SU911144A1

SU911144A1 - Interferometer for checking shape of convex spherical surfaces

Info

Publication number: SU911144A1
Application number: SU802899349A
Authority: SU
Inventors: Николай Сергеевич Шандин; Станислав Кириллович Мамонов; Валерий Васильевич Вячин
Original assignee: Московское Ордена Ленина И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана
Priority date: 1980-03-21
Filing date: 1980-03-21
Publication date: 1982-03-07

Description

(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ВЫПУКЛЫХ СФЕРИЧЕСЮ1Х ПОВЕРХНОСТЕЙ(54) INTERFEROMETER FOR THE CONTROL OF THE FORM OF A VOLUME SPHERICAL SURFACE

. I . Изобретение относитс к контроль но-измерительной технике, предназначено дл -контрол формы вьтуклых сферических поверхностей, и может быть использовано преимущественно в производстве, зан том изготовлением крупногабаритных оптических деталей .. Известен интерферометр дл контрол формы выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра, содержащим монохроматический источник света, осветительную систему, светоделитель объектов, компенсатор , сферическое зеркало и регистра тор интерференционной картиныГП. Недостатками известного интерферометра вл ютс сложность конструкции , обусловленна наличием боль шого количества оптических элементов , а также снижение точности контрол за счет ошибок формы неконтролируемой поверхности линзы и неоднородности стекла, из которого она изготовлена. Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к изобретению вл етс интерферометр дл контрол фррмы выпуклых сферических поверхностей, содержащий монохроматический источник света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему, светоделитель , объектив, выпукло-вогнутую менисковую линзу и регистратор интерференционной картины, оптически сопр гаемый через светоделитель с контролируемой поверхностью 2 Недостатком известного интерферометра вл етс сложности конструкции ,, обусловленна наличием объектива , диаметр которого превьшает диаметр контролируемой поверхности. Цель изобретени - упрощение конструкции интерферометра. Указанна цель достигаетс тем, что менискова -линза выполнена положительной и на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.. I. The invention relates to the control of the measuring technique, is intended for the control of the shape of tight spherical surfaces, and can be used mainly in the manufacture of manufacturing large-sized optical parts. An interferometer is known for controlling the shape of the convex spherical surfaces of large-diameter lenses containing a monochromatic light source , a lighting system, a beam splitter of objects, a compensator, a spherical mirror and an interference pattern register of the GP. The disadvantages of the known interferometer are the complexity of the design, due to the presence of a large number of optical elements, as well as a decrease in the accuracy of control due to the shape errors of the uncontrolled lens surface and the heterogeneity of the glass from which it is made. The closest in technical essence and the achieved result to the invention is an interferometer for controlling the angle of the convex spherical surfaces, containing a monochromatic light source arranged in series along its rays illumination system, beam splitter, objective lens, convex-concave meniscus lens and an interference pattern recorder, optically matching driven through a controlled surface beam splitter 2 The disadvantage of the known interferometer is the complexity of the design, due to Enna presence of a lens whose diameter exceeds the diameter of the test surface. The purpose of the invention is to simplify the design of the interferometer. This goal is achieved by the fact that the meniscus lens is made positive and a beam splitting coating is applied to both its surfaces.

На чертеже приведена принципнальна схема интерферометра дл контрол формы вьтускных сферических поверхностей .The drawing shows a schematic diagram of an interferometer for controlling the shape of the outer spherical surfaces.

Интерферометр содержит монохроматический источник 1 света, расположенные последовательно по ходу его лучей осветительную систему 2, светоделитель 3, выпукло-вогнутую менисковую линзу 4 и регистратор 5 интерференционной картины. Регистратор 5 оптически сопр гаетс через светоделитель 3 с контролируемой поверхностью 6, ориентируемой концентрично вогнутой поверхности менисковой линзы 4.The interferometer contains a monochromatic light source 1, located successively along the course of its rays the illumination system 2, the beam splitter 3, the convex-concave meniscus lens 4 and the interference pattern recorder 5. The recorder 5 is optically coupled via a beam splitter 3 with a controlled surface 6, oriented concentrically concave surface of the meniscus lens 4.

Менискова линза 4 выполнена положительной , а на обе ее поверхности нанесено светоделительное покрытие.Meniscus lens 4 is made positive, and a beam-splitting coating is applied on both its surfaces.

Интерферометр работает следующим образом.The interferometer works as follows.

Источник 1 и осветительна систему 2 формируют сферический волновой , который проходит светоделител 3, преломл етс выпуклой поверхностью менисковой линзы 4, последовательно отражаетс от светоделитель-, ных, нанесенных на ее вогнутую и выпуклую поверхности, и распростран етс по нормал м к вогнутой поверхности . Вогнута поверхность менисковой линзы 4 вл етс эталонной, а нанесенное на нее светоделительное покрытие делит паданнций по нормал м к этой поверхности волновой фронт на две части.The source 1 and the illumination system 2 form a spherical waveguide, which passes the beam splitter 3, refracts the convex surface of the meniscus lens 4, is successively reflected from the beam splitters applied to its concave and convex surfaces, and spreads along the normal m to the concave surface. The concave surface of the meniscus lens 4 is the reference, and the beam-splitting coating applied onto it divides the wave front into two parts along the normal to this surface.

Одна часть отражаетс от вогнутой поверхности менисковой линзы 4 и представл ет собой опорной волновой фронт, друга часть проходит эту поверхность и представл ет собой рабочий волновой фронт, который падаетOne part is reflected from the concave surface of the meniscus lens 4 and represents the reference wave front, the other part passes this surface and is a working wave front that falls

ПО нормал м на контролируемую поверхность 6, отражаетс от нее и интерферирует с опорным волновым фронтом на вогнутой поверхности менисковой линзы 4. Получаема интерференци онна картина несет информацию об ошибках формы контролируемой поверхности 6 и фиксируетс регистратором 5.The normal m on the test surface 6 is reflected from it and interferes with the reference wave front on the concave surface of the meniscus lens 4. The resulting interference pattern carries information about the error shape of the test surface 6 and is recorded by the recorder 5.

Нанесение светоделительного покрыти на поверхности менисковой линзы, выполненной положительной, позвол ет упростить конструкцию интерферометра за счет исключени объекта. ;The application of a beam-splitting coating on the surface of the meniscus lens, made positive, makes it possible to simplify the design of the interferometer by eliminating the object. ;

Claims

Invention Formula

Interferometer for controlling the shape of convex spherical surfaces, restraining a monochromatic light source, lighting system, beam splitter, lens, convex headlight and lens recorder in sequence along its rays, interference pattern, optically coupled through the beam splitter with a controlled surface, o l and h and y u and s. so that, in order to simplify the design, the meniscus lens is made positive and a beam-splitting coating is applied on both its surfaces.

Sources of information taken into account in the examination

K. USSR Author's Certificate 448347, cl. G 01 B 9/02, 1972.

2. Kolomiytsov Yu. V., Dukhonel II Contactless interference method to control spherical surfaces of lenses. Optics and spectroscopy, 1956, v.1, issue. 1, s. 94-101 (prototype);