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TW413828B - Electron gun provided with a field emission cold cathode and an improved gate structure - Google Patents

Electron gun provided with a field emission cold cathode and an improved gate structure Download PDF

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TW413828B
TW413828B TW085108376A TW85108376A TW413828B TW 413828 B TW413828 B TW 413828B TW 085108376 A TW085108376 A TW 085108376A TW 85108376 A TW85108376 A TW 85108376A TW 413828 B TW413828 B TW 413828B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
gate
cathode
potential
voltage
apex
Prior art date
Application number
TW085108376A
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiko Okamoto
Original Assignee
Nippon Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP19608695A external-priority patent/JP2783202B2/ja
Priority claimed from JP31085395A external-priority patent/JPH09147736A/ja
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Publication of TW413828B publication Critical patent/TW413828B/zh

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    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
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    • HELECTRICITY
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    • H01J2201/30403Field emission cathodes characterised by the emitter shape
    • H01J2201/30407Microengineered point emitters

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  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
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Description

電 加 2 施vg 間壓 之電 1 加 極·施 陰則 與間 壓 K t OC 之 V 1 壓 極電 陰的 與上 3 2 極,極 閘閘 二一 第第 而於 ,加 gl施 定 設 彤 隹 g 鋪 V 自壓 可電 子的 電 3 得極 使閘 點 頂 的 1 極 陰 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 二且 第, 於低 ο 1 力 β τι— 施 來 出 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本貫) 射 發發壓 發 f 黏子電 極 閘 1 第 於 加 施 較 壓 ?& 的 頂電的 的致 00 1 ,極 極低陽 陰減於 形會加 錐度施 自速 c 使 cm 射 為極發 定閘子 設二電 值第制 其經抑
行地閘 在效二 子有第 電時於 的少加 來量施 出數較 射射 V 的蛮 3 使 極而 7 二質 第物 經光 行螢 使擊 為撞 定子 設電 值速 其加 且 , 8 ,極 陽 g ] V 向 壓衝産 電速.7 的加質 3 子檢 極電光 髙 光 螢 生 電 述的 上槍 是子 ,電 的極 示陰 展熱 所具 2 他 圖其 及 具 流 搶所 子 9 電線 的虛 1 ο 極線 陰曲 冷性 射特 發壓 致電 場· 0 ^ ^ 熱¾¾ 這, 表 伽 代L的 與Tfr顯 曲^有 ™是ΐ 性073具 待Μ線 ® Ϊ自S- ^ -®特 流二 電質1 S性1 表馬流 代伽電 極 陰 冷 射 發 致 -I g 場 V 具壓 述.電 上的 表 3 代極 3 1 wft 和二 壓 2 電 V 於1> 定VI 固中 別其 分, 且線 線 虛 實 搶R>T線 的 戈的 2 成 丨1 達 想 的 表 代 第 , 於的 加變 施不 ,持 槍維 子是 電下 的 g V L壓 ?3~ 的 同 不 在 和 電 的vg 13壓 rf 電 定 決 若 流 遵 曲式 性程 特方 壓列 電下 -循 顯 明 有 具 且 9 線 虛 成 表 可 線 曲 性 特 壓 電. - 流 : 電質 要性 想馬 則 ΰ -的
g V a 量 恆 為 ο V 及 中 其 則 時 線 曲 性 待 壓 電 - 流 電 的 示 所 9 線 虛 如 槍 子 Ι^ΕΓ 當 本紙張尺度適用中國國家標準(.CNS ) Α4规格(21〇Χ 297公釐) -訂 413828 A7 B7 五、發明説明(') 發昍背晉 本發明提供一種設有場致發射冷陰極之電子槍,特別 是使電流-電壓特性及閘極所發射之電子束的收斂性質 獲得改進,而具場致發射冷陰極之改良式電子槍蘭極結 構。 通常電子槍設有一尖鋭錐形頂點的陰極,能産生一種電 場濃度使電子自陰極頂點發射。雖然這種陰極亦可稱為 發射器,但我們仍將延用陰極這値名詞。設置一蘭棰, 其在陰極頂點周圍有一開口部位。正電壓施加·於閘極上 使陰極頂點周圍産生夠強的電場而導致電子的發射在 與陰極及閘極相對的另一邊設置陽極,使電子自陰極頂 點發射出而航向陽極。 上述具錐形陰極的電子槍之電流一電壓特性可由下列 代表Fowler Nordheim穿隧電流的方程式給定: (諳先間讀背面之注意事項再填寫本頁) •-"T- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2Ι0Χ297公釐)
413828 A7 B7 五、發明説明(β ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 在陽掻8與陰極1之間施加電壓V a ,並於第一閘極2 與陰極1之間施加電歷V g 1 ,而第二閘極3與陰極1之 間|!J施加電壓V g 2。設定施加於第一閘極2上的電壓V g 1 ,使得電子可自錐形陰極1的頂點發射出來。施加於第 二閘極3的電壓V g 2較施加於第一閘極2的電壓V g 1低, 且其值設定為為使自錐形陰極1的頂點發射出來的電子 在行經第二閘極3速度會減低,致電子發射數量少時有 效地抑制電子發射》施加於陽極8的電壓V a較施加於第 二閘極3的電壓Vg2髙,且其值設定為使行經第二蘭極3 的電子加速衝向陽極8,加速電子撞擊螢光物質7而使 螢光物質7産生螢光。 回頭參閲圖2,虛線9所代表的電流-電壓特性曲線與 代表熱陰極電子槍想達成的伽馬性質之粗實综1Q是平行 的。這表示虛線9所代表的電流-電壓特性曲線具有明潁 的伽馬.性質。實線U、1 2、和1 3代表上逑具場致發射冷 陰極1的電子槍,施加於第二閛極3的電壓Vg2在不同 的電壓Vgl下是維持不變的,且分別固定於電壓VII、V12 、和V13的電流-電壓特性曲線,其中Vll>V12>V13e若 決定電壓Vg2遵循下列方程式,則想要電流-電壓特性曲 線可表成虛線9,且具有明顯的伽馬性質: a (Vsl — Vo)其中α及V。為恆量。 當電子槍如虛線3所示的電流-電壓待性曲線時,則 可在低電流區有效抑制電子發射β反之,當電子槍有像 -31- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -"Γ— 413828 Α7 Β7 五、發明説明(> ) 1 - k 2/Φ )exp[-B^s/2/V] 其中I是發射電流、V是施加於閘極上的電壓,a和b 為常數而#是工作函數。 此外,高品質顯示器需要榇大與棰小亮度的比值大概 是1000。為了得到這麼高的亮度反差,陰極射線管的極 大與極小霉流變化範圍是電漿顯示器以時間共享達高反 差所需極大電流的1 (1 0 0倍。 另一方面,傳統具熱陰極的陰掻射線管在信號電壓與 和發射電流緊密開連的發光翰出之間有伽馬性質的顔像 。伽馬性質可表成下列的方程式: L ^ KEr * 其中L是發光輸出、k和:κ是常數,而£是倍號罨壓。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上所述,場致發射冷陰極之電子搶具有F〇wler Nordheint方程式所代表的電流-電壓特性 故無法藉放 大器對閑極施加影像信號β待別是在低電整的範圍時, Fowler Nordheia的筲流-電®待性與伽馬性質的差異更 是驚人。為了補俊Fowler Nordheiu的電_電^ _肖丨 伽馬性質之間的差異,必需用充霄線輅補足將F〇wler Nordtiein的電流-電饜特性提升到伽馬性質 或達成的 元件時間共享。這有些缺點搔待克服。 此外,電子束會從陰棰頂黏發射出而航ggg。 束在某些分布角度會呈現分散現象。苕分散的角度過大 ,則電子會打在陰極射線管的内壁上而到達陽極。 例如分布角度確定只能落在20到3G度之間β由習用製程 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2I0X297公釐) p η;.413 828 A7 奶_',:,._B7 _ 、發明説明(w) 與陰極1之間則施加電壓V g 2 ^設定施加於第一閘極2 i ·- 上的電壓Vgi,使得電子可自錐形陰極1的頂點發射出 ! 來。施加於第二閘極3的電壓V g 2較施加於第——閘極2 的電壓V g 1低,且其值設定為可減低位在遠處且大部分 •不是來自錐形陰極1的頂點發射的電子速度,致電子 發射數量少時能有效地抑制電子發射。施加於陽極8 的電壓Va較施加於第二閘極3的電壓Vg2高,且其值設 定為使行經第二閘極3的電子加速衝向陽極8 ,加速 電子撞撃螢光物質7而使螢光物質7産生螢光。 回頭參閲圖2,虛線9所代表的電流-電壓特性曲線與 代表熱陰極電子槍想逹成的伽馬性質之粗實線10是平行 的。這表示虛線9所代表的電流-電壓持性曲線具有明 顙的伽馬性質。實線11、1 2、和1 3代表上述具場致發射 冷陰極1的電子槍,施加於第二閘極3的電壓V g 2在不 同的電壓Vgl下是維持不變的,且分別固定於電壓VII、 V12、和V13的電流-電壓特性曲線,其中V11:>V12>V13。 若決定電壓Vg2遵循下列方程式,則想要電流-電壓恃性 曲線可表成虛線9,且具有明顯的伽馬性質 Vg2=a 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
Vs2= a (Vgl - Vo)其中cf及Vo為恆量。 當電子槍如虛線9所示的電流-電壓待性曲線時,則 可在低電流區有效抑制電子發射。反之,當電子槍有像 宵線11、12、或13之一的電流-電壓待性曲線時,則其 電子發射在低電流區未受抑制。也就是説,若施加於第 本紙浪尺度適用中國國家標率(CNS > A4規格(21〇X 297公釐) 413828 A7 _B7__ 五、發明説明ί $ ). 己知可用偏轉電榇或收斂電s來抑制電子束的分散。此 類方法如日本公開的専利刊物第5-34300、5-242794、 5-266806及7-29484號中所掲示的。 在習用製程中偏轉電極或收斂電棰與閘極間需有足夠 空間β因此若以陰槿的行列形式製造褊轉電樯或收斂電 極,便無法使自陰極發射出而落在遴綠匾域内的電子收 斂得夠好。上述問題極待克服。 發明槪述 本發明的目的之一 •是提供一種具場致發射冷陰極及 改良之閘極結構的新形電子搶,使所發射電子之電流-電整特性有明顯的伽馬性質。 *' 本發明還有一锢目的,是用改良之閛極結構使場致發 射冷陰極的新形電子槍的電流-電壓特性有明潁的伽馬 性質。 · 本發明的另一锢Μ的,是提供一種改良的閘極結 構,使具場致發射冷陰棰的新形電子槍由陰掻發射的電 子,其垂直於行進方向之速度與平行於行進方向之速度 的平均比值大概逹成一最小值《 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 (請先閲读背面之注^>項再填窝本頁) -fv. 上述及其他有關本發明的目的、特性和優點可由卞列 説明而彰顯〇 本發明所提供新形電子搶的閛極結構,有箸加了第一 電位的場致發射冷陰極。而閘極結構包栝了下列元件。 第一閛桎在陰極頂點眉圍有第一開口部位。第一閘極上 的第二電位比第一罨位高而使電子自陰棰頂點發射出來 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > Α4規格(210Χ297公釐)
41SB2B 五、發明説明(私) 主要元件之爾照表 A7 B7
經濟部中央標準局舅工消費合作社印裝 1 陰 極 2 第 閘 極 3-1 第 二 閘 極 3 ~ 2 第 三 閘 極 4 基 Η 5 第 一 ψ tiiU m 層 膜 6 第 二 絕 緣 層 膜 7 第 絕 m 層 膜 8 陽 極 9 基 η 11 第 一 直 流 電 源 供 應 器 1 3 第 二 直 流 電 源 供 應 器 14 第 直 流 電 源 供 應 器 15 電 阻 31 第 閘 極 32 第 二 閘 極 33 第 三 閘 極 34 陰 極 35 第 一 絕 緣 層 膜 36 第 二 絕 緣 層 膜 37 第 三 絕 線 層 膜 38 陽 極 4 8 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本育) -裝· -訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 413828 ' A7 B7 五、發明説明(.4 ) 。沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方向舆第一閘棰 隔開處,至少有一周圍具第二開口部位的第二閘極ο第 二閘掻有第三電位,此電位高於第一電位而低於第二電 位以提供抑制電子發射的電流-電壓特性,特別是在低 電流區β 本發明還為電子搶提供了另一傾具第一電位的場致發 射冷陰極的閘極結構。此閘極結構包括了下列元件。第 一閘極'在陰極頂點周圍有第一開口部位》第一閘極 上的第二電位比第一電位高而使電子自陰極頂點發射出 來。圍繞第一閛極而具第二開口部位的第二閘極。第二 閘極是沿垂直電子自陰極頂點發射出之行進方~向與第一 閘極隔開。第二閘極有第三電位,此電位高於第一電位 而低於第二電位以提供抑制電子發射的電流-電壓特性, 待別是在低電流區。 / 本發明之電子槍包括了下列元件《基Η上長有場致發 射冷陰極,而此一場致發射冷陰極具第一電位。第一閘 極是沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方向與基片隔 開。第一閛極在陰搔頂點周圍有第一開口部位。第一 閛極上的第二電位比第一電位高而使電子自陰極頂點發 射出來。沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方向與第 一閘極隔開處,至少有一周圍具第二開口部位的第二閘 極。第二閘極有第三電位,此電位高於第一罨位而低於 第二電位以提供抑制電子發射的電流-電壓待性,特別 是在低電流區。而陽極則沿平行電子自陰極頂黏發射出 本紙張又度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先聞讀背面之注意事項再染寫本頁) > 1Τ4Ν ^^^1 ^^^1 ^i·— ^^^1 ^^^1 m ^ 1 V nn —l·—— f > i ^^^1 HI— rlt4 a 413828 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明( ) 1 之 行 進 方 向 與 第 一 及 第 二 閘 極 隔 開 〇 1 1 本 發 明 還 有 另 一 種 電 子 槍 包 括 了 下 列 元 件 0 基 片 上 長 1 | 有 場 致 發 射 冷 陰 極 » 而 此 場 致 發 射 冷 陰 極 具 第 一 電 位 請 1 1 〇 第 - 閘極是沿平行電子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 先 閲 I J | 讀 1 1 與 基 Μ 隔 開 0 第 一 閘 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 — 開 P 部 位 背 1 之 。 第 — 閘 掻 上 的 第 二 電 位 比 第 —· 電 位 高 而 使 電 子 白 陰 極 注 意 1 I 頂 點 發 射 出 來 〇 第二閘極沿垂 直 電 子 g 陰 極 頂 點 發 射 出 事 項 1 I 再 1 I 之 行 進 方 向 與 第 — 閛 極 隔 開 > 具 第 二 開 口部位的第二閘 填 寫 極 圍 繞 著 第 一 閘 極 0 第 二 閘 極 有 第 三 電 位 » 此 電 位 高 於 本 頁 1 第 一 電 位 而 低 於 第 二 電 位 以 提 供 抑 制 電 子 發 射 的 電 流 - 1 1 電 壓 特 性 9 待 別 是 在 低 電 流 區 0 而 陽 極 則 沿 平 行 電 子 白 1 1 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 與 第 一 及 第 二 閛 極 隔 開 » 使 i ϊ if 電 子 從 陰 極 頂 點 發 射 出 而 航 向 陽 極 〇 1 本 發 明 還 提 供 一 種電子槍的閘極結構 * 其 場 致 發 射 冷 I 陰 槿 具 第 電 位 0 此 閘 棰 結 構 包 括 了 下 列 元 件 Q 第 ,— 閘 1 1 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 開口 部 位 0 第 閘 極 上 的 第 二 1 1 電 位 比 第 一 電 位 高 而 使 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 來 〇 沿 平 々 行 電 子 白 陰 極 頂 黏 發 射 出 之 行 進 方 向 與 第 一 閘 極 隔 開 處 1 t 至 少 有 一 周 圍 具 第 二 開 P 部 位 的 第 二 閘 極 〇 第 二 閘 極 * 1 有 苐 ΖΤ 電 位 , 此 電 位 低 於 第 一 電 位 以 降 低 垂 直 於 電 子 自 .1 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 〇 具 第 zr 開 I 1 P 部 位 的 第 三 閘 極 是 沿 平 行 電 子 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 1 開 〇 第 tr 閘 極 有 較 第 —> 電 位 高 的 第 四 電 位 9 以 加 速 平 行 1 罨 子 行 進 方 向 的 速 度 分 量 * 7 使 得 在 第 閘 棰 的 輔 肋 下 » 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) .413828 A7 __B7__' 五、發明説明(办). 第三閛棰會産生電場而使由陰極發射的電子,其垂直於 行進方向之速度分量與平行於行進方向之速度分量的平 均比值大概達成一最小值》 本發明還有另一種具第一電位之場致發射冷陰極電子 搶的閘極結構。此一閛掻結構包括了下列元件。第一閛 槿在陰極頂點周圍有第一開口部位。第一閘棰上的第二 電位比第一電位高而使電子自陰極頂點發射出來。沿平 行電子自陰搔頂點發射出之行進方向與第一閘極隔開處 ,至少有一周圍具第二開口部位的第二閘極》第二閘 極有第三電位,此電位低於第一電位以降低垂直於電子 自陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量》具第三 開口部位的第三瞄極圍繞著第一闞棰。第三閘極是沿連 直電子行進方向與第一關棰隔開❶第三關極有較第一電 位高的第四電位,以加速平行電子行進方向的速度分量 ,使得在第二閘極的輔肋下,第Η閘極會産生電場而使 由陰極發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平 行於行進方向之速度分量的平均比值大概達成一最小值。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明還有另一種電子槍包括了下列元件。基片上長 有具第一電位的場致發射冷陰捶》第一閘捶在陰極頂點 周圍有第一開口部位。第一閘極上的第二電位比第一罨 位高而使電子自陰極頂點發射出來。沿平行轚子自陰極 頂點發射出之行進方向與第一閛極隔開處,至少有一周 圍具第二開口部位的第二閘極。第二闞極有第三電位, 此電位低於第一電位以降低垂直於電子自陰極頂點發射 -8 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210 X 297公漦) 413828 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明'( 7 ). 出之行進方向的垂 直 速 度 分 量 0 具 第 三 開 口 部 位 的 第 三 閘 極 是 沿 平 行 電 子 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 開 〇 第 閘 極 有 較 第 —* 電 位 高 的 第 四 電 位 * 以 加 速 平 行 電 子 行 進 方 向 的 速 度 分 量 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 第 三 閘 極 會 産 生 電 場 而 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 舆 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 童 的 平 均 th 值 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 陽 極 則 沿 平 行 電 子 白 陰 極 頂 鞋 發 射 出 之 行 進 方 向 與 第 一 第 二 及 第 三 閘 極 隔 開 使 電 子 從 陰 極 頂 點 發 射 而 航 向 陽 極 〇 本 發 明 還 有 A 種 於 基 片 上 長 場 致 發 射 冷 陰 極 的 電 子 槍 0 而 場 致 發 射 冷 陰 極 上 加 了 第 一 電 位 〇 第 —‘ •閘 極 是 沿 平 行 電 子 g 陰極頂點發射出之行進方向與基片 隔 開 ϋ 第 一 閛 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 —* 開 Π 部 位 0 第 —- 閘 極 上 的 第 二 電 位 比 第 一 電 位 高 而 使 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 來 〇 沿 平 行 電 子 白 陰 棰 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 與 第 -r— 閘 極 隔 開 處 » 至 少 有 —* 周圍具第二開 P 部 位 的 第 二 閘 極 〇 第 閘 極 有 第 三 電 位 此 電 位 低 於 第 電 位 以 降 低 垂 直 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 〇 具 第 三 開 π 部 位 的 第 二 閘 極 圍 繞 箸 第 閛 極 〇 第 三 閘 極 是 沿 垂 直 電 子 行 進 方 向 與 第 一 閘 極 隔 開 〇 第三問極有較第 一電 p 位髙的第四電位 » 以 加 速 平 行 電 子 行 進 方 向 的 速 度 分 量 » 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 » 第 三 閘 極 産 生 電 場 而 使 由 陰 槿 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 董 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 9 平 均 比 值 大 概 達 成 最 小 值 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4現格(210X297公釐) ,413828 A7 B7 五、發明説明_(牙). 。陽極則沿平行電子自陰棰頂點發射出之行進方向與第 一、第二及第三閘極隔開,使電子從陰棰頂點發射出而 航向陽極。 圖式簡述 本發明較佳具體實例將參閲下列圖示作詳細說明β 第1圖、係根據本發明第一實例具場致發射冷陰極及 改良之閘槿結構的新形電子槍之截面層次國。 第2圖、係根據本發明具場致發射冷陰極及改良之閘 極結構的新形電子槍之電流-電壓特性_。 第3圖、係根據本發明第二實例具場致發射冷陰極及 改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次·» 第4圖、係根據本發明第三實例具揚致發射冷陰極及 改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次_β 第5.圖、傺根據本發明第四實例具場致發射冷陰極及 改良之閲極結構的新形電子槍之截面層次圖。 第6圔、係根據本發明第五實例具場致發射冷陰極及 改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次_β 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第7圖、僳根據本發明第五實例,自陰極發射之電子 在另一場致發射冷陰極及另一改良之蘭極結構新形電子 槍中傳送的軌跡。 第8圖、偽陰極發射的電子在傳統場致發射冷陰極電 子槍及習用實例中熟知的閛極結構中傳送的軌跡 第9圖、像根據本發明第六實例的具場致發射冷陰極 及改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次圖 — 10-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2丨ΟΧ 297公釐) 413828 A7 B7 五、發明説明i: 9 ) 第10匾、俗根據本發明第七實例的具場致發射冷陰極 及改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次圖。 第11圃、偽根據本發明第八實例的具場致發射冷陰極 及改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次_。 第12圖、傺根據本發明第九實例的具場致發射冷陰極 及改良之閘極結構的新形電子槍之截面層次圔》 發明的詳細説明 本發明所提供的是一種具有加了第一電位之場致發射 冷陰極閘極結構的電子槍。此一閘掻結構包括了下列元 件。第一閘搔在陰極頂點周圍有第一開口部位0第一閛 極上的第二電位比第一電位髙而使電子自陰極*頂點發射 出來。沿平行電子自陰極頂點發射之行進方向與第一閘 極隔開處,至少有一周圍具第二開口部位的第二閘極。 第二閘極上有第三電位,此電位高於第一電位而低於第 二電位以提供抑制電子發射的電流-電壓特性,待別是 在低電流區Ο . 第一和第二電位間的電位差所定義的第一電壓,其大 小隨正比於由第一和第三電位間的電位差所定義的第二 電壓而變化,使得電流-電壓特性有明顯的伽馬性質乂 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第一、第二和第三電位,可替代地決定於陰極髙度、 第一和第二閘極之間沿平行方向的距離、及第一和第二 閘極所含開口部位的値別尺寸等所構成的基底,使得電 流-電壓特性有明顯的伽馬性質β在此例中,第一閘極 開口部位的尺寸較第二閘搔開口部位的尺寸還大。 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 經濟部中央標率局貝工消費合作社印装 A7 _._ B7____ 五、發明説明) 第一和第二閘極之間有一絶線層膜。可替代地第一和 第二閘極之間有一空間。 通常陰極是具尖鋭錐形頂點的陰極。 更有利的是提供了圍繞第一閘極的具第三開口部位的 第三閘極。此一第三閘極是沿垂直於行進方向與第一閘 極隔開。第三閘極有較第一電位高而較第二電位低的第 η 四電位,使得在第二閘極的輔肋下,第三閛極的電流-電壓持性能抑制電子發射,特別是在低電流區》 如上所逑,有較第一電位高而較第二電位低的第三電 位的第二閘極,所提供的電流-電壓特性能抑制電子發 射,特别是在低電流區,通常還提供了明顯的伽馬性質 。第一、第二和第三電位,決定於陰極高度、第一和第 二閘極之間沿平行方向的距離、及第一和第二閘極所含 開口部位的掴別尺寸等所構成的基底,使得電流-電壓 特性像熱陰極一樣具有明顯的伽馬性質。陰極和第二電 極間的電位差通常設成正比於陰極和第一閘極的電位差 。這讓我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到閘極或 發射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉換線 路等其他線路或裝置。這種設備簡化了線路架構及電子 槍的結構(同時還明確地控制了電子槍的驅動。 本發明還提供了具有加了第一電位之場致發射冷陰極 的另一種閘極結構的電子搶。此一閘極結構包括了下列 元件β第一閘極在陰極頂點周圍有第一開α部位。第一 -1 2 - 本紙浪尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) tr- 413828 A7 _B7_^_ 五、發明説明(》_ ) 閘極上的第二電位比第一電位高而使電子自陰極頂點發 射出來。具第二開口部位的第二閘極圍繞著第一閘極, 且第二閘極沿垂直自陰極頂點發射出之電子行進方向與 第一閘極隔開。第二閘極有第三電位,此電位高於第一 電位而低於第二電位以提供抑制電子發射的電流-電壓 待性,特別是在低電流區》 第一和第二電位間的電位差所定義的第一電壓,其大 小随正比於由第一和第三電位間的電位差所定義的第二 電壓而變化,使得電流··電壓特性有顯示的伽馬性質。 第一、第二和第三電位,可替代地決定於陰極高度、 第一和第二電極之間沿垂直方向的距離、及第一和第二 電極所含開口部位昀個別尺寸等所構成的基底,使得電 流-電壓特性有明顯的伽馬性質。在此例中,第一電極 開口部位的尺寸較第二電極開口部位的尺寸還大。 第一和第二閘極之間有一絶綠層膜。可替代地第一和 第二電極之間有一空間^ 通常陰極是具尖鋭錐形頂點的陰極。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 至少還提供了具第三開口部位且沿平行於行進方向與 第一蘭極隔開的第三閘極。第三閘極有較第一電位高而 較第二電位低的第四電位,使得在第二閘極的輔肋下, 第三閘極之電流-電壓特性能抑制電子發射,恃別是在 低電流區。 如上所述,有較第一電位高而較第二電位低的第三電 位的第二閘極,所提供的電流-電壓特性能抑制電子發 射,特別是在低電流區,更好的是提供了明顯的伽馬性 _ 1 3 - 本紙張^度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 29ϋ .413828 A7 B7___ 五、發明説明(>) (請先閲讀臂面之注頃再填寫本頁) 質。第一、第二和第三電位,決定於陰極高度、第一和 第二閛捿之間沿平行方向的距離、及第一和第二閘極所 含開口部位的個別尺寸等所構成的基底,使得霍流-電 壓特性像熱陰極一樣具有明顯的伽馬性質。陰槿和第二 電捶間的電位差通常設成正比於陰極和第一閛極的電位 差。這譲我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到闞搔 或發射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉換 線路等其他線路或裝置。這種設備簡化了線路架構及電 子槍的結構,同時蓮明確地控制了電子槍的驅動。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 本發明還提供一種電子槍其元件如下。基片上長有場 致發射冷陰極,而此一場致發射冷陰搔具第一\k。第 一閘棰是沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方向與基 Η隔開》第一閘極在陰極頂點周圍有第一開口部位。第 一閛槿上的第二電位比第一電位高而使電子自陰極頂點 發射出來》沿平行自陰極頂點發射出之電子行進方向與 第一閘極開處,至少有一個具第二開口部位的第二閘棰 β第二閘極有第三電位,此電位高於第一電位而低於第 二電位以提供抑制電子發射的電流-電壓特性,特別是 在低電流區。陽極則沿平行電子自陰極頂點發射出之行 進方向與第一及第二閘極隔開,使電子從陰搐頂點發射 出而航向陽極。 笫一罨極和基Η之間由一具圍鏡陰極之開口部位 緣層膜所隔開。第一和第二甯極之間則隔著第二絶錄雇 膜。可替代地第一和第二閘棰之間有一空間。 -1 4 -本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210X297公嫠) 413828 A7 B7 經濟部♦中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 第 一 和 第 二 電 位 間 的 電 位 差 所 定 義 的 第 一 電 m 參 其 大 1 1 小 隨 正 tt 於 由 第 一 和 第 二 電 位 間 的 電 位 差 所 定 義 的 第 二 1 I 電 壓 而 變 化 * 使 得 電 流 -電壓特性有明顯的伽馬性質β 請 ί 1 第 一 S 第 二 和 第 三 電 位 * 可 替 代 地 決 定 於 陰 極 高 度 、 先 閱--讀 1 1 第 和 第 二 閘 極 之 間 沿 平 行 方 向 的 距 離 、 及 第 一 和 第 二 背 面· 1 I 之. 1 閘 極 所 含 開 部 位 的 個 別 尺 寸 等 所 構 成 的 基 底 9 使 得 電 注 畫 1 I 流 -踅壓特性有明顯的伽馬性質。 在此例中, 第- -閘極 事 項 1 1 再 開 Ρ 部 位 的 尺 寸 較 第 二 電 棰 開 口 部 位 的 尺 寸 還 大 〇 ό 通 常 陰 極 是 具 尖 銳 錐 形 頂 點 的 陰 m 〇 本 頁 Sw>· 1 I 還 提 供 了 以 第 三 開 口 部 位 圉 嬈 第 - 閘 棰 的 第 三 閘 極 〇 1 1 沿 垂 直 於 行 進 方 向 舆 第 一 閘 極 隔 開 的 第 三 蘭 極 〇 第 三 閘 極 有 fcb 第 電 位 高 而 較 第 二 電 位 低 的 第 四 電 位 t 使 得 在 ί 訂- 第 二 閘 極 的 輔 助 下 , 第 三 閛 極 之 電 流 -電壓特性能抑制 1 電 子 發 射 待 別 是 在 低 電 流 區 0 1 如 上 所 述 有 較 第 一 電 位 高 而 較 第 二 電 位 低 的 第 三 電 1 I 位 的 第 二 電 極 » 所 提 供 的 電 流 -電壓特性能抑制電子發射 1 1 » 特 別 是 在 低 電 流 匾 通 常 還 提 供 了 明 顧 的 伽 馬 性 質 0 ? 第 —* X 第 二 和 第 三 電 位 t 決 定 於 陰 極 高 度 第 1 II 和 第 二 1 電 棰 之 間 沿 平 行 方 向 的 距 離 及 第 和 第 二 閘 極 所 含 開 * * 1 1 口 部 位 的 個 別 尺 寸 等 所 構 成 的 基 底 9 使 得 電 流 -罨壓特 : _ a 1 Ι 性 像 熱 陰 極 —·. 樣 具 有 明 顯 的 伽 馬 性 質 〇 陰 極 和 第 二 雷 槿 1 1 間 的 電 位 差 通 常 設 成 正 th 於 陰 極 和 第 —"* 蘭 極 間 的 電 位 差 1 1 0 這 m 我 們 能 將 具 伽 馬 性 質 的 影 像 信 貼 撕 直 接 加 到 閘 極 或 1 發 射 器 上 9 而 不 必 用 到 像 1 時 5- 間 分 割 控 制 器 或 性 質 轉 換 線 f 1 1 1 1 1 Μ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ).Α4規格(2丨ΟΧ^7公釐) 413828 A7 B7 五、發明説明(对) 路等其他線路或裝置這種設備簡化了線路架構及電子 槍的結構,同時還明確地控制了電子槍的驅勤。 本發明還提供另一種電子槍其元件如下p基片上長有 場致發射冷陰極,而此一場致發射冷陰極具第一電位。 第一閘極晕沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方向與 基Η隔開。第一閘極在陰極頂點周圍有第一開口的部位 β第一閘極上的第二電位比第一電位髙而使電子自陰槿 頂點發射出來。第二閘極沿垂直電子行進方向與第一閘 -極隔開。第二閘極以第二開口的部位圍嬈第一閘極。第 二閘極上有第三電位,此電位高於第一電位而低於第二 電位以提供抑制電子發射的電流-電壓特性,待別是在低 電流區。陽極則沿平行電子自陰極頂點發射出之行進方 向與第一及第二閘極隔開,使電子從陰極頂點發射出而 航向陽極β 第一和第二閘極與基Η之間,是透過具圍繞陰極之開 口部位的絶緣層膜而由一空間分隔開的〇 第一和第二電位間的電位差所定義的第一電壓,其大 小随正比於由第一和第三電位間的電位差所定義的第二 電壓而變化,使得電流-電壓持性有明顯的伽馬性質。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 第一、第二和第三電位,可替代地決定於陰極高度、 第一和第二閘極之間沿平行方向的距離、及第一和第二 閘極所含開口部位的痼別尺寸等所構成的基底,使得電 流-電壓恃性有明顯的伽馬性質。在此例中,第一閛極 開口部位的尺寸較第二閘極開口部位的尺寸還大。 通常陰極是具尖鋭錐形頂點的陰極。 -1 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裂 ,413828 A7 _B7_^_ 五、發明説明(^ ) 至少還提供了一悃具第三開口部位且沿平行於行進方 向與第一間極隔開的第三閘極。第三閘極有比第一電位 高而較第二電位低的第四電位,使得在第二閘極的輔肋 下,第三蘭極之電流··電壓特性能抑制電子發射,特別 是在低電流區。 如上所述,有較第一電位高而較第二電位低的第三電 位的第二閛極,所提_供的電流-電壓特性能抑制電子發 射,特別是在低電流區,通常還提供了明顯的伽馬性質 。第一、第二和第三電位,決定於陰極高度、第一和第 二電極之間沿平行方向的距離、及第一和第二閘極所含 開口部位的個別尺寸等所構成的基底,使得電流-電壓 特性像熱陰極一樣具有明顯的伽馬性質》陰極和第二電 極間的電位差通常設成正比於陰槿和第一閘極間的電位 差。這讓我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到閘極 或發射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉換 線路等其他線路或裝置》這種設備簡化了線路架構及電 子槍的結構,同畤還明確地控制了電子槍的驅動<· 本發明還提供了具有加了第一電位之場致發射冷陰極 的B —種閘極結構的電子槍。此一閘槿結構包括了下列 元件β第一閘極在陰極頂點周圍有第一開口部位。第一 閘極上的第二電位比第一電位高而使電子自陰極頂點發 射出來。沿平行自陰極頂點發射出之電子行進方向與第 一閘極隔開處,至少有一®具第二開口部位的第二閘極 -17- 本紙張Μ適用中國國家標準(CNS ) ( 210Χ297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
If- 413828 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印策 五、發明説明 ( b ) 0 第 二 閘 極 上 的 第 三 電 位 較 第 一 電 位 低 t 以 降 低 垂 直 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 〇 具 第 開 口 部 位 的 第 三 閘 極 是 沿 平 行 電 子 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 開 〇 第 三 閘 極 有 較 第 一 電 位 高 的 第 四 電 位 ί 以 加 速 平 行 於 電 子 行 進 方 向 的 速 度 分 量 » 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 , 第 三 閘 極 iSSe Et 産 生 電 場 而 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 t 其 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 畺 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 比 值 大 概 達 成 一 最 小 值 Ο 第 一 第 二 第 和 第 四 電 位 ί 可 替 代 地 決 定 於 陰 極 高 度 第 一 和 第 二 閘 極 之 間 沿 平 行 方 向 的 相 對 距 離 及 第 一 V 第 二 和 第 二 閘 極 所 含 開 口 部 位 的 個 別 尺 寸 等 所 構 成 的 基 底 ύ 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 9 第 三 閘 極. 産 生 電 場 而 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 * 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 比 值 大 概 達 成 最 小 值 〇 笫 一 閘 棒 開 口 部 位 的 尺 寸 較 第 二 和 第 三 閘 極 開 部 位 的 尺 寸 還 大 4 第 一 和 第 二 電 極 之 間 隔 著 絶 緣 層 膜 » 第 二 和 第 三 閘 極 電 極 之 間 隔 署 絶 線 層 膜 Ο 可 替 代 地 第 一 和 第 二 電 極 之 間 隔 箸 空 間 > 而 第 二 和 第 閘 極 之 間 也 可 以 隔 箸 空 間 〇 通 常 陰 極 是 具 尖 銳 錐 形 頂 點 的 陰 極 Ο 至 少 還 提 供 了 具 第 四 開, η 部 位 且 圍 繞 第 一 閘 極 的 第 四 閘 極 4 是 沿 垂 直 於 行 進 方 向 與 第 一 閘 極 隔 開 〇 第 三 閘 極 有 較 第 一 電 位 高 的 第 五 電 位 9 以 加 速 平 行 於 電 子 白 陰 極 -1 8 ^ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(2I0X297公嫠) 之 注 意
413828 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裂 五、發明説明( \Ύ ) 1 1 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 9 使 得 在 第 二 和 第 二 1 1 閘 極 的 輔 助 下 9 第 四 閘 極 所 産 生 的 電 場 使 由 陰 極 發 射 的 [ 電 子 其 垂 直 於 行 進 方 肉 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 >—S 請 ί 之 速 度 分 量 的 平 均 比 值 大 概 逹 成 -~i 最 小 值 〇 先 閲 i / 1 讀 1 \ 如 上 所 述 第 二 閘 極 上 的 第 二 電 位 較 第 — 電 位 低 9 以 背 面 1 之 降 低 垂 直 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 注 I 意 I 度 分 畺 而第三閘極上的第 四 電 位 則 較 第 一 電 位 高 9 以 事 項 1 I 再 1 I 加 速 平 行 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 f 量 0 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 '1 m 肋 下 第 三 閘 極 電 極 所 産 生 的 本 頁 1 電 場 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 1 1 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 分 量 的 平 均 比 值 大 概 達 成 1 最 小 值 0 其中垂直速度分量意指垂直於由 陰 極 發 射 的 電 I 1 子 行 進 方 向 之 速 度 分 量 9 而 平 行 速 度 分 童 居、 指 平 行 於 由 訂 1 陰 極 發 射 的 電 子 行 進 方 向 之 速 度 分 童 〇 這 白 陰 極 發 射 出 I 來 而 分 布 受 抑 制 的 電 子 束 » 形 成 收 斂 良 好 的 電 子 束 〇 結 1 果 » i 陰 m 發 射 出 來 的 電 子 不 可 能 轉 向 並 到 達 第 一 和 第 1 1 三 閘 極 上 〇 這 確 實 避 免 了 任 何 不 必 要 的 電 極 電 流 〇 Q 若 第 三 閘 極 像 本 發 明 中 具 較 高 電 位 9 而 第 二 閘 極 之 Ί 1 電 位 則 稂 據 本 發 明 是 低 於 陰 極 電 位 9 則 於 陰 極 上 曰 形 成 I 低 於 産 生 電 子 發 射 所 需 電 位 的 等 壓 面 S 結 果 就 不 •iS» 曰 導 致 1 „ 1 任 何 電 子 發 射 然 而 若 第 三 閘 極 如 本 發 明 具較高電位 9 1 1 但 是 第 二 閘 極 之 電 位 不 若 本 發 明 而 是 高 於 陰 掻 電 位 9 則 1 I 白 陰 極 發 射 出 來 的 電 子 會 轉 向 且 可 能 到 達 第 二 m 極 上 ί 1 而 造 成 不 必 要 的 電 極 電 流 〇 ί ! "1 9, 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨OX297公釐) .413828 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明(β) i 1 由 於 上 逑 原 因 » 本 發 明 的 重 要 之 處 在 於 : 使 第 二 閘 極 1 1 上 的 第 .....» 電 位 較 第 一 電 位 低 » 以降低垂直於電子 白 陰 極 1 I 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的垂直速度分量 而 第 三 閘 極 上 1 ·_ 的 第 四 電 位 則 較 第 — 電 位 高 以 加 速 平 行 於 電 子 白 陰 極 先 閱 1 -Μ % \ I 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 使 得 在 第 二 閘 極 的 背 面 1 之 輔 助 下 y 第 三 閘 極 所 産 生 的 電 場 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 t 注 意 1 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 事 項 1 I 再 1 1 分 量 的 平 均 比 值 大 概 逹 成 最 小 值 〇 § 寫 C 本發明還提供了具有加了第 一 電 位 之 場 致 發 射 冷 陰 極 夺 頁 1 的 另 一 種 閘 極 結 構 的 電 子 槍 0 此 * 閘 極 結 構 包 括 了 下 列 1 1 兀 件 0 第 一 閘 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 一 開 P 部 位 0 第 一 1 I ~ 閘 極 上 的 第 二 電 位 比 第 一 電 位 高 而 使 電 子 白 陰 極 頂 點 發 I 射 出 來 Ο 沿 平. 行 i 陰 極 頂 點 發 射 出 之 電 子 行 進 方 向 與 第 if i 一 閘 極 隔 開 處 * 至 少 有 一 個 具 第 二 開 P 部 位 的 第 二 閘 極 1 〇 笫 二 閘 極 上 的 第 三 電 位 較 第 —* 電 位 低 以 降 低 垂 直 於 1 1 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 〇 以 1 第 三 開 口 部 位 圍 繞 第 一 閘 極 的 第 二 閘 極 9 是 沿 直 電 子 〇 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 開 Ο 第 三 閘 極 有 較 第 閘 極 的 第 l 1 .四 電 位 > 以 速 度 平 行 於 陰 極 頂 點 發 射 出 來 電 子 之 行 進 Ο 1 I 方 向 的 速 度 分 量 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 肋 下 9 第 三 閘 極 Γ • 1 曰 産 生 電 場 而 使 得 由 陰 極 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 1 1 .向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 fch 值 1 I 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 1 1 第 一 、 第 二 第 二 和 第 四 電 位 > 可 決 定 於 陰 極 高 度 1 1 -2 0 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用t國國家標準(CNS > A4規格(2[0X297公釐) 4138S8 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明(β) 第 和 第 二 閘 極 之 間 沿 平 行 方 向 的 距 離 、 第 一 和 第 三 電 極 之 間 沿 垂 直 方 向 的 距 離 及 第 一 S 第 二 和 第 三 閛 極 所 含 開 Ρ 部 位 的 嫡 別 尺 寸 等 所 構 成 的 基 底 ί 使 得 在 第 二 閘 掻 的 輔 肋 下 > 第 三 閘 極 會 産 生 電 場 而 使 得 由 陰 極 發 射 的 電 子 » 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 bb 值 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 在 此 例 中 S 第 一 閘 極 開 P 部 位 的 尺 寸 較 為 第 二 閘 極 開 η 部 位 的 尺 寸 還 大 0 第 一 和 第 二 電 極 之 間 隔 m 絶 綠 層 膜 * 可 替 代 地 第 和 第 二 電 極 之 間 隔 箸 空 間 0 可 替 代 地 第 二 和 第 閘 極 之 間 隔 替 空 間 0 通 常 陰 極 是 具 尖 鋭 錐 形 頂 點 的 陰 極 0 還 提 供 了 具 第 四 開 P 部 位 的 第 四 閘 極 電 極 * 是 沿 垂 直 於 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 開 0 第 四 閘 極 有 較 第 一 電 位 高 的 第 五 電 位 » 以 加 速 平 行 於 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 r 使 得 在 第 二 和 第 閛 極 的 輔 肋 下 t 第 四 閛 極 所 産 生 的 電 場 使 得 由 陰 極 發 射 的 電 子 » 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 tb 值 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 如 上 所 逑 9 第 二 閘 極 上 的 第 三 電 位 較 第 一 電 位 低 9 以 ·** . 降 低 垂 直 於 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 而 第 三 閘 極 上 的 第 四 電 位 則 第 一 電 位 高 以 加 速 平 行 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 〇 使 得 在 第 閛 極 的 輔 助 -2 下 1 - t 第三閘搔所産生的電場使 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS )八4規格(2丨0X297公釐) 413828 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 (〆) 由 陰 極 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 fcb 值 大 概 逹 成 —— 最 小 值 〇 其 中 垂 直 速 度 分 量 思 指 垂 直 於 由 陰 極 發 射 的 電 子 行 進 方 向 之 k 度 分 童 > .· 而 平 行 速 度 分 量 意 指 平 行 於 由 陰 極 發 射 的 電 子 行 進 方向 之 速 度 分 量 〇 這 白 陰 極 發 射 出 來 而 分 布 受 抑 制 的 電 子 耒 9 形 成 收 斂 良 好 的 電 子 束 〇 結 果 9 白 陰 極 發 射 出 來 的 電 子 不 可 能 轉 向 並 到 達 第 二 和 第 三 .閘 極 上 0 這 確 實 避 免 了 任 何 不 必 要 的 電 極 電 流 〇 若 第 三 閘 極 不 像 本 發 明 中 具 較 高 電 位 » 而 第 二 閘 極 之 電 位 則 根 據 本 發 明 是 低 於 陰 極 電 位 9 則 於 陰 極 上 會 形 成 低 於 産 生 電 子 發 射 所 需 電 位 的 等 壓 面 * 結 果 就 不 曰 導 致 任 何 電 子 發 〇 然 而 若 第 三 閘 極 如 本 發 明 具 有 較 高 萌 % 位, 但 是 第 二 閘 極 之 電 位 不 若 本 發 明 而 是 高 於 陰 極 電 位 > 則 白 陰 極 發 射 出 來 的 電 子 轉 向 且 可 能 到 達 第 二 閘 極 上 9 而 造 成 不 必 要 的 電 極 電 流 〇 由 於 上 述 原 因 本 發 明 的 重 要 之 處 在 於 使 第 二 閘 極 上 的 第 電 位 較 第 一 電 位 低 t 以 降 低 垂 直 於 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 而 第 三 閘 極 上 的 第 四 電 位 則 較 第 一 電 位 高 以 加 速 平 行 於 電 子 i 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 〇 使 得 在 第 二 蘭 广 極 的 輔 助 下 第 —* 閘 極 所 産 生 的 電 場 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 速 度 分 量 的 平 均 fcb 值 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 本 發 明 還 提 供 了 具 有 加 了 第 電 位 之 場 致 發 射 冷 陰 極 ™ 2 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) 413828 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明'(y ) 的 另 種 閘 極 結 構 的 電 子 槍 0 基 片 上 長 有 場 致 發 射 冷 陰. 極 〇 而 此 一 場 致 發 射 冷 陰 極 具 第 一 電 位 〇 第 一 閘 極 是 沿 平 行 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 電 子 行 進 方 向 與 基 片 隔 開 〇 第 —* 閘 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 一 開 □ 部 位 分 C 第 一 閘 極 上 的 第 二 電 位 比 第 一 電 位 髙 而 使 電 子 陰 極 頂 點 發 射 出 來 0 沿 平 行 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 電 子 行 進 方 向 與 第 一 閘 極 隔 開 處 至 少 有 一 個 具 第 二 開 η 部 位 的 第 二 閘 極 〇 第 二 閘 極 上 的 第 三 電 位 較 第 一 電 位 低 » 以 降 低 垂 直 於 電 子 . 陰 極 頂 點 發 射 出 之 V —· 仃 進 方 向 的 直 速 度 分 量 〇 具 第 三 開 P 部 位 的 第 三 閘 極 ί 是 沿 平 行 電 子 行 進 方 向 與 第 二 閘 極 隔 開 0 第 三 閘 極 電 極 有 較 第 一 電 位 高 的 第 四 電 η * 以 加 速 平 行 於 白 陰 極 頂 點 發 射 出 來 電 子 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 参 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 » 第 三 閘 極 會 産 生 電 場 而 使 得 由 陰 極 發 射 的 電 子 » 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 童 的 平 均 比 值 大 概 達 成 一 最 小 值 〇 pa 陽 極 則 沿 平 行 電 子 自陰極頂黏發射出之行進方向 與 第 、 第 二 及 第 三 閘 極 隔 開 9 使 電 子 從 陰 極 頂 點 發 射 出 而 航 向 陽 槿 〇 第 一 第 二 第 二 和 笫 四 電 位 9 可 決 定 於 陰 搔 高 度 * 9 第 一 、 第 一 和 第 二 閘 極 之 間 沿 平 行 方 向 的 距 離 及 第 一 ·', t 第 二 和 第 三 閘 極 所 含 開 Ρ 部 位 的 艏 別 尺 寸 等 所 構 成 的 基 底 〇 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 肋 下 » 第 三 閘 極 會 産 生 電 場 而 使 得 由 陰 m 發 射 的 電 子 S 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 bb 值 大 概 達 成 一 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 413828
A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明(W) 最 小 值 〇 在 此 例 中 » 第 一 閛 槿 開 口 部 位 的 尺 寸 較 第 二 和 第 三 閘 極 開 P 部 位 的 尺 寸 還 大 〇 第 一 和 第 二 電 極 之 間 隔 箸 绝 «I1U 緣 層 部 9 第 一 和 第 二 閘 極 之 間 也 隔 箸 絶 線 層 膜 P 可 替 代 地 第 一 和 第 二 電 極 之 間 隔 箸 空 間 第 二 和 第 三 閘 極 之 間 也 可 以 隔 著 空 間 0 通 常 陰 極 是 具 尖 鋭 錐 形 頂 點 的 陰 極 0 還 提 供 了 沿 平 行 於 行 進 方 向 與 基 Η隔開的第四閘極 0 第 四 閘 極 以 第 四 開 P 部 位 圍 繞 第 一 閘 極 〇 第 四 閘 極 沿 垂 直 行 進 方 向 與 第 一 閘 極 隔 開 Ο 第 四 閘 極 有 較 第 一 電 位 高 的 五 電 位 9 以 進 步 加 速 平 行 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 » 使 得 在 第 二 和 第 二 閘 極 的 輔 助 下 9 第 四 閘 極 所 産 生 的 電 場 由 陰 極 發 射 的 電 子 ί 其 垂 直 於行進方向之速度分量與平行於行進方向之速度分量的 平 均 bb 值 大 槪 達 成 一 最 小 值 Ο 如 上 所 述 9 第 二 閘極上的第三電位較第 一 電 位 低 9 以 降 低 垂 直 於 電 子 白 m 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 童 而 第 三 閘 極 上 的 第 四 電 位 則 較 第 «L 電 位 高 9 以 加 速 平 行 於 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 平 行 方 向 的 速 度 分 量 Ο 使 得 在 第 二 閘 極 的 輔 助 下 ί 第 二 閘 極 電 極 所 産 生 的 電 場 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 * 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 ί 量 與 平 行 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 的 平 均 bb 值 大 概 逹 成 一 最 小 值 〇 其 中 垂 直 速 度 分 量 意 指 垂 直 於 由 陰 極 發 射 的 電 子 行 進 方 向 之 速 度 分 量 9 而 平 行 速 度 分 量 意 指 平 行 於 由 陰 極 發 射 的 電 子 行 進 方 向 之 速 度 分 量 〇 這 白 陰 極 發 玢 出 -2 4- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公漦) 413828 A7 B7 經濟部中央標率局貝工消費合作社印製 五、發明説明(Μ) 1 1 來 而 分 布 受 抑 制 的 電 子 束 9 形 成 收 斂 良 好 的 電 子 束 〇 結 1 1 果 % 自 陰 極 發 射 出 來 的 電 子 不 可 能 轉 向 並 到 達 第 二 和 第 1 I 三 閘 極 上 0 這 確 實 避 免 了 任 何 不 必 要 的 電 極 電 流 〇 ^S 請 1 若 第 三 閘 極 不 像 本 發 明 中 具 較 高 電 位 * . 而 第 二 閘 極 之 先 閲 1 讀 1 I 電 位 則 根 據 本 發 明 是 低 於 陰 極 電 位 9 則 於 陰 極 上 形 成 背 1 低 於 産 生 電 子 發 射 所 需 電 位 的 等 壓 面 9 結 果 就 不 會 導 致 注 | 意 I 任 何 電 子 發 射 〇 然 而 若 第 二 閘 極 如 本 發 明 具 較 高 電 位 > 事 項 1 I 再 1 I 但 疋 第 一 閘 極 之 電 位 不 若 本 發 明 而 是 高 於 陰 極 電 位 9 則 1 (κ 白 陰 極 發 射 出 來 的 電 子 轉 向 且 可 能 到 達 第 二 閘 極 上 本 頁 1 而 造 成 不 必 要 的 電 極 電 流 0 1 1 由 於 上 述 原 因 9 本 發 明 的 重 要 之 處 在 於 使 ’第 二 閘 極 1 上 的 第 rr 電 位 較 第 電 位 低 以降低垂直於電子 白 陰 1- 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 垂 直 速 度 分 量 而 第 三 閘 ΐΓ 1 極 上 的 第 四 電 位 則 較 第 一 電 位 高 > 以 加 速 平 行 於 電 子 自 陰 極 頂 點 發 射 出 之 行 進 方 向 的 速 度 分 量 〇 使 得 在 第 二 閘 ί 1 極 的 輔 肋 下 * 第 三 閘 極 電 極 所 産 生 的 電 場 使 由 陰 極 發 射 1 的 電 子 其 垂 直 於 行 進 方 向 之 速 度 分 量 與 行 於 行 進 方 向 Q 之 速 度 分 量 的 平 均 tb 值 大 槪 達 成 最 小 值 〇 1 i 本 發 明 還 提 供 了 另 一 種 電 子 槍 包 括 了 下 列 兀 件 〇 此 一 e i j 閘 極 結 構 包 括 了 下 列 元 件 0 基 片 上 長 有 場 致 發 射 冷 陰 極 1 J > 而 此 一 場 致 發 射 冷 陰 極 具 第 電 位 Ο 第 一 閘 極 是 沿 平 1 1 行 白 陰 極 頂 點 發 射 出 之 電 子 行 進 方 向 與 基 Η 隔 開 〇 第 一 1 I 閘 極 在 陰 極 頂 點 周 圍 有 第 開 P 部 位 〇 第 一 閘 極 上 的 第 1 二 電 位 fcb 第 一 電位高而使電子自 陰 極 頂 點 發 射 出 來 〇 沿 1 1 "2 5- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ,413828 A7 B7 五、發明説明(对) 平行自陰極頂點發射出之電子行進方尚與第一閛極隔開 處,至少有一個具第二開口部位的第二閘槿β第二閘極 上的第三電位較第一電位低,以降低垂直於電子自陰極 頂點發射出之行進方向的垂直速度分量。以第三開口部 位圍繞第一閘極的第三閘極,是沿垂直電子行進方向與 第一閘極隔開。第三閘極有較第一電位高的第四電位, 以加速平行於自陰極頂點發射出來電子之行進方向的速 度分量,使得在第二閘極的輔肋下,第三閘極會産生電 場而使得由陰極發射的電子,其垂直於行進方向之速度 分量與平行於行進方向之速度分量的平均比值大概達成 一最小值β陽極則沿平行電子自陰極頂點發射出之行進 方向與第一、第二及第三閘極隔開,使電子從陰極頂黯 發射出而航向陽極。 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 (請先闖讀背面之注意事項再填寫本頁) 第一、第二、第三和第四電位,可決定於陰極高度、 第一和第二電極之間沿平行方向的距離、第一和第三電 極之間沿垂直方向的距離、及第一、第二和第Η閘極所 含開口部位的個別尺寸等所構成的基底,使得在第二閘 極的輔助下,第三閘極會産生電場而使得由陰極發射的 電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行進方向 之速度分量的平均比值大概逹成一最小值。在此例中, 第一閘極開口部位的尺寸較第二閘極電極開口部位的尺 寸還大。 第一和第二電極之間隔箸絶線層膜,可替代地第一和 第二電極之間隔著空間。可替代地第二和第三閘極之間 -2 6-本紙張尺度適用中國國家標準((:灿)八4见格(210乂297公釐) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 -〜_ B7__ 五、.發明説明ί: 隔著空間, 通常陰極蹇具尖銳錐形頂點的陰極。 遼提供了具第四開口部位的第四閘搔,是沿平行於行 it方向與第二閛極隔開<> 第四閘極有較第一轚位高的第 S電位’以加速平行於電子自陰極頂點發射出之行進方 向的速度分鸶,使得在第二和第三閘極的輔助下,第四 蘭極所産生的電場使得由陰極發射的電子,其垂直於行 ϋ方向之速度分量與平行於行進方向之速度分量的平均 比值大概達成一最小值。 如上所述,第二閘槿上的第三電位較第一電位低,以 降低垂直於電子自陰極頂點發射出之行進方向~的垂直速 度分量;而第三閘極上的第四電位則較第—電位高,以 加速平行於電子自陰極頂點發射出之:行進方向的速度分 量〇使得在第二閛棰的輔助下,第三閘極電槿所産生的 電場使由陰極發射的電子,其垂直於行進方向之速度分 量與平行於行進方向之速度分量的平均比值大概達成一 最小值。其中垂直速度分量意指垂直於由陰槿發射的電 子行進方向之速度分量,而平行速度分量意指平行於由 陰極發射的電子行進方向之速度分量。這自陰棰發射出 來而分布受抑制的電子束,形成收斂良好的電子束》結 果,自陰極發射出來的電子不可能轉向並到速第二和第 三閘極上。這確實避免了任何不必要的電搔電流。 若第三閘極不像本發明中具較髙電位,而第5蘭極之 罨位則粮據本發明是低於陰電位,則於陰極上會形成低 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -i. 明 説明發 、 五 8 £ 8 3 1 4 B7 面本 壓如 等極 的.閘 位三 電第 需若 所而 射然 發 〇 子射 電發 生子 産電 於何 是 而 明 發 本 若 不 位 電 之 極二 第 是 發高 任但 致 -導位 會電 不高 就較 果具 結明 自 HU 貝 J1 電 極 陰 於 而 上 極 閘二 第 達 到 few 可 且 向 轉。 會流 子電 電極 的電 來的 出要 射ig 發不 極成 陰造 極自閘 閘子三 二電第 第於而 使直; :垂量 於低分 在降度 處以速 之 ,真 要低垂 重位的 的電向 明 一 方 發第進 本較行 ,位之 因電出 原三射 述第發 上的點 於上頂 由極極 電陰 自閘 子二 電第 於在 行得 平使 」泛| 逋 〇 加量 以分 ,度 高速 位的 電向 一 方 第進 較行 則之 位出 身 四發 第點 的頂 上極 極陰 電之 的向 射方 發進 極行 陰於 由行 使平 場與 電量 的分 生度 産速 所之 極向 閘方 三進 第行 , 於 下直 助垂 輔其 的 , 極子 值· 小 最1 成 達 概 大 值 比 均 平. 的 量例 分實 度考 速參 圖 照U 參極 將陰 1 的 例點 實頂 的形 發銳 本尖 據具 根長 . 上 Η 基 在 明 説 以 加 基 在 長 5 膜 層 緣 絶1 第 ®第® 狀罾製 環1。靥 具極金 。陰 0 1 的小 極形度 陰錐高 嬈繞的 圍圔 1 層隙極 間鏠陰 空以形 以一〇 錐 位膜較 —^1 ^ 部層度 口緣厚 開絶,的 其 一 5 且第膜 ,的層 上位緣 4 部絶 片口 一 (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印装 第 在Ιο 長極 2 陰 極的 閘形 一 錐 第撓 膜 層 緣 絶 上 之 圍 位 部 口 開 其 且 膜 層 緣 絶二 第 極 閘1 第 在 長 上 極 閘二 第 使 上 之 6 Ο 膜離 層隔 緣性 絶電 二成 第形 在間 長之 則 2 3 極 極閘 閘一 二第 第與 而 3 壓 電 Ρ 力 施 間 7 之 質 1 物 極 光·。陰 螢外與 和之 βο 8 離極 極距陽 陽的在 大 當 相 3 極 蘭二 第 距 於 設 則 合 組 的 極 閘1 第 於 並 --.2-S -- 本紙張尺度適用中國國家榇準(CNS ) A4规格(2IOX297公釐)
電 加 2 施vg 間壓 之電 1 加 極·施 陰則 與間 壓 K t OC 之 V 1 壓 極電 陰的 與上 3 2 極,極 閘閘 二一 第第 而於 ,加 gl施 定 設 彤 隹 g 鋪 V 自壓 可電 子的 電 3 得極 使閘 點 頂 的 1 極 陰 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 二且 第, 於低 ο 1 力 β τι— 施 來 出 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本貫) 射 發發壓 發 f 黏子電 極 閘 1 第 於 加 施 較 壓 ?& 的 頂電的 的致 00 1 ,極 極低陽 陰減於 形會加 錐度施 自速 c 使 cm 射 為極發 定閘子 設二電 值第制 其經抑
行地閘 在效二 子有第 電時於 的少加 來量施 出數較 射射 V 的蛮 3 使 極而 7 二質 第物 經光 行螢 使擊 為撞 定子 設電 值速 其加 且 , 8 ,極 陽 g ] V 向 壓衝産 電速.7 的加質 3 子檢 極電光 髙 光 螢 生 電 述的 上槍 是子 ,電 的極 示陰 展熱 所具 2 他 圖其 及 具 流 搶所 子 9 電線 的虛 1 ο 極線 陰曲 冷性 射特 發壓 致電 場· 0 ^ ^ 熱¾¾ 這, 表 伽 代L的 與Tfr顯 曲^有 ™是ΐ 性073具 待Μ線 ® Ϊ自S- ^ -®特 流二 電質1 S性1 表馬流 代伽電 極 陰 冷 射 發 致 -I g 場 V 具壓 述.電 上的 表 3 代極 3 1 wft 和二 壓 2 電 V 於1> 定VI 固中 別其 分, 且線 線 虛 實 搶R>T線 的 戈的 2 成 丨1 達 想 的 表 代 第 , 於的 加變 施不 ,持 槍維 子是 電下 的 g V L壓 ?3~ 的 同 不 在 和 電 的vg 13壓 rf 電 定 決 若 流 遵 曲式 性程 特方 壓列 電下 -循 顯 明 有 具 且 9 線 虛 成 表 可 線 曲 性 特 壓 電. - 流 : 電質 要性 想馬 則 ΰ -的
g V a 量 恆 為 ο V 及 中 其 則 時 線 曲 性 待 壓 電 - 流 電 的 示 所 9 線 虛 如 槍 子 Ι^ΕΓ 當 本紙張尺度適用中國國家標準(.CNS ) Α4规格(21〇Χ 297公釐) -訂 413828 A7 B7
五、發明説明(>M 可在低電流區有效抑制電子發射<»反之,當電子槍有像 實線11、12、或13之一的電流-電壓特性曲線時,則其電 子發射在低電流區未受抑制。也就是説,若施加於第二 閘極3的電壓Vg2遵循上述方程式時,則該電子槍的電 流-電壓特性曲線就有明顯的伽馬性質。 如上所述,第二閘極3上的第三電位Vg2,是比陰_ 1的電位高但又比第一閘極的電位低。這提供了可在低 電流區有效抑制電子發射的電流-電壓特性曲線,且通 常會有明顯的伽馬性質。第二閘極3與陰極.1之間的電 壓設定通常是正比於陰極1與第一閘極2之間的電壓。 這讓我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到閘極或發 射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉換線路 等其他線路或裝置。這種設備簡化了線路架構及電子槍 的結構,同時還明確地控制了電子槍驅動。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明的實例2將參照圖3加以說明。在基片4 上長具尖銳錐形頂點的陰極1。第一絶緣層膜5.長在基 Η 4上,且其開口部位以空間層圍繞陰極1。具環狀開 口部位的第一絶線層膜5以縫隙圍繞錐形的陰極1。第 一絶緣層膜5的厚度較錐形陰極1的高度小。金屬製的 第一閘極2長在第一絶緣層膜5之上,且其開口部位圍 繞錐形的陰極1。再成長第二閘極3使與第一閘極2隔 開,且其間達成電性隔離。 陽極8和螢光物質7的组合則設於距第二閘極3相當 大的距離之外。 "SO*" 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2H)X297公釐)
413828 A7 B7 五、發明説明(β ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 在陽掻8與陰極1之間施加電壓V a ,並於第一閘極2 與陰極1之間施加電歷V g 1 ,而第二閘極3與陰極1之 間|!J施加電壓V g 2。設定施加於第一閘極2上的電壓V g 1 ,使得電子可自錐形陰極1的頂點發射出來。施加於第 二閘極3的電壓V g 2較施加於第一閘極2的電壓V g 1低, 且其值設定為為使自錐形陰極1的頂點發射出來的電子 在行經第二閘極3速度會減低,致電子發射數量少時有 效地抑制電子發射》施加於陽極8的電壓V a較施加於第 二閘極3的電壓Vg2髙,且其值設定為使行經第二蘭極3 的電子加速衝向陽極8,加速電子撞擊螢光物質7而使 螢光物質7産生螢光。 回頭參閲圖2,虛線9所代表的電流-電壓特性曲線與 代表熱陰極電子槍想達成的伽馬性質之粗實综1Q是平行 的。這表示虛線9所代表的電流-電壓特性曲線具有明潁 的伽馬.性質。實線U、1 2、和1 3代表上逑具場致發射冷 陰極1的電子槍,施加於第二閛極3的電壓Vg2在不同 的電壓Vgl下是維持不變的,且分別固定於電壓VII、V12 、和V13的電流-電壓特性曲線,其中Vll>V12>V13e若 決定電壓Vg2遵循下列方程式,則想要電流-電壓特性曲 線可表成虛線9,且具有明顯的伽馬性質: a (Vsl — Vo)其中α及V。為恆量。 當電子槍如虛線3所示的電流-電壓待性曲線時,則 可在低電流區有效抑制電子發射β反之,當電子槍有像 -31- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -"Γ— 413828 A7 B7 五、發明説明(V ) 實線11、12、或13之一的電流-電壓特性曲線時,則其 電子發射在低電流區未受抑制。也就是說,若施加於第 二閛極3的電壓Vg2遵循上述方程式時,則該電子槍的電 流-電壓特性曲線就有明顯的伽馬性質。 如上所述,第二閘極3上的第三電位Vg2,是比陰極1 的電位高但又比第一閘極的電位低β這提供了可有效抑 制電子發射的電流-電歷特性曲線,特別是荏低電流區 ;且通常會有明顯的伽馬性質。第二閘極3與陰極1之 間的電壓設定通常是正比於陰極1與第一閘極2之間的 電壓。這譲我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到閘 極或發射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉 換線銘等其他線路或裝置。這種設備簡化了線路架構友 電子槍的結構,同時還明確地控制了電子搶的驅動。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 根據本發明的實例3將參照圖4加以說明。在基Η4 上長具尖鋭錐形頂點的陰極第一絶緣層膜5長在基 Η 4上,且其開口部位以空間層圍繞陰極1 β具環狀開 口部位的第一絶緣層膜5以縫隙圍繞錐形的陰極1。第 一絶綠層膜5的厚度較錐形陰極1的高度小。金靥製的 第一閘極2長在部分的第一絶緣層膜5上,.且其開口部 位圍繞錐形的陰極U再成長以開口部位圍嬈於第一絶 緣層膜5周圍部分的第二閘極3,使第二閛極電極3與 1 . 第一閘極2之間由空間層隔開。 陽極8和螢光物質7的組合則設於距第二閘極3相當 大的距離之外。在陽極8與陰極1之間施加電壓V a,並 於第一閘極2與陰極1之間施加電壓Vgl,而第二閘極3 -32-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) p η;.413 828 A7 奶_',:,._B7 _ 、發明説明(w) 與陰極1之間則施加電壓V g 2 ^設定施加於第一閘極2 i ·- 上的電壓Vgi,使得電子可自錐形陰極1的頂點發射出 ! 來。施加於第二閘極3的電壓V g 2較施加於第——閘極2 的電壓V g 1低,且其值設定為可減低位在遠處且大部分 •不是來自錐形陰極1的頂點發射的電子速度,致電子 發射數量少時能有效地抑制電子發射。施加於陽極8 的電壓Va較施加於第二閘極3的電壓Vg2高,且其值設 定為使行經第二閘極3的電子加速衝向陽極8 ,加速 電子撞撃螢光物質7而使螢光物質7産生螢光。 回頭參閲圖2,虛線9所代表的電流-電壓特性曲線與 代表熱陰極電子槍想逹成的伽馬性質之粗實線10是平行 的。這表示虛線9所代表的電流-電壓持性曲線具有明 顙的伽馬性質。實線11、1 2、和1 3代表上述具場致發射 冷陰極1的電子槍,施加於第二閘極3的電壓V g 2在不 同的電壓Vgl下是維持不變的,且分別固定於電壓VII、 V12、和V13的電流-電壓特性曲線,其中V11:>V12>V13。 若決定電壓Vg2遵循下列方程式,則想要電流-電壓恃性 曲線可表成虛線9,且具有明顯的伽馬性質 Vg2=a 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
Vs2= a (Vgl - Vo)其中cf及Vo為恆量。 當電子槍如虛線9所示的電流-電壓待性曲線時,則 可在低電流區有效抑制電子發射。反之,當電子槍有像 宵線11、12、或13之一的電流-電壓待性曲線時,則其 電子發射在低電流區未受抑制。也就是説,若施加於第 本紙浪尺度適用中國國家標率(CNS > A4規格(21〇X 297公釐) 413828 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 Α7 Β7 五、發明説明(0) 二閘極3的電壓Vg2遵循上逑方程式時,則該電子槍的 電流-電壓特性曲線就有明顯的伽馬性質β 如上所迷,第二閘極3上的第三電位Vg2,是比陰極1 的電位高但又比第一閘極2的電位低。這提供了可有效抑 制電子發射的電流-電壓特性曲線,特別是在低電流區; 且通常會有明顯的伽馬性質。第二閘極3與陰極1之間 的電壓設定通常是主比於陰.極1與第一閘極2之間的電 壓《這譲我們能將具伽馬性質的影像信號直接加到閘極 或發射器上,而不必用到像時間分割控制器或性質轉換 線路等其他線路或裝置。這種設備簡化了線路架構及電 子槍的結構,同時還明確地控制了電子槍的驅動。 根據本發明的實例4將參照圖5加以說明。在基片4 上長具尖鋭錐形頂點的陰極U第一絶緣層膜5長在基 Μ 4上,旦其開口部位以空間層圍繞陰極1。具環狀開 口部位的第一絶緣層膜5以縫隙圍繞錐形的陰極1。第 一絶緣層膜5的厚度較錐形陰極1的高度小 金屬製的 第一閘槿2長在部分的第一絶緣層膜5上,且其開口部 位圍繞錐形的陰極1。再成長第二閘極3 - 1使與第一閘極 2隔開,且其間逹成電性隔離。在第一絶縁層膜5的周 圍部分成長且開口部位的第三閘極3 - 2,使第三閘極3 - 2 的開口部位與第一閘極2之間由空間層隔開。 陽極8和螢光物質7的組合則設於距第二閛極3 - 1相 當大的距離之外。 在陽極8與陰極1之間施加電壓Va,並於第一閘極2 -34 - 本紙張Λ度適用中國國家標準(CNS ) A4現格(2丨0X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) -訂 ΛΡ· 413828 Α7 Β7 五、發明説明(ο ) ~~ (請先閲讀背面之注$項再填寫本買) 舆陰極1之間施加甯踺Vgl,而第二閘極電極3與陰槿工 之間則施加電壓Vg2。設定施加於第一閘極2上的電壓Vgl ,使得電子可自錐形陰極1的頂點發射出來。施加於第 二閘極3-1的電壓Vg2較施加於第一閘極2的電壓低, 且其值設定為為使自錐形陰極1的頂點發射出來的電子 在行經第一開極3速度會减低,致電子發射數量少時能有, '效地抑制電子發射。施加於於第二蘭極3-2的電壓Vg3較 施加於第一閛極2的電整^81低,且其值設定為使自錐 形陰棰i㈣點發射出來的電子在行經第二蘭極Η速 度會減低,致電子發射數童少時能有效地抑制電子發射 。施加於陽極8的電驗ν&較施加於第二和第三·間極3_ι 和3-2的電睡Vg2和Vg3高,且其值設定為使經第二間極. 3的電子加速衝向陽極8,加速電子撞擊螢光物質7而 使螢光物質7産生螢光。 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 @頭參閲圖2,處[線9所代表的電流電壓特性曲線與 代表熱陰極電子槍想逵成的伽馬性質之粗實線是平行 的。遣表7F虛線9所代表的電流-電壓待性曲線具有明顯 的伽馬性質。實線11、12、和13代表上述具場致發射冷 陰接1的電子搶,施加於第二閘極3_1和3_2的電壓Vg2 和Vg3在不闻的電JEVgl下是維持不變的且分別固定於 V12、和V13的電流_電壓持性曲線,其中vn> V12>V13e若決定電壓▽82和^3遵循下列方程式,則辉 要電流-電歷特性曲線可表成虛線9·且具有明顯的伽馬 性質: -35 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 413828 a? ^ B7 五、發明説明(料)
Vg2= a (Vgl = Voff}且 Vg3=泠(Vgi = v〇ff) 其中a,彡是常數而Voff是電子發射消失的臨界電壓。 當電子槍如虛線3所示的電流-電壓待性曲線時,則 可在低電流區有效抑制電子發射β反之,當電子搶有像 實線11、12、或13之一的電流-電壓特性曲線時,則其 電子發射在低電流匾未受抑制。也就是說,若施加於第 二閘極3的電壓Vg2和Vg3遵循上逑方程式時,則該電子 槍電流-電壓待性曲線就有明顯的伽馬性質β 如上所述,第二閘極3-1和3-2上的第三電位Vg2和Vg3 ,是比陰極1的電位高但又比第一閘極2的電位低。這提 供了可有效抑制電子發射的電流-電壓特性曲 是在低電流區;且通常會有明顯的伽馬性質。第二 3 - 1和3 - 2與陰極1之間的電壓設定通常是正比於陰棰L 與第一蘭極2之間的電壓β這讓我們能將具伽馬性質& 影像信號直接加到閘極或發射器上,而不必用到像時冑 分割控制器或性質轉換線路等其他線路或裝置<* .這種& 備簡化了線路架構及電子槍的結構,同時還明確地控_ 了電子槍的驅動。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 根據本發明的實例5將參照圖6加以說明。在基片9 上長具尖鋭錐形頂點的陰極4。第一绝緣層膜5長在基 Η9上,且其開口部位以空間靥圍繞陰極4。具環狀開 口部位的第一絶緣層膜5以縫隙圍鐃錐形的陰極4β第 一絶緣層膜5的厚度較錐彤陰搔4的高度小。金鹛製的 第一閘極1長在第一絶緣層膜5之上,且其開口部位圍 -3 6 _ 本紙張尺度通用中國國家樣準(CNS ) Α4規格(2丨0Χ297公釐) 413828 A7 B7 五、發明説明(从). (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 繞錐形的陰極4。第二閘極層膜6長在第一閘極1上。 而具開口部位的第二閘極2則長在第二絶緣層膜6之上 ,使第二閘極2與第一閛極1之間形成電性隔離。第三 絶緣層膜7長在第二閘極2上。而具開口部位的第三閘 極3則長在第三絶緣層膜7之上,使第三閘極3與第二 閘極2之間形成電性隔離。 陽極8則設於距第二蘭極3相當大的距離之外。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 在陽極8與陰極4之間施加電壓Va,並於第一閘極1 與陰極4之間施加電壓VI,而第二閘極電極2與陰棰4 之間則施加電壓V2。設定施加於第一閘極1上的電壓V 1 ,使得電子可自錐形陰極4的頂點發射出來。~施加於第 二閘極2之電壓V2的設定,是使第二閘極電極2上的電 位較陰極4的電位低,且電壓V2的絶對值比施加於第一 閘極1上的電壓卩1小。電壓V2設定為使自錐形陰極4的 頂點發射出來的電子,在行經第二閘極2速度會減低。 由於第二閘極2上的電位較陰極4的電位低,肯定能避 免電子抵逹笫二閘極2。施加於第三閘極3之電壓V3的 設定,是讓第三閘極3上的電位較陰極4的電位髙許多 ,使得通過第二閘極2的電子會加速衝向陽極8。施加 於陽極8的電釅Va的設定t是使通過第二閘極2的電子 進一步加速撞擊陽極8。陰搔4的電位是0V,第一閘極1 上的電位是7 Ο V ,第二閘極2上的電位是-1 G V ,第三閛 極3上的電位是150V。第一閘極1開口部位的直徑是Q.8 微米,第二閘極2開口部位的直徑是1 . 2撤米,第三闊 -37 -本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4C格(210X297公釐) 413828 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印装 五、發明説明(4 ) 極 3 開 P 部 位 的 直 徑 白 疋 1 . 4徹米〇 第- -絶緣層膜5 的厚 度 疋 0 , 5徹米, 第二絶緣層膜6 的厚度是〇 .5撒米 9 第 二 絶 緣 層 膜 7 的厚度是0 . 5微米。 圖 7 所 展 現 的 傜 根 據 本 發 明 * 白 陰 極 發 射 之電 子 在 具 另 一 場 致 發 射 冷 陰 極 及 另 改 良 之 閘 極 結 構 的新 形 電 子 .搶 中 傳 送 的 軌 跡 0 如 圖 7 所 示 第 二 閘 極 2 上 的 第 一 電 位 較 陰極 4 的 電 位 低 以 降 低 垂 直 於 電 子 沿 航 向 陽 極 8 之 行 進方 向 的 速 度 9 並 避 免 電 子 抵 達 第 二 閘 極 2〇 相反的, 第三蘭.極3 上 的 電 位 較 第 閘 極 1 的 電 位 高 9 以 加 速 平 行於 電 子 白 陰 極 頂 點 發 射 出 而 航 向 陽 極 8 之 行 進 方 向 的 速度 分 量 0 使 得 在 第 二 閘 極 2 的 輔 助 下 , 第 三 閘 極 3 所 産生 的 電 塲 使 由 陰 極 發 射 的 電 子 9 其 垂 直 於 行 進 方 向 之速度分童與 平行於行進方向之速度分量的平均比值大概逹成 一 曰 取 小 值 〇 這 g 陰極發射出來而分布受抑制的電子束, 形 成 收 斂 良 好 的 電 子 束 〇. 結 果 4 白 陰 極 發 射 出 來 的 電子 不 可 能 轉 向 並 到 逹 第 二 和 第 三 閘 極 上 〇 這 確 實 避 免 了任 何 不 必 要 的 電 極 電 流 若 第 三 開 極 3 不 像 本 發 明 中 具 較 高 電 位 而第 二 閘 極 2 之 電 位 則 根 據 本 發 明 是 低 於 陰 極 電 位 則 於陰 極 上 9 形 成 低 於 産 生 電 子 發 射 所 需 電 位 的 等 壓 面 9 結果就不會 導 致 任 何 電 子 發 射 〇 然 而 若 第 二 閘 極 3 如 本 發 明 具 較 高 電 位 i 但是 第 二 閘 極 2 之 電 位 不 若 本 發 明 而 是 高 於 陰 極 電 位 則自 陰 極 發 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21 OX的7公釐) 4138SB a? B7 五、發明説明(衫) 射出來的電子會轉向且可能到達第二閘棰上,而如圔8 所示造成不必要的電極電流,其中施加於第一閘極1的 電壓是70V,施加於第二閘極2上的電壓是5V·,此外施 加於第三閘極3上的電壓是7 Ο V。 由於上述原因,本發明的重要之處在於:使第二閘極 電極2上的電位較陰極4的電位低,以降低垂直於電子 自陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量;而第三 閛極3上的電位則較陰極4的電位高,以加速平行於電 子自陰極頂點發射出之行進方向的速度分量。使得在第 二閘極2的輔肋下,第三閘極3所産生的電場使由陰極 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分量的平均比值大概達成一最小值β 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明的實施6 Ιί#參照圖9加以説明。在基Η 3 S 上長各具尖鋭錐形頂點的陰極列34。第一絶緣層膜35長 在基片3 9上,且其成列的開口部位以空間層圍嬈陰極列 34。第一絶緣層膜35的厚度較各錐形陰極34的高度小。 金屬製的第一閘極31長在第一絶線層膜35之上。且其成 列的開口部位圍嬈錐形的陰極34。第二絶綠層膜38長在 第一閜極31上。而第二閘極32則長在第二絶緣層膜36之 上,使第二閘極32與第一閘極31之間形成電性隔離。第 二閘極32有成列的開口部位,分別圍繞陰極列34。第三 絶緣層膜3 7長在第二閘極32上,且第三絶緣層膜37有很 大的開口部位,分別圍嬈陰極列3 I而具開口部位的第 三閘極3 3則長在第三絶緣層膜3 7之上,使第三閘極3 3與 -3 9-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公嫠) 經濟部中央樣牟局貝工消費合作社印製 413828 A7 B7 五、發明説明(π ) 第二閘極32之間形成電性隔離。第二閘極33則有單掲一 個很大的開口部位,其直徑和第三絶緣層膜37相同。 陽極38則設於距第三閘極33相當大的距離之外。 在陽極38與陰極34之間施加電壓Va,並於第一閘極31 與陰極3 4之間施加電壓v 1,而第二閘極3 2與陰極3 4之間 則施加電壓V 2 «>設定施加於第一閘極3 1上的電壓V 1 ,使 得電子可自錐形陰極34的頂點發射出來。施加於第二間 極3 2之電壓V2的設定,是使第二閘極32上的電位較陰 極34的電位低,且電壓V2的絶對值比施加於第一閘極 31上的電壓電壓V2設定為使自錐形陰棰34的頂點 發射出來的電子,在行經第二閘極33速度會減低。由於 第二閘極32上的電位較陰極34的電位低*肯定能避免電 子抵逹第二閘極3 2。施加於第三閘搔33之電匾V 3的設定 ,是譲第三.閘極33上的電位較陰極34的電位高許多,使 得通過第二閛極32的電子會加速衝向陽極38。施加於陽 極38的電歷V a的設定,是使通過第二閘極32的電子進一 歩加速撞擊陽掻38。陰極34的電位是〇V,第一閘極31上 的電位是7GV,第二閘極32上的電位是-10V,第三閘極 33上的電位是1501 第二閘極電極3 2上的電位較陰棰3 4的第一電位低,以 降低垂直於電子沿航向陽極38之行進方向的速度,並避 免電子抵逹第二閘極32。相反的,第三閘極33上的電位 較第一閘極3 1的電位高,以加速平行於電子自陰極頂點 發射出而航向陽_38之行進方向的速度分置。使得在第 -4 0- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) ----tt 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 413828 A7 B7 五、發明説明(对) 二閘極3 2的輔助下,第三閘極3 3所産生的電場使由陰搔 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分童的平均比值大概達成一最小值。這自 陰極發射出來而分布受抑制的電子束,形成收斂良好的 電子束。結果,自陰極發射出來的電子不可能轉向並列 到達第二和第三閘極上。這確實避免了任何不必要的電 極電流0 由於上述原因,本發明的重要之處在於:使第二閘極 32上的電位較陰極34的電位低,以降低垂直於電子自 陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量;而第三 閘極3 3上的電位則較陰極3 4的電位高,以加速平行於電 子自陰極頂點發射出之行進方向的速度分量。使得在第 二閘極32的輔助下,第三閘極3 3所産生的電場使由陰極 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分量的平均比:值大概逹成一最小值。 根據本發明的實施7將參照圔ΙΟ加以説明。在基片49 上長各具尖銳錐胗頂點的陰極列44。第一絶緣層膜4 5長 在基Η 4 3上,且其成列的開口部位以空間層圍繞陰極列 44。第一絶緣層膜45的厚度較各錐形陰極4 4的高度小。 金屬製的第一閘極41長在第一絶緣層膜45之上。且其成 列的開口部位圍繞錐形的陰極41第二絶緣層膜46長在 第一閘極4 1上。而第二閘極4 2則長在第二絶緣層膜4 6之 上,使第二閘極42與第一閘極41之間形成電性隔離。第 二閘極42有成列的開口部位,分別圍繞陰極列44。第三 -4 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 413828 a7 B7 五、發明説明( 4。) 絶線層膜47長在笫二閛極42上’且第二絶緣層膜47有很 大的開口部位,分別圍嬈陰極列44β而具開口部位的第 三閘極43則長在第三絶緣層膜47之上,使第三閘極43與 第二閘極4 2隔開。第三閘極4 3則有單獨一個很大的開口 部位以空間層圍繞第—閘極4 1 ° 陽極4 8則設於距第二閘極4 3相當大的距離之外。 .在陽極48與陰極44之間施加電壓Va,並於第一閘極41 與陰極44之間施加電壓vi,而第二閘極電極42與陰極44 之間則施加電歷V2»設定施加於第一閘極41上的電壓〇 ,使得電子可自錐形陰極44的頂點發射出來。施加於第 二閘極42之電壓V2的設定,是使第二蘭極電極42上的電 位較陰極44的電位低,且電壓V2的絶對值比施加於第一 閘極41上的電壓VI小。電壓V2設定為使自錐形陰極44的 頂點發射出來的罨子,在行經第二蘭極電極42速度會減 低。由於第二閑極42上的電位較陰極44的電位低,肯定 能避免霄子抵逹第二閛極42。施加於第三閘極4 3之霍壓 V3的設定,是譲第三閘極4 3上的電位較陰極44的電位 高許多,使得通過第二閘極42的電子會加速衝向陽極 施加於陽極48的電壓Va的設定,是使通過第二閘極 42的電子進一步加速而撞擊陽極48。陰極44的電位是〇V ,第一閘極41上的電位是70V,第二閛極42上的電位是 -10V,第三閘棰43上的電位是150V。 笫二閘掻電極42上的電位較陰極44的第一電位低,以 降低垂直於電子沿航向陽極48之行進方向的速度,並避 -42- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公嫠) (请先間讀背面之注意事項再填寫本頁)
413828 A7 B7 五、發明説明(:^) 免電子抵達第二閘槿42β相反的,第三閘極43上的電位 較第一閘極41的電位髙,以加速平行於電子自陰槿頂點 發射出而航向陽極48之行進方向的速度分量。使得在第 二閘極42的輔助下,第三閘極4 3所産生的電場使由陰極 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分量的平均比值大概連成一最小值。這自 陰極發射出來而分布受抑制的電子束,形成收斂良好的 電子束。結果,自陰極發射出來的電子不可能轉向並列 到逹第二和第三閘極4 2和4 3上。這確實避免了任何不必 要的電極電流。 由於上述原因,本發明的重要之處在於:使第二閘 極42上的電位較陰極44的電位低,以降低垂直於電子 自陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量;而第三 閘極43上的電位則較陰極44的電位高,以加速平行於電 子自陰極頂點發射出之行進方向的速度分量〇使得在第 二閘極42的輔肋下,第三閘極43所産生的電場使由陰極 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分量的平均比值大概逹成一最小值。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 根據本發明的實例8將參照画1 1加以說明。在基片5 9 上長各具尖鋭錐形頂點的陰極列54。第一絶緣層膜55長在 部分的基片5 9上,且其成列的開口部位以空間層圍繞陰極 列5 4 ^第一絶緣層膜5 5的厚度較各錐形陰極5 4的高度小。 金屬製的第一閘極51長在第一絶緣層膜5 5之上。且其成 列的開口部位圍繞錐形的陰極54。第二絶緣層膜56長在 -4 3-本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 4138SB Α7 Β7 五、發明说明(A) 第一閛極51上。而第二閘極52則長在第二絶綠層膜56之 上,使第二鬧極5 2與第一閘極5 1之間形成電性隔離。第 二閘極52有成列的開口部位,分別圍嬈陰捶列54°第三 絶線磨膜57長在第二閘極52上,且第三絶緣層膜57有很 大的開口部位,分別圍繞陰極列54。第三閘極53-1則長 在第三絶緣層膜57之上,使第三閘極53」與第二閘極52 隔開。第三閘極5 3 - 1則有單獨一傾很大的開口部位,其 直徑和第三絶緣層膜57相同。第四閛極53-2則長在第二 絶緣層膜57的周圍部分,使第四閘極53-2與第一閘極電 極5 1隔賻❶第四閘極5 3 - 2有單獨一値很大的開口部位, 以空間層圍繞第一閲極 陽極58則設於距第二閘極Η—1相當大的距離之外。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在陽極5 8與’陰極3 4之間施加電壓v a,並於第一鬧極5 1 與陰極5 4之間施加電壓V 1,而第二蘭極5 2與陰極5 4之間 則施加電壓設定施加於第一閘搐51上的電壓0’使 得電子可自錐形陰極54的頂點發射出來》施加於第二鬧 極52之電壓V2的設定,是使第二蘭極電極52上的電位較 陰極5 4的電位低,且電壓v 2的絶對值比施加於第一閲極 5 1上的電壓VI小。電壓V2設定為使自雜形陰極54的頂點 發射出來的電子,在行經第二閘極電極5 2速度會減低。 由於第二閘極52上的電位較陰極54的電位低,肯定能避 免電子抵達第二閘極52。施加於第三閘極53-1之電壓父3 的設定,是讓第三閛極53-1上的電位較陰棰54的電位高 許多,使得通過第二閘極52的電子會加速衝向陽極58。 -4 4 _ 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) 413828 A7 B7 五、發明説明 施加於第四閘極53-2之電壓V4的設定,是譲第四閘極53 -2上的電位較陰極54的電位高許多,使得通過第二閘極 52的電子會加速衝向陽極58。施加於陽極58的電壓Va的 設定,是使通過第二閘極52的電子進一步加速而撞擊陽 極58β 第二閘極52上的電位較陰極54第第一電位低,以降低 垂直於電子沿航向陽極5 8之行進方向的速度,並避免電 子抵逹第二閘搔52。相反的,第三和第四閘極電極53-1 和53-2上的電位較第一閘極51的電位高,以加速平行於 電子自陰極頂點發射出而航向陽極58之行進方向的速度 分量。使得在第二閘極52的輔助下,第三和第四閘極53 -1和53-2所産生的電場使由陰極發射的電子,其垂直於 行進方向之速度分量與平行於行進方向之速度分量的平 均比值大槪達成一最小值《•這自陰極發射出來而分布受 抑制的電子束,形成收斂良好的電子束。結果,自陰極 發射出來的電子不可能轉向並到達達第二和第三閘極5 2 和53上^這確實避免了任何不必要的電極電流。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 由於上述原因,本發明的重要之處在於:使第二閘極 電極52上的電位較陰極54的電位低,以降低垂直於電子 自陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量;而第三 和第四閘極53-1和53-2上的電位則較陰極54的電位高, 以加速平行於電子自陰極頂點發射出之行進方向的速度 分量。使得在第二閜極5 2的輔助下,第三和第四閘極5 3 -1和53-2所産生的電場使由陰極發射的電子,其垂直於 -45-本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 413828 A7 _ B7_'_ 五、發明説明(料) 行進方向之速度分量與平行於行進方向之速度分量的平 均比值大概達成一最小值。 根據本發明的實例9將參照疆12加以說明。在基片9 上長具尖鋭錐形頂點的陰極4。第一絶緣層膜5長在基 Μ 9上,且其開口部位以空間層圍繞陰極4。具環狀開口 部位的第一絶綠層膜5以縫隙圍繞錐形的陰極4。第一 絶緣層膜5的厚度較錐形陰極4的高度小。金屬製的第 一閘極1長在第一絶緣層膜5之上,且其開口部位圍嬈 錐形的陰極4。第二絶緣層膜6長在第一閘極1上。而 具開口部位的第二閘極2則長在第二絶緣層膜6之上, 使第二閘極2與第一閘極1之間形成電性隔離。第三絶 緣層膜7長在第二閘極2上,而具開口部位的第三閘極 3則長在第三絶緣層膜7之上,使第三閘極3與第二閘 極2之間形成電性隔離。 陽極8則設於距第二閘極3相當大的距離之外。 在與陰極4連線的基片9上連接一電阻15,使陰極4 與基Κ9實質上電位相同。第一直流電源供應器11所産 生的電壓VI施加於第一闊極1與電阻15之間。而笫二蘭 極2透過電阻15與基片9形成導電通路。第二直流電源 供應器13所産生的電壓V 3施加於第三閘極3與電阻15之 間。第三直流電源供應器14所産生的電壓Va施加於電阻 1 5與陽極8之間的通路。設定施加於笫一閘極1和電阻 15上的電壓VI.,使得電子可自錐形陰極4 頂點發射出 來。電阻1 5譲第二閘極2的電位降低,使第二閘極2上 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210ΧΜ7公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂._ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 413828 Λ7 B7 五、發明説明(4〇 的電位較陰極4的電位低,而電壓V2的絶對值比施加於 第一閘極1上的電壓V 1絶對值小β電阻1 5的選取是為了 使自錐形陰極4的頂點發射出來的電子,在行經第二閘 極2速度會減低。由於第二閘極2上的電位較陰.極4的 電位低,肯定能避免電子抵達第二閘極2。施加於第三 閘極3之電壓V 3 的設定,是讓第三閘極3上的電位較 陰極4的雷位髙許多,使得通過第二閘極2的電子會加 速衝向陽極8。施加於陽8的電壓Va的設定,是使通過 第二閘極2的電子進一步加速撞擊陽極8 。陰極4的電 位是Ο V,第一閘極1上的電位是7 Ο V,第‘二閘極2上的 電位是-10V,第三閘極3上的電位是150V。第一閘極1 開口部位的直徑是0 . 8徹米,第二閘極2開口部位的直 徑是1.2徹米,第三閘極3開口部位的直徑是1.4微米。 第一絶緣層膜5的厚度是0.5微米,第二絶緣層膜6的 厚度是0.5撤米,第三絶緣層膜7的厚度是0.5撤米。 第二閛極2上的第一電位較陰極4的電位低,以降低 垂直於電子沿航向陽極8之行進方向的速度,並避免電~ 子抵達第二閘極2 ^相反的,第三閘極3上的電位較第一 閘極1的電位高,以加速平行於電子自陰極頂點發射出 而航向陽極8之行進方向的速度分量。使得在第二閘極 2的輔助下,第三閘極3所産生的電場使由陰極發射的 電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行進方向 之速度分量的平均比值大概逹成一最小值。這自陰極發 射出來而分布受抑制的電子束,形成收歛良好的電子束 -4 7- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁)
413828 A7 B7 五、發明説明( 4·〇 。結果,自陰極發射出來的電子不可能轉向並到逵第二 和第三閘極2和3上。這確實避免了任何不必要的電極 電流。 由於上述原因,本發明的重要之處在於:.使第二閘 極2上的電位較陰極4的電位低,以降低垂直於電子 自陰極頂點發射出之行進方向的垂直速度分量;而第Η 閘極3上的電位則較陰極4的電位高,以加速平行於電 子自陰極頂點發射出之行進方向的速度分量》使得在第 二閘極2的輔助下,第三閘極3所産生的電場使由陰極 發射的電子,其垂直於行進方向之速度分量與平行於行 進方向之速度分量的平均比值大概達成一最小值。 雖然本發明完全是參照所附圖表之的例子而作的描逑 ,那可不是本發明極限,應該了解的是很顯然地熟悉習 用技術的人可以作各種改變或修正。所以除非偏離此一 發明之精神及架構,皆應照描述於此的方式建構。 ------------ *-*'. \ (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) JK"- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -48- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐)
41SB2B 五、發明説明(私) 主要元件之爾照表 A7 B7
經濟部中央標準局舅工消費合作社印裝 1 陰 極 2 第 閘 極 3-1 第 二 閘 極 3 ~ 2 第 三 閘 極 4 基 Η 5 第 一 ψ tiiU m 層 膜 6 第 二 絕 緣 層 膜 7 第 絕 m 層 膜 8 陽 極 9 基 η 11 第 一 直 流 電 源 供 應 器 1 3 第 二 直 流 電 源 供 應 器 14 第 直 流 電 源 供 應 器 15 電 阻 31 第 閘 極 32 第 二 閘 極 33 第 三 閘 極 34 陰 極 35 第 一 絕 緣 層 膜 36 第 二 絕 緣 層 膜 37 第 三 絕 線 層 膜 38 陽 極 4 8 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本育) -裝· -訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 413828 五、發明説明(4“) 39 基 Η 41 第 一 閘 極 42 第 二 閘 極 43 第 三 閘 m 44 錐 形 陰 極 45 第 ψ 緣 層 膜 46 第 二 緣 層 膜 47 第 三 絕 緣 層 膜 48 陽 極 49 基 η 51 第 一 閘 極 52 第 二 閘 極 53-1 第 閘 極 53-2 第 四 閘 極 54 錐 形 陰 極 55 第 一 絕 緣 層 膜 56 第 二 緣 層 膜 57 第 二 絕 緣 層 膜 58 陽 極 59 基 Η -48a~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) 裝. -訂 線_ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

  1. 413828 AS P---------------- 一4 經濟部中央標率局負工消費合作社印製 六、申請專利範圍 ~~—ml 第851 0 8376號「設有場致發射冷陰極及改良式閘極結構之 電子槍J專利案 (88年1月30日修正) λ申請專利範圍: 1. 一種電子槍之閘極結構,該電子槍具有一含第一電位 之場致發射冷陰極,該閘極結構包括: 一第一閘極,在該陰極頂點周圍有一第一開口部位 ' ,該第一閘極具有比該第一電位高之第二電位,用以 使電子自該陰極頂點發射出來;以及 至少一具有第二開口部位的第二閘柽以行於電子 自該陰極頂點發射出之行進方向之方向與該第一閘極 隔開,該第二閘極具有高於該第一電位而低於該第二 電位之第三電位,以提供在低電流區中,抑制該電子 發射的電流_電壓特性, 其中一界定為該第一與第三電位間差異之第二電壓 成比例於一界定為該第一與第二電位間差異之第一電 壓而變化,使得該電流-電壓特性具有明顯的伽馬性 質。 2. 如申請專利範圍第1項之閘極結構,其中該第一閘極 之該第一開口部位係小於該第二閘極之該第二開口部 位。 3. 如申請專利範圍第1項之閘極結構,其中該第一與第 二閘極傜藉一絕緣層膜來隔開。 (請先閱讀背面乏注意事項再填寫本頁) 裝. JM. -訂 線 本紙張尺度逋用令國國家梯準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 413828 AS P---------------- 一4 經濟部中央標率局負工消費合作社印製 六、申請專利範圍 ~~—ml 第851 0 8376號「設有場致發射冷陰極及改良式閘極結構之 電子槍J專利案 (88年1月30日修正) λ申請專利範圍: 1. 一種電子槍之閘極結構,該電子槍具有一含第一電位 之場致發射冷陰極,該閘極結構包括: 一第一閘極,在該陰極頂點周圍有一第一開口部位 ' ,該第一閘極具有比該第一電位高之第二電位,用以 使電子自該陰極頂點發射出來;以及 至少一具有第二開口部位的第二閘柽以行於電子 自該陰極頂點發射出之行進方向之方向與該第一閘極 隔開,該第二閘極具有高於該第一電位而低於該第二 電位之第三電位,以提供在低電流區中,抑制該電子 發射的電流_電壓特性, 其中一界定為該第一與第三電位間差異之第二電壓 成比例於一界定為該第一與第二電位間差異之第一電 壓而變化,使得該電流-電壓特性具有明顯的伽馬性 質。 2. 如申請專利範圍第1項之閘極結構,其中該第一閘極 之該第一開口部位係小於該第二閘極之該第二開口部 位。 3. 如申請專利範圍第1項之閘極結構,其中該第一與第 二閘極傜藉一絕緣層膜來隔開。 (請先閱讀背面乏注意事項再填寫本頁) 裝. JM. -訂 線 本紙張尺度逋用令國國家梯準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) 413828 AS BS C8 D8 申請專利範圍 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 第 有 極閘該 , 位 位以 閘之有以性位該特 與 具 閘一於下。電 部用 一出具,特電含壓 一 極 三第低助射 I 口 - 第射極钇壓 j 包電 第 陰 第該而輔發第 開位 該發閘電電之壓 I 該 該 ..一 與位的子含 一電 著點二三 | 間電流 中 中 含之向電極電一 第二 繞頂第第流位一電 其其尚位方一閘該有:一第 圍極該之電電第該 - , -部之第二 制具括有之及.,陰 ,位的三該得 構 構 構口 向該第抑槍包圍高以極該開電射第 ,使 結 結 結開方於該能子構周位‘,閛自隔二 發與化 , 極 極 極三進髙在匾電結點電來二子極第子一變差 閘。閘 閘第行 一 得流該極頂一出第電閘該電第而位 之開之 之一該有使電,.閘極第射的於一於該該壓電 項隔項 項有於具,低構該陰該發位直-第低制含電 一 1 來 1 。1 具直極位在結,該比點部垂一該而抑包 一 之 第間第形第極垂閘電性極極在有頂口以與位中壓第間 圍空圍錐圍閘以三四特閘陰,具極開極向電區電一位 範一範之範 一極第第壓之冷極極陰二閘方一流二於電 利藉利點利第閘該之電槍射閘閘該第二之第電.第例二 專條專頂專該三.位 | 子發一 一自有第向該低一比第 請極請鋭請繞第開電流電致第第子具該方於茌中成與 申閘申尖申圍該隔二電種場 一 該電一 ,進高供其 ,一 如二如一如 ,極第該一之 ,使 極行一提 差第 *··· (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國固家標準(CNS) A4规格(210X297公釐) 413828 A8 B8 CB D8 六、申請專利範圍 經濟部中央標牟局員工消費合作社印装 極。第 與 具 行有得在 冷 行極比黠 閘位與 一 棰 該具使性 射 之陰一頂 一部一 第 陰 於極,特發 出該有極 第口第 該 該 :行閘低壓 致 射在具陰 該開該 中 中 含平 三位電 場 發極極該 中棰中 其 其 尚以第電- 該 點閘閘自 其閘其 ,_, ,極該二流 而 頂 一子 , 二 , 構 構 構蘭 ,第電 ., 極 第電 構第構 結 結 結三開該該 極 陰第該使 結該結。極 極 極第隔較供。 陰 該該,以 搔於極開閘。閘 閘的來而提射 冷 自,位用 閘小閘隔之開之 之位極高以發 射 子開部 , 〇 之寸之來項隔項 項部閘位 ·子 發 電隔口位 質項尺項膜 7 來 7 。7口一 電下電: 致;於M開電 性 7 的 7 層第間第形第開第一助該括 場位行基一二 馬第位第緣圍空圍錐圍三該第輔制包 一電平該第第 伽圍部圍絕範 一 範之範第與該的抑 * 置 一 以與一之 的範口範-1利藉利點利有向比極能槍 設第極向有高 顯利開利藉專偽專頂專具方位閛中子上一閘方具位 明専一專傜請極請鋭請一之電二區電片Η有一之圍電 有請第請極申閘申尖申少向四第流種基基具第向周 I 具申該申閘如二如一如至方第該電一 一 該極一方點第 性如之如二 .第.有. 進一 在低. 陰 進頂該 . · 0 12 3 (請先®讀背VS-之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 413828 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 發射出來; (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 至少有一具有第二開口部位的第二閘極以平行於該 行進方向之方向與該第一閘極隔開,該第二閘極具有 高於該第一電位而低於該第二電位之第三電位,以提 供在低電流區中抑制電子發射的電流-電壓特性; 其中一第二電壓包含該第一與第三電位間之一電位 差,成比例於一第一電壓而變化,該第一電壓包含該 第一與第二電位間之一電位差,使得該電流_電壓特 性具有明顯的伽馬性質, 一陽極以平行於該行進方向之方向與該第一及第二 閘極隔開,使電子從該陰極發射出而航向該陽極。 14. 如申請專利範圍第13項之電子槍,其中該第一閘極 與該基Μ之間像藉一第一絕緣層膜來隔開,該膜具有 一圍繞該陰極的開口部位。 15. 如申請專利範圍第13項之電子槍,其中該第一與第 二閘極之間係藉一第二絕緣層膜來隔開。 16. 如申請專利範圍第13項之電子槍,其中該第一與第 二閘極傺藉一空間來隔開。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 17. 如申請專利範圍第13項之電子槍,其中該第一閘極 開口部位僳小於該第二閘槿開口部位。 18. 如申請專利範圍第13項之電子槍,其中該陰極具有 一尖鋭頂點之錐形。 19. 如申諳專利範圍第13項之電子槍,尚含: -4- 本紙張尺度適用中國國家操準(CNS ) Α4規格(210Χ297公羡) 經濟部中央襟隼局員工消費合作社印策 413828 Aa Ao βδ C8 D8 六、申請專利範圍 具有一第三開口部位圍嬈該第一閛極之一第三閘極 ,該第三閘極垂直該行進方向之方向與該笫一閘極隔開 ,該第三閘極具有一比該第一電位高而較該第二電位 低之第四電位,使得在該第二閘極的輔助下,使得該 電流-電壓特性在低電流區中能抑制該電子發射。 20. —種電子槍,包括: 一基片; 該基Η上設置一場致發射冷陰極,而該場致發射冷 陰極具有一第一電位; 一第一蘭極以平行於電子自該陰極頂點發射出之行 進方向之方向與該基Η隔開,該該第一閘極在該陰極 頂點周圍具有一第一開口部位,該第一閘極具有一 l:b 該第一電位高之第二電位,用以使電子自該陰極頂點 發射出來; 一第二閘極以垂直於該行進方向之方向與該第一閘 極隔開,該第二閘極具有一第二開口部位圍繞該第一 閘極,該第二閘極具有一高於該第一電位而低於該第 二電位之第三電位,以提供在低電流區中抑制該電子 發射的電流-電壓特性; - 其中一第二電壓包含該第一與第三電位間之一電位 差,成比例於一第一電壓而變化,該第一電壓包含該 第一與第二電位間之一電位差,使得該電流-電壓特 性具有明顯的伽馬性質, -5 - 本紙張尺度適用中國國家椟準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ---------裝 -----^---^訂-Γ-----線 (請先閣讀背&之注意事項再填寫本頁) 413828 Ββ C8 D8 t、申請專利範圍 一陽極以平行電子自該陰極頂點發射出之行進方向 之方向與該第一及第二閘極隔開,使電子從該陰極發 射出而航向該陽極β 21. 如申請專利範圍第20項之電子槍,其中該第一和第 二閘極與該基Μ之間是透過一具圍嬈陰極之開口部位 的第一絕緣層膜來隔開,且該第一和第二閘極以一空 間來隔開。 22. 如申請專利範圍第20項之電子槍,其中該第一閘極 之第一開口部位係小於該第二閘極之第二開口部位。 23. 如申請專利範圍第20項之電子槍,其中該陰極具有 一尖鋭頂點之錐形。 24. 如申請專利範圍第20項之電子槍,尚含: 至少一具有第三開口部位的第三閘極,以平行於該 行進方向之方向與該第一閘極來隔開,該第三閘極具 有一第四電位比該第一電位高而較該第二電位低,使 得在該第二閘極的輔助下,以提供該電流-電壓特性在 低電流區中能抑制該電子發射。 (請先聞讀背面乏注意事項再填寫本頁) -裝- -訂, 線 經濟部中央標準局男工消費合作社印m 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐)
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