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TWI853587B - 旋轉塗佈設備 - Google Patents

旋轉塗佈設備 Download PDF

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TWI853587B
TWI853587B TW112119265A TW112119265A TWI853587B TW I853587 B TWI853587 B TW I853587B TW 112119265 A TW112119265 A TW 112119265A TW 112119265 A TW112119265 A TW 112119265A TW I853587 B TWI853587 B TW I853587B
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TW
Taiwan
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rotary
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TW112119265A
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English (en)
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TW202446489A (zh
Inventor
王昇龍
蔡謦鴻
Original Assignee
全智新系統科技股份有限公司
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Abstract

本發明關於一種旋轉塗佈設備,其包括:一旋轉台、一蓋體及一磁性機構。該旋轉台圍構有一腔室,該腔室供一待塗佈體放置定位;該蓋體可蓋設於該旋轉台以罩蓋該腔室;該磁性機構包含有一第一磁性件與一第二磁性件,該第一磁性件與該第二磁性件其中一者設於該旋轉台、另一者設於該蓋體,當該蓋體蓋設於該旋轉台時,該第一磁性件與該第二磁性件之間產生磁力作用,以使該蓋體固定於該旋轉台而成同轉動關係。

Description

旋轉塗佈設備
本發明係與塗佈技術有關,特別是有關於一種旋轉塗佈設備。
旋轉塗佈機為塗佈、塗膜的專用機台,其應用廣泛舉例但不限於電子產品、光學產品、汽車產品、醫療器械或玻璃品,旋轉塗佈機之原理係透過旋轉作用力令位於待塗佈物之表面的塗料擴散,進而塗料均勻地於待塗佈物之表面形成一層均勻的塗層。
有眾多因素會影響到塗料層的品質,舉例來說,常見的因素有旋轉的速度、塗料的流量和旋轉時間三者都會明顯影響到塗層厚度和均勻度,然而,除了上述三者因素之外還有其他干擾因素,因此,有必要提供一種新穎且具有進步性之旋轉塗佈設備,以解決上述之問題。
本發明之主要目的在於提供一種旋轉塗佈設備,透過蓋體覆蓋住腔室,以令腔室中的氣體一同被包覆住而同步旋轉,以消除氣體亂流等影響,並且,透過磁性相互作用原理進行動能轉換,以使蓋體隨旋轉台同時轉動,提升成品之品質。
為達成上述目的,本發明提供一種旋轉塗佈設備,包括:一旋轉台、一蓋體及一磁性機構。該旋轉台圍構有一腔室,該腔室供一待塗佈體放置定位;該蓋體可蓋設於該旋轉台以罩蓋該腔室;該磁性機構包含有一第一磁性件與一第二磁性件,該第一磁性件與該第二磁性件其中一者設於該旋轉台、另一者設於該蓋體,當該蓋體蓋設於該旋轉台時,該第一磁性件與該第二磁性件之間產生磁力作用,以使該蓋體可隨該旋轉台轉動;其中,該旋轉塗佈設備另包含有一收集碗體,該收集碗體圍構有一內部空間,該旋轉台可相對該收集碗體旋轉地容設於該內部空間,該旋轉台貫設有複數排出孔,該複數排出孔連通該腔室與該內部空間,該內部空間包含有相連通之一擺放區及一集液區,該旋轉台位於該擺放區,該複數排出孔連通該集液區,該集液區供承接自該腔室排出的塗佈液體;其中,該收集碗體另包含有至少一排液通道,該至少一排液通道連通該集液區與外界;其中,該收集碗體另包含有至少一抽氣通道,該內部空間另包含有一抽氣區,該抽氣區連通該集液區與該至少一抽氣通道,該至少一抽氣通道連通該抽氣區與外界。
1,1A,1B:旋轉台
11:第一凹槽
12,12B:腔室
13:排出孔
2,2A,2B:蓋體
21:第二凹槽
3:磁性機構
31,31A,31B:第一磁性件
32,32A,32B:第二磁性件
4:收集碗體
41:內部空間
412:擺放區
413:集液區
414:抽氣區
42:排液通道
43:抽氣通道
5:移動裝置
6:減速裝置
7:待塗佈體
8:間隙
9:罩體
圖1為本發明之第一實施例之立體圖。
圖2為圖1之分解圖。
圖3為本發明之第一實施例之收集碗體之立體圖。
圖4為本發明之第一實施例之剖視圖。
圖5為圖4之局部放大圖。
圖6為本發明之第二實施例之分解圖。
圖7為本發明之第二實施例之局部剖視放大圖。
圖8為本發明之第三實施例之局部剖視放大圖。
以下僅以實施例說明本發明可能之實施態樣,然並非用以限制本發明所欲保護之範疇,文中所提之名詞前冠以的「一」或「至少一」並非對數量進行限制,依據需求亦可為「複數」個,此數量上之變化亦為所欲保護之範圍,合先敘明。
請參考圖1至圖5,其顯示本發明之第一實施例,本發明之旋轉塗佈設備包括:一旋轉台1、一蓋體2及一磁性機構3。
該旋轉台1圍構有一腔室12,該腔室12供一待塗佈體7(如晶圓、玻璃圓盤…等等)放置定位,於使用時在於該待塗佈體7之表面設置塗料(如光阻液)。該蓋體2可蓋設於該旋轉台1以罩蓋該腔室12。該磁性機構3包含有一第一磁性件31與一第二磁性件32,該第一磁性件31與該第二磁性件32其中一者設於該旋轉台1、另一者設於該蓋體2,當該蓋體2蓋設於該旋轉台1時,該第一磁性件31與該第二磁性件32之間產生磁力作用,以使該蓋體2可隨該旋轉台1轉動。
該旋轉台1、該蓋體2、該第一磁性件31及該第二磁性件32呈同軸配置,以利配置重心掌握整體之平衡度,舉例但不限於,該第一磁性件31與該第二磁性件32之間係產生磁性相吸的作用力,能令旋轉時該蓋體2能維持平穩地吸附於該旋轉台1以抵禦離心力作用,確實達到同步轉動不會任意晃動之目的,使得塗料能均勻塗佈於該待塗佈體7表面(統一厚度)。
於本實施例中,該第一磁性件31係為磁鐵,該第二磁性件32亦係為磁鐵,磁鐵的選用具有材料易得、組裝容易、結構元件簡約之優點,當然依據使用需求不同,可以選電磁鐵、磁性膠、磁性漆…等等各種具有磁性之材料。較詳細地說,該第一磁性件31與該第二磁性件32分別設於該旋轉台1與該蓋體2相互面對的一側,該旋轉台1面向該蓋體2之一側於外周緣處凹設有一第一凹槽11,該蓋體2面向該旋轉台1之一側於外周緣處凹設有一第二凹槽21,該第一磁性件31與該第二磁性件32其中一者嵌設於該第一凹槽11、另一者嵌設於該第二凹槽21。
更詳細地說,該第一凹槽11與該第二凹槽21分別呈環形,該第一磁性件31與該第二磁性件32分別呈環形條狀,並且,當該蓋體2蓋設於該旋轉台1時,該第一磁性件31與該第二磁性件32相互抵靠接觸,使得該第一磁性件31與該第二磁性件32能以較小磁吸面積或較小整體體積就能有較佳的磁吸力強度。
當然,並不僅侷限於上述配置,請進一步參酌圖6及圖7的第二實施例,第一磁性件31A與第二磁性件32A分別設於旋轉台1A與蓋體2A相互背對的一側,當該蓋體2A蓋設於該旋轉台1A時,該第一磁性件31A與該第二磁性件32A之間呈間隔配置。並且,該第一磁性件31A與該第二磁性件32A分別呈板狀地貼附於該旋轉台1A與該蓋體2A相互背對的一側,藉此能夠提供大面積、均勻、足夠強度的磁吸力作用,使得該蓋體2A能穩定結合於該旋轉台1A。
請再參酌圖1至圖5之第一實施例,該旋轉塗佈設備另包含有一移動裝置5,該移動裝置5連接該蓋體2而可帶動其移動於一第一位置及一第二位置,當該蓋體2位於該第一位置時,該蓋體2未罩蓋該腔室12,當該蓋體2位於該第二位置時,該蓋體2罩蓋住該腔室12,透過該移動裝置5可以有效進行移動行程 規劃,減少人工放置誤差提升對位放置精準度,且能達到半自動化、全自動化製程。
值得一提的是,該旋轉塗佈設備較佳另包含有一減速裝置6,該減速裝置6連接於該移動裝置5與該蓋體2之間,當該移動裝置5帶動該蓋體2自該第二位置朝向該第一位置移動時,該減速裝置6致動,用以停止該蓋體2脫離該旋轉台1後的慣性旋轉,於本實施例中,該減速裝置6係為電磁剎車器,以避免接觸摩擦產生晃動。
該旋轉塗佈設備另包含有一收集碗體4,該收集碗體4圍構有一內部空間41,該旋轉台1可相對該收集碗體4旋轉地容設於該內部空間41,該旋轉台1貫設有複數排出孔13,該複數排出孔13連通該腔室12與該內部空間41,於該旋轉台1轉動時,多餘的塗料可經由該複數排出孔13流至該內部空間41。
進一步地說,該內部空間41包含有相連通之一擺放區412及一集液區413,該旋轉台1位於該擺放區412,該複數排出孔13連通該集液區413,該集液區413供承接自該腔室12排出的塗佈液體(塗料);其中,該收集碗體4另包含有至少一排液通道42,該至少一排液通道42連通該集液區413與外界,以便於外界進行收集回收再利用或是統一儲備。
更進一步地說,該收集碗體4另包含有至少一抽氣通道43,該內部空間41另包含有一抽氣區414,該抽氣區414連通該集液區413與該至少一抽氣通道43,該至少一抽氣通道43連通該抽氣區414與外界,藉此可以將揮發的塗料蒸氣統一收集進行處理,避免直接擴散至外界,能保護人身安全及環境保護。並且,抽氣產生的作用力亦能產生統一氣流流向引導,故該複數排出孔13係環繞於該待塗佈體7,能使得氣流穩定地向外均勻流動,確保塗料移動擴散之穩定度。
於本實施例中,該至少一排液通道42之數量為一,該至少一抽氣通道43之數量為四,四該抽氣通道43能產生均勻且穩定地抽氣作用力,該集液區413呈環形,該抽氣區414呈環形,該集液區413與該抽氣區414呈同心環配置,該集液區413位於該抽氣區414之外環側。
請參酌圖8之第三實施例,其與第一實施例不同之處在於第一磁性件31B與第二磁性件32B之間係產生磁性相斥的作用力,蓋體2B與旋轉台1B之間保持有一間隙8,當該旋轉台1B轉動時透過磁性相斥的方式驅使該蓋體2B旋動,該蓋體2B轉動後會帶動氣旋向外自該間隙8排出,導引腔室12B的氣流流向穩定不會造成紊流,令塗料可以均勻地流動。
該第三實施例與第一實施例另一不同之處在於在最外層配置有一罩體9,該罩體9罩設住該蓋體2B與該間隙8以形成封閉空間,該罩體9可阻隔外界干擾,提升塗佈穩定度及品質。
1:旋轉台
11:第一凹槽
12:腔室
13:排出孔
2:蓋體
21:第二凹槽
31:第一磁性件
32:第二磁性件
6:減速裝置
7:待塗佈體

Claims (11)

  1. 一種旋轉塗佈設備,包括:一旋轉台,圍構有一腔室,該腔室供一待塗佈體放置定位;一蓋體,可蓋設於該旋轉台以罩蓋該腔室;及一磁性機構,包含有一第一磁性件與一第二磁性件,該第一磁性件與該第二磁性件其中一者設於該旋轉台、另一者設於該蓋體,當該蓋體蓋設於該旋轉台時,該第一磁性件與該第二磁性件之間產生磁力作用,以使該蓋體可隨該旋轉台轉動;其中,該旋轉塗佈設備另包含有一收集碗體,該收集碗體圍構有一內部空間,該旋轉台可相對該收集碗體旋轉地容設於該內部空間,該旋轉台貫設有複數排出孔,該複數排出孔連通該腔室與該內部空間;該內部空間包含有相連通之一擺放區及一集液區,該旋轉台位於該擺放區,該複數排出孔連通該集液區,該集液區供承接自該腔室排出的塗佈液體;其中,該收集碗體另包含有至少一排液通道,該至少一排液通道連通該集液區與外界;其中,該收集碗體另包含有至少一抽氣通道,該內部空間另包含有一抽氣區,該抽氣區連通該集液區與該至少一抽氣通道,該至少一抽氣通道連通該抽氣區與外界。
  2. 如請求項1所述的旋轉塗佈設備,其中該第一磁性件與該第二磁性件分別設於該旋轉台與該蓋體相互面對的一側。
  3. 如請求項2所述的旋轉塗佈設備,其中當該蓋體蓋設於該旋轉台時,該第一磁性件與該第二磁性件相互抵靠接觸。
  4. 如請求項2所述的旋轉塗佈設備,其中該旋轉台面向該蓋體之一側於外周緣處凹設有一第一凹槽,該蓋體面向該旋轉台之一側於外周緣處凹設有一第二凹槽,該第一磁性件與該第二磁性件其中一者嵌設於該第一凹槽、另一者嵌設於該第二凹槽。
  5. 如請求項4所述的旋轉塗佈設備,其中該第一凹槽與該第二凹槽分別呈環形,該第一磁性件與該第二磁性件分別呈環形條狀。
  6. 如請求項1所述的旋轉塗佈設備,其中該第一磁性件與該第二磁性件分別設於該旋轉台與該蓋體相互背對的一側,當該蓋體蓋設於該旋轉台時,該第一磁性件與該第二磁性件之間呈間隔配置。
  7. 如請求項6所述的旋轉塗佈設備,其中該第一磁性件與該第二磁性件分別呈板狀地貼附於該旋轉台與該蓋體相互背對的一側。
  8. 如請求項1至7其中任一項所述的旋轉塗佈設備,另包含有一移動裝置,該移動裝置連接該蓋體而可帶動其移動於一第一位置及一第二位置,當該蓋體位於該第一位置時,該蓋體未罩蓋該腔室,當該蓋體位於該第二位置時,該蓋體罩蓋住該腔室。
  9. 如請求項8所述的旋轉塗佈設備,另包含有一減速裝置,該減速裝置連接於該移動裝置與該蓋體之間,當該移動裝置帶動該蓋體自該第二位置朝向該第一位置移動時,該減速裝置致動,用以停止該蓋體脫離該旋轉台後的慣性旋轉。
  10. 如請求項9所述的旋轉塗佈設備,其中該減速裝置係為電磁剎車器。
  11. 如請求項5所述的旋轉塗佈設備,其中該旋轉塗佈設備另包含有一移動裝置及一減速裝置,該移動裝置連接該蓋體而可帶動其移動於一第一位置及一第二位置,當該蓋體位於該第一位置時,該蓋體未罩蓋該腔室,當該蓋體位於該第二位置時,該蓋體罩蓋住該腔室,該減速裝置連接於該移動裝置與該蓋體之間,當該移動裝置帶動該蓋體自該第二位置朝向該第一位置移動時,該減速裝置致動,用以停止該蓋體脫離該旋轉台後的慣性旋轉;該減速裝置係為電磁剎車器;該第一磁性件係為磁鐵;該第二磁性件係為磁鐵;該旋轉台、該蓋體、該第一磁性件及該第二磁性件呈同軸配置;該至少一排液通道之數量為一,該至少一抽氣通道之數量為四,該集液區呈環形,該抽氣區呈環形,該集液區與該抽氣區呈同心環配置,該集液區位於該抽氣區之外環側。
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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TW201420201A (zh) * 2012-08-31 2014-06-01 Dainippon Screen Mfg 基板處理裝置
TW201643954A (zh) * 2015-03-27 2016-12-16 思可林集團股份有限公司 基板處理裝置及基板處理方法

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