JP4461159B2 - プリント基板の検査装置および検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数の検査用プローブを個々に移動させてプリント基板上のパターンに接触させプリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査装置および検査方法に関する。

従来から、プリント基板のパターンに検査用プローブの先端部を接触させることによりプリント基板の電気検査をするプリント基板の検査装置が用いられている。そして、このようなプリント基板の検査装置の中に、検査用プローブの位置誤差（検査用プローブを移動装置に取り付けたときの取り付け位置のずれから生じる誤差）を求めるとともに、その位置誤差を補正して検査用プローブの位置決めを行う検査装置がある（例えば、特許文献１参照）。この検査装置は、基板パターンの位置を検出する第１の撮像装置と、プローブの位置を検出する第２の撮像装置を備えており、基板パターンの位置とプローブの位置とを個別に検出してプローブの位置を決めるように構成されている。
特許第３０６５６１２号公報

しかしながら、前述した従来のプリント基板の検査装置では、基板パターンの位置を検出する第１の撮像装置と、プローブの位置を検出する第２の撮像装置との絶対位置を正確に計測する必要があるためその操作に手間がかかり処理が煩雑になる。また、２台の撮像装置を用いるためコストが高くなる。

本発明は、前述した問題に対処するためになされたもので、その目的は、複数の検査用プローブを接近させた状態で位置決めすることが必要なプリント基板の電気検査を簡単、かつ低コストで行えるプリント基板の検査装置および検査方法を提供することである。

前述した目的を達成するため、本発明に係るプリント基板の検査装置の構成上の特徴は、プリント基板を把持するプリント基板把持装置と、プリント基板把持装置に把持されたプリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させるプローブ移動装置とを備え、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させることによりプリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査装置であって、複数の検査用プローブを互いに接近させて複数の検査用プローブの先端部をそれぞれ所定の範囲内に位置させた状態で複数の検査用プローブの先端部を同じ位置から撮像できる撮像視野を備えた撮像装置と、複数の検査用プローブの先端部にそれぞれ対応するようにして撮像視野内における中心の周囲に予め設定された複数の規定位置に対して複数の検査用プローブの先端部をそれぞれ対応するように位置させた状態で、複数の規定位置と、複数の検査用プローブの先端部との間の位置誤差を撮像装置が撮像した画像から検出する誤差検出手段と、誤差検出手段が検出した位置誤差に基づいて複数の検査用プローブの位置補正値を算出する補正値算出手段とを備え、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させて電気検査を行う際に、補正値算出手段が算出した位置補正値を加味して複数の検査用プローブを移動させるようにしたことにある。

本発明に係るプリント基板の検査装置によれば、複数の検査用プローブの先端部を撮像装置の撮像視野内に予め設定されたそれぞれの規定位置に位置させるようにした状態で、複数の検査用プローブの先端部を一つの撮像装置で撮像することができる。このため、各検査用プローブの先端部とそれに対応する規定位置との間の位置誤差を簡単な操作で求めることができる。そして、各検査用プローブの先端部とそれに対応する規定位置との間の位置関係から、複数の検査用プローブの各先端部間の相対的な位置関係も正確に知ることができる。この結果、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させて電気検査を行う際に、複数の検査用プローブの各先端部が衝突することなく、微細なプリント基板上のパターンに対して、検査用プローブを正確に移動させて電気検査を行うことが可能になる。また、本発明によると撮像装置が一つで済むため低コスト化も図れる。また、本発明に係るプリント基板の検査装置の他の構成上の特徴は、撮像装置が撮像装置移動装置によって移動可能になっていることにある。これによると、撮像装置を任意の場所に移動して検査用プローブの先端部を撮像することができるようになる。また、撮像装置は、複数の検査用プローブの先端部を撮像するためのものであるため、複数の検査用プローブの中央部分でかつ複数の検査用プローブの先端部よりも上方に配置する。

また、本発明に係るプリント基板の検査装置の他の構成上の特徴は、プリント基板を把持するプリント基板把持装置と、プリント基板把持装置に把持されたプリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させるプローブ移動装置とを備え、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させることによりプリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査装置であって、複数の検査用プローブのうちの一つ以上の検査用プローブの先端部をプリント基板のパターン上の所定の範囲内に位置させた状態でプリント基板上のパターンと一つ以上の検査用プローブの先端部とを撮像できる撮像視野を備え、撮像装置移動装置によって複数の検査用プローブとは独立して移動可能になっている撮像装置と、一つ以上の検査用プローブの先端部に対応するようにしてプリント基板のパターン上の所定の範囲内に予め設定された一つ以上の規定位置に対して一つ以上の検査用プローブの先端部をそれぞれ対応するように位置させた状態で、一つ以上の規定位置と、一つ以上の検査用プローブの先端部との間の位置誤差を撮像装置が撮像した画像から検出する誤差検出手段と、誤差検出手段が検出した位置誤差に基づいてプリント基板のパターン上の規定位置に対する複数の検査用プローブのそれぞれの位置補正値を算出する補正値算出手段とを備え、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させて電気検査を行う際に、補正値算出手段が算出した位置補正値を加味して複数の検査用プローブを移動させるようにしたことにある。

前述した本発明に係るプリント基板の検査装置によれば、複数の検査用プローブのうちの一つ以上の検査用プローブの先端部を撮像装置の撮像視野内に収まるようにしてプリント基板のパターン上に予め設定されたそれぞれの規定位置に位置させるようにした状態で、一つ以上の検査用プローブの先端部を撮像装置で撮像することができる。このため、一つ以上の検査用プローブの先端部とそれに対応する規定位置との間の位置誤差を簡単な操作で求めることができる。

この場合、検査用プローブの先端部とそれに対応するプリント基板の規定位置との間の位置関係から、検査用プローブの先端部とプリント基板と間の位置関係を正確に検出することができるため、検査用プローブの先端部をプリント基板のパターンに正確に位置決めすることができる。また、本発明によると、検査用プローブの先端部とプリント基板の規定位置との位置関係を直接求めるため、一度で撮像する検査用プローブの先端部の数は一つであってもよいしすべての数であってもよい。そして、それぞれ撮像された各検査用プローブの先端部とプリント基板の規定位置との位置関係から、複数の検査用プローブの各先端部間の相対的な位置関係も正確に知ることができる。

また、本発明に係るプリント基板の検査装置のさらに他の構成上の特徴は、複数の検査用プローブの先端部の位置を変更可能にして複数の検査用プローブをそれぞれ対応するプローブ移動装置に取り付けることにより、複数の検査用プローブの先端部を所定の範囲内に位置させることができるようにしたことにある。この場合の検査用プローブの先端部の位置の変更は、上下方向の位置の変更でも水平方向の位置の変更でもよく、その双方の位置の変更でもよい。これによると、プローブ移動装置に取り付けられた検査用プローブの位置をそれぞれ変えて各先端部が一箇所に向って集まるようにするだけで複数の検査用プローブの先端部を所定の範囲内に位置させることができる。

また、本発明に係るプリント基板の検査装置のさらに他の構成上の特徴は、複数の検査用プローブを移動させるそれぞれのプローブ移動装置に互いの高さが異なるレール部を設けて、レール部に検査用プローブを支持する支持部材を少なくとも互いの一部を重ねることができる状態で移動可能に取り付けることにより、複数の検査用プローブの先端部を所定の範囲内に位置させることができるようにしたことにある。これによると、複数の検査用プローブを接近させた状態で位置決めしてもプローブ移動装置同士や検査プローブ同士が互いに衝突したり干渉したりすることを防止することができる。

また、本発明に係るプリント基板の検査方法の構成上の特徴は、プリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させ、複数の検査用プローブをプリント基板のパターンに接触させることによりプリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査方法であって、複数の検査用プローブの先端部を所定の撮像視野内における中心の周囲に予め設定されたそれぞれの規定位置に位置させるように複数の検査用プローブを移動させるプローブ移動工程と、プローブ移動工程で複数の検査用プローブが移動した位置で複数の検査用プローブの先端部を同じ位置から撮像する撮像工程と、撮像工程で撮像した画像から複数の検査用プローブの先端部とそれに対応する各規定位置との間の位置誤差を検出する誤差検出工程と、誤差検出工程で検出した位置誤差に基づいて複数の検査用プローブの位置補正値を算出する補正値算出工程と、補正値算出工程で算出した位置補正値を加味して複数の検査用プローブを移動させて検査用プローブをプリント基板上のパターンに接触させて電気検査を行う検査工程とを備えたことにある。

前述した本発明に係るプリント基板の検査方法では、複数の検査用プローブの先端部を所定の撮像視野内に予め設定されたそれぞれの規定位置に位置させるように複数の検査用プローブを移動させて複数の検査用プローブの先端部を撮像する撮像工程を備えている。このため、各検査用プローブの先端部とそれに対応する規定位置との間の位置誤差を簡単な操作で正確に求めることができる。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態に係るプリント基板の検査装置および検査方法を図面を用いて説明する。図１および図２は同実施形態に係る検査装置１０を上方から見た状態示しており、図３はその概略を示している。この検査装置１０は、プリント基板１１に設けられた電極パターン（図示せず）が適正に導通しているかどうかを検査するための装置であり、基台１２と、基台１２に支持された本発明のプローブ移動装置としての４個の移動装置１３〜１６と、基台１２に支持された本発明の撮像装置移動装置としての移動装置１７と、移動装置１３〜１７の下方に設置された把持装置１８（図４参照）とを備えている。

そして、移動装置１３に検査用プローブ２１ａ、移動装置１４に検査用プローブ２１ｂ、移動装置１５に検査用プローブ２１ｃ、移動装置１６に検査用プローブ２１ｄがそれぞれ設けられ、移動装置１７に本発明の撮像装置としてのＣＣＤカメラ２２が設けられている。基台１２は枠状の台で構成されており、その上面における前端縁側部分にレール状の前部Ｘ軸ガイド２３が前端縁に沿って左右に設けられ、後端縁側部分に、縁部に沿って左右に延びるレール状の後部Ｘ軸ガイド２４ａ，２４ｂ，２４ｃが前後に平行して設けられている。

この後部Ｘ軸ガイド２４ａ，２４ｂ，２４ｃで本発明の互いの高さが異なるレール部が構成される。移動装置１３，１４は前端部を前部Ｘ軸ガイド２３に支受させ後端部を後部Ｘ軸ガイド２４ａに支受させた状態で、前部Ｘ軸ガイド２３と後部Ｘ軸ガイド２４ａに沿って左右に移動可能になり、移動装置１５，１６は前端部を前部Ｘ軸ガイド２３に支受させ後端部を後部Ｘ軸ガイド２４ｂに支受させた状態で、前部Ｘ軸ガイド２３と後部Ｘ軸ガイド２４ｂに沿って左右に移動可能になっている。そして、移動装置１７は前端部を前部Ｘ軸ガイド２３に支受させ後端部を後部Ｘ軸ガイド２４ｃに支受させた状態で、前部Ｘ軸ガイド２３と後部Ｘ軸ガイド２４ｃに沿って左右に移動可能になっている。

また、図５に示したように、後部Ｘ軸ガイド２４ａ，２４ｂ，２４ｃは、後部Ｘ軸ガイド２４ａの位置が低く、後部Ｘ軸ガイド２４ｃの位置が高くなるように、後部Ｘ軸ガイド２４ａから後部Ｘ軸ガイド２４ｃに向って順に高くなっている。また、移動装置１５，１６の前端部は移動装置１３，１４の前端部よりも高く、移動装置１７の前端部は移動装置１３，１４の前端部よりも高くなっている。このため、移動装置１３，１４の位置よりも移動装置１５，１６の位置の方が高くなっており、移動装置１７の位置はさらに移動装置１５，１６よりも高くなっている。

また、移動装置１３，１４の後端部はそれぞれ後部Ｘ軸ガイド２４ａに沿って移動するため互いに重なり合うことはできず、移動装置１５，１６の後端部はそれぞれ後部Ｘ軸ガイド２４ｂに沿って移動するため互いに重なり合うことはできないが、移動装置１３と移動装置１５、移動装置１４と移動装置１６および移動装置１５，１６と移動装置１７とのそれぞれの後部側部分の一部は重なり合うことができる。したがって、移動装置１３〜１７は左右方向の順番を変えることなく、図１に示したように左右に分散したり、図２に示したように移動装置１７を中心して接近したりすることができる。

この場合の移動装置１３〜１７の移動は、各移動装置１３〜１７にそれぞれ連結された駆動装置２５〜２９の作動によって行われる。この駆動装置２５〜２９は、後部Ｘ軸ガイド２４ａ等の前部側に後部Ｘ軸ガイド２４ａ等と平行して左右にそれぞれ延びる回転駆動軸２５ａ〜２９ａと、各回転駆動軸２５ａ〜２９ａを回転駆動させるモータ２５ｂ〜２９ｂとで構成されている。すなわち、駆動装置２５，２７は、基台１２の左端部から右側に向って延び、モータ２５ｂ，２７ｂの回転により回転駆動軸２５ａ，２７ａを軸周り方向に回転させる。また、移動装置１３，１５は、それぞれ対応する回転駆動軸２５ａ，２７ａに螺合している。このため、回転駆動軸２５ａ，２７ａの回転により、移動装置１３，１５は基台１２の左端側部分から中央部分の間で左右に移動する。

また、駆動装置２６，２８，２９は、基台１２の右端部から左側に向って延び、モータ２６ｂ，２８ｂ，２９ｂの回転により回転駆動軸２６ａ，２８ａ，２９ａを軸周り方向に回転させる。そして、移動装置１４，１６，１７は、それぞれ対応する回転駆動軸２６ａ，２８ａ，２９ａに螺合しており、回転駆動軸２６ａ，２８ａの回転により、移動装置１４，１６は基台１２の右端側部分から中央部分の間で左右に移動する。また、回転駆動軸２９ａの回転により、移動装置１７は基台１２の中央部分の間で左右に移動する。

移動装置１３，１４は左右対称に形成されており、それぞれ後部Ｘ軸ガイド２４ａに支持された状態で駆動装置２５，２６に連結された支持台１３ａ，１４ａと、各支持台１３ａ，１４ａから前方に延びて前端部が、前部Ｘ軸ガイド２３に支持されたレール部１３ｂ，１４ｂとを備えている。そして、検査用プローブ２１ａは、移動部材１３ｃを介して前後方向に移動可能な状態でレール部１３ｂに取り付けられ、検査用プローブ２１ｂは、移動部材１４ｃを介して前後方向に移動可能な状態でレール部１４ｂに取り付けられている。

レール部１３ｂ，１４ｂには、それぞれ回転軸部からなるＹ軸ガイド（図示せず）と、両Ｙ軸ガイドをそれぞれ回転駆動させるモータ１３ｄ，１４ｄが取り付けられており、モータ１３ｄの作動により検査用プローブ２１ａは移動部材１３ｃとともにレール部１３ｂに沿って前後方向に移動し、モータ１４ｄの作動により検査用プローブ２１ｂは移動部材１４ｃとともにレール部１４ｂに沿って前後方向に移動する。同様に、移動装置１５，１６は左右対称に形成されており、それぞれ後部Ｘ軸ガイド２４ｂに支持された状態で駆動装置２７，２８に連結された支持台１５ａ，１６ａと、各支持台１５ａ，１６ａから前方に延びて前端部が、前部Ｘ軸ガイド２３に支持されたレール部１５ｂ，１６ｂとを備えている。

そして、検査用プローブ２１ｃは、移動部材１５ｃを介して前後方向に移動可能な状態でレール部１５ｂに取り付けられ、検査用プローブ２１ｄは、移動部材１６ｃを介して前後方向に移動可能な状態でレール部１６ｂに取り付けられている。また、レール部１５ｂ，１６ｂには、それぞれ回転軸部からなるＹ軸ガイド（図示せず）と、両Ｙ軸ガイドをそれぞれ回転駆動させるモータ１５ｄ，１６ｄが取り付けられており、モータ１５ｄの作動により検査用プローブ２１ｃは移動部材１５ｃとともにレール部１５ｂに沿って前後方向に移動し、モータ１６ｄの作動により検査用プローブ２１ｄは移動部材１６ｃとともにレール部１６ｂに沿って前後方向に移動する。なお、各支持台１３ａ，１４ａ，１５ａ，１６ａと各レール部１３ｂ，１４ｂ，１５ｂ，１６ｂとのそれぞれの組み合わせで本発明の支持部材が構成される。

また、移動装置１７は、後部Ｘ軸ガイド２４ｃに支持された状態で駆動装置２９に連結された支持台１７ａと、支持台１７ａから前方に延びて前端部が前部Ｘ軸ガイド２３に支持されたレール部１７ｂとを備えている。そして、ＣＣＤカメラ２２は、移動部材１７ｃを介して前後方向に移動可能な状態でレール部１７ｂに取り付けられている。レール部１７ｂには、回転軸部からなるＹ軸ガイド（図示せず）と、Ｙ軸ガイドを回転駆動させるモータ１７ｄが取り付けられており、モータ１７ｄの作動によりＣＣＤカメラ２２は移動部材１７ｃとともにレール部１７ｂに沿って前後方向に移動する。

検査用プローブ２１ａ（，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）は、図６および図７に示したように、棒状の支持部３１の先端に針状の接触子３２を取り付けて構成されている。そして、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、図３に示したように、軸周り方向に回転可能になったプローブ駆動部３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを介して、移動部材１３ｃ，１４ｃ，１５ｃ，１６ｃに取り付けられている。また、プローブ駆動部３３ａ（，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ）は、図８および図９に示したように、平面視が略Ｌ形の棒状に形成されており、移動部材１３ｃ（，１４ｃ，１５ｃ，１６ｃ）に連結される直線状の連結部３４と、連結部３４の先端部に、連結部３４に略直交するように設けられ検査用プローブ２１ａ（，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ）を支持する支持部３５とで構成されている。

そして、支持部３５における連結部３４に略直交する方向に延びる部分の先端部に連結部３４側に傾斜した傾斜面が形成され、この傾斜面に、軸方向の長さの短い円筒状の取付部３６が設けられている。各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、それぞれ対応するプローブ駆動部３３ａ等の取付部３６に、取付部３６の軸周り方向に回転可能な状態で取り付けられている。また、取付部３６は、それぞれ駆動装置（図示せず）の作動により回転し、この回転によって、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの接触子３２をＸ軸とＹ軸に対して垂直な方向であるＺ軸方向に動かすことができる。

また、移動装置１３〜１７における支持台１３ａ〜１７ａの前部側端部と、それに対応する移動部材１３ｃ〜１７ｃには、それぞれ屈曲可能な配線ケース３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ，３７ｅが掛け渡されている。この配線ケース３７ａ等は、それぞれ四角形の枠体を管状に連ねて構成されており、内部に、各検査用プローブ２１ａ等やＣＣＤカメラ２２を制御装置（図示せず）に接続するための各種の配線が収容されている。これによって、各検査用プローブ２１ａ等やＣＣＤカメラ２２が、レール部１３ｂ等に沿って移動する際に、配線が縺れることが防止され、各検査用プローブ２１ａ等やＣＣＤカメラ２２はスムーズに移動できる。

把持装置１８は、基台１２の上面に配置されており、図４に示したように、前後に間隔を保って平行に設置された左右に延びる一対の固定レール部４１ａ，４１ｂと、前後方向に延びて固定レール部４１ａ，４１ｂに掛け渡され、固定レール部４１ａ，４１ｂに沿って左右方向に移動可能になった一対の移動レール部４２ａ，４２ｂとを備えている。そして、固定レール部４１ａの中央には、固定把持部４３が固定レール部４１ｂに向って突出するように設けられており、固定レール部４１ｂの中央には、移動把持部４４が固定レール部４１ａに向って突出するように設けられている。

また、移動レール部４２ａの前端側（固定レール部４１ａ側）部分における移動レール部４２ｂ側の側部には、固定把持部４５が固定レール部４１ｂに向って突出するように設けられており、移動レール部４２ａの後端側（固定レール部４１ｂ側）部分における移動レール部４２ｂ側の側部には、移動把持部４６が固定レール部４１ａに向って突出するように設けられている。さらに、移動レール部４２ｂの前端側部分における移動レール部４２ａ側の側部には、固定把持部４７が固定レール部４１ｂに向って突出するように設けられており、移動レール部４２ｂの後端側部分における移動レール部４２ａ側の側部には、移動把持部４８が固定レール部４１ａに向って突出するように設けられている。

固定把持部４３，４５，４７および移動把持部４４，４６，４８の先端部は、それぞれプリント基板１１の縁部を把持して固定できるように形成された、上下一対の爪部からなる把持部４３ａ，４５ａ，４７ａおよび把持部４４ａ，４６ａ，４８ａで構成されている。そして、把持部４３ａ，４５ａ，４７ａおよび把持部４４ａ，４６ａ，４８ａの基端部側にそれぞれ一対の爪部を離したり接近させたりするアクチュエータ４３ｂ，４５ｂ，４７ｂおよびアクチュエータ４４ｂ，４６ｂ，４８ｂが設けられている。また、移動レール部４２ａ，４２ｂは、手で移動させたり、駆動装置（図示せず）を作動させたりすることによって固定レール部４１ａ，４１ｂに沿って互いの間隔を広げたり狭めたりするように移動でき、プリント基板１１の左右方向の長さに応じてその間隔を調整する。

移動把持部４４は、手で移動させたり、駆動軸４４ｃを備えた駆動装置を作動させたりすることによって前後方向に移動し、固定把持部４３との間隔を広げたり狭めたりすることができる。また、移動把持部４６，４８は、それぞれ、手で移動させたり、駆動軸４６ｃ，４８ｃを備えた駆動装置を作動させたりすることによって移動レール部４２ａ，４２ｂに沿って前後方向に移動し、固定把持部４５，４７との間隔を広げたり狭めたりすることができる。この移動把持部４４，４６，４８は、プリント基板１１の前後方向の長さに応じて移動して固定把持部４３，４５，４７との間隔を調整する。

このように、移動レール部４２ａ，４２ｂの間隔および移動把持部４４，４６，４８と固定把持部４３，４５，４７との間隔を調整することにより、プリント基板１１をテンションを掛けた状態で支持することができる。また、図示していないが、検査装置１０は、後述するプログラムやデータ等を記憶する記憶装置、記憶装置が記憶するプログラムやデータに基づいて検査装置１０が備える各装置の作動を制御したり各種の演算処理をしたりする制御装置および各装置を操作するための操作盤等を備えている。

この構成において、検査装置１０を用いてプリント基板１１の電気検査を行う場合には、まず、プリント基板１１を、把持装置１８に設置するとともに、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの取り付け位置と、取り付け位置の基準となる規定位置との間の位置誤差を求めて取り付け位置を補正する処理を行う。プリント基板１１を設置する場合、固定把持部４５，４７と移動把持部４６，４８とでプリント基板１１の四隅を挟むことにより、プリント基板１１を張った状態で固定するとともに、固定把持部４３と移動把持部４４でそれぞれプリント基板１１の前後の縁部の中央部を挟むことによりプリント基板１１の中央側部分に撓みが生じないようにする。

そして、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの接触子３２の位置誤差を補正して適正な位置にするための位置決めの処理を、図１０ないし図１２に示したフローチャートのプログラムにしたがって行う。このプログラムは、ステップ１００において開始し、ステップ１０２においてＣＣＤカメラ２２を移動してＣＣＤカメラ２２の撮像可能領域Ａの中心Ｏ（図１３参照）を所定の位置に移動する処理を行う。ついで、ステップ１０４において、撮像可能領域Ａの中心Ｏの座標を（０，０）としたときの各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの接触子３２の先端部を論理上の位置に移動する処理を行う。

この場合の論理上の位置は、予め設定されているもので、図１３に示したように、撮像可能領域Ａの中心Ｏの周囲に位置する規定位置ａ〜ｄの４つの点である。この規定位置ａ〜ｄは、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄどうしが接近しても互いに干渉しない範囲で検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの各接触子３２をできるだけ中心Ｏに近づけることのできる位置として設定されている。このため、ステップ１０４の処理によって、移動装置１３〜１６は、移動装置１７の近傍に移動して、移動装置１３〜１７の後部側部分の一部は平面視で重なった状態になる。

また、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、ＣＣＤカメラ２２の近傍に移動してそれぞれの接触子３２を中心Ｏに近い各規定位置ａ〜ｄに近づける。この場合の予め設定した規定位置ａ〜ｄの座標は、それぞれ規定位置ａを（Ｘｒ1、Ｙｒ1）、規定位置ｂを（Ｘｒ2、Ｙｒ2）、規定位置ｃを（Ｘｒ3、Ｙｒ3）、規定位置ｄを（Ｘｒ4、Ｙｒ4）とする。また、説明の便宜上、図１０〜図１３においては、検査用プローブ２１ｄの接触子３２をプローブ１、検査用プローブ２１ｃの接触子３２をプローブ２、検査用プローブ２１ａの接触子３２をプローブ３、検査用プローブ２１ｂの接触子３２をプローブ４とした。

つぎに、プログラムはステップ１０６に進み、プローブ１をＣＣＤカメラ２２で撮像し、プローブ１の先端の実際の位置（Ｘａ1、Ｙａ1）を算出する処理を行う。そして、ステップ１０８において、プローブ２をＣＣＤカメラ２２で撮像し、プローブ２の先端の実際の位置（Ｘａ2、Ｙａ2）を算出する処理を行い、ステップ１１０において、プローブ３をＣＣＤカメラ２２で撮像し、プローブ３の先端の実際の位置（Ｘａ3、Ｙａ3）を算出する処理を行う。さらに、ステップ１１２において、プローブ４をＣＣＤカメラ２２で撮像し、プローブ４の先端の実際の位置（Ｘａ4、Ｙａ4）を算出する処理を行う。

このようにして、プローブ１〜４の先端の実際の位置のすべての座標値が求められると、プログラムはステップ１１４に進み、規定位置ａとプローブ１の先端の位置とからプローブ１の位置決め誤差（Ｘｄ1、Ｙｄ1）を求める処理が行われる。この場合、Ｘｄ1は、プローブ１のＸ座標値Ｘａ1と規定位置ａのＸ座標値Ｘｒ1との差から求められ、Ｙｄ1は、プローブ１のＹ座標値Ｙａ1と規定位置ａのＹ座標値Ｙｒ1との差から求められる。ついで、ステップ１１６において、規定位置ｂとプローブ２の先端の位置とからプローブ２の位置決め誤差（Ｘｄ2、Ｙｄ2）を求める処理が行われ、ステップ１１８において、規定位置ｃとプローブ３の先端の位置とからプローブ３の位置決め誤差（Ｘｄ3、Ｙｄ3）を求める処理が行われる。

Ｘｄ2は、プローブ２のＸ座標値Ｘａ2と規定位置ｂのＸ座標値Ｘｒ2との差となり、Ｙｄ2は、プローブ２のＹ座標値Ｙａ2と規定位置ｂのＹ座標値Ｙｒ2との差となる。また、Ｘｄ3は、プローブ３のＸ座標値Ｘａ3と規定位置ｃのＸ座標値Ｘｒ3との差となり、Ｙｄ3は、プローブ３のＹ座標値Ｙａ3と規定位置ｃのＹ座標値Ｙｒ3との差となる。ついで、ステップ１２０において、規定位置ｄとプローブ４の先端の位置とからプローブ４の位置決め誤差（Ｘｄ4、Ｙｄ4）を求める処理が行われる。この場合、Ｘｄ4は、プローブ４のＸ座標値Ｘａ4と規定位置ｄのＸ座標値Ｘｒ4との差となり、Ｙｄ4は、プローブ４のＹ座標値Ｙａ4と規定位置ｄのＹ座標値Ｙｒ4との差となる。

このようにして、プローブ１〜４のすべての位置決め誤差が求められると、プログラムはステップ１２２に進み、ステップ１１４において算出したプローブ１の位置決め誤差（Ｘｄ1、Ｙｄ1）から新たなプローブ１の位置補正値（Ｘｃ1、Ｙｃ1）を算出する処理が行われる。この場合、新たなＸｃ1は、現在のプローブ１の位置補正値のＸ座標値Ｘｃ1とステップ１１４において算出した位置決め誤差のＸ座標値Ｘｄ1との差から求められ、新たなＹｃ1は、現在のプローブ１の位置補正値のＹ座標値Ｙｃ1とステップ１１４において算出した位置決め誤差のＹ座標値Ｙｄ1との差から求められる。そして、算出された新たなプローブ１の位置補正値（Ｘｃ1、Ｙｃ1）を現在のプローブ１の位置補正値として更新する。

ついで、ステップ１２４において、ステップ１１６で算出したプローブ２の位置決め誤差（Ｘｄ2、Ｙｄ2）から新たなプローブ２の位置補正値（Ｘｃ2、Ｙｃ2）を算出する処理が行われ、ステップ１２６において、ステップ１１８で算出したプローブ３の位置決め誤差（Ｘｄ3、Ｙｄ3）から新たなプローブ３の位置補正値（Ｘｃ3、Ｙｃ3）を算出する処理が行われる。ステップ１２４における新たなＸｃ2は、現在のプローブ２の位置補正値のＸ座標値Ｘｃ2とステップ１１６において算出した位置決め誤差のＸ座標値Ｘｄ2との差となり、新たなＹｃ2は、現在のプローブ２の位置補正値のＹ座標値Ｙｃ2とステップ１１６において算出した位置決め誤差のＹ座標値Ｙｄ2との差となる。

また、ステップ１２６における新たなＸｃ3は、現在のプローブ３の位置補正値のＸ座標値Ｘｃ3とステップ１１８において算出した位置決め誤差のＸ座標値Ｘｄ3との差となり、新たなＹｃ3は、現在のプローブ３の位置補正値のＹ座標値Ｙｃ3とステップ１１８において算出した位置決め誤差のＹ座標値Ｙｄ3との差となる。そして、算出されたプローブ２の位置補正値（Ｘｃ2、Ｙｃ2）を現在のプローブ２の位置補正値として更新するとともに、算出されたプローブ３の位置補正値（Ｘｃ3、Ｙｃ3）を現在のプローブ３の位置補正値として更新する。

ついで、ステップ１２８において、ステップ１２０で算出したプローブ４の位置決め誤差（Ｘｄ4、Ｙｄ4）から新たなプローブ４の位置補正値（Ｘｃ4、Ｙｃ4）を算出する処理が行われる。この場合、新たなＸｃ4は、現在のプローブ４の位置補正値のＸ座標値Ｘｃ4とステップ１２０において算出した位置決め誤差のＸ座標値Ｘｄ4との差から求められ、新たなＹｃ4は、現在のプローブ４の位置補正値のＹ座標値Ｙｃ4とステップ１２０において算出した位置決め誤差のＹ座標値Ｙｄ4との差から求められる。そして、算出された新たなプローブ４の位置補正値（Ｘｃ4、Ｙｃ4）を現在のプローブ４の位置補正値として更新する。

そして、プログラムは、ステップ１３０に進み、ステップ１２２〜１２８で求めた各位置補正値（Ｘｃ1、Ｙｃ1）、（Ｘｃ2、Ｙｃ2）、（Ｘｃ3、Ｙｃ3）、（Ｘｃ4、Ｙｃ4）を用いてプローブ１〜４の位置決め処理が行われる。これによって、プローブ１〜４の実際の位置を補正した計算上の位置とそれに対応するＣＣＤカメラ２２の撮像可能領域Ａにおける規定位置ａ〜ｄとが一致する。そして、プログラムは、ステップ１３２に進んで終了する。

また、実際にプリント基板１１の電気検査を行うためのプログラムにしたがって、検査装置１０を作動させたときには、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、前述した処理によって求められた位置補正値のデータを加味しながら移動するため、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの各先端部が衝突することなく、プリント基板１１上の微細なパターンに対して、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを正確に移動させて電気検査を行うことができる。この場合、検査装置１０が備える各装置を駆動させることにより検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄをプリント基板１１上で移動させながらプリント基板１１のパターンに接触子３２接触させて電気検査を行う。

このように、本実施形態に係る検査装置１０および検査装置１０を用いた検査方法によれば、検査用プローブ２１ａ等の先端部をそれぞれＣＣＤカメラ２２の撮像可能領域Ａ内に設定された規定位置ａ〜ｄに位置させるようにした状態で、検査用プローブ２１ａ等の先端部をＣＣＤカメラ２２で撮像することができる。このため、各検査用プローブ２１ａ等の先端部とそれに対応する規定位置ａ〜ｄとの間の位置誤差を簡単な処理で求めることができる。

また、ＣＣＤカメラ２２を同じ位置に位置させた状態で各検査用プローブ２１ａ等の先端部を撮像するため、各検査用プローブ２１ａ等間の相対位置も正確に検出できる。この結果、検査用プローブ２１ａ等をプリント基板１１のパターンに接触させて電気検査を行う際に、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの各先端部が衝突することなく、プリント基板１１上の微細なパターンに対して、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを正確に移動させて電気検査を行うことができる。また、本実施形態によると、ＣＣＤカメラ２２が一つで済むため低コスト化も図れる。

また、本実施形態に係る検査装置１０では、移動装置１３，１４の後端部は低い位置にある後部Ｘ軸ガイド２４ａに支持され、移動装置１５，１６の幅の広い後端部は後部Ｘ軸ガイド２４ａよりも高い位置にある後部Ｘ軸ガイド２４ｂに支持され、移動装置１７の幅の広い後端部は後部Ｘ軸ガイド２４ｂよりもさらに高い位置にある後部Ｘ軸ガイド２４ｃに支持されている。そして、移動装置１３と移動装置１５、移動装置１４と移動装置１６および移動装置１５，１６と移動装置１７とのそれぞれの後部側部分の一部は上下に重なり合うようにして移動することができる。

また、各検査用プローブ２１ａ等は、それぞれ対応するプローブ駆動部３３ａ等の取付部３６に、取付部３６の軸周り方向に回転可能な状態で取り付けられており、駆動装置の作動により回転して、検査用プローブ２１ａ等の接触子３２を上下方向に移動させることができる。したがって、各検査用プローブ２１ａ等を支持する移動装置１３等の上下方向の位置が異なっていても各検査用プローブ２１ａ等の先端部の上下方向の位置を揃えることができる。

さらに、本実施形態に係る検査装置１０では、検査用プローブ２１ａ等を移動可能にするだけでなく、ＣＣＤカメラ２２を移動装置１３〜１６の中央に配置された移動装置１７によって移動可能にしている。また、移動装置１７は移動装置１３〜１６よりも高い位置に配置されている。このため、ＣＣＤカメラ２２を検査用プローブ２１ａ等の接触子３２を撮像し易い任意の場所に移動することができる。また、ＣＣＤカメラ２２は、上方から検査用プローブ２１ａ等の接触子３２を撮像するため撮像し易くなる。
（第２実施形態）

図１４ないし図１６は、本発明の第２実施形態に係る検査方法を実行するためのプログラムを示しており、この検査方法は、前述した検査装置１０を用いて行われる。この検査装置１０を用いて本発明の第２実施形態に係るプリント基板１１の電気検査を行う場合には、まず、前述した第１実施形態と同様、プリント基板１１を、把持装置１８に設置するとともに、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの取り付け位置と、プリント基板１１に設定した規定位置との間の位置誤差を求めて取り付け位置を補正する処理を行う

そして、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの接触子３２の位置誤差を補正するための位置決めの処理を、図１４ないし図１６に示したフローチャートのプログラムにしたがって行う。このプログラムは、ステップ２００において開始し、ステップ２０２においてＣＣＤカメラ２２を移動してＣＣＤカメラ２２の撮像可能領域Ａの中心Ｏ（図１７参照）をプリント基板１１上に設定した基板パターン１１ａの論理上の位置に移動する処理を行う。ついで、ステップ２０４において、基板パターン１１ａの中心１１ｏの座標を（０，０）としたときの各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの接触子３２の先端部を論理上の位置に移動する処理を行う。

この論理上の位置も前述した第１実施形態の場合と同様にして設定された規定位置ａ〜ｄの４点とし、各規定位置ａ〜ｄの座標は、基板パターン１１ａの中心１１ｏの座標を（０，０）として、それぞれ規定位置ａを（Ｘｒ1、Ｙｒ1）、規定位置ｂを（Ｘｒ2、Ｙｒ2）、規定位置ｃを（Ｘｒ3、Ｙｒ3）、規定位置ｄを（Ｘｒ4、Ｙｒ4）とする。また、この場合も、検査用プローブ２１ｄの接触子３２をプローブ１、検査用プローブ２１ｃの接触子３２をプローブ２、検査用プローブ２１ａの接触子３２をプローブ３、検査用プローブ２１ｂの接触子３２をプローブ４とした。

つぎに、プログラムはステップ２０６〜２１２に順次進み、図１０におけるステップ１０６〜１１２と同じ処理を実行することにより、プローブ１の先端の実際の位置（Ｘａ1、Ｙａ1）、プローブ２の先端の実際の位置（Ｘａ2、Ｙａ2）、プローブ３の先端の実際の位置（Ｘａ3、Ｙａ3）およびプローブ４の先端の実際の位置（Ｘａ4、Ｙａ4）を算出する処理を行う。このようにして、プローブ１〜４の先端のすべての実際の位置の座標値が求められると、プログラムはステップ２１４に進み、ＣＣＤカメラ２２の撮像可能領域Ａの中心Ｏの座標を（０，０）としたときの基板パターン１１ａの中心１１ｏの実際の位置（Ｘｐ、Ｙｐ）を算出する処理を行う。

この処理は、基板パターン１１ａをＣＣＤカメラ２２で撮像することによって行われ、これによって撮像可能領域Ａの中心Ｏに対する基板パターン１１ａの中心１１ｏの位置誤差が求められる。そして、撮像可能領域Ａの中心Ｏの座標を（０，０）としたときのプローブ１〜４の先端の実際の位置および基板パターン１１ａの中心１１ｏの実際の位置が求められると、プログラムはステップ２１６に進み、規定位置ａとプローブ１の先端の位置と基板パターン１１ａの中心１１ｏの位置とからプローブ１の位置決め誤差（Ｘｄ1、Ｙｄ1）を求める処理が行われる。

この場合、Ｘｄ1は、プローブ１のＸ座標値Ｘａ1から基板パターン１１ａのＸ座標値Ｘｐと規定位置ａのＸ座標値Ｘｒ1との和を引いた値として求められ、Ｙｄ1は、プローブ１のＹ座標値Ｙａ1から基板パターン１１ａのＹ座標値Ｙｐと規定位置ａのＹ座標値Ｙｒ1との和を引いた値として求められる。同様にして、ステップ２１８において、規定位置ｂとプローブ２の先端の位置と基板パターン１１ａの位置とからプローブ２の位置決め誤差（Ｘｄ2、Ｙｄ2）を求める処理が行われ、ステップ２２０において、規定位置ｃとプローブ３の先端の位置と基板パターン１１ａの位置とからプローブ３の位置決め誤差（Ｘｄ3、Ｙｄ3）を求める処理が行われる。さらに、ステップ２２２において、規定位置ｄとプローブ４の先端の位置と基板パターン１１ａの位置とからプローブ４の位置決め誤差（Ｘｄ4、Ｙｄ4）を求める処理が行われる。

このようにして、プローブ１〜４のすべての位置決め誤差が求められると、以下、ステップ２２４〜２３２において、ステップ２１６〜２２２で算出したプローブ１〜４の位置決め誤差（Ｘｄ1、Ｙｄ1）等から新たなプローブ１の位置補正値（Ｘｃ1、Ｙｃ1）等を算出しその補正された位置にプローブ１〜４を位置決めする処理が行われる。この場合の処理は、前述したステップ１２２〜１３０の処理と同一であるためその説明は省略する。そして、プログラムは、ステップ２３４に進んで終了する。

そして、実際にプリント基板１１の電気検査を行うためのプログラムにしたがって、検査装置１０を作動させたときには、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄは、前述した処理によって求められた位置補正値のデータを加味しながら移動するため、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの先端部をプリント基板１１の基板パターン１１ａに対して正確に位置決めして電気検査を行うことができる。この場合も、検査装置１０が備える各装置を駆動させることにより検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄをプリント基板１１上で移動させながらプリント基板１１の基板パターン１１ａに接触子３２接触させて電気検査を行う。

このように、本発明の第２実施形態によれば、検査用プローブ２１ａ等の先端部とそれに対応する基板パターン１１ａとの間の位置関係から、検査用プローブ２１ａ等の先端部とプリント基板１１と間の位置関係を正確に検出することができる。そして、それぞれ撮像された各検査用プローブ２１ａ等の先端部と基板パターン１１ａとの位置関係から、検査用プローブ２１ａ等の各先端部間の相対的な位置関係も正確に知ることができる。このため、各検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄの先端部をプリント基板１１の基板パターン１１ａに対して正確に位置決めして電気検査を行うことができる。この第２実施形態のそれ以外の作用効果は前述した第１実施形態と同様である。

また、本発明に係るプリント基板の検査装置および検査方法は、前述した各実施形態に限定されるものでなく、適宜変更して実施できる。例えば、前述した実施形態では、ＣＣＤカメラ２２を移動装置１７に設けているが、このＣＣＤカメラ２２を移動装置１３〜１６のいずれかに設けて移動装置１７を省略することもできる。また、前述した各実施形態では、ステップ１０４，２０４において、検査用プローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを同時に移動させているが、これらは一つずつ移動させてもよい。

さらに、前述した各実施形態では、プローブ駆動部３３ａ等の取付部３６にそれぞれ取付けられた各検査用プローブ２１ａ等が、駆動装置の作動により軸周り方向に回転して、上下方向に移動するようにしているが、これに代えて、駆動装置の作動により各検査用プローブ２１ａ等の先端部が移動して水平方向での位置を変更できるようにすることもできる。この場合、各検査用プローブ２１ａ等の長さを異なる長さにして、それらの先端部の上下方向の位置が同じ位置になるようにする。また、プローブ駆動部３３ａ等を上下方向に移動させるための駆動装置と、プローブ駆動部３３ａ等の先端部の水平方向での位置を変更させるための駆動装置との二つの駆動装置を設けることもできる。

本発明の第１実施形態に係る検査装置を示した平面図である。 図１の検査装置の各検査用プローブを中央側に位置させた状態を示した平面図である。 検査装置の平面を示した概略図である。 把持装置を示した平面図である。 検査装置を示した側面図である。 検査用プローブを示した平面図である。 検査用プローブを示した側面図である。 プローブ駆動部を示した平面図である。 プローブ駆動部を示した正面図である。 本発明の第１実施形態に係る検査方法のステップ１００〜１１２を示したフローチャートである。 本発明の第１実施形態に係る検査方法のステップ１１４〜１２０を示したフローチャートである。 本発明の第１実施形態に係る検査方法のステップ１２２〜１３２を示したフローチャートである。 撮像可能領域に設定された規定位置とプローブの位置との関係を示した説明図である。 本発明の第２実施形態に係る検査方法のステップ２００〜２１４を示したフローチャートである。 本発明の第２実施形態に係る検査方法のステップ２１６〜２２２を示したフローチャートである。 本発明の第２実施形態に係る検査方法のステップ２２４〜２３４を示したフローチャートである。 プリント基板の基板パターンに設定された規定位置とプローブの位置との関係を示した説明図である。

符号の説明

１０…検査装置、１１…プリント基板、１１ａ…基板パターン、１３，１４，１５，１６，１７…移動装置、１８…把持装置、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ…検査用プローブ、２２…カメラ、２３…前部Ｘ軸ガイド、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ…後部Ｘ軸ガイド、２５，２６，２７，２８，２９…駆動装置、３２…接触子、３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ…プローブ駆動部、Ａ…撮像可能領域、ａ，ｂ，ｃ，ｄ…規定位置。

Claims (6)

1. プリント基板を把持するプリント基板把持装置と、前記プリント基板把持装置に把持されたプリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させるプローブ移動装置とを備え、前記複数の検査用プローブを前記プリント基板のパターンに接触させることにより前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査装置であって、
   前記複数の検査用プローブを互いに接近させて前記複数の検査用プローブの先端部をそれぞれ所定の範囲内に位置させた状態で前記複数の検査用プローブの先端部を同じ位置から撮像できる撮像視野を備えた撮像装置と、
   前記複数の検査用プローブの先端部にそれぞれ対応するようにして前記撮像視野内における中心の周囲に予め設定された複数の規定位置に対して前記複数の検査用プローブの先端部をそれぞれ対応するように位置させた状態で、前記複数の規定位置と、前記複数の検査用プローブの先端部との間の位置誤差を前記撮像装置が撮像した画像から検出する誤差検出手段と、
   前記誤差検出手段が検出した位置誤差に基づいて前記複数の検査用プローブの位置補正値を算出する補正値算出手段とを備え、
   前記複数の検査用プローブを前記プリント基板のパターンに接触させて電気検査を行う際に、前記補正値算出手段が算出した位置補正値を加味して前記複数の検査用プローブを移動させるようにしたことを特徴とするプリント基板の検査装置。
2. 前記撮像装置が撮像装置移動装置によって移動可能になっている請求項１に記載のプリント基板の検査装置。
3. プリント基板を把持するプリント基板把持装置と、前記プリント基板把持装置に把持されたプリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させるプローブ移動装置とを備え、前記複数の検査用プローブを前記プリント基板のパターンに接触させることにより前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査装置であって、
   前記複数の検査用プローブのうちの一つ以上の検査用プローブの先端部を前記プリント基板のパターン上の所定の範囲内に位置させた状態で前記プリント基板上のパターンと前記一つ以上の検査用プローブの先端部とを撮像できる撮像視野を備え、撮像装置移動装置によって前記複数の検査用プローブとは独立して移動可能になっている撮像装置と、
   前記一つ以上の検査用プローブの先端部に対応するようにして前記プリント基板のパターン上の所定の範囲内に予め設定された一つ以上の規定位置に対して前記一つ以上の検査用プローブの先端部をそれぞれ対応するように位置させた状態で、前記一つ以上の規定位置と、前記一つ以上の検査用プローブの先端部との間の位置誤差を前記撮像装置が撮像した画像から検出する誤差検出手段と、
   前記誤差検出手段が検出した位置誤差に基づいて、前記プリント基板のパターン上の規定位置に対する前記複数の検査用プローブのそれぞれの位置補正値を算出する補正値算出手段とを備え、
   前記複数の検査用プローブを前記プリント基板のパターンに接触させて電気検査を行う際に、前記補正値算出手段が算出した位置補正値を加味して前記複数の検査用プローブを移動させるようにしたことを特徴とするプリント基板の検査装置。
4. 前記複数の検査用プローブの先端部の位置を変更可能にして前記複数の検査用プローブをそれぞれ対応するプローブ移動装置に取り付けることにより、前記複数の検査用プローブの先端部を所定の範囲内に位置させることができるようにした請求項１ないし３のうちのいずれか一つに記載のプリント基板の検査装置。
5. 前記複数の検査用プローブを移動させるそれぞれのプローブ移動装置に互いの高さが異なるレール部を設けて、前記レール部に前記検査用プローブを支持する支持部材を少なくとも互いの一部を重ねることができる状態で移動可能に取り付けることにより、前記複数の検査用プローブの先端部を所定の範囲内に位置させることができるようにした請求項１ないし４のうちのいずれか一つに記載のプリント基板の検査装置。
6. プリント基板の一方の面に対向させて複数の検査用プローブを個々に移動させ、前記複数の検査用プローブを前記プリント基板のパターンに接触させることにより前記プリント基板の電気検査を行うプリント基板の検査方法であって、
   前記複数の検査用プローブの先端部を所定の撮像視野内における中心の周囲に予め設定されたそれぞれの規定位置に位置させるように前記複数の検査用プローブを移動させるプローブ移動工程と、
   前記プローブ移動工程で前記複数の検査用プローブが移動した位置で前記複数の検査用プローブの先端部を同じ位置から撮像する撮像工程と、
   前記撮像工程で撮像した画像から、前記複数の検査用プローブの先端部とそれに対応する各規定位置との間の位置誤差を検出する誤差検出工程と、
   前記誤差検出工程で検出した位置誤差に基づいて、前記複数の検査用プローブの位置補正値を算出する補正値算出工程と、
   前記補正値算出工程で算出した位置補正値を加味して前記複数の検査用プローブを移動させて前記検査用プローブを前記プリント基板上のパターンに接触させて電気検査を行う検査工程と
   を備えたことを特徴とするプリント基板の検査方法。

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