TW250591B - - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央揉準局負工消費合作社印製 五、發明説明（f ) 1 1 C 産 業 上 之 利 用 領 域 ] 1 1 本 發 明 為 有 關 可 組 配 在 半 導 體 裝 置 等 内 » 或 以 單 體 可 1 I 使 所 定 頻 帶 衮 減 之 霣 威 -電容（LC)元件、 半導體装置及 1 I 請 I 電 感 -電容元件之製造方法。 先 閱 1 I 讀 1 C 習 知 之 技 術 背 Λ 1 I 近 年 來 » 隨 電 子 技 術 之 發 達 電 子 電 路 被 廣 泛 的 用 在 之 注 1 | 意 | 各 種 領 域 上 » 因 而 希 望 這 些 各 電 子 電 路 不 受 外 界 來 的 影 事 項 1 I 再 1 I 鬱 能 安 定 且 確 實 的 動 作 〇 填 1 然 而 這 種 電 子 電 路 上 9 會有雜音直 接 或 間 接 地 從 外 界 寫 本 頁 裝 1 侵 入 〇 因 此 在 使 用 電 子 電 路 的 各 種 電 子 機 器 上 會 有 不 少 1 | 引 起 該 動 作 的 情 形 之 問 題 〇 1 I 尤 其 在 電 子 電 路 上 I 使 用 開 m 式 穗 壓 器 為 直 流 電 源 的 1 1 場 合 較 多 〇 因 而 由 於 開 關 等 之 過 渡 電 流 » 或 使 用 數 位 積 訂 I 體 電 路 之 開 關 動 作 所 引 起 之 負 載 變 動 * 使 得 在 開 關 式 穩 1 1 壓 器 的 電 源 線 上 > 多 會 産 生 帶 有 各 種 頻 率 成 分 的 大 的 雜 1 1 音 〇 於 是 這 些 雜 音 經 由 電 源 線 或 輻 射 傳 導 到 同 一 機 器 内 1 1 的 其 他 電 路 上 > 引 起 誤 動 作 或 信 號 / 雜 音 (S/Ν)比之降 線 低 等 之 不 良 影 響 9 甚 至 於 使 附 近 使 用 中 的 其 他 電 子 機 器 1 1 也 引 起 誤 動 作 0 1 I 要 除 去 這 種 雜 音 9 在 電 子 電 路 上 一 般 僳 使 用 雜 音 濾 波 1 1 器 〇 尤 於 近 年 來 使 用 多 量 的 各 種 構 造 之 電 子 機 器 % 因 而 1 1 對 雜 音 —的 限 制 愈 软 格 9 因 此 » 期 望 能 開 發 出 可 確 實 去 除 1 I 所 産 生 的 雜 音 9 小 型 且 高 性 能 的 具 雜 音 濾 波 器 功 能 之 1 1 電 m 電 容 元 件 〇 -3 - 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210X297公釐） B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 (> ) 1 1 已 知 為 這 種 電 威 一 電 容 元 件 的 電 威 — 電 容 雜 音 濾 波 器 1 1 之 一 為 電 威 成 分 和 霄 容 成 分 存 在 於 分 布 常 數 狀 態 者 f 其 1 I 像 比 起 集 中 常 數 型 的 電 威 — 電 容 雜 音 濾 波 器 在 較 寬 頻 帶 y—s 請 1 1 上 可 得 良 好 衰 減 持 性 〇 先 閎 1 I 讀 1 C 發 明 欲 解 決 之 問 題 背 tt 1 | 可 是 這 種 電 威 一 電 容 濾 波 器 像 分 別 在 絶 緣 板 的 一 面 形 之 注 1 1 成 電 容 器 用 導 電 體 » 在 另 一 面 形 成 電 烕 器 用 導 電 體 後 1 項 1 | 再 1 折 叠 製 成 者 9 因 而 須 要 將 絶 緣 板 折 翻 等 工 程 9 其 製 造 工 填 1 程 很 複 雜 〇 寫 本 頁 裝 1 又 » 要 將 這 種 電 感 一 電 容 雜 音 濾 波 器 直 接 插 入 於 積 體 1 I (1C) (LSI) 1 電 路, 、或 大 規 模 積 體 電 路八的 電 源 線 使 用 時 9 電 威 一 電 容 雜 1 I 音 濾 波 器 必 須 要 有 對 於 積 體 電 路 等 之 配 線 » 因 而_在 零 件 1 1 的 組 配 上 甚 為 費 事 〇 訂 I 又 » 要 將 這 種 電 感 — 電 容 雜 音 濾 波 器 直 接 插 入 於 積 體 1 I 電 路 (I C ) 或 大 規 模 積 體 電 路 (L S I )等之内部配線間時， 1 1 幾 乎 為 不 可 能 之 事 〇 1 I C 發 明 之 解 決 手 段 線 本 發 明 有 鑑 於 上 述 問 題 點 9 巨 的 在 於 提 供 可 利 用 半 1 1 導 體 製 造 技 術 簡 單 製 成 的 •s 可 省 略 後 鑛 工 程 中 零 件 組 配 1 作 業 的 N 而 且 可 形 成 為 積 體 電 路 及 大 規 模 積 體 電 路 的 一 1 1 部 分 之 電 感 — 電 容 元 件 、 半 導 體 裝 置 、 以 及 電 威 — 電 容 1 I 元 件 之 製 造 方 法 〇 1 1 為 解 決 上 述 問 題 » 本 發 明 之 電 威 一 電 容 元 件 的 特 徽 % 1 1 具 9 -4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^^〇59l A7 B7 經濟部中央樣準局®C工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 在 半 導 體 基 板 上 所 形 成 的 所 定 形 狀 之 闞 電 棰 1 1 在 上 述 閘 電 極 和 上 逑 半 導 體 基 板 之 間 所 形 成 的 绝 緣 層； 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 内 9 而 在 對 應 於 上 述 閛 電 極 所 要 形 1 I 請 I 成 的 通 道 一 端 附 近 所 形 成 之 第 1 擴 散 領 域 及 先 聞 1 1 在 上 述 半 導 體 基 板 内 9 形 成 於 上 逑 通 道 另 一 端 附 近 之 背 面 1 1 第 2 擴 散 領 域 9 而 之 注 1 1 上 述 閘 電 極 及 上 述 通 道 成 為 電 越 器 導 體 之 功 能 » 事 項 1 I 再 1 I 上 逑 閘 電 極 的 電 烕 及 上 述 通 道 的 電 戚 和 其 兩 者 間 所 形 填 1 成 之 電 容 存 在 於 分 布 常 數 之 狀 態 ； 以 及 寫 本 頁 袅 1 至 少 將 上 述 通 道 當 作 信 號 傳 送 路 徑 之 用 者 〇 1 | 本 發 明 之 造 種 電 娀 — 電 容 元 件 偽 在 半 導 體 基 板 上 形 成 1 I 絶 緣 層 » 並 在 其 上 形 成 所 定 形 狀 之 閛 電 極 * 而 是 由 閘 電 1 1 極 、 絶 線 層 和 半 導 體 基 板 構 成 之 金 氣 半 導 體 (M0S)構造。 訂 I 閘 電 極 的 形 狀 為 渦 m 狀 9 蛇 行 狀 和 曲 線 狀 等 9 或 用 在 高 1 1 1 頻 帶 時 ， 以 直 線 狀 等 亦 可 〇 1 1 此 中 9 蘭 電 極 和 與 其 對 應 形 成 之 通 道 分 別 成 為 電 威 器 1 I 功 能 〇 又 有 絶 緣 層 介 於 閘 電 極 和 與 其 對 慝 形 成 的 通 道 之 線 間 » 由 此 9 形 成 電 容 器 〇 而 且 9 此 電 容 器 在 閛 電 極 及 通 1 1 道 的 整 傾 全 長 中 形 成 為 分 布 常 數 之 狀 態 〇 因 此 » 形 成 為 1 I 在 寬 頻 帶 範 圍 具 良 好 衰 減 待 性 的 電 烕 一 電 容 元 件 » 而 從 1 1 形 成 在 上 述 通 道 一 端 的 第 1 或 第 2 擴 散 領 域 所 输 入 的 信 1 | 號 t 經— -由 存 在 於 分 佈 常 數 狀 態 的 電 威 器 及 電 容 器 傳 送 時 1 I 9 其 衰 減 帶 區 域 内 的 雜 音 等 之 頻 率 成 分 會 被 去 除 〇 1 1 待 別 是 » 本 發 明 之 該 霣 戚 -5 — 霣 容 元 件 > 除 在 半 導 m 基 1 1 1 1 1 1 本紙張又度逍用中國國家橾準（CNS > A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（车 ) 1 1 板 形 成 第 1 擴 散 領 域 及 第 2 擴 散 領 域 之 同 時 9 並 在 其 表 1 1 面 形 成 絶 絲 層 和 所 定 形 狀 之 閘 電 極 m 可 製 成 » 在 製 造 上 1 I 非 常 容 易 ο 又 該 電 感 — 電 容 元 件 是 形 成 在 半 導 體 基 板 上 請 1 1 » 也 可 形 成 為 積 體 電 路 或 大 規 模 稹 體 電 路 中 之 一 部 分 9 先 閱 1 I 讀 1 I 如 此 形 成 為 零 件 中 之 —_* 部 分 時. > 可 省 略 在 後 m 工 程 中 之 背 面 1 I 零 件 組 配 作 業 〇 之 注 1 I 意 I 為 解 決 上 述 間 題 9 本 發 明 之 % 一 電 威 — 電 容 元 件 » 的 項 1 I 再 1 持 擞 傜 具 有 填 1 在 半 導 體 基 板 上 所 形 成 的 所 定 形 狀 之 閘 電 極 ； 本 頁 1 在 上 述 閑 電 極 和 上 述 半 導 體 基 板 之 間 所 形 成 的 絶 緣 層 1 1 > 及 1 | 在 上 述 半 導 體 基 板 内 9 而 在 對 應 於 上 述 閘 電 極 所 要 形 1 1 成 的 通 道 一 端 附 近 所 形 成 之 擴 散 領 域 〇 而 訂 | 上 述 閛 電 極 及 上 述 通 道 成 為 電 感 器 導 體 1 1 上 述 閘 電 棰 的 電 感 及 上 述 通 道 的 電 戚 和 其 兩 者 之 間 所 1 1 形 成 的 電 容 存 在 於 分 布 常 數 之 狀 態 ； 以 及 1 | 將 上 述 蘭 電 極 當 作 信 號 傳 送 路 徑 之 用 者 〇 線 本 發 明 之 該 電 威 — 電 容 元 件 傺 相 對 於 上 述 一 電 威 一 電 1 1 容 元 件 的 以 通 道 為 倍 號 傳 送 路 徑 9 而 是 以 蘭 電 極 為 信 號 1 I 傳 送 路 徑 > 不 經 通 道 傳 送 倍 號 ♦ 因 而 可 省 略 擴 散 領 域 之 1 1 任 一 方 〇 1 1 因 而- —通 道 和 所 定 形 狀 的 閘 電 極 各 白 為 電 威 器 功 能 之 同 1 I 時 » 在 兩 者 之 間 形 成 為 分 布 常 數 狀 態 的 電 容 器 之 點 9 m 1 1 形 成 為 對 寬 頻 帶 範 圍 具 良 好 -6 衰 減 特 性 的 霣 慼 電 容 元 件 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） s5〇59i I A7 B7五、發明説明（i ) ,而且製造容易，可形成為基板的一部分一事亦與上述 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印褽 極極 。 號定 形與一號 霣 極接作 電電 極 信固 要設的信 地 電連當 出出· 電 入於 所域極作 接 出相極 :入入 地 输接 棰領電當 和 入其電 。： 有输輪 接 極連 電散閘道 極 輸與閛件有 具 12 的 電棰 閘擴在通 C 霣 2 設的元具 像第第 接 一電 於 2 時將件 入 第域狀容僳 激的的 連 任地 應第同成元 出 及領形電激 特接接 上 的接 對及，形容：输 1散定 I 持 的連連 路 中述 在域極易電為其 第擴所威的 件上上 電 極上 偽領電容 I 件將 設述將里件 元路路 在 電将 件散出可烕元， 近上成型元 容電電 近 出並 元擴入，電容中 附的形子容 電在在 附 入， 容 1 輸而型電件 端端易端電 Ο 一域域 端 输號。電第 2 因子 I 元 兩一容 31 同威領領 一 2 信者 I 的第，端感容 極極可之戚 件電散散 的 第出地烕近及極 3 電電 閘電而用電 元 一擴擴 極 及輸接電附 1 電之一 I 狀閜因使一 容再 12 電 1 棰或該端第地用再越 形於，徑再 電之第第 閘 第電源之兩之接使之電。定成極路之 I 明述逑 述 述一電明道接設徑明述者所形電一送明 ® 發上上 上 上另之發通連近路發上換在在地傳發 電本對對及對 從從位本的相附送本在互即並接號本 之； 而 ，電 成其端傳 極 ，的信 裝 i 線 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家檬準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 5〇59l A7 B7 經濟部中央標準局貞工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 對 上 述 第 1 擴 散 領 域 在 電 路 上 連 接 的 第 1 輪 出 入 電 極； 1 1 對 上 述 第 2 擴 散 領 域 在 電 路 上 連 接 的 第 2 輸 出 入 電 極； 1 I 對 上 述 閘 電 極 的 - 端 附 近 在 電 路 上 連 接 的 第 3 输 出 入 1 | 請 I 電 極 及 先 閱 1 1 對 上 述 閘 電 極 的 另 一 端 附 近 在 電 路 上 連 接 的 第 4 輪 出 讀 背 Λ 1 | 入 電 極 〇 而 之 注 1 1 將 上 述 通 道 和 上 述 閘 電 棰 兩 者 為 倍 號 傳 送 路 徑 » 以 當 1 項 1 I 弇 1 作 共 態 型 元 件 使 用 者 〇 § 1 本 發 明 之 該 電 娀 — 電 容 元 件 像 在 所 定 形 狀 閘 電 極 兩 端 本 頁 裝 1 附 近 設 第 1 及 第 2 輸 入 出 電 棰 並 在 對 應 於 該 所 定 形 狀 1 | 閘 電 極 之 通 道 兩 端 附 近 形 成 的 第 1 擴 散 領 域 及 第 2 擴 散 1 | 領 域 設 第 3 及 第 4 輪 入 出 電 棰 〇 因 而 可 容 易 的 形 成 4 端 I 1 子 共 態 型 電 感 — 電 容 元 件 〇 訂 | 本 發 明 之 另 一 半 導 體 裝 置 的 特 m 為 1 1 在 上 述 雷 威 — 電 容 元 件 的 上 述 擴 散 領 域 中 之 一 上 連 1 1 接 將 經 由 上 述 通 道 所 输 出 之 信 號 加 以 放 大 的 缓 衡 器 者 〇 1 | 本 發 明 之 該 半 導 體 裝 置 中 » 連 接 有 將 經 由 上 述 電 威 — 線 電 容 元 件 通 道 輪 出 的 倍 號 加 以 放 大 之 m 衝 器 » 可 将 經 由 1 1 電 阻 像 數 fch 鋁 等 金 屬 材 料 為 大 的 通 道 所 引 起 的 電 m 水 平 1 I 衰 減 之 信 號 9 恢 復 為 倍 號 / 雜 音 fcb 良 好 的 原 來 信 號 〇 1 1 本 發 明 之 再 一 電 烕 一 轚 容 元 件 的 特 擻 偽 1 1 在 上 述 各 η 戚 — 霣 容 元 件 中 9 將 對 上 述 闞 霣 極 所 加 之 1 I 閘 極 轚 壓 設 定 為 可 變 值 9 則 至 少 可 將 上 述 通 道 的 電 阻 值 1 1 控 制 為 可 變 值 者 〇 1 | -8 1 1 1 1 本纸張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） <5〇59l 經濟部中央揉準局工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 1 1 本 發 明 之 該 電 戚 一 電 容 元 件 偽 將 加 於 閘 電 極 的 閛 極 電 1 1 壓 設 定 為 可 變 值 9 因 而 > 對 應 於 閛 電 極 所 要 形 成 的 通 道 1 I 之 寬 度 及 深 度 會 改 變 9 随 之 通 道 之 轚 阻 值 會 變 化 〇 因 此 請 1 1 » 由 改 變 閘 棰 電 壓 » 在 整 體 上 可 對 衮 igA m 特 性 即 頻 率 特 先 聞 1 1 性 9 視 須 要 加 以 控 制 變 更 〇 背 1 I 本 發 明 之 再 —. 電 戚 一 電 容 元 件 的 待 撤 為 : 之 注 1 | 意 I 上 述 各 電 烕 — 電 容 元 件 中 * 在 上 述 半 導 龌 基 板 表 面 的 事 項 1 1 鼻 I 1 對 應 於 上 逑 閘 電 極 之 位 置 » 預 先 注 入 載 體 (carrier)者 β § 1 本 發 明 之 該 電 威 — 電 容 元 件 % 在 對 應 於 蘭 電 極 的 位 置 寫 本 頁 僉 1 上 ♦ 經 預 先 注 入 載 體 > 形 成 為 空 乏 (depression}型的元 1 I 件 〇 適 時 9 電 感 — 電容元件的待性本身不予 變 更 9 而 在 1 1 閘 電 極 不 加 以 電 壓 ( 閘 搔 電 壓 ) 狀 態 下 形 成 通 道 * 或 使 1 1 加 以 閘 極 電 歷 狀 態 時 的 閘 棰 電 壓 和 通 道 寬 度 及 深 度 的 藺 訂 | 傜 和 未 注 入 載 體 時 有 所 不 同 者 〇 1 I 本 發 明 之 再 一 電 戚 一 電 容 元 件 的 待 徽 為 ： I 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 的 上 述 通 道 所 要 形 成 位 置 之 至 1 1 少 一 部 分 9 預 先 注 入 載 體 9 並 設 定 上 述 通 道 相 對 於 上 述 線 閘 電 極 的 長 度 為 之 長 或 短 9 使 上 述 閛 電 極 和 上 述 通 道 有 1 1 部 分 的 相 對 應 者 〇 1 I 本 發 明 之 該 電 威 一 電 容 元 件 中 » 閘 電 極 和 通 道 兩 者 中 1 1 有 一 方 形 成 較 短 9 在 造 種 情 形 下 » 如 同 樣 地 9 其 不 同 長 1 1 度 的 間_ -電 極 和 通 道 各 白 成 為 電 器 功 能 » 兩 者 之 間 夾 以 1 1 绝 錄 層 所 形 成 的 電 容 器 存 在 於 分 布 常 數 之 狀 態 〇 該 電 威 1 1 電 容 元 件 成 為 對 寬 頻 帶 範 -9 圍 具 良 好. 衰 減 待 性 之 電 威 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾率（CNS > A4规格（210X297公釐） ^^〇59i A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（客 ) 1 1 電 容 元 件 而 且 製 造 容 易 9 可 形 成 為 基 板 的 一 部 分 之 優 1 1 點 〇 1 I 但 如 將 半 導 體 基 板 全 面 形 成 為 同 一 狀 態 時 對 應 於 請 1 1 I 閛 電 極 全 長 會 形 成 通 道 * 因 而 須 要 在 該 通 道 的 一 部 分 預 先 聞 1 I 讀 1 先 注 入 載 體 » 或 以 蝕 刻 加 工 等 將 通 道 的 - 部 分 分 斷 y 使 背 Λ 1 I 通 道 缩 短 〇 之 注 1 | 垄 I 本 發 明 之 另 一 半 導 體 裝 置 的 特 激 為 Ψ 項 1 I 再 1 I 將 上 述 各 電 威 — 電 容 元 件 形 成 為 基 板 之 __. 部 分 9 並 將 填 1 上 述 閘 電 極 及 與 其 對 應 形 成 的 通 道 之 至 少 方 插 入 於 倍 寫 本 頁 裝 1 號 線 或 雷 源 線 一 體 形 成 者 Ο 1 | 依 本 發 明 之 這 種 半 導 體 装 置 時 > 本 發 明 之 電 威 — 電 容 1 I 元 件 可 和 半 導 體 基 板 上 的 其 他 零 件 整 體 的 製 造 9 容 易 製 1 1 造 之 同 時 9 可 省 略 後 缠 工 程 中 的 零 件 組 配 作 業 〇 訂 I 本 發 明 之 再 一 電 威 — 電 容 元 件 的 特 擻 為 : 1 1 在 上 述 各 電 感 — 電 容 元 件 的 上 逑 閘 電 極 > 設 可 將 過 電 1 1 m 旁 路 於 動 作 電 源 線 m 或 接 地 倒 之 保 護 霄 路 者 〇 1 1 本 發 明 之 瑄 種 半 導 體 裝 置 中 * 其 閘 電 極 連 接 有 保 護 電 線 路 〇 因 而 9 如 有 由 於 靜 電 等 之 過 電 壓 加 上 於 蘭 電 極 » 刖 1 1 動 作 電 源 線 鲴 或 接 地 倒 會 流 通 旁 路 電 流 » 因 此 > 可 防 止 1 I 閛電極和半導體基板間的绝緣破壊 〇 1 1 本 發 明 之 一 種 電 威 — 電 容 元 件 之 製 造 方 法 » 其 特 擻 偽 1 | 包 括 1 1 在 半 導 體 基 板 上 > 部 分 的 注 入 雜 質 * 以 形 成 第 1 擴 散 1 1 領 域 和 第 2 擴 散 領 域 之 第 1 工 程 1 | -1 0- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^50591 B7 經濟部中央樣準局貝土消費合作杜印製 五、發明説明（9 ) 1 1 在 上 述 半 導 體 基 板 上 全 面 或 部 分 的 形 成 絶 緣 層 之 第 1 1 2 工 程 ; 1 1 在 上 述 绝 緣 層 上 面 9 形 成 可 連 接 上 述 第 1 擴 散 領 域 和 诗 1 1 上 述 第 2 擴 散 領 域 而 具 所 定 形 狀 的 閘 電 極 之 第 3 工 程 先 閱 1 | 讀 1 及 背 1 Λ | 形 成 可 在 電 路 上 分 別 連 接 於 上 述 第 1 及 第 2 擴 散 領 域 之 注 | 意 I 的 配 線 層 之 第 4 工 程 者 〇 事 項 1 I 再 I 本 發 明 之 % 一 種 電 感 一 電 容 元 件 之 製 造 方 法 > 其 特 微 填 1 偽 包 括 寫 本 1 在 半 導 體 基 板 上 > 部 分 的 注 入 雜 質 9 以 形 成 擴 散 領 域 1 l 之 第 1 工 程 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 上 > 全 面 或 部 分 的 形 成 絶 緣 層 之 第 1 1 2 工 程 ； 訂 I 在 上 逑 絶 緣 層 上 面 > 形 成 其 一 端 位 於 上 述 擴 散 領 域 > 1 I 而 具 所 定 形 狀 的 閘 電 極 之 第 3 工 程 及 1 1 m 成 可 在 電 路 上 連 接 於 上 述 擴 散 領 域 的 配 線 層 之 第 4 1 1 工 程 〇 線 上 述 電 感 — 電 容 元 件 的 兩 種 製 造 方 法 9 偽 將 半 導 體 製 1 1 造 技 術 應 用 於 製 造 上 述 之 各 電 威 電 容 元 件 者 〇 即 > 第 1 I 1 工 程 中 9 在 半 導 體 基 板 上 形 成 第 1 擴 散 領 域 X 第 2 擴 1 1 散 領 域 的 兩 方 或 其 中 之 一 方 接 箸 9 在 第 2 工 程 中 9 1 I 在 半 導_ _體 基 板 表 面 形 成 絶 緣 層 在 第 3 工 程 中 形 成 所 定 1 1 形 狀 之 閘 電 棰 〇 然 後 9 在 第 4 工 程 中 形 成 包 括 输 入 出 電 1 1 極 等 的 配 線 層 » 而 完 成 上 述 電 感 — 電 容 元 件 〇 1 | -1 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家揲準（CNS ) A4规格（210X297公釐y 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 25〇59l A7 B7五、發明説明（<。） 如此，上述之電烕一電容元件，乃可應用一般的半導 體製造技術（尤以金氣半導體製造技術）製造，可得小 型化及低成本化之同時，可多數同時大量生産。 〔附圖簡單説明〕 圖1為應用本發明之第1實施例電烕一電容元件之平 面圖》 圖2為圖1中之A-A斷面放大圖。 圖3為圖1中之B-B斷面放大圖β 圖4為圖1中之C-C斷面放大圖。 圖5Α及圖5Β為形成通道之狀態示意圖。 圖6為第1實施例之電烕一電容元件的渦溢狀閘極， 沿縱向之斷面構造圖。 圖7Α及圖7Β為第1實施例電烕一電容元件之等效電路 画。 圖8Α及圖8Β為通道電阻值之說明圖〇 圖9Α、B、C、D、E、F及G為第1實施例電感―電容元 件之製造方法示意圖。 圖10為第1實施例電威一電容元件之變形例平面圖》 圖11為應用本發明之第2實施例電威-電容元件之平 面圖。 圍12為画11中之A-Α斷面放大圖。 匾13為圖11中之B-B斷面放大圖。 圖14為蛇行形狀之電感器原理圖。 圖15為第2實施例電烕一電容元件之變形例平面圖。 -1 2 - 裝 訂 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 <50591 a? B7五、發明説明（、·） 圖16為應用本發明之第3資施例電威一電容元件之平 面圖》 圖17為第3實施例電戚一電容元件之等效電路喔。 圓18為應用本發明之第4實施例電慼一電容元件之平 面圖。 圖19為應用本發明之第5實施例電戚-電容元件之平 面團。 圖20為第5實施例雷威一電容元件之等效電路圃。 圖21為應用本發明之第6實施例電威一電容元件之平 面圖。 圖22為應用本發明之第7實施例電感-電容元件之平 面圖。 圖23為第7實施例電戚一電容元件之等效電路圓。 圖24為應用本發明之第8實施例電烕-電容元件之平 面圖》 圖25 A及B為閘電極成為直線形狀之3端子型電戚一 電容元件之平面圖》 圖26A及B為闞電極成為直線形狀之共態型電威一電 容元件之平面圃。 圖27 A及B為閘電極成為曲線形狀或波形形狀之電戚 -電容元件之平面團。 圈2 8為電棰未滿一周的圄周形狀電戚一霣容元件平面 匾〇 圈29為電極未滿一周的圔周形狀，而設部分的折翻部 -1 3 - I. — II 裝 II 訂 I 線 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 25〇59l A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ^ ) 1 1 分 之 電 烕 一 電 容 元 件 之 平 面 圖 〇 1 1 圖 30 為 經 想 辦 法 更 改 的 電 極 形 狀 之 變 形 例 平 面 圖 〇 1 I 圖 3 1為 經 想 辦 法 更 改 的 電 極 形 狀 之 變 形 例 平 面 圖 1 I 請 I 園 32為 用 化 學 液 相 法 裝 上 端 子 時 之 概 要 平 面 圖 〇 先 聞 1 I 讀 1 圖 3 3為 用 化 學 液相法装 上 端 子 時 之 槪 要 平 面 圖 3 2中 之 背 面 1 1 C- c斷面圖》 之 注 査 I 1 圖 3 4為 各 實 施 例 之 電 威 一 電 容 元 件 形 成 為 大 規 模 稹 體 事 項 1 I 再 1 I 電 路 的 二 部 分 時 之 說 明 團 〇 § 1 圖 35A、 B及 C 為 各 實 施 例 之 電 m 一 電 容 元 件 的 输 出 端 窝 本 頁 裝 1 連 接 缓 衝 器 之 例 圖 〇 1 | 圖 3 6 A及B為 各 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 的 輸 出 端 連 接 1 I 放 大 電 路 之 例 圖 〇 1 1 圖 37A及B為 在 各 實 施 例 之 電 烕 一 電 容 元 件 上 追 加 保 護 訂 | 電 路 之 例 圖 〇 1 〔 實 施 例 1 1 以 下 > 將 應 用 本 發 明 之 電 威 — 電 容 元 件 實 施 例 » 參 照 1 | 圖 面 具 體 的 説 明 之 〇 又 * 本 發 明 之 電 感 — 電 容 元 件 葆 具 線 對 應 於 金 氣 半 導 體 場 效 應 電 晶 體 (M0S -FET)之構造， 因 1 I 而 為 方 便 起 見 在 以 下 的 實 施 例 中 9 對 應 於 場 效 應 電 晶 臞 1 I 的 源 極 一 方 的 擴 散 領 域 稱 為 源 極 對 應 於 其 漏 極 的 另 一 1 1 方 擴 散 領 域 稱 為 漏 極 對 應 於 其 閘 極 的 電 極 稱 為 闞 霣 極 1 1 〇 因 而_ -以 下 説 明 中 * 源 極 和 漏 極 在 基 本 上 為 等 效 而 可 互 1 I 換 的 〇 1 1 C 第 1 實 施 例 ] 1 | -1 4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 五、發明説明 * 〇 1 1 圖 1 為 應 用 本 發 明 之 第 1 實 施 ，例 猾 m 形 狀 電 戚 — 電 容 1 1 元 件 之 平 面 圖 〇 又 » 圖 2 為 _ 1 中 之 A- A斷面放大圖， 1 圖 3 為 圖 1 中 之 B - B斷面放大圖， 圓4為圖 L中之C •-C 斷 1 面 放 大 圖 〇 請 1 如 造 些 圖 中 所 示 » 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 G 0僳 先 閏 1 1 » 在 半 導 體 基 板 的 P 型 矽 基 板 ( P- S i 基 板 ) 30表 面 附 近 tt 背 面 1 I 相 隔 位 置 形 成 的 一 方 擴 散 領 域 之 源 棰 12和 另 — 方 擴 散 領 之 注 1 1 域 之 漏 極 14之 間 由 對 具 閘 極 功 能 的 渦 狀 電 棰 1 0加 以 項 1 I 再 1 I 電 壓 而 形 成 的 通 道 22所 連 接 形 成 者 〇 1 寫 裝 上 逑 源 極 12及 漏 極 1 4 9 傜 將 P 型 矽 基 板 30經 轉 化 形 成 頁 1 為 η + 領域的擴散領域者β 例如以砷（A s )+ 離子熱擴散 1 | 或 離 子 打 入 9 将 其 注 入 f 使 其 提 高 離 子 濃 度 以 形 成 之 〇 1 I 又 > 渦 m 狀 閘 電 極 10的 一 端 重 叠 於 源 極 1 2的 一 部 分 上 1 1 9 另 一 端 重 叠 於 漏 極 1 4的 一 部 分 上 9 而 形 成 在 P 型 矽 基 訂 | 板 30表 面 所 形 成 的 绝 緣 層 之 上 〇 渦 狀 閘 電 極 10傜 例 如 1 用 鋦 或 金 或 銀 等 形 成 薄 膜 或 者 用 擴 散 或 用 離 子 注 入 以 1 1 摻 雜 多 量 P 而 形 成 之 〇 1 1 又 令 绝 綠 層 26僳 在 於 P 型 矽 基 板 3 0的 表 面 » 是 要 將 該 線 I P 型 矽 基 板 30和 渦 m 狀 閘 電 極 1 0 之 間 加 以 绝 緣 者 > 而 具 1 金 氣 半 導 體 塲 效 應 電 晶 體 中 的 閛 膜 功 能 〇 P 型 矽 基 板 30 1 I 的 全 表 面 ( 或 至 少 在 對 應 於 渦 m 狀 閘 電 極 10之 部 分 ) 被 1 1 該 绝 緣 靥 26所 覆 蓋 並 在 該 绝 緣 層 26上 面 形 成 上 述 之 渦 1 1 m 狀 間一 —電 極 10 〇 該 絶 綠 層 26例 如 以 添 加 m 的 二 氣 化 矽 ( 1 I P- 玻 璃 ) 所 形 成 〇 1 1 又 » 如 G5I 圖 1 圖 4 所 示 > 上 述 渦 m 狀 閘 電 極 10 、 源 極 1 | -1 5- 1 1 丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^50591 a? B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 1 2和 漏 極 14分 別 連 接 於 接 地 電 極 1 6 、 及 输 入 出 電 極 18 Λ 1 1 2 0 〇 接 地 電 棰 16對 於 渦 m 狀 閘 電 極 10的 連 接 9 乃 如 圖 1 1 I 所 示 » 為 免 傷 及 薄 的 閘 膜 » 乃 在 活 性 領 域 的 外 m 為 之 〇 請 1 1 又 9 源 極 1 2之 連 接 於 输 入 出 電 極 18 及 漏 極 14之 連 接 於 先 閎 1 1 輸 入 出 電 極 2 0 9 乃 如 圖 2 或 圖 4 所 示 » 先 使 源 極 12及 漏 tf 背 面 1 I 極 14露 出 — 部 分 後 > 再 接 上 鋁 或 鏑 或 者 金 或 銀 等 金 臑 膜 之 注 表 1 1 Ο 又 連 接 於 渦 m 形 狀 大 約 中 心 位 置 的 漏 極 1 4之 输 入 出 電 1 項 1 I 再 1 極 20 » 乃 如 團 2 所 示 > 與 猾 m 狀 閘 電 極 1 0的 各 周 酾 部 分 % 1 保 持 絶 緣 狀 態 下 引 出 到 外 圍 側 〇 寫 本 頁 1 具 上 述 構 造 之 本 實 施 例 電 — 電 容 元 件 9 如 其 為 具 Π 1 I 通 道 增 強 型 構 造 9 則 當 渦 浚 狀 閛 電 極 1 0加 上 相 對 的 正 電 1 I 壓 時 ♦ 才 形 成 η 型 通 道 2 2 〇 而 該 通 道 2 2和 上 述 渦 m 狀 閛 1 1 電 極 10分 別 成 為 渦 m 形 狀 的 電 烕 器 用 導 體 之 功 能 且 訂 | 在 該 等 通 道 22及 閘 電 極 1 0之 間 形 成 分 布 常 數 狀 態 之 電 容 1 | 器 〇 1 1 圖 5A及 圖 5B為 形 成 通 道 之 狀 態 之 斷 面 画 〇 % 在 渦 m 狀 1 1 蘭 電 極 10縱 向 之 垂 直 方 向 所 取 之 斷 面 〇 對 渦 m 狀 閘 電 極 線 1 0 > 邸 連 接 於 猾 m 狀 閘 電 極 1 〇的 接 地 電 極 1 6未 加 上 正 的 1 1 蘭 極 電 壓 之 狀 態 時 » 如 圖 5A所 示 > P 型 矽 基 板 30表 面 不 1 I ^r 曰 出 現 通 道 22 〇 因 而 * 在 此 狀 態 下 9 匾 1 中 的 源 極 1 2和 1 1 漏 極 1 4在 於 被 絶 緣 狀 態 〇 1 1 然 而- 9 對 渦 m 狀 閘 電 極 1 0加 上 正 的 閘 極 電 m 時 » 如 圃 1 1 5B所 示 9 在 對 m 於 m 潘 狀 闌 霉 極 10的 P 型 的 基 板 30表 面 1 1 附 近 售 出 現 Ω 領 域 之 通 道 22 〇 該 通 道 2 2的 形 成 會 遍 及 於 1 I -1 6 - 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 ^^0591 A7 B7五、發明説明（《〇 閘電極10的全長，因而，由渦泷狀閘霄極10和通道22分 別所積蓄的電荷，在兩者之間形成分布常數狀態之電容 器。 圖6為本實施例電威-電容元件100的斷面清造，像 沿渦泷狀閘電極10縱向@斷面圖。如該匾所示，與渦泷 狀閘電極10平行形成通道22，由該通道22使源極12與漏 極14成導通狀態。例如其為增強型，則在渦泷狀闞電極 10加上所定閘極電壓之狀態時，才形成該通道22，源極 12和漏極14才會成導通狀態，但，改變加於渦泷狀閘轚 極10的閘極電壓會使通道22的宽度及深度變更，由此 ，可使源極1 2和漏極1 2間的電阻值予以變化。 又，經接地電極16所加於渦递狀閘電極10的閘極電鼷 ，實際上偽相對於圖6中基板30的電位差《尤於本實施 例的電烕一電容元件100中，其長條猾潘狀閘電搔10成 為閘極之功能，而必需在該渦泷狀閘電極10的整値全長 確實形成通道22«>如果僅在設於渦泷狀閛電掻10—端的 接地電極16和源極12之間設定相當於閛極電鼷的所定電 位差，乃不完全的，會有在漏極14近旁不形成通道22之 虞。因此，必需在渦潘狀閘電棰10和其近旁位置之基板 30之間加以所定之閘極電壓。又，最好在ρ型矽基板30 的全面（圖6中ρ型矽基板30的下面側）形成電極，在 此電極_與接地電極16之間設定所定之電位差。 匾7 Α及画7Β為第1實施例電威一電容元件之等效電路 圖^圜7丨的等效電路傜將設有输入出電極18、20的通道 -1 7 - —.— — — — II 裝 I I I I —_ 訂 I I I —I 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國困家橾隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 2 2側 當 作 信 號 傳 送 路 徑 > 並 將 設 在 渦 m 狀 閘 電 棰 1 0的 一 1 1 端 近 旁 之 接 地 電 極 1 6加 以 接 地 » 而 成 為 具 3 端 子 型 電 戚 1 | _ 電 容 元 件 之 功 能 者 〇 1 I 請 | 以 這 種 情 形 時 ， 其 接 地 電 極 1 6被 接 地 9 因 而 输 入 出 於 先 閱 1 1 輸 入 出 電 極 1 8 、 2 0的 信 號 電 壓 水 平 及 加 於 P 型 矽 基 板 30 讃 背 面 1 1 的 電 壓 水 平 9 必 薄 保 持 於 負 值 〇 如 此 9 相 對 的 正 值 蘭 極 之 注 奢 1 1 電 壓 即 被 加 於 渦 m 狀 閘 電 極 1 0 9 而 且 通 道 22就 不 會 在 源 $ 1 I 再 1 I 極 22及 漏 極 14近 旁 被 分 斷 〇 % 1 又 > 在 形 成 通 道 22的 位 置 預 先 注 入 η 型 載 體 f 以 使 成 寫 本 頁 袅 1 為 空 乏 型 構 造 ， 則 输 入 出 電 棰 1 8 S 20所 輪 入 出 的 信 號 霣 1 | 壓 水 平 為 正 時 » 也 可 使 其 形 成 通 道 22者 e 1 I 有 這 種 等 效 電 路 的 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 0 0中 1 1 * 其 信 號 傳 送 路 徑 的 通 道 22像 形 成 為 渦 m 形 狀 > 因 而 成 訂 I 為 有 電 感 L 1功 能 的 電 威 器 導 體 〇 同 樣 的 9 渦 * 狀 閘 電 極 1 I 1 0也 形 成 為 渦 潘 形 狀 » 因 而 也 成 為 有 電 娀 L2功 能 的 電 威 1 1 器 導 體 〇 又 * 該 兩 條 電 威 器 導 體 間 夾 著 绝 緣 屬 26 » 因 此 1 1 9 由 該 兩 條 渦 m 狀 之 通 道 2 2和 閘 電 極 10形 成 分 布 常 數 狀 線 態 的 所 定 電 容 C 之 電 容 器 〇 1 1 因 而 > 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 0 0的電威和電容 1 I 存 在 於 分 布 常 數 狀 態 9 可 發 揮 以 往 的 集 中 常 數 型 元 件 所 1 1 役 有 的 優 越 衰 減 特 性 9 可 將 由 輸 入 出 端 子 任 一 方 所 输 入 1 1 信 號 中_ * 只 除 去 所 定 頻 率 成 分 ♦ 由 另 一 方 端 子 输 出 〇 尤 1 1 於 本 實 施 例 之 電 戚 — 電 容 元 件 10 〇的猾通狀閘電極1 0及 1 1 與 其 對 應 的 通 道 22形 成 為 m 泷 形 狀 » 且 各 圔 周 部 分 的 1 | -1 8 _ 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國困家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^^〇59l A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ^ ) 1 1 半 徑 像 連 鑛 的 逐 漸 變 化 〇 因 此 9 由形 成 分 布 常數 狀 態 的 1 1 電 器 和 電 容 器 所 決 定 的 衮 減 特 性（ 信 號 經 由通 道 2 2 傳 1 I 送 時 的 插 入 損 失 特 性 ) 也 成 為 可 在寛 頻 帶 範 團衮 減 信 號 1 I 請 I 9 因 此 * 該 電 戚 — 電 容 元 件 100 , 在於要除去衮減頻帶 先 閲 1 I 1 I 内 的 雜 音 等 頻 率 成 分 時 很 有 效 〇 背 Sj 1 1 又 9 圖 7B為 對 接 地 電 極 1 6加 上 可變 的 控 制 用電 鼷 Vc 時 之 注 杳 1 1 之 等 效 電 路 〇 改 變 加 於 接 地 電 極 16的 可 控 電 m vc * 會 使 事 項 1 1 通 道 2 2的 深 度 變 更 > 在 通 道 2 2 中 的遷 移 率 會 改變 * 在 結 再 填 1 果 上 9 可 任 思 改 變 通 道 2 2 的 電 阻 值β 寫 本 頁 裝 1 由 此 9 通 道 2 2和 渦 m 狀 閘 電 極 1 0的 各 電 威 、及 在 其 兩 1 I 者 之 間 所 形 成 分 布 常 數 狀 態 的 電 容器 之 m 容 、以 及 由 通 1 道 2 2的 電 阻 值 所 決 定 的 電 感 — 電 容元 件 1 0 0整體之衰減 1 1 特 性 金 曰 有 所 變 化 〇 換 古 之 > 變 化 該控 制 用 電 壓Vc 刖 可 訂 I 將 本 實 施 例 電 威 — 電 容 元 件 1 0 0的特性在某- -範圍任意 1 I 變 化 〇 1 1 又 9 上 述 之 電 威 — 電 容 元 件 1 00偽説明在源極1 2和漏 1 | 極 1 4之 間 形 成 η 通 道 時 之 情 形 * 其中 是 以 電 子為 載 醱 > 線 因 而 其 遷 移 率 大 9 通 道 2 2 的 電 阻 會減 少 〇 針 對於 此 > 可 1 1 在 η 型 矽 (η -S i) 基 板 上 形 成 P 通 道， 以 形 成 上述 之 電 戚 1 I — 電 容 元 件 1 0 0〇 造種情形時， 是以電洞為載體， 因而 1 1 通 道 22的 電 阻 比 較 大 9 與 上 述 η 通道 之 情 形 相較 9 具 有 1 I 不 同 之 -特 性 〇 1 | 圈 8Α及 _ 8Β為 將 加 於 渦 m 狀 閘 電棰 1 0的 閘 極電 壓 ( 控 1 1 制 電 m Vc) 予 以 變 化 以 改 變 通 道 22的 深 度 等 時之 通 道 電 1 | -1 9- 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家橾率（CNS ) A4规格（210X297公釐） Β7 經濟部中央搮準局員工消費合作社印製 五、發明説明 1 1 阻 R 説 明 匾 Ο 匾 8 A 實 際 上 偽 將 渦 m 形 狀 之 渦 潘 狀 m m 極 1 1 1 0 假 定 為 直 線 形 狀 時 之 平 面 圖 圖 8B為 其 Α- Α線斷面圖β 1 I 圖 8A及 匾 8Β中 * V 為 闞 極 寬 度 » X 為 通 道 之 深 度。 如 請 1 1 此 由 寬 W 的 渦 m 狀 颺 電 極 10形 成 通 道 22時 9 其 所 形成 的 先 聞 1 I 讀 1 通 道 2 2之 寛 度 為 (W + 2 X) 〇 因 而 » 通 道 22的 源 棰 12及漏 極 背 面 1 I 14間 的 電 阻 R 可 以 下 式 計 算 〇 之 注 査 1 1 R = P L / ( W + 2 X) 1 項 1 I 1 I 式 中 β 為 具 X 深 的 通 道 2 2 之 單 位 面 積 電 阻 〇 由 上式 中 % 1 可 知 ； 通 道 電 阻 R fcb 例 於 通 道 長 度 L 9 而 與 通 道 寬度 寫 本 頁 裝 1 (切 + 2 X >成 反 比 〇 1 I 以 下 將 本 實 施 例 電 烕 一 電 容 元 件 1 0 〇的製造工程說明 1 I 之 〇 1 1 圖 9 A 圖 9 G為 本 實 施 例 電 慼 — 電 容 元 件 1 0 0的製造工 訂 I 程 說 明 圖 ♦ 而 是 以 增 強 型 電 威 一 電 容 元 件 1 0 0為例者。 1 1 又 > 同 圓 為 渦 潘 狀 閘 電 極 1 0的 縱 向 斷 面 〇 1 1 ⑴ 氣 化 膜 之 形 成 1 I 首 先 9 在 Ρ 型 矽 基 板 30表 面 以 熱 氧 化 > 形 成 二 氣化 矽 線 (S Ϊ0 2 ) (圖 9Α) Ο 1 1 ⑵ 源 極 、 漏 極 之 開 窗 ； 1 I 其 次 > 對 Ρ 型 矽 基 板 表 面 的 氣 化 膜 加 以 照 相 蝕 刻， 以 1 1 在 對 應 於 源 極 12及 漏 極 1 4的 部 分 開 窗 ( 圖 9Β) 〇 1 I ⑶ 形 成- _源 極 9 漏 極 » 1 I 接 著 » 由 開 窗 部 分 注 入 η 型 雜 質 * 以 形 成 源 極 12及 漏 1 1 極 14 ( 圖 9C) 〇 例 如 用 神 (A S ) + 為 η 型 雜 質 * 以 熱擴 散 1 | -2 0- 1 1 1 1 本紙張又度適用中國國家梯準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） ^50591 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 〔丨9 ) 1 1 法 將 該 雜 質 注 入 之 〇 又 該 η 型 雜 質 以 離 子 注 入 法 注 入 時 1 1 9 則 不 要 上 述 ⑵ 之 開 窗 〇 1 I ⑷ 去 除 蘭 極 領 域 1 | 請 I 接 箸 9 將 想 要 形 成 渦 m 狀 闞 電 極 10部 分 的 氣 化 膜 去 除 先 聞 1 1 9 以 形 成 閛 極 領 域 之 開 口 部 ( 圖 9D) 〇 本 實 施 例 之 電 威 讀 背 面 1 I — 電 容 元 件 1 0 0為渦泷狀蘭電極1 0 , 該閘極領域開口部 之 注 査 1 1 也 形 成 同 為 渦 m 形 狀 〇 如 此 9 僅 使 對 應 於 渦 m 狀 閘 電 極 1 項 1 I 再 1 1 10部 分 的 P 型 矽 基 板 30 露 出 於 外 〇 4 1 ⑸ 形 成 閘 棰 氣 化 膜 寫 本 頁 i. 1 接 著 9 在 上 述 部 分 露 出 的 Ρ 型 矽 基 板 上 9 形 成 新 的 氣 1 I 化 膜 » 即 絶 緣 層 2 6 ( 圖 9E) 1 1 ⑹ 形 成 閘 極 及 電 極 1 1 接 箸 » 例 如 以 鋁 等 蒸 鍍 9 形 成 具 閘 極 功 能 的 m m 狀 閘 訂 I 電 極 10 $ 同 時 分 別 形 成 連 接 源 極 1 2的 輸 入 出 電 極 18及 連 1 1 接 漏 極 1 4的 输 入 出 電 極 20 ( 圖 9F) 1 1 ⑺ 形 成 絶 緣 層 1 1 最 後 以 磷 玻 璃 附 著 於 其 全 面 上 後 加 熱 9 形 成 平 滑 的 表 線 面 ( 圖 9G) 〇 1 1 如 此 製 造 電 威 一 電 容 元 件 10 0之工程， 在基本上類似 1 I 於 製 造 通 常 之 金 氣 半 導 體 場 效 m 電 晶 體 之 工 程 » 可 以 説 1 1 只 是 閛 極 10的 形 狀 等 不 同 而 己 ο 因 而 » 可 和 一 般 的 金 氣 1 | 半 導 體 m 效 應 電 晶 體 或 雙 極 型 電 晶 體 形 成 於 同 一 基 板 上 1 I 〇 可 形 成 為 積 體 電 路 或 大 規 模 積 體 電 路 之 -* 部 分 〇 而 且 1 1 » 形 成 為 積 醱 電 路 或 大 規 模 積 體 電 路 之 一 部 分 時 » 可 省 1 | -2 1 一 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS > A4规格（210X 297公釐） ^0591 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ；>< )) 1 1 略 後 缠 X 程 中 的 零 件 組 配 作 業 〇 1 1 如 此 > 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 0 〇是由渦潘狀閘 1 I 電 極 1 0和 與 其 對 應 形 成 的 通 道 22分 別 形 成 為 電 威 器 ,並 請 1 1 且 在 渦 m 狀 闞 電 極 1 0和 通 道 2 2之 間 形 成 分 布 常 數 狀 態的 先 Μ 1 1 電 容 器 0 背 1 I 因 而 9 將 設 在 an 倘 m 狀 閘 電 棰 1 0 一 端 的 接 地 電 極 16予以 之 注 1 1 接 地 或 連 接 於 固 定 電 位 9 並 以 通 道 22作 為 信 號 傳 送 路徑 事 項 1 I 再 1 I 時 9 乃 成 為 對 输 入 倍 號 在 寬 頻 帶 範 圍 具 良 好 衰 減 特 性之 § 1 太 電 感 一 電 容 元 件 〇 頁 1 又 9 如 上 述 之 該 電 威 — 電 容 元 件 100 , 可應用- -般的 1 I 金 氣 半 導 體 場 效 應 電 晶 體 等 之 製 造 技 術 製 造 9 因 而 製造 1 容 易 * 也 適 合 於 小 型 化 等 〇 又 將 電 威 — 電 容 元 件 製 造成 1 1 為 半 導 體 基 板 的 一 部 分 時 » 和 其 他 零 件 的 配 線 也 可 同時 訂 I 進 行 9 不 需 要 後 續 工 程 中 的 組 配 作 業 等 〇 1 1 而 且 9 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 100 中， 改變加於 1 1 其 渦 m 狀 閘 電 極 1 0的 蘭 極 電 壓 ( 控 制 電 壓 Vc) 之 值 ,就 1 I 可 控 制 變 更 通 道 2 2的 電 胆 值 9 可 將 電 感 — 電 容 元 件 100 線 的 特 性 在 某 一 範 圍 内 予 以 諝 整 或 變 更 〇 1 1 又 » 上 述 第 1 實 施 例 是 將 對 應 於 潙 m 狀 閛 電 極 10所形 1 I 成 的 通 道 22作 為 倍 號 傳 送 路 徑 者 9 唯 > 也 可 將 通 道 2 2和 1 1 m m 狀 閘 電 極 10的 功 能 互 換 β 即 » 如 園 10 中 在 渦 泷 狀閘 1 I 電 極 1 0 兩 端 連 接 输 入 出 電 極 18 20 9 以 m m 狀 閘 電 極10 1 I 作 為 倍 號 傳 送 路 徑 » 並 将 形 成 在 通 道 22 一 端 的 源 極 12 ( 1 1 或 漏 極 1 4 ) 連 接 於 接 地 電 極 16 > 而 將 該 接 地 電 極 1 6連接 1 | -2 2 - 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國困家梯準（CNS > A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 ) 1 1 於 接 地 或 可 變 之 固 定 電 位 〇 1 1 一 般 所 知 減 少 其 連 接 於 接 地 電 棰 16 一 制 的 電 威 器 導 1 I 體 之 電 阻 值 時 9 會 成 為 對 特 定 頻 率 成 分 較 有 陡 m 衰 減 特 請 1 ! 性 之 電 威 一 電 容 元 件 〇 因 而 » 比 起 圖 1 中 之 電 威 — 電 容 先 閱 I 1 讀 1 I 元 件 ( 渦 浚 狀 閘 電 極 1 0側 接 地 ) 9 圖 1 0中 之 電 戚 _ 電 容 背 面 1 1 元 件 ( 通 道 22_ 接 地 ) 有 較 小 的 抗 阻 bb (Q), 對特定頻 之 注 1 1 率 成 分 有 較 缓 和 的 衮 減 持 性 〇 $ 項 1 I 再 1 I 附 帶 的 » 如 以 上 述 之 情 形 > 刖 成 為 源 極 1 2或 漏 棰 14的 填 1 寫 太 裝 任 —- 方 連 接 於 接 地 電 搔 1 6 因 此 9 可 省 略 另 __- 方 〇 頁 1 又 9 上 述 第 1 實 施 例 僳 對 加 於 渦 m 狀 蘭 電 棰 1 〇的 電 壓 1 | 水 平 fch 基 板 3 0的 相 對 的 提 高 > 以 形 成 通 道 22之 增 強 型 電 1 | 感 — 電 容 元 件 予 以 說 明 者 9 唯 > 也 可 使 其 為 空 乏 型 者 〇 1 1 即 在 圖 1 等 的 通 道 22領 域 預 先 注 入 載 體 ( η 型 雜 質 ) 形 訂 | 成 η 通 道 〇 由 此 » 可 使 渦 m 狀 閘 電 極 1 0的 電 位 不 必 tb 基 1 1 板 30的 電 位 柑 對 的 提 高 而 形 成 通 道 22 9 或 以 此 改 變 所 加 1 1 閘 棰 電 壓 與 通 道 寬 度 等 之 關 俱 〇 又 注 入 之 載 體 也 可 僅 注 1 | 入 於 沿 渦 m 狀 閘 電 極 的 一 部 分 領 域 上 〇 線 C 第 2 實 施 例 1 1 本 發 明 第 2 實 施 例 之 電 威 一 電 容 元 件 在 基 本 上 和 第 1 1 I 實 施 例 之 電 威 一 電 容 元 件 相 同 » 唯 > 其 閘 電 極 10 '及通 1 1 道 2 2或 為 非 m m 狀 之 點 乃 為 和 第 1 實 施 例 之 電 歧 — 電 容 1 1 元 件 為 一主 要 不 同 點 〇 又 本 實 施 例 各 圏 面 中 其 與 第 1 實 施 1 I 例 相 對 應 的 符 (Lb 號 9 乃 和 第 1 實 施 例 的 符 號 相 同 1 1 園 11 為 應 用 本 發 明 之 第 2 實 施 例 電 威 — 電 容 元 件 20 0 1 -2 3- 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國困家橾準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 <5〇59l at B7五、發明説明（》) 之平面圖。又，圖12為匾11中之A-A斷面放大圖，圖13 為圖11中之B-B斷面放大圖。 圖14為蛇行狀之電威器原理圖〇在鼙曲成凹凸狀的具 蛇行狀之閘電極10'或通道22上，通以一方向的電流時 ,在鄰接凹凸部分互相産生方向相反的磁通，恰似1/2 匝線圈串聯的狀態。因而，電烕一電容元件200在整體 上和第1實施例中的閘電極或通道同樣的可使其成為具 電威的電威器導體之功能《· 又，渦泷形狀的閘電棰時，其闞電極兩端中的一端會 位於中心部位，另一端在周邊部位，而蛇行形狀的閘電 極時，其閛電極的兩端都位於周邊部位，因此，要設置 端子以及與其他電路元件連接時，甚為方便。 又，圖15為在蛇行狀電烕-電容元件中，其信號傳送 路徑偽不以通道22而以閘電極10’；而在形成於通道22 一端的源極12(或漏極1U上連接接地電極16時的平面 圖《•該接地電極16連接於接地或固定電位。 如此，本實施例之電威一電容元件200僳由非潘摘狀 閘電極1(Γ和與其相對應形成之通道22分別形成為電威 器之同時，非潘渦狀閜霣極10'和通通22之間形成分布 常數狀態之電容器。 因此，將設在非渦泷狀闊電極10’一端的接地電極16 予以接__地或連接於固定電位，並以，通道22作為信號傳 送路徑時，乃成為對輸入信號在寬頻帶範圍具良好衰減 待性之電烕~電容元件。 • -24- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） B7 經濟部中央揉準局属工消费合作社印褽 五、發明说明 1 1 又 9 該 電 感 — 電 容 元 件 2 0 〇與前實施例的電感- -電容 1 1 元 件 同 樣 的 可 應 用 一 般 的 金 氣 半 導 體 場效應 電晶 體等 之 1 I 製 造 技 術 製 造 * 因 而 9 製 造 容 易 * 適 合於小 型化 時。 又 請 1 1 將 電 戚 —— 窜 容 元 件 製 造 成 為 半 導 體 基 板的一 部分 時， 和 先 閲 1 I 讀 1 1 其 他 零 件 的 配 線 tfc 可 同 時 進 行 * 不 需 要後鑛 工程 中，的 組 背 面 1 I 配 作 業等 〇 之 注 愈 1 1 而 且 9 本 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 2 0 0 中， 改變加於 1 項 1 I 再 1 非 渦 m 狀 闞 電 極 10 ’的闞極電壓 (控制電醱V C )之值， % 1 寫 * 裝 就 可 控 制 變 更 通 道 2 2 的 電 阻 值 9 可 m 電烕一 電容 元件 个 頁 1 2 0 0的特性在某- -範圍内予以調整或變更；在通道2 2形 1 | 成 之 位 置 預 先 注 入 η 型 載 體 而 成 為 空 乏型構 造， 由此 » 1 I 輸 入 ώ 電 極 1 8 Λ 2 0所 輸 入 出 信 號 之 電 壓水平 為正 時， 也 1 1 可 使 其 形 成 通 道 2 2 9 這 些 乃 與 前 實 施 例之電 感一 電容 元 訂 | 件 相 同 〇 1 又 > 閘 電 掻 1 0 及通道2 2成為非渦潘形狀， 因而可使 1 1 信 號 的 輸 入 出 用 配 線 不 會 在 和 閘 電 搔 1 0 1 同- -平面上交 1 J 叉 的 待 點 〇 線 C 第 3 實 施 1 1 以 下 » 將 本 發 明 第 3 實 施 例 之 電 威 —電容 元件 ，參 照 1 I 圓 面 具 體 的 説 明 之 〇 1 1 上 述 第 1 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 100 中， 猾通狀閘 1 1 電 極 1 ΜΡ 與 其 相 對 應 形 成 的 通 道 22大 致在整 傾全 長度 範 1 | 圍 成 為 平 行 > 即 » 大 致 形 成 為 同 一 長 度，而 本實 施例 之 1 1 電 威 一 電 容 元 件 30 0傜將圖1 所示之渦遂狀閘電極10縮 1 | -2 5- 1 1 1 1 本纸張尺度適用中國國家梯率（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 短所定長度（例如1匝分），並在對應於該刪除部分的 P型矽基板30表面注入載子之點為其特點者。 圖16為第3實施例電感—電容元件300之平面圖。如 同圖所示，第3實施例之電感-電容元件300偽在p型 矽基板30表面附近的相隔位置形成之源極12和漏極14之 間，以通道22缠接而成^該通道22外周側的約一半，對 應於具閘極功能的渦通形狀之渦璇狀閘電極10。一方面 ，通道22内周側的約一半部分，預先注入η型載體的雜 質，在無渦泷狀閛電極10的地方，也形成渦潘形狀的通 道22。 如此省略一部分渦泷狀閘電極10，使渦递狀閘電極10 長度比通道2 2為短時，其縮短的渦泷形狀渦谧狀閘電搔 10仍然具一方的電烕器導體功能，而渦递形狀通道22也 同樣具另一方電烕器導體功能，與圖1所示之第1實施 例之雷威-電容元件同樣的具良好衰減待性〇尤其是， 本實施例之電威-電容元件30 0可任意設定其渦通狀閘 電極10的長度，因而，形成分布常數狀態的電容器容量 值也可任意設定，增加設計上的自由度。 圖17為本實施例電威-電容元件300的等效電路圖。 如同團中所示，渦泷狀閘電棰10所減少匝數部分，電越 L3也相對的減少，舆其相對應存在的分布常數狀態之電 容C 1也_減少。因而成為與園1等所示的電烕-電容元件 100在頻率特性上有所不同的元件。調整該渦潘狀閘電 極10的長度{西數），就可在某一範圍内調整或變更其 -2 6 - 本紙張Α度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） !1111!1 裝— — II 訂— .^ — —1— 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 ^5〇59l a? _B7_五、發明説明（β ) 頻率持性。 又，變更加於接地電極16的閘極電壓，可改變對應於礙 泷狀閘電極10所形成的通道22之電阻值，使電感-電容 元件300的衰減特性成為可控制變更之點，乃與上述各 實施例之電威-電容元$同。 又，在對應於渦浚狀閘電極10所要形成逋道22之位置 預先注入η型載體而成為空乏型構造，則，输入出電極 18、20所输入出信號電壓+平為正時，也可使其在對應 於渦邋狀閘電極10的位置形成通道22之點，乃與上述各 實施例之電威-電容元件相同。 如此，本實施例之電威一電容元件300是由渦泷狀閘 電極10和通道22形成分布常數狀態的電戚器和電容器， 成為具良好衰減恃性功能之元件》 又，電烕-電容元件300可利用半導體製造技術製造 之點；及可形成為大規模積體電路的一部分，省略後鑛 工程中的配線處理之點等，乃和上述第1實施例之電感 —電容元件100相同，這些均與第1實施例具同樣優點。 又，本實施例之電感一電容元件300是以通道22為信 號傳送路徑，唯，將渦逮狀蘭電極10和通道22的功能予 以互換，而以渦递狀閘電極10為信號傳路徑，通道22锢( 連接於接地或固定電位也可》在這種情形要使通道22比 渦潘狀_蘭電極10為短時，在通道22想要分段部分注入多 量Ρ型雜質，或將Ρ型矽基板30的一部分用蝕刻法挖深 ，以分斷通道也可〇 -2 7 - II 裝一· HI n n 線 (請先閱讀背面之注f項再填窝本頁) 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（4 ) 〔第4實施例〕 本發明第4實施例之電威一電容元件在基本上和第3 實施例的電威-電容元件300相同，唯，閘電極10'及通 道22為非渦泷形狀之點是和第3實施例的電感-電容元 件300之主要不同點β又，本實施例各圖面之和第3實 施例相對應之符號乃和第3實施例的符號相同。 圖18為第4實施例電烕一電容元件400之平面圖，本 實施例之電烕-電容元件400是將圖11所示之閛電極II1 約刪除一半，並在對應於該削除部分的Ρ-矽基板3Q表面 注入載體為其待點。 本實施例之電感一電容元件400的等效電路中，除電 感和電容之值之外，其餘和第3實施例之等效電路，即 圖17相同》如同圖中所示，只有閘電極10'的凹凸數所 減少部分，電感L3也會減少，而存在於分布常數狀態的 電容C 1也相對的減少〇 如此，本實施例之電感一電容元件4DQ是由非渦泷狀 閘電極10 ‘和通道22形成電威器和分布常數狀態的電容 器，成為具良好衰減特性功能之元件。 又，變更加於接地電極16的閘極電壓，可改變對應於 非濞迸狀閘電極1ΙΤ所形成的通道22之電阻值，可將電威 一電容元件400的衮減特性控制變更。 又，在所要形成通道22的位置預先注入η型載體而成 為空乏型構造，則，输入出電極18、20所輸入出倍號電 壓水平為正時，也可使其形成通道22。 又，電感-電容元件400可利用半導體製造技術製造 之點；及可形成為大規模積體電路的一部分、省略後鑲 工程中的配線處理之點等，乃和上述各實施例的電感- ~ 2 8 - 本紙張尺度逋用中國國家橾率（CNS ) A4规格（210X297公釐） I I 裝 訂 線 (請先Μ讀背面之注f項再填寫本頁) A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 v ) 1 1 電 容 元 件 相 同 * 由 此 與 上 述 各 實 施 例 具同樣優點。 1 1 又 > 閘 電 極 1 0 ^及通道2 2成為非渦潘形狀，因而具可 1 I 使 信 號 的 輸 入 出 用 配 線 不 在 和 m 電 棰10 '同一平面上 1 I 請 j 交 叉 的 特 點 〇 先 閲 1 I 讀 1 C 第 5 實 施 例 背 Λ 1 1 以 下 ♦ 將 本 發 明 第 5 實 施 例 之 電 威 一電容元件， 參照 之 注 査 1 1 圆 面 具 體 的 説 明 之 〇 1 項 1 I 再 1 1 上 述 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 0 〇、 200、 300及 400是 % 1 太 裝 具 3 端 子 常 態 (η 0 Γ n a 1 no cl e ) 型 元 件 之功能者，而 本實 頁 1 施 例 之 電 感 一 電 容 元 件 5 0 0乃形成為4 端子共態（C0 η η ο η 1 | 田0 cl e>型 元 件 之 功 能 為 其 特 點 〇 1 1 圖 1 9為 第 5 實 施 例 電 烕 一 電 容 元 件 5 0 0之平面圖， 如 1 1 同 圖 中 所 示 9 第 5 實 施 例 之 電 威 — 電 容元件5 0 0是在p型 訂 | 矽 基 板 30表 面 附 近 相 隔 位 置 所 形 成 的 源極1 2和漏極 1 4之 1 1 間 9 以 對 應 於 渦 m 狀 閛 電 極 1 0所 形 成 之通道22所連 接而 1 1 成 者 〇 又 > 該 渦 m 狀 閘 電 極 1 0的 兩 端 連接輸入出電 極46 1 1 、 48 * 此 點 與 m 1 所 示 之 電 戚 — 電 容 元件100有所不同。 線 圜 20為 第 5 實 施 例 電 烕 — 電 容 元 件 500的等效電路圓 1 1 〇 如 同 圖 中 所 示 兩 端 输 入 出 電 極 18 、 2 0之間經由源 極12 1 I 及 漏 極 1 4所 形 成 的 通 道 22成 為 具 電 烕 1 1的電戚器之 功能 1 1 同 時 » 兩 端 输 入 出 電 棰 46 、 48之 間 所形成的渦泷 狀蹒 1 1 電 棰 10—成 為 具 電 慼 L2的 電 威 器 之 功 能 β並且，該等 通道 1 I 2 2和 渦 m 狀 閘 電 極 10 * 分 別 作 為 信 號 之傳送路徑， 同時 1 1 > 兩 者 之 間 和 第 1 實 施 例 的 電 威 電 容 元件一樣，形 成具 1 | -2 9- 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） :50591 A7 B7 五、發明説明（4 ) 電容C的電容器成分布常數之狀態。 如此，本實施例之電威-電容元件500不僅在對應於 渦浚狀閘電極10所形成的通道22兩端，也在渦浚狀閘電 極10的兩端設輸入出電極46、48兩端子，以成為具良好 衰減特性的4端子井態型元件之功能者。 和上述之電烕一電容元件100、300同樣的變更加於渦 泷狀閘電極10的閘極電壓，可改變對應於渦浚狀閘電極 10所形成的通道22之電阻值，可將電感一電容元件500 的衰減特性在某一範圍控制變更。 又，在所要形成通道2 2的位置，預先注入η型載體而 成為空乏型構造，刖輸入出電極18、20所輪入出的信號 電壓水平為正時，也可使其形成通道22。 又，除上逑構造上之差異（即由該構造差異為起因所 致之特性差異）外，本實施例電感-電容元件500乃和 上述各實施例之電威-電容元件具相同斷面構造等；該 電感-電容元件500可利用金氣半導體製造技術製造之 骷；可形成為大規模積體電路之一部分，在後鑛工程中 可省略配線處理之點等，乃和上述第1實施例之電慼一 電容元件1 00同》 〔第6實施例〕 本發明第6實施例之電感一電容元件600在基本上和 第5實_施例之電越一電容元件500相同，唯，閘電極10’ 及通道2 2成為非渦潘形狀之點為和第5實施例電威—電 容元件500之主要不同點〇又，本實施例各圖面中和第 -3 0 - 本紙張尺度逍用中國困家標隼（CNS > Α4规格（210X297公釐） I I II 裝 I 訂 I 線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製 50591 A7 B7 經濟部中央揉準局貞工消費合作社印製 五、發明説明 1 1 5 實 施 例 相 對 應 之 符 號 乃和 第 5 實施例的符號 相同。 1 1 圖 2 1 為 第 6 實 施 例 電 威- 電 容 元件6 0 0之平面圖。如 1 I 同 鼸 中 所 示 第 6 實 施 例之 電 感 一電容元件60 0是在ρ型 /«—S. 1 I 請 I 矽 基 板 30表 面 附 近 相 隔 位置 所 形 成的源搔1 2和 漏極14之 先 聞 1 I 讀 1 間 » 以 對 應 於 閘 電 極 1 0 ’所形成之通道22所連接而成者 背 面 1 1 〇 又 » 該 閘 電 極 1 0 ’的兩端連接输入出電極46、 48，此 之 注 1 1 點 與 圖 1 1所 示 之 電 感 — 電容 元 件 2 0 0有所不同。 1 項 1 I 再 1 I 本 實 施 例 之 電 越 — 電 容元 件 60 0的等效電路除電容和 填 1 寫 太 裝 電 感 之 值 之 外 其 餘 和 第 5實 施 例 之等效電路， 卽圖2 0相 頁 1 同 〇 本 實 施 列 之 電 烕 — 電容 元 件 600不僅在對應於非渦 1 I m 狀 蘭 電 極 10 ^所形成的通道2 2兩端，也在非渦雄狀閘 1 1 電 極 1 0 ‘兩端設輸入出電極4 6、 4 8，兩端子，以成為具 1 1 良 好 衰 減 特 性 的 4 端 子 共態 型 元 件之功能者。 訂 | 和 上 述 之 電 威 — 電 容 元件 同 樣 的變更加於非 渦泷狀閘 1 I 電 極 10 '的閘極電壓， 可改變對應於非渦泷狀閘電極101 1 1 所 形 成 的 通 道 2 2 之 電 阻 值， 可 將 電感-電容元 件6 0 0的 1 1 衰 減 特 性 在 某 一 範 圍 控 制變 更 〇 線 又 > 在 形 成 通 道 2 2的 位置 預 先 注入η型載體 ,而成為 1 1 空 乏 型 構 造 t 則 9 輸 入 出電 極 18 、20所輪入出 的信號電 1 I m 水 平 為 正 時 * 也 可 使 其形 成 通 道22。 1 1 又 9 除 上 述 構 造 上 之 差異 ( m 由該構造差異 為起因所 1 1 致 之 待— -性 差 異 ) 外 » 本 實施 例 之 電威-電容元 件6 0 0乃 1 1 和 上 述 各 實 施 例 之 電 烕 -電 容 元 件具相同斷面 構造等， 1 1 該 電 烕 一 電 容 元 件 6 0 0可利用金氣半導體製造技術製造 1 | -3 1 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS > A4规格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 五、發明説明 > D ) 1 1 之 點 及 可 形 成 為 大 規 模 積 體 電 路 之 一 部分、 在 後 鐮工 1 1 程 中 可 省 略 配 線 處 理 之 點 等 9 和 上 述 各 實施例 之 電 威一 1 I 電 容 元 件 同 〇 1 | 請 | 又 ♦ 閘 電 極 10 |及通道2 2成為非渦潘形狀，因而具可 先 閲 1 1 使 信 號 的 輸 入 出 用 配 線 不 會 在 和 m 電 棰 10 ’ 同- -平面上 讚 背 面 1 | 交 叉 的 待 點 〇 之 注 査 1 1 ( 第 7 實 施 例 1 項 1 I 再 1 I 以 下 > 將 本 發 明 第 7 實 施 例 之 電 威 一 電容元 件 9 參照 § 1 圖 面 具 體 的 說 明 之 〇 窝 本 頁 袭 1 上 述 各 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 是 將 渦泷形 狀 的 渦潘 1 I 狀 閘 電 極 1 0用 1 整 條 導 體 形 成 者 9 而 本 實施例 之 電 烕- 1 I 電 容 元 件 700的待擞在於將該渦谧狀閘電極10分割為多 1 1 段 例 如 分 割 為 2 段 ) 者 〇 訂 | 圖 2 2為 第 7 實 施 例 電 威 — 電 容 元 件 7 0 0的平面_ β 如 1 1 同 圃 中 所 示 第 7 實 施 例 電 感 — 電 容 元 件 7 0 0， 僳將圖 1 1 1 所 示 之 電 烕 — 電 容 元 件 1 0 0所用的渦泷形狀的渦泷狀 1 1 閘 電 極 10換 成 多 數 分 割 閘 電 極 片 10 -1 9 10-2 者 〇 在 整體 上 » 渦 m 形 狀 的 這 些 分 割 電 極 片 10 -1 * 10-2 的 各 一 端（ 1 1 在 外 周 倒 分 割 閛 電 極 片 10 -1為 其 外 周 m 末端， 在 内 周倒 1 I 分 割 閘 電 極 片 1 0 -2為 其 内 周 側 末 端 ) 連 接接地 電 極 16 , 1 1 而 將 各 接 地 電 棰 16接 地 9 則 各 分 割 閘 電 極片1 0 -1 9 10-2 1 1 各 所 形- Μ 的 電 威 器 被 接 地 〇 或 > 將 各 接 地電極 16連 接於 1 I 固 定 電 位 電 源 * 刖 各 分 割 閘 電 極 片 10 -1 ，10-2各 所 形成 1 1 的 電 烕 器 處 於 該 固 定 電 位 〇 1 | -3 2 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4规格（210X297公釐） (5〇591 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作杜印製 五、發明説明 :乃 丨） 1 1 又 » 由 於 將 渦 通 狀 閛 電 極 1 0分 割 > 在各 健分 割 閘電 極 1 1 片 間 會 有 空 隙 9 就 此 狀 態 下 通 道 2 2 會有 被分 斷 之虞 〇 1 I 因 而 * 本 實 施 例 中 » 在 對 應 於 該 各 分 割閘 電極 Η 間之 空 1 I 請 1 陳 部 分 的 P 型 矽 基 板 30 表 面 9 設 注 入 η型 雜質 的 擴散 領 先 聞 1 I 讀 1 域 1 3 9 使 得 對 應 於 各 分 割 閘 電 極 片 10 -1， 1 0 - 2 所 形成 的 背 面 1 I 多 數 之 各 個 通 道 22經 由 該 擴 散 領 域 13連成 為1 條 導體 之 之 注 赍 1 1 功 能 〇 事 項 1 I 再 I 圖 2 3為 第 7 實 施 例 電 烕 — 電 容 元 件 7 0 0之等效電路圖 填 1 寫 大 袭 〇 如 同 圖 所 示 9 對 應 於 各 艏 分 割 蘭 電 極片 10-1 9 1 0 - 2所 令 頁 1 形 成 之 通 道 22的 整 體 成 為 具 電 威 L 1 的 電感 器之 功 能， 同 1 I 時 各 分 割 閘 電 極 片 1 0 -1 10 -2各 具 電感 L4 , L5的電 威 1 I 器 之 功 能 〇 而 通 道 2 2和 分 割 閘 電 極 片 10-1或通 道 2 2和 分 1 1 割 閛 電 極 片 10 -1 之 間 分 別 成 為 具 電 容 C2 , C3的 電 S Sg "Τ^Γ -Otr 之 訂 | 功 能 而 且 這 些 電 容 器 形 成 分 布 常 數 之狀 態。 1 I 本 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 7 0 0的各分割閘電極片1 0 1 1 -1 > 1 0 -2 之 白 威 L4 > L5會 減 少 > 因 而 ，這 些自 威 對電 威 1 1 — 電 容 元 件 700整驩特性的影繼也減少，由通道2 2具有 線 之 電 威 L 1和 形 成 分 布 常 數 狀 態 的 電 容 C2 , C3 , 大 致可 決 1 1 定 電 感 一 電 容 元 件 70 0的整體特性〇 因此， 改變渦泷狀 1 I 閘 電 極 1 0的 分 割 狀 態 9 就 可 形 成 和 第 1實 施例 等 所示 之 1 1 電 感 — 電 容 元 件 有 所 不 同 特 性 之 電 烕 —電 容元 件 ，可 增 1 1 加 設 計_ 上 的 g 由 度 〇 1 I 又 9 在 形 成 通 道 22的 位 置 預 先 注 入 η型 載體 » 而成 為 1 1 空 乏 型 構 造 * 刖 輪 入 出 霣 極 18 2 0所 輸入 出的 倍 號電 壓 1 I -3 3 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用申困國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^50591 A7 B7 五、發明説明（p 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 水平為正時，&可使其形成通道22。 又，電感一電容元件700可利用半導體製造技術製造 之點；可形成為大規模稹醱電路之一部分，在後續工程 中可省略配線處理之點；及，改變加於渦进狀閛電極之 電壓，以改變電戚-電容元件7 0 0整體的衰減待性之點 等和上述各實施例之電威-電容元件相同，由此，與上 述各實施例具同樣優點。 又，圖22所示平面構造之本實施例電烕-電容元件 700,僳以通道22為信號傳送路徑，並將渦泷形狀之渦 潘狀閘電搔10分割為多段，然與其相反的，也可將通道 22倒分割為多段《這時，必須在渦泷狀閛電極10於加上 電鼷的狀態下，將通道22钿在電路上分割成數段，因此 ，可在形成該通道22的位置之一部分預先注入多量p型 雜質，或以蝕刻法等將P型矽基板30的一部分挖深，以 使通道22分割成多段即可。 〔第8實施例] 本發明第8實施例之電慼-電容元件在基本上和第7 實施例之電威一電容元件7 0 0相同，唯，閘電棰1 0 |及通 道22成為非猾泷形狀之點乃和第7實施例之電威-電容 元件700之主要不同點。又本實施例各團面中，和第7 實施例相對慝之符號乃和第7實施例的符號相同。 圏2 4_為第8實施例電烕一電容元件800之平面圖。如 同圖中所示，第8實施例之電戚一電容元件800，像将 匾11所示之窜烕一電容元件200所用的蛇行形狀閘電極 -3 4 - (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（衿） 1(Τ換成多數之分割閘電棰片1〇|-1，1〇'-2構造者。 本實施例電感-電容元件800的等效電路除電烕和電 容之值之外，和第7實施例之等效電路，即圖23相同。 本實施例電烕-電容元件800的各分割閘電極Η 10’-1， 1(Γ-2之自烕L4，L5會減少。因而，迨些自烕對電_-電容元件800整體特性的影壜也減少，由通道22具有之 電威L 1和形成分布常數狀態的電容C 2、C 3大致可決定電 感-電容元件8D0的整體特性。因此，改變非渦潘狀闞 電極10’的分割狀態，就可形成和第1實施例等所示之 電感-電容元件有所不同待性之電感-電容元件，可增 加設計上之自由度。 又，在所要形成通道22的位置預先注入η型載體，而 成為空乏型構造，則输入出電極18、20所輪入出的信號 電壓水平為正時，也可使其形成通道22。 又，電烕-電容元件8 0 0可利用半導體製造技術製造 之點；可形成為大規模積體電路之部分，在後續工程中 可省略配線處理之點；及，改變加於閛電極之電壓，以 改變電威-電容元件800整體的衰減特性之點等，和上 述各實施例之電威一電容元件相同。由此，與上述各實 施例具同樣優點》 又閘電掻10’及通道22成為非濞潘形狀，因而具可使 信號输入出用配線不會在和閛電極10’同一平面上交叉 的特點。 〔第9實施例〕 -3 5 - 本紙張尺度適用中國國家橾隼（CNS ) Α4规格（2丨0><297公釐） 裝 訂 I 線 (請先W讀背面之注$項再填寫本頁) v S〇59i A7 B7 經濟部中央橾準局負工消費合作社印褽 五、發明説明（从） 1 1 以 下 » 將 本 發 明 第9 實 施 例 之 電 威- 電 容元件， 參照 1 1 圖 面 具 體 的 說 明 之 〇 1 I 在 -一Λ 般 上 將 導 電 體作 成 渦 m 形 狀 卽成 為 具所定電 烕的 1 I 請 | 電 感 器 導 體 之 功 能 。又 如 上 述 將 閘 電極 10 ’及通道2 2作 先 聞 1 1 成 蛇 行 形 狀 > 也 成 為具 所 定 電 威 的 電烕 器 導體之功 能。 讀 背 1 I 唯 » 輸 入 信 號 頻 帶 如限 於 高 頻 率 時 ,除 渦 泷形狀及 蛇行 之 注 査 1 1 形 狀 之 外 ， 極 端 時 ,直 線 形 狀 也 會 具電 烕 成分的電 烕器 $ 項 1 1 再 1 I 導 體 之 功 能 〇 本 實 施例 之 電 威 一 電 容元 件 乃著眼於 此點 % 1 9 將 閘 電 極 形 成 為 渦泷 形 狀 及 蛇 行 形狀 以 外之形狀 為特 寫 本 頁 裝 1 m 者 〇 1 | 圖 2 5Α、 画2 5 B 圖26 A , 及圖2 6B為具 閘 極功能的 閘電 1 I 極 10 '及與其對應形成的通道2 2各為直線形狀的本實施 1 1 例 電 感 一 電 容 元 件 之平 面 圖 〇 訂 I 圖 2 5 Α僳對應於上述圖1及圖1 1 , 在具閘極功能的電 1 1 極 1 0 ’之全長度範圍形成通道2 2而成之3 端子型電烕- 1 1 電 容 元 件 〇 同 圖 中 所示 之 電 威 一 電 容元 件 可為增強 型， 1 I 或 空 乏 型 之 任 一 種 〇 線 又 圖 2 5 B僳對應於圖1 6及圖1 8, 在面對通道22的- -部 1 1 分 設 閛 電 極 10 1 » 不面對闞電極1 0 ' 的通 道 22之其他 部分 1 I 預 先 注 入 載 體 或 在通 道 22全 長 度 範圍 預 先注人載 體， 1 1 使 其 成 為 空 乏 型 亦 可。 1 1 又 (Β| 圃 2 6 A僳對應於_ 1 9及圜2 1 , 在直線形狀的闞電極 1 I 10 ’兩端形成输入出端子46、 48, 成為共態型者。圖26B 1 1 傺 對 應 於 圖 22及 圖 24 , 乃 設 有 分 割 成多 數 的分割閘 電棰 1 | -3 6- 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS > A4规格（210X297公釐^ 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 L5〇59l a7 B7 五、發明説明（从） 片 10 · -1， 10 ' -2者。 圖27A及圖27B為閘電極10’和通道22形成為曲線形狀 及波浪形狀的電烕一電容元件之平面匾。圖27 A為曲率 半徑大的曲線形狀時之情形。在源極12和漏極14以直線 建結的位置上，如需配置其他零件時，刖如圖27A使蘭 電極10’及通道22成為曲線形狀即可。 圖27B為波浪形狀時之情形。該電烕-電容元件雖不 如圖11所示之蛇行形狀，而和閘電極等為直線形狀 或曲率半徑大的曲線形狀時相比，具較大的電威成分。 圖28,為閘電棰10 1和通道22成為不滿1固的圓周形 狀時的電烕一電容元件平面圖，圖2 9為閘電棰1 0 '和通 道22成為不滿1周的圓周狀，且其末端設若干折回部分 之電感-電容元件平面圖《如這些圖所示，閘電極10' 及通道22形成為略呈圓周形狀，可形成具小電威的電烕 -電容元件》又如圖29所示，將閛電極10’及通道22的 一末端（或兩端亦可）一部分析回，以使閘電極10'等 所産生的磁通柢消一部分，以減少電威，刖可調整電威 -電容元件整體之電感，也邸其頻率特性》 又上述圖27Α〜圖29各匾都是為簡化說明，只表示出 對應於圖25Α的電威一電容元件部分。唯，對應於画25Β 、圖26Α,及圖26 Β各團的類型，也都可作出同樣的主意。 如此_，圖25Α〜圖29所示之電威一電容元件是將閘電 棰10'等形成為蛇行形狀以外之形狀者，而其乃與上述 第1實施例〜第8實施例同樣的成為具良好衰減持性的 -37- 本紙張尺>1逍用中國國家橾準（CNS ) A4«l格（2丨0X297公釐） — I I I I I I 裝 I I I ――訂— — II __ 線 (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) <50591 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（4) 1 1 雜 音 過 濾 器 之 功 能 〇 1 1 又 * 變 更 所 加 之 閘 極 電 壓 > 可 改 變 對 應 於 閘 電 極 10 1 I 所 形 成 的 通 道 2 2之 電 阻 值 . 可 將 電 威 _ 電 容 元 件 整 體 的 1 I 請 | 衰 減 待 性 控 制 變 更 之 點 9 乃 和 上 述 各 實 施 例 之 電 烕 一 電 先 閱 1 1 容 元 件 1 0 0等同β 讀 背 面 1 I 又 9 可 利 用 半 導 體 製 造 技 術 製 造 之 點 及 可 形 成 為 大 之 注 査 1 1 規 模 積 體 電 路 之 部 分 在 後 鐮 工 程 中 可 省 略 配 線 處 理 之 1 項 1 1 點 等 f 和 上 述 各 實 施 例 之 電 烕 一 電 容 元 件 相 同 * 由 此 9 再 f 1 與 上 述 各 實 施 例 之 電 烕 一 電 容 元 件 具 同 樣 優 點 〇 寫 本 筲 裝 1 如 此 * 如 只 限 於 高 頻 帶 信 號 時 » 可 使 閘 電 極 1 0 '和通 1 I 道 2 2 ( 或 只 通 道 22) 成 為 渦 m 形 狀 以 外 之 任 意 形 狀 可 1 I 有 效 的 利 用 半 導 體 基 板 上 的 空 位 形 成 雷 威 — 電 容 元 件 〇 1 1 C 其 他 實 施 例 訂 I 以 下 將 本 發 明 之 其 他 實 施 例 電 戚 — 電 容 元 件 » 參 照 圖 1 I 面 具 體 的 說 明 之 〇 1 1 上 述 各 實 施 例 的 各 電 威 一 電 容 元 件 % 將 源 極 12及 漏 極 1 I 14配 置 在 閘 電 極 10 ( 或 10 ') 兩端附近相隔的位置， 但 線 也 可 將 閘 電 極 1 0的 形 狀 想 辦 法 更 改 9 使 源 極 12及 漏 極 14 1 1 配 置 於 互 相 接 近 的 位 置 〇 1 I 例 如 圖 30 將 源 極 1 2和 漏 極 14鄰 接 配 置 9 同 時 使 電 戚 1 1 — 電 容 元 件 10 0等之闞電棰1 〇的- ·*端延長到漏極1 4。 或 1 1 如 3 1 > 將 源 極 1 2和 漏 極 14鄰 接 配 置 > 同 時 > 將 電 臧 一 1 I 電 容 元 件 10 0等之閘雷搔1 0維持原形狀再折回。 1 1 如 此 » 想 辦 法 更 改 閘 電 極 1 0的 形 狀 * 使 源 極 1 2和 漏 極 1 | -3 8 - 1 1 1 1 本紙張尺度速用中國國家揉準（CNS ) A4规格（21 OX297公釐） <50591 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 1 1 1 4的 位 置 接 近 » 則 可 使 接 地 電 極 16及 輸 入 出 電 極 28 、 2 0 1 1 形 成 於 大 致 同 一 位 置 9 於 裝 上 端 子 時 容 易 配 線 9 可 使 製 1 I 造 工 程 簡 略 化 〇 1 I 請 I 又 > ini 圆 32及 團 3 3為 用 化 學 液 相 法 裝 上 端 子 時 之 槪 略 圖 先 閱 1 1 0 圖 32為 本 實 施 例 要 裝 上 端 子 之 電 烕 一 電 容 元 件 平 面 構 讀 背 A 1 1 造 * 例 如 在 第 1 實 施 例 的 電 威 一 電 容 元 件 100 (在其他 之 注 查 1 1 實 施 例 的 電 戚 一 電 容 元 件 加 上 端 子 時 亦 同 ) 9 用 化 學 液 事 項 1 | 弇 1 相 法 裝 上 端 子 的 情 形 〇 圖 32的 電 威 一 電 容 元 件 和 第 1 實 % 1 寫 太 施 例 之 電 一 電 容 元 件 1 0 〇比較時， 其不同之點在於其 頁 1 兩 輪 入 出 電 掻 1 8 > 2 0 較 短 * 且 接 地 電 極 20也 予 flgil tn 除 〇 1 I 圖 3 3的 電 一 電 容 元 件 斷 面 圖 是 在 經 下 述 X 序 後 之 在 1 1 半 導 體 上 相 當 於 圖 32 中 之 C- C斷面。 具圖3 3所示斷面構 1 1 造 之 電 威 — 電 容 元 件 僳 首 先 * 將 半 導 體 基 板 按 每 1 只 訂 I 電 感 — 電 容 元 件 値 別 割 開 後 f 在 被 割 開 成 價 體 的 基 片 ( 1 1 元 件 ) 金 表 面 以 化 學 液 相 法 形 成 絶 緣 膜 之 矽 氣 化 膜 60 9 1 1 然 後 用 蝕 刻 法 除 去 渦 m 狀 闞 電 掻 1 0或 輸 入 出 電 極 18 9 1 I 20上 的 矽 氣 化 膜 60 » 而 開 孔 在 該 孔 用 焊 錫 62加 封 到 隆 起 線 於 表 面 » 使 凸 起 的 焊 錫 62可 直 接 接 觸 於 配 線 基 板 上 的 m 1 1 箔 島 (1 a ώ d) 者 〇 因 而 9 於 表 面 組 裝 時 甚 為 方 便 〇 尤 其 是 1 I 如 圖 33所 示 9 使 输 入 出 電 極 18 ( 輸 入 出 電 極 2 0亦 同 ) 和 1 1 渦 m 狀 閛 電 極 10同 一 高 度 時 凸 出 的 焊 錫 62也 可 形 成 為 大 1 | 致 同 一 高 度 > 於 表 面 組 裝 時 更 為 方 便 〇 1 I 又 9 元 件 表 面 的 保 護 膜 也 可 用 合 成 樹 脂 等 其 他 絶 錄 材 1 1 料 > 保 護 膜 的 穿 孔 也 可 利 用 雷 射 光 線 〇 又 » 在 圖 3 2平 面 1 | -3 9- 1 1 1 1 本紙張又度逍用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明 ) 1 1 圖 上 的 渦 m 狀 閘 電 極 1 0 之 一 端 上 形 成 接 地 電 極 1 6 在 該 1 1 部 分 上 堆 高 焊 錫 6 2也 可 〇 1 I 圖 34為 上 述 各 實 施 例 之 電 感 一 電 容 元 件 實 際 形 成 為 1 I 請 I 大 規 模 積 體 電 路 的 一 部 分 時 之 説 明 圏 〇 如 同 圖 中 所 示 9 先 聞 1 1 在 半 導 醱 基 片 44 上 的 各 信 號 或 電 源 線 路 4 6中 > 將 上 述 各 vt 背 面 1 I 實 施 例 之 電 威 一 電 容 元 件 100 等， 以插入的形式加入其 之 注 査 1 1 中 〇 尤 其 是 上 述 各 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 可 在 半 導 體 1 1 1 基 片 4 4上 形 成 各 種 電 路 工 程 中 同 時 製 造 » 因 而 y 具 在 後 再 1 鑲 工 程 中 不 需 要 配 線 處 理 等 之 優 點 〇 寫 本 頁 λ 1 以 下 將 上 述 各 實 施 例 之 電 感 — 電 容 元 件 在 實 際 上 當 1 1 作 電 路 之 一 部 分 時 之 一 例 説 明 之 〇 又 9 以 下 說 明 之 各 mn 國 1 1 面 ♦ 都 是 使 用 第 1 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 1 00的各種 1 1 電 路 9 同 樣 地 » 也 可 適 用 於 使 用 第 2 實 施 例 以 下 各 實 施 訂 | 例 之 電 戚 — 電 容 元 件 〇 1 1 在 上 述 各 實 施 例 之 電 威 — 電 容 元 件 中 > 形 成 電 烕 器 的 1 1 通 道 2 2 一 般 均 具 有 高 電 阻 f 而 且 該 通 道 2 2 長 度 很 長 » 在 1 1 兩 端 輪 入 出 電 搔 1 8 20之 間 産 生 信 號 電 壓 水 平 之 衮 減 〇 線 因 而 * 在 實 際 上 將 各 實 施 例 之 電 慼 — 電 容 元 件 當 作 窜 路 1 1 之 部 分 使 用 時 * 在 輸 出 端 連 接 高 输 入 阻 抗 之 m 衝 器 1 I (b u f f e Γ) 9 可 成 為 實 用 性 的 構 成 〇 又 9 在 本 發 明 雷 威 — 1 1 電 容 元 件 的 _ 出 端 連 接 緩 衝 器 9 可 使 上 述 各 實 施 例 的 電 1 1 感 一 電 —容 元 件 之 輪 出 阻 抗 和 後 段 電 路 之 输 入 阻 抗 匹 配 9 1 I 且 * 也 可 將 電 烕 — 電 容 元 件 的 輪 出 » 予 以 锺 流 放 大 〇 1 1 圖 3 5 A , 圖35B及 圈 35C為在其输出端連接缓衝器之例 1 | -4 0- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家棣率（CNS > A4规格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 <5〇59l a? B7五、發明説明（衫） 子。_35A為以金氣半導體場效應電晶體和電阻組成的 源跟随器（source follower)32為緩衝器時的情形。構 成該源跟随器32的金氣半導體場效應電晶體和上述各實 施例之電感-電容元件同具金氣半導體構造，因此，包 括該源跟随器32在内的全部，都可合成為電烕-電容元 件而整體形成之 又圖35B為以連接烕達林頓（Darlington)的2只雙極 性電晶體和電阻組成的射極跟随器34為緩衝.器時的情形 。各實施例之電威-電容元件和雙極性電晶體在構造上 雖有若干差異，但都可使其在同一半導體基板上形成， 因而包括該射極跟随器34在内的全部都可合成為電威-電容元件而整體形成之/又，在靠输出端的電晶體之基 極經電阳接地，也可提高該電晶體動作點之穩定性。 圖35C為p型通道金氣半導體場效應電晶體使用反向 偏壓的另一缓衝電路圖。 圖36A及圖36B為輸出端連接放大電路之例圔。圖36A 為以2只金氣半導體場效醮電晶體和電阻組成的放大電 路38為緩衝器時的情形。構成該放大電路38的金氣半導 體場效應電晶體也和上述各實施例之電威-電容元件同 具金氣半導體構造，因此包括該放大電路38在内的全部 都可合成為電烕-電容元件而整體形成之。又該電路中 電壓放_大率為1+U2/R1),如R2 = 0，則成為和源跟隨器 同等。 又，画36B為以2只雙極性電晶體和電阻組成放大電 -4 1 - (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） < 50591 Α7 Β7 五、發明説明（心 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 路40為放大電路時之情形。各實施例之電烕-電容元件 和雙極性電晶體在構造上雖有若干差異，但都可使其形 成在同一半導體基板上，因而，包括該放大電路40在内 的全部都合成為電威一電容元件而整體形成之。又該電 路中，電壓放大率為1 + U2/R1),如R2 = 0，則成為和射 極跟随器同等。 如此，在輸出端設放大電路，可使受電戚-電容元件 100等的電慼器部分（通道22)所衰減的信號由放大使 其復原，可得信號/雜音比良好的输出倍號，並可使其 和後段電路間之阻抗匹配等。 又，在輸出端連接水平變換電路，可使受電感-電容 元件100等的電感部分所衰減的信號水平加以水平變換 或水平補正》又這些水平變換電路可和電烕-電容元件 100等形成於同一基板上之點，和上述缓衝器時的情形 相同。 圖37A及圖37B為在上逑各實施例之電慼-電容元件上 追加輪入保護電路時之構成一例園。具金氣半導體構造 之上逑各實施例電威一電容元件中，在渦递狀閘電極10 的一端所設接地電掻16等被加上例如由靜電産生之高電 壓時，介於渦潘狀閘電極10和P型矽基板30間的絶緣靥 26 (閘絶緣膜）會被破壊。因而，為防止絶緣層26受這 種靜電等之高電應所破壊，必需要有保護電路》 匾37 A及圖37 B所示之保護罨路都是由多數二棰體和電 阻所構成。閘電極10被加上高電壓時，會使動作電源端 -42- (請先閱讀背面之注f項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS > A4规格（210X297公釐） (50591 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明 [4- ) 1 1 或 盒 體 接 地 端 的 電 流 被 所 旁 路 〇 尤 其 在 圖 37 A的電路， 1 1 可 得 數 10 0 V 圖 37 B的電路可得1 0 0 0 〜2 00 0 V的 靜 電 耐 壓 1 I 9 因 而 可 視 使 用 環 境 等 m 櫸 適 當 的 保 護 電 路 〇 /—«Ν 請 1 1 又 * 本 發 明 以 上 各 實 施 例 中 9 以 通 道 當 作 信 號 傳 送 路 先 閎 1 1 讀 1 徑 時 > 由 調 節 閘 極 電 壓 > 可 將 其 信 號 傳 送 路 徑 設 定 為 非 背 Λ 1 I 常 高 的 阻 抗 〇 如 此 利 用 本 發 明 之 電 戚 一 電 容 元 件 可 將 之 注 彔 1 1 該 電 威 — 電 容 元 件 的 前 段 電 路 和 後 段 電 路 在 電 氣 上 予 以 1 項 1 I 再 1 分 離 〇 例 如 以 通 道 當 作 信 號 傳 送 路 徑 插 入 於 數 據 傳 输 % 1 線 時 > 可 將 输 入 於 該 傳 送 路 徑 的 數 據 邏 輯 直 接 输 出 9 而 本 頁 裝 1 將 該 傳 送 路 徑 設 定 為 高 電 阻 時 > 也 可 使 傳 送 路 徑 的 輸 出 1 I 端 保 持 於 高 的 阻 抗 〇 即 將 上 述 電 烕 — 電 容 元 件 插 入 於 數 1 I 據 傳 輪 線 9 可 使 其 具 如 態 緩 衝 器 (t r i s t a t e b υ f f e r ) 1 1 之 功 能 〇 訂 | 又 * 本 發 明 並 不 僅 限 定 於 上 述 各 實 施 例 ， 在 本 發 明 的 1 1 要 點 範 圍 内 * 可 實 施 各 種 變 形 〇 1 1 例 如 > 上 述 各 實 施 列 中 9 舉 出 電 感 一 電 容 元 件 1 0 0等 1 1 可 形 成 為 大 規 模 積 體 電 路 的 一 部 分 之 點 為 其 效 果 * 唯 並 線 不 一 定 要 其 形 成 為 大 規 模 積 體 電 路 之 一 部 分 〇 it 可 以 在 1 1 半 導 體 基 板 上 形 成 電 m — 電 容 元 件 1 0 0等後， 將其接地 1 I 電 極 1 6及 輸 入 出 電 極 18 20分 別 裝 上 端 子 或 如 闢 3 3利 1 1 用 化 學 液 相 法 裝 上 端 子 以 形 成 為 單 醱 元 件 〇 适 種 情 形 時 1 1 可 在 同 一 基 板 上 同 時 形 成 多 數 之 電 烕 — 電 容 元 件 9 然 後 1 截 開 半 導 體 基 板 9 對 各 電 — 電 容 元 件 裝 上 !.«« 端 子 * 則 可 I 1 將 其 大 量 生 産 〇 1 | -4 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐）

又上述各實施例之記述中，係以鋁等金屬形成閘電棰 之情形，唯，如有充分的導電性之材料也不限於金屬物 «例如以聚矽物（poly-silicon)等形成亦可。 又，上述各實施例中，係在渦浚狀閛電棰10的一端設 接地電極16,唯，也不限於將其設在最末端，可經檢討 頻率待性後，視其必要，將其裝設位置予以移位。 又，上述各實施例之電威一電容元件僳利用P型矽基 板30形成，而同樣的，也可利用η型半導體基析（n-Si 基板）形成之》又半導體基板也可用鍺等矽以外之材料 ，或非晶質材料之非晶型矽等形成之。 I I裝 I 訂 線 (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印装 -44- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 〒5〇5f)l_§_ 六、申請專利範圍 1. 一種電烕一電容元件，其特徽傜具有： 在半導體基板上所形成，具有所定電感之閛電極； 在上述闞電極和上述半導體基板之間所形成之絶綠 層； 在上述半導體基板内，而在對應於上述閘電棰所要 形成之通道一端附近所形成之第1擴散領域；和 在上逑半導體基板内，而在通道的另一端所形成之 第2擴散領域，而 間 ;之 能者 功兩 之其 體和 導感 器電 威的 電道 為通 成述 道上 通及 述烕 上電 及的 極棰 Be 置 _MOR φίΒΓ 閘閘 述述 上上 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 及 。 以者 •’徑 態路 狀送 之傳 數號 常倍 布作 分用 於道 在通 存述 容上 電將 的少 成至 形 待 其 件 元 容 i 質 I 烕 QFV 之 述 所 項 1 0 自 BWi 範 利 專 請 ： 申為 如徵 此者 由值 ，變 值可 變為 可成 為制 定控 設以 壓予 電值 極阻 we S 加的 所道 極通 電逑 闞上 述將 上可 對少 至 申為在 如徴 3 特 其 件 元 容 電 I 戚 電 之 述 所 項 X 園 範 利 專 諳 或 倒 線 源 i i|snr 作 動 於 路 旁 0 電 過 將 可 設 極 i Qj9T 閘 述 上 訂 -線--Λ: 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 待 其 件 元 容 i AN - 威 I 之 述 所 〇項 者 1 路第 電圍 護範 保利 之專 镅請： 地申為 接如徽 閘 段 各 數 多 的 而割 .， 分 徑被 路使 送 ， 傳段 號多 信成 作割 用分 道極 通電 述閘 上迷 將上 只I 將 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） C8 D8 ^50591 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 雷棰片在電路上互相連接，並為使上述通道不致於在 對應於被分割各閘電極Η之間被分斷.，而在該部分預 先注入載體者。 5. —種半導體裝置，其持擞為： 將申請專利範圍第1項之電戚一電容元件形成為基 板之一部分，而將上述閘電極及g應於其所形成的通 道中之至少一方捅入於信號線或電源線，以形成為一 髏者。 6. 如申請專利範園第1項所述之電烕-電容元件，其特 徴僳具有： 在電路上連接於上述第1擴散領域之第1輸入出電 極； 在電路上連接於上述第2擴散領域之第2輸入出電 棰；及 在電路上連接於上述閘電極的一端附近之接地電極 ，而 從上述第1及第2輸入出電極的任一方輸入信號， 從另一方輸出倍號，並將上述接地電極連接於固定電 位之電源或予以接地者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 7. 如申請專利範圍第6項所述之電威一電容元件，其待 擻為： 對上述閛電極所加閛極電壓設定為可變值，由此， 至少可將上述通道的電阻值予以控制成為可變值者。 8. 如申請專利範圃第6項所述之電威-電容元件，其特 -46- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） ABCD 250591 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 微 為 ； 1 I 在 上 述 信 號 傳 送 路 悝 的 輸 出 端 連 接 緩 衝 器 者 〇 1 1 9 .如 申 請 專 利 範 圍 第 6 項 所 逑 之 電 感 — 電 容 元 件 * 其 特 請 1 1 I 擻 為 ； 先 1 閲 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 而 近 旁 的 對 應 於 上 述 閘 電 棟 之 讀 背 1 面 I 位 置 > 預 先 注 入 載 驩 者 〇 之 注 1 1 10. 如 申 謫 專 利 範 圍 第 6 項 所 逑 之 W 感 一 電 容 元 件 > 其 意 事 1 項 I 特 戡 為 再 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 上 述 通 道 所 要 形 成 位 寫 本 頁 專 置 之 至 少 一 部 分 9 預 先 注 入 載 體 » 以 設 定 上 述 通 道 相 S_/ 1 I m 於 上 述 闞 電 極 的 長 度 為 長 或 短 ， 以 使 上 述 閘 電 極 和 1 1 上 逑 通 道 有 部 分 的 相 對 應 者 〇 1 | 11, 如 _ 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 之 電 感 — 電 容 元 件 * 其 訂 I 特 徽 像 具 有 1 1 在 電 路 上 連 接 於 上 述 第 1 擴 散 領 域 之 第 1 輸 入 出 電 1 I 極 1 1 在 電 路 上 連 接 於 上 述 第 2 擴 散 領 域 之 第 2 輸 入 出 電 1 線 極 1 在 電 路 上 連 接 於 上 述 閘 電 極 的 — 端 附 近 之 第 3 輸 入 1 1 I 出 電 極 » 及 1 1 在 電 路 上 連 接 於 上 述 閘 電 棰 的 另 一 端 附 近 之 第 4 輸 1 I 入 出 電 極 9 而 上 述 通 道 和 上 述 蘭 電 極 雙 方 為 信 號 傳 送 1 路 f > 以 當 作 共 態 型 元 件 使 用 者 〇 1 1 1 2 . 如 請 專 利 範 園 第 1 1項所述 之 電 — 電 容 元 件 其 1 1 -4 7- 1 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家揲準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 250591 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 ，C其 其 之 其 位相和 ·.擴 之 和程 此者， ， 棰 ， 成道極 括 1 層 域工 由值件 。件 電 件 形通電 包第 緣 領 3 ，變元 者元 閘 元 要述閛 傜成 絶 散第 俏可容 器容 述 容 所上述 激形 成 «之 變為電 衝電 上 電 道定上 特以 形 1 極 可.成- 緩 I 於 I 通.設使 其， 的 第電 為制烕 接烕 應 威 述以以 ，質；分 述閘 定控電 連電 對 電 上，， 法雜程部 上的 設以之 端之 的 之 的體短 方入工或 結威 壓予述 出述 旁 述 旁載或。造注 1 面 連電 電值所 輸所 近 所 近入長者製的第全 成定 極阻項 的項 面。項 面注為應之分之， 形所 閘電11徑11表者11表先度對件部域上 ，具 加的第 路第 板體第 板預長相元，領板 面而 所道圍 送圍 基載圍 基，的的容上散基 上域 極通範 傳範 體入範 體分極分電板擴體 層領 :電述利：號.利：導注利：導部電部 I 基 2 導 绨散 有閘上專有信專有半先專有半一閘有烕體第半；絶擴 具述將請具述請具述預請具述少述道電導和述程逑 2 俱上可申係上申傺上 ，申傜上至上通種半域上工上第 徴對少如徴在如徽在置如徽在之於述一在領在 2 在述I及 特至.特 ·持 位 ·特 置對上· 散 第 上 .， 3 4 5 6 裝( 訂 务 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -50591 六、申請專利範圍 形成可在電路上分別連接於上述第1及第2擴散領 域的配線層之第4工程者〇 17. —種電感-電容元件，其特徽在於具備： 在半導體基板上所形成，具有所定電感之閛電極； 在上述閘電極和上述半導體基板之間所形成之絶緣 層；和 在上述半導體基板内，而在對應於上述閘電極所要 形成之通道一端附近所形成之第1擴散領域；而 上述閘電極及上逑通道成為電烕器導體之功能； 上述閘電極的電感及上述通道的電感和其兩者之間 形成的電容存在於分布常數之狀態；以及 將上述閘電極用作信號傳送路徑者。 18. 如申讅專利範團第17項所逑之電烕―電容元件，其 特擞俱具有： 對上述閛電極所加閘極電歷設定為可變值，由此， 至少可將上述通道的電阻值予以控制成為可變值者β 19. 如申請專利範圍第17項所述之電烕-電容元件，其 特擻僳具有： 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在上述閘電楝設可將過電壓旁路於動作電源線侧或 接地側之保護電路者》 20. 如申請專利範圍第17項所述之電烕-電容元件，其 特擞僳具有： 在上述通道所要形成之位置的一部分預先注入載體 ，以使對應於上述闞電極形成的上述通道分割為多段 -49- 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS > A4规格（210X297公釐） <50591 AS B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 在 被 分 割 各 段 通 道 的 一 端 附 近 設 上 逑 第 1 擴 散 領 域 1 I 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 9 並 把 造 些 多 數 .上 述 第 1 擴 散 領 1 I 域 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 在 電 路 上 互 相 連 接 者 〇 請 1 1 1 2 1 . —' 種 半 導 體 CSTE. 裝 置 其 特 激 在 於 先 閲 1 I 將 申 請 專 利 範 圍 第 17項之電戚 電 容 元 件 形 成 為 基 讀 背 1 1 Λ I 板 之 —k 部 分 > 而 將 上 述 閘 電 極 及 與 其 對 應 形 成 的 通 道 之 注 1 1 中 之 至 少 . 方 捅 入 於 信 號 線 或 電 源 線 » 而 形 成 為 體 意 事 1 項 者 〇 再 填 1 2 2. 如 Φ 請 專 利 範 圍 第 17項所述 之 電 威 — 電 容 元 件 其 寫 本 頁 S 特 徽 % 具 1 I 在 電 路 上 連 接 於 上 述 閘 電 極 的 一 端 附 近 之 第 1 輸 入 1 1 出 電 極 1 1 在 雷 路 上 連 接 於 上 述 閘 電 極 的 另 一 端 附 近 之 第 2 输 訂 | 入 出 電 極 及 1 1 在 電 路 上 連 接 於 形 成 在 上 述 通 道 一 端 附 近 的 上 述 擴 1 | 散 領 域 之 接 地 電 極 9 而 1 1 從 上 述 第 1 及 第 2 輸 入 出 電 棟 的 任 意 一 方 輸 入 倍 號 1 線 9 由 一 方 輪 出 信 9J» 嫌 並 將 上 述 接 地 η 極 連 接 於 固 定 1 電 位 之 電 源 或 予 以 接 地 者 〇 1 I 2 3 . 如 申 誚 專 利 範 圍 第 22項所述之電越 一 電 容 元 件 9 其 1 ! 特 激 僳 具 有 1 I 對 上 逑 闞 電 極 所 加 閘 棰 電 壓 設 定 為 可 變 值 9 由 此 9 I 至 可 將 上 逑 通 道 的 電 阻 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 〇 1 1 24 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 22項所述之窜烕 一 電 容 元 件 其 1 I -5 0- 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^50591 經濟部中央揉率局員工消费合作社印製. 六、申請專利範圍 1 1 持 戡 係 具 有 1 I 在 上 迷 信 號 傳 送 路 徑 的 輸 出 端 連 接 緩 衝 器 者 〇 1 1 2 5 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 22項 所 述 之 電 — 電 容 元 件 費 其 1 I 請 1 I 特 徹 俗 具 有 先 閱 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 對 應 於 上 述 閘 電 極 之 讀 背 1 1 I 位 置 * 預 先 注 入 載 體 者 〇 之 注 1 1 26 . 如 申 請 專 利 範 園 第 22項 所 述 之 電 威 一 電 容 元 件 > 其 意 事 1 項 1 特 微 僳 具 有 再 4 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 上 述 通 道 所 要 形 成 位 % 本 頁 一裝 i 置 之 至 少 一 部 分 > 預 先 注 入 載 體 * 以 設 定 上 述 通 道 相 1 I 對 於 上 述 閘 電 極 的 長 度 為 長 或 短 以 使 上 述 閘 電 極 和 1 1 上 述 通 道 有 部 分 的 相 對 應 者 〇 1 1 2 7 . 一 種 電 感 — 電 容 元 件 之 製 造 方 法 9 其 待 戡 % 包 括 ； 訂 | 在 半 導 體 基 板 上 9 部 分 的 注 入 雜 質 9 以 形 成 擴 散 領 1 1 域 之 第 1 工 程 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 上 9 全 面 或 部 分 的 形 成 絶 綠 層 之 1 | 第 2 X 程 I 線 在 上 述 絶 緣 層 上 面 形 成 其 一 i-»l« 端 位 於 上 述 擴 散 領 域 9 I 而 具 所 定 電 烕 的 閘 電 極 之 第 3 工 程 及 1 1 I 形 成 可 在 電 路 上 連 接 於 上 述 擴 散 領 域 的 配 線 層 之 第 1 1 4 工 程 者 〇 1 I 28 . 如 申 謫 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 之 電 感 一 電 容 元 件 9 其 1 特 m 僳 具 有 1 1 上 述 閘 電 極 傜 具 有 渦 m 形 狀 者 〇 1 I -5 1 - 1 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 50591 A8 B8 C8 D8 經濟部中央揉率局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 2 9. 如 申 專 利 範 圍 第 28項 所 述 之 電 感 — 電 容 元 件 9 其 1 I 特 m 僳 具 有 1 I 對 上 述 閘 電 極 所 加 閘 極 電 壓 設 定 為 可 變 值 9 由 此 > 1 I 請 1 I 至 少 可 將 上 逑 通 道 的 電 阻 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 〇 先 閲 1 I 30 . 如 申 請 專 利 範 園 第 28項 所 述 之 電 烕 — 電 容 元 件 其 讀 背 1 1 Λ I 特 擞 偽 具 有 之 注 1 1 在 上 述 閘 電 極 設 可 將 過 電 壓 旁 路 於 動 作 電 源 線 側 或 意 事 1 項 1 接 地 侧 之 保 護 電 路 者 〇 再 4 3 1 . 如 請 專 利 範 圍 第 28項 所 述 之 電 威 一 電 容 元 件 9 其 寫 本 頁 S 待 擞 為 1 I 只 將 上 述 通 道 用 作 信 號 傳 送 路 徑 9 而 1 1 將 上 述 閘 電 極 分 割 成 多 段 9 使 被 分 割 的 多 數 各 段 閘 1 1 電 極 Η 在 電 路 上 互 相 連 接 9 並 為 使 上 述 通 道 不 致 於 在 訂 1 對 應 於 被 分 割 各 閘 電 極 片 之 間 被 分 斷 9 而 在 該 部 分 預 I 1 先 注 入 載 體 者 〇 1 I 32 . 一 種 半 導 體 裝 置 > 其 特 傲 為 1 I 將 申 請 專 利 範 圍 第 28項 之 電 戚 — 電 容 元 件 形 成 為 基 1 線 板 之 一 部 分 • 而 将 上 述 蘭 電 極 及 與 其 對 應 形 成 的 通 道 j 中 之 至 少 一 方 插 入 於 倍 號 線 或 電 源 線 形 成 為 一 體 者。 1 I 33 . 如 申 諳 專 利 範 園 第 28項 所 逑 之 電 感 — 電 容 元 件 9 其 1 1 特 傜 具 有 1 I 在 電 路 上 連 接 於 上 述 第 1 擴 散 領 域 之 第 1 输 入 出 電 1 1 極 1 1 在 電 路 上 缠 接 於 上 述 第 2 擴 散 領 域 之 第 2 输 入 出 霣 1 I -52- 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ^50591六、申請專利範圍 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 極 ，電 其 ，。其 其 之 其 位相和 其 電 號定 ， 此者， ， 極 ， 成道極 ， 地 信固 件 由值件 。件 電 件 形通雷 件 接 入於 元 ，變元 者元 閘 元 要逑閘 元 之 輸接 容 值可容 器容 述 容 所上述 容 近 方連 電 變為電 衝電 上 電 道定上 電 0 一極 I 可成- 緩- 於 - 通設使 | 端 任電 感 為制烕 接烕 應 威 述以以 戚I 一 的地 電 定控電 連電 對 電 上，， 電 的 極接 之 設以之 端之 的 之 的體短 之 極 電述 述 壓予述 出述 旁 述 旁載或。述 電 出上 所 電值所 輸所 近 所 近入長者所_ 閛 入將。項 極阻項 的項 面。項 而注為應項' 述 输並者33閘電33徑33表者33表先度對28 上 2，地第 加的第 路第 板體第 板預長相第 於 第號接圍 所道圍 送圍 基載圍 基，的的園 接 及信以範 搔通範 傳範 體入範 體分檷分範 連 1 出予利：電述利：號利：導注利：導部電部利 上 第輸或專有閛上專有信專有半先專有半一閘有專 路 述方源謫具述將請具述請具逑預請具述少述道請 及電 上一電申偽上可申像上申偽上 ，申傷上至上通申 ;在而從另之如擻對少如徴在如戡在置如徴在之於述I如 極， 從位 ·特 至.特 .待 位 ·特 置對上· 4 5 6 7 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 )50591 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 特 徵 偽 具 有 1 I 在 電 路 上 達 接 於 上 述 第 1 擴散領域之第 1 輸 入 出 電 1 1 搔 1 I 請 1 I 在 電 路 上 連 接 於 上 述 第 2 擴 散 領 域 之 第 2 輸 入 出 電 先 閲 讀 背 1 1 極 1 1 Λ I 在 電 路 上 缠 接 於 上 述 閘 電 極 的 一 端 附 近 之 第 3 输 入 . 之 注 1 1 出 電 極 及 意 事 1 項 1 在 電 路 上 連 接 於 上 逑 閘 電 極 的 另 一 端 附 近 之 第 4 輪 再 入 出 電 楝 而 上 述 通 道 和 上 述 閛 電 極 雙 方 為 倍 號 傳 送 寫 本 β- » 頁 • 路 徑 9 以 當 作 共 態 型 元 件 使 用 者 〇 1 1 39 . 如 申 請專利範圍第38項所述之電戚 一 電 容 元 件 9 其 1 1 待 徽 偽 具 有 1 1 對 上 述 閘 電 棰 所 加 閘 極 電 壓 設 定 為 可 變 值 9 由 此 > 訂 I 至 少 可 將 上 述 通 道 的 電 阻 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 0 1 1 4 0. 如 申 請 專 利 範 圍 第 38項所述 之 電 烕 — 電 容 元 件 * 其 1 | 特 徴 葆 具 有 1 I 在 上 述 倍 號 傳 送 路 徑 的 輪 出 端 連 接 缓 衝 器 者 〇 1 線 4 1. 如 申 請 專 利 範 醑 第 38項所述之電威 — 電 容 元 件 其 I ( 待 擻 傜 具 有 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 表 而 近 旁 的 對 應 於 上 述 闞 電 極 之 1 1 位 置 » 預 先 注 入 載 體 者 〇 1 I 4 2 . 如 串 誚 專 利 範 圍 第 3 8項所逑 之 電 威 一 電 容 元 件 9 其 1 特 偽 具 有 1 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 上 迷 通 道 所 要 形 成 位 I -54- 1 1 1 1 本紙張尺度逍用中國國家揉準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 50591 S D8 經濟部中央揉隼局員工消費合作社印製 六、申請專利範 圍 1 1 置 之 至 少 —-‘ 部 分 > 預 先 注 入 載 體 > 以 設 定 上 述 通 道 相 1 I 對 於 上 述 閘 電 極 的 長 度 為 長 或 短 > 以 使 上 述 閘 電 極 和 1 1 I 上 述 通 道 有 部 分 的 相 對 應 者 〇 1 I 請 1 | 4 3 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 17項 所 述 之 電 威 — 電 容 元 件 » 其 先 閲 1 I 持 激 係 具 有 ； 讀 背 1 1 Sr I 上 逑 閘 電 極 像 具 有 渦 形 狀 者 〇 之 注· 1 1 4 4. 如 申 謫 專 利 範 園 第 43項 所 述 之 電 烕 一 電 容 元 件 9 其 意 事 1 項 1 持 徵 像 具 有 再 填 對 上 述 m 電 極 所 加 閛 極 電 壓 設 定 為 可 變 值 9 由 此 9 寫 本 頁 S 至 少 可 將 上 述 通 道 的 電 阻 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 Ο 1 I 4 5. 如 申 請 專 利 範 圍 第 4 3項 所 述 之 電 威 一 電 容 元 件 > 其 I 1 特 擞 具 有 1 I 在 上 述 闞 電 極 設 可 將 過 電 壓 旁 路 於 動 作 電 源 線 側 或 訂 1 接 地 側 之 保 護 電 路 者 〇 1 1 4 6 . 如 申 請 專 利 範 園 第 4 3項 所 述 之 電 一 電 容 元 件 其 1 | 特 激 像 具 有 1 1 在 上 述 通 道 所 要 形 成 之 位 置 的 一 部 分 預 先 注 入 載 體 1 線 » 以 使 對 應 於 上 述 閘 電 極 形 成 的 上 述 通 道 分 割 為 多 段 I > 在 被 分 割 各 段 通 道 的 一 端 附 近 設 上 述 第 1 擴 散 領 域 1 1 I 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 9 並 把 造 多 數 上 述 第 1 镄 散 領 1 1 域 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 在 電 路 上 互 相 連 接 者 〇 1 I 4 7 . —·. 種 半 導 體 裝 置 其 特 徴 為 1 1 φ 誚 專 利 範 園 第 43項 之 電 威 一 電 容 元 件 形 成 為 基 1 1 板 之 一 部 分 > 將 上 述 闞 電 極 及 與 其 對 應 形 成 的 通 道 中 | -55- 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） CV 50591 S D8 六、申請專利範圍 之至少一方插入於信號線或雷源線而形成為一體者。 48. 如申請專利範圍第43項所述之電烕一電容元件，其 待激傜具： 在電路上缠接於上述閘電極的一端附近之第1输入 出電極； 在電路上連接於上述閘電_的另一端附近之第2輸 入出電掻；及 在電路上連接於形成在上述通道一端附近的上述擴 散領域之接地電棰，而 從上述第1及第2輸入出電極的任意一方輸入倍號 ，由另一方輸出信號，並將上述接地電棰連接於固定 電位之電源或予以接地者。 49. 如申請專利範園第48項所述之電戚_電容元件，其 特擞傜具有： 對上述閘電極所加閘極電壓設定為可變值，由此， 至少可將上述通道的電阻值予以控制成為可變值者》 50. 如申請專利範圍第48項所述之電烕-電容元件，其 待擞僳具有： 在上述倍號傳送路徑的输出端連接缓衝器者。 51. 如申諳專利範圍第4 8項所述之電威-電容元件，其 特擞傜具有： 在上述半導體基板表面近旁的對應於上述閘電極之 位羃，預先注入載體者》 52. 如申請專利範騸第48項所述之電威-電容元件，其 -56 - 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------r裝-------訂------線y (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 Cv 50591 S D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 特 微 偽 具 有 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 上 述 通 道 所 要 形 成 位 1 1 置 之 至 少 一 部 分 » 預 先 注 入 載 體 > 以 設 定 上 述 通 道 相 請 1 1 I 對 於 上 述 閘 電 極 的 長 度 為 長 或 短 9 以 使 上 述 閘 電 極 和 先 閲 1 I 上 述 通 道 有 部 分 的 相 對 應 者 〇 讀 背 1 1 面 I 5 3. 如 申 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 之 電 .感 — 電 容 元 件 > 其 之 注 1 I 意 I 特 m 像 具 有 事 1 項 1 上 述 閘 電 極 偽 具 蛇 行 形 狀 者 〇 再 填 5 4. 如 請 專 利 範 圍 第 5 3項所述之電烕 — 電 容 元 件 9 其 寫 本 頁 專 t 特 m 傺 具 有 1 I 對 上 述 閘 電 極 所 加 閘 極 電 壓 設 定 為 可 變 俏 9 由 此 9 1 1 至 少 可 將 上 逑 通 道 的 電 阻 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 〇 1 1 5 5 . 如 申 請專利範圍第53項所述 之 電 威 — 電 容 元 件 * 其 訂 I 特 m 傜 具 有 1 1 在 上 述 閘 電 極 設 可 将 遇 電 壓 旁 路 於 動 作 電 源 線 m 或 1 | 接 地 倒 之 保 護 電 路 者 〇 1 | 5 6 . 如 請 專 利 範 圍 第 53項 所 述 之 電 烕 — 電 容 元 件 > 其 1 線 特 徽 偽 具 有 一...J 1 只 將 上 述 通 道 用 作 信 號 傳 送 路 徑 而 1 1 將 上 述 閘 電 極 分 割 成 多 段 » 使 被 分 割 的 多 數 各 段 閛 1 1 電 極 片 在 電 路 上 互 相 連 接 9 並 為 使 上 述 通 道 不 致 於 在 1 I 對應於被分割各閘電極Η 之 間 被 分 斷 > 而 在 該 部 分 預 1 先 入 載 體 者 〇 1 1 57 . 一 種 半 導 體 裝 置 » 其 特 激 為 ; 1 -5 7- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^50591 ?8s D8 六、申請專利範圍 將申_專利範圍第53項之電感一電容元件形成為基 板之一部分，而將上述閘電極及對應於其所形成的通 道中之至少一方插入於信號線或電源線，以形成為一 體者。 58. 如申請專利範圍第53項所述之電烕-電容元件，其 特.徴傜具有： 在電路上連接於上述第1擴散領域之第1輪入出電 極； 在電路上缠接於上述第2擴散領域之第2輸入出電 極；及 在電路上連接於上述閘電極的一端附近之接地電極 ,而 從上述第1及第2輸入出電極的任一方輸入信號， 從另一方輸出倍號，並將上述接地電掻連接於固定電 位之電源或予以接地者。 59. 如申請專利範圍第58項所述之電威-電容元件，其 待擞係具有： 對上述閘電極所加閘極電S設定為可變俏，由此， 至少可將上述通道的電阻值予以控制成為可變值者。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 60. 如申請專利範園第5 8項所述之電烕一電容元件，其 特傲傺具有： 在上述信號傳送路徑的输出端連接缓衝器者》 61. $申請專利範圍第58項所逑之電威-電容元件，其 特微係具有： -58- 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 50591 AS Βδ C8 D8 申請專利範圍 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之其 位相和 其 電 電 入 输送 其 ，。其 極 ， 成道極 ， 出 出 輸 4 傳 ， 此者， 電 件 形通電 件 入 入 3 第號 件 由值件 蘭元 要述閛 元 輸 輸 第 之信 元 ，變元 述容 所上述 容 1 2 之 近為 容 值可容 上電 道定上 電 第 第 近 附方 電 變為電 於 .1 通設使 I 之 之 附 端雙 I 可成一 應威 述以以 感 域 域 端 一極 威 為制感 對電 上 ，， 電 領 領 一 S 電。電 定控電 的之 的體短 之 散 散 的 的閘者之 設以之 旁述 旁載或。述 擴 擴 極 極述用述 壓予述 近所 近入長者所 1 2 電 電上使所 電值所 面。項 面注為應項 第 第 閛 閘和件項 極阻項 表者58表先度對53述 述 述 述道元63閘電63 板體第 板預長相第 上 上 上 上通型第 加的第 基載圍 基，的的圍 於 於 於 於述態圔 所道圍 體入範 體分極分範 接 接 接 接上共範 極通範 導注利：導部電部利：連 連 連 連而作利：電述利 半先專有半一閘有專有上 上 上及上，當專有閛上專 述預請具述少·述道請具路 路 路；路極以請具述將請 上，申偽上至上通申僳電 電 電極電電 ，申傜上可申 在置如擻在之於述如擞在.，在.，在電在出徑如徵對少I如 位.特 置對上 ·待 極 極 出 入路.持 至· 2 3 4 5 裝j 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 95 ο5 2 ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 待 徽 % 具 有 1 I 在 上 述 倍 m 傳 送 路 徑 的 输 出 端 連 接 .緩 衝 器 者 〇 1 I 66 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 63項 所 述 之 電 感 一 電 容 元 件 » 其 /—N 1 I 請 1 I 待 徽 傜 具 有 先 閲 1 I 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 對 應 於 上 述 閘 電 極 之 讀 背 1 1 面 I 位 置 * 預 先 注 入 載 體 者 〇 之 注 1 1 67 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 63項 所 逑 之 電 威 一 電 容 元 件 » 其 意 事 1 項 1 特 徵 偽 具 有 再 填 ·, 1 在 上 述 半 導 體 基 板 表 面 近 旁 的 上 述 通 道 所 要 形 成 位 寫 本 頁 裝 置 之 至 少 一 部 分 > 預 先 注 入 載 體 • 以 設 定 上 述 通 道 相 'W 1 I 對 於 上 述 蘭 電 極 的 長 度 為 長 或 短 9 以 使 上 述 閘 雷 極 和 1 1 上 述 通 道 有 部 分 的 相 對 應 者 〇 1 1 68 . 如 請 專 利 範 圍 第 1 7項 所 述 之 電 烕 一 電 容 元 件 9 其 訂 | 特 徽 俗 具 有 1 1 上 述 閘 電 極 傜 具 蛇 行 形 狀 者 〇 1 1 69 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 68項 所 述 之 電 烕 — 電 容 元 件 > 其 1 I 特 激 具 有 1 線 對 上 述 閘 電 極 所 加 閘 極 電 應 設 定 為 可 變 值 9 由 此 9 至 少 可 將 上 述 通 道 的 電 胆 值 予 以 控 制 成 為 可 變 值 者 〇 1 I 70 . 如 請 專 利 範 圍 第 68項 所 述 之 電 戚 一 電 容 元 件 > 其 1 1 特 徽 僳 具 有 1 I 在 上 述 閘 電 極 設 可 將 過 電 壓 旁 路 於 動 作 電 源 線 御1 或 1 接 埋 側 之 保 護 電 路 者 〇 1 7 1. 如 申 請 專 利 範 園 第 68項 所 述 之 電 威 — 電 容 元 件 9 其 | -6 0- 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） A8 B8 C8 D8 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 持 擻 % 具 有 1 I 在 上 述 通 道 所 要 形 成 之 位 置 的 一 部分預先注 入 載 體 1 1 I » 以 使 對 應 於 上 述 閘 電 極 形 成 的 上 逑 通 道 分 割 為 多 段 /-—S 1 I 請 1 I » 在 被 分 割 各 段 通 道 的 __. 端 附 近 設 上 述 第 1 擴 散 領 域 先 閱 1 I 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 * 並 把 這 些 多 數 上 述 第 1 擴 散 領 讀 背 1 1 Λ I 域 或 上 述 第 2 擴 散 領 域 在 電 路 上 互 相 連 接 者 〇 之 注 1 1 7 2. 種 半 導 體 裝 置 > 其 特 徽 為 意 事 1 項 1 將 申 請 專 利 範 圍 第 68項之 電 感 一 電 容 元 件 形 成 為 基 再 4 寫 裝 板 之 * 部 分 9 將 上 述 閛 電 棰 及 與 其 對 應 形 成 的 通 道 中 本 頁 之 至 少 一 方 插 入 於 信 SM 線 或 電 源 線 以 形 成 為 一 體 者 e \ 1 I 7 3 . 如 申 請 專 利 範 圍 第 68項所述之電威 一 電 容 元 件 9 其 1 1 待 徽 傜 具 有 1 1 在 電 路 上 連 接 於 上 述 閘 電 極 的 一 端 附 近 之 第 1 輪 入 訂 I 出 電 極 1 1 在 電 路 上 建 接 於 上 述 閘 電 楝 的 另 一 端 附 近 之 第 2 輪 1 | 入 出 電 極 及 1 I 在 電 路 上 達 接 於 形 成 在 上 述 通 道 一 端 附 近 的 上 述 擴 1 線 散 領 域 之 接 地 電 棰 * 而 I 從 上 述 第 1 及 第 2 輪 入 出 電 極 的 任 思 一 方 輸 入 信 號 1 1 I 9 由 另 一 方 輸 出 信 號 » 並 將 上 逑 接 地 電 極 連 接 於 固 定 1 1 電 位 之 電 源 或 予 以 接 地 者 〇 1 | 74 . 如 申 請專利範圍第73項所述之電戚 — 電 容 元 件 9 其 1 1 恃 m 係 具 有 J 1 對 上 述 闞 電 極 加 閛 掻 電 m 設 定 為 可 變 值 9 由 此 1 I -6 1 - 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） ^50591六、申請專利範圍 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 。其 其 之 其 位相和 其 其 者， ，極 ，成道極 ， ， 值件 。件 電 件 形通電 件 件 變元 者元 閘 元 要述閘 元 元 。 可容 器容 述 容 所上述 容 。容 者 為電 衝電 上 電 道定上 電 者電 狀 成 I. 緩 I 於 I 通設使 一 狀 I 形 制感 接威 應 烕 述以以 烕 形烕 線 控電 連電 對 電 上 ，， 電 線電 曲 以之 端之 的 之 的體短 之 曲之 或 予述 出述 旁 述 旁載或。述 或述 狀 倌所 輸所 近 所 近入長者所 狀所 形 阻項 的項 面 C項 面注為應項 形項 線 電73徑73表者73表先度對 1 線17直 的第 路第 板體第 板預長相第 直第 有 道圍 送圍 基載圍 基，的的圍 具圍 具 通範 傳範 體入範 體分極分範 僳範 傜 述利：號利：導注利：導部電部利..極利：極 上專有信專有半先專有半 一閛有專有電專有電 將請具述請具述預請具述少述道請具閘諳具閘 可申偽上申偽上 ，申偽上至上通申偽述申偽述 少如微在如擞在置如徴在之於述如戡上如激上 至 ·特 ·待 位.待 置對上.特 ·恃 5 6 7 8 9 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐）