SU306342A1 - INTERFEROMETER FOR CONTROL OF THICKNESS OF FILMS IN THE PROCESS OF THEIR DRAWING ON THE SURFACE DETAILS - Google Patents
INTERFEROMETER FOR CONTROL OF THICKNESS OF FILMS IN THE PROCESS OF THEIR DRAWING ON THE SURFACE DETAILSInfo
- Publication number
- SU306342A1 SU306342A1 SU1335673A SU1335673A SU306342A1 SU 306342 A1 SU306342 A1 SU 306342A1 SU 1335673 A SU1335673 A SU 1335673A SU 1335673 A SU1335673 A SU 1335673A SU 306342 A1 SU306342 A1 SU 306342A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- interferometer
- thickness
- control
- films
- surface details
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 3
- 102000014150 Interferons Human genes 0.000 description 1
- 108010050904 Interferons Proteins 0.000 description 1
- 206010036618 Premenstrual syndrome Diseases 0.000 description 1
- 230000001427 coherent Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229940079322 interferon Drugs 0.000 description 1
- 238000005429 turbidity Methods 0.000 description 1
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике , а и.менно к устройствам, предназначенным дл контрол толщины пленок в процессе их нанесени в вакууме.The invention relates to vacuum technology and, in particular, to devices designed to control the thickness of films during their deposition in vacuum.
Известен интерферометр дл контрол толщины пленок в процессе их нанесени на поверхность детали в вакуме, содержащий осветительную систему, иризменный блок, раздел ющий световой пучок на две параллельные ветви - рабочую и эталонную, объективы, установленные в каждой из ветвей, регистрирующий узел.An interferometer is known for controlling the thickness of the films during their deposition on the surface of a part in vacuum, containing an illumination system, a iridescent unit dividing the light beam into two parallel branches — working and reference, lenses installed in each of the branches, registering the node.
Предлагаемый интерферометр отличаетс от известного тем, что с целью повышени точности контрол и расширени технологических возможностей процесса контрол он снабжен экраном, изолируюшим ветви интерферометра, а поверхность детали, на которую наноситс пленка, расположена в совмещенной фокальной плоскости объективов.The proposed interferometer differs from that in order to increase the control accuracy and expand the technological capabilities of the control process, it is equipped with a screen isolating the branches of the interferometer, and the surface of the part on which the film is applied is located in the combined focal plane of the lenses.
На чертеже изображена оптическа схема предлагаемого интерферометра.The drawing shows the optical layout of the proposed interferometer.
Интерферометр содержит осветительиую систему , состо щую из монохроматического источника света / (например, оптического квантового генератора), линзы 2, точечной диафрагмы 3 и объектива 4, призменный блок 5, состо щий из двух склеенных призм, объективы 6 7 эталонной и рабочей ветвей; экран регистрирующий узел, состо щий из объектипа Я диафрагмы 10 и фотоэлемента (или ФЭУ) //.The interferometer contains an illuminating system consisting of a monochromatic light source / (for example, an optical quantum generator), a lens 2, a point aperture 3 and a lens 4, a prism unit 5 consisting of two glued prisms, objectives 6 7 of the reference and working branches; the screen of the registering node consisting of the object I of the diaphragm 10 and the photocell (or PMT) //.
Рабоча ветвь интерферометра состоит из параллелограммной призмы блока 5, объектина 7 и небольшого участка детали /2 (точка /у), на которой наноситс пленка.The working branch of the interferometer consists of a parallelogram prism of block 5, object 7 and a small part of the part / 2 (point / y) on which the film is applied.
Эталонна ветвь включает в себ пр моугольую нризму блока 5, объектив 6 и участок детали 12 (точка /б), свободный от наносимой пленки благодар действию экрана 8.The reference branch includes the right angle of the block 5, the lens 6 and the part 12 (dot / b) area free from the applied film due to the action of the screen 8.
Работает предлагаемый интерферометр следующнм образом.The proposed interferometer works as follows.
При отсутствии наносимой пленки оптические мути в эталонной и рабочей ветв х посто ины , и в плоскости фотоэлемента II возникает иитерфере1щионна картииа в виде колец . При нанесении пленки в точке /у происходит изменение разности хода в ветв х интерферометра , что вызывает изменение освещенности в центре интерференционной картины. При измене П1и рассто ни вдоль оси между когерентными источниками, расположеннымиIn the absence of the applied film, optical turbidity in the reference and working branches x are constant, and in the plane of the photocell II there is an interferon cartium in the form of rings. When a film is applied at a point y, a change in the path difference occurs in the branches x of the interferometer, which causes a change in the illumination in the center of the interference pattern. If P1i changes, the distances along the axis between coherent sources located
вблизи заднего фокуса объектива 9, на величину 0,5 Л (л - длина волны света, используемого в иитерферометре), освещенность в центре интерференциоиной картины изменитс на противоположную, т. е. темное н тно будетnear the rear focus of the lens 9, by 0.5 L (l is the wavelength of the light used in the interferometer), the illumination in the center of the interference pattern will change to the opposite, i.e. the dark will
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU306342A1 true SU306342A1 (en) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU306342A1 (en) | INTERFEROMETER FOR CONTROL OF THICKNESS OF FILMS IN THE PROCESS OF THEIR DRAWING ON THE SURFACE DETAILS | |
| KR19980029709A (en) | Autofocusing system using double reflection | |
| EP4299233A1 (en) | Optical processing device | |
| SU252624A1 (en) | METHOD OF CONTACTLESS MEASUREMENT OF PLASTIC THICKNESS FROM | |
| SU911144A1 (en) | Interferometer for checking shape of convex spherical surfaces | |
| RU2615717C1 (en) | Interferometer for multiple optical measurements | |
| SU400871A1 (en) | AUTO-COLLIMATION PHOTOELECTRIC MICROSCOPE | |
| SU847013A1 (en) | Interferometer for lens quality control | |
| SU615356A1 (en) | Optical device for marking-out article surface | |
| SU380946A1 (en) | INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF THE FLAT OPTICAL SURFACE DETAILS | |
| SU451904A1 (en) | Device for control of flatness of opaque parts | |
| SU172085A1 (en) | INTERFERENCE METHOD FOR CONTROLLING THE THICKNESS OF TRANSPARENT LAYERS | |
| SU190606A1 (en) | OPTICAL VISING SYSTEM | |
| SU890067A1 (en) | Interferometer for checking lagre diameter lens convex surfaces | |
| GB1052168A (en) | ||
| SU257794A1 (en) | AUTO-COLLIMATION SHADOW DEVICE | |
| RU1768965C (en) | Interferometer for checking shape of concave optical surfaces of revolution | |
| SU198006A1 (en) | OPTICAL SYSTEM WITH INCREASED DEPTH OF SHARPNESS | |
| SU964561A1 (en) | Device for regulating image sharpness of image in photo printing apparatus | |
| GB766776A (en) | Improvements in or relating to apparatus for photographic optical projection | |
| SU200219A1 (en) | PHASE MICROSCOPE WITH A VARIABLE CONTRAST | |
| SU300757A1 (en) | OPTICAL MICROMETER | |
| SU508671A1 (en) | Compensator for quality control of astronomical mirrors | |
| SU1409861A1 (en) | Device for measuring contour of object cross-section | |
| SU1583911A1 (en) | Device for laser processing of objects with visual check in passing light |