TWI820237B - 聚合物結構、其立體光刻製造方法以及包含該聚合物結構之電子裝置 - Google Patents
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Abstract
提供一具有空間梯度介電常數之聚合物結構之立體光刻製造方法,且包含:提供定體積之液體輻射可固化組成物;以圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物之一部分以形成層聚合物結構;使層與液體輻射可固化組成物接觸;以圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物以於第一層上形成第二層;及重複接觸及照射以形成聚合物結構,聚合物結構包含複數個單位胞元,每一單位胞元與相鄰單位胞元連接成一體,每一單位胞元由藉由照射形成之複數個桁架界定,桁架於其各自端部處彼此連接成一體,且每一單位胞元之桁架之尺寸被設計成提供空間梯度介電常數。
Description
本文揭露一種藉由增材製造來製造具有一空間變化介電常數之結構之方法、藉由該方法製成之電子裝置以及電子裝置於電子製品中之用途。
眾多具有一預選介電常數之介電結構已被闡述用於電子裝置中。製造具有一空間變化介電常數之結構(例如盧納堡(Luneburg)透鏡)之方法係為一更難解決之問題。一種處理製造例如一盧納堡透鏡等結構之方法係為於空間上改變介電材料之密度,此會導致介電常數之一對應空間變化。例如,US5677796闡述了一種具有一介電梯度之盧納堡透鏡,該介電梯度係藉由鑽出自一球體之中心徑向延伸之複數個孔來形成,以控制材料之合成局部密度且因此控制相對介電常數隨距球體中心之距離而變化。US7179844闡述了三種不同複合物之三維膨脹,以提供具有一均勻但不同介電常數之三種不同材料,然後將該等材料分層以提供具有介電常數之一階躍梯度之一結構。該等方法緩慢,複雜且難以適應不同之形狀以及不同之梯度。
增材製造(additive manufacturing;AM)(其包含三維(3-dimensional;3D)印刷以及實體自由成形製作)容許自一數位模型生產幾乎任何形狀之三維物體。通常,此係藉由用電腦輔助設計(computer-aided design;CAD)建模軟體創建一所需結構之一數位藍圖,然後將該虛擬藍圖切割成數位橫截面來達成的。該等橫截面係於一順序分層製程中形成或沉積以創建三維結構。樑(Liang)等人闡述了一種製作具有介電常數之一階躍梯度之結構之增材製造(AM)方法。(樑、M.等人,「藉由聚合物噴射快速原型製作而製作之三維盧納堡透鏡天線(A 3-D Luneburg lens antenna fabricated by polymer jetting rapid prototyping)」,天線與傳播之IEEE學報(IEEE Transactions on Antennas and Propagation),62(4),1799-1807)。樑等人闡述了一種與一噴墨製程相似之聚合物噴射製程,其中將二不同輻射可固化組成物(一種用於物體且一種用於支撐材料)之薄層被噴射至一工作台上並進行固化。聚合物噴射製程容許製造一變化整體形狀之小結構。然而,該形狀受到限制,此乃因除非支撐材料被同時放置然後移除,否則無法存在懸垂物。該製程於所使用之聚合物之類型方面受到進一步限制,此乃因聚合物必須能夠以非常細之流噴射,而同時於固化時提供所需機械特性以及電特性。
因此,此項技術中仍然需要製造介電常數橫跨材料而空間變化之介電聚合物結構之高效、靈活之方法。
本文揭露一種製造具有一空間梯度介電常數之一聚合物結構之方法,該方法包含:提供一定體積之液體輻射可固化組成物;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物之一部分以形成一層聚合物結構;使
該層與液體輻射可固化組成物接觸;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物以於第一層上形成一第二層;以及重複接觸以及照射以形成聚合物結構,其中聚合物結構包含複數個單位胞元,其中每一單位胞元與一相鄰單位胞元連接成一體,每一單位胞元係由藉由照射形成之複數個桁架界定,其中桁架於其各自端部處彼此連接成一體,且每一單位胞元之桁架之尺寸被設計成提供空間梯度介電常數。
亦揭露藉由上述方法製成之聚合物結構。
於另一態樣中,一種電子裝置包含一聚合物結構,其中該聚合物結構包含:包含複數個單位胞元之一介電材料統一體,各該單位胞元包含於其各自端部處彼此連接成一體之複數個桁架,其中各該單位胞元與該等單位胞元中之一相鄰單位胞元連接成一體;且其中該介電材料統一體之平均介電常數自該統一體之一第一部分至該統一體之一第二部分變化。
亦闡述一種包含該聚合物結構之電子裝置,其中介電材料統一體形成一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器或一介電天線之至少部分。
上述及其他特徵藉由下圖、詳細說明、實例及申請專利範圍來舉例說明。
10:立方體單位胞元
10a、10b、10c:單位胞元
12、12a、12b:桁架
13:間隙空間
13a:間隙
13b、13c:間隙/間隙空間
14:端部/球體/接合部
14a-1、14a-2、14b-1、14b-2:端部
20:八隅體單位胞元/聚合物結構/介電結構
20.1:第一介電部分(1DP)
20.2:第二介電部分(2DP)
30:中心點
32、34、36、42、44、46、48:區段
52a:第一頂點
52b:第二頂點
53:第一區段
54:第二區段
100:電子結構或裝置
102:電性接地平面
H1、H2:高度
X:方向/軸
Y:方向/軸
Z:方向/軸
下圖係為例示性態樣,提供該等例示性態樣係為了例示本揭露之態樣。
第1A圖係為一聚合物結構之一立方晶格單位胞元之示意性立體圖,且第1B圖係為如第1A圖所示包含複數個立方晶格單位胞元之一聚合物結構之示意性立體圖。
第2A圖係為一聚合物結構之一八隅體晶格單位胞元之示意性立體圖,且第2B圖係為如第2A圖所示包含複數個八隅體晶格單位胞元之一聚合物結構之示意性立體圖。
第3A圖至第3F圖係為例示性實施例之桁架之示意性剖視圖。
第4A圖至第4D圖係為例示性實施例之桁架之示意性側視圖。
第5圖係為示出一八隅體單位胞元之Dk與桁架直徑之關係之曲線圖。
第6A圖至第6J圖係為例示性實施例之聚合物結構之形狀之示意性表示形式。
第7A圖至第7E圖係為例示性實施例之聚合物形狀之示意性剖視圖。
第8圖係為一聚合物結構之示意性立體圖,由於桁架直徑於X方向上增加,因此該聚合物結構具有於X方向上增加之一階躍梯度介電常數(step gradient dielectric constant)。
第9圖係為一聚合物結構之示意性立體圖,由於桁架直徑於X方向上增加,因此該聚合物結構具有於X方向上增加之一連續梯度介電常數。
第10A圖至第10F圖係為例示性實施例之聚合物結構之介電梯度之示意性表示形式。
第11圖繪示根據一實施例之一電子結構或裝置,特別是一電磁結構或裝置。
本發明人已發現,使用立體光刻設備(stereolithography apparatus;SLA)增材製造可高效地獲得介電常數橫跨聚合物材料而變化之聚合物結
構。特別是,SLA方法可用於提供具有一開放晶格胞元結構之聚合物結構,其中每一晶格之大小係為變化的以提供介電常數之一對應變化。此種方法容許以各種構型以及各種形狀快速、高效地製造具有一預選介電常數梯度之結構。該方法亦適用於使用不同聚合物以及聚合物組成物。可製造適用於5G應用之聚合物結構。
SLA於此項技術中亦被稱為光學製作、光凝固以及樹脂印刷。前述方法中之任一者皆可於本文中使用,並被統稱為「SLA」方法。於該等方法中,使用一光源自底層開始至頂層或自頂層開始至底層,選擇性地對液體樹脂之連續薄層進行光聚合。例如,於US4575330、US4929402、US5104592、US5184307、US5192559、US5234636、US5236637以及US5273691中闡述了此製程。
存在不同之SLA方法,包含直接/雷射寫入以及使用數位投影之基於遮罩之寫入。於直接/雷射寫入中,其上形成有聚合物材料之一工作台位於用於形成聚合物之一定體積之可固化液體樹脂組成物之一表面正下方。一單一光源(例如,一雷射器)沿著可固化組成物之表面逐列移動,直至將所需層完全固化。為起始下一層,該工作台下降至該體積之可固化液體樹脂組成物中,直至可固化組成物之一新層覆蓋表面,且重複該固化製程。於各層之間,一裝載有可固化液體樹脂組成物之刀片將樹脂表面整平,以確保於另一輪曝光之前得到一均勻液體層。重複此程序,直至可固化液體樹脂組成物被印刷成形成三維結構。
於使用數位投影之基於遮罩之寫入中,將工作台浸沒於該體積之液體可固化組成物中一界定距離。該體積位於具有一光學透明底部之一浴槽中。接下來,光源以一圖案被引導至工作台,以於光源與工作台之間對
可固化組成物進行聚合。於數位投影方法中,一數位反射鏡裝置容許對一給定圖案之一整個層進行同時固化。然後,可將工作台升高一界定距離,且可將另一層固化。重複此程序,直至可固化液體樹脂組成物被印刷成形成三維結構。
由SLA形成之聚合物結構係為一包含複數個單位胞元之介電材料統一體。每一單位胞元包含複數個桁架,該等桁架於其各自端部處彼此連接成一體。每一單位胞元與單位胞元中之一相鄰單位胞元連接成一體。介電材料統一體之平均介電常數自該統一體之一個部分至該統一體之另一部分變化。例如,介電材料統一體之平均介電常數可自統一體之一內部至一外部或自統一體之一個側至外側變化。
特別地,單位胞元包含對間隙空間進行界定之桁架,例如,如第1A圖以及第1B圖所示。第1A圖示出一立方體單位胞元10,立方體單位胞元10包含對間隙空間13進行界定之桁架12。第2A圖示出一八隅體單位胞元20,八隅體單位胞元20包含桁架以及由桁架界定之間隙空間。本文所用之用語「桁架」意指構件之一框架之一結構構件,其中每一桁架構件僅於由球體14指示之其各自端部14處連接至另一相鄰桁架構件,以於桁架端部之間形成接合部。假設藉由每一桁架構件分佈之任何載荷藉由對應接合部14進行分佈。應理解,接合部14處所示之球體僅用於例示接合部,且可存在或可不存在於聚合物晶格結構中。於一態樣中,除由形成接合部之每一桁架貢獻之材料外,於聚合物晶格結構之接合部處不存在額外材料。
每一桁架12可係為筆直的或彎曲的。於一態樣中,每一桁架實質上係為筆直的。每一桁架可具有一不規則或實質上規則之橫截面。例如,參考第3B圖至第3F圖,橫截面可係為圓形(第3A圖)、橢圓形(第3B
圖)、多邊形(例如,六邊形(第3C圖)或矩形(第3D圖))、環形(第3E圖)、卵形(第3F圖)等。於一態樣中,每一桁架於整個桁架長度上具有相同橫截面,例如圓形或方形。作為另一選擇,可改變每一桁架之橫截面,例如具有於每一端部處實質上圓形但於每一端部間之部分中為實質上方形之一桁架。一單位胞元內之每一桁架可更具有相同橫截面直徑或一變化之直徑。例如,儘管第2A圖中之每一桁架12被示出為於其整個長度上具有一實質上均勻之直徑,但參考第4A圖至第4D圖,每一桁架亦可具有一沿其長度變化之直徑,例如於其每一端部處具有一較大圓形直徑之一狗骨形狀(第4A圖),或者於其每一端部處具有較大直徑之一金字塔形狀(第4B圖)或一多邊形形狀(第4C圖)。於某些態樣中,特別是於如下文更詳細闡述需要一連續梯度之情況下,桁架可具有自一個端部至另一端部連續變化之直徑,即自較小至較大(第4D圖),其中H1小於H2。
每一桁架之一直徑可為0.03毫米至5.0毫米(mm)、較佳為0.05毫米至4.0毫米範圍內。本文使用之「直徑」係指平均最大橫截面尺寸。於桁架具有一實質上恆定之直徑之情況下,平均直徑可為0.03至5.0、較佳為0.05至4.0範圍內。於桁架具有一連續變化之直徑之情況下,桁架可於此範圍內變化,例如自0.03毫米至1.0毫米、自1.0毫米至1.7毫米、自1.7毫米至2.4毫米等。
單位胞元可係為任何晶格構型,例如立方體(第1A圖)及其變型(例如,體心立方體或面心立方體)或八隅體(第2A圖)。較佳為使用一八隅體晶格單位胞元,此乃因其容許更細之桁架直徑以及可更容易按比例縮放至更高頻率之長度。八隅體晶格單元亦係為有利的,此乃因其於該單元內可具有一各向同性(isotropic)介電常數,使得一給定電磁波可以相
同方式與該單元交互作用,而無論其定向如何。第5圖示出對介電常數(Dk)與以毫米為單位之桁架直徑間之關係進行預測之模擬。
各該單位胞元之大小可小於聚合物結構被設計成以其運作之一電磁波波長之30%、或小於20%、或小於10%。電磁波之波長主要受製造能力限制,因此可廣泛地變化。於一態樣中,運作之頻率範圍係為1十億赫茲至100十億赫茲,即3毫米至300毫米之一波長。最小胞元大小(例如,1毫米)目前可受當前製造能力限制。
如第1B圖以及第2B圖所示,聚合物結構係為一三維統一體,其包含複數個單位胞元,其中每一胞元與另一胞元相鄰。於一態樣中,每一單位胞元與單位胞元中之一相鄰單位胞元連接成一體。例如,第1B圖中之聚合物結構20包含八個單位胞元10。儘管第1B圖以及第2B圖之聚合物結構分別被示出為一立方體以及一不規則形狀,但可使用任何形狀。現在參考第6A圖至第6J圖,本文揭露之任何介電結構20可具有一圓柱體(第6A圖)、一多邊形盒(第6B圖)、一錐形多邊形盒(第6C圖)、一圓錐體(第6D圖)、一立方體(第6E圖)、一截頭錐體(第6F圖)、一正方形金字塔(第6G圖)、一圓環(第6H圖)、一圓頂(第6I圖)、一細長圓頂(第6J圖)形狀之一三維形式或適合於本文揭露之一目的之任何其他三維形式。現在參考第7A圖至第7E圖,此等形狀之一z軸橫截面可為一圓形(第7A圖)、一多邊形(第7B圖)、一矩形(第7C圖)、一環形(第7D圖)、一橢圓形(第7E圖)形狀或適合於本文揭露之一目的之任何其他形狀。此外,形狀可取決於所使用之聚合物、所需介電梯度、所選擇之單位胞元類型以及所需機械性質及電性質。
聚合物結構中之介電梯度係藉由改變每一單位胞元之密度、更普
遍地一選定組單位胞元之密度來建立。可藉由於每一單位胞元中包含更多材料來改變密度,其中更多材料會提供一更高介電常數,而更少材料會提供一更低介電常數。例如,以上引用之樑等人所揭露之一層中之每組單位胞元可包含沉積於單位胞元接合部處之附加聚合物。
於一較佳態樣中,藉由改變一選定組單位胞元中之每一桁架之直徑來改變聚合物結構之密度。參考第8圖,聚合物結構20於X方向上包含三組單位胞元10a、10b以及10c。每組單位胞元10a、10b以及10c之每一桁架之直徑之厚度於X方向上增加,以分別減小單位胞元10a、10b以及10c中之每一者中之間隙13a、13b、13c之大小。當間隙充滿空氣時,會提供介電常數自較低(組10a)至較高(組10c)之一階躍梯度。
於另一態樣中,一單位胞元之每一桁架之直徑可於一組胞元內變化,以提供一連續梯度。例如,如第9圖所示,沿著組10a之X方向之桁架12a(水平桁架)之直徑自端部14a-1向端部14a-2增加,直至與單位胞元組10b之桁架12b接合。端部14a-2具有與桁架12b之端部14b-1相同之直徑。桁架12b(亦係為水平桁架)之直徑自端部14b-1向端部14b-2進一步增加。於端部14a-1處接合之Y方向桁架以及Z方向桁架具有與端部14a-1相同之直徑。組10a與組10b共用之Y方向桁架以及Z方向桁架具有與端部14a-2/14b-1相同之直徑。於端部14b-2處接合之Y方向桁架以及Z方向桁架具有與端部14b-2相同之直徑。此構型提供沿聚合物結構20之X軸以及Y軸增加之一連續介電梯度。沿Z軸之介電梯度係為恆定的。
藉由相應地改變單位胞元中之桁架之直徑,可相應地改變聚合物結構中介電梯度之方向,如第10A圖至第10F圖所示。例如,介電常數可如第10A圖所示自一共用點於三個維度上變化,其中箭頭指示介電常數於
三個維度上自一半球之一中心點30朝向半球之邊緣連續、均勻減小。
第10B圖示出縱向分成三個區段,即一內部區段、一中間區段以及一外部區段之一圓柱體之剖視圖。內部區段具有一第一介電常數,中間區段具有一第二介電常數,且第三區段具有一第三介電常數,以提供一徑向階躍梯度介電常數。於一態樣中,第一介電常數可低於第二介電常數,第二介電常數可低於第三介電常數。作為另一選擇,於另一態樣中,第一介電常數可高於第二介電常數,第二介電常數可高於第三介電常數。於又一態樣中,第一介電常數可高於第二介電常數,且第三介電常數可高於第一介電常數以及第二介電常數。
第10C圖示出於水平方向上分成區段32、34以及36之一截頭錐形狀,其中箭頭指示介電常數自區段32至區段34至區段36減小。如第10D圖中之另一態樣所示,區段42及46可具有相同之第一介電常數,且區段44及48可具有相同之第二介電常數,其中第一介電常數以及第二介電常數中之任一者高於或低於另一者,以提供一週期性階躍梯度。
第10D圖示出被分成區段42、44、46及48之一立方體聚合物結構形狀。區段42、46可具有相同之第一介電常數,且區段44、48可具有相同之第二介電常數。第一介電常數可大於或小於第二介電常數,此可建立一週期性介電常數梯度。梯度亦可具有其他變型。例如,梯度可自結構之一個點至另一點隨機或偽隨機地變化。
於另一態樣中,第10E圖示出具有一第一頂點52a以及一第二頂點52b之一立方體聚合物結構形狀。介電常數可於自第一頂點52a至第二頂點52b之整個形狀上連續變化。於再一態樣中,第10F圖示出具有一第一頂點52a以及一第二頂點52b之一立方體聚合物結構形狀。以一圓柱體
形狀示出之一第一區段53跨越第一頂點52a至第二頂點52b定位。第二區段54圍繞第一區段53。第一區段53可具有一第一介電常數,且第二區段54可具有一第二介電常數,其中第一介電常數與第二介電常數不同。每一區段之介電常數亦可獨立地變化。例如,第一區段53可具有階躍梯度自頂點52a至頂點52b增加之一介電常數,而區段54可具有一單一介電常數。
於某些態樣中,每一單位胞元之間隙空間(例如,第8圖中之13c以及第9圖中之13b)充滿空氣。於其他態樣中,間隙空間可由介電材料填充。此種填充可於製造出聚合物結構後藉由浸漬聚合物結構來進行。介電材料填料可具有較用於形成桁架中之至少某些桁架之材料低之一介電常數。例如,於某些態樣中,介電填料可具有一非常低之介電常數(例如,聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene;PTFE)),且存在以進一步支撐聚合物結構之桁架。此容許製造非常薄之桁架,或者可對更可撓性之桁架提供加固。於其他態樣中,聚合物結構可使用低介電常數材料形成,然後用較高介電常數材料填充。此種技術可用於提供具有一整體較高介電常數梯度之聚合物結構。
藉由以上論述,對於熟習此項技術者顯而易見的是,藉由於所需方向上改變一組桁架之直徑,可於任何方向上改變介電梯度之一方向。可製造不同形狀之梯度,或者甚至於一單一聚合物結構內製造不同形狀之梯度。可存在階躍梯度以及連續梯度之組合,例如具有一階躍梯度之一第一區段與具有一連續梯度之一第二區段相鄰。所用之特定梯度或梯度之組合可基於聚合物結構之最終目的來選擇。
該等複雜特徵可藉由使用SLA方法而容易地獲得,該等SLA方法容許於聚合物結構內於任何方向上以及以任何形狀容易地製造所需梯度。
端視單位胞元之類型、桁架之直徑以及所使用之材料而定,梯度之量值,即範圍可廣泛地變化。例如,介電常數之範圍可係為大於1(即,大於空氣之介電常數)至20,每一者皆於10十億赫茲、50%之相對濕度以及23℃下量測。可橫跨聚合物結構獲得此範圍內之任何介電常數梯度,例如1.1至10、或1.1至5、或1.1至3,每一者皆於10十億赫茲、50%之相對濕度以及23℃下量測。作為另一選擇,介電常數梯度橫跨聚合物結構可係為5至20、或5.1至18、或5.1至15、或5.5至11或6至10,每一者皆於10十億赫茲、50%之相對濕度以及23℃下量測。
例如於WO2014/126837中闡述了具體SLA方法。SLA方法進一步容許使用各種輻射可固化樹脂來形成聚合物結構。特定輻射可固化樹脂組成物係基於其適用於SLA方法來選擇(即,可以液體形式提供)並為聚合物結構提供所需機械性質以及電性質。用於形成聚合物結構之液體樹脂組成物可包含輻射可固化,即光可固化及/或自由基可固化單體組分以及光起始劑組分。本文所用之「單體」包含光可固化化合物、寡聚物、預聚物以及聚合物。「可固化」以及「固化」包含可聚合及可交聯以及聚合及固化。合適之單體包括輻射可固化基團,例如丙烯醯基(CH2=CHCOO-)、甲基丙烯醯基(CH2=C(CH3)COO)、丙烯醯胺(CH2=CHCONH-)、甲基丙烯醯胺(CH2=C(CH3)CONH)、乙烯基(CH2=CH-)、烯丙基(CH2=CH-CH2-)、例如不飽和芳族化合物(例如,苯乙烯)、環狀烯烴、炔烴等其他烯烴、一氧化碳或其組合。為方便起見,「輻射可固化基團」包括於可光活化之起始劑(例如陽離子光起始劑)存在下可固化之基團。此等基團包括環氧基、乙烯基醚、例如內酯、內醯胺及環胺等雜環基以及其他基團。單體可係為直鏈、支鏈、環狀或交聯的,且可具有一或多個官能基,例如一或多個丙
烯醯基(例如,三官能丙烯酸酯單體)或者一或多個乙烯基(例如,二乙烯基醚)。液體單體以及起始劑之實例包括但不限於WO2016/153711、US8232043、US8119214、US 7935476、US7767728、US 7649029、WO2012/129968、CN102715751以及JP 2012210408A中闡述之實例。
例示性單體以及多官能單體包括輻射可固化矽酮、胺基甲酸酯丙烯酸酯、胺基甲酸酯甲基丙烯酸酯、(C1-6烷基)丙烯酸酯、(C1-6烷基)甲基丙烯酸酯(例如甲基丙烯酸甲酯、胺基甲酸酯二甲基丙烯酸酯、1,3-甘油二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、亞甲基二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二乙烯基醚、亞甲基二醇二乙烯基醚、1,4-環己烷二羥甲基二乙烯基醚、二丙二醇二乙烯基醚、三丙二醇二乙烯基醚、1,6-己二醇二乙烯基醚及1,4-丁二醇二乙烯基醚)、甲氧基乙烯、4-甲氧基苯乙烯、苯乙烯、2-甲基丙-1-烯、1,3-丁二烯、環氧乙烷、硫雜環丁烷、四氫呋喃、噁唑啉、1,3-二氧雜環庚烷及氧雜環丁烷-2-酮。
光起始劑組分包含一或多種光起始劑。例如,光起始劑組分可包含一或多種自由基光起始劑或者一或多種陽離子光起始劑。可使用此項技術中已知用於SLA方法之組成物中所用之光起始劑。例示性自由基光起始劑包括足以引發聚合反應之量之於暴露於輻射(例如紫外線及/或可見光輻射)時產生自由基之化合物。自由基光起始劑可係為單一化合物、二或更多種活性化合物之混合物、或者二或更多種不同化合物之組合(例如,共起始劑)。
例示性陽離子光起始劑包括足以引發聚合之量之於暴露於輻射(例如紫外線及/或可見光輻射)時形成質子惰性酸或布忍斯特酸(Bronsted
acid)之化合物。所用之陽離子光起始劑可係為單一化合物、二或更多種活性化合物之混合物、或者二或更多種不同化合物之組合(例如,共起始劑)。陽離子光起始劑之實例包括鎓鹽、鋶鹽以及碘鎓鹽,例如二苯基碘六氟磷酸鹽、二苯基碘六氟砷酸鹽、二苯基碘六氟銻酸鹽、二苯基對甲氧基苯基三氟甲磺酸鹽、二苯基對甲苯基三氟甲磺酸鹽、二苯基對異丁基苯基三氟甲磺酸鹽、二苯基對第三丁基苯基三氟甲磺酸鹽、三苯基鋶六氟磷酸鹽、三苯基鋶六氟砷酸鹽、三苯基鋶六氟銻酸鹽以及三苯基鋶三氟甲磺酸鹽、二丁基萘基鋶三氟甲磺酸鹽,如於US7824839、US7550246、US7534844中以及「電子產業及能量可固化塗層之光酸產生劑選擇指南(Photoacid Generator Selection Guide for the electronics industry and energy curable coatings)」(巴斯夫(BASF),2010)中所述。陽離子光起始劑可與光敏劑(例如,9,10-二乙氧基蒽)結合使用,以使陽離子光起始劑能夠於一更寬之波長範圍內被活化。
端視製作聚合物結構之目的而定,輻射可固化樹脂組成物可具有溶解於其中之附加組分,包含熱可固化樹脂組分、熱固化起始劑、顏料、染料、阻燃劑、抗氧化劑、塑化劑、聚合抑制劑等。
於某一態樣中,輻射可固化樹脂組成物更包含熱可固化樹脂組分以及熱固化起始劑組分以引發熱固化。包含熱可固化樹脂組分容許對聚合物結構進行多階段固化。例如,於WO2017/040883中闡述了包含熱可固化樹脂組分以及熱固化起始劑組分之輻射可固化組成物。可用作熱可固化樹脂組分之單體之實例包括1,3-二氰酸基苯、1,4-二氰酸基苯、1,3,5-三氰酸基苯、1,3-二氰酸基萘、1,3,6-三氰酸基萘、2,2'-二氰酸基聯苯、雙(4-氰酸基苯基)甲烷、4-氯-1,3-二氰酸基苯、藉由使酚醛清漆與鹵化氰反應生成之氰化
酚醛清漆以及藉由使雙酚聚碳酸酯寡聚物與鹵化氰反應生成之氰化雙酚聚碳酸酯寡聚物。熱固化起始劑之實例包括此項技術中已知之過氧化物、某些親核觸媒或某些金屬觸媒。
輻射可固化樹脂組成物之每一組分之相對量可係為例如,10重量%至95重量%之輻射可固化單體組分、0.11重量%至15重量%之光起始劑組分、0重量%至90重量%之熱可固化樹脂組分以及0重量%至10重量%之熱固化起始劑組分,每一者皆以組成物之總重量計。
一種具有一空間梯度介電常數之一聚合物結構之一般立體光刻製造方法一般包含:提供一定體積之上述液體輻射可固化組成物;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物之一部分以於一基板上形成一層聚合物結構;使所形成之層與液體輻射可固化組成物接觸;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物之一部分以形成下一層聚合物結構;以及重複接觸以及照射以形成聚合物結構,其中聚合物結構包含複數個單位胞元,其中每一單位胞元係由藉由照射形成之複數個桁架界定,且每一單位胞元之桁架之尺寸被設計成提供空間梯度介電常數。於一較佳態樣中,該方法係為例如於US9205601中闡述之立體光刻方法。
於製造出聚合物材料後,可視需要對三維印刷之聚合物材料進行後固化,例如進一步光聚合。若熱固性樹脂組成物包含於輻射可固化組成物中,則後固化可係為熱後固化,例如藉由暴露於烘箱中之熱量來進行。例如於WO2017/040中闡述了此種雙重輻射固化以及熱固化。可使用輻射以及熱後固化二者。
於一態樣中,聚合物材料與一導電層接觸。於某些態樣中,存在至少兩個交替之聚合物結構或至少兩層交替的導電層以形成一堆疊。用於
導電層之可用導電材料包括例如不銹鋼、銅、金、銀、鋁、鋅、錫、鉛、過渡金屬或其組合。對於導電層之厚度不存在特別限制,對於導電層表面之形狀、大小或紋理亦不存在任何限制。導電層可具有1微米至2000微米或10微米至1000微米之一厚度。當存在二或更多個導電層時,每一層之厚度可相同或不同。導電層可包含一銅層。合適之導電層包含一導電金屬薄層,例如目前用於形成電路之銅箔,例如電沉積之銅箔。
藉由將導電層放置於用於增材製造製程之平台上,並印刷至導電層上,導電層可與聚合物結構接觸。作為另一選擇,聚合物材料可藉由直接雷射結構化或藉由黏合與導電層接觸。於特定材料以及聚合物材料形式容許之情況下,可使用此項技術中已知之其他方法來施加導電層,例如電沉積、化學氣相沉積等。
例如,導電層可藉由雷射直接結構化來施加。此處,3D印刷之聚合物材料可包含雷射直接結構化添加劑,且雷射直接結構化可包含使用一雷射器照射基板之表面,形成雷射直接結構化添加劑之一軌跡,以及將導電金屬施加至軌跡。雷射直接結構化添加劑可包含金屬氧化物顆粒(例如氧化鈦以及銅鉻氧化物)。雷射直接結構化添加劑可包含尖晶石系無機金屬氧化物顆粒,例如尖晶石銅。金屬氧化物顆粒可例如用包含錫以及銻之組成物來塗佈(例如,以塗層之總重量計,50重量%至99重量%之錫以及1重量%至50重量%之銻)。以相應組成物之100份計,雷射直接結構化添加劑可包含2份至20份之添加劑。可用一波長為1,064奈米之釔鋁石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)雷射器於10瓦之一輸出功率、80千赫茲(kHz)之一頻率以及每秒3米之一速率下執行照射。導電金屬可於一包含例如銅之無電鍍浴中使用一鍍覆製程來施加。
導電層可以黏合方式進行接觸。於一態樣中,聚合物結構可首先藉由光聚合來形成。當熱固化劑存在於聚合物材料組成物中時,聚合物結構與導電層可接觸並藉由聚合物結構中之聚合物材料之熱固化來黏合。此種技術容許存在聚合物結構之「B-階段」。其於需要多層結構之情況下特別有用。例如,可製造複數個層之聚合物結構(B階段);可製成交替之聚合物層與導電層之一堆疊;然後可對該堆疊進行熱固化以黏合該等層。於其他態樣中,可以平整片材形式製造(B階段)聚合物結構;可使導電層與平整片材接觸;可對該等層進行輥壓以提供交替之聚合物片材與導電層之一圓柱體;且可對輥進行熱固化以黏合該等層。
作為另一選擇或另外,黏合層可設置於一或多個導電層與聚合物材料之間。
聚合物結構可用作一電子裝置或用於一電子裝置中,例如用作一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器以及一介電天線(包含介電共振天線以及介電棒天線)。
如本文所揭露並參考所有前述內容,且特別是參考第11圖,一電子結構或裝置100,特別是一電磁(electromagnetic;EM)結構或裝置,可包含:本文所揭露之任何介電結構20之一第一介電部分(1DP)20.1,例如呈一介電共振器天線(dielectric resonator antenna;DRA)之形式;以及本文所揭露之任何介電結構20之一第二介電部分(2DP)20.2,例如呈一介電透鏡之形式,例如盧納堡透鏡,或例如形成一電磁(EM)遠場波束成形器之任何其他介電元件;或一介電波導,或例如形成一電磁近場輻射導管之任何其他介電元件。如本文所揭露且如熟習此項技術者將理解,1DP
與2DP彼此係為可區分的,此乃因1DP於結構上被配置並適以具有與一電磁耦合至1DP之電性訊號源之一電磁頻率一致之一電磁共振模式,且2DP於結構上被配置並適以:於一介電電磁遠場波束成形器之情形中,用於當被激勵時影響源自1DP之電磁遠場輻射圖案,而其自身不具有與電性訊號源之電磁頻率匹配之一共振模式;或於一介電電磁近場輻射導管之情形中,用於當被激勵時傳播源自1DP之電磁近場發射且沿2DP之長度具有很少電磁訊號損失或沒有電磁訊號損失。本文所揭露之片語電磁耦合係為指代電磁能量自一個位置有意轉移至另一位置而不必涉及該二個位置間之物理接觸之一技術用語,且參考本文所揭露之一實施例,更具體而言,係指一電磁頻率與相關聯之1DP及/或1DP與2DP組合之一電磁共振模式一致之一電性訊號源間之一交互作用。於一實施例中,電磁耦合佈置被選擇成使得對於與電磁裝置相關聯之一選定運作自由空間波長,1DP內存在大於50%之近場中之共振模式電磁能量。於某些實施例中,2DP之高度H2大於1DP之高度H1(例如,2DP之高度較1DP之高度大1.5倍,或者2DP之高度較1DP之高度大2倍,或者2DP之高度較1DP之高度大3倍)。於某些實施例中,2DP之平均介電常數小於1DP之平均介電常數(例如,2DP之平均介電常數較1DP之平均介電常數小0.5,或者2DP之平均介電常數較1DP之平均介電常數小0.4,或者2DP之平均介電常數較1DP之平均介電常數小0.3)。於某些實施例中,2DP圍繞一指定軸(例如,第11圖所繪示之z軸)具有軸對稱性。於某些實施例中,2DP圍繞一與其上設置有1DP之一電性接地平面102垂直之軸具有軸對稱性。
如上所述,本文闡述之方法容許快速、高效地製造具有一預選介電常數梯度、呈各種構型以及各種形狀且具有各種組成之材料。該等方法
具有許多其他優點,包含顯著減少自設計至原型製作至商業產品之時間。由於不需要工具作業,因此可快速地進行設計變化。相較於注射成型或其他模製製程而言,使用之能量最少。使用增材製造亦可減少廢物以及原材料之量。該方法可更用於促進幾何複雜零件之生產。該方法可進一步減少企業之零件庫存,此乃因零件可快速地根據需要以及現場製作。
下文闡述本揭露之各種非限制性態樣。
態樣1:一種具有一空間梯度介電常數之一聚合物結構之立體光刻製造方法,該方法包含:提供一定體積之液體輻射可固化組成物;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物之一部分以形成一層聚合物結構;使該層與液體輻射可固化組成物接觸;以一圖案用活化輻射照射液體輻射可固化組成物以於第一層上形成一第二層;以及重複接觸以及照射以形成聚合物結構,其中聚合物結構包含複數個單位胞元,其中每一單位胞元與一相鄰單位胞元連接成一體,每一單位胞元係由藉由照射形成之複數個桁架界定,其中桁架於其各自端部處彼此連接成一體,且每一單位胞元之桁架之尺寸被設計成提供空間梯度介電常數。
態樣2:如態樣1所述之方法,其中單位胞元結構係為一八隅體結構。
態樣3a:如前述請求項中任一項或多項所述之方法,其中各該單位胞元之大小能夠小於該聚合物結構能夠運作之一電磁波波長之30%、或小於20%、或小於10%。
態樣3b:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中該聚合物結構可於3毫米至300毫米範圍內之一電磁波波長內運作。
態樣4:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中各該桁架
之一平均直徑為0.03毫米至5.0毫米、較佳為0.05毫米至4.0毫米之範圍內。
態樣5:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中該介電常數梯度係為一階躍梯度。
態樣6:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中該介電梯度係為一連續梯度。
態樣7:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,該介電梯度之端點為20至大於1之範圍內。
態樣8:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中更包含用介電材料浸漬該聚合物結構。
態樣9:如前述態樣中任一項或多項所述之方法,其中該液體輻射可固化組成物包含可熱固化組分,且該方法更包含對該聚合物結構進行熱固化。
態樣10:如態樣9所述之方法,包含使該聚合物結構與一導電基板接觸,並對該聚合物結構進行熱固化。
態樣11:如態樣9所述之方法,更包含使至少二層交替的該聚合物結構接觸或者使至少二層導電基板接觸以形成一堆疊,且對該堆疊中之該聚合物結構進行熱固化。
態樣12:一種具有一空間梯度介電常數之聚合物結構,藉由前述態樣中之任一項形成。
態樣13:一種電子裝置,包含如態樣12所述之聚合物結構,其中該裝置係為一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線
匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器或一介電天線。
態樣14:一種電子裝置,包含一聚合物結構,其中該聚合物結構包含:包含複數個單位胞元之一介電材料統一體,各該單位胞元包含於其各自端部處彼此連接成一體之複數個桁架,其中各該單位胞元與該等單位胞元中之一相鄰單位胞元連接成一體;其中該介電材料統一體之平均介電常數自該統一體之一部分至該統一體之另一部分變化。
態樣15:如態樣13所述之電子裝置,其中該等桁架僅於其各自端部處彼此連接成一體。
態樣16:如態樣14至15中任一項或多項所述之電子裝置,其中該等單位胞元中之各該單位胞元具有一八隅體晶格結構。
態樣17:如態樣14至16中任一項或多項所述之電子裝置,其中該等單位胞元中之各該單位胞元包含位於該等桁架間之間隙空間。
態樣18:如態樣17所述之電子裝置,其中該等間隙空間包含空氣。
態樣19:如態樣18所述之電子裝置,其中該等間隙空間包含除該空氣外之介電材料。
態樣20:如態樣14至19中任一項或多項所述之電子裝置,其中該介電材料統一體之該平均介電常數自該統一體之一內部至該統一體之一外部之一方向上減小。
態樣21:如態樣14至19中任一項或多項所述之電子裝置,其中該介電材料統一體之該平均介電常數自該統一體之一第一部分至該統一體之一第二部分週期性變化。
態樣22:如態樣14至21中任一項或多項所述之電子裝置,其
中一給定單位胞元之該等桁架具有一恆定橫截面尺寸。
態樣23:如態樣14至21中任一項或多項所述之電子裝置,其中一給定單位胞元之該等桁架具有一非恆定橫截面尺寸。
態樣24:如態樣14至22中任一項或多項所述之電子裝置,其中該橫截面尺寸係為一圓形橫截面尺寸。
態樣25:如態樣22至24所述之電子裝置,其中該非恆定橫截面尺寸於自該統一體之一內部至該統一體之一外部之一方向上減小。
態樣26:如態樣14至25中任一項或多項所述之電子裝置,其中該等桁架中之各該桁架之一總體最大橫截面尺寸為0.03毫米至5.0毫米範圍內。
態樣27:如態樣14至26中任一項或多項所述之電子裝置,其中於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,該介電材料統一體之該空間梯度介電常數係為20至大於1。
態樣28:如態樣14至27中任一項或多項所述之電子裝置,更包含至少一個電性導體,該至少一個電性導體被設置成與該介電材料統一體接觸。
態樣29:如態樣28所述之電子裝置,其中該至少一個電性導體經由黏合材料黏合至該介電材料統一體。
態樣30:如態樣14至29中任一項或多項所述之電子裝置,其中該介電材料統一體形成一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器或一介電天線之至少部分。
態樣31:如態樣30所述之電子裝置,其中該介電材料統一體係
為該電子裝置之一第一介電部分1DP,且更包含一第二介電部分2DP,其中:該1DP具有一近側端部及一遠側端部;該2DP具有一近側端部及一遠側端部;且該2DP之該近側端部設置於該1DP之該遠側端部附近。
態樣32:如態樣31所述之電子裝置,更包含一電性接地平面,該電性接地平面上設置有該1DP。
態樣33:如態樣31至33中任一項或多項所述之電子裝置,其中該2DP之一高度H2大於該1DP之一高度H1。
作為另一選擇,該等組成物、方法及製品可包含本文所揭露之任何適當材料、步驟或組分、由本文所揭露之任何適當材料、步驟或組分組成或實質上由本文所揭露之任何適當材料、步驟或組分組成。該等組成物、方法及製品可另外地或另選地被配製成不含或實質上不含達成該等組成物、方法及製品之功能或目標原本所不需要之任何材料(或物質)、步驟或組分。
用語「一(a及an)」並不表示對數量進行限制,更確切而言表示存在所引用項至少其中之一。除非上下文清楚地另外指明,否則用語「或」意指「及/或」。說明書通篇中之參考「一態樣」、「另一態樣」及「某些態樣」意指結合該態樣闡述之一特定要素(例如,特徵、結構、步驟或特性)包含於本文所述之至少一個態樣中,且可存在或可不存在於其他態樣中。另外,應理解所述要素可於各種態樣中以任何合適方式加以組合。用語「組合」包含摻合物、混合物、合金、反應產物等。此外,「至少其中之一」意指列表各別地包含每一要素以及該列表之二或更多個要素之組合及該列表之至少一個要素與未命名之類似要素之組合。類似地,「其組合」係為開放的,且可包含所命名要素至少其中之一,視需要一起包含未命名
之相似或等效要素。
指向同一組件或性質之所有範圍之端點包含端點,可獨立地組合,且包含所有中間點以及範圍。例如,「至多25重量%或5重量%至20重量%」之範圍包含端點以及「5重量%至25重量%」範圍之所有中間值,例如10重量%至23重量%等。
當例如一層、膜、區或基板等元件被稱為「接觸」或位於另一元件「上」時,該元件可直接接觸或直接位於該另一元件上,或者亦可存在中間元件。相反,當一元件被稱為「直接接觸」或「直接」位於另一元件「上」時,不存在中間元件。儘管於本文中用語第一、第二、第三等可用於闡述各種元件、組件、區、層或區段,然而該等元件、組件、區、層或區段不應受該等用語限制。該等用語僅用於區分各個元件、組件、態樣、區、層或區段。因此,於不背離本發明態樣之教示內容條件下,以下論述之一第一元件、組件、區、層或區段可被稱為一第二元件、組件、區、層或區段。
於本文中,例示性態樣係參考作為示意圖之剖視圖來闡述。因此,預期存在由例如製造技術及/或容差造成之插圖之形狀之變型。因此,本文所述之態樣不應被視為僅限於本文所例示之區之特定形狀或相對大小,而是包含例如由製造或設計造成之形狀偏差。例如,被例示或闡述為平面之區通常可具有粗糙及/或非線性特徵。此外,所例示之銳角可為圓形的。因此,圖中所示區係為示意性的且其形狀不旨在例示一區之精確形狀或相對大小,且不旨在限制本發明申請專利範圍之範圍。
除非本文中作出相反之規定,否則所有測試標準係為截至本申請案之申請日期之最新有效標準,或者若主張優先權,則係為測試標準出現之最早優先權申請案之申請日期。
除非另有定義,否則本文所使用之技術及科學用語具有與熟習本發明所屬技術者所通常理解之含義相同之含義。所有引用之專利、專利申請案以及其他參考文獻皆以引用方式全文併入本文中。然而,若本申請案中之一用語與所併入參考文獻中之一用語相矛盾或衝突,則來自本申請案之該用語優先於所併入參考文獻中之衝突用語。
儘管已闡述了特定實施例,然而本申請人或熟習此項技術者可想到目前無法預料或者目前可能無法預料之替代形式、潤飾、變型、改進以及實質等效形式。因此,所申請且其可修訂之所附申請專利範圍旨在包含所有此等替代形式、潤飾、變型、改進以及實質等效物。
10:立方體單位胞元
12:桁架
20:八隅體單位胞元/聚合物結構/介電結構
Claims (20)
- 一種聚合物結構之立體光刻製造方法,該方法包含:提供一定體積之液體輻射可固化組成物;以一圖案用活化輻射照射該液體輻射可固化組成物之一部分以形成一層該聚合物結構;使該層與該液體輻射可固化組成物接觸;以一圖案用活化輻射照射該液體輻射可固化組成物以於該層上形成一第二層;以及重複該接觸及該照射以形成該聚合物結構,其中該聚合物結構包含一開放晶格胞元結構,該開放晶格胞元結構包含:複數個單位胞元,其中各該單位胞元與一相鄰單位胞元連接成一體,且其中改變該聚合物結構之密度以提供一空間梯度介電常數,其於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,具有20至大於1之範圍內之端點。
- 如請求項1所述之方法,其中該梯度係為一階躍梯度(step gradient)。
- 如請求項1或2所述之方法,其中該梯度係為一連續梯度。
- 如請求項1或2所述之方法,其中於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,該梯度具有10至大於1之範圍內之端點。
- 如請求項1或2所述之方法,更包含用除空氣外之介電材料浸漬該聚合物結構。
- 如請求項1或2所述之方法,其中該液體輻射可固化組成物包含熱可固化組分,且該方法更包含對該聚合物結構進行熱固化。
- 如請求項6所述之方法,包含使該聚合物結構與一導電基板接觸,並對該聚合物結構進行熱固化。
- 如請求項6所述之方法,更包含使至少二層交替的該聚合物結構接觸或者使至少二層導電基板接觸以形成一堆疊,且對該堆疊中之該聚合物結構進行熱固化。
- 一種具有一空間梯度介電常數之聚合物結構,其係由如請求項1或2所述之方法形成。
- 一種電子裝置,包含如請求項9所述之聚合物結構,其中該裝置係為一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器或一介電天線。
- 一種電子裝置,包含一聚合物結構,其中該聚合物結構包含:一介電材料統一體,包含一開放晶格胞元結構,該開放晶格胞元結構包含:複數個單位胞元,其中各該單位胞元與該等單位胞元中之一相鄰單位胞元連接成一體;其中該介電材料統一體之平均介電常數自該統一體之一部分至該統一體之另一部分變化,且其中改變該聚合物結構之密度以提供一空間梯度介電常數,其於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,具有20至大於1之範圍內之端點。
- 如請求項11所述之電子裝置,其中該介電材料統一體之該平均介電常數於自該統一體之一內部至該統一體之一外部之一方向上減小。
- 如請求項11或12所述之電子裝置,其中該介電材料統一體之該平均介電常數自該統一體之一第一部分至該統一體之一第二部分週期性變化。
- 如請求項11或12所述之電子裝置,其中該介電材料統一體具有一空間梯度介電常數,其於10十億赫茲、23℃以及50%之相對濕度下量測時,具有10至大於1之範圍內之端點。
- 如請求項11或12所述之電子裝置,更包含至少一個電性導體,該至少一個電性導體被設置成與該介電材料統一體接觸。
- 如請求項15所述之電子裝置,其中該至少一個電性導體經由黏合材料黏合至該介電材料統一體。
- 如請求項11或12所述之電子裝置,其中該介電材料統一體形成一阻抗匹配層、一介電波導、一透鏡、一反射陣列、一天線匹配結構、一覆板、一耦合器、一分頻器或一介電天線之至少部分。
- 如請求項17所述之電子裝置,其中該介電材料統一體係為該電子裝置之一第一介電部分,且更包含一第二介電部分,其中:該第一介電部分具有一近側端部及一遠側端部;該第二介電部分具有一近側端部及一遠側端部;且該第二介電部分之該近側端部設置於該第一介電部分之該遠側端部附近。
- 如請求項18所述之電子裝置,更包含一電性接地平面,該電性接地平面上設置有該第一介電部分。
- 如請求項18所述之電子裝置,其中該第二介電部分之高度大於該第一介電部分之高度。
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---|---|---|---|---|
US11283189B2 (en) | 2017-05-02 | 2022-03-22 | Rogers Corporation | Connected dielectric resonator antenna array and method of making the same |
US11616302B2 (en) | 2018-01-15 | 2023-03-28 | Rogers Corporation | Dielectric resonator antenna having first and second dielectric portions |
US11552390B2 (en) | 2018-09-11 | 2023-01-10 | Rogers Corporation | Dielectric resonator antenna system |
DE112019006028T5 (de) | 2018-12-04 | 2021-10-07 | Rogers Corporation | Dielektrische elektromagnetische Struktur und Verfahren zur Herstellung dieser Struktur |
US11555095B2 (en) * | 2019-03-29 | 2023-01-17 | Carbon, Inc. | Dual cure resin for the production of moisture-resistant articles by additive manufacturing |
EP3942366B1 (en) | 2019-05-30 | 2023-11-15 | Rogers Corporation | Photocurable compositions for stereolithography, stereolithography methods using the compositions, polymer components formed by the stereolithography methods, and a device including the polymer components |
US11482790B2 (en) | 2020-04-08 | 2022-10-25 | Rogers Corporation | Dielectric lens and electromagnetic device with same |
US12142856B2 (en) * | 2020-07-08 | 2024-11-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayer dielectric resonator antenna and antenna module |
WO2022096871A1 (en) * | 2020-11-03 | 2022-05-12 | Isotropic Systems Ltd | Isotropic 3d-printed gradient rf lens |
US20220006201A1 (en) * | 2020-11-03 | 2022-01-06 | Shanghai Jiaotong University | Ultra-broadband mode size converter based on an on-chip Luneburg lens |
US20220327251A1 (en) * | 2021-04-13 | 2022-10-13 | 3Dfortify Inc. | Systems and methods for designing and manufacturing radio frequency devices |
WO2022223809A1 (en) * | 2021-04-23 | 2022-10-27 | Create It Real Aps | A printer for printing a 3d object based on a computer model |
US11936105B2 (en) * | 2021-06-16 | 2024-03-19 | Vasant Limited | Artificial dielectric material and focusing lenses made of it |
CN114087520B (zh) * | 2021-11-17 | 2024-03-08 | 盐城辉途科技有限公司 | 一种变尺寸四面体单元点阵结构及其制备方法 |
US20230264450A1 (en) * | 2022-02-18 | 2023-08-24 | National Taiwan University Of Science And Technology | Crystal structures inspired tessellations to generate multi-material properties in lattice structures with 3d printing |
IL292234B2 (en) * | 2022-04-13 | 2023-08-01 | Polymertal Ltd | 3D dielectric lattice |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6855478B2 (en) * | 2000-06-15 | 2005-02-15 | 3M Innovative Properties Company | Microfabrication of organic optical elements |
WO2014100462A1 (en) * | 2012-12-19 | 2014-06-26 | New Balance Athletic Shoe, Inc. | Customized footwear, and systems for designing and manufacturing same |
WO2015102938A1 (en) * | 2013-12-31 | 2015-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Volume based gradient index lens by additive manufacturing |
US20160219976A1 (en) * | 2013-03-14 | 2016-08-04 | Under Armour, Inc. | Shoe with lattice structure |
Family Cites Families (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4575330A (en) | 1984-08-08 | 1986-03-11 | Uvp, Inc. | Apparatus for production of three-dimensional objects by stereolithography |
US4929402A (en) | 1984-08-08 | 1990-05-29 | 3D Systems, Inc. | Method for production of three-dimensional objects by stereolithography |
US5236637A (en) | 1984-08-08 | 1993-08-17 | 3D Systems, Inc. | Method of and apparatus for production of three dimensional objects by stereolithography |
EP0747203B1 (en) | 1988-04-18 | 2001-06-27 | 3D Systems, Inc. | Stereolithographic curl reduction |
US5184307A (en) | 1988-04-18 | 1993-02-02 | 3D Systems, Inc. | Method and apparatus for production of high resolution three-dimensional objects by stereolithography |
DE362982T1 (de) | 1988-04-18 | 1996-06-27 | 3D Systems Inc | Verringerung des stereolithographischen Verbiegens. |
US5234636A (en) | 1989-09-29 | 1993-08-10 | 3D Systems, Inc. | Methods of coating stereolithographic parts |
US5192559A (en) | 1990-09-27 | 1993-03-09 | 3D Systems, Inc. | Apparatus for building three-dimensional objects with sheets |
US5677796A (en) | 1995-08-25 | 1997-10-14 | Ems Technologies, Inc. | Luneberg lens and method of constructing same |
JPH106346A (ja) * | 1996-06-19 | 1998-01-13 | Takemoto Oil & Fat Co Ltd | プラスチック成形型の製造方法及びプラスチック成形型 |
US6076324A (en) * | 1996-11-08 | 2000-06-20 | Nu-Cast Inc. | Truss structure design |
US6641897B2 (en) | 1998-02-13 | 2003-11-04 | The Milwaukee School Of Engineering | Three dimensional object |
US20050154567A1 (en) * | 1999-06-18 | 2005-07-14 | President And Fellows Of Harvard College | Three-dimensional microstructures |
JP3638889B2 (ja) * | 2000-07-27 | 2005-04-13 | 大塚化学ホールディングス株式会社 | 誘電性樹脂発泡体及びそれを用いた電波レンズ |
DE10057686B4 (de) * | 2000-11-21 | 2004-09-23 | V. G. Kunststofftechnik Gmbh | Verfahren zur Nachbehandlung von dreidimensionalen Objekten, die mittels der Stereolithographie erzeugt worden sind |
US6858253B2 (en) * | 2001-05-31 | 2005-02-22 | 3M Innovative Properties Company | Method of making dimensionally stable composite article |
JP3599042B2 (ja) | 2002-05-28 | 2004-12-08 | 株式会社村田製作所 | 3次元周期構造体およびその製造方法 |
US7682551B2 (en) | 2003-07-01 | 2010-03-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for manufacturing three-dimensional photonic structure |
US7688279B2 (en) * | 2003-09-08 | 2010-03-30 | Juridical Foundation Osaka Industrial Promotion Organization | Fractal structure, super structure of fractal structures, method for manufacturing the same and applications |
JP4044505B2 (ja) | 2003-09-29 | 2008-02-06 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 光酸発生剤 |
US7649029B2 (en) | 2004-05-17 | 2010-01-19 | 3M Innovative Properties Company | Dental compositions containing nanozirconia fillers |
US7556490B2 (en) * | 2004-07-30 | 2009-07-07 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Multi-material stereolithography |
US8119214B2 (en) | 2004-09-01 | 2012-02-21 | Appleton Papers Inc | Encapsulated cure systems |
KR100637450B1 (ko) | 2005-02-16 | 2006-10-23 | 한양대학교 산학협력단 | 플루오로알킬술폰늄염의 광산발생기가 치환된 화합물과 이를 중합한 공중합체 |
ES2322655T5 (es) | 2005-11-18 | 2019-06-27 | Agfa Nv | Método para fabricar una plancha de impresión litográfica |
US20070191506A1 (en) | 2006-02-13 | 2007-08-16 | 3M Innovative Properties Company | Curable compositions for optical articles |
WO2007124092A2 (en) | 2006-04-21 | 2007-11-01 | Cornell Research Foundation, Inc. | Photoacid generator compounds and compositions |
US7524615B2 (en) | 2006-08-14 | 2009-04-28 | Gary Ganghui Teng | Negative laser sensitive lithographic printing plate having specific photosensitive composition |
WO2008115057A1 (en) * | 2007-03-20 | 2008-09-25 | Dsm Ip Assets B.V. | Stereolithography resin compositions and three-dimensional objects made therefrom |
US8586173B2 (en) * | 2010-06-30 | 2013-11-19 | Sigma Laboratories Of Arizona, Llc | Nano-structured dielectric composite |
CN102715751A (zh) | 2011-03-30 | 2012-10-10 | 朱雪兵 | 凝胶垫及其紫外固化生产方法 |
EP2956823B2 (en) | 2013-02-12 | 2019-07-03 | CARBON3D, Inc. | Continuous liquid interphase printing |
JP2015138240A (ja) * | 2014-01-24 | 2015-07-30 | 住友ベークライト株式会社 | 凹凸構造体、凹凸構造体の製造方法、光学部品および光学装置 |
US9768515B2 (en) | 2014-06-24 | 2017-09-19 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Anisotropic metamaterials for electromagnetic compatibility |
WO2016106062A1 (en) * | 2014-12-23 | 2016-06-30 | Bridgestone Americas Tire Operations, Llc | Actinic radiation curable polymeric mixtures, cured polymeric mixtures and related processes |
TWI651548B (zh) * | 2015-01-19 | 2019-02-21 | 美商3M新設資產公司 | 利用積層製造之以體積為基礎的梯度折射率透鏡 |
US20160263823A1 (en) | 2015-03-09 | 2016-09-15 | Frederick Matthew Espiau | 3d printed radio frequency absorber |
US20180046076A1 (en) | 2015-03-23 | 2018-02-15 | Dow Global Technologies Llc | Photocurable Compositions for Three-Dimensional Printing |
EP3344676B1 (en) | 2015-09-04 | 2023-04-12 | Carbon, Inc. | Cyanate ester dual cure resins for additive manufacturing |
US10374315B2 (en) | 2015-10-28 | 2019-08-06 | Rogers Corporation | Broadband multiple layer dielectric resonator antenna and method of making the same |
CN107415235A (zh) | 2017-09-07 | 2017-12-01 | 大连美光速造科技有限公司 | 电磁屏蔽件的制作方法、装置、终端、计算机可读存储介质及该电磁屏蔽件 |
US20190115668A1 (en) | 2017-10-13 | 2019-04-18 | ETS-Lindgren Inc. | Rf lens and method of manufacture |
-
2019
- 2019-10-16 TW TW108137343A patent/TWI820237B/zh active
- 2019-10-18 CN CN201980068541.9A patent/CN112867601B/zh active Active
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-
2022
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-
2023
- 2023-03-29 US US18/127,745 patent/US20230226751A1/en active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6855478B2 (en) * | 2000-06-15 | 2005-02-15 | 3M Innovative Properties Company | Microfabrication of organic optical elements |
WO2014100462A1 (en) * | 2012-12-19 | 2014-06-26 | New Balance Athletic Shoe, Inc. | Customized footwear, and systems for designing and manufacturing same |
US20160219976A1 (en) * | 2013-03-14 | 2016-08-04 | Under Armour, Inc. | Shoe with lattice structure |
WO2015102938A1 (en) * | 2013-12-31 | 2015-07-09 | 3M Innovative Properties Company | Volume based gradient index lens by additive manufacturing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11407169B2 (en) | 2022-08-09 |
US20230226751A1 (en) | 2023-07-20 |
US20200122387A1 (en) | 2020-04-23 |
WO2020081954A3 (en) | 2020-05-28 |
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