TWI373390B - - Google Patents

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1^73390 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種定位平台，詳言之’係關於一種超精 密壓電定位平台。 【先前技術】 參考中華民國專利公告第58924〇號，其揭示一種具奈/ 微米旋動功能之非直線旋動微調裝置，該習知非直線旋動 • 微調裝置包含一具弧形或圓形旋動檯、至少一組裝設於旋 動檯内部的位移驅動元件組以及導引或支撐該旋動檯產生 方疋動之弧形基檯或樞軸，使對應基檯或樞軸產生微動，藉 此以令5玄圓形或弧形旋動檯作非直線的奈/微米級位 移。 參考中華民國專利公告第567122號，其揭示一種且夺/ 微米旋動功能的萬向滾動微調裝置，該習知萬向滾動微調 裝置包含-形成有球面凹室的支樓座、一具有球面的球形 檯及至v，、組叹置於該球形旋動擾内的位移驅動元件 組。其中，該球形旋動檯依χγ、 移驅動元件裝入其中，…… 二+面方向將位 — /、、’球形旋動檯球面置於該支撐座 的凹至中，使得球形旋動檯於 移動。 又存厘上產生奈/微米級的 然而’上述該等專利習 及非線性之㈣去 置皆無法達成非等圓 :非線之微動者。此外，纟習知技術t，包含上… 專利之習知微調裝置，多自由一 述该專 間、造價亦非常昂責 2疋位平*不僅伯空 且組裝零件多、結構複雜、拆卸不 I44499.doc 1^/3390 便且不易維修。 因此，實有必要提供一種創新 疋位平台，以解決上述問題。 【發明内容】 且具進步性的超精密壓電 本發明提供一種超精 動模 第一微動模

第一微動模纟且具有二第 長：供一第一軸向位移， 部、一第一活動部、二 其中一第一微動單元之 另一第一微動單元之第 該等第一連桿連接該第 密壓電定位平台，其包括—第一 組、一第三微動模組及—載體。該 一微動單元，每一第一微動單元係 每一第一微動單元具有一第一固定 第一連桿及至少一第一壓電元件， 第一固定部及第一活動部係分別與 一固定部及第一活動部相對設置， —固定部及該第一活動部，使該第 佩

一固定部及該第一活動部係為平行，該至少一第一壓電元 件设置於該第一固定部與該第一活動部之間。該第二微動 模組具有二第二微動單元，每一第二微動單元係提供一第 一軸向位移，該第二軸向垂直該第一軸向，每—第二微動 單元具有一第二固定部、一第二活動部、二第二連桿及至 少一第二壓電元件，該等第二固定部分別垂直地連接該等 第’舌動°卩之相對二端以形成一載體設置區域，且該等第 二活動部接近該等第一固定部，每一第二微動單元之該等 第一連桿連接該第二固定部及該第二活動部，使該第二固 定部及該第二活動部係為平行，每一第二微動單元之該至 少一第二壓電元件設置於該第二固定部與該第二活動部之 間。該第三微動模組具有二第三固定部、至少三萬向撓性 144499.doc 1373390 元件及a又置於該等萬向撓性元件令之至少三第三麗電元 件’該等第三固定部分別垂直地連接該等第二活動部之相 對二端’該等萬向撓性元件分別設置於該等第三固定部， 且該等萬向撓性元件面對該載體設置區域，每一第三壓電 疋件係提供一第三轴向位移，該第三軸向垂直該第一軸向 及該第二轴向。該載體設置於該載體設置區域且連接該等 萬向挽性元件。

透過該第一微動模組、該第二微動模組及該第三微動模 組之配合，使該超精密壓電定位平台可進行多軸向、非等 圓及非線性之微動調整機能，並達到高精密度定位之功 效。並且’該第一微動模組、該第二微動模組及該第三微 動模組係以反層疊組合方式結纟，更扁平化該超精密壓電 疋位平纟’故有效簡化該超精密壓電定位平台之體積與高 度。再者’模組化的設計，使得該超精密壓電定位平台之 組裝零件少、拆卸方便且易於維修。 【實施方式】 圖1顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之立 體分解示意圖；圖2顯示本發明較佳實施例之超精密壓電 定位平台之第一微動模組之第-微動單元側視圖；圖3顯 不本發明較佳實施例之超精密壓^位平台之第二微動模 組之第二微動單元側視圖；圖4顯示本發明較佳實施例之 超精密壓電定位平台之第三微動模組之立體分解示意圖； 圖5顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之組合 不意圖。 144499.doc 1373390 配合參考圖1及圖2,該超精密壓電定位平台丨包括一第 微動模組10、一第二微動模組2〇、一第三微動模組3〇及 一載體40。該第一微動模組10具有二第一微動單元丨丨，每 一第一微動單元11係提供一第一軸向（圖丨中之χ軸向）位 移。在本實施例中，每一第一微動單元丨丨具有一第一固定 部ill、一第一活動部112、二第一連桿113、至少一第一

壓電元件114、一第一彈性元件丨15及二第一調整組件 116(參考圖2)。 在本實她例中，其中一第一微動單元11之第一固定部 111及第一活動部112係分別與另一第一微動單元i丨之第一 固定部111及第一活動部112相對設置。該等第一微動單元 11之該等第一固定部111係為平行且相對設置，該等第一 活動部1 1 2係為平行且相對設置。

在本實施例中，每一第一固定部nl包括一第一固定部 本體1111及一第一固定部凸塊1112 ’每一第一活動部112 包括一第一活動部本體Π 2 1及一第一活動部凸塊丨丨22，其 中每一第一活動部本體1121之二端分別具有一缺角1123。 *亥4第一固定部凸塊1 11 2及該第一活動部凸塊丨丨22位於該 第一固定部本體1 1 1 1與該第一活動部本體丨丨2丨之間，該第 一活動部凸塊1 122設置於該等第一固定部凸塊丨丨12之間。 在本實施例中，每一第一固定部Hi之二第一固定部凸 塊1112係分別螺設於第一固定部本體1111，且每一第一活 動部112之第一活動部凸塊1122亦係螺設於第一活動部本 體1121。在其他應用中，每一第一固定部in之二第一固 144499.doc 定^塊⑴2係分别螺設於第-固定部本體⑴】，每-第 :=12之第—活動部本體1121及第一活動部凸塊 1122係可為一體成型。 母第一固定部111之二第一固定 部凸塊1112分別具有—第__ ^ 。又置孔1丨13，母一第一活動部 S '舌動』凸塊1122具有二第-凹槽1124，該等第 一凹槽1124係分別相對該等第-設置孔1113。 —每一第-微動單元丨丨之該等第—連桿113連接該第一固

疋部111及該第一活動邱〗1 9 J.V. ^ 動邛112，使該第一固定部111及該第 -活動部112係為平行。在本實施例中，每—第—連桿⑴ 於連接該第一固定部U1及該第一活動部112之處具有一第 一頸縮部1131。該等第一連桿113可確保每一第一微動單 元11之第一固定部u 1及第一活動部i丨2間之相對關係（如平 行度）’以達到精密之位移及定位。

該至少一第一壓電元件114設置於該第一固定部U1與該 第一活動部Π 2之間。在本實施例中，該至少一第一壓電 元件114設置於其中一第一固定部凸塊U12(圖2中左側之 第一固定部凸塊1112)之第一設置孔1113與該第一活動部凸 塊1122之相應第一凹槽1124間。當施加一電壓於該至少一 第一壓電元件114時，該至少一第一壓電元件114產生第一 軸向之變形，且頂推相應第一活動部凸塊1122產生移動， 使得第一活動部112進行第一軸向之位移。 其中，當施加於每一第一微動單元η之第一壓電元件 114之電壓相同時，每一第一壓電元件114會產生相同之第 一軸向之變形量，因此頂推相應第一活動部凸塊1122之位 I44499.doc 丄373390 移量相同’使得該超 〜萌在铿电疋位千台1可進行該第一軸 向之位移；當施加 母弟微動早7L11之第一壓電元件 14之電壓不同時 一 弟竖電7^件114會產生不同之第 :向之變形量’因此頂推相應第一活動部凸塊Η”之位 移里不同，使得該超精密壓電定位平台1可進行一第一角 度方向θ之旋轉（平行圖1中之x-y平面之旋轉）。

。玄第彈性兀件115設置於另一第一固定部凸塊圖 2中右側之第一固定部凸塊1112)之第一設置孔⑴3與該第 一活動部凸塊1122之相應第-凹槽1124間，且其相對於該 至夕一第一壓電元件丨14。較佳地，該第一彈性元件丨1 5係 為彈簧。該等第一調整組件n6係分別於相對第一設置孔 1113之側面穿固於相對之第一固定部凸塊丨丨丨2並分別接觸 該至少一第一壓電元件1 14及該第一彈性元件丨15。較佳 地，該等第一調整組件i 16係為内多角螺絲，例如内六角 螺絲。較佳地，該至少一第一壓電元件丨14與相應第一調 整組件116之間係設有墊材11 7 ’以確保該相應第一調整組 件116與該至少一第一壓電元件114接觸之均勻及緊密性， 較佳地，該墊材117之材質為銅。 5玄專第一調整組件116用以抵掣固定相應之第一壓電元 件114 ’調整控制該至少一第一壓電元件114與相應第一凹 槽1124間之力量，以確保其接觸之緊密性，且確保該超精 密壓電定位平台1之精密度；以及該等第一調整組件116用 以頂抵相應之第一彈性元件115，用以調整控制施加於相 應第一活動部凸塊1122之回復力，以回復變形後之第—微 144499.doc 1373390 動單元11。 其中，透過該第一彈性元件115及該等第一調整組件n6 之配合調整後’使得每一第一壓電元件Π4之變形推力大 於（>)相應第一彈性元件115之回復力大於（>)相應二第一連 桿113之變形抵抗力。如此，每一第一壓電元件114可推動 相應第一活動部Π 2，每一第一彈性元件丨丨5可將相應第一 活動部112回復至未變形時之位置。

配合參考圖1及圖3，該第二微動模組2〇具有二第二微動 單元21，每一第二微動單元21係提供一第二軸向（圖丨中之 y軸向）位移，該第二軸向垂直該第一軸向。在本實施例 中’每一第二微動單元21具有一第二固定部211、一第二 /舌動部212、二第二連桿213、至少一第二壓電元件214、 第一彈性元件215及_第二調整組件216(參考圖3)。 該等第二固定部211分別垂直地連接該等第一活動部 之相對一端以形成一載體設置區域5〇(參考圖5)，且該等第

二活動部212接近該等第一固定部iU。每一第二微動單元 21之該等第二連桿2丨3連接該第二固定部211及該第二活$ 部212，使該第二固定部211及該第二活動部212係為平 行。 你不貫施例中，每一第二固定部211包括一第二固定部 本體21U及U定部&塊2112，每—第二微動單元η 之第二固定部2η之長度係大於第二活動部212之長度。每 一第二固定部2丨1之二端分別係設置於該等第一活動^卩丨12 間之相对二缺角叫考圖2) ’使該第.二微動模組2。盘該 I44499.doc -9- 1373390 第一微動模組ίο作反向層疊之結合，以減少該超精密壓電 定位平台1之體積與高度。每一第二活動部212包括一第二 活動部本體2121及一第二活動部凸塊2122 ’該等第二固定 部凸塊2112及該第二活動部凸塊2122位於該第二固定部本 體2 111與該第二活動部本體2丨2丨之間，該第二活動部凸塊 2 1 22设置於該等第二固定部凸塊2丨丨2之間。 在本實施例中’每一第二固定部211之二第二固定部凸 塊2 112係分別螺設於第二固定部本體2111，且每一第二活 動部212之第二活動部凸塊2122亦係螺設於第二活動部本 體2121。在其他應用中，每一第二固定部211之二第二固 定部凸塊2 112係可分別螺設於第二固定部本體2丨丨丨，而每 一第二活動部21 2之第二活動部本體2 1 2 1及第二活動部凸 塊2122係為一體成型。每一第二固定部211之二第二固定 部凸塊2 11 2分別具有一第二設置孔2丨丨3，每一第二活動部 212之第二活動部凸塊21 22具有二第二凹槽2123，該等第 二凹槽2 1 23係分別相對該等第二設置孔2丨丨3。 每一第二微動單元21之該等第二連桿213連接該第二固 定部2 11及該第二活動部2 1 2，使該第二固定部211及該第 二活動部2 1 2係為平行。在本實施例中，每一第二連桿2 j 3 於連接該第二固定部211及該第二活動部212之處具有一第 二頸縮部2131 ^該等第二連桿213可確保每一第二微動單 元21之第二固定部211及第二活動部212間之相對關係（如 平行度），以達到精密之位移及定位。 該至少一第二壓電元件214設置於該第二固定部211與該 144499.doc • 10- 1373390 第一活動部2 1 2之間。在本實施例中，該至少一第二壓電 元件214設置於其中一第二固定部凸塊2112(圖3中左側之 第二固定部凸塊2112)之第二設置礼2113與該第二活動部 凸塊2122之相應第二凹槽2123間。當施加一電壓於該至少 一第二壓電元件214時，該至少一第二壓電元件214產生第 二轴向之變形，且頂推相應第二活動部凸塊2丨22產生移 動，使仔第一活動部2 1 2進行第二轴向之位移。 其中’當施加於每一第二微動單元21之第二壓電元件 214之電壓相同時’每一第二壓電元件214會產生相同之第 二軸向之變形量，因此頂推相應第二活動部凸塊2丨22之位 移量相同，使得該超精密壓電定位平台可進行該第二軸向 之位移；當施加於每一第二微動單元21之第二壓電元件 214之電壓不同時，每一第二壓電元件214會產生不同之第 二軸向之變形量，因此頂推相應第二活動部凸塊2122之位 移量不同，使得該超精密壓電定位平台1可進行該第一角 度方向Θ之旋轉（平行圖1中之x_y平面之旋轉）。 該第二彈性元件215設置於另一第二固定部凸塊2112(圖 3中右側之第二固定部凸塊2112)之第二設置孔2ιΐ3與該第 二活動部凸塊2122之相應第二凹槽2123間且相對於該至少 -第二壓電元件214。較佳地，該第二彈性元件215係為彈 簧。该等第二調整組件2 1 6係分別於相對第二設置孔2丨j 3 之側面穿固於相對之第二固定部凸塊2112並分別接觸該至 少一第二壓電元件2丨4及該第二彈性元件215。較佳地，該 等第二調整組件216係為内多角螺絲’例如内六角螺絲。 I44499.doc 1373390 較佳地，該至少一第二壓電元件214與相應第二調整組件 216之間係設有墊材2丨7，以確保該相應第二調整組件 與该至少一第二壓電元件214接觸之均勻及緊密性，較佳 地，該墊材217之材質為銅。 該等第二調整組件216用以抵掣固定相應之第二壓電元 件214，調整控制該至少一第二壓電元件214與相應第二凹 槽2 123間之力量，以確保其接觸之緊密性且確保該超精 密壓電定位平台1之精密度。該等第二調整組件216頂抵相 應之第二彈性元件2 1 5，用以調整控制施加於相應第二活 動部凸塊2122之回復力，以回復變形後之第二微動單元 21 〇 其中，透過該第二彈性元件215及該等第二調整組件216 之配合調整後，使得每一第二壓電元件214之變形推力大 於（>)相應第二彈性元件2 15之回復力大於（>)相應二第二連 桿213之變形抵抗力。如此，每一第二壓電元件214可推動 相應第二活動部2 12，每一第二彈性元件215可將相應第二 活動部2 12回復至未變形時之位置。 配合參考圖1、圖4及圖5，該第三微動模組3〇具有二第 二固定部3 1、至少三萬向撓性元件32及設置於該等萬向撓 性元件32中之至少三第三壓電元件33。該等第三固定部31 刀別垂直地連接該等第二活動部2 12之相對二端，該等萬 向撓性元件32之一端分別設置於該等第三固定部3 1，且該 等萬向撓性元件32面對該載體設置區域50。在本實施例 中，該等萬向撓性元件32係設置於該等第三固定部3丨及該 144499.doc 1373390

載體40之間且呈三角形分佈。每一第三壓電元件33係提供 一第二軸向（圖1中之z軸向）位移，其中該第三軸向垂直該 第一轴向及該第二軸向。每一壓電元件33具有一弧狀頂面 33 1 ’該弧狀頂面33丨經由相應之萬向撓性元件^之一開孔 321突出於外，且實質上以點接觸方式與該載體4〇連接， 而該載體4 G藉由鎖固件（圖中未示）結合該等萬向撓性元件 32之固定孔322，以固定於該等萬向撓性元件32。於本實 施例，該等萬向撓性元件32係為撓性聯軸器。 在本—實施例中，每一第三固定部31之二端具有一缺角 311，每一第二活動部212之二端分別係設置於該等第三固 定部31間之相對二缺角311 ’使該第三微動模組3〇與該第 二微動模組20作反向層疊之結合，以減少該超精密壓電定 位平台1之體積與高度。

當施加於該第三微動模組3〇之第三壓電元件”之電壓相 同時，每-第三壓電元件33會產生相同之第三軸向之變形 量，因此每-第三壓電元件33頂推該載體4〇之位移量相 同，使得該超精密壓電定位平台1可進行該第三軸向之位 移；當施加於該第三微動模組3〇之第三塵電元件33之電壓 不㈣，每一第三壓電元件33會產生不同之第三轴向之變 形^因此每一第三壓電元件33頂推該載體40之位移量不 同，糟由控制該等第三壓電元件33之變形量可使該超产 密壓電定位平台1進行—第一角产 弟一角度方向α之旋轉（平行圖1中 之^平面之旋轉）及一第三角度方向β之旋轉（平行I中之 y-z平面之旋轉ρ 144499.doc 1373390 該載體40設置於該載體設置區域5且連接該等萬向撓性 凡件32。較佳地，該載體4〇之周圍與該第一微動模組1〇及 T第二微動模組20之間具有一間隙，以提供該載體扣調整 疋位之活動空間。在本實施例中，該載體40包括一框架41 及一基板42 ,該框架41連接該等萬向撓性元件”，該基板 42固設於該框架41中。其中，依據該基板42所承載之物件 之加工或製造需求，該基板42係可為一透明基板。 本發明之超精密壓電定位平台丨可應用於自動化產業、 半導體產業(例如：微機電系統(MEMS)、小型晶圓廠或 LED蠢晶廠）、光電產業。 舉例而言，本發明超精密壓電定位平台丨應用在曝光微 影製程中之光罩系統，可大幅降低因光罩更換時所發生之 精度誤差與調整問題。由於，如何降低因產品種類切換所 產生之延宏’就等於提升產業競爭力，故除了提升產品種 類更換速度，更可以將對位之精度大幅的提高。 透過该第一微動模組10 '該第二微動模組20及該第三微 動模組30之配合，使該超精密壓電定位平台丨可進行該第 -軸向' §亥第二軸向、該第三軸向、該第一角度方向β、 該第二角度方“、該第三角度方向^之多軸向、非等圓及 非線性（六自由度）之微動調整機能，並達到高精密度定位 之功效。 並且，該第一微動模組10、該第二微動模組2〇及該第三 微動模組30係以反層疊組合方式結合，更扁平化該超精密 壓電定位平台1，故有效簡化該超精密壓電定位平台丨之體 144499.doc 14 積。再者’模組化的設計，使得該超精密壓電定位平台 之組裝零件少、拆卸方便且易於維修。 上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，並非限制 ，發明1此習於此技術之人士對上述實施例進行修改及 憂化仍不脫本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之 申請專利範圍所列。 【圖式簡單說明】

圖1顯不本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之立 體分解示意圖； 圖員不本發明較佳貫施例之超精密壓電定位平台之第 一微動模組之第一微動單元侧視圖； 圖3顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之第 二微動模組之第二微動單元側視圖； 圖4顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之第 二微動模組之立體分解示意圖；及

圖5顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之組 合示意圖。 【主要元件符號說明】 1 本發明之超 精密壓電 10 第 一微動模 組 11 第 一微動單 元 20 第 二微動模 組 21 第 二微動單 元 30 第 三微動模 組 定位平台 J44499.doc 1373390

3 1 第三固定部 32 萬向撓性元件 33 第三壓電元件 40 載體 41 框架 42 基板 50 載體設置區域 111 第一固定部 112 第一活動部 113 第一連桿 114 壓電元件 115 第一彈性元件 116 第一調整組件 117 墊材 211 第二固定部 212 第二活動部 213 第二連桿 214 第二壓電元件 215 第二彈性元件 216 第二調整組件 217 墊材 311 缺角 321 開孔 322 固定子L 144499.doc -16- 1373390

33 1 1111 1112 1113 1121 1122 1123 1124 1131 2111 2112 2113 2121 212^ 2123 2131 弧狀頂面 第一固定部本體 第一固定部凸塊 第一設置孔 第一活動部 第一活動部凸塊 缺角 第一凹槽 第一頸縮部 第二固定部本體 第二固定部凸塊 第二設置孔 第二活動部本體 第二活動部凸塊 第二凹槽 第二頸縮部 144499.doc -17-

Claims (1)

1. 七、申請專利範圍： 1' 種超精密壓電定位平台，包括： 第一微動模組，具有二第一微動單元，每一第一微 °°元係提供一第一軸向位移，每—第一微動單元具有 第固定部、一第一活動部、二第一連桿及至少一第 一壓電元件，其中一第一微動單元之第一固定部及第一 活動。P係分別與另一第一微動單元之第一固定部及第一 活動部相對設置，料第-連桿連㈣第-@定部及該 L '舌動。p，使該第一固定部及該第一活動部係為平 仃，該至少一第一壓電元件設置於該第一固定部與該第 一活動部之間； 、 一第二微動模組，具有二第二微動單元，每一第二微 動早7L係提供一第二軸向位移’該第二軸向垂直該第一 軸向，每一第二微動單元具有—第二固定部、一第二活 動部'二第二連桿及至少一第二壓電元件，該等第二固 定部分別垂直地連接該等第一活動部之相對二端以形成 載體叹置區域，且該等第二活動部接近該等第一固定 部’每-第二微動單it之該等第二連桿連接該第二固定 部及該第二活動部，使該第二固定部及該第二活動部係 為平行，每一第二微動單元之該至少一第二壓電元件設 置於該第二固定部與該第二活動部之間； 又 二第三微動模組，具有二第三固定部、至少三萬向撓 性兀件及設置於該等萬向撓性元件中之至少三第三壓電 元件’該等第三固定部分別垂直地連接該等第二活動部 144499.doc 1373390 $相對二端，該等萬向撓性元件分別設置於該等第三固 疋°卩，且該等萬向撓性元件面對該載體設置區域，每一 第=壓電兀件係提供一第三軸向位移，該第三軸向垂直 該第一軸向及該第二軸向；及 载體，°又置於該載體設置區域且連接該等萬向撓性 元件。 2·如請求項!之定位平台，其中每—第一固定部包括一第 -固定部本體及二第一固定部凸塊，每一第一活動部包 $第一活動部本體及一第一活動部凸塊，該等第一固 疋部凸塊及該第一活動部凸塊位於該第一固定部本體與 該第-活動部本體之間’㈣—活動部凸塊設置於料 第一固定部凸塊之間’該至少—第―壓電^件設置於其 中-第-固定部凸塊與該第一活動部凸塊之間；每一第 二固u包括-第二固定部本體及二第二固定部凸塊， 每-第二活動部包括一第二活動部本體及一第二活動部 凸塊’該等第二固定部凸塊及該第二活動部凸塊位於該 第二固定部本體與該第二活動部本體之間，該第二_ 部凸塊設置於該等第三固定部凸塊之間，該至少—第二 壓電元件設置於其中部凸塊與該第二: 凸塊之間。 3.如請求項2之定位平台，其中每一第—固定部之二第一 固定部凸塊係分別螺設於第一固定部本體，每一第—活 動部之第-活動部本體及第一活動部凸塊係為一體成 型。 144499.doc 4. =求項2之定位平台，其中每-第-固定部之-第 塊係分別螺設於第-固定部本體，每第〜 :部之第二活動部凸塊係螺設於第二活動部本體。4 〜货 °其中每—第一微動單元另包知 Α 一彈性疋件，該第-彈性元件設置於另一第—固〜 6. ^塊與__活動部凸塊之間且相對於該至少一第^ 变電70件；每一第二微動單元另包括-第二彈性元件〜 讀第二㈣元件設置於另―第二固定部凸心=件’ 動部凸塊之間且相對於該至少―第二㈣元件。〜舌 如請求項5之定位平台，其中每-第-固定部之二第〜 :定部凸塊分別具有一第一設置孔，每一第一： f一Γ動部凸塊具有二第-凹槽，該等第-凹槽係4 :對„玄等第一设置孔’該至少—第一壓電元件及該第〜 译性元件分別設置於相對之第-設置孔與第1槽： 間；每H定部之二第二固定部凸塊分別具有二 一設置孔’每一第二活動部之第二活動部凸塊具 一凹槽，該等第二凹槽係分別相對該等第二設置孔 至少-第二壓電元件及該第二彈性元件分別：置於相： 之第一設置孔與第二凹槽之間。 如請求項6之定位平台’其中每_第_微動單^包括 二第-調整組件’該等第一調整組件係分別於相對第一 設置孔之#|面㈣於相對之第1定部凸塊並分別接觸 該至少一第一壓電元件及該第一彈性元件；每—第二微 動單元另包括二第二調整組件，該等第二㈣組件❹ 144499.doc 1373390 別於相對第二設置孔之側面穿固於相對之第二固定部凸 塊並分別接觸該至少一第二壓電元件及該第二彈性元 件。 8·如請求項7之定位平台，另包括複數個墊材，設置於該 至少—第一壓電元件與相應第一調整組件之間以及該至 少一第二壓電元件與相應第二調整組件之間。 9.如請求項1之定位平台，其中每一第一活動部之二端分 別具有一缺角，每一第二固定部之二端分別係設置於該 等第一活動部間之相對二缺角。 如請求項丨之定位平台，其中每一第一連桿於連接該第 一固定部及該第一活動部之處具有一第一頸縮部，每— 第二連桿於連接該第二固定部及該第二活動部之處具有 一第二頸縮部。 •如叫求項1之定位平台，其中該等萬向撓性元件係為撓 性聯軸器。 12. 如請求項丨之定位平台，其中每一第三壓電元件具有一 弧狀頂面’該弧狀頂面接觸該載體。 13 如請求項丨之定位平台，其中該載體之周圍與該第一微 動模組及該第二微動模組之間具有一間隙。 14. 如請求項1之定位平台’其中該載體包括一框架及一基 板’邊框架連接該等萬向撓性元件，該基板固設於該框 架中。 15·如π求項14之定位平台，其中該基板係為—透明基板。 144499.doc -4-