TW548402B - Tester and holder for tester - Google Patents

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548402 五、發明說明（1) 【i=戶斤屬之技術領域j 所用^=係關於對電路基板的導電圖荦進一 晶片的封裝化以及其ί置置之保持具，特別是關於檢查 【先前技術】 電路基板時，在基板上施以 圖案是否有斷線或短路情形發生圖案後，必需檢查 先則之檢查慣用方式 端的銷對導電圖案進行電氣俨號:ς的兩端連接銷，由一 接收該電氣信號，藉此進行“圖；之Ζ由另一端的銷來 觸式檢查方法乃眾所熟知之方法j /、導通测試，此種接 但是，近年來隨著導電 =接觸方式應用在各導電圖案：以所：广 k出一種受電侧不使用銷，且 斤困難，因此乃 下’接收電氣信號之非接觸式檢查方：圖案接觸的狀況 該非接觸式檢查方法中，除 / ° 案-端配置接觸導電圖案的銷之外，2查對象的導電圖 接觸方式接近導電圖案的感測器匕：則：：能以非 案和感測器之間的靜電i 檢測藉由散佈在導電圖 雖 里而⑼不於感測器上的電氧p 諕，並檢查導電圖案之斷線等情況。j益的罨矹& 在此，構成相關感測器的檢查 的利便性，通常會裝载在由 為了要k冋使用時 圖15為顯示先前的 —衣直1 U ϋ結構之概略平面圖。此 麵 第4頁 90103533.ptd 548402 五、發明說明（2) 外’圖16為圖15之XX線周圍之橫剖面圖。 檢查裝置100具有封裝1〇1以及，裝載於封 二片等⑽以*，設置於檢查晶片102表面上之絕^ 封裝1 0 1具有藉由搭接線i 〇 3與檢查晶片！ 墊102a相接的多數導片〗〇&，而控制檢查震置10^^銲 等乃藉由該導片1〇13進行對檢查晶片102之控制作腦 或來自檢查晶片1 02之信號檢測。 °〜輪入 檢查晶片102以黏合劑固定在封裝1〇1的 其檢查面（圖16之上侧面)為露出的狀態。作為檢杳匕 電路基板2 G G以與該檢查面相對的角度被配置於檢—杳^的 100之上。 一衣罝 薄膜104除了可保護檢查晶片1〇2的檢查面之外 檢查/片m之間的空隙，可充分檢測來 = 虎，並具有將介電係數提高於空氣層之上 查b曰片102和導電圖案的間距縮小，也就是儘可能 面與導電圖案接近為宜。因此，在藉由封： 片m封裝化時，在設計上，最好能使 檢查曰曰 面露於檢查裝置10〇之外。 乃1以的檢查 【發明欲解決之課題】 但是，先前的檢查裝置100，由於是以搭接線1〇3將檢查 晶片102的電極銲墊l〇2a與封裝101的導片101&相連接，^ 90103533.ptd 第5頁 548402

:二ί 5檢查晶片1 〇2的檢4面無法充分接近作為檢查對 ΐ;片導二圖㈣問題。此乃為了避免搭接糊 Ϊ:;日Γ同的周緣而採取料迴方式。此點於圖17中另加 =月。圖17為顯示圖16之搭接線1〇3周邊之詳細說明圖 Μ ί I、和檢查晶片102的周緣相隔離，搭接線103以高度僅 =j山形狀。在此情形下，電極銲墊102&與搭接線103 f、被施以超音波熱壓接，但由於電極銲墊1 〇 2a的材料 L ¥為鋁）和格接線1 〇 3的材料產生共晶，對於彎曲由於 ^變得脆弱’故其高度hl需維持在約15()um的高度。 ^結果，使得檢查晶片102之檢查面和電路基板2〇〇之間 至夕要保持h 1的距離，而且還要保留空間使搭接線丨〇 3頂 點部位與電路基板2 〇 〇不會發生接觸，其結果使得檢查晶 片102的檢查面與電路基板2〇〇只能保有…彳〉^ )的距離。 曰因此，在先前的檢查裝置100構造設計上，存在有檢查 曰曰片102的檢查面無法充分接近導電圖案的問題。 此外，為了自導電圖案得到良好的信號，在使用檢查裝 置100日寸，最好將檢查晶片1〇2檢查面配置在與導電圖案大 略平行的位置上。 因此’本發明的目的在提供一種檢查裝置以及檢查裝置 保持具’使檢查晶片在對應為檢查對象的導電圖案時得以 配置在比較適當的位置上。 【達成課題之手段】 本發明提供一種檢查裝置，具有以非接觸方式檢查電路

548402 五^^____ Γ卜ί 2導電圖案的檢查晶片以及，兮浐杳曰 卜，方式裝載於上之絕緣性封^、a檢查日日片之檢查面以 $母-電極銲墊上的晶片側：設在前述檢查晶片 片上之封裝側凸起電極以及，=s以及，設在前述封裝 則凸起電極以及封裝側凸起 少可分別覆蓋前述晶片 於前述異向性導電體上，箭二j異向性導電體以及，位 述封裝側凸起電極之間的導=述晶片側凸起電極到前 導電體藉由在前述導電體芦盘Ϊ層。其特徵為前述異向性 及前述導電體層與前述封^側晶片側凸起電極之間以 使得前述前述晶片側凸起電極鱼2電極之間進行熱壓接， 隔介前述導電體層而以電 =則述封裝側凸起電極得以 此外，本發明係屬於—種行連接。 封裝化之檢查裝置，其中被_ ，、用以保持將檢查晶片 式檢查電路基板之導電圖案:2查晶片乃以非接觸方 設置於該保持台上裳置有前述檢杳寺有保持台以及’ 設在前述保持台，擁有用ϋ的彈性材以及，裝 ι置上限位置之爪部之保持構件箄二，性材上之前述檢查 此外，本發明係屬於一種保且，^置。 封裝化之檢查裝置，其中被封枣^以保持將檢查晶片 式檢查電路機板之導電圖索:职查晶片乃以非接觸方 查裝置保持具，具備有m务明之特徵為提供-種檢 彈性材以及，固定於前述彈性〇 ’固定於該保持台上之 置的制動構件。 ’用以制動前述檢查裝 此外，本發明提供一種檢杳 —欢查破置的保持具，將以非接觸 90103533.ptd 第7頁 548402

五、發明說明（5) 檢查電路基板導電圖案 查衣置，以可傾斜方式予以 丁#展化之檢 此外，本發明係屬於一種保拉 封裝化之檢查裝置，苴中被封、’用：保持將檢查晶片 式檢查電路基板之導電圖荦、^之檢查晶片乃以非接觸方 查裝置之保持具，：=持士發明之特徵在提供-種檢 ，使兑w t 八備有保持台以及，設置於該保拄a k 之；；=前述檢查裝置的電極相接以支樓前述檢杳;ί 二裝設於該保持台上，且具有可規以 评！·材上之别述檢查裝置上 11 各探針以具彈性且可銘# w Τ置之爪°卩之保持具’前述 【發明之實方式裝設於前述檢查裝置上。 =下’依照附圖來說明本發明適合之實施形態。 圖1顯示與本發明一實施形態相關的檢杳裝置A概虼仙 上Γ:ί具有檢查晶片1，檢查面law外露方式裝載於 曰片1之封裝2，設在檢查晶片!之每-電極:塾於 ，凸起電極3 ’設在封裝2導片2a上之 蓋凸起電極3與4之異向性導電體5,橫跨於： 起電極3與4之間之導電體膜6及絕緣性薄膜7等。 中=立為:有種由塑/等所形成之絕緣性物體，其表面側 此外，-;導p凹t2b，在此凹部2b中埋設檢查晶片1。 二一：！ 的端面2。會與所裝载的檢查晶片1表面 :此乃為了使電極録塾lb與導片2a呈約略相同

548402 五、發明說明（6) 此外，封裝2具有與各導片2a相接，由表 的：穿孔2d。貫穿孔2d與設在封 ; ，連接之外部電極2e相接。圖4為顯示封裝背卜:T“ 其中設有與貫穿孔2d相接的多數外部電極 之圖不 置A進行檢查的電腦通常會藉由對此外部：用檢查： 口P電極2e檢測信號的方式來心σ儿或由外 外，為了將檢查裝置Α固定來檢封查二=::電圖案。此 荦的曰只，觸方式檢查電路基板的導電圖 案的s日片，在上述封裝2的凹部2b底部以黏^ 。檢查晶片1的電極銲墊! b設置在檢查晶片J表： 接在檢查晶片1的内部電路上， ，並被連 供應給檢查晶片i或由檢杳ί片電=鲜塾1 b將信號 晶片丨或取得檢查信號0曰片1 一號等，可控制檢查 絕緣性薄膜7雖是為保護檢查晶片丨， 檢查面la與做為檢查對象之 ^二檢查阳片1 置，但也並非絕對必要。$圖案之間的"電係數而設 其次，就檢查晶片J的電極銲墊1 b盥 接構造進行說明。圖3為與構^之蛉片2a的連 圖。 々日關逑接構造有關之部份擴大 電極鮮塾1 b上設有&把雷h q 墊2b上也設有凸起電極4凸“：=其對應的銲 起等。 凸起電極3或4可採用以金凸 此外，設有可覆蓋&# 0 異向性導電體5為樹脂材料電中極之異向性導電體5。 印何杆中此入導電性微粒子而成。通 90103533.ptd 第9頁 548402 五、發明說明（7) ;口導電'〖生，但在經繼接後，可在其壓接面上發 之=方面上會以橫跨凸起電極3與4 膜6包含具導電;_置之作金為/膜電。體層的導電體膜6。該導電體 3 : : 3性f電體5則被熱壓接於導電體膜6與各凸起電極 曰，其結果使異向性導電體5的導 ° 電體膜6之間以η起導電電二 電：方ί:起電極3，4以及導電體膜6雙方接觸，並進？ 連接’進而使得凸起電極3與4之間也以電性方式進 此外，在檢查晶片j與導電膜6之間， 5介於其間，使得能夠维持i 曰電體 生短路的情況。 導電性’因此兩者不會發 而Π膜6Λ,造無需像搭接線般f曲，反 查面la到電路Λ板之門上可將檢查晶片1之檢 春〜丄ί 的離h縮短。具體而t，在使用 所別之/ι線時其距離h若在150乃至200微米時，則圖3 所不之例，則可縮短至5〇微米左右。 图3 此外，該種連接構造的製造方法，簡單而言即先 已 mi分別設在電極鮮塾1匕及•墊2a上(&可將檢查晶 ;封裝2之上），再將異向性導電體5以能夠覆蓋 起電極3及4的方式塗佈在封裝2表面上。 隨後以橫跨凸起電極3及4的方式在異向十生導電體5上貼 548402 五、發明說明（8) 上導電體膜6。並完成異向性導電體5之熱壓接作業 ，此時即使導電體膜6接觸到凸起電極3以及4也益妨。 此外，在檢查裝置A中，雖將此異向性導電體5設置在檢 查曰曰片1檢查面la的各個部位，但只要能夠各自覆蓋凸 電極3及4各部位即可。不論何種情況下，均可藉由 膜6在凸起電極3及4之間進行電性連接，同時可藉由 ，極3及4或異向性導電體5之高度，防止導電體則在檢、 日日片1上發生短路情況。 一 但是，只要將異向性導電體5設置在凸起電極3到 極4之間’便如上述般’將使異向性導電體5介於導電體】 現與象檢查晶片1之間’而能夠更確實地防止兩者間產生短路 此外，在製造時若能將設置範圍延伸到檢查面h， 需決定設置的位置，相當便利，若在檢查面la上 j J性導電體5 ’則可提昇檢查面19與電路基板間之；電係、 其次說明利用檢查裝置A之導電圖案檢查方法 圖5為利用檢查裝置人之檢查系統5〇概略圖。 、也1J。 檢查系統50乃用以檢查設於電路基板6〇上的導 ，且具備有將檢查信號供應檢查裝置A ,電腦51與雷、 =。1的探針52以及，切換供應探針52之檢查信號之切換^ 電腦51目的在控制切換器51 ’產生檢查信號以及 來自檢查裝置A之信號’並檢查導電圖案61之斷線，短路

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’缺失等現象。 檢查裝置A藉由與導電圖案61 電圖案61的檢查信號檢測 ^ σ ^檢心、應導 圖6為檢查裝置Α之：Ljr之Λ送至電腦51。 檢查晶片1具備有：控一制部i f塊圖。 、 單元群12，用以選擇單元12 a之鄉由/數皁元12&所構成之 罝分T 9 f Μ 早兀1 2 a之縱向選擇部1 4，用以執行 ::12二擇及”信號的橫向選擇部13，用以產生選擇 ^ H 6^"\電d #U之定時生成部1 5，處理來自橫向選 之電，:電川，以及供應電力以驅動檢查晶片1 i之控二部11乃根據來自電腦51之控制信號以控制檢查晶片 64〇H2l沿著檢查晶片1檢查面1 U矩陣狀（縱48〇x橫 Q荦6 Γ =可：非接觸性方式檢測由探針52供應至導電 圖案61之檢查信號。 定時生成部15被供應以來自電腦51之垂直同期俨號 (VSync)，水平同期信號（Hsync)以及基準信號， 對縱向選擇部1 4以及橫向選擇部丨3供給用以決定該自^ 個單元1 2a取出信號之定時信號。 Μ 一縱向選擇部1 4依照來自定時生成部丨5的定時信號，將單 元群1 2中之至少一行設定為啟動狀態。 儿 橫向選擇部1 3依照來自定時生成部1 5的定時信號，將由 各單元1 2 a檢出之檢查信號依序送到信號處理部丨6。

五、發明說明（10) 信號處理部1 6對來自橫向選擇部丨3的信號進行放大 步等信號處理後，將其遊至A/D轉換器17。 久同 A/D轉換器1 7以類比形式將自信號處理部丨6送出之 單元12a檢查信號變換為例如8位的數位信號，再以 固 號列方式輸出。當然也可將來自信號處理部16的^ = 直接輸出而無需通過A/D轉換器1 7。 "唬 此外，這些各個構成之信號輸出入，電力供應等# 由檢查晶片1的電極銲墊113來進行。 1疋错 其次，就檢查晶片的動作進行說明。圖7為以一個 2a為中心以說明檢查晶片之動作原理圖。 凡 而汲極則被連接於橫向選擇部1 3之上。甘 源極雖為開放狀態，作在檢杳砗I m +、t 。^ 電容"達到實際連接 查…由導電圖案61與輕合 此外，若藉由縱向選擇部14，自定 一 1 2 a時，則合a讲人、阳挪A 风丨i b k擇早凡 12a。 曰縱向選擇部14將信號送至閘極而啟動單元 此日年，若由探針52輸出檢查信號，則檢查娘 輸==!容。被輸入到源極中，然後°再V又 1—=擇==查 …、導電圖案時，檢杳作贫# 合 田早兀 a上 由此Μ 1 ^ ^查彳虎便會被輸入到源極。 以斤形成的檢查系統5 〇，將單 號，當作以A/D轉施哭17夕拆格名命早凡12a所檢測之信 轉換為17之變換程度作為階調的像素信號 五、發明說明（11) 可，=像資料，以顯示導電圖案61之形狀影像。檢 U由遠影像辨識導電圖案61是否有斷線’短路，缺“ 導電圖荦二^ 5 fA ’如上述.中’因檢查晶片1檢查面1 a到 =案61的距離短，故可獲得較鮮明之影 此點作說明。 「对對 圖8(a)為說明檢查面la到導電圖案61間的距離 2電圖案61到各單元12a間的電力線擴散樣態圖示”而 :強(度)則顯不於此情況下，出現於各單元…中之檢查信 時如荦到導電圖案61間的距離較長 时曰對導電圖案61正下方之單元12a以外的月，嘉留_ 10 進行檢查信號檢測。因此，如圖8 ( b)， / 早兀1 2a 來自導雷円宏R1 丁 *田直^ )取得臨限值’並將 不自V電圖案61下方之周邊單元12a的 信號，以形成如圖9般的影像，如此一來 形：就不會明確顯現而是呈現一種較模糊二電像圖案61的 其次，圖10(a)為說明當檢查面1&到導 離較短時，導電圖案61到各單元12a間的带^案61間的距 圖示’而圖10(b)則顯示於此情況下：出顼f擴散樣態 之檢查信號強度。 ^兄下*現於各單元i2a中 時如Ξ二;ra到導電圖案61間的距離較短 才對V電圖案61正下方的單元12a以外周、嘉时一 檢查信號檢測的情況會減少。因此，如σ二凡，a '^丁 臨限值，將來自導電圖案61下方周圍；）’當取得 刀门囷妁早兀12a的檢查信 548402 五、發明說明（12) 號當作像素k號，形成士

形狀便會明確顯現。圖11-般的影像時’導電圖案61 如此’在檢查裝署A 距離縮短，使;元12j，將檢查面1a到導電圖案61間的 ，其結果除了提 ^己置在更接近導電圖案的位置上 出之信號作為像；的感度外’在形成以單元…檢 案形狀的效果。虎的影像時，也具有清楚顯示導電圖 此外’本實施形態中構 行檢測來自導雷图安偁珉雖、疋為了讓早兀12a自 針52，以非接觸除此之外還可以取代探 ^ AM Ψ ^ ^ ^式對導電圖案供應檢查信號（如本申 明人=中二之申請案號2000-33373 2 )。 之ί:位將檢查裝置“呆持在與導電圖案相向 視=κ為與本發明之—實施形態相關之保持具B之構造剖 π : 3 疋用以保持檢查裝置A，具有保持台20 1以及， Λ台2〇1之2〇1&上，且裝載有檢查裝置4之彈性材 上之;ΙΑ &壯、置在保持台2〇1上且具有用以規定彈性材202 外虞置Α之上限位置的爪部20仏保持構件203等。此 面且有裳置在保持台201上，與設置在檢查裝置A背 二通每性材2〇2之外部電極2e(參考圖4)相接觸之具彈 r又可移位之多數探針204。 狀ί持台2(H為一種上面之201a呈被封鎖狀態之中空角柱

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548402 五、發明說明（13) __ 彈性材202乃用以調整檢查裝置a之傾斜 置，為一種由橡膠、樹脂、海綿等具彈性/ 輕°亥檢查裝 保持部203藉由螺絲205以可自由拆卸 構成。 台如上’此外，其上端具有逆固定f保持 爪部2,内側與檢查裝η之封裝2 <段落部“相3 = 4 以規定檢查裝置A之上限位置。 式 在保持具B中，由於彈性材202與保持構 使被保持之檢查裝置A雖在往上移動時會受梏=， 限制，但藉由彈性材202之配合 動2件2〇3 程度之容許。 ^卜万移動传到一定 探針204之内部構造如圖18所示， 器2 04a，探針本體2〇4b以及，收容\请上之裝設 2 4c所構成，相對於裝設器2〇4a :: 2〇4c之增能力相抗衡以進 :粒W4b 了與弹頁 式移…此，即使是在： = 就是能進行彈性 本體204b前端也能維持在盘ϋ 相垃的狀您下，探針 由該構造所構成之保；具二\極相接觸的狀態。 性材202與保持構件2〇3的爪吊曰將檢查裝置Α保持在彈 愿入具有作為檢查對象之導電=間，將檢查裝置A以 來使用。itb時，才目對於雷回案61之電路基板中之方式 擠為傾斜狀態’彈性材2 、反:’檢查裝置” 裝置A之檢查面la亦可維姓—准持其弹性變形，而檢查 的位置上以保持檢查梦、一電路基板60表面略呈平形 即使檢查裝置A與保持;^ /此外，探針2〇4可伸縮自如， 持具B呈傾斜狀態，仍可維持其與外部 90103533.ptd 第16頁 548402

電極2 e之接觸。 圖1 3為顯不保持具B使用狀態之圖示，檢查裝置a沿著電 路基板6 0傾斜方向維持在只傾斜0之狀態。 由於保持具B可在接近電路基板6〇狀態下保持檢查裝置 t、，故，查面U之任一位置，均能被配置在與電路基板60 等距付位置上。如上所述，由檢查面丨a至電路基板6 〇的距 ，會影響檢查晶片1的感度，因此檢查面丨a上之所有位置 若能配置在與電路基板6〇等距的位置上，則可 12a之信號不穩定現象。 平合早兀 此外，保持具B中，由於探針2〇4可做彈性移位， :將其作為彈性材2〇2使用，在此情況下，檢查裝置A將被 裝載並保持在探針2 〇 4前端，故不需要彈性材2 〇 2。、 此外，由於保持具B可以接近電路基板6〇位置之 B保)持檢查裝置A ’所以亦可採用如圖14所示之構造(保〜寺具 保持具B，乃用以保持檢查裝置A，具有保持台2()ι 二固定於保持台201，之上面2〇la，之彈性材以及，固 彈ϋ材20 2上面，又具可制動檢查裝置人 動構件203,以及，固定在保持台2〇1，上，且貫制 ;〇「與制動構件203,，與設在檢查裝置八背面的 2^芩考圖4)相接觸具伸縮性之多數探針2〇4，。 和 該保持具B，乃藉由制動構件2〇3,來制動並 A。而且’如保持具B 一般，將檢查裝置“ 置 檢查對象之導電圖㈣之電路基板中之方式來使用有乍此為時

548402 五、發明說明（15) ’相對於電路基板6 〇，檢查裝置A即使被壓擠為傾斜狀態 ’彈性材2 02仍會維持其彈性變形，而檢查裝置a之檢查面 1 a亦可維持在與電路基板6 〇表面略呈平形的位置上以 檢查裝置A。 【發明之效果] 配置可對應作為檢查 晶片 如上述說明，本發明可將檢杳 對象之導電圖案之較佳位置上了 【元件編號之說明】 卜102 檢查晶片 la 檢查面 lb 、 102a 電極鲜塾 2^101 封裝 2a 、 101a 導片 2b 、 101b 凹部 2c 端面 2d 貫穿孔 2e 外部電極 2f 段落部 3、4 凸起電極 5 異向性導電體 6 導電體膜 11 控制部 12 單元群 12a 單元

548402 五、發明說明（16) 13 橫向選擇部 14 縱向選擇部 15 定時生成部 16 信號處理部 17 A/D轉換器 18 電源電路部 50 檢查系統 51 電腦 52 、 204 、 2 0 4’ 探針 53 切換器 60 > 200 電路基板 61 導電圖案 100、A 檢查裝置 103 搭接線 104 薄膜 201 ^ 20Γ 保持台 202 >202’ 彈性材 203 ^ 203, 保持構件 203a、20 3a’ 爪部 204a 安裝部 204b 安裝器 204c 彈簧 205 螺絲 B 保持具

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圖式簡單說明 圖1係說明與本發明一實施形態相關之檢查裝置A的概 平面圖。 ^ 圖2為圖1線γγ之邊緣剖視圖。 圖3係電極銲墊lb與導片2a接觸構造相關部份放大圖。 圖4係顯示封裝2之背面圖示。 圖5為檢查系統5 〇之概略圖。 圖6為檢查晶片1之内部方塊圖。 圖7係以一個單元丨2 a為中心以說明檢查晶片 作原理圖。 极宜動 圖8之（a)與（b)係用以說明當檢查面la至導電圖案Μ 距離較長時，來自導電圖案6丨之信號之形態圖示。〃之 圖9係顯示圖8狀態下之導電圖案61之影像圖示。 圖1〇之（a)以及（b)係用以說明當檢查面la至$雷 之距離較短時，來自導電圖案61之信號之形態=圖案61 圖11係顯示圖1 〇狀態下之導電圖案6丨之影二二。 圖1 2係顯示與本發明之一實施形態相 二不。 剖視圖。 <保持具B構造 圖1 3係說明使用保持具b時之樣態圖示。 圖14係顯示另一實例下之保持具B，構造 圖1 5係顯示先前之檢查裝置丨〇 〇之概略平圖 圖1 6為圖1 5線XX之邊緣剖視圖。 面圖 圖17為圖16之搭接線1〇3周邊詳細圖。 圖18係顯示探針204之構造圖。

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Claims (1)

1. 548402 申睛專利範圍 — ^ ίI體’係設置在大致可覆蓋前述檢查晶月全體表面的 體=如申請專利範圍第】項之檢查裝置，其中，前述導電 ^二’係由與前述檢查晶片之檢查面大略呈平行的平面 乂成之導電體膜所構成。 述^如申請專利範圍第1項之檢查裝置，其中，以覆蓋前 ^双查晶片的整體表面的方式設置絕緣性膜。 穿·如申請專利範圍第】項之檢查裝置，其中，前述封 ΐ的^有由其表面貫通到裏面的貫穿孔、以及設置於内 外部電=電極，前述導片係介以前述貫穿孔電性連接前述 9·=申請專利範圍第丨至8項中任一項之檢查裝置，其 來於：述檢查晶片，係介以與該導電圖案之間的耦合電容 來仏測施加於前述導電圖案的檢查信號。 革谷 戒之多數感測器要素，係 個像素該感測器要素的影 其係用以保持使以非接觸 曰10.如申j青專利範圍第9項之檢查裝置’其中 曰曰片，具有用以檢測前述檢查 k細一 依據前述檢查信號，形成作為 像資料。 11 · 一種檢查裝置之保持具v六你用以保持 方式檢查電路基板導電圖案之檢杳更乂非接觸 裝置者，其特徵為包含有： -曰曰片予以封敎化的檢查 保持台； 設置於該保持台上面，且載置有前 材；以及 4細置衣置的彈性

   90103533(替換）-1.Ptd 第22頁 548402 申請專利範IS 裝設在前述保持台，且具有用以規 述檢查装置上限位置之爪部的保持構彳φ ^ \彈性材上之前 1 2·如,請專利範圍第1 1項之檢查事。 中，前述爪部，係藉由與前述檢查裝、置之保持具，其 以規定前述之上限位置。 、 〇 一部份相頂接， U•如申請專利範圍第Π或〗2項之於水 其中，具有設置於前述保持台上 欢一裝置之保持具， 設查Γ的電極相接的探二 彈性材並和裝 “ 針，具彈性且可移位 、忒叹於珂述檢查 •如申請專利範圍第丨丨 中，將以非接觸性方式檢查電：其查4裝置之保持具，直 予以封裝化的檢查裳置，：可：=電圖案之檢查晶片 式予以保持。 90103533(替換)-].ptd 第23 頁