TWD222946S - 基板搬送用保持具 - Google Patents
基板搬送用保持具 Download PDFInfo
- Publication number
- TWD222946S TWD222946S TW111301099F TW111301099F TWD222946S TW D222946 S TWD222946 S TW D222946S TW 111301099 F TW111301099 F TW 111301099F TW 111301099 F TW111301099 F TW 111301099F TW D222946 S TWD222946 S TW D222946S
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- holder
- board transfer
- view
- article
- symmetrical
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 2
Images
Abstract
【物品用途】;本物品係安裝在例如機械臂的前端，如顯示使用狀態之參考立體圖所示般地，係用以保持並搬送半導體晶圓等圓形基板。;【設計說明】;由於左側視圖係與右側視圖對稱，故予以省略。
Description
本物品係安裝在例如機械臂的前端，如顯示使用狀態之參考立體圖所示般地，係用以保持並搬送半導體晶圓等圓形基板。
由於左側視圖係與右側視圖對稱，故予以省略。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021020277F JP1713374S (ja) | 2021-09-17 | 2021-09-17 | 基板搬送用保持具 |
| JP2021-020277 | 2021-09-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD222946S true TWD222946S (zh) | 2023-01-01 |
Family
ID=81209992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW111301099F TWD222946S (zh) | 2021-09-17 | 2022-03-08 | 基板搬送用保持具 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP1713374S (zh) |
| TW (1) | TWD222946S (zh) |
-
2021
- 2021-09-17 JP JP2021020277F patent/JP1713374S/ja active Active
-
2022
- 2022-03-08 TW TW111301099F patent/TWD222946S/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP1713374S (ja) | 2022-04-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWD206688S (zh) | 通氣基座 | |
| TWD204260S (zh) | 通氣基座 | |
| TWD208179S (zh) | 基板處理裝置用晶舟之部分 | |
| TWD211363S (zh) | 基板載具 | |
| TWD215398S (zh) | 基板處理腔室的製程護罩 | |
| TWD215009S (zh) | 電子裝置之配件 | |
| TWD211239S (zh) | 晶圓保持器之部分 | |
| TWD216287S (zh) | 電子裝置之蓋 | |
| TWD202463S (zh) | 基板處理裝置用晶舟之部分 | |
| TWD147585S (zh) | 基板運送用固持具 | |
| TWD218093S (zh) | 基板處理裝置用晶舟之部分 | |
| SG146547A1 (en) | High temperature anti-droop end effector for substrate transfer | |
| TWD212726S (zh) | 基板處理裝置用晶舟之部分 | |
| TWD126123S1 (zh) | 晶圓保持具 | |
| TWD126122S1 (zh) | 晶圓保持具 | |
| TWD222946S (zh) | 基板搬送用保持具 | |
| TWD209928S (zh) | 光罩傳送盒之底座 | |
| TWD225908S (zh) | 基板搬運用固持墊 | |
| TWD209792S (zh) | 半導體晶圓架 | |
| TWD212518S (zh) | 非接觸搬送用保持具 | |
| TWD212392S (zh) | 載帶送料機之部分 | |
| TWD226182S (zh) | 基板處理裝置用氣體供給噴嘴之部分 | |
| TWD235787S (zh) | 基板載體 | |
| JP1775347S (ja) | 基板搬送用保持具 | |
| TWD209963S (zh) | 等離子體處理裝置用容器 |