[go: up one dir, main page]

CN101441327A - 高精度两维旋转调整机构 - Google Patents

高精度两维旋转调整机构 Download PDF

Info

Publication number
CN101441327A
CN101441327A CNA2008101876099A CN200810187609A CN101441327A CN 101441327 A CN101441327 A CN 101441327A CN A2008101876099 A CNA2008101876099 A CN A2008101876099A CN 200810187609 A CN200810187609 A CN 200810187609A CN 101441327 A CN101441327 A CN 101441327A
Authority
CN
China
Prior art keywords
base
adjustment
assembly
elastic
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008101876099A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100585454C (zh
Inventor
郭疆
邵明东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Original Assignee
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS filed Critical Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority to CN200810187609A priority Critical patent/CN100585454C/zh
Publication of CN101441327A publication Critical patent/CN101441327A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100585454C publication Critical patent/CN100585454C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

本发明的高精度两维旋转调整机构应用于高精度光学系统的装调技术领域,该调整机构主要由底座、第一调整组件、第二调整组件、第三调整组件和第四调整组件组成,底座整体呈圆环形,其上设有两组弹性结构,第一组弹性结构位于底座的顶面,第二组弹性结构位于底座的底面,两组弹性结构在底座上的位置相互垂直,第二调整组件和第四调整组件分别通过两个螺钉安装在底座的第一组弹性结构的侧面上,第一调整组件和第三调整组件分别通过两个螺钉安装在底座的第二组弹性结构的侧面上。本发明的有益效果是:结构简单,制造成本低廉;运动无空回,无爬行,易于达到控制精度,无阿贝误差。

Description

高精度两维旋转调整机构
技术领域
本发明应用于高精度光学系统的装调技术领域,涉及一种高精度两维旋转调整机构。
背景技术
高精度两维旋转调整机构在很多领域均可应用,比如在精密零件、仪器相互之间的对接,特别是在高精度的光学系统中有着很广的应用。随着科学的发展,对精度的要求也越来越高,现有的两维旋转调台结构复杂,制造成本高,而且存在调整、定位精度低,往复运动中有空回,反应滞后,运动时存在爬行等缺点,更重要的是现有的两维旋转调整台很难将所需装调的零部件所要调整面与调整机构的旋转中心重合,这样在某方向旋转时都会有阿贝误差存在,为消除阿贝误差必须通过对其他自由度的调整进行误差的补偿。这样给高精度的装配和对接带来了困难,致使研制工作效率低,研制成本高,周期长。
发明内容
本发明的目的是提供一种高精度两维旋转调整机构,其结构简单,制造成本低,运动无空回,无爬行,易于达到控制精度,无阿贝误差。
为了达到上述目的,本发明的技术方案如下:
高精度两维旋转调整机构,主要由底座、第一调整组件、第二调整组件、第三调整组件和第四调整组件组成,底座整体呈圆环形,其上设有两组弹性结构,第一组弹性结构位于底座的顶面,第二组弹性结构位于底座的底面,两组弹性结构在底座上的位置相互垂直,第二调整组件和第四调整组件分别通过两个螺钉安装在底座的第一组弹性结构的侧面上,第一调整组件和第三调整组件分别通过两个螺钉安装在底座的第二组弹性结构的侧面上。
上述的第一调整组件、第二调整组件、第三调整组件、第四调整组件结构相同;上述的第一组弹性结构主要由对称分布于底座顶面的第一弹性结构和第二弹性结构组成,所述的第二组弹性结构主要由对称分布于底座底面的第三弹性结构和第四弹性结构组成,上述四个弹性结构的底面均设有弹性片;上述的第一调整组件、第二调整组件、第三调整组件和第四调整组件分别由一个顶块和一个调整手轮组成,所述顶块为具有螺纹孔、第一光孔和第二光孔的金属块,上述四个调整组件分别通过两个螺钉穿过第一光孔和第二光孔固定在底座弹性结构的侧面上,所述调整手轮包括一螺杆,该螺杆安装在顶块的螺纹孔内。
本发明的有益效果是:结构简单,制造成本低廉;因其对旋转自由度的调整是通过底座弹性结构的弹性变形实现的,所以各旋装方向的自由度相互独立,运动无空回,无爬行,易于达到控制精度,最为突出的优点是没有阿贝误差的存在。
附图说明
图1为本发明高精度两维旋转调整机构的结构示意图。
图2为本发明的底座结构示意图。
图3为本发明的调整手轮结构示意图。
图4为本发明的顶块结构示意图。
图5为利用本发明高精度两维旋转调整机构支撑反射镜的一个实施示意图。
图中:1、底座,2、第一调整组件,3、第二调整组件,4、第三调整组件,5、第四调整组件,6、螺钉,7、第一弹性结构,8、第二弹性结构,9、第三弹性结构,10、第四弹性结构,11、弹性片,12、螺杆,13、螺纹孔,14、第一光孔,15、第二光孔,16、被装调零部件,17、高精度两维旋转调整机构,18、其他调整机构。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细地描述:
如图1所示,本发明的高精度两维旋转调整机构主要由底座1和四个结构相同的调整组件组成,四个调整组件即第一调整组件2、第二调整组件3、第三调整组件4和第四调整组件5,底座1的材料为韧性好的金属,可根据实际情况任意选择,一般可使用钛合金,弹簧钢等,底座1整体呈圆环形,其上设有两组弹性结构,两组弹性结构与底座1一体加工形成,第一组弹性结构位于底座1的顶面,第二组弹性结构位于底座1的底面,两组弹性结构在底座1上的位置相互垂直,第二调整组件3和第四调整组件5分别通过两个M4的螺钉6安装在底座1的第一组弹性结构的侧面上,第一调整组件2和第三调整组件4分别通过两个M4的螺钉6安装在底座1的第二组弹性结构的侧面上。
如图2所示,第一组弹性结构主要由第一弹性结构7和第二弹性结构8组成,第一弹性结构7和第二弹性结构8对称分布于底座1的顶面;第二组弹性结构主要由第三弹性结构9和第四弹性结构10组成,第三弹性结构9和第四弹性结构10对称分布于底座1的底面,上述四个弹性结构的底面均设有很薄的弹性片11,弹性片11与弹性结构一体加工成型,弹性片11与弹性结构的材料均为韧性很好的金属,可根据实际情况任意选择,一般可使用钛合金,弹簧钢等。
结合图3和图4所示,第一调整组件2、第二调整组件3、第三调整组件4和第四调整组件5分别由一个顶块和一个调整手轮组成,所述顶块为具有螺纹孔13、第一光孔14和第二光孔15的金属块,可以采用经过淬火处理的45#钢,上述四个调整组件分别通过两个M4的螺钉6穿过第一光孔14和第二光孔15固定在底座1弹性结构的侧面上,所述调整手轮包括一螺杆12,该螺杆12安装在顶块的螺纹孔13内。调整手轮可换为电驱动的,根据所需调整的精度也可以换为差动螺旋装置,以提高调整精度。
被装调零部件通过四个M6的螺钉与底座1的第一弹性结构7、第二弹性结构8的上端面连接,为消除阿贝误差应该将被装调零部件所需调整的旋转面与底座1的第一弹性结构7、第二弹性结构8的上端面重合。
本发明工作时,通过旋转调整手轮使底座1的两组弹性结构的弹性片11产生变形,从而使底座1的两组弹性结构分别沿各自的旋转中心转动,进而使被装调零部件所需调整的旋转面与底座1的弹性结构的端面共面,即消除阿贝误差。
如图5所示,被装调零部件16通过四个M6的螺钉与本发明高精度两维旋转调整机构17的底座1的一组弹性结构的端面连接,高精度两维旋转调整机构17通过四个M6的螺钉与其他调整机构18连接。通过调节高精度两维旋转调整机构17的调整手轮,使被装调零部件16的端面旋转一定的角度,进而使被装调零部件16做无阿贝误差旋转运动,从而达到了调整目的。
本发明利用底座1弹性结构的弹性变形实现了无阿贝误差的旋转自由度调整,是具有无爬行、复位精度高、响应快、成本低、便于加工制造等优点的高精度两维旋转调整机构。

Claims (4)

1、高精度两维旋转调整机构,其特征在于,该调整机构包括底座(1)、第一调整组件(2)、第二调整组件(3)、第三调整组件(4)和第四调整组件(5),底座(1)整体呈圆环形,其上设有两组弹性结构,第一组弹性结构位于底座(1)的顶面,第二组弹性结构位于底座(1)的底面,两组弹性结构在底座(1)上的位置相互垂直,第二调整组件(3)和第四调整组件(5)分别通过两个螺钉(6)安装在底座(1)的第一组弹性结构的侧面上,第一调整组件(2)和第三调整组件(4)分别通过两个螺钉(6)安装在底座(1)的第二组弹性结构的侧面上。
2、如权利要求1所述的高精度两维旋转调整机构,其特征在于,所述的第一调整组件(2)、第二调整组件(3)、第三调整组件(4)、第四调整组件(5)结构相同。
3、如权利要求1所述的高精度两维旋转调整机构,其特征在于,所述的第一组弹性结构主要由对称分布于底座(1)顶面的第一弹性结构(7)和第二弹性结构(8)组成,所述的第二组弹性结构主要由对称分布于底座(1)底面的第三弹性结构(9)和第四弹性结构(10)组成,上述四个弹性结构的底面均设有弹性片(11)。
4、如权利要求1或2所述的高精度两维旋转调整机构,其特征在于,所述的第一调整组件(2)、第二调整组件(3)、第三调整组件(4)和第四调整组件(5)分别由一个顶块和一个调整手轮组成,所述顶块为具有螺纹孔(13)、第一光孔(14)和第二光孔(15)的金属块,上述四个调整组件分别通过两个螺钉(6)穿过第一光孔(14)和第二光孔(15)固定在底座(1)弹性结构的侧面上,所述调整手轮包括一螺杆(12),该螺杆(12)安装在顶块的螺纹孔(13)内。
CN200810187609A 2008-12-29 2008-12-29 高精度两维旋转调整机构 Expired - Fee Related CN100585454C (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200810187609A CN100585454C (zh) 2008-12-29 2008-12-29 高精度两维旋转调整机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200810187609A CN100585454C (zh) 2008-12-29 2008-12-29 高精度两维旋转调整机构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101441327A true CN101441327A (zh) 2009-05-27
CN100585454C CN100585454C (zh) 2010-01-27

Family

ID=40725828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200810187609A Expired - Fee Related CN100585454C (zh) 2008-12-29 2008-12-29 高精度两维旋转调整机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN100585454C (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101710204B (zh) * 2009-11-13 2011-04-20 中国科学院光电技术研究所 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构
CN102628980A (zh) * 2012-04-19 2012-08-08 中国科学院上海光学精密机械研究所 旋转中心不动的反射镜调整架
CN102809800A (zh) * 2012-07-26 2012-12-05 北京国科世纪激光技术有限公司 一种用于调节箱体间光路的导光模块

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100440954B1 (ko) * 2001-09-04 2004-07-21 삼성전자주식회사 광학소자 미세조정장치
WO2006102908A1 (de) * 2005-02-22 2006-10-05 Hentze-Lissotschenko Patentverwaltungs Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur aufnahme, ausrichtung und justierung einer optischen komponente
CN1991333B (zh) * 2005-12-30 2010-11-10 财团法人工业技术研究院 零阿贝误差测量系统及其方法
CN100414347C (zh) * 2006-08-11 2008-08-27 中国科学院上海光学精密机械研究所 精密光学调整架
JP2008047258A (ja) * 2006-08-21 2008-02-28 Funai Electric Co Ltd 光ピックアップ装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101710204B (zh) * 2009-11-13 2011-04-20 中国科学院光电技术研究所 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构
CN102628980A (zh) * 2012-04-19 2012-08-08 中国科学院上海光学精密机械研究所 旋转中心不动的反射镜调整架
CN102628980B (zh) * 2012-04-19 2013-12-25 中国科学院上海光学精密机械研究所 旋转中心不动的反射镜调整架
CN102809800A (zh) * 2012-07-26 2012-12-05 北京国科世纪激光技术有限公司 一种用于调节箱体间光路的导光模块

Also Published As

Publication number Publication date
CN100585454C (zh) 2010-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104317218B (zh) 一种微纳操作环境下的精密宏动并联定位系统及方法
CN104260106B (zh) 一种可变刚度的关节模块
CN102156340B (zh) 拼接光栅的高精密位姿调整装置
CN108582035B (zh) 应用于光电子封装的三自由度柔性并联运动平台
CN103926671B (zh) 一种多自由度精密调整机构
CN108233764B (zh) 采用异形铰链传动机构的压电驱动型精密旋转驱动装置
CN204374672U (zh) 一种微纳操作环境下的精密宏动并联定位系统
CN106054806B (zh) 一种基于二维编码器的平面并联机构末端跟踪控制系统与方法
CN105743387B (zh) 基于杠杆放大的交替步进压电直线电机
CN102323720A (zh) 一种基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台
CN106113028B (zh) 一种多驱动三自由度的板簧型微纳操作平台及方法
CN103197397A (zh) 一种用于光栅拼接的整体四维高精度调整装置
CN103698873B (zh) 粗精结合的反射镜姿态定量调整方法及调节装置
CN102636859B (zh) 一种大承载光学元件倾斜调整机构
CN101441327A (zh) 高精度两维旋转调整机构
CN205376486U (zh) 一种实现高精度旋转运动的微位移放大装置
CN104360455A (zh) 一种空间遥感相机反射镜柔性虎克铰支撑机构
CN101702329B (zh) 一维微位移装置
CN100529828C (zh) 基于弹性元件的三自由度精密运动支撑机构
CN106272275A (zh) 一种组合式超精密直线运动工作台
CN105629423A (zh) 用于天文望远镜副镜位置控制的高精度五维调节机构
CN102496391B (zh) 一种组装式二维微位移台
CN107785054B (zh) 一种空间曲梁六自由度微位移工作台
CN210089607U (zh) 一种非球面面形摆臂式检测装置
CN111730075A (zh) 变维振动辅助车削装置及其轨迹生成方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100127

Termination date: 20111229