TW201121696A - Ultra-precision piezoelectric positioning platform - Google Patents

Description

201121696 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係丽於一種定位平台，詳言乏，係關於一種超精 密壓電定位平台。 【先前技術】 參考中華民國專利公告第589240號，其揭示一種具奈/ 微米旋動功能之非直線旋動微調裝置，該習知非直線旋動 微調裝置包含一具弧形或圓形旋動檯、至少一組裝設於旋 動檯内部的位移驅動元件組以及導引或支撐該旋動檯產生 旋動之弧形基檯或樞軸’使對應基檯或樞軸產生微動，藉 此’以令該圓形或弧形旋動檯作非直線的奈/微米級位 移。 參考中華民國專利公告第567122號，其揭示一種具奈/ 微米旋動功能的萬向滾動微調裝置，該習知萬向滾動微調 裝置包含一形成有球面凹室的支撐座、一具有球面的球形 旋動檯及至少六組設置於該球形旋動棱内的位移驅動元件 组。其中’該球形旋動檯依χγ、χζ、丫2三平面方向將位 移驅動疋件裝入其中，並將球形旋動檯球面置於該支撐座 的凹室中，使得球形旋動楼於支標座上產生奈/微米級的 移動。 处成寺專利之習知微調裝 及非線性之微動者。此外，“知技術中’:：： =該; 專利=知微調裝置，乡自由度超精密定位平台不僅佔空 間'4亦非常昂# ’且組裝零件多、結構複雜、拆卸不 144499.doc IS1 201121696 便且不易維修。 因此，實有必要提供—種 〜 - 裡創新且具進步性的超精密壓電 疋位平台，以解決上述問題。 -- 【發明内容】 本發明提供-種超精密壓電定位平台，其包括—第一微 動模組、一第二微動模組、— 乐一儆動模組及—載體。該 第一微動模組具有二第—朽動里 卜 乐微動早兀，母一第一微動單元係 提供一第-軸向位移，每一第一微動單元具有一第一固定 部、-第-活動部、二第一連桿及至少一第一壓電元件， 其中一第-微動單元之第一固定部及第一活動部係分別盘 第一微動單元之第一固定部及第一活動部相對設置， 忒等第一連桿連接該第一固定部及該第一活動部，使該第 一固定部及該第一活動部係為平行，該至少一第一壓電元 件設置於該第一固定部與該第一活動部之間。該第二微動 模組具有二第二微動單元，每一第二微動單元係提供一第 軸6位移，δ玄第一軸向垂直該第一軸向，每一第二微動 單元具有一第二固定部、一第二活動部、二第二連桿及至 少一第二壓電元件’該等第二固定部分別垂直地連接該等 第一活動部之相對二端以形成一載體設置區域，且該等第 一活動部接近該等第一固定部，每一第二微動單元之該等 第二連桿連接該第二固定部及該第二活動部，使該第二固 定部及該第二活動部係為平行’每一苐二微動單元之該至 少一第二壓電元件設置於該第二固定部與該第二活動部之 間。該第三微動模組具有二第三固定部、至少三萬向撓性 144499.doc .4- 201121696 元件及設置於該等萬向撓性元件中之至少三第三壓電元 件，該等第三固定部分別垂直地連接該等第二活動部之相 對二端，該等萬向戒性元#分別設—置於該等第三固定部， 且該等萬向撓性元件面對該載體設置區域，每一第三壓電 元件係提供一第三軸向位移，該第三軸向垂直該第一軸向 及該第二軸向。該載體設置於該載體設置區域且連接該等 萬向撓性元件。 透過該第-微動模組、該第二微動模組及該第三微動模 組之配合，使該超精密壓電定位平台可進行多軸向、非等 圓及非線性之微動調整機能，並達到高精密度定位之功 效。並且，該第一微動模組、該第二微動模組及該第三微 _組係以反層疊組合方式結合，更扁平化該超精密壓電 疋位平台，故有效簡化該超精密壓電定位平台之體積與言 度。再者，模組化的設計，使得該超精密壓電定位平台门 組裝零件少、拆卸方便且易於維修。 之 【實施方式】 圖1顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之立 體分解示；t ® ;圖2顯示本發明較佳實施例之 定位平台之第-微動模組之第一微動單元側視圖;= 不本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之 组之第二微動單元側視圖；圖4顯示本發明較佳實:模 超精密壓電定位平台之第三微動模組之立體分解示意^ 圖5顯不本發明較佳實施例之超精密壓 ， 示意圖。 丁《之組合

Si 144499.doc 201121696 配合參考圖1及圖2，該超精密壓電定位平台丨包括一第 一微動模組10、一第二微動模組2〇、_第三微動模組3〇及 一載體40。該第一微動模組1〇具有二第一微動單元11，每 一第一微動單兀11係提供一第一軸向（圖丨中之χ軸向）位 移。在本實施例中，每一第一微動單元"具有一第一固定 部ill、一第一活動部112、二第一連桿113 '至少一第一 壓電元件114、一第一彈性元件丨15及二第一調整組件 116(參考圖2)。 在本實施例中，其中一第一微動單元丨丨之第一固定部 111及第一活動部112係分別與另一第一微動單元u之第一 固定部111及第一活動部丨12相對設置。該等第一微動單元 11之該等第一固定部111係為平行且相對設置，該等第一 活動部112係為平行且相對設置。 在本實施例中，每一第一固定部ιη包括一第一固定部 本體nil及二第一固定部凸塊η 12,每一第一活動部112 包括一第一活動部本體1121及一第一活動部凸塊1122，其 中每一第一活動部本體1121之二端分別具有一缺角1123。 該等第一固定部凸塊1112及該第一活動部凸塊1122位於該 S) 第一固定部本體1111與該第一活動部本體i i 2丨之間，該第 一活動部凸塊1122設置於該等第一固定部凸塊丨1丨2之間。 在本實施例中’每一第一固定部111之二第一固定部凸 塊1112係分別螺設於第一固定部本體丨丨丨丨，且每一第一活 動部Π2之第一活動部凸塊丨122亦係螺設於第一活動部本 體1121。在其他應用中，每一第一固定部m之二第一固 144499.doc 201121696 定部凸塊111 2係分別螺設於第一固定部本體丨丨u，每一第 一活動部112之第一活動部本體1121及第一活動部凸塊 1122係可為一體成型。每一第一固定部lu之二第一固定 部凸塊1112分別具有一第一設置孔丨丨13，每一第一活動部 112之第一活動部凸塊1122具有二第一凹槽1124，該等第 一凹槽11 24係分別相對該等第一設置孔丨丨丨3。 每一第一微動單元11之該等第一連桿113連接該第一固 定部111及該第一活動部丨12，使該第一固定部丨丨丨及該第 一活動部112係為平行。在本實施例中，每一第一連桿ιΐ3 於連接該第一固定部！丨丨及該第一活動部丨12之處具有一第 一頸縮部1131。該等第一連桿113可確保每一第一微動單 兀11之第一固定部111及第一活動部丨12間之相對關係（如平 行度）’以達到精密之位移及定位。 該至少一第一壓電元件丨14設置於該第一固定部丨11與該 第一活動部112之間。在本實施例中，該至少一第一壓電 兀件114設置於其中一第一固定部凸塊1112(圖2中左側之 第一固定部凸塊1112)之第一設置孔丨丨13與該第一活動部凸 塊1122之相應第一凹槽1124間。當施加一電壓於該至少一 第一壓電το件114時，該至少一第一壓電元件114產生第一 軸向之變形，且頂推相應第一活動部凸塊U22產生移動， 使得第一活動部112進行第一軸向之位移。 其中，當施加於每一第一微動單元〗丨之第一壓電元件 114之電壓相同時，每—第一壓電元件會產生相同之第 轴向之爻形里，因此頂推相應第一活動部凸塊112 2之位 I44499.doc 201121696 移s相同，使得該超精密壓電定位平台1可進行該第一軸 向之位移，當施加於每一第一微動單元11之第一壓電元件 114之電壓不同時，每一棄一鏖電元件114會產生不同之第 一軸向之變形量，因此頂推相應第一活動部凸塊1122之位 移量不同，使得該超精密壓電定位平台1可進行一第一角 度方向θ之旋轉（平行圖1中之χ-y平面之旋轉）。

該第一彈性元件11S設置於另一第一固定部凸塊1112(圖 2中右側之第-固定部凸塊1112)之第-設置孔1113與該第 一活動部凸塊1122之相應第一凹槽1124間，且其相對於該 至 > 一第一壓電元件丨14。較佳地，該第一彈性元件丨丨5係 為彈簧。該等第一調整組件116係分別於相對第一設置孔 1"3之側面穿固於相對之第一固定部凸塊1112並分別接觸 μ至 第壓電元件114及該第一彈性元件丨丨5。較佳 地’該等第-調整組件116係為内多角螺絲'，例如内六角 螺絲。較佳地，該至少一第一壓電元件114與相應第一調 整組件116之間係設有塾材117，以確保該相應第一調整組 件116與該至少一第一壓電元件丨14接觸之均勻及緊密性， 較佳地，該墊材117之材質為銅。 該等第一調整組件116用以抵掣固定相應之第—壓電> 件m，調整控制該至少-第一壓電元件114與相應第一^ 槽U24間之力量’以4保其接觸之緊密性，且確保該超米 密壓電定位平台1之精密度；以及該等第一調整組件丨16月 以頂抵相應之第一彈性元件115,用以調整控制施加於才丨 應第一活動部凸塊1122之回復力’以回復變形後之第一禮 144499.doc 201121696 動單元11。 其中，透過該第一彈性a件115及該等第一調整組件ιΐ6 之配合調整後，使得每一第一壓電元件丨14之變形推力大 於（>)相應第-彈性元件！ 15之回復力大於（>)相應二第一連 桿113之變形抵抗力。如此，每一第一壓電元件"4可推動 相應第一活動部112，每一第一彈性元件〗15可將相應第一 活動部112回復至未變形時之位置。 φ 配合參考圖1及圖3，該第二微動模組20具有二第二微動 單元21，每一第二微動單元21係提供一第二軸向（圖1中之 y軸向）位移，該第一軸向垂直該第一軸向。在本實施例 中，母一第二微動單元21具有一第二固定部211、一第二 活動部212、二第二連桿213、至少一第二壓電元件214、 一第二彈性元件215及二第二調整組件216(參考圖3)。 該等第二固定部211分別垂直地連接該等第一活動部112 之相對二端以形成一載體設置區域5〇(參考圖5)，且該等第 φ 二活動部212接近該等第一固定部111。每一第二微動單元 21之該等第二連桿213連接該第二固定部211及該第二活動 部212，使該第二固定部211及該第二活動部212係為平 行0 在本實施例中，每一第二固定部211包括一第二固定部 本體2111及二第二固定部凸塊2112’每一第二微動單元21 之第二固定部211之長度係大於第二活動部212之長度。每 一第二固定部211之二端分別係設置於該等第一活動部112 間之相對二缺角1123(參考圖2)，使該第二微動模組2〇與該 144499.doc 201121696 第一微動模組1 〇作反向層疊之結合，以減少該超精密壓電 定位平台1之體積與高度。每一第二活動部212包括一第二 活動部本體2121及一第二活動部凸塊2122，該等第二固定 部凸塊2112及該第二活動部凸塊2122位於該第二固定部本 體2111與該第二活動部本體2121之間，該第二活動部凸塊 2 1 22設置於該等第二固定部凸塊2丨丨2之間。 在本實施例中，每一第二固定部211之二第二固定部凸 塊211 2係分別螺設於第二固定部本體2111，且每一第二活 動部212之第二活動部凸塊2122亦係螺設於第二活動部本 體2121。在其他應用中，每一第二固定部211之二第二固 定部凸塊2 112係可分別螺設於第二固定部本體2丨丨丨，而每 一第二活動部212之第二活動部本體212丨及第二活動部凸 塊2122係為一體成型。每一第二固定部211之二第二固定 部凸塊2Η2分別具有一第二設置孔2113,每一第二活動部 212之第二活動部凸塊2122具有二第二凹槽〕^，該等第 一凹槽2 12 3係分別相對該等第二設置孔2 11 3。 每一第二微動單元21之該等第二連桿213連接該第二固 定部211及該第二活動部212，使該第二固定部2ιι及該第 二活動部212係為平行。在本實施例中，每一第二連桿213 於連接該第二固定部2Π及該第二活動部212之處具有一第 頸縮。卩2131。6玄等第二連桿213可確保每一第二微動單 =21之第二固定部211及第二活動部212間之相對關係（如 平行度）’以達到精密之位移及定位。 該至少一第二壓電元件214設置於該第二固定部211與該 144499.doc -10· 201121696 第二活動部212之間。在本實施例中，該至少一第二壓電 兀件214設置於其中一第二固定部凸塊2112(圖3中左側之 第二固定部凸塊2112)之第二設置孔2113與該第二活動部 凸塊2122之相應第二凹槽2123間。當施加一電壓於該至少 一第二壓電元件214時’該至少一第二壓電元件214產生第 二軸向之變形’且頂推相應第二活動部凸塊2丨22產生移 動使付第一活動部2 12進行第二轴向之位移。 其中，當施加於每一第二微動單元21之第二壓電元件 214之電壓相同時，每一第二壓電元件214會產生相同之第 二轴向之變形量，因此頂推相應第二活動部凸塊2122之位 移量相同，使得該超精密壓電定位平台可進行該第二軸向 之位移；當施加於每一第二微動單元21之第二壓電元件 214之電壓不同時，每一第二壓電元件214會產生不同之第 二軸向之變形量，因此頂推相應第二活動部凸塊2122之位 移量不同’使得該超精密壓電定位平台1可進行該第一角 度方向Θ之旋轉（平行圖1中之x_y平面之旋轉）。 該第二彈性元件215設置於另一第二固定部凸塊2ii2(圖 3中右側之第二固定部凸塊2 n 2)之第二設置孔2 11 3與該第 二活動部凸塊2122之相應第二凹槽2123間且相對於該至少 :第二壓電元件214。較佳地，該第二彈性元件215係為彈 簧5亥等第二調整組件216係分別於相對第二設置孔2113 J面穿固於相對之第二固定部凸塊2丨丨2並分別接觸該至 ’苐一壓電元件214及該第二彈性元件2 1 5。較佳地，該 等第二調整組件216係為内多角螺絲，例如内六角螺絲。 I44499.doc 201121696 較佳地，該至少-第二壓電元件214與相應第二調整組件 21 6之間係设有塾材217，以確保該相應第二調整組件216 與該至少一第二壓電元件214接觸之均句及_緊密性，較佳 地’該墊材217之材質為銅。 該等第二調整組件216用以抵掣固定相應之第二壓電元 件214，調整控制該至少—第二壓電元件214與相應第二凹 槽2123間之力量，以確保其接觸之緊密性，且確保該超精 密壓電定位平台！之精密度。該等第二調整組件216頂抵相 應之第二彈性元件215，用以調整控制施加於相應第二活 動部凸塊2122之回復力，以回復變形後之第二微動單元 21 〇 其中，透過該第二彈性元件215及該等第二調整組件216 之配&調'^後，使得每一第二壓電元件214之變形推力大 於（>)相應第二彈性元件215之回復力大於（>)相應二第二連 桿213之變形抵抗力。如此，每一第二壓電元件214可推動 相應第二活動部212，每一第二彈性元件215可將相應第二 活動部2 12回復至未變形時之位置。 配合參考圖1、圖4及圖5，該第三微動模組3〇具有二第 口疋。卩31、至少二萬向撓性元件32及設置於該等萬向撓 性元件32中之至少三第三壓電元件33。該等第三固定部^ 分別垂直地連接該等第二活動部212之相對二端，該等萬 向撓性元件32之一端分別設置於該等第三固定部3丨，且該 等萬向撓性元件32面對該載體設置區域5〇。在本實施例 中，該等萬向撓性元件32係設置於該等第三固定部3〗及該 144499.doc 201121696 載體40之間且呈三角形分佈。每一第三壓電元件33係提供 一第二軸向（圖1中之z軸向）位移’其中該第三軸向垂直該 第一軸向及該第二軸向。每一壓電元件33具有一弧狀頂面 3 3 1 ’該孤狀頂面3 3 1經由相應之萬向撓性元件3 2之一開孔 321突出於外’且實質上以點接觸方式與該載體4〇連接， 而該載體40藉由鎖固件（圖中未示）結合該等萬向撓性元件 32之固定孔322，以固定於該等萬向撓性元件32。於本實

施例，該等萬向撓性元件32係為撓性聯軸器。 在本實施例中，每一第三固定部31之二端具有一缺角 311，每一第二活動部212之二端分別係設置於該等第三固 疋4 3 1間之相對二缺角3丨丨，使該第三微動模組川與該第 二微動模組20作反向層疊之結合，以減少該超精密壓電定 位平台1之體積與高度。 —第三微動模組3〇之第三壓電元件”之電壓相 $時，每一第三壓電元件”會產生相同之第三軸向之變形 量’因此每-第三遂電元件33頂推該載體4()之位移量相 同.，使得該超精密壓電定位平台】可進行該第三抽向之位 移，當施加於該第三微動模組3〇之第三壓電元件^之電壓 不=時，每-第三壓電元件33會產生不同之第三抽向之變 形量’因此每一第三壓電元件33頂推該載體40之位移量不 =由控制該等第三壓電元件33之變形量，可使該超精 汝壓電疋位平台1進行一第二角度方向《之旋轉（平行圖艸 之^平面之旋轉）及-第三角度方向β之旋轉（平行圖】中之 y-z平面之旋轉）。

144499.doc LSI 201121696 該載體40設置於該載體設置區域5且連接該等萬向撓性 兀件32。較佳地，該載體4〇之周圍與該第一微動模組及 該第二微動模組20之間具有一間隙，以提供該載體扣調整 定位之活動空間。在本實施例中，該載體4〇包括一框架Μ 及一基板42，該框架41連接該等萬向撓性元件32，該基板 42固設於該框架41中。其中，依據該基板42所承載之^件 之加工或製造需求，該基板42係可為一透明基板。 本發明之超精密壓電定位平台丨可應用於自動化產業、 半導體產業(例如：微機電系統(MEMS)、小型晶圓廠或 LED蟲晶廠）、光電產業。 舉例而言，本發明超精密壓電定位平台丨應用在曝光微 影製程中之光罩系統，可大幅降低因光罩更換時所發生之 精度誤差與調整問題。由於，如何降低因產品種類切換所 產生之延宕，就等於提升產業競爭力，故除了提升產品種 類更換速度，更可以將對位之精度大幅的提高。 透過該第一微動模組10、該第二微動模組2〇及該第三微 動模組30之配合，使該超精密壓電定位平台丨可進行該第 軸向、该第二軸向、該第三軸向、該第一角度方向㊀、 。玄第一角度方向（X、該第三角度方向P之多軸向、非等圓及 非線性（六自由度）之微動調整機能，並達到高精密度定位 之功效。 並且，該第一微動模組丨〇、該第二微動模組汕及該第三 微動模組30係以反層疊組合方式結合，更扁平化該超精密 壓電定位平台1，故有效簡化該超精密壓電定位平台丨之體 144499.doc 14 201121696 積。再者’模組化的設計，使得該超精密m位平台】 之組裝零件少、拆卸方便且易於維修。 上述實施例僅為說明本發明之原理及其功效，並非限制- ^月。因此習於此技術之人士對上述實施例進行修改及 良化仍不脫本發明之精神。本發明之權利範圍應如後述之 申請專利範圍所列。 【圖式簡單說明】

圖1顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之立 體分解示意圖； 圖2顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之第 一微動模組之第一微動單元側視圖； 圖3顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之第 二微動模組之第二微動單元側視圖； 圖4顯不本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之第 二微動模組之立體分解示意圖；及 圖5顯示本發明較佳實施例之超精密壓電定位平台之組 合示意圖。 【主要元件符號說明】 1 本發明之超精密壓電定位平台 10 第一微動模組 11 第一微動單元 20 第二微動模組 21 第二微動單元 30 第三微動模組 144499.doc IS1 201121696

31 第三固定部 32 萬向撓性元件 33 第三壓電元件 40 載體 41 框架 42 基板 50 載體設置區域 111 第一固定部 112 第一活動部 113 第一連桿 114 壓電元件 115 第一彈性元件 116 第一調整組件 117 墊材 211 第二固定部 212 第二活動部 213 第二連桿 214 第二壓電元件 215 第二彈性元件 216 第二調整組件 217 墊材 311 缺角 321 開孔 322 固定子L 144499.doc -16- 201121696

331 弧狀頂面 1111 第一固定部本體 1112 第一固定部凸塊 1113 第一設置孔 1121 第一活動部 1122 第一活動部凸塊 1123 缺角 1124 第一凹槽 1131 第一頸縮部 2111 第二固定部本體 2112 第二固定部凸塊 2113 第二設置孔 2121 第二活動部本體 2122 第二活動部凸塊 2123 第二凹槽 2131 第二頸縮部 144499.doc -17-

Claims (1)

1. 201121696 七、申請專利範園： L 一種超精密壓電定位平台，包括： 一第一微動模組-，具有二第一微-動單元，每—第一裰 動單元係提供一第一軸向位移，每一第一微動單元具有 一第一固定部、一第一活動部、二第—連桿及至少一第 一壓電元件，其中一第一微動單元之第一固定部及第一 活動部係分別與另一第一微動單元之第一固定部及第一

   活動部相對設置，該等第一連桿連接該第一固定部及該 第一活動部，使該第一固定部及該第一活動部係為平 打，該至少一第一壓電元件設置於該第一固定部與該第 一活動部之間； 第二微動模組，具有二第二微動單元，每—第 〇 ^ 一 乂 動單元係提供-第二軸向位移，該第二軸向垂直該第一 轴向’每—第二微動單元具有-第二岐部、-第二活 動部、二第二連桿及至少―第二壓電元件，該等第二固 定部分別垂直地連接該等第一活動部之相對二端以形成 -載體設置區域，且該等第：活動部接近該等第— 部’每—第二微動單元之該等第二連桿連接該第二固定 部及該第二活動部，使嗜笛_ 玄第-固定部及該第二活動部係 為平行，每一第二微動單元 7平兀之5亥至少一第二壓電元 置於該第二固定部與該第二活動部之間； "又 第—微動模組’具有二第三固定部、至少三 性元件及設置於該等萬向撓性 向橈 元件，該等第三固定部分別卡 塾電 刀別垂直地連接該等第二活動部 144499.doc I.S1 201121696 之相對二端’該等萬向撓性元件分別設置於該等第三固 定部’且該等萬向撓性元件面對該載體設置區域，每— 第三壓電元件係提供一第三轴向位移該第三軸向垂直 該第一軸向及該第二軸向；及 一載體，設置於該齑艚郑罢「， 戟體°又置區域且連接㈣萬向撓性 元件。 2.如請求項1之定位平台’其中每-第-固定部包括—第 • 一^定部本體及二第一固定部凸塊，每-第-活動部包 括一第一活動部本體及一笛 篮及第—活動部凸塊，該等第一固 定部凸塊及該第一法叙加JL & , 弟活動部凸塊位於該第-固定部本體盥 該第—活動部本體之間’該第-活動部凸塊設置於該等 第一固定部凸塊之間，該至少—第-壓電元件設置於其 中一第一固定部凸塊與該第-活動部凸塊之間；每—第 二固定部包括-第二固定部本體及二第二固定部凸塊， 母一第4動部包括1二活動部本體及一第二活 籲 凸塊’該等第二固定邻兮哲 ❿ 疋』凸塊及该第二活動部凸塊位於該 第…體與該第二活動部本體之間，該第二活動 部凸塊設置於該等第二㈣部凸塊之間，該至少 壓電元件設置於其中一 _ — 凸塊之間。、第一口“凸塊與該第二活動部 3·如^項2之定位平台，其中每—第—固定部之二第— 固疋。P凸塊係分別螺設於第一固定部本體每 動部之第—、.壬么中 /古 (j ' °卩本體及第一活動部凸塊係為一體成 U1 144499.doc 201121696 4.如請求項2之定位平台，其中每—第一固定部之二第一 固定部凸塊係分別螺設於第-固定部本體，每一第二活 動部之第二活動部凸塊係螺設於第二活動部本體入 5·如請求項2之定位平台’其中每-第-微動單元另包括 -第-彈性元件’該第—彈性元件設置於另一第一 部凸塊與該第—活動部凸塊之間且相對於該至少-第一 壓電元件；每—第二微動單元另包括—第二彈性元件， 該第二彈性元件設置於另—第二^部凸塊與該第二活 動部凸境之間且相對於該至少_第二壓電元件。 6.如請求項5之定位平台，其中每—第一固定部之二第— 固定部凸塊分別具有一第一設置孔，每一第一活動部之 第活動部凸塊具有二第一凹槽，該等第一凹槽係分 相對該等第-設置孔，該至少—第m件及該第一 弹性元件分別設置於相對之第一設置孔與第一凹槽之 間，每-第二固定部之二第二固定部凸塊分別具有—第 :设置孔，每一第二活動部之第二活動部凸塊具有二第 槽《玄等第一凹槽係分別相對該等第二設置孔，兮 至少：第二壓電元件及該第二彈性元件分別設置於相： 之第一設置孔與第二凹槽之間。 1'如請求項6之定位平台，装由立 夂1十口其中母一第—微動單元另包括 一第—調整組件，該等[調整組件係、分別於相對第一 至少一第一壓電元件及 οβ 汉忑第一彈性元件；每一第 動單元另包括二第二調整組件，該等第 =孔之側面穿固於相對之第-固定部凸塊並分別接觸 微 二調整組件係分 144499.doc 201121696 別於相對第二設置孔之側面穿固於相對之第二固定部凸 塊並分別接觸該至少—第二壓電元件及該第二彈 件。 ~ - u 8. 如請求項7之定位平台，另包括複數個墊材，設置於該 :少—第一壓電元件與相應第-調整組件之間以及該至 ^ 少一第二壓電元件與相應第二調整組件之間。 9. 如請求項丨之定位平台， 第/舌動部之二端分 另有一缺角，每—第二 _ 一固疋〇Ρ之—鳊分別係設置於該 寺第一活動部間之相對二缺角。 10. 如請求項丨之定位平台， ^ 其中每第一連桿於連接該第 疋部及該第-活動部之處具有—第一頸縮部，每一 一:連桿於連接該第二固定部及該第二活動部之處具有 一弟二頸縮部。 如°月求項1之定位平台，其中該等萬θ μ w 性聯輪器。 ^萬向撓性S件係為徺 12.如請求们之定位平台，其中每一第三壓 弧狀頂面，該弧狀頂面接觸該載體。 八 13·::求項1之定位平台，其中該載體之周圍與該第一微 杈組及該第二微動模組之間具有—間隙。 " 14_广求項1之定位平台，其中該載體包括 :中該框架連接該等萬向撓性元件，該基板固設於純 月求項14之定位平台’其中該基板係為—透明基板。 144499.doc i SJ