TWI416140B - 印刷基板之檢查裝置及檢查方法 - Google Patents

Description

印刷基板之檢查裝置及檢查方法

本發明係關於一種使複數個檢查用探針個別地移動而與印刷基板上之圖案接觸以進行印刷基板之電性檢查之印刷基板之檢查裝置及檢查方法。

自以往以來，係使用藉由使檢查用探針之前端部與印刷基板之圖案接觸而進行印刷基板之電性檢查之印刷基板之檢查裝置。再者，在此種印刷基板之檢查裝置之中，有要求檢查用探針之位置誤差(將檢查用探針安裝於移動裝置時之安裝位置之偏移所產生之誤差)，並且將該位置誤差予以補正而進行檢查用探針之定位之檢查裝置(例如參照專利文獻1)。此檢查裝置係具備用以檢測基板圖案之位置之第1攝像裝置、及用以檢測探針之位置之第2攝像裝置，且以個別檢測基板圖案之位置與探針之位置而決定探針之位置之方式構成。

[專利文獻1]日本專利第3065612號公報

然而，在前述之習知之印刷基板之檢查裝置中，係需正確測量用以檢測基板圖案之位置之第1攝像裝置、與用以檢測探針之位置之第2攝像裝置之絕對位置，因此其操作耗費時間勞力而使處理變得複雜。此外，由於使用2台攝像裝置，故成本變高。

本發明係為了對應前述之問題而研創者，其目的為提供 一種可以簡單且低成本進行需在使複數個檢查用探針接近之狀態下定位之印刷基板之電性檢查之印刷基板之檢查裝置及檢查方法。

為了達成前述之目的，本發明係例如具有以下之方面。

第1方面係一種印刷基板之檢查裝置，其具備用以把持印刷基板之印刷基板把持裝置、及與把持在印刷基板把持裝置之印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動之探針移動裝置；且藉由使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸而進行印刷基板之電性檢查者；且具備：攝像裝置，其具備在使複數個檢查用探針彼此接近而使複數個檢查用探針之前端部分別位於特定之範圍內之狀態下可將複數個檢查用探針之前端部進行攝像之攝像視野；誤差檢測機構，其在相對於分別對應複數個檢查用探針之前端部地預先設定於攝像視野內之複數個規定位置而使複數個檢查用探針之前端部分別對應地就位後之狀態下，從攝像裝置所攝像之圖像來檢測複數個規定位置、與複數個檢查用探針之前端部之間之位置誤差；及補正值算出機構，其根據誤差檢測機構所檢測出之位置誤差而算出複數個檢查用探針之位置補正值；在使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸而進行電性檢查之際，添加補正值算出機構所算出之位置補正值並使複數個檢查用探針移動。

依據上述印刷基板之檢查裝置，即可在使複數個檢查用探針之前端部就位於預先設定於攝像裝置之攝像視野內之 各個規定位置之狀態下，以1個攝像裝置將複數個檢查用探針之前端部進行攝像。因此，可藉由簡單之操作而求出各檢查用探針之前端部及與其對應之規定位置之間之位置誤差。再者，從各檢查用探針之前端部及與其對應之規定位置之間之位置關係，可正確得知複數個檢查用探針之各前端部間之相對之位置關係。其結果，在使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸而進行電性檢查之際，不會有複數個檢查用探針之各前端部撞擊之情形，而可相對於微細之印刷基板上之圖案，使檢查用探針正確地移動而進行電性檢查。此外，攝像裝置只要1個即可，故亦可謀求低成本化。

此外，第2方面係一種印刷基板之檢查裝置，其具備用以把持印刷基板之印刷基板把持裝置、及與把持在印刷基板把持裝置之印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動之探針移動裝置；且藉由使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸而進行印刷基板之電性檢查者；且具備：攝像裝置，其具備在使複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部就位於印刷基板之圖案上之特定之範圍內之狀態下可將印刷基板上之圖案與1個以上之檢查用探針之前端部分別進行攝像之攝像視野；誤差檢測機構，其在對應1個以上之檢查用探針之前端部之方式相對於預先設定於印刷基板之圖案上之特定之範圍內之1個以上之規定位置以使1個以上之檢查用探針之前端部分別對應之方式就位之狀態下，從攝像裝置所攝像之圖 像來檢測1個以上之規定位置、與1個以上之檢查用探針之前端部之間之位置誤差；及補正值算出機構，其根據誤差檢測機構所檢測出之位置誤差而算出複數個檢查用探針相對於印刷基板之圖案上之規定位置之各個位置補正值；在使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸而進行電性檢查之際，添加補正值算出機構所算出之位置補正值並使複數個檢查用探針移動。

依據前述之印刷基板之檢查裝置，即可在以將複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部落在攝像裝置之攝像視野內之方式就位於預先設定於印刷基板之圖案上之各個規定位置之狀態下，藉由攝像裝置將1個以上之檢查用探針之前端部進行攝像。因此，即可以簡單之操作求出1個以上之檢查用探針之前端部及與其對應之規定位置之間之位置誤差。

此情形下，由於可從檢查用探針之前端部及與其對應之印刷基板之規定位置之間之位置關係，正確地檢測檢查用探針之前端部與印刷基板之間之位置關係，因此可將檢查用探針之前端部正確地定位於印刷基板之圖案。此外，依據本發明，為了直接求出檢查用探針之前端部與印刷基板之規定位置之位置關係，因此以一次進行攝像之檢查用探針之前端部之數量可以是1個，亦可以是所有數量。再者，從各個攝像之各檢查用探針之前端部與印刷基板之規定位置之位置關係，亦可正確得知複數個檢查用探針之各前端部間之相對之位置關係。

此外，第3方面係上述任一方面之印刷基板之檢查裝置，使複數個檢查用探針之前端部之位置為可變更而將複數個檢查用探針分別安裝於對應之探針移動裝置，藉此而使複數個檢查用探針之前端部就位於特定之範圍內者。此情形之檢查用探針之前端部之位置之變更，可以是上下方向之位置之變更，亦可是水平方向之位置之變更，或亦可是其雙方之位置之變更。藉此，只要將安裝於探針移動裝置之檢查用探針之位置分別改變而使各前端部朝向一部位聚集，即可使複數個檢查用探針之前端部就位於特定之範圍內。

此外，第4方面係上述任一方面之印刷基板之檢查裝置，在使複數個檢查用探針移動之各個探針移動裝置設置彼此高度相異之軌道(rail)部，並將用以支撐檢查用探針之支撐構件在可將至少彼此一部分予以重疊之狀態下可移動地安裝於軌道部，藉此而使複數個檢查用探針之前端部就位於特定之範圍內。藉此，即使在使複數個檢查用探針接近之狀態下定位，亦可防止探針移動裝置彼此或檢查探針彼此相互撞擊或干擾之情形。

第5方面係上述任一方面之印刷基板之檢查裝置，攝像裝置係藉由攝像裝置移動裝置而成為可移動者。藉此，即得以將攝像裝置移動至任意之場所而將檢查用探針之前端部進行攝像。此外，攝像裝置係用以將複數個檢查用探針之前端部進行攝像者，因此配置於複數個檢查用探針之中央部分且較複數個檢查用探針之前端部更上方。

此外，第6方面係一種印刷基板之檢查方法，其係與印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動，且使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸，藉此而進行印刷基板之電性檢查者；且具備以下程序：探針移動程序，其以使複數個檢查用探針之前端部就位於預先設定於特定之攝像視野內之各個規定位置之方式使複數個檢查用探針移動；攝像程序，其係於探針移動程序在複數個檢查用探針移動之位置將複數個檢查用探針之前端部進行攝像；誤差檢測程序，其從在攝像程序所攝像之圖像，檢測複數個檢查用探針之前端部及與其對應之各規定位置之間之位置誤差；補正值算出程序，其根據在誤差檢測程序所檢測出之位置誤差，算出複數個檢查用探針之位置補正值；及檢查程序，其添加在補正值算出程序所算出之位置補正值並使複數個檢查用探針移動而使檢查用探針與印刷基板上之圖案接觸而進行電性檢查。

在前述之印刷基板之檢查方法中，係具備攝像程序，其以將複數個檢查用探針之前端部就位於預先設定於特定之攝像視野內之各個規定位置之方式使複數個檢查用探針移動而將複數個檢查用探針之前端部進行攝像。因此，可藉由簡單之操作正確地求出各檢查用探針之前端部及與其對應之規定位置之間之位置誤差。

第7方面係一種印刷基板之檢查方法，其係與印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動，且使複數個檢查用探針與印刷基板之圖案接觸，藉此而進行 印刷基板之電性檢查者；且具備以下程序：探針移動程序，其以使複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部就位於預先設定於印刷基板之圖案上之特定之攝像視野內之1個以上之規定位置之各個規定位置之方式使1個以上之檢查用探針分別移動；攝像程序，其係於探針移動程序在1個以上之檢查用探針移動之位置將印刷基板上之圖案與1個以上之檢查用探針之前端部分別進行攝像；誤差檢測程序，其從在攝像程序所攝像之圖像，檢測1個以上之規定位置及與其對應之1個以上之檢查用探針之前端部之間之位置誤差；補正值算出程序，其根據在誤差檢測程序所檢測出之位置誤差，算出1個以上之檢查用探針相對於印刷基板上之圖案之位置補正值；及檢查程序，其添加在補正值算出程序所算出之位置補正值並使複數個檢查用探針移動而使檢查用探針與印刷基板上之圖案接觸而進行電性檢查。

依據前述之印刷基板之檢查方法，係具備攝像程序，其以將複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部落在攝像視野內之方式就位於預先設定於印刷基板之圖案上之各個規定位置之方式使1個以上之檢查用探針移動，藉此而將複數個檢查用探針之前端部分別進行攝像。因此，即可藉由簡單之操作求出1個以上之檢查用探針之前端部及與其對應之印刷基板之規定位置之間之位置誤差。此情形下，不僅各檢查用探針之前端部相對於印刷基板之規定位置之補正位置，從各檢查用探針之前端部與印 刷基板之規定位置之位置關係，亦可正確地得知複數個檢查用探針之各前端部間之相對之位置關係。

(第1實施形態)

以下使用圖式說明第1實施形態之印刷基板之檢查裝置及檢查方法。圖1及圖2係為表示從上方觀看同實施形態之檢查裝置10之狀態，圖3係為表示其概略。此檢查裝置10係用以檢查設於印刷基板11之電極圖案(未圖示)是否已適當地導通之裝置，且具備基台12、作為支撐於基台12之探針移動裝置之4個移動裝置13~16、作為支撐於基台12之攝像裝置移動裝置之移動裝置17、及設置於移動裝置13~17之下方之把持裝置18(參照圖4)。

再者，分別於移動裝置13設置檢查用探針21a、於移動裝置14設置檢查用探針21b、於移動裝置15設置檢查用探針21c、於移動裝置16設置檢查用探針21d，且於移動裝置17設置作為攝像裝置之CCD(Charge Coupled Device，電荷耦合裝置)相機22。基台12係以框狀之台構成，且於在其上面之前端緣側部分沿著前端緣左右設有軌道狀之前部X軸導件(guide)23，而於後端緣側部分則與前後平行設有軌道狀之後部X軸導件24a、24b、24c，該後部X軸導件24a、24b、24c係為沿著緣部左右延伸。

此後部X軸導件24a、24b、24c構成彼此高度相異之軌道部。移動裝置13、14係在將前端部支承於前部X軸導件23且將後端部支承於後部X軸導件24a之狀態下，成為沿著前 部X軸導件23與後部X軸導件24a而可左右移動，而移動裝置15、16係在將前端部支承於前部X軸導件23且將後端部支承於後部X軸導件24b之狀態下，成為沿著前部X軸導件23與後部X軸導件24b而可左右移動。再者，移動裝置17係在將前端部支承於前部X軸導件23且將後端部支承於後部X軸導件24c之狀態下，成為沿著前部X軸導件23與後部X軸導件24c而可左右移動。

此外，如圖5所示，後部X軸導件24a、24b、24c係以後部X軸導件24a之位置較低、後部X軸導件24c之位置較高之方式，從後部X軸導件24a朝向後部X軸導件24c依序變高。此外，移動裝置15、16之前端部係成為較移動裝置13、14之前端部更高，移動裝置17之前端部係成為較移動裝置13、14之前端部更高。因此，移動裝置15、16之位置係成為較移動裝置13、14之位置更高，而移動裝置17之位置係進一步成為較移動裝置15、16更高。

此外，移動裝置13、14之後端部雖分別沿著後部X軸導件24a移動，因此無法彼此相互重疊，而移動裝置15、16之後端部雖分別沿著後部X軸導件24b移動，因此無法彼此相互重疊，惟移動裝置13與移動裝置15、移動裝置14與移動裝置16及移動裝置15、16與移動裝置17之各個後部側部分之一部分係可相互重疊。因此，移動裝置13~17不需改變左右方向之順序，即可如圖1所示左右分散，或如圖2所示以移動裝置17為中心接近。

此情形之移動裝置13~17之移動係藉由分別連結於各移 動裝置13~17之驅動裝置25~29之作動而進行。此驅動裝置25~29係由在後部X軸導件24a等之前部側與後部X軸導件24a等平行而分別延伸於左右之旋轉驅動軸25a~29a、及使各旋轉驅動軸25a~29a旋轉驅動之馬達25b~29b所構成。亦即，驅動裝置25、27係從基台12之左端部朝向右側延伸，且藉由馬達25b、27b之旋轉使旋轉驅動軸25a、27a繞著軸周圍方向旋轉。此外，移動裝置13、15係螺合於分別對應之旋轉驅動軸25a、27a。因此，藉由旋轉驅動軸25a、27a之旋轉，移動裝置13、15係從基台12之左端側部分在中央部分之間左右移動。

此外，驅動裝置26、28、29係從基台12之右端部朝向左側延伸，且藉由馬達26b、28b、29b之旋轉而使旋轉驅動軸26a、28a、29a繞著軸周圍方向旋轉。再者，移動裝置14、16、17係螺合於分別對應之旋轉驅動軸26a、28a、29a，且藉由旋轉驅動軸26a、28a之旋轉，移動裝置14、16係從基台12之右端側部分在中央部分之間左右移動。此外，藉由旋轉驅動軸29a之旋轉，移動裝置17係在基台12之中央部分之間左右移動。

移動裝置13、14係具備：支撐台13a、14a，其形成為左右對稱，且在分別支撐於後部X軸導件24a之狀態下連結於驅動裝置25、26；及軌道部13b、14b，其從各支撐台13a、14a延伸於前方而使前端部支撐於前部X軸導件23。再者，檢查用探針21a係在介隔移動構件13c而於前後方向可移動之狀態下安裝於軌道部13b，且檢查用探針21b係介 隔移動構件14c而於前後方向可移動之狀態下安裝於軌道部14b。

在軌道部13b、14b係分別安裝有由旋轉軸部所組成之Y軸導件(未圖示)、及分別使兩Y軸導件旋轉驅動之馬達13d、14d，且檢查用探針21a係藉由馬達13d之作動而與移動構件13c一同沿著軌道部13b而於前後方向移動，且檢查用探針21b係藉由馬達14d之作動係與移動構件14c一同沿著軌道部14b而於前後方向移動。同樣地，移動裝置15、16係形成為左右對稱，且具備：支撐台15a、16a，其在分別支撐於後部X軸導件24b之狀態下連結於驅動裝置27、28；及軌道部15b、16b，其從各支撐台15a、16a延伸於前方而使前端部支撐於前部X軸導件23。

再者，檢查用探針21c係在介隔移動構件15c而可於前後方向移動之狀態下安裝於軌道部15b，而檢查用探針21d係在介隔移動構件16c而於前後方向可移動之狀態下安裝於軌道部16b。此外，在軌道部15b、16b中係分別安裝有由旋轉軸部所組成之Y軸導件(未圖示)、及分別使兩Y軸導件旋轉驅動之馬達15d、16d，而檢查用探針21c係藉由馬達15d之作動而與移動構件15c一同沿著軌道部15b而於前後方向移動，且檢查用探針21d係藉由馬達16d之作動而與移動構件16c一同沿著軌道部16b而於前後方向移動。另外，藉由各支撐台13a、14a、15a、16a與各軌道部13b、14b、15b、16b之各個組合而構成支撐構件。

此外，移動裝置17係具備：支撐台17a，其在支撐於後 部X軸導件24c之狀態下連結於驅動裝置29；及軌道部17b，其從支撐台17a延伸於前方而使前端部支撐於前部X軸導件23。再者，CCD相機22係介隔移動構件17c而於在前後方向可移動之狀態下安裝於軌道部17b。在軌道部17b中係安裝有由旋轉軸部所組成之Y軸導件(未圖示)、及使Y軸導件旋轉驅動之馬達17d，而CCD相機22係藉由馬達17d之作動而與移動構件17c一同沿著軌道部17b而於前後方向移動。

檢查用探針21a(、21b、21c、21d)係如圖6及圖7所示，在棒狀之支撐部31之前端安裝針狀之接觸子32而構成。再者，各檢查用探針21a、21b、21c、21d係如圖3所示，介隔成為可繞著軸周圍方向旋轉之探針驅動部33a、33b、33c、33d而安裝於移動構件13c、14c、15c、16c。此外，探針驅動部33a(、33b、33c、33d)係如圖8及圖9所示，形成為平面視大致L形之棒狀，且由連結於移動構件13c(、14c、15c、16c)之直線狀之連結部34、及在連結部34之前端部以與連結部34大致正交之方式設置用以支撐檢查用探針21a(、21b、21c、21d)之支撐部35所構成。

再者，在與支撐部35中之連結部34大致正交之方向延伸之部分之前端部形成有於連結部34側傾斜之傾斜面，且於此傾斜面，設有軸方向之長度較短之圓筒狀之安裝部36。各檢查用探針21a、21b、21c、21d係分別在可繞著安裝部36之軸周圍方向旋轉之狀態下安裝於對應之探針驅動部33a等之安裝部36。此外，安裝部36係分別藉由驅動裝置 (未圖示)之作動旋轉，且藉由此旋轉而使檢查用探針21a、21b、21c、21d之接觸子32在相對於X軸與Y軸垂直之方向之Z軸方向移動。

此外，在移動裝置13~17中之支撐台13a~17a之前部側端部、及與其對應之移動構件13c~17c，係分別架設有可彎曲之布線盒37a、37b、37c、37d、37e。此布線盒37a等係分別將四角形之框體相連成管狀而構成，且於內部收容有用以將各檢查用探針21a等或CCD相機22連接於控制裝置(未圖示)之各種布線。藉此，即可防止各檢查用探針21a等或CCD相機22於沿著軌道部13b等移動之際布線會糾結，而使各檢查用探針21a等或CCD相機22可順暢地移動。

把持裝置18係配置於基台12之上面，且如圖4所示，具備：一對固定軌道部41a、41b，其在前後保持間隔而平行設置且於左右延伸；及一對移動軌道部42a、42b，其在前後方向延伸並架設於固定軌道部41a、41b，且沿著固定軌道部41a、41b而成為可於左右方向移動。再者，在固定軌道部41a之中央係以朝向固定軌道部41b突出之方式設有固定把持部43，而於固定軌道部41b之中央，係以朝向固定軌道部41a突出之方式設有移動把持部44。

此外，在移動軌道部42a之前端側(固定軌道部41a側)部分中之移動軌道部42b側之側部，係以朝向固定軌道部41b突出之方式設有固定把持部45，而在移動軌道部42a之後端側(固定軌道部41b側)部分中之移動軌道部42b側之側部，係以朝向固定軌道部41a突出之方式設有移動把持部 46。再者，在移動軌道部42b之前端側部分中之移動軌道部42a側之側部，係以朝向固定軌道部41b突出之方式設有固定把持部47，而在移動軌道部42b之後端側部分中之移動軌道部42a側之側部，係以朝向固定軌道部41a突出之方式設有移動把持部48。

固定把持部43、45、47及移動把持部44、46、48之前端部係由以可分別把持印刷基板11之緣部而固定之方式形成之上下一對爪部所組成之把持部43a、45a、47a及把持部44a、46a、48a所構成。再者，把持部43a、45a、47a及把持部44a、46a、48a之基端部側係分別設有使一對爪部離開或接近之致動器(actuator)43b、45b、47b及致動器44b、46b、48b。此外，移動軌道部42a、42b係可藉由以手移動或使驅動裝置(未圖示)作動而以沿著固定軌道部41a、41b拉開或縮小彼此間隔之方式移動，且依據印刷基板11之左右方向之長度來調整其間隔。

移動把持部44係可藉由以手移動或使具備驅動軸44c之驅動裝置作動而於前後方向移動，且拉開或縮小與固定把持部43之間隔。此外，移動把持部46、48係可分別藉由以手移動，或使具備驅動軸46c、48c之驅動裝置作動而沿著移動軌道部42a、42b而於前後方向移動，且拉開或縮小與固定把持部45、47之間隔。此移動把持部44、46、48係依據印刷基板11之前後方向之長度而移動而調整與固定把持部43、45、47之間隔。

如此，藉由調整移動軌道部42a、42b之間隔及移動把持 部44、46、48與固定把持部43、45、47之間隔，即可在將印刷基板11施加張力之狀態下予以支撐。此外，雖未予以圖示，惟檢查裝置10係具備：後述之記憶程式或資料等之記憶裝置、根據記憶裝置所記憶之程式或資料來控制檢查裝置10所具備之各裝置之作動或進行各種運算處理之控制裝置、及用以操作各裝置之操作盤等。

在此構成中，於使用檢查裝置10而進行印刷基板11之電性檢查之情形下，首先，將印刷基板11設置於把持裝置18，並且求出各檢查用探針21a、21b、21c、21d之安裝位置、與成為安裝位置之基準之規定位置之間之位置誤差而進行補正安裝位置之處理。在設置印刷基板11之情形下，以固定把持部45、47與移動把持部46、48包夾印刷基板11之四角落，藉此在張開印刷基板11之狀態下予以固定，並且以固定把持部43與移動把持部44分別包夾印刷基板11之前後之緣部之中央部，藉此而使印刷基板11之中央側部分不致產生撓曲。

再者，依據圖10乃至圖12所示之流程圖之程式來進行補正各檢查用探針21a、21b、21c、21d之接觸子32之位置誤差而設為適當之位置之定位之處理。此程式係在步驟100中開始，且在步驟102中將CCD相機22移動而進行將CCD相機22之可攝像區域A之中心O(參照圖13)移動至特定之位置之處理。接著，在步驟104中，進行將以可攝像區域A之中心O之座標為(0,0)時之各檢查用探針21a、21b、21c、21d之接觸子32之前端部移動至邏輯上之位置之處理。

此情形之邏輯上之位置係為預先設定者，如圖13所示，且為位於可攝像區域A之中心O之周圍之規定位置a~d之4個點。此規定位置a~d係在各檢查用探針21a、21b、21c、21d彼此即使接近亦不彼此干擾之範圍下可盡可能地將檢查用探針21a、21b、21c、21d之各接觸子32接近中心O之位置所設定。因此，藉由步驟104之處理，移動裝置13~16係在移動裝置17之附近移動，而移動裝置13~17之後部側部分之一部分係在平面視下成為重疊之狀態。

此外，檢查用探針21a、21b、21c、21d係在CCD相機22之附近移動而使各個接觸子32接近與中心O相近之各規定位置a~d。此情形之預先設定之規定位置a~d之座標係分別將規定位置a設為(Xr1,Yr1)、規定位置b設為(Xr2,Yr2)、規定位置c設為(Xr3,Yr3)、規定位置d設為(Xr4,Yr4)。此外，為了方便說明，在圖10~圖13中，係將檢查用探針21d之接觸子32設為探針1、檢查用探針21c之接觸子32設為探針2、檢查用探針21a之接觸子32設為探針3、檢查用探針21b之接觸子32設為探針4。

接著，程式前進至步驟106，進行將探針1藉由CCD相機22進行攝像，且將探針1之前端之實際之位置(Xa1,Ya1)進行算出之處理。再者，在步驟108中，進行將探針2藉由CCD相機22進行攝像，且將探針2之前端之實際之位置(Xa2,Ya2)進行算出之處理，在步驟110中，進行將探針3藉由CCD相機22進行攝像，且將探針3之前端之實際之位置(Xa3,Ya3)進行算出之處理。再者，在步驟112中，進行 將探針4藉由CCD相機22進行攝像，且將探針4之前端之實際之位置(Xa4,Ya4)進行算出之處理。

如此一來，若求出探針1~4之前端之實際之位置之所有座標值，則程式前進至步驟114，進行從規定位置a與探針1之前端之位置求出探針1定位誤差(Xd1,Yd1)之處理。此情形下，Xd1係從探針1之X座標值Xa1與規定位置a之X座標值Xr1之差求出，而Yd1係從探針1之Y座標值Ya1與規定位置a之Y座標值Yr1之差求出。接著，在步驟116中，進行從規定位置b與探針2之前端之位置求出探針2之定位誤差(Xd2,Yd2)之處理，而在步驟118中，進行從規定位置c與探針3之前端之位置求出探針3之定位誤差(Xd3,Yd3)之處理。

Xd2係成為探針2之X座標值Xa2與規定位置b之X座標值Xr2之差，Yd2係成為探針2之Y座標值Ya2與規定位置b之Y座標值Yr2之差。此外，Xd3係成為探針3之X座標值Xa3與規定位置c之X座標值Xr3之差，Yd3係成為探針3之Y座標值Ya3與規定位置c之Y座標值Yr3之差。接著，在步驟120中，進行從規定位置d與探針4之前端之位置求出探針4之定位誤差(Xd4,Yd4)之處理。此情形下，Xd4係成為探針4之X座標值Xa4與規定位置d之X座標值Xr4之差，而Yd4係成為探針4之Y座標值Ya4與規定位置d之Y座標值Yr4之差。

如此一來，若求出探針1~4之所有定位誤差，則程式前進至步驟122，進行從在步驟114中所算出之探針1之定位 誤差(Xd1，Yd1)算出新的探針1之位置補正值(Xc1,Yc1)之處理。此情形下，新的Xc1係從目前之探針1之位置補正值之X座標值Xc1與在步驟114中所算出之定位誤差之X座標值Xd1之差求出，而新的Yc1係從目前之探針1之位置補正值之Y座標值Yc1與在步驟114中所算出之定位誤差之Y座標值Yd1之差求出。再者，將所算出之新的探針1之位置補正值(Xc1,Yc1)更新作為目前之探針1之位置補正值。

接著，在步驟124中，進行從在步驟116所算出之探針2之定位誤差(Xd2,Yd2)算出新的探針2之位置補正值(Xc2,Yc2)之處理，在步驟126中，進行從在步驟118所算出之探針3之定位誤差(Xd3,Yd3)算出新的探針3之位置補正值(Xc3,Yc3)之處理。在步驟124中之新的Xc2，係成為目前之探針2之位置補正值之X座標值Xc2與在步驟116中所算出之定位誤差之X座標值Xd2之差，而新的Yc2，係成為目前之探針2之位置補正值之Y座標值Yc2與在步驟116中所算出之定位誤差之Y座標值Yd2之差。

此外，在步驟126中之新的Xc3，係成為目前之探針3之位置補正值之X座標值Xc3與在步驟118中所算出之定位誤差之X座標值Xd3之差，而新的Yc3，係成為目前之探針3之位置補正值之Y座標值Yc3與在步驟118中所算出之定位誤差之Y座標值Yd3之差。再者，將所算出之探針2之位置補正值(Xc2,Yc2)更新作為目前之探針2之位置補正值，並且將所算出之探針3之位置補正值(Xc3,Yc3)更新作為目前之探針3之位置補正值。

接著，在步驟128中，進行從在步驟120所算出之探針4之定位誤差(Xd4,Yd4)算出新的探針4之位置補正值(Xc4,Yc4)之處理。此情形下，新的Xc4，係從目前之探針4之位置補正值之X座標值Xc4與在步驟120中所算出之定位誤差之X座標值Xd4之差求出，而新的Yc4，係從目前之探針4之位置補正值之Y座標值Yc4與在步驟120中所算出之定位誤差之Y座標值Yd4之差求出。再者，將所算出之新的探針4之位置補正值(Xc4,Yc4)更新作為目前之探針4之位置補正值。

再者，程式係前進至步驟130，使用在步驟122~128所求出之各位置補正值(Xc1,Yc1)、(Xc2,Yc2)、(Xc3,Yc3)、(Xc4,Yc4)而進行探針1~4之定位處理。藉此，經補正探針1~4之實際之位置之計算上之位置及與其對應之CCD相機22之在可攝像區域A之規定位置a~d即一致。再者，程式係前進至步驟132終了。

此外，在依據實際用以進行印刷基板11之電性檢查之程式，使檢查裝置10作動時，各檢查用探針21a、21b、21c、21d係一面添加藉由前述之處理所求出之位置補正值之資料一面移動，因此不會有檢查用探針21a、21b、21c、21d之各前端部撞擊之情形，而可使檢查用探針21a、21b、21c、21d相對於印刷基板11上之微細之圖案正確地移動而進行電性檢查。此情形下，藉由驅動檢查裝置10所具備之各裝置，一面使檢查用探針21a、21b、21c、21d在印刷基板11上移動，一面使接觸子32接觸印刷基板 11之圖案而進行電性檢查。

如此，依據本實施形態之檢查裝置10及使用檢查裝置10之檢查方法，即可在使檢查用探針21a等之前端部分別就位於設定於CCD相機22之可攝像區域A內之規定位置a~d之狀態下，藉由CCD相機22將檢查用探針21a等之前端部進行攝像。因此，即可藉由簡單之處理來求出各檢查用探針21a等之前端部及與其對應之規定位置a~d之間之位置誤差。

此外，由於在將CCD相機22就位於相同位置之狀態下將各檢查用探針21a等之前端部進行攝像，因此亦可正確地檢測出各檢查用探針21a等間之相對位置。其結果，在使檢查用探針21a等與印刷基板11之圖案接觸而進行電性檢查之際，不會有檢查用探針21a、21b、21c、21d之各前端部撞擊之情形，而可對印刷基板11上之微細之圖案，使檢查用探針21a、21b、21c、21d正確地移動而進行電性檢查。此外，依據本實施形態，CCD相機22只要1個即可，故亦可謀求低成本化。

此外，在本實施形態之檢查裝置10中，移動裝置13、14之後端部係支撐於位於較低位置之後部X軸導件24a，且移動裝置15、16之寬度較寬之後端部係支撐於位於較後部X軸導件24a更高之位置之後部X軸導件24b，而移動裝置17之寬度較寬之後端部係支撐於位於較後部X軸導件24b還要更高之位置之後部X軸導件24c。再者，移動裝置13與移動裝置15、移動裝置14與移動裝置16及移動裝置15、16與移 動裝置17之各個後部側部分之一部分係可以上下相互重疊之方式移動。

此外，各檢查用探針21a等係分別在可繞著安裝部36之軸周圍方向旋轉之狀態下安裝於對應之探針驅動部33a等之安裝部36，且藉由驅動裝置之作動而旋轉，而可使檢查用探針21a等之接觸子32上下方向移動。因此，即使支撐各檢查用探針21a等之移動裝置13等之上下方向之位置相異，亦可使各檢查用探針21a等之前端部之上下方向之位置整齊一致。

再者，在本實施形態之檢查裝置10中，不僅使檢查用探針21a等為可移動，還藉由配置於移動裝置13~16之中央之移動裝置17而使CCD相機22為可移動。此外，移動裝置17係配置於較移動裝置13~16更高之位置。因此，可將CCD相機22移動至容易將檢查用探針21a等之接觸子32進行攝像之任意場所。此外，CCD相機22係從上方將檢查用探針21a等之接觸子32進行攝像，故成為易於攝像。

(第2實施形態)

圖14乃至圖16係表示用以執行第2實施形態之檢查方法之程式，此檢查方法係使用前述之檢查裝置10來進行。在使用此檢查裝置10而進行第2實施形態之印刷基板11之電性檢查之情形下，首先，與前述之第1實施形態同樣，將印刷基板11設置於把持裝置18，並且進行求出各檢查用探針21a、21b、21c、21d之安裝位置、與設定於印刷基板11之規定位置之間之位置誤差而補正安裝位置之處理。

再者，依據圖14乃至圖16所示之流程圖之程式進行用以補正各檢查用探針21a、21b、21c、21d之接觸子32之位置誤差之定位之處理。此程式係在步驟200中開始，且在步驟202中進行將CCD相機22移動並將CCD相機22之可攝像區域A之中心O(參照圖17)移動至設定於印刷基板11上之基板圖案11a之邏輯上之位置之處理。接著，在步驟204中，進行將以基板圖案11a之中心11o之座標為(0,0)時之各檢查用探針21a、21b、21c、21d之接觸子32之前端部移動至邏輯上之位置之處理。

此邏輯上之位置亦作為與前述之第1實施形態之情形同樣設定之規定位置a~d之4點，而各規定位置a~d之座標係將基板圖案11a之中心11o之座標設為(0,0)，分別將規定位置a設為(Xr1,Yr1)、規定位置b設為(Xr2,Yr2)、規定位置c設為(Xr3,Yr3)、規定位置d設為(Xr4,Yr4)。此外，此情形亦將檢查用探針21d之接觸子32設為探針1、檢查用探針21c之接觸子32設為探針2、檢查用探針21a之接觸子32設為探針3、檢查用探針21b之接觸子32設為探針4。

接著，程式係依序前進至步驟206~212，且執行與圖10中之步驟106~112相同之處理，藉此而進行算出探針1之前端之實際之位置(Xa1,Ya1)、探針2之前端之實際之位置(Xa2,Ya2)、探針3之前端之實際之位置(Xa3,Ya3)及探針4之前端之實際之位置(Xa4,Ya4)之處理。如此一來，若求出探針1~4之前端之所有實際之位置之座標值，則程式前進至步驟214，進行將以CCD相機22之可攝像區域A之中心 O之座標為(0,0)時之基板圖案11a之中心11o之實際之位置(Xp,Yp)算出之處理。

此處理係藉由以CCD相機22將基板圖案11a予以攝像來進行，藉此而求出基板圖案11a之中心11o相對於可攝像區域A之中心O之位置誤差。再者，若求出以可攝像區域A之中心O之座標為(0,0)時之探針1~4之前端之實際之位置及基板圖案11a之中心11o之實際之位置，則程式前進至步驟216，而進行從規定位置a與探針1之前端之位置與基板圖案11a之中心11o之位置求出探針1之定位誤差(Xd1,Yd1)之處理。

此情形下，Xd1係從探針1之X座標值Xa1扣除基板圖案11a之X座標值Xp與規定位置a之X座標值Xr1之和所求出之值，Yd1係從探針1之Y座標值Ya1扣除基板圖案11a之Y座標值Yp與規定位置a之Y座標值Yr1之和所求出之值。同樣地方式，在步驟218中，進行從規定位置b與探針2之前端之位置與基板圖案11a之位置求出探針2之定位誤差(Xd2,Yd2)之處理，在步驟220中，進行從規定位置c與探針3之前端之位置與基板圖案11a之位置求出探針3之定位誤差(Xd3,Yd3)之處理。再者，在步驟222中，進行從規定位置d與探針4之前端之位置與基板圖案11a之位置求出探針4之定位誤差(Xd4,Yd4)之處理。

如此一來，若求出探針1~4之所有定位誤差，則以下在步驟224~232中，進行從在步驟216~222所算出之探針1~4之定位誤差(Xd1,Yd1)等算出新的探針1之位置補正值 (Xc1,Yc1)等而將探針1~4定位於經該補正之位置之處理。此情形之處理係與前述之步驟122~130之處理同一，故其說明予以省略。再者，程式係前進至步驟234終了。

再者，在依據實際用以進行印刷基板11之電性檢查之程式，使檢查裝置10作動時，各檢查用探針21a、21b、21c、21d係一面添加藉由前述之處理所求出之位置補正值之資料一面移動，因此可使各檢查用探針21a、21b、21c、21d之前端部相對於印刷基板11之基板圖案11a正確地定位而進行電性檢查。此情形亦藉由使驅動檢查裝置10所具備之各裝置而一面使檢查用探針21a、21b、21c、21d在印刷基板11上移動一面使接觸子32接觸印刷基板11之基板圖案11a而進行電性檢查。

如此，依據第2實施形態，即可從檢查用探針21a等之前端部及與其對應之基板圖案11a之間之位置關係，正確地檢測檢查用探針21a等之前端部與印刷基板11之間之位置關係。再者，從分別所攝像之各檢查用探針21a等之前端部與基板圖案11a之位置關係，亦可正確地得知檢查用探針21a等之各前端部間之相對之位置關係。因此，可將各檢查用探針21a、21b、21c、21d之前端部對印刷基板11之基板圖案11a正確地定位而進行電性檢查。此第2實施形態之其以外之作用效果係與前述之第1實施形態同樣。

此外，印刷基板之檢查裝置及檢查方法並不限定於前述之各實施形態，亦可適宜變更實施。例如，在前述之實施形態中，雖係將CCD相機22設置於移動裝置17，惟亦可將 此CCD相機22設置於移動裝置13~16之任一者而省略移動裝置17。此外，在前述之各實施形態中，係在步驟104、204中，雖同時使檢查用探針21a、21b、21c、21d移動，惟此等亦可一個一個移動。

再者，在前述之各實施形態中，分別安裝於探針驅動部33a等之安裝部36之各檢查用探針21a等，雖設為藉由驅動裝置之作動而繞著軸周圍方向旋轉而上下方向移動，惟取而代之，亦可設為藉由驅動裝置之作動而使各檢查用探針21a等之前端部移動而可變更在水平方向之位置。此情形下，係設為使各檢查用探針21a等之長度為相異之長度，且使該等前端部之上下方向之位置成為相同之位置。此外，亦可設置用以使探針驅動部33a等上下方向移動之驅動裝置、及用以使探針驅動部33a等之前端部在水平方向之位置變更之驅動裝置之2個驅動裝置。

10‧‧‧檢查裝置

11‧‧‧印刷基板

11a‧‧‧基板圖案

13、14、15、16、17‧‧‧移動裝置

18‧‧‧把持裝置

21a、21b、21c、21d‧‧‧檢查用探針

22‧‧‧相機

23‧‧‧前部X軸導件

24a、24b、24c‧‧‧後部X軸導件

25、26、27、28、29‧‧‧驅動裝置

32‧‧‧接觸子

33a、33b、33c、33d‧‧‧探針驅動部

A‧‧‧可攝像區域

a、b、c、d‧‧‧規定位置

圖1係為表示第1實施形態之檢查裝置之俯視圖。

圖2係為表示使圖1之檢查裝置之各檢查用探針位於中央側之狀態之俯視圖。

圖3係為表示檢查裝置之平面之概略圖。

圖4係為表示把持裝置之俯視圖。

圖5係為表示檢查裝置之側視圖。

圖6係為表示檢查用探針之俯視圖。

圖7係為表示檢查用探針之側視圖。

圖8係為表示探針驅動部之俯視圖。

圖9係為表示探針驅動部之正視圖。

圖10係為表示第1實施形態之檢查方法之步驟100~112之流程圖。

圖11係為表示第1實施形態之檢查方法之步驟114~120之流程圖。

圖12係為表示第1實施形態之檢查方法之步驟122~132之流程圖。

圖13係為表示設定於可攝像區域之規定位置與探針之位置之關係之說明圖。

圖14係為表示第2實施形態之檢查方法之步驟200~214之流程圖。

圖15係為表示第2實施形態之檢查方法之步驟216~222之流程圖。

圖16係為表示第2實施形態之檢查方法之步驟224~234之流程圖。

圖17係為表示設定於印刷基板之基板圖案之規定位置與探針之位置之關係之說明圖。

10‧‧‧檢查裝置

12‧‧‧基台

13、14、15、16、17‧‧‧移動裝置

13a、14a、15a、16a、17a‧‧‧支撐台

13b、14b、15b、16b、17b‧‧‧軌道部

13c、14c、15c、16c、17c‧‧‧移動構件

13d、14d、15d、16d、17d‧‧‧馬達

21a、21b、21c、21d‧‧‧檢查用探針

22‧‧‧CCD相機

23‧‧‧前部X軸導件

24a、24b、24c‧‧‧後部X軸導件

25、26、27、28、29‧‧‧驅動裝置

33a、33b‧‧‧探針驅動部

37a、37b、37c、37d、37e‧‧‧布線盒

Claims (7)

1. 一種印刷基板之檢查裝置，其具備把持印刷基板之印刷基板把持裝置、及與把持在前述印刷基板把持裝置之印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動之探針移動裝置，且藉由使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸而進行前述印刷基板之電性檢查者，且具備：攝像裝置，其具備在使前述複數個檢查用探針彼此接近而使前述複數個檢查用探針之前端部分別位於特定之範圍內之狀態下，可將前述複數個檢查用探針之前端部進行攝像之攝像視野；誤差檢測機構，其在相對於分別對應前述複數個檢查用探針之前端部地預先設定於前述攝像視野內之複數個規定位置而使前述複數個檢查用探針之前端部分別對應地就位後之狀態下，從前述攝像裝置所攝像之圖像來檢測前述複數個規定位置、與前述複數個檢查用探針之前端部之間之位置誤差；及補正值算出機構，其根據前述誤差檢測機構所檢測出之位置誤差，算出前述複數個檢查用探針之位置補正值；在使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸而進行電性檢查之際，添加前述補正值算出機構所算出之位置補正值並使前述複數個檢查用探針移動。
2. 一種印刷基板之檢查裝置，其具備把持印刷基板之印刷 基板把持裝置、及與把持在前述印刷基板把持裝置之印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動之探針移動裝置，且藉由使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸而進行前述印刷基板之電性檢查者，且具備：攝像裝置，其具備在使前述複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部就位於前述印刷基板之圖案上之特定之範圍內之狀態下，可將前述印刷基板上之圖案與前述1個以上之檢查用探針之前端部分別進行攝像之攝像視野；誤差檢測機構，其在對應前述1個以上之檢查用探針之前端部之方式相對於預先設定於前述印刷基板之圖案上之特定之範圍內之前述1個以上之規定位置以使前述1個以上之檢查用探針之前端部分別對應之方式就位之狀態下，從前述攝像裝置所攝像之圖像來檢測前述1個以上之規定位置、與前述1個以上之檢查用探針之前端部之間之位置誤差；及補正值算出機構，其根據前述誤差檢測機構所檢測出之位置誤差，算出相對於前述印刷基板之圖案上之規定位置之前述複數個檢查用探針的各個之位置補正值；在使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸而進行電性檢查之際，添加前述補正值算出機構所算出之位置補正值並使前述複數個檢查用探針移動。
3. 如請求項1或2之印刷基板之檢查裝置，其中 使前述複數個檢查用探針之前端部之位置為可變更而將前述複數個檢查用探針分別安裝於對應之探針移動裝置，藉此而使前述複數個檢查用探針之前端部就位於特定之範圍內。
4. 如請求項1或2之印刷基板之檢查裝置，其中在使前述複數個檢查用探針移動之各個探針移動裝置設置彼此高度相異之軌道部，並將支撐前述檢查用探針之支撐構件在可將至少彼此一部分予以重疊之狀態下可移動地安裝於前述軌道部，藉此而使前述複數個檢查用探針之前端部就位於特定之範圍內。
5. 如請求項1或2之印刷基板之檢查裝置，其中前述攝像裝置係藉由攝像裝置移動裝置而成為可移動。
6. 一種印刷基板之檢查方法，其係與印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動，且使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸，藉此進行前述印刷基板之電性檢查者；且具備以下步驟：探針移動步驟，其以使前述複數個檢查用探針之前端部就位於預先設定於特定之攝像視野內之各個規定位置之方式使前述複數個檢查用探針移動；攝像步驟，其係於前述探針移動步驟在前述複數個檢查用探針移動之位置將前述複數個檢查用探針之前端部進行攝像；誤差檢測步驟，其從在前述攝像步驟所攝像之圖像， 檢測前述複數個檢查用探針之前端部及與其對應之各規定位置之間之位置誤差；補正值算出步驟，其根據在前述誤差檢測步驟所檢測出之位置誤差，算出前述複數個檢查用探針之位置補正值；及檢查步驟，其添加在前述補正值算出步驟所算出之位置補正值並使前述複數個檢查用探針移動，使前述檢查用探針與前述印刷基板上之圖案接觸而進行電性檢查。
7. 一種印刷基板之檢查方法，其係與印刷基板之一方之面相對向而使複數個檢查用探針個別地移動，且使前述複數個檢查用探針與前述印刷基板之圖案接觸，藉此進行前述印刷基板之電性檢查者；且具備以下步驟：探針移動步驟，其以使前述複數個檢查用探針之中之1個以上之檢查用探針之前端部就位於預先設定於前述印刷基板之圖案上之特定之攝像視野內之1個以上之規定位置之各個規定位置之方式使前述1個以上之檢查用探針分別移動；攝像步驟，其係於前述探針移動步驟在前述1個以上之檢查用探針移動之位置，將前述印刷基板上之圖案與前述1個以上之檢查用探針之前端部分別進行攝像；誤差檢測步驟，其從在前述攝像步驟所攝像之圖像，檢測前述1個以上之規定位置及與其對應之前述1個以上之檢查用探針之前端部之間之位置誤差；補正值算出步驟，其根據在前述誤差檢測步驟所檢測 出之位置誤差，算出相對於前述印刷基板上之圖案之前述1個以上之檢查用探針之位置補正值；及檢查步驟，其添加在前述補正值算出步驟所算出之位置補正值並使前述複數個檢查用探針移動，使前述檢查用探針與前述印刷基板上之圖案接觸而進行電性檢查。