可能であるが、このように構成した場合には、プローブPrを使用した基板101等の検査時に、長尺のばね部を電流が流れやすくなるため、そのインピーダンスが大きくなるとともに、渦電流が発生して検査精度が低下する可能性がある。
 これに対して第一実施形態のように、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端部を、それぞれ連結部Pf内に位置させて、連結部Pfに対して第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端部をそれぞれ接触させるように構成した場合は、プローブPrを使用した基板101等の検査時に、第一,第二ばね部Pe1,Pe2に流れる電流を減少させつつ第一中心導体Pbと第二中心導体Pcとを電気的に導通させることができる。その結果、第一,第二ばね部Pe1,Pe2におけるインピーダンスの増大や、渦電流の発生を低減することができる。
 また、筒状体Paに第一,第二中心導体Pb,Pcを組み付けた状態において、先端部が筒状体Paの連結部Pf内に届くように第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の全長が設定されることで、この第一,第二棒状本体Pb1,Pc1によって、筒状体Paの略全体を補強することができるため、プローブPrの機械的強度を向上できるという利点もある。
 なお、プローブPrを使用した基板101等の検査時に、第一,第二ばね部Pe1,Pe2が圧縮されて変形した場合に、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端面間同士が当接すると、その時点で第一,第二ばね部Pe1,Pe2の圧縮変形が阻害されることになる。このため、プローブPrを使用した基板101等の検査時に、第一,第二ばね部Pe1,Pe2が圧縮されて変形した場合においても、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の先端面間同士が離間した状態となるように、第一,第二棒状本体Pb1,Pc1の全長を設定することが好ましい。
(第二実施形態)
 図9は、本発明の第二実施形態に係るプローブ(接触端子)PRの構成を示す模式的な平面図である。図10は、プローブPRを、筒状体PAと、中心導体PBとに分解して示す説明図である。図11は、プローブPRを支持部材31に組み付けるとともに、支持部材31にベースプレート321を取り付けた状態を示している。
 プローブPRは、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体PAと、導電性を有する素材により棒状に形成された単一の中心導体PBとを有し、この中心導体PBが第一中心導体と第二中心導体とに分割されていない点と、筒状体PAの後端側部PIに抱持部が設けられていない点とが第一実施形態と異なっている。また、筒状体PAの全長は、第一実施形態のPaと比べて長く形成されている。
 中心導体PBは、筒状体PA内に挿入可能に構成された棒状本体PB1と、その基端部に設けられた圧入部PB2と、この圧入部PB2に連設された鍔部PB3と、この鍔部PB3に連設された接続部PB4とを備え、棒状本体PB1の全長が第一実施形態の第一棒状本体Pb1に比べて長尺に形成されている点を除き、第一実施形態の第一中心導体Pbと略同様に構成されている。
 図9に示すように、中心導体PBの棒状本体PB1を筒状体PA内に挿入し、その基端部に設けられた圧入部PB2を、筒状体PAの一端部に形成された抱持部PDに圧入して抱持させることにより、中心導体PBの接続部PB4が筒状体PAの前端側に突出した状態で支持されたプローブPRが構成される。
 上述のプローブPRからなる接触端子は、図11に示すように、支持部材31に形成された挿通孔部Ha,Haに挿入されて組み付けられる。具体的には、プローブPRの前端側部に設けられた接続部PB4を、支持プレート31aに設けられた小径部Ha1に挿通させ、その先端部を小径部Ha1の開口部から支持部材31の外方に突出させ、かつ筒状体PAの後端側部PIをベースプレート321に設けられた電極34aに当接させた状態で、プローブPRが支持部材31に組み付けられるようになっている。
 このように、筒状体PAと、単一の中心導体PBとによりプローブPRを構成した第二実施形態では、上述の第一実施形態に比べて部品点数を低減することができるため、プローブPRからなる接触端子の構造を簡略化できるという利点がある。
(第三実施形態)
 図12は、本発明の第三実施形態に係るプローブ(接触端子)PRaの構成の一例を示す模式的な断面図である。
 プローブPRaは、両端部にスリットPh1,Ph2が形成されていない点を除いて第一実施形態の筒状体Paと略同様に構成された筒状体PAaと、第一実施形態の第一,第二中心導体Pb,Pcと同様に構成された第一,第二中心導体PBa,PCaとを備えている。
 すなわち、第一中心導体PBaは、第一実施形態の第一棒状本体Pb1と同様に構成された第一棒状本体PBa1と、その基端部に設けられた圧入部PBa2と、この圧入部PBa2に連設された鍔部PBa3と、この鍔部PBa3に連設された接続部PBa4とを備えている。また、第二中心導体PCaは、第一実施形態の第二棒状本体Pc1と同様に構成された第二棒状本体PCa1と、その基端部に設けられた圧入部PCa2と、この圧入部PCa2に連設された鍔部PCa3と、この鍔部PCa3に連設された接続部PCa4とを備えている。
 筒状体PAaは、第一,第二螺旋溝PGa1,PGa2によって構成された第一,第二ばね部PEa1,PEa2と、両ばね部PEa1,PEa2の間に設けられた連結部PFaとを有している。また、筒状体PAaの両端部には、その周壁からなる抱持部、つまり上述の分断部のない筒状の第一,第二抱持部PDa1,PDa2が設けられている。
 第一,第二棒状本体PBa1,PCa1を、筒状体PAa内にそれぞれ挿入する。そして、第一,第二中心導体PBa,PCaの圧入部PBa2,PCa2を筒状体PAaの第一,第二抱持部PDa1,PDa2内にそれぞれ圧入し、この第一,第二抱持部PDa1,PDa2を拡開変位させる等により、圧入部PBa2,PCa2の周面に第一,第二抱持部PDa1,PDa2を圧着させる。この結果、第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の圧入部PBa2,PCa2が、第一,第二抱持部PDa1,PDa2によって、それぞれ抱持されるようになっている。
 なお、上述の圧入部PBa2,PCa2を省略し、筒状体PAa内に第一,第二棒状本体PBa1,PCa1をそれぞれ挿入し、その基端部と筒状体PAaの端部と、つまり第一,第二抱持部PDa1,PDa2とを、例えば溶着、あるいはカシメ加工等、他の接続手段によって接続することにより、プローブPRaを構成してもよい。
 また、第一,第二中心導体PBa,PCaを筒状体PAaに組み付けた状態では、図12に示すように第一棒状本体PBa1の先端面と,第二棒状本体PCa1の先端面との間に、所定の間隙KGが形成されるように、第一棒状本体PBa1及び第二棒状本体PCa1の全長が設定されている。
 このように、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体PAaと、導電性を有する素材により棒状に形成された第一,第二中心導体PBa,PCaとを備えたプローブPRaにおいて、第一中心導体PBaが、筒状体PAaの一端部側に挿入される第一棒状本体PBa1を有し、かつ第二中心導体PCaが、筒状体PAaの他端部側に挿入される第二棒状本体PCa1を有し、筒状体PAaが、その一端部側において第一棒状本体PBa1の基端部を抱持する第一抱持部PDa1と、筒状体PAaの他端部側において第二棒状本体PCa1の基端部を抱持する第二抱持部PDa2と、第一抱持部PDa1に連設された第一ばね部PEa1と、第二抱持部PDa2に連設された第二ばね部PEa2と、当該第一,第二ばね部PEa1,PEa2を互いに連結する筒状の連結部PFaとを備え、第一,第二中心導体PBa,PCaは、第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の先端部がそれぞれ筒状体PAaの連結部PFa内に挿入された状態で組み付けられるとともに、第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の先端面が間隙KGを隔てて相対向した状態に維持されるように、第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の全長を設定した構成によれば、上述の第二実施形態のように単一の中心導体PBを設けた場合に比べ、第一,第二中心導体PBa,PCaを構成する第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の全長を短くすることができるので、これを筒状体PAaの両端部に挿入して第一,第二中心導体PBa,PCaを組み付ける作業を容易化することができる。
 しかも、プローブPRaを使用した基板101等の検査時に、筒状体PAaに設けられた連結部PFaに対して第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の先端部をそれぞれ接触させることによって、第一,第二ばね部PEa1,PEa2に流れる電流を減少させつつ第一中心導体PBaと第二中心導体PCaとを電気的に導通させることができる。その結果、プローブPRaのインピーダンスが大きくなったり、渦電流が発生したりするのを抑制して、プローブPRaを用いた検査精度を効果的に向上させることができる。さらに、筒状体PAaに第一,第二中心導体PBa,PCaを組み付けた状態において、先端部が筒状体PAaの連結部PFa内に届くように第一,第二棒状本体PBa1,PCa1の全長が設定されることで、これらによって筒状体Paの略全体を補強することができるため、プローブPRaの機械的強度を向上できるという利点もある。
 すなわち、本発明の一局面に従う接触端子は、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体とを備え、当該中心導体が、前記筒状体に挿通される棒状本体を有し、前記筒状体が、当該筒状体の周面に沿って螺旋溝が設けられることにより構成された螺旋状体からなるばね部と、前記棒状本体の基端部に外嵌されてこれを抱持する抱持部とを有し、当該抱持部は、前記ばね部を構成する前記螺旋溝の端部から前記筒状体の軸方向に延びるスリットにより、前記筒状体の周方向に一部が分断された周壁からなっている。
 この構成によれば、筒状体の抱持部に棒状本体の基端部を抱持させることにより、半導体素子等の検査に使用する接触端子を適正に製造することが容易である。また、筒状体のばね部を弾性変形させることにより、半導体素子等の被検査点及び配線の電極等に対する接触端子の接触圧を適正値に設定することが容易である。
 また、前記中心導体の前記棒状本体は、その外径が前記筒状体の前記抱持部の内径よりも小さく設定され、前記棒状本体の前記基端部には、その外径が、前記棒状本体が挿通されていない状態の前記筒状体の前記抱持部の内径よりも大きく設定された圧入部が設けられていることが好ましい。
 この構成によれば、筒状体に中心導体を組み付ける際に、棒状本体を筒状体内にスムーズに挿入して中心導体の組み付けを容易に行うことができる。しかも、中心導体に設けられた圧入部の周面に、筒状体の抱持部を圧着させて、この抱持部により前記圧入部を安定して抱持することが可能である。
 また、前記スリットは、前記ばね部を構成する前記螺旋溝の端部に連設されて前記筒状体の軸方向に延びている構成としてもよい。
 この構成によれば、例えばレーザ加工機から筒状体の周面にレーザ光を照射して螺旋溝を形成する際に、これに連続して前記スリットを容易に形成できるという利点がある。
 また、前記中心導体は、前記筒状体の一端部側に挿入される第一棒状本体を有する第一中心導体と、前記筒状体の他端部側に挿入される第二棒状本体を有する第二中心導体とを備え、前記筒状体には、その一端部側において前記第一棒状本体の基端部を抱持する第一抱持部と、筒状体の他端部側において前記第二棒状本体の基端部を抱持する第二抱持部とが設けられている構成とすることが好ましい。
 この構成によれば、単一の中心導体を設けた場合に比べ、第一,第二中心導体を構成する第一,第二棒状本体の全長を短くすることにより、これらを筒状体の両端部に挿入して第一,第二中心導体を組み付ける作業を容易化できる等の利点がある。
 また、前記筒状体には、前記第一抱持部に連設された第一ばね部と、前記第二抱持部に連設された第二ばね部と、当該第一,第二ばね部を互いに連結する筒状の連結部とが設けられ、前記第一,第二中心導体は、前記第一,第二棒状本体の先端部がそれぞれ前記筒状体の前記連結部内に挿入されるとともに、両棒状本体の先端面が間隙を隔てて相対向した状態に維持されるように、前記第一,第二棒状本体の全長が設定されている構成とすることが好ましい。
 この構成によれば、接触端子を使用した基板等の検査時に、第一中心導体から連結部を介して第二中心導体に電流が流れ易くなるので、筒状体の第一,第二ばね部に流れる電流を減少させつつ前記連結部を介して第一中心導体と第二中心導体とを電気的に導通させることができる。このため、前記ばね部におけるインピーダンスの増大や、渦電流の発生を低減できる。その結果、接触端子を用いた検査の精度を効果的に向上させることができる。しかも、筒状体に中心導体を組み付けた状態では、第一,第二棒状本体により筒状体の略全体を補強することができるため、接触端子の機械的強度を十分に確保できるという利点がある。
 また、本発明の一局面に従う接触端子は、導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体とを備え、当該中心導体が、前記筒状体の一端部側に挿入される第一棒状本体を有する第一中心導体と、前記筒状体の他端部側に挿入される第二棒状本体を有する第二中心導体とを備え、前記筒状体が、その一端部側において前記第一棒状本体の基端部を抱持する第一抱持部と、筒状体の他端部側において前記第二棒状本体の基端部を抱持する第二抱持部と、前記第一抱持部に連設された第一ばね部と、前記第二抱持部に連設された第二ばね部と、当該第一,第二ばね部を互いに連結する筒状の連結部とを備え、前記第一,第二中心導体は、前記第一,第二棒状本体の先端部がそれぞれ前記筒状体の前記連結部内に挿入されるとともに、両棒状本体の先端面が間隙を隔てて相対向した状態に維持されるように、前記第一,第二棒状本体の全長が設定されている。
 この構成によれば、単一の中心導体を備えた接触端子に比べ、中心導体を構成する第一,第二棒状本体の全長を短くすることができるので、これを筒状体の両端部に挿入して第一,第二中心導体を組み付ける作業を容易化することができる。また、筒状体に第一,第二中心導体を組み付けた状態において、先端部が筒状体の連結部内に届くように第一,第二棒状本体の全長が設定されることで、これらによって筒状体の略全体を補強することができるため、プローブの機械的強度を向上できるという利点もある。
 しかも、接触端子を使用した基板等の検査時に、筒状体に設けられた連結部に、第一,第二棒状本体の先端部をそれぞれ接触させることにより、前記第一,第二ばね部に流れる電流を減少させつつ第一中心導体と第二中心導体とを電気的に導通させることができる。したがって、ばね部での、インピーダンスの増大や渦電流の発生を低減することができる。その結果、接触端子を用いた検査精度を効果的に向上させることができる。
 また、本発明の一局面に従う検査治具は、上述の接触端子と、これを支持する支持部材とを備える。
 この構成によれば、半導体素子等からなる検査対象の検査に使用する検査治具を適正に製造することが容易であり、検査対象の被検査点及び配線の電極等に対する接触端子の接触圧を適正値に設定することが容易である。
 さらに、本発明の一局面に従う検査装置は、上述の検査治具と、前記接触端子を検査対象に設けられた被検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象の検査を行う検査処理部とを備える。
 この構成によれば、検査対象の検査に使用する検査装置を適正に製造することが容易であるとともに、半導体素子等の被検査点及び配線の電極等に対する接触端子の接触圧を適正値に設定することが容易である。
 このような構成の接触端子、検査治具及び検査装置は、これらを適正に製造することが容易であるとともに、電極及び検査対象に対する接触端子の接触圧を、適正値に設定することが容易である。
 この出願は、2016年11月30日に出願された日本国特許出願特願2016-232912を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。なお、発明を実施するための形態の項においてなされた具体的な実施態様又は実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、本発明は、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではない。
 1  基板検査装置
 3,3U,3D 検査治具
 KG 間隙
 Pa,PA,PAa 筒状体
 Pb,PBa 第一中心導体
 Pc,PCa 第二中心導体
 PB 中心導体
 Pb1,PBa1 第一棒状本体
 Pc1,PCa1 第二棒状本体
 PB1 棒状本体
 Pb2,Pc2,PB2,PBa2,PCa2 圧入部
 Pb3,Pc3,PB3,PBa3,PCa3 鍔部
 Pb4,Pc4,PB4,PBa4,PCa4 接続部
 Pd1,PDa1 第一抱持部
 Pd2,PDa2 第二抱持部
 PD 抱持部
 Pe1,PE1,PEa1 第一ばね部
 Pe2,PE2,PEa2 第二ばね部
 Pf,PF,PFa 連結部
 Pg1,PG1,PGa1 第一螺旋溝
 Pg2,PG2,PGa2 第二螺旋溝
 Ph1 第一スリット
 Ph2 第二スリット
 PH スリット
 Pr,PR,PRa プローブ

Claims (8)

  1.  導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、
     導電性を有する素材により棒状に形成された中心導体とを備え、
     当該中心導体は、前記筒状体に挿通される棒状本体を有し、
     前記筒状体は、
     当該筒状体の周面に沿って螺旋溝が設けられることにより構成された螺旋状体からなるばね部と、
     前記棒状本体の基端部に外嵌されてこれを抱持する抱持部とを有し、
     当該抱持部は、前記筒状体の端部に設けられたスリットにより、前記筒状体の周方向に一部が分断された周壁からなっている接触端子。
  2.  前記中心導体の前記棒状本体は、その外径が前記筒状体の前記抱持部の内径よりも小さく設定され、
     前記棒状本体の前記基端部には、その外径が、前記棒状本体が挿通されていない状態の前記筒状体の抱持部の内径よりも大きく設定された圧入部が設けられている請求項1記載の接触端子。
  3.  前記スリットは、前記ばね部を構成する前記螺旋溝の端部に連設されて前記筒状体の軸方向に延びている請求項1または2に記載の接触端子。
  4.  前記中心導体は、前記筒状体の一端部側に挿入される第一棒状本体を有する第一中心導体と、前記筒状体の他端部側に挿入される第二棒状本体を有する第二中心導体とを備え、
     前記筒状体には、その一端部側において前記第一棒状本体の基端部を抱持する第一抱持部と、前記筒状体の他端部側において前記第二棒状本体の基端部を抱持する第二抱持部とが設けられている請求項1~3のいずれか1項に記載の接触端子。
  5.  前記筒状体には、前記第一抱持部に連設された第一ばね部と、前記第二抱持部に連設された第二ばね部と、当該第一,第二ばね部を互いに連結する筒状の連結部とが設けられ、
     前記第一,第二中心導体は、前記第一,第二棒状本体の先端部がそれぞれ前記筒状体の前記連結部内に挿入されるとともに、両棒状本体の先端面が間隙を隔てて相対向した状態に維持されるように、前記第一,第二棒状本体の全長が設定されている請求項4記載の接触端子。
  6.  導電性を有する素材により筒状に形成された筒状体と、
     導電性を有する素材により棒状に形成された第一,第二中心導体とを備え、
     当該第一中心導体は、前記筒状体の一端部側に挿入される第一棒状本体を有し、
     かつ前記第二中心導体は、前記筒状体の他端部側に挿入される第二棒状本体を有し、
     前記筒状体は、
     その一端部側において前記第一棒状本体の基端部を抱持する第一抱持部と、
     筒状体の他端部側において前記第二棒状本体の基端部を抱持する第二抱持部と、
     前記第一抱持部に連設された第一ばね部と、
     前記第二抱持部に連設された第二ばね部と、
     当該第一,第二ばね部を互いに連結する筒状の連結部とを備え、
     前記第一,第二中心導体は、前記第一,第二棒状本体の先端部がそれぞれ前記筒状体の前記連結部内に挿入されるとともに、両棒状本体の先端面が間隙を隔てて相対向した状態に維持されるように、前記第一,第二棒状本体の全長が設定されている接触端子。
  7.  請求項1~6のいずれか1項に記載の接触端子と、
     前記接触端子を支持する支持部材とを備える検査治具。
  8.  請求項7記載の検査治具と、
     前記接触端子を検査対象に設けられた被検査点に接触させることにより得られる電気信号に基づき、前記検査対象の検査を行う検査処理部とを備える検査装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019086292A (ja) * 2017-11-01 2019-06-06 株式会社日本マイクロニクス プローブ及びその製造方法
JPWO2018181273A1 (ja) * 2017-03-29 2019-11-07 日本発條株式会社 プローブ、プローブユニット、およびプローブユニットを備える半導体検査装置
WO2020039969A1 (ja) * 2018-08-23 2020-02-27 日本電産リード株式会社 検査治具、検査装置、及び接触端子
CN113287023A (zh) * 2019-01-10 2021-08-20 日本电产理德股份有限公司 接触端子、检查治具以及检查装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI857011B (zh) * 2019-02-22 2024-10-01 日商日本電產理德股份有限公司 檢查治具
KR20220127814A (ko) 2020-01-10 2022-09-20 니혼덴산리드가부시키가이샤 접촉자, 검사 지그, 검사 장치, 및 접촉자의 제조 방법
US12055562B2 (en) 2020-03-19 2024-08-06 Nidec Read Corporation Contact terminal, inspection jig, and inspection apparatus
KR102678287B1 (ko) * 2021-11-08 2024-06-26 주식회사 에이엠에스티 테스트 소켓
TWI819531B (zh) * 2022-03-21 2023-10-21 皇亮科技股份有限公司 探針
CN116679097B (zh) * 2023-06-13 2025-03-11 渭南木王智能科技股份有限公司 具有过压触发功能的半导体测试探针

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010276510A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Nidec-Read Corp 検査用治具
JP2013053931A (ja) * 2011-09-05 2013-03-21 Nidec-Read Corp 接続端子及び接続治具
JP2013190270A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Nidec-Read Corp プローブ及び接続治具

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5291129A (en) * 1988-10-24 1994-03-01 Nhk Spring Co., Ltd. Contact probe
US5420519A (en) * 1992-03-10 1995-05-30 Virginia Panel Corporation Double-headed spring contact probe assembly
US5982187A (en) * 1993-07-01 1999-11-09 Alphatest Corporation Resilient connector having a tubular spring
US6034532A (en) * 1993-07-01 2000-03-07 Alphatest Corporation Resilient connector having a tubular spring
US5614820A (en) * 1994-03-10 1997-03-25 Sumitomo Wiring Systems, Ltd. Connector examination device for determining a connection in a connector
DE19907727A1 (de) * 1999-02-23 2000-08-24 Test Plus Electronic Gmbh Testadapter zur Kontaktierung von bestückten Leiterplatinen
EP1209778B1 (en) * 1999-07-28 2004-10-06 Sumitomo Wiring Systems, Ltd. A wire control apparatus and a wire mount control method
EP1496368B1 (en) * 2002-04-16 2012-03-28 NHK SPRING Co., Ltd. Conductive contact
US20060006888A1 (en) * 2003-02-04 2006-01-12 Microfabrica Inc. Electrochemically fabricated microprobes
JP3768183B2 (ja) * 2002-10-28 2006-04-19 山一電機株式会社 狭ピッチicパッケージ用icソケット
KR100546361B1 (ko) * 2003-08-08 2006-01-26 삼성전자주식회사 반도체 소자 검사장치의 포고 핀 및 그 운용방법
KR100584225B1 (ko) * 2004-10-06 2006-05-29 황동원 전자장치용 콘택트
CN101501509B (zh) * 2005-06-10 2013-08-14 特拉华资本组成公司 具有柔性内互连件的电接触探针
JP4979214B2 (ja) * 2005-08-31 2012-07-18 日本発條株式会社 プローブカード
JP5713559B2 (ja) * 2007-04-27 2015-05-07 日本発條株式会社 導電性接触子
JP2010019797A (ja) * 2008-07-14 2010-01-28 Fujitsu Ltd 両側プローブピン用ソケット、両側プローブピン、及びプローブユニット
US7880487B2 (en) * 2009-01-22 2011-02-01 Fluke Corporation Test lead probe with retractable insulative sleeve
US8324919B2 (en) * 2009-03-27 2012-12-04 Delaware Capital Formation, Inc. Scrub inducing compliant electrical contact
JP5504698B2 (ja) * 2009-06-02 2014-05-28 日本電産リード株式会社 検査用治具及び検査用接触子
WO2011036800A1 (ja) * 2009-09-28 2011-03-31 株式会社日本マイクロニクス 接触子及び電気的接続装置
US8710856B2 (en) * 2010-01-15 2014-04-29 LTX Credence Corporation Terminal for flat test probe
JP4572303B1 (ja) * 2010-02-12 2010-11-04 株式会社ルス・コム 通電検査治具用接触子の製造方法及び、これにより製造した通電検査治具用接触子、並びにこれを備えている通電検査治具
WO2011115082A1 (ja) 2010-03-15 2011-09-22 日本電産リード株式会社 接続端子及び接続治具
JP4998838B2 (ja) * 2010-04-09 2012-08-15 山一電機株式会社 プローブピン及びそれを備えるicソケット
KR101020025B1 (ko) * 2010-06-01 2011-03-09 주식회사 엔티에스 전자부품 검침 프로브
PH12012502538A1 (en) * 2010-06-25 2013-02-11 Nhk Spring Co Ltd Contact probe and probe unit
KR101696240B1 (ko) * 2011-01-14 2017-01-13 리노공업주식회사 프로브
JP5845678B2 (ja) * 2011-07-21 2016-01-20 日本電産リード株式会社 検査用接触子及び検査用治具
SG11201406561XA (en) * 2012-04-13 2014-11-27 Capital Formation Inc Test probe assembly and related methods
US8373430B1 (en) * 2012-05-06 2013-02-12 Jerzy Roman Sochor Low inductance contact probe with conductively coupled plungers
US8547128B1 (en) * 2012-05-06 2013-10-01 Jerzy Roman Sochor Contact probe with conductively coupled plungers
US8408946B1 (en) * 2012-05-26 2013-04-02 Jerzy Roman Sochor Low inductance contact with conductively coupled pin
KR101439342B1 (ko) * 2013-04-18 2014-09-16 주식회사 아이에스시 포고핀용 탐침부재
TWI555987B (zh) * 2014-01-28 2016-11-01 Spring sleeve type probe and its manufacturing method
JP6546719B2 (ja) 2014-02-07 2019-07-17 株式会社日本マイクロニクス 接触検査装置
JP6269337B2 (ja) * 2014-06-16 2018-01-31 オムロン株式会社 プローブピン、および、これを用いた電子デバイス
JP6411169B2 (ja) 2014-10-22 2018-10-24 株式会社日本マイクロニクス 電気的接触子及び電気的接続装置
DE102015004151B4 (de) * 2015-03-31 2022-01-27 Feinmetall Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Federkontaktstift-Anordnung mit mehreren Federkontaktstiften
TWI554763B (zh) * 2015-10-28 2016-10-21 旺矽科技股份有限公司 彈簧式探針頭
JP6637742B2 (ja) * 2015-11-25 2020-01-29 株式会社日本マイクロニクス 電気的接触子及び電気的接続装置
TWI598594B (zh) * 2016-09-20 2017-09-11 中華精測科技股份有限公司 插銷式探針
JP7098886B2 (ja) * 2017-07-04 2022-07-12 日本電産リード株式会社 接触端子、検査治具、及び検査装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010276510A (ja) * 2009-05-29 2010-12-09 Nidec-Read Corp 検査用治具
JP2013053931A (ja) * 2011-09-05 2013-03-21 Nidec-Read Corp 接続端子及び接続治具
JP2013190270A (ja) * 2012-03-13 2013-09-26 Nidec-Read Corp プローブ及び接続治具

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2018181273A1 (ja) * 2017-03-29 2019-11-07 日本発條株式会社 プローブ、プローブユニット、およびプローブユニットを備える半導体検査装置
JP7023276B2 (ja) 2017-03-29 2022-02-21 日本発條株式会社 プローブ、プローブユニット、およびプローブユニットを備える半導体検査装置
JP2019086292A (ja) * 2017-11-01 2019-06-06 株式会社日本マイクロニクス プローブ及びその製造方法
JP7017373B2 (ja) 2017-11-01 2022-02-08 株式会社日本マイクロニクス プローブ及びその製造方法
WO2020039969A1 (ja) * 2018-08-23 2020-02-27 日本電産リード株式会社 検査治具、検査装置、及び接触端子
CN112601965A (zh) * 2018-08-23 2021-04-02 日本电产理德股份有限公司 检查治具、检查装置以及接触端子
JPWO2020039969A1 (ja) * 2018-08-23 2021-08-12 日本電産リード株式会社 検査治具、検査装置、及び接触端子
JP7409310B2 (ja) 2018-08-23 2024-01-09 ニデックアドバンステクノロジー株式会社 検査治具、検査装置、及び接触端子
CN113287023A (zh) * 2019-01-10 2021-08-20 日本电产理德股份有限公司 接触端子、检查治具以及检查装置

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