SU252624A1 - METHOD OF CONTACTLESS MEASUREMENT OF PLASTIC THICKNESS FROM - Google Patents
METHOD OF CONTACTLESS MEASUREMENT OF PLASTIC THICKNESS FROMInfo
- Publication number
- SU252624A1 SU252624A1 SU1205539A SU1205539A SU252624A1 SU 252624 A1 SU252624 A1 SU 252624A1 SU 1205539 A SU1205539 A SU 1205539A SU 1205539 A SU1205539 A SU 1205539A SU 252624 A1 SU252624 A1 SU 252624A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plate
- thickness
- contactless measurement
- plastic thickness
- slit
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title description 8
- 102100016007 SLIT3 Human genes 0.000 description 3
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
Известен способ бесконтактного измерени толщины пластин из прозрачного материала, заключающийс в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измер ют его смещение , по которому суд т о толщине пл астины .A known method for contactless measurement of the thickness of a plate made of a transparent material is that a beam of rays is passed through the plate and its displacement is measured, judging the thickness of the plate of astine.
предлагаемый способ отличаетс от извесгного тем, что осуществл ют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал. Это отличие позвол ет повысить точность измерени .The proposed method differs from izvesgnogo in that they carry out a multiple beam passing through the plate with the help of mirrors. This difference allows for improved measurement accuracy.
Дл упрощени процесса измерени через пластину пропускают сход щийс пучок лучей .To simplify the measurement process, a converging beam is transmitted through the plate.
Описываемый способ иллюстрируетс чертежом .The method described is illustrated in the drawing.
Бесконтактное измерение толщины пластины из прозрачного материала по предлагаемому способу производ т следующим образом.A contactless measurement of the thickness of a plate made of a transparent material according to the proposed method is carried out as follows.
Источником света / с помощью конденсорной линзы 2 освещают диафрагму со щелью 3. Микрообъектив 4 при этом дает изображение щели 3 на поверхности вспомогательного зеркала 5. Наклонный сход щийс пучок лучей проходит через контролируемую пластину 6, расположенную вблизи поверхности зеркала 5, отражаетс от зеркала, еще раз проходит через пластину 6 и микрообъектив 7 и дает вторичное изображение Si щели 3 в фокальной плоскости объектива 8 зрительной трубы. The light source / using the condenser lens 2 illuminates the aperture with the slit 3. The micro-lens 4 at the same time gives the image of the slit 3 on the surface of the auxiliary mirror 5. The inclined converging beam of rays passes through the controlled plate 6 located near the surface of the mirror 5, is reflected from the mirror once passes through the plate 6 and the micro lens 7 and gives a secondary image of the Si slit 3 in the focal plane of the objective 8 of the telescope.
В этой же плоскости дает изображение S щели 9 оптическа система, содержаща источник света 10, линзу 11, зеркало 12 и призму 13.In the same plane, the image S of the slit 9 is produced by an optical system comprising a light source 10, a lens 11, a mirror 12 and a prism 13.
При абсолютных измерени х настройка оптических систем производитс таким образом, чтобы без пластины 6 изображени Si и S2 щелей располагались на одной линии. После же установки контролируемой пластины с определенными толщиной и показателем преломлени изображение Si одной щели смещаетс относительно изображени Sz другой щели на некоторую величину, по которой и суд т о толщине контролируемой пластины.In absolute measurements, the tuning of the optical systems is carried out in such a way that, without the wafer 6, the images of the Si and S2 slots are aligned. After installing a controlled plate with a certain thickness and refractive index, the image of Si of one slit is shifted relative to the image Sz of the other slit by a certain amount, according to which the thickness of the controlled plate is judged.
Предмет изобретени Subject invention
1.Способ бесконтактного измерени толщины пластин из прозрачного материала, заключающийс в том, что через пластину пропускают пучок лучей и измер ют его смещение , по которому суд т о толщине пластины, отличающийс тем, что, с целью повыщени точности измерени , осуществл ют многократное прохождение пучка лучей через пластину при помощи зеркал.1. A method of contactless measurement of the thickness of a plate made of a transparent material, which means that a beam of rays is passed through the plate and its displacement is measured, judging the thickness of the plate, characterized in that, in order to improve the measurement accuracy, multiple passage is carried out beam through the plate with the help of mirrors.
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU252624A1 true SU252624A1 (en) |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7561273B2 (en) | Device and method for measurement of surfaces | |
| US20090237670A1 (en) | Prism design for scanning applications and illumination of microscopy sample | |
| GB2167262A (en) | Distance measurement | |
| US5309214A (en) | Method for measuring distributed dispersion of gradient-index optical elements and optical system to be used for carrying out the method | |
| US11500189B2 (en) | Light sheet microscope and method for determining the refractive indices of objects in the specimen space | |
| US4577940A (en) | Moire microscope | |
| JP2005098933A (en) | Instrument for measuring aberrations | |
| KR20060086938A (en) | Focusing system and method | |
| SU252624A1 (en) | METHOD OF CONTACTLESS MEASUREMENT OF PLASTIC THICKNESS FROM | |
| US5715055A (en) | Spectroscope utilizing a coupler to concurrently apply parallel light beams to a sample and a reference light and processing the resulting light beams thereby compensating for environmental changes | |
| US11971531B2 (en) | Method and microscope for determining the thickness of a cover slip or slide | |
| EP3816611B1 (en) | Microscope and method for determining an aberration in a microscope | |
| EP0452963A2 (en) | Objective lens system for use within microscope | |
| US3832063A (en) | Lens axis detection using an interferometer | |
| SU201721A1 (en) | INTERFEROMETER FOR THE QUALITY CONTROL OF CONCENTRED REFLECTIVE ROTATION SURFACES | |
| SU306342A1 (en) | INTERFEROMETER FOR CONTROL OF THICKNESS OF FILMS IN THE PROCESS OF THEIR DRAWING ON THE SURFACE DETAILS | |
| JPS60211306A (en) | Adjusting method of optical system of fringe scan shearing interference measuring instrument | |
| JPS6242327Y2 (en) | ||
| SU210420A1 (en) | ||
| EP3751327B1 (en) | Method of and apparatus for monitoring a focus state of a microscope | |
| SU269527A1 (en) | INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF FLAT OPTICAL SURFACES | |
| SU883840A1 (en) | Optical electronic device for sperimposing lens focal plane with preset plane | |
| SU175665A1 (en) | OPTICAL COUNTING PROJECTION DEVICE FOR METALLIC CUTTING MACHINES WITH A BAR COAT | |
| SU156315A1 (en) | ||
| SU1742663A1 (en) | Device for measuring quality of images of objectives |